CN116699946A - 掩膜数据的处理方法及装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种掩膜数据的处理方法及装置，涉及数据处理领域，该方法包括：将掩膜版图上的每个多边形进行处理，以确定每个所述多边形内部的独立弦；按照每个所述多边形内部的独立弦，将每个所述多边形进行切割，以得到多个第一子多边形；在任一第一子多边形不满足预设要求且存在斜边的情况下，基于所述任一第一子多边形中的斜边，将所述任一第一子多边形进行切割，以得到多个第二子多边形；在任一第二子多边形存在斜边且不满足预设要求的情况下，将所述任一第二子多边形进行切割，以得到多个第三子多边形；将满足预设要求的第一子多边形、第二子多边形和第三子多边形，确定为第一多边形集合，由此，可以实现对多边形中任意角度斜边的切割。

Description

掩膜数据的处理方法及装置

技术领域

本申请涉及数据处理领域，尤其涉及一种掩膜数据的处理方法及装置。

背景技术

通常，在集成电路制造过程中，对于经过光学邻近效应校正(optical proximitycorrection，OPC)之后的掩膜版图，一般需要先通过掩膜写入器(mask writer)制作到掩模版上，再将掩模版上的图案曝光到晶圆片上，以制造集成电路。

相关技术中，可以使用可变形电子束(variable shaped beam，VSB)书入工具作为掩膜写入器，由于该掩膜写入器一次只能在掩模版上曝光一个大小可变的图形，从而对于复杂多边形版图需要通过断裂(fracturing)切割为一系列不重叠图形，作为VSB的输入。随着掩膜版图复杂程度的增加，越来越多的斜边可能会引入进来，但现有的切割方法只能对曼哈顿多边形中的斜边进行切割，而无法对多边形中任意角度斜边进行切割，从而导致切割结果准确性较低。

由此，如何对包含不同角度斜边的多边形进行处理，以提高掩膜数据准备的质量，显得至关重要。

发明内容

本申请提供一种掩膜数据的处理方法及装置，用以解决现有技术中仅能对掩膜版图中的曼哈顿多边形中的斜边进行切割，无法对多边形中任意角度斜边进行切割的技术问题。

根据本申请的第一方面，提供一种掩膜数据的处理方法，该方法包括：将掩膜版图上的每个多边形进行处理，以确定每个所述多边形内部的独立弦；按照每个所述多边形内部的独立弦，将每个所述多边形进行切割，以得到多个第一子多边形；在任一第一子多边形不满足预设要求且存在斜边的情况下，基于所述任一第一子多边形中的斜边，将所述任一第一子多边形进行切割，以得到多个第二子多边形；在任一第二子多边形存在斜边且不满足预设要求的情况下，将所述任一第二子多边形进行切割，以得到多个第三子多边形；将满足预设要求的第一子多边形、第二子多边形和第三子多边形，确定为第一多边形集合。

在一些实施方式中，所述在任一第一子多边形不满足预设要求且存在斜边的情况下，基于所述任一第一子多边形中的斜边，将所述任一第一子多边形进行切割，以得到多个第二子多边形，包括：以所述斜边为对角线，构造每条所述斜边对应的边界框；基于每条所述斜边对应的边界框，将所述任一第一子多变形进行切割，以得到多个第二子多边形。

在一些实施方式中，所述在任一第二子多边形存在斜边且不满足预设要求的情况下，将所述任一第二子多边形进行切割，以得到多个第三子多边形，包括：将所述任一第二子多边形中的各个顶点向坐标轴进行投影，以确定投影点，其中，所述投影点中包含投影到坐标轴上的起点、终点及至少一个中间点；将所述中间点沿坐标方向与斜边连接，以形成切割线；将所述任一第二子多边形沿所述切割线进行切割，以得到多个第三子多边形。

在一些实施方式中，所述方法还包括：在所述第一子多边形、所述第二子多边形及所述第三子多边形中任一子多边形为不满足预设要求的曼哈顿多边形的情况下，基于所述任一子多边形中的特定凹角对所述任一子多边形切割，以得到多个第四子多边形；将所述多个第四子多边形确定为第二多边形集合。

在一些实施方式中，所述基于所述任一子多边形中的特定凹角对所述任一子多边形切割，以得到多个第四子多边形，包括：基于所述任一子多边形中特定凹角对应的顶点向所述任一子多边形内部分别发射水平射线及竖直射线，以确定水平射线与竖直射线相交处的节点；基于每个所述节点对应的水平射线及竖直射线，确定每个所述节点对应的候选边的增益；将每个所述节点中较大增益对应的候选边，确定为每个所述节点对应的目标边；按照每个所述目标边，将所述任一子多边形进行切割，以得到多个第四子多边形。

在一些实施方式中，所述方法还包括：判断所述第二多边形集合中的第四子多边形与所述第一多边形集合中的第三子多边形是否有重合边；在任一第四子多边形与任一第三子多边形具有重合边的情况下，将所述任一第四子多边形与所述任一第三子多边形进行拼接，以得到第五子多边形；将所述第五子多边形、所述第二多边形集合中除去具有重合边的第四子多边形以及所述第一多边形集合中除去具有重合边的第三子多边形，确定为第三多边形集合。

在一些实施方式中，所述判断所述第二多边形集合中的第四子多边形与所述第一多边形集合中的第三子多边形是否有重合边，包括：基于所述第二多边形集合中的第四子多边形及所述第一多边形集合中的第三子多边形的各个顶点坐标，确定所述第四子多边形及所述第三子多边形中的各个边长；在任一第四子多边形与任一第三子多边形存在相同边长的情况下，确定所述任一第四子多边形与所述任一第三子多边形中所述相同边长对应的端点坐标是否一致；在所述端点坐标一致的情况下，确定所述任一第四子多边形与所述任一第三子多边形具有重合边。

在一些实施方式中，所述判断所述第二多边形集合中的第四子多边形与所述第一多边形集合中的第三子多边形是否有重合边，包括：基于所述第二多边形集合中的第四子多边形和所述第一多边形集合中的第三子多边形中的各个顶点坐标，确定所述第四子多边形与所述第三子多边形间是否存在具有相同坐标的共有顶点；在任一第四子多边形与任一第三子多边形间存在两个共有顶点、且所述两个共有顶点属于同一条边的情况下，确定所述任一第四子多边形与所述任一第三子多边形具有重合边。

