CN116659820A - 一种衍射光学元件的测试设备、方法、装置及存储介质 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 353
- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 218
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 83
- 238000003860 storage Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000010998 test method Methods 0.000 claims abstract description 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 48
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 15
- 238000004590 computer program Methods 0.000 claims description 14
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 abstract description 6
- ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N nobelium Chemical compound [No] ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 34
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 15
- 230000006870 function Effects 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 3
- 238000004422 calculation algorithm Methods 0.000 description 2
- 238000013100 final test Methods 0.000 description 2
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 2
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0242—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations
- G01M11/0257—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations by analyzing the image formed by the object to be tested
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0207—Details of measuring devices
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0285—Testing optical properties by measuring material or chromatic transmission properties
Abstract
本公开实施例提供了衍射光学元件的测试设备、方法、装置及存储介质，涉及光学测试技术领域。该衍射光学元件的测试方法，包括：在第一位置时，衍射光学元件射出的衍射光束射入透射屏，并在透射屏上形成衍射光束图案；图像采集设备采集衍射光束图案，获得第一测试信息；在第二位置时，衍射光学元件射出的衍射光束和光源射出的激光分别射入光功率计；光功率计获得第二测试信息和第三测试信息；根据第一测试信息、第二测试信息和第三测试信息，确定衍射光学元件的衍射测试结果。通过该方法，可以测试出衍射光学元件相关的各种光学参数，进而计算得到待测衍射光学元件的各个光学性能参数，实现对衍射光学元件的测试评估。
