CN1166970C - 微机械光纤定位器 - Google Patents
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Abstract
微机械光纤定位器主要包括：光纤、光纤定位基准面、光纤夹紧弹簧片、基体和基底，光纤、光纤定位基准面、光纤夹紧弹簧片、基体设置在基底上，光纤夹紧弹簧片与基体和基底相连，光纤夹紧弹簧片将光纤压向光纤定位基准面和基底。本发明具有实质性特点和显著进步，该定位器具有面积小，加工精度高，一致性及可靠性好，插入损耗低的优点，能与微电子机械系统器件系统集成，从而实现微电子机械系统光学器件批量化、集成化生产。
Description
技术领域
本发明涉及的是一种光纤定位器，尤其是一种微机械光纤定位器，属于光纤通信领域。
背景技术
光纤通信是信息高速公路通信网络的主要手段之一，它具有传输速率高，设备简单，传输距离长，抗干扰能力强，传输损耗小等优点，是现代通信领域的主要发展方向。光纤通信涉及到如光开关、光隔离器、光衰减器、光耦合器、光纤波分复用器等多种光通信器件，随着微电子机械系统技术的发展，光通信器件也正向小型化、集成化发展。近年来国际上这方面的研究主要集中在微电子机械系统光开关、微电子机械系统光衰减器方面。所有上述微电子机械系统光通信器件都涉及到光纤定位装置。Cornel Marxer等人1997年发表于《microelectromechanical system》P277-285“采用深反应离子刻蚀制备用于光开关的垂直镜”上的文章中提到真正意义上的弹簧设计。如文中图5和图6所示，该夹紧片与基底脱离。通常将夹紧片与基底之间被牺牲掉的一层物质称为牺牲层。由于该文中的牺牲层是采用硅在绝缘体上的技术来实现的，因此该层厚度有限，这就使得夹紧片对光纤的作用只是将光纤推向靠山，要确保光纤压到基底仍然需要在光纤上面设置压盖。由于压盖的制备及其压盖与光纤部分的合成还牵涉到复杂的工艺，因而制备的难度大，成本高。另外由于该弹簧所用材料为硅，因而还存在硅较脆且不便于与其他光学材料集成的问题。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种微机械光纤定位器。使其能与微电子机械系统器件系统集成，从而实现微电子机械系统光学器件批量化、集成化生产。本发明是根据以下技术方案来实现的，本发明包括：光纤、光纤定位基准面、光纤夹紧弹簧片、基体和基底，光纤、光纤定位基准面、光纤夹紧弹簧片、基体设置在基底上，光纤夹紧弹簧片与基体和基底相连，光纤夹紧弹簧片将光纤压向光纤定位基准面和基底。光纤夹紧弹簧片与光纤接触区位于光纤横截面的上半圆。光纤夹紧弹簧片可以是单片，也可以是多片。如果有并列多根光纤定位，则与光纤夹紧弹簧片相连的基体可作为相邻光纤定位基准面。如果需夹紧的光纤较长，可在设计时增加弹簧片。离光纤端部最近的夹紧弹簧片与光纤端部的距离不应太大，否则光纤端部会翘曲导致插入损耗增大。
用垂直基准面为靠山定位，用光纤夹紧弹簧片夹紧光纤的定位机构，它作用于光纤的力由两个分力构成，它们分别是将光纤推向靠山的作用力和将光纤压向基底的作用力。由于该方法仅涉及到表面加工工艺，因此它不仅加工工艺简单，而且加工精度高，一致性好，插入损耗低。该定位机构所需面积小，可方便地与微电子机械系统光器件集成。光纤定位基准面与光纤夹紧弹簧片的间距、弹簧片的形状、尺寸、材料及数量的设计应视具体应用要求而定，设计目标都是使光纤插入时，光纤夹紧弹簧片作用于光纤的力不会引起光纤断裂，并且在光纤拉出时，光纤夹紧弹簧片不会受损。
本发明具有实质性特点和显著进步，该定位器具有面积小，加工精度高，一致性及可靠性好，插入损耗低的优点，能与微电子机械系统器件系统集成，从而实现微电子机械系统光学器件批量化、集成化生产。
附图说明
图1本发明结构示意图
图2本发明剖视结构示意图
具体实施方式
如图1、图2所示，本发明包括：光纤1、光纤定位基准面2、光纤夹紧弹簧片3、基体4和基底5，光纤1、光纤定位基准面2、光纤夹紧弹簧片3、基体4设置在基底5上，光纤夹紧弹簧片3与基体4和基底5相连，光纤夹紧弹簧片3将光纤1压向光纤定位基准面2和基底5。光纤夹紧弹簧片3与光纤1接触区位于光纤1横截面的上半圆。光纤夹紧弹簧片3可以是单片，也可以是多片。如果有并列多根光纤1定位，则与光纤夹紧弹簧片3相连的基体4可作为相邻光纤定位基准面2。
Claims (4)
1、一种微机械光纤定位器，包括：光纤(1)、光纤定位基准面(2)、基体(4)和基底(5)，其特征在于，还包括：光纤夹紧弹簧片(3)，光纤(1)、光纤定位基准面(2)、光纤夹紧弹簧片(3)、基体(4)设置在基底(5)上，光纤夹紧弹簧片(3)与基体(4)和基底(5)相连，光纤夹紧弹簧片(3)将光纤(1)压向光纤定位基准面(2)和基底(5)。
2、根据权利要求1所述的微机械光纤定位器，其特征在于光纤夹紧弹簧片(3)与光纤(1)接触区位于光纤(1)横截面的上半圆。
3、根据权利要求1所述的微机械光纤定位器，其特征在于光纤夹紧弹簧片(3)是单片或多片。
4、根据权利要求1所述的微机械光纤定位器，其特征在于有并列多根光纤(1)定位，则与光纤夹紧弹簧片(3)相连的基体(4)作为相邻光纤定位基准面(2)。
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
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| CN1349116A CN1349116A (zh) | 2002-05-15 |
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- 2001-11-22 CN CNB011322705A patent/CN1166970C/zh not_active Expired - Fee Related
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