在一些实施方式中，所述方法还包括：基于所述第三多边形集合中每个子多边形的顶点数量，确定每个子多边形是否满足预设要求；在任一子多边形不满足预设要求的情况下，将所述任一子多边形重新进行切割，以生成满足预设要求的目标子多边形；在每个所述子多边形均满足预设要求的情况下，将每个所述子多边形按照预设格式进行处理，以生成对应的目标文件。

根据本申请的第二方面，提供一种掩膜数据的处理装置，其包括：处理模块，用于将掩膜版图上的每个多边形进行处理，以确定每个所述多边形内部的独立弦；第一切割模块，用于按照每个所述多边形内部的独立弦，将每个所述多边形进行切割，以得到多个第一子多边形；第二切割模块，用于在任一第一子多边形不满足预设要求且存在斜边的情况下，基于所述任一第一子多边形中的斜边，将所述任一第一子多边形进行切割，以得到多个第二子多边形；第三切割模块，用于在任一第二子多边形存在斜边且不满足预设要求的情况下，将所述任一第二子多边形进行切割，以得到多个第三子多边形；第一确定模块，用于将满足预设要求的第一子多边形、第二子多边形和第三子多边形，确定为第一多边形集合。

在一些实施方式中，所述第二切割模块，具体用于：以所述斜边为对角线，构造每条所述斜边对应的边界框；基于每条所述斜边对应的边界框，将所述任一第一子多变形进行切割，以得到多个第二子多边形。

在一些实施方式中，所述第三切割模块，具体用于：将所述任一第二子多边形中的各个顶点向坐标轴进行投影，以确定投影点，其中，所述投影点中包含投影到坐标轴上的起点、终点及至少一个中间点；将所述中间点沿坐标方向与斜边连接，以形成切割线；将所述任一第二子多边形沿所述切割线进行切割，以得到多个第三子多边形。

在一些实施方式中，所述装置还包括：第四切割模块，用于在所述第一子多边形、所述第二子多边形及所述第三子多边形中任一子多边形为不满足预设要求的曼哈顿多边形的情况下，基于所述任一子多边形中的特定凹角对所述任一子多边形切割，以得到多个第四子多边形；第二确定模块，用于将所述多个第四子多边形确定为第二多边形集合。

在一些实施方式中，所述第四切割模块，具体用于：基于所述任一子多边形中特定凹角对应的顶点向所述任一子多边形内部分别发射水平射线及竖直射线，以确定水平射线与竖直射线相交处的节点；基于每个所述节点对应的水平射线及竖直射线，确定每个所述节点对应的候选边的增益；将每个所述节点中较大增益对应的候选边，确定为每个所述节点对应的目标边；按照每个所述目标边，将所述任一子多边形进行切割，以得到多个第四子多边形。

在一些实施方式中，所述装置还包括：判断模块，用于判断所述第二多边形集合中的第四子多边形与所述第一多边形集合中的第三子多边形是否有重合边；拼接模块，用于在任一第四子多边形与任一第三子多边形具有重合边的情况下，将所述任一第四子多边形与所述任一第三子多边形进行拼接，以得到第五子多边形；第三确定模块，用于将所述第五子多边形、所述第二多边形集合中除去具有重合边的第四子多边形以及所述第一多边形集合中除去具有重合边的第三子多边形，确定为第三多边形集合。

在一些实施方式中，所述判断模块，具体用于：基于所述第二多边形集合中的第四子多边形及所述第一多边形集合中的第三子多边形的各个顶点坐标，确定所述第四子多边形及所述第三子多边形中的各个边长；在任一第四子多边形与任一第三子多边形存在相同边长的情况下，确定所述任一第四子多边形与所述任一第三子多边形中所述相同边长对应的端点坐标是否一致；在所述端点坐标一致的情况下，确定所述任一第四子多边形与所述任一第三子多边形具有重合边。

在一些实施方式中，所述判断模块，还具体用于：基于所述第二多边形集合中的第四子多边形和所述第一多边形集合中的第三子多边形中的各个顶点坐标，确定所述第四子多边形与所述第三子多边形间是否存在具有相同坐标的共有顶点；在任一第四子多边形与任一第三子多边形间存在两个共有顶点、且所述两个共有顶点属于同一条边的情况下，确定所述任一第四子多边形与所述任一第三子多边形具有重合边。

在一些实施方式中，所述第三确定模块，还用于：基于所述第三多边形集合中每个子多边形的顶点数量，确定每个子多边形是否满足预设要求；在任一子多边形不满足预设要求的情况下，将所述任一子多边形重新进行切割，以生成满足预设要求的目标子多边形；在每个所述子多边形均满足预设要求的情况下，将每个所述子多边形按照预设格式进行处理，以生成对应的目标文件。

根据本申请的第三方面，提供一种电子设备，电子设备包括：处理器以及存储有计算机程序指令的存储器；处理器执行计算机程序指令时实现上述的任一种掩膜数据的处理方法。

根据本申请的第四方面，提供一种计算机可读存储介质，其特征在于，计算机可读存储介质上存储有计算机程序指令，计算机程序指令被处理器执行时实现上述的任一种掩膜数据的处理方法。

综上所述，本申请提供的掩膜数据的处理方法及装置至少具有以下有益效果：可以先将掩膜版图上的每个多边形进行处理，以确定每个多边形内部的独立弦，之后可以照每个多边形内部的独立弦，将每个多边形进行切割，以得到多个第一子多边形，在任一第一子多边形不满足预设要求且存在斜边的情况下，可以基于任一第一子多边形中的斜边，将任一第一子多边形进行切割，以得到多个第二子多边形，之后可以在任一第二子多边形包含斜边且不满足预设要求的情况下，将任一第二子多边形进行切割，以得到多个第三子多边形，并将满足预设要求的第一子多边形、第二子多边形和第三子多边形，确定为第一多边形集合。由此，在将掩膜版图上的多边形进行处理时，可以先基于多边形内部的独立弦将多边形进行切割，得到第一子多边形，之后若第一子多边形不满足预设要求、且存在斜边，那么可以基于斜边继续进行切割，若得到的第二子多边形仍存在斜边、且不满足预设要求继续进行切割，之后将满足预设要求的各个子多边形确定为第一子多边形集合，以待后续进行集成电路的制造，从而在将掩模版图上的多边形进行切割时，充分考虑到了各多边形内部的独立弦、斜边的存在，从而可以实现对多边形中任意角度斜边的切割，也使得切割得到的各子多边形尽可能地准确、可靠，提高了多边形切割的准确性和可靠性，为后续集成电路的制造提供了保障。