Description
技术领域
本公开涉及光学测试技术领域，尤其涉及一种衍射光学元件的测试设备、方法、装置及计算机可读存储介质。
背景技术
衍射光学元件(Diffractive Optical Element，简称DOE)，是一种基于光的衍射原理，并通过微电子加工技术在光学材料表面刻蚀产生两个或多个台阶深度的深雕结构。通过光学衍射制备而成的衍射光学元件能够在保持较高衍射效率的同时对光强分布进行精确控制，因此衍射光学元件成为实现离轴照明的理想元件。衍射光学元件，已被广泛应用于3D深度相机的激光投射模组中。衍射光学元件的性能直接影响投影图案质量，进一步影响深度相机的深度成像效果。因此，找到一种准确的测试衍射光学元件光学性能的方法显得尤为重要。
发明内容
本公开实施例的目的在于提供了一种衍射光学元件的测试设备、方法、装置及计算机可读存储介质，以至少一定程度上解决相关技术中的技术问题。
本公开实施例提供了一种衍射光学元件的测试设备，包括：
光源，用于发射激光；
衍射光学元件，与所述光源相对设置，用于将所述光源发射的激光进行衍射；
透射屏，与所述衍射光学元件相对设置，用于接收所述衍射光学元件射出的衍射光束，并在所述透射屏上形成衍射光束图案；
图像采集设备，与所述透射屏相对设置，用于采集所述透射屏上的衍射光束图案；
光功率计，与所述衍射光学元件相对设置，用于测量由所述光源或衍射光学元件射入光束的光功率；
所述光源和衍射光学元件固定在导轨上，并沿所述导轨滑动至第一位置和第二位置；在所述光源和衍射光学元件滑动至第一位置时，所述衍射光学元件与所述透射屏相对，使所述衍射光学元件射出的衍射光束射入所述透射屏；在所述光源和衍射光学元件滑动至第二位置时，所述衍射光学元件与所述光功率计相对，使所述衍射光学元件射出的衍射光束射入所述光功率计。
根据本公开实施例的另一方面，提供了一种衍射光学元件的测试方法，包括：
在光源和衍射光学元件位于第一位置时，所述衍射光学元件射出的衍射光束射入透射屏，并在所述透射屏上形成衍射光束图案；图像采集设备采集所述衍射光束图案，获得第一测试信息；
在所述光源和衍射光学元件位于第二位置时，所述衍射光学元件射出的衍射光束射入光功率计；所述光功率计获得第二测试信息；
在所述光源和衍射光学元件位于第二位置时，移除所述衍射光学元件，使所述光源射出的激光射入所述光功率计；所述光功率计获得第三测试信息；
根据所述第一测试信息、第二测试信息和第三测试信息，确定所述衍射光学元件的衍射测试结果。
在本公开的一些示例性实施例中，所述还包括：
所述衍射光束图案，包括若干衍射光斑；所述第一测试信息，包括：各个所述衍射光斑的光斑位置信息Pmn和光斑亮度Bmn；
所述第二测试信息，包括：中心光束光功率PC；所述中心光束光功率PC为所述衍射光学元件射出衍射光束中，中心光束的光功率；
所述第三测试信息，包括：激光光功率Pi；所述激光光功率Pi为所述光源射出激光的光功率。
在本公开的一些示例性实施例中，所述还包括：
确定各个所述衍射光斑的峰值位置Pmn_max和峰值亮度Bmn_max；
根据所述衍射光斑的峰值亮度Bmn_max和预设的选定比例阈值δ，确定所述衍射光斑的待选定区域；所述待选定区域内的光斑亮度大于δ*Bmn_max；
以所述待选定区域的长轴作为直径D，求取所述待选定区域的质心Omn；以所述质心Omn为圆心，以所述直径D确定的圆形区域为所述衍射光斑的选定区域；
基于所述衍射光斑的选定区域进行光斑亮度积分计算，得到所述衍射光斑的光斑亮度Bmn；所述质心Omn为所述衍射光斑的光斑位置信息Pmn。
在本公开的一些示例性实施例中，所述以所述待选定区域的长轴作为直径D，求取所述待选定区域的质心Omn；以所述质心Omn为圆心，以所述直径D确定的圆形区域为所述衍射光斑的选定区域，包括：
以第一待选定区域的长轴作为第一直径D1，求取所述第一待选定区域的第一质心Omnl；
以所述第一质心Omn1为圆心，以所述第一直径D1确定的圆形区域为第二待选定区域；