附图说明

为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域的技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请的实施例提供的一种掩膜数据的处理方法的流程图；

图2为本申请的实施例提供的一种掩膜版图中多边形的示意图；

图3为本申请的实施例提供的一种对掩膜版图中多边形进行处理得到的第一多边形的示意图；

图4为本申请的实施例提供的一种对掩膜版图中第一子多边形进行处理得到的第二子多边形的示意图；

图5为本申请的实施例提供的一种掩膜数据的处理方法的流程图；

图6为本申请的实施例提供的一种掩膜版图中的曼哈顿多边形的示意图；

图7为本申请的实施例提供的一种掩膜版图中子多边形的示意图；

图8为本申请的实施例提供的一种掩膜数据的处理装置的结构图；

图9为本申请的实施例提供的一种电子设备的结构图。

具体实施方式

为了使本申请的上述以及其他特征和优点更加清楚，下面结合附图进一步描述本申请。应当理解，本文给出的具体实施例是出于向本领域的技术人员解释的目的，仅是示例性的，而非限制性的。

在以下描述中，阐述了许多具体细节以提供对本申请的透彻理解。然而，对于本领域的技术人员来说，明显的是，不需要采用具体细节来实践本申请。在其他情况下，未详细描述众所周知的步骤或操作，以避免模糊本申请。

本申请实施例提供的掩膜数据的处理方法，可由本申请实施例提供的掩膜数据的处理装置执行，该装置可配置于电子设备中。

参考图1，本申请提供了一种掩膜数据的处理方法，该方法包括：

步骤101，将掩膜版图上的每个多边形进行处理，以确定每个多边形内部的独立弦。

其中，掩膜版图中可能存在大量不同类型的多边形，比如掩膜版图中的多边形可以为三角形、四边形、以及边数多于四条的五边形、六边形等复杂图形，复杂图形可能为规则图形或者也可能为不规则图形等等。本申请对此不做限定。

可以理解的是，可以采用任何可取的方式确定多边形的独立弦，本申请对此不做限定。

可选的，可以先遍历掩膜版图上的每个多边形，以确定每个多边形的各个顶点，之后可以基于每个多边形中的各个顶点，确定每个多边形对应的弦，之后可以从每个多边形对应的弦中确定出对应的独立弦，使用尽可能多的互不相交的独立弦进行切割，可以尽量实现最小化矩形的数量。

其中，弦可以理解为具有相同x坐标或者相同y坐标的凹角对，在多边形内部的连线，在确定出多边形的各条弦之后，可以从多边形的弦中筛选出独立弦，可以理解的是，筛选出的各条独立弦之间通常互不相交。

另外，可以采取任何可取的方式，从多边形内部的弦中选取独立弦的方法可以有多种。比如，对于多边形的多条弦，可以使用最大匹配问题方法进行筛选得到独立弦。如果把每一条弦看作是一个节点，相交的弦看作是对应节点间存在一条边，那么找到最多的独立弦问题可以转换为找到弦所构成的图的最大子集。由于只存在水平或者竖直的两种弦，所以弦所构成的图是一个二分图，而找到二分图的最大子集问题，可以根据柯尼希定理( theorem)，通过转换为最大匹配问题得到解决。

需要说明的是，上述示例只是示意性说明，不能作为对本申请实施例中确定独立弦的方式等的限定。

步骤102，按照每个多边形内部的独立弦，将每个多边形进行切割，以得到多个第一子多边形。

其中，在确定出每个多边形内部的独立弦后，可以按照每个独立弦所在的位置，将对应的多边形进行切割，以得到对应的第一子多边形。比如说，掩膜版图上的某一多边形如图2(a)所示，那么基于其中内部的各条弦，可知其对应的独立弦可以如图2(b)所示，由图可知独立弦的数量为3，图2(b)中的A、B、C、D为按照上述各条独立弦将多边形切割后得到的四个第一子多边形等等，本申请对此不做限定。

从而本申请实施例中，可以先将掩膜版图上的每个多边形进行处理，以确定出每个多边形内部的独立弦，之后可以按照每个多边形内部的独立弦，将其进行切割，以得到多个第一子多边形。由于在将多边形切割得到第一子多边形的过程中是依据多边形内部的独立弦进行的，而各多边形内部的独立弦互不相交，从而可使得切割得到的第一子多边形更为准确、可靠，进而保障了后续掩膜数据准备的质量。

步骤103，在任一第一子多边形不满足预设要求且存在斜边的情况下，基于任一第一子多边形中的斜边，将任一第一子多边形进行切割，以得到多个第二子多边形。

其中，预设要求可以为提前设定好的图形类型，比如若第一子多边形为三角形、矩形、梯形，则称其为满足预设要求；若任一第一子多边形为除三角形、矩形、梯形之外的任意多边形、或不规则图形等，那么称其为不满足预设要求等，本申请对此不做限定。

可选的，可以以斜边为对角线，构造每条斜边对应的边界框，基于每条斜边对应的边界框，将任一第一子多变形进行切割，以得到多个第二子多边形。

其中，对于非预设类型、且包含斜边的任一第一子多边形，其包含的斜边数量可以为一条，或者也可以为多条等等，本申请对此不做限定。

另外，若对掩膜版图中多边形进行处理得到的第一子多边形1如图3(a)所示，由图可知该第一子多边形1不满足预设要求、且包含一条斜边，那么基于该斜边，将其进行切割，得到两个第二子多边形，如图3(a)中的A和B部分。若第一子多边形2如图3(b)所示，由图可知该第一子多边形2不满足预设要求、且包含两条斜边，那么基于该斜边，将其进行切割，得到四个第二子多边形，如图3(b)中的C、D、E、F部分。

需要说明的是，上述示例只是示意性说明，不能作为对本申请实施例中第一子多边形、第二子多边形数量及其中斜边的条数等的限定。

从而本申请实施例中，针对不满足预设要求且包含斜边的第一子多边形，可以基于该第一子多边形中的斜边将其进行切割，从而可使得切割得到的斜边尽可能地集中，尽量在不增加斜边数量的情况，将第一子多边形进行切割，从而使得切割得到的第二子多边形尽可能地准确、可靠。

步骤104，在任一第二子多边形存在斜边且不满足预设要求的情况下，将任一第二子多边形进行切割，以得到多个第三子多边形。

其中，将包含斜边且不满足预设要求的第二子多边形进行切割时，可以有多种方式，比如可以按照水平方向进行切割，或者也可以按照竖直方向进行切割等等。本申请对此不做限定。

举例来说，若对掩膜版图中第一子多边形进行处理得到的任一第二子多边形如图4(a)，由于其仍然包含斜边不满足预设要求，那么可以将该任一第二子多边形继续进行切割，比如可以沿着图中水平虚线进行切割，或者也可以按照图中竖直虚线进行切割等等。或者，若任一第二子多边形如图4(b)，由于其仍然包含斜边不满足预设要求，那么可以将该任一第二子多边形继续进行切割，比如可以按照图中两条水平虚线进行切割，或者也可以按照图中两条竖直虚线进行切割等等。

需要说明的是，上述示例只是示意性说明，不能作为对本申请实施例中第二子多边形的形状及进行切割方式等的限定。

步骤105，将满足预设要求的第一子多边形、第二子多边形和第三子多边形，确定为第一多边形集合。

举例来说，若按照淹没版图上每个多边形内部的独立弦，将每个多边形进行切割，得到100个第一子多边形，其中90个第一子多边形为满足预设要求的多边形，那么之后可以将剩余10个不满足预设要求、且存在斜边的第一子多边形进行切割，以得到多个第二子多边形。若共得到20个第二子多边形，其中，18个第二子多边形为满足预设要求的多边形，那么之后可以将剩余2个不满足预设要求、且包含斜边的第二子多边形进行切割，以得到第三子多边形，若得到的5个第三子多边形均满足预设要求，那么可以将90个第一子多边形、18个第二子多边形以及5个第三子多边形确定为第一多边形集合，之后可以按照第一多边形集合进行后续集成电路的制造等。

需要说明的是，上述第一子多边形、第二子多边形及第三子多边形的数量均为示意性说明，不能作为对本申请实施例中将多边形进行切割以得到子多边形的限定。

可以理解的是，由于将掩膜版图上的各个多边形经过多次切割，得到的各第一子多边形、第二子多边形、第三子多变行均满足预设要求，那么可以将其确定为第一多边形集合，从而保障了掩膜数据准备的质量。之后可以将第一多边形集合中的各第一子多边形、第二子多边形和第三子多边形，通过掩膜写入器制作到掩模版上，再将掩模版上的图案曝光到晶圆片上，以制造集成电路，从而提高了后续通过曝光等制造集成电路的准确性。

本申请实施例，可以先将掩膜版图上的每个多边形进行处理，以确定每个多边形内部的独立弦，之后可以照每个多边形内部的独立弦，将每个多边形进行切割，以得到多个第一子多边形，在任一第一子多边形不满足预设要求且存在斜边的情况下，可以基于任一第一子多边形中的斜边，将任一第一子多边形进行切割，以得到多个第二子多边形，之后可以在任一第二子多边形包含斜边且不满足预设要求的情况下，将任一第二子多边形进行切割，以得到多个第三子多边形，并将满足预设要求的第一子多边形、第二子多边形和第三子多边形，确定为第一多边形集合。由此，在将掩膜版图上的多边形进行处理时，可以先基于多边形内部的独立弦将多边形进行切割，得到第一子多边形，之后若第一子多边形不满足预设要求、且存在斜边，那么可以基于斜边继续进行切割，若得到的第二子多边形仍存在斜边、且不满足预设要求继续进行切割，之后将满足预设要求的各个子多边形确定为第一子多边形集合，以待后续进行集成电路的制造，从而在将掩模版图上的多边形进行切割时，充分考虑到了各多边形内部的独立弦、斜边的存在，从而可以实现对多边形中任意角度斜边的切割，也使得切割得到的各子多边形尽可能地准确、可靠，提高了多边形切割的准确性和可靠性，进而提高了掩膜数据准备的质量，为后续集成电路的制造提供了保障。

如图5所示，该掩膜数据的处理方法，可以包括以下步骤：

步骤501，将掩膜版图上的每个多边形进行处理，以确定每个多边形内部的独立弦。

步骤502，按照每个多边形内部的独立弦，将每个多边形进行切割，以得到多个第一子多边形。

步骤503，在任一第一子多边形不满足预设要求且存在斜边的情况下，基于任一第一子多边形中的斜边，将任一第一子多边形进行切割，以得到多个第二子多边形。

步骤504，在任一第二子多边形存在斜边且不满足预设要求的情况下，将任一第二子多边形进行切割，以得到多个第三子多边形。

可选的，可以将任一第二子多边形中的各个顶点向坐标轴进行投影，以确定投影点，其中，投影点中可以包含投影到坐标轴上的起点、终点及至少一个中间点，之后可以将中间点沿坐标方向与斜边连接，以形成切割线，之后再将任一第二子多边形沿切割线进行切割，以得到多个第三子多边形。

举例来说，若任一第二子多边形如图4(a)，可以将该第二子多边形的各个顶点向坐标X轴投影，之后可以得到投影到坐标轴上的起点、终点以及一个中间点，之后可以将中间点沿坐标Y轴与斜边连接，以形成切割线也即图4(a)中的竖直虚线，那么可以按照该切割线，将该第二子多边形进行切割，以得到两个第三子多边形等等，本申请对此不做限定。

可选的，在形成切割线之后，也可以将任一第二子多边形沿切割线所在的直线进行切割，以得到多个第三子多边形。

比如，若任一第二子多边形如图4(a)，可以将该第二子多边形的各个顶点向坐标Y轴投影，之后可以得到投影到坐标轴上的起点、终点以及一个中间点，之后可以将中间点沿坐标X轴与斜边连接，以形成切割线也即图4(a)中的水平虚线，那么可以按照该切割线所在的直线，将该第二子多边形进行切割，以得到两个第三子多边形等等，本申请对此不做限定。

需要说明的是，上述示例只是示意性说明，不能作为对本申请实施例中第二子多边形的形状及进行切割方式等的限定。

步骤505，将满足预设要求的第一子多边形、第二子多边形和第三子多边形，确定为第一多边形集合。

步骤506，在第一子多边形、第二子多边形及第三子多边形中任一子多边形为不满足预设要求的曼哈顿多边形的情况下，基于任一子多边形中的特定凹角对任一子多边形切割，以得到多个第四子多边形。

其中，曼哈顿多边形可以理解为任意两条相邻边均相互垂直的多边形，比如，若某一子多边形如图6所示，该子多边形中任意两条相邻边均相互垂直，那么可以认为该子多边形为曼哈顿多边形等等，本申请对此不做限定。