以所述第二待选定区域的长轴作为第二直径D2，求取所述第二待选定区域的第二质心Omn2；
重复上述过程，直至所述第二质心Omn2与第一质心Omn1的间距小于预设的间距阈值，以所述第二质心Omn2为圆心，以所述第二直径D2确定的圆形区域为所述衍射光斑的选定区域。
在本公开的一些示例性实施例中，所述衍射测试结果，包括：零级光强R0；所述零级光强R0，根据以下公式计算得到：
其中，B00为中心衍射光斑的光斑亮度，Bmn为各个所述衍射光斑的光斑亮度。
在本公开的一些示例性实施例中，所述衍射测试结果，包括：光斑均匀性U；所述光斑均匀性U，根据以下公式计算得到：
其中，Bmax为各个所述衍射光斑中的最大光斑亮度，Bmin为各个所述衍射光斑中的最小光斑亮度。
在本公开的一些示例性实施例中，所述衍射测试结果，包括：衍射效率DE；所述衍射效率DE，根据以下公式计算得到：
其中，B00为中心衍射光斑的光斑亮度，Bmn为各个所述衍射光斑的光斑亮度，PC为所述中心光束光功率，Pi为所述激光光功率。
根据本公开实施例的另一方面，提供了一种衍射光学元件的测试装置，包括：
第一测试信息模块，用于在光源和衍射光学元件位于第一位置时，采集所述衍射光学元件射出的衍射光束射入透射屏形成的衍射光束图案，获得第一测试信息；
第二测试信息模块，用于在所述光源和衍射光学元件位于第二位置时，获得所述衍射光学元件射出的衍射光束的第二测试信息；
第三测试信息模块，用于在所述光源和衍射光学元件位于第二位置时，获得所述光源射出激光的第二测试信息；
衍射测试结果确定模块，用于根据所述第一测试信息、第二测试信息和第三测试信息，确定所述衍射光学元件的衍射测试结果。
根据本公开实施例的另一方面，提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序适于由处理器加载并执行，以使得具有所述处理器的计算机设备执行所述任一项衍射光学元件的测试方法。
本公开实施例提供的一种衍射光学元件的测试方法，在光源和衍射光学元件位于第一位置时，所述衍射光学元件射出的衍射光束射入透射屏，并在所述透射屏上形成衍射光束图案；图像采集设备采集所述衍射光束图案，获得第一测试信息；在所述光源和衍射光学元件位于第二位置时，所述衍射光学元件射出的衍射光束射入光功率计；所述光功率计获得第二测试信息；所述光源射出的激光射入所述光功率计；所述光功率计获得第三测试信息；根据所述第一测试信息、第二测试信息和第三测试信息，确定所述衍射光学元件的衍射测试结果。通过本公开实施例提供的衍射光学元件的测试方法，可以高效准确的实现光源和衍射光学元件在第一位置和第二位置间进行切换，从而测试出衍射光学元件相关的各种光学参数，进而计算得到待测衍射光学元件的各个光学性能参数，实现对衍射光学元件的测试评估。
应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。
附图说明
此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是根据一示例性实施例示出的衍射光学元件的测试设备的结构示意图；
图2是根据一示例性实施例示出的衍射光学元件的测试方法的流程图；
图3是根据一示例性实施例示出的衍射光束图案的示意图；
图4是根据一示例性实施例示出的图像采集设备获得第一测试信息的流程图；
图5是根据一示例性实施例示出的确定衍射光斑选定区域的流程图；
图6是根据一示例性实施例示出的衍射光斑选定区域的选定过程的示意图；
图7是根据一示例性实施例示出的衍射光学元件的测试装置的结构示意图；
图8是根据一示例性实施例示出的适于用来实现本公开示例性实施例的计算机设备的结构示意图。
具体实施方式
现在将参考附图更全面地描述示例实施例。然而，示例实施例能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施例；相反，提供这些实施例使得本公开将全面和完整，并将示例实施例的构思全面地传达给本领域的技术人员。在图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。