可选的，可以基于任一子多边形中特定凹角对应的顶点向任一子多边形内部分别发射水平射线及竖直射线，以确定水平射线与竖直射线相交处的节点，之后可以基于每个节点对应的水平射线及竖直射线，确定每个节点对应的候选边的增益，将每个节点中较大增益对应的候选边，确定为每个节点对应的目标边，之后可以按照每个目标边，将任一子多边形进行切割，以得到多个第四子多边形。

其中，特定凹角可以理解为非90°直角的角度均为特定凹角，比如在如图6所示的子多边形中，两个270°凹顶点处即为特定凹角等等，本申请对此不做限定。

另外，节点可以为特定凹角的水平射线与竖直射线相交时构成的点，也可以包含特定凹角对应的顶点等等，本申请对此不做限定。

另外，增益可以理解为当前候选边的垂直边的权重减去当前候选边的权重，权重可以理解为若选定当前候选边将增加的细长条(sliver)的长度，确定每个候选边的方式可以如下公式所示：

其中，W(e)可以为当前侯选边e将增加的sliver长度，C(e)可以为从节点发射出的另一条边，也即当前侯选边的垂直边，G(e)可以为候选边e将保留的sliver长度。

举例来说，在如图6(a)所示的子多边形中，可以依次计算三个节点中各个侯选边的增益。比如说，对于节点1经计算可知，水平方向的侯选边的增益大于竖直方向上的侯选边，那么可以将水平方向上的侯选边确定为该节点1的目标边。之后可以确定节点2对应的两条候选边的增益，经计算可知水平方向上的侯选边为该节点2的目标边；之后可以确定节点3对应的两条候选边的增益，经计算可知水平方向上的侯选边为该节点3的目标边；那么可以按照确定出的各侯选边，将该子多边形进行切割，可以得到三个第四子多边形，分别为图6(b)中的A、B、C部分。

可选的，在确定各个节点的目标边时，可以按照各个节点的关联顺序进行。比如，在确定出各个节点后，可以依次保存各个节点两个方向上，下一个节点的信息。从而，可使得每一节点按照关联顺序得到遍历，之后即可按照确定出的目标边将该子多边形进行切割，以得到多个第四子多边形。

举例来说，对于如图6所示的子多边形，由于节点1其水平方向上的下一节点为节点2，若节点1的目标边为水平方向上的侯选边，那么可以继续计算节点2的两条侯选边的增益。若节点2的目标边为水平方向上的侯选边，在水平方向上无下一节点，那么确定出节点2的目标边之后，可以直接确定节点3的目标边等等，本申请对此不做限定。

步骤507，将多个第四子多边形确定为第二多边形集合。

步骤508，判断第二多边形集合中的第四子多边形与第一多边形集合中的第三子多边形是否有重合边。

可以理解的是，第一多边形集合中的第三子多边形为按照斜边对应的边界框切割得到的，第二多边形集合中的第四子多边形为按照特定凹角对应的目标边切割得到的，由于二者切割方法不同，从而最终得到的各个子多边形中，可能存在可以合并的共边的三角形、梯形、矩形等。

可以理解的是，确定第四子多边形与第三子多边形是否有重合边的方式有多种，比如可以根据各个顶点坐标、边长等确定，本申请对此不做限定。

可选的，可以基于第二多边形集合中的第四子多边形及第一多边形集合中的第三子多边形的各个顶点坐标，确定第四子多边形及所述第三子多边形中的各个边长，在任一第四子多边形与任一第三子多边形存在相同边长的情况下，确定任一第四子多边形与任一第三子多边形中相同边长对应的端点坐标是否一致，在端点坐标一致的情况下，确定任一第四子多边形与任一第三子多边形具有重合边。

举例来说，可以先根据各个第三子多边形及各个第四子多边形的顶点坐标，确定处各个第三子多边形及各个第四子多边形中的各个边长。比如，第三子多边形1与第四子多边形1如图7所示，其中，第三子多边形1中的各条边长分别为：60、80、100，第四子多边形1中的各条变长分别为：80、150、80、150，若第三子多边形1中边长80对应的两个顶点坐标分别为(70，10)、(70，90)，获取第四子多边形1中100对应的边长1的两个顶点坐标分别为(70，10)、(70，90)，100对应的边长2的两个顶点坐标分别为(220，10)、(220，90)，由于第三子多边形1中边长80对应的两个顶点坐标与第四子多边形中的边长1的两个顶点坐标一致，那么可以确定该第三子多边形1与第四子多边形1具有重合边。

需要说明的是，上述示例只是示意性说明，不能作为对本申请实施例中各子多边形的顶点坐标、形状等的限定。

可选的，也可以基于第二多边形集合中的第四子多边形和第一多边形集合中的第三子多边形中的各个顶点坐标，确定第四子多边形与第三子多边形间是否存在具有相同坐标的共有顶点，在任一第四子多边形与任一第三子多边形间存在两个共有顶点、且两个共有顶点属于同一条边的情况下，确定任一第四子多边形与所述任一第三子多边形具有重合边。

举例来说，第三子多边形1与第四子多边形1如图7所示，其中，第三子多边形1顶点坐标分别为(10，10)、(70，10)、(70，90)，第四子多边形1中的各个顶点坐标分别为(70，10)、(70，90)、(220，10)、(220，90)，由于第三子多边形1与第四子多边形1存在两个相同坐标的共有顶点，且在第三子多边形1中这两个共有顶点属于同一条边，在第四子多边形1中这两个共有顶点也属于同一条边，那么可以确定该第三子多边形1与第四子多边形1具有重合边。

需要说明的是，上述示例只是示意性说明，不能作为对本申请实施例中各子多边形的顶点坐标、形状等的限定。

步骤509，在任一第四子多边形与任一第三子多边形具有重合边的情况下，将任一第四子多边形与任一第三子多边形进行拼接，以得到第五子多边形。

可以理解的是，由于断裂切割得到的图形数量、形状等，会影响书写掩膜的运行时间、完整性和成本，从而对于具有重合边的子多边形可以将其进行拼接，以减少子多边形的数量，从而为后续提高书写掩膜的运行时间、完整性和成本提供了条件。比如图7中的第三子多边形1与第四子多边形1具有重合边，那么可以将第三子多边形1与第四子多边形1进行拼接，以得到第五子多边形，而第三子多边形1与第四子多边形2没有重合边、第三子多边形2与第四子多边形1没有重合边、第三子多边形2与第四子多边形2没有重合边等等，本申请对此不做限定。

步骤510，将第五子多边形、第二多边形集合中除去具有重合边的第四子多边形以及第一多边形集合中除去具有重合边的第三子多边形，确定为第三多边形集合。

可以理解的是，在得到第一多边形集合及第二多边形集合后，通过将第四子多边形与第三子多边形进行匹配，以确定是否存在具有重合边可以拼接合并的子多边形，在将具有重合边的子多边形拼接后，可以将第一多边形集合中除具有重合边的第三子多边形之外的其余第三子多边形、第一子多边形、第二子多边形，以及第二多边形集合中除具有重合边的第四子多边形之外的其余第四子多边形，以及具有重合边拼接而成的第五子多边形，确定为第三多边形集合，那么之后可以将该第三多边形集合中的各个子多边形作为可变形电子束的输入，之后将其制作到掩模版上，再将掩模版上的图案曝光到晶圆片上，以制造集成电路等等，本申请对此不做限定。

可选的，还可以基于第三多边形集合中每个子多边形的顶点数量，确定每个子多边形是否满足预设要求，在任一子多边形不满足预设要求的情况下，将任一子多边形重新进行切割，以生成满足预设要求的目标子多边形，在每个子多边形均满足预设要求的情况下，将每个子多边形按照预设格式进行处理，以生成对应的目标文件。

可以理解的是，为了避免可能存在不满足要求的子多边形，在得到第三多边形集合后，还可以对第三多边形集合中的每个子多边形再进行校验，以保障得到的各个子多边形均为符合要求的、易操作的图形，为后续提高集成电路的制造的精确度提供了条件。

其中，预设要求可以为提前设定的，比如可以为三角形、矩形、梯形为满足预设要求的多边形，其对应的顶点数量分别为：3、4、4。若第三多边形集合中每个子多边形的顶点数量属于3和4中的一项，那么可以确定该第三边形集合中每个子多边形均满足预设要求，那么此时可以将该第三边形集合中每个子多边形按照格式进行处理，以生成对应的目标文件。

若第三多边形集合中存在某一子多边形的顶点数量为7，不属于3和4中的一项，那么此时可以对该某一子多边形重新进行切割，以生成满足预设要求的目标子多边形。

具体地，在对该顶点数量为7的某子多边形重新进行切割时，可以先确定该子多边形内部的独立弦，按照独立弦将其进行切割，以得到多个第一子多边形，之后判断该第一子多边形是否满足预设要求、是否存在斜边，再采用相应的切割方法对其进行切割处理，以得到切割后的新子多边形，在其满足预设要求的情况下，将其添加至第三多边形集合中，之后可以将第三多边形集合中每个子多边形按照格式进行处理，以生成对应的目标文件等等，本申请对此不做限定。

需要说明的是，对不满足预设要求的任一子多边形重新进行切割的具体方法及实现形式，可以参照本申请各实施例的说明，此处不再赘述。

本申请实施例，可以先将掩膜版图上的每个多边形进行处理，以确定每个多边形内部的独立弦，之后可以按照每个多边形内部的独立弦，将每个多边形进行切割，以得到多个第一子多边形，在任一第一子多边形不满足预设要求且存在斜边的情况下，基于任一第一子多边形中的斜边，将任一第一子多边形进行切割，以得到多个第二子多边形，在任一第二子多边形包含斜边且不满足预设要求的情况下，将任一第二子多边形进行切割，以得到多个第三子多边形，之后可以将满足预设要求的第一子多边形、第二子多边形和第三子多边形，确定为第一多边形集合，在第一子多边形、第二子多边形及第三子多边形中任一子多边形为不满足预设要求的曼哈顿多边形的情况下，基于任一子多边形中的特定凹角对任一子多边形切割，以得到多个第四子多边形，并将多个第四子多边形确定为第二多边形集合，之后可以判断第二多边形集合中的第四子多边形与第一多边形集合中的第三子多边形是否有重合边，在任一第四子多边形与任一第三子多边形具有重合边的情况下，将任一第四子多边形与所述任一第三子多边形进行拼接，以得到第五子多边形，将第五子多边形、第二多边形集合中除去具有重合边的第四子多边形以及第一多边形集合中除去具有重合边的第三子多边形，确定为第三多边形集合。由此，在将掩膜版图上的多边形进行处理时，可以先基于多边形内部的独立弦、斜边，将多边形进行切割，之后将满足预设要求的各个子多边形确定为第一子多边形集合，对于不满足预设要求、且为曼哈顿多边形的任一子多边形，则基于任一子多边形中的特定凹角对其进行切割，得到第四子多边形，之后可以进一步将具有重合边的第四子多边形与第三子多边形进行拼接，以得到第五子多边形，进而得到第三多边形集合以待后续进行集成电路的制造，从而在将掩模版图上的多边形进行切割时，充分考虑到了各多边形内部的独立弦、斜边的存在，从而可以实现对任意角度斜边的切割，也使得切割得到的各子多边形尽可能地准确、可靠，提高了多边形切割的准确性和可靠性，进而提高了掩膜数据准备的质量，为后续集成电路的制造提供了保障。

根据本申请提供一种掩膜数据的处理装置，如图8所示，该装置包括处理模块810、第一切割模块820、第二切割模块830、第三切割模块840和第一确定模块850。

其中，处理模块810用于将掩膜版图上的每个多边形进行处理，以确定每个所述多边形内部的独立弦；第一切割模块820，用于按照每个所述多边形内部的独立弦，将每个所述多边形进行切割，以得到多个第一子多边形；第二切割模块830用于在任一第一子多边形不满足预设要求且存在斜边的情况下，基于所述任一第一子多边形中的斜边，将所述任一第一子多边形进行切割，以得到多个第二子多边形；第三切割模块840用于在任一第二子多边形存在斜边且不满足预设要求的情况下，将所述任一第二子多边形进行切割，以得到多个第三子多边形；第一确定模块850用于将满足预设要求的第一子多边形、第二子多边形和第三子多边形，确定为第一多边形集合。

在一些实施方式中，所述第二切割模块830具体用于：以所述斜边为对角线，构造每条所述斜边对应的边界框；基于每条所述斜边对应的边界框，将所述任一第一子多变形进行切割，以得到多个第二子多边形。

在一些实施方式中，所述第三切割模块840具体用于：将所述任一第二子多边形中的各个顶点向坐标轴进行投影，以确定投影点，其中，所述投影点中包含投影到坐标轴上的起点、终点及至少一个中间点；将所述中间点沿坐标方向与斜边连接，以形成切割线；将所述任一第二子多边形沿所述切割线进行切割，以得到多个第三子多边形。