本公开所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施方式的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而省略特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、装置、步骤等。在其它情况下，不详细示出或描述公知方法、装置、实现或者操作以避免模糊本公开的各方面。
附图仅为本公开的示意性图解，图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。附图中所示的一些方框图不一定必须与物理或逻辑上独立的实体相对应。可以采用软件形式来实现这些功能实体，或在至少一个硬件模块或集成电路中实现这些功能实体，或在不同网络和/或处理器装置和/或微控制器装置中实现这些功能实体。
附图中所示的流程图仅是示例性说明，不是必须包括所有的内容和步骤，也不是必须按所描述的顺序执行。例如，有的步骤还可以分解，而有的步骤可以合并或部分合并，因此实际执行的顺序有可能根据实际情况改变。
本说明书中，用语“一个”、“一”、“该”、“所述”和“至少一个”用以表示存在至少一个要素/组成部分/等；用语“包含”、“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等；用语“第一”、“第二”和“第三”等仅作为标记使用，不是对其对象的数量限制。
随着消费领域的逐渐升级，3D成像技术被应用于消费领域的需求也日益迫切，3D成像技术除了对目标物体进行成像外还可以获取目标物体的深度信息，根据深度信息可以进一步实现3D人脸识别、虚拟场景建模、人机交互等功能。同时，又要求3D成像设备能够满足低功率、高性能、小型化的要求，以被设置于便于携带的电子终端设备中。
深度相机(3D相机)，通过相机能检测出拍摄空间的距离信息，这也是与普通摄像头最大的区别。普通的彩色相机拍摄到的图片能看到相机视角内的所有物体并记录下来，但是其所记录的数据不包含这些物体距离相机的距离。仅仅能通过图像的语义分析来判断哪些物体比较远，哪些比较近，并没有确切的数据。而3D相机能够解决该问题，通过3D相机获取到的数据，能准确知道图像中每个点离摄像头距离，这样加上该点在2D图像中的二维坐标，就能获取图像中每个点的三维空间坐标。通过三维坐标就能还原真实场景，实现场景建模等应用。
衍射光学元件(DOE)，是一种基于光的衍射原理，并通过微电子加工技术在光学材料表面刻蚀产生两个或多个台阶深度的深雕结构。DOE技术实现了传统光学系统不可行的许多功能和对光操作。许多应用中，这些技术极大的提高了系统性能。衍射光学方案拥有许多优势，例如：高效率，高精度，小尺寸，低重量，最重要的是它灵活的满足各种不同应用要求。衍射光学元件以其特殊的光学性能，已被广泛应用于深度相机的激光投射模组中。衍射光学元件的性能直接影响投影图案质量，进一步影响深度相机的深度成像效果。因此，找到一种准确的测试衍射光学元件光学性能的方法显得尤为重要。
基于此，本公开实施例提供了一种衍射光学元件的测试设备、方法、装置及计算机可读存储介质，可以高效准确地测试出衍射光学元件相关的各种光学参数，进而计算得到待测衍射光学元件的各个光学性能参数，实现对衍射光学元件的测试评估。
图1是根据一示例性实施例示出的衍射光学元件的测试设备的结构示意图。如图1所示，衍射光学元件的测试设备，包括：
光源101，用于发射激光；
衍射光学元件102，与光源101相对设置，用于将光源101发射的激光进行衍射；
透射屏104，与衍射光学元件102相对设置，用于接收衍射光学元件102射出的衍射光束，并在透射屏104上形成衍射光束图案；
图像采集设备105，与透射屏104相对设置，用于采集透射屏104上的衍射光束图案；
光功率计106，与衍射光学元件102相对设置，用于测量由光源101或衍射光学元件102射入光束的光功率；
所述光源101和衍射光学元件102固定在导轨103上，并沿导轨103滑动至第一位置和第二位置；在光源101和衍射光学元件102滑动至第一位置时，衍射光学元件102与透射屏104相对，使衍射光学元件102射出的衍射光束射入透射屏104；在光源101和衍射光学元件102滑动至第二位置时，衍射光学元件102与光功率计106相对，使衍射光学元件102射出的衍射光束射入光功率计106。
在本公开实施例中，光源101为边发射型的半导体激光器，其出射光是经过光束整形和光束准直后的圆形高斯光斑的激光光束。衍射光学元件102为待测衍射光学元件。该衍射光学元件102与光源101的出射光方向呈垂直关系，以使得由光源101射出的激光垂直入射到衍射光学元件102，经衍射光学元件102进行衍射后，形成衍射光束射出。
由于光学特性的要求，所述光源101和衍射光学元件102之间的间距不宜过大，否则无法形成有效的光学衍射。一般情况下，光源101和衍射光学元件102之间的间距应小于5mm。应当指出，上述光源和衍射光学元件之间的间距，仅用于说明本公开的一种具体实施方式，并不用于限定本公开的保护范围。
在本公开实施例中，光源101和衍射光学元件102固定在导轨103上，并沿导轨103滑动至第一位置和第二位置。在滑动过程中，光源101和衍射光学元件102之间的相对位置始终保持不变，以确保无论是在第一位置测试的光学参数，还是在第二位置测试的光学参数，始终保持一致性。
其中，所述第一位置为图案采集区域。在第一位置时，衍射光学元件102与透射屏104相对设置。图像采集设备105与衍射光学元件102分别位于透射屏104的两侧。衍射光学元件102射出的衍射光束射入透射屏104，并在透射屏104上形成衍射光束图案。图像采集设备105在透射屏104的另一侧，对该衍射光束图案进行图像采集。
在示例性实施例中，所述光源101、衍射光学元件102、透射屏104和图像采集设备105，处于共轴状态。这样，可以保证无论是衍射光束在透射屏104上所形成的衍射光束图案，还是图像采集设备105对该衍射光束图案的图像采集，都不会因为角度偏移而额外的引入畸变，造成对最终测试的光学参数带来误差影响。
其中，所述第二位置为光功率测量区域。在第二位置时，衍射光学元件102与光功率计106相对设置。衍射光学元件102射出的衍射光束射，以及光源101射出的激光，分别射入光功率计106。光功率计106，通常为硅基形的光功率计，用于测量入射光束的光功率。由于，光功率计为现所常用的光学测量仪器，在此就不再对其结构和测量原理做进一步限定。应认为，本领域技术人员所熟知的用于测量光功率的光学仪器，均可作为本公开中上述光功率计使用。
在示例性实施例中，所述光源101、衍射光学元件102和光功率计106，处于共轴状态。这样，只要通过移除衍射光学元件102的操作，光功率计106就可完成对衍射光学元件102射出的衍射光束和对光源101射出的激光的测量进行切换。更少的操作步骤，确保了相关测量参数的准确性。同时，基于该状态设置，光功率计106只对衍射光学元件102射出的衍射光束中的中心光束进行测量。基于前述图像采集设备105对衍射光束图案的图像采集，以及对衍射光束中的中心光束的测量，即可计算出其他衍射光束的相关光学参数。因此，光功率计106并不需要对衍射光束中每个衍射光束分别进行测量，进一步降低了测试的复杂性，同时也提高了最终测试结果的精度。应当指出，光功率计106也可以对衍射光学元件102射出的其他非中心衍射光束进行测量，进而基于前述图像采集设备105对衍射光束图案的图像采集，对其他衍射光束的相关光学参数进行计算，在此不再赘述。
在本公开实施例中，在处于第一位置时，衍射光学元件102与透射屏104之间的间距为第一间距。在处于第二位置时，衍射光学元件102与光功率计106之间的间距为第二间距。所述第一间距与第二间距相等。由于，本公开提供的衍射光学元件的测试设备在对衍射光学元件的光学性能进行测试时，需要利用分别于第一位置和第二位置所采集到的光学参数进行计算，得到待测衍射光学元件的各个光学性能参数。因此，将透射屏104与光功率计106放置在与衍射光学元件102相同的距离，可以不引入相对误差，保证获取相同状态的衍射光束图案和光功率。