在一些实施方式中，所述装置还包括：第四切割模块用于在所述第一子多边形、所述第二子多边形及所述第三子多边形中任一子多边形为不满足预设要求的曼哈顿多边形的情况下，基于所述任一子多边形中的特定凹角对所述任一子多边形切割，以得到多个第四子多边形；第二确定模块用于将所述多个第四子多边形确定为第二多边形集合。

在一些实施方式中，所述第四切割模块具体用于：基于所述任一子多边形中特定凹角对应的顶点向所述任一子多边形内部分别发射水平射线及竖直射线，以确定水平射线与竖直射线相交处的节点；基于每个所述节点对应的水平射线及竖直射线，确定每个所述节点对应的候选边的增益；将每个所述节点中较大增益对应的候选边，确定为每个所述节点对应的目标边；按照每个所述目标边，将所述任一子多边形进行切割，以得到多个第四子多边形。

在一些实施方式中，所述装置还包括：判断模块用于判断所述第二多边形集合中的第四子多边形与所述第一多边形集合中的第三子多边形是否有重合边；拼接模块用于在任一第四子多边形与任一第三子多边形具有重合边的情况下，将所述任一第四子多边形与所述任一第三子多边形进行拼接，以得到第五子多边形；第三确定模块用于将所述第五子多边形、所述第二多边形集合中除去具有重合边的第四子多边形以及所述第一多边形集合中除去具有重合边的第三子多边形，确定为第三多边形集合。

在一些实施方式中，所述判断模块具体用于：基于所述第二多边形集合中的第四子多边形及所述第一多边形集合中的第三子多边形的各个顶点坐标，确定所述第四子多边形及所述第三子多边形中的各个边长；在任一第四子多边形与任一第三子多边形存在相同边长的情况下，确定所述任一第四子多边形与所述任一第三子多边形中所述相同边长对应的端点坐标是否一致；在所述端点坐标一致的情况下，确定所述任一第四子多边形与所述任一第三子多边形具有重合边。

在一些实施方式中，所述判断模块还具体用于：基于所述第二多边形集合中的第四子多边形和所述第一多边形集合中的第三子多边形中的各个顶点坐标，确定所述第四子多边形与所述第三子多边形间是否存在具有相同坐标的共有顶点；在任一第四子多边形与任一第三子多边形间存在两个共有顶点、且所述两个共有顶点属于同一条边的情况下，确定所述任一第四子多边形与所述任一第三子多边形具有重合边。

在一些实施方式中，所述第三确定模块还用于：基于所述第三多边形集合中每个子多边形的顶点数量，确定每个子多边形是否满足预设要求；在任一子多边形不满足预设要求的情况下，将所述任一子多边形重新进行切割，以生成满足预设要求的目标子多边形；在每个所述子多边形均满足预设要求的情况下，将每个所述子多边形按照预设格式进行处理，以生成对应的目标文件。

本申请提供的掩膜数据的处理装置，可以先将掩膜版图上的每个多边形进行处理，以确定每个多边形内部的独立弦，之后可以照每个多边形内部的独立弦，将每个多边形进行切割，以得到多个第一子多边形，在任一第一子多边形不满足预设要求且存在斜边的情况下，可以基于任一第一子多边形中的斜边，将任一第一子多边形进行切割，以得到多个第二子多边形，之后可以在任一第二子多边形包含斜边且不满足预设要求的情况下，将任一第二子多边形进行切割，以得到多个第三子多边形，并将满足预设要求的第一子多边形、第二子多边形和第三子多边形，确定为第一多边形集合。由此，在将掩膜版图上的多边形进行处理时，可以先基于多边形内部的独立弦将多边形进行切割，得到第一子多边形，之后若第一子多边形不满足预设要求、且存在斜边，那么可以基于斜边继续进行切割，若得到的第二子多边形仍存在斜边、且不满足预设要求继续进行切割，之后将满足预设要求的各个子多边形确定为第一子多边形集合，以待后续进行集成电路的制造，从而在将掩模版图上的多边形进行切割时，充分考虑到了各多边形内部的独立弦、斜边的存在，从而可以实现对多边形中任意角度斜边的切割，也使得切割得到的各子多边形尽可能地准确、可靠，提高了多边形切割的准确性和可靠性，进而提高了掩膜数据准备的质量，为后续集成电路的制造提供了保障。

应理解，本文中前述关于本申请的方法所描述的具体特征、操作和细节也可类似地应用于本申请的装置和系统，或者，反之亦然。另外，上文描述的本申请的方法的每个步骤可由本申请的装置或系统的相应部件或单元执行。

应理解，本申请的装置的各个模块/单元可全部或部分地通过软件、硬件、固件或其组合来实现。各模块/单元各自可以硬件或固件形式内嵌于电子设备的处理器中或独立于处理器，也可以软件形式存储于电子设备的存储器中以供处理器调用来执行各模块/单元的操作。各模块/单元各自可以实现为独立的部件或模块，或者两个或更多个模块/单元可实现为单个部件或模块。

如图9所示，本申请提供了一种电子设备900，电子设备包括处理器901以及存储有计算机程序指令的存储器902。其中，处理器901执行计算机程序指令时实现上述的掩膜数据的处理方法的各步骤。该电子设备900可以广义地为服务器、终端，或任何其他具有必要的计算和/或处理能力的电子设备。

在一个实施例中，该电子设备900可包括通过系统总线连接的处理器、存储器、网络接口、通信接口等。该电子设备900的处理器可用于提供必要的计算、处理和/或控制能力。该电子设备900的存储器可包括非易失性存储介质和内存储器。该非易失性存储介质可存储有操作系统、计算机程序等。该内存储器可为非易失性存储介质中的操作系统和计算机程序的运行提供环境。该电子设备900的网络接口和通信接口可用于与外部的设备通过网络连接和通信。该计算机程序被处理器执行时执行本申请的方法的步骤。

本申请提供了一种计算机可读存储介质，计算机可读存储介质上存储有计算机程序指令，计算机程序指令被处理器执行时实现上述的掩膜数据的处理方法。

本领域的技术人员可以理解，本申请的方法步骤可以通过计算机程序来指示相关的硬件如电子设备900或处理器完成，计算机程序可存储于非暂时性计算机可读存储介质中，该计算机程序被执行时导致本申请的步骤被执行。根据情况，本文中对存储器、存储或其它介质的任何引用可包括非易失性或易失性存储器。非易失性存储器的示例包括只读存储器(ROM)、可编程ROM(PROM)、电可编程ROM(EPROM)、电可擦除可编程ROM(EEPROM)、闪存、磁带、软盘、磁光数据存储装置、光学数据存储装置、硬盘、固态盘等。易失性存储器的示例包括随机存取存储器(RAM)、外部高速缓冲存储器等。