在本公开实施例中，所述透射屏104既要透射衍射光束使得图像采集设备105可以采集到透射后的衍射光束，又要让衍射光束在其上形成清晰的衍射光束图案。因此，该透射屏104需要选取透过率均匀，且大于50％的漫反射的透光平面材料。在具体实施方式中，该透射屏104可以采用白纸、相纸或其他具备一定透射率的材料铺在玻璃板上制作而成。
在本公开实施例中，所述图像采集设备105包括：镜头和图像传感器。经调整该图像采集设备105和透射屏104之间的距离，使得图像采集设备105可以采集到透射屏104上完整的衍射光束图案。另外，该图像采集设备105还可以连接计算设备，用于将采集到的该衍射光束图案传输给计算设备，以计算获取相关的光学参数。
本公开实施例提供的衍射光学元件的测试设备，包括：光源，用于发射激光；衍射光学元件，用于将光源发射的激光进行衍射；透射屏，用于接收衍射光学元件射出的衍射光束，并形成衍射光束图案；图像采集设备，用于采集衍射光束图案；光功率计，用于测量由光源或衍射光学元件射入光束的光功率；光源和衍射光学元件固定在导轨上，并沿导轨滑动至第一位置和第二位置；在第一位置时，衍射光学元件与透射屏相对；在第二位置时，衍射光学元件与光功率计相对。通过本公开实施例提供的衍射光学元件的测试设备，可以高效准确的实现光源和衍射光学元件在第一位置和第二位置间进行切换，从而测试出衍射光学元件相关的各种光学参数，进而计算得到待测衍射光学元件的各个光学性能参数，实现对衍射光学元件的测试评估。
图2是根据一示例性实施例示出的衍射光学元件的测试方法的流程图。本公开实施例提供的方法可以基于图1实施例中的衍射光学元件的测试设备执行。
如图2所示，本公开实施例提供的衍射光学元件的测试方法，包括：
步骤S210，在光源和衍射光学元件位于第一位置时，所述衍射光学元件射出的衍射光束射入透射屏，并在所述透射屏上形成衍射光束图案；图像采集设备采集所述衍射光束图案，获得第一测试信息；
在本公开实施例中，所述第一位置为图案采集区域。在第一位置时，衍射光学元件与透射屏相对设置。由光源射出的激光垂直入射到衍射光学元件，经衍射光学元件进行衍射后，形成衍射光束射出。衍射光学元件射出的衍射光束射入透射屏，并在透射屏上形成衍射光束图案。图像采集设备在透射屏的另一侧，对该衍射光束图案进行图像采集，并基于所采集的衍射光束图案获得第一测试信息。
在本公开实施例中，由光源射出的激光经衍射光学元件进行衍射作用后，会分散成若干条衍射光束。图3是根据一示例性实施例示出的衍射光束图案的示意图。如图3所示，这些衍射光束照射在透射屏上，形成由若干衍射光斑呈阵列排布的衍射光束图案。其中，位于该衍射光斑阵列中心位置(图3中圈出位置)的，即为衍射光束中的中心光束所形成的衍射光斑。所述第一测试信息，包括：各个衍射光斑的光斑位置信息Pmn和光斑亮度Bmn。其中，以所述衍射光斑所呈现的阵列为坐标系，m为横坐标信息，n为纵坐标信息。光斑位置信息Pmn，表示坐标为(m,n)的衍射光斑的位置信息。光斑亮度Bmn，表示坐标为(m,n)的衍射光斑的亮度信息。
在示例性实施例中，在图3所示的衍射光束图案呈现为9X11的光斑阵列，共有99个衍射光斑。基于该光斑阵列建立坐标系，以中心光束的衍射光斑为坐标原点(0,0)，其横坐标m的取值范围为[-4,4]，纵坐标n的取值范围为[-5，5]。如图所示，该光斑阵列中右上角的衍射光斑坐标为(4,5)，其光斑位置信息P45，其光斑亮度B45。同样，该光斑阵列中坐下角的衍射光斑坐标为(-4,-5)，其光斑位置信息P-4-5，其光斑亮度B-4-5。上述示例，仅作为说明示例，并不用以限定本公开的保护范围。
步骤S220，在所述光源和衍射光学元件位于第二位置时，所述衍射光学元件射出的衍射光束射入光功率计；所述光功率计获得第二测试信息；
在本公开实施例中，所述第二位置为光功率测量区域。在第二位置时，衍射光学元件与光功率计相对设置。由光源射出的激光垂直入射到衍射光学元件，经衍射光学元件进行衍射后，形成衍射光束射出。衍射光学元件射出的衍射光束射射入光功率计。该光功率计，用于测量入射光束的光功率。通过该光功率计测量该衍射光束获得第二测试信息。