以上描述的各技术特征可以任意地组合。尽管未对这些技术特征的所有可能组合进行描述，但这些技术特征的任何组合都应当被认为由本说明书涵盖，只要这样的组合不存在矛盾。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种掩膜数据的处理方法，其特征在于，包括：

将掩膜版图上的每个多边形进行处理，以确定每个所述多边形内部的独立弦；

按照每个所述多边形内部的独立弦，将每个所述多边形进行切割，以得到多个第一子多边形；

在任一第一子多边形不满足预设要求且存在斜边的情况下，基于所述任一第一子多边形中的斜边，将所述任一第一子多边形进行切割，以得到多个第二子多边形；

在任一第二子多边形存在斜边且不满足预设要求的情况下，将所述任一第二子多边形进行切割，以得到多个第三子多边形；

将满足预设要求的第一子多边形、第二子多边形和第三子多边形，确定为第一多边形集合。

2.如权利要求1所述的掩膜数据的处理方法，其特征在于，所述在任一第一子多边形不满足预设要求且存在斜边的情况下，基于所述任一第一子多边形中的斜边，将所述任一第一子多边形进行切割，以得到多个第二子多边形，包括：

以所述斜边为对角线，构造每条所述斜边对应的边界框；

基于每条所述斜边对应的边界框，将所述任一第一子多变形进行切割，以得到多个第二子多边形。

3.如权利要求1所述的掩膜数据的处理方法，其特征在于，所述在任一第二子多边形存在斜边且不满足预设要求的情况下，将所述任一第二子多边形进行切割，以得到多个第三子多边形，包括：

将所述任一第二子多边形中的各个顶点向坐标轴进行投影，以确定投影点，其中，所述投影点中包含投影到坐标轴上的起点、终点及至少一个中间点；

将所述中间点沿坐标方向与斜边连接，以形成切割线；

将所述任一第二子多边形沿所述切割线进行切割，以得到多个第三子多边形。

4.如权利要求1所述的掩膜数据的处理方法，其特征在于，所述方法还包括：

在所述第一子多边形、所述第二子多边形及所述第三子多边形中任一子多边形为不满足预设要求的曼哈顿多边形的情况下，基于所述任一子多边形中的特定凹角对所述任一子多边形切割，以得到多个第四子多边形；

将所述多个第四子多边形确定为第二多边形集合。

5.如权利要求4所述的掩膜数据的处理方法，其特征在于，所述基于所述任一子多边形中的特定凹角对所述任一子多边形切割，以得到多个第四子多边形，包括：

基于所述任一子多边形中特定凹角对应的顶点向所述任一子多边形内部分别发射水平射线及竖直射线，以确定水平射线与竖直射线相交处的节点；

基于每个所述节点对应的水平射线及竖直射线，确定每个所述节点对应的候选边的增益；

将每个所述节点中较大增益对应的候选边，确定为每个所述节点对应的目标边；

按照每个所述目标边，将所述任一子多边形进行切割，以得到多个第四子多边形。

6.如权利要求4所述的掩膜数据的处理方法，其特征在于，所述方法还包括：

判断所述第二多边形集合中的第四子多边形与所述第一多边形集合中的第三子多边形是否有重合边；

在任一第四子多边形与任一第三子多边形具有重合边的情况下，将所述任一第四子多边形与所述任一第三子多边形进行拼接，以得到第五子多边形；

将所述第五子多边形、所述第二多边形集合中除去具有重合边的第四子多边形以及所述第一多边形集合中除去具有重合边的第三子多边形，确定为第三多边形集合。

7.如权利要求6所述的掩膜数据的处理方法，其特征在于，所述判断所述第二多边形集合中的第四子多边形与所述第一多边形集合中的第三子多边形是否有重合边，包括：

基于所述第二多边形集合中的第四子多边形及所述第一多边形集合中的第三子多边形的各个顶点坐标，确定所述第四子多边形及所述第三子多边形中的各个边长；

在任一第四子多边形与任一第三子多边形存在相同边长的情况下，确定所述任一第四子多边形与所述任一第三子多边形中所述相同边长对应的端点坐标是否一致；

在所述端点坐标一致的情况下，确定所述任一第四子多边形与所述任一第三子多边形具有重合边。

8.如权利要求6所述的掩膜数据的处理方法，其特征在于，所述判断所述第二多边形集合中的第四子多边形与所述第一多边形集合中的第三子多边形是否有重合边，包括：

基于所述第二多边形集合中的第四子多边形和所述第一多边形集合中的第三子多边形中的各个顶点坐标，确定所述第四子多边形与所述第三子多边形间是否存在具有相同坐标的共有顶点；

在任一第四子多边形与任一第三子多边形间存在两个共有顶点、且所述两个共有顶点属于同一条边的情况下，确定所述任一第四子多边形与所述任一第三子多边形具有重合边。

9.如权利要求6所述掩膜数据的处理方法，其特征在于，所述方法还包括：

基于所述第三多边形集合中每个子多边形的顶点数量，确定每个子多边形是否满足预设要求；

在任一子多边形不满足预设要求的情况下，将所述任一子多边形重新进行切割，以生成满足预设要求的目标子多边形；

在每个所述子多边形均满足预设要求的情况下，将每个所述子多边形按照预设格式进行处理，以生成对应的目标文件。

10.一种掩膜数据的处理装置，其特征在于，所述装置包括：

处理模块，用于将掩膜版图上的每个多边形进行处理，以确定每个所述多边形内部的独立弦；

第一切割模块，用于按照每个所述多边形内部的独立弦，将每个所述多边形进行切割，以得到多个第一子多边形；

第二切割模块，用于在任一第一子多边形不满足预设要求且存在斜边的情况下，基于所述任一第一子多边形中的斜边，将所述任一第一子多边形进行切割，以得到多个第二子多边形；

第三切割模块，用于在任一第二子多边形存在斜边且不满足预设要求的情况下，将所述任一第二子多边形进行切割，以得到多个第三子多边形；

第一确定模块，用于将满足预设要求的第一子多边形、第二子多边形和第三子多边形，确定为第一多边形集合。