在示例性实施例中，光功率计只对衍射光学元件射出的衍射光束中的中心光束进行测量，并获得关于该中心光束的第二测试信息。所述第二测试信息，包括：中心光束光功率PC。所述中心光束光功率PC为所述衍射光学元件射出衍射光束中，中心光束的光功率。
步骤S230，在所述光源和衍射光学元件位于第二位置时，移除所述衍射光学元件，使所述光源射出的激光射入所述光功率计；所述光功率计获得第三测试信息；
在本公开实施例中，所述第二位置为光功率测量区域。在第二位置时，移除所述衍射光学元件后，所述光源射与光功率计相对设置。由光源射出的激光射入光功率计。该光功率计，用于测量入射光束的光功率。通过该光功率计测量该激光获得第三测试信息。所述第三测试信息，包括：激光光功率Pi。所述激光光功率Pi为所述光源射出激光的光功率。
步骤S240，根据所述第一测试信息、第二测试信息和第三测试信息，确定所述衍射光学元件的衍射测试结果。
在本公开实施例中，根据上述测试获得的第一测试信息、第二测试信息和第三测试信息，可以计算得到待测衍射光学元件的多种光学性能参数作为衍射测试结果。该衍射测试结果，可以包括：零级光强R0、光斑均匀性U和衍射效率DE中的一种或多种的组合。其中，零级光强R0，用以表示中心光束的光斑亮度与所有衍射光斑亮度总和的比值。光斑均匀性U，用以衡量全部衍射光斑中各个衍射光斑的亮度均匀性。衍射效率DE，是指由衍射光学元件射出的衍射光束总强度与入射到衍射光学元件的激光光束强度的比值。
应当指出，上面只给出几种作为示例作用的待测衍射光学元件的光学性能参数。本领域一般技术人员，根据实际测试需求，利用上述方法获得的第一测试信息、第二测试信息和第三测试信息，基于现有技术已知的计算方式，计算得到的待测衍射光学元件的光学性能参数，均应视为在本公开的保护范围之内。
另外，上述步骤S210、步骤S220、步骤S230虽然以顺序编号的形式进行描述。但在实际测试过程中，工作人员可以根据实际需要任意安排所述第一测试信息、第二测试信息和第三测试信息的测试顺序。本公开并不对相关测试顺序进行限定。
本公开实施例提供的衍射光学元件的测试方法，包括：在第一位置时，所述衍射光学元件射出的衍射光束射入透射屏，在所述透射屏上形成衍射光束图案；图像采集设备采集所述衍射光束图案，获得第一测试信息；在第二位置时，所述衍射光学元件和光源分别射出的衍射光束和激光射入光功率计；获得第二测试信息和第三测试信息；根据第一测试信息、第二测试信息和第三测试信息，确定所述衍射光学元件的衍射测试结果。通过本公开实施例提供的衍射光学元件的测试方法，可以高效准确的实现光源和衍射光学元件在第一位置和第二位置间进行切换，从而测试出衍射光学元件相关的各种光学参数，进而计算得到待测衍射光学元件的各个光学性能参数，实现对衍射光学元件的测试评估。
在本公开实施例中，在衍射光学元件的测试方法中，还包括：调整衍射光学元件、透射屏和图像采集设备之间的间距。通过调整调整衍射光学元件、透射屏和图像采集设备之间的间距，以确保使得图像采集设备可以采集到透射屏上完整的衍射光束图案。应当指出，在该间距调整步骤中，可以对调整衍射光学元件、透射屏和图像采集设备三者之间的间距进行调整，也可以只调整其中任意两个设备之间的间距。只要能够确保使得图像采集设备可以采集到透射屏上完整的衍射光束图案，即可。
图4是根据一示例性实施例示出的图像采集设备获得第一测试信息的流程图。如图4所示，在所述步骤S210中，还包括：
步骤S211，确定各个所述衍射光斑的峰值位置Pmn_max和峰值亮度Bmn_max；
在本公开实施例中，对衍射光斑图案中的各个衍射光斑独立进行对应的第一测试信息采集。针对坐标为(m,n)的衍射光斑，确定该衍射光斑范围内的亮度峰值点，并确定该亮度峰值点的峰值位置Pmn_max和峰值亮度Bmn_max。
步骤S212，根据所述衍射光斑的峰值亮度Bmn_max和预设的选定比例阈值δ，确定所述衍射光斑的待选定区域；所述待选定区域内的光斑亮度大于δ*Bmn_max；
在本公开实施例中，我们对于各个衍射光斑基于亮度进行二值化处理。基于预设的选定比例阈值δ，计算该衍射光斑二值化处理的亮度阈值为δ*Bmn_max。其中，选定比例阈值δ为一个比例值，该衍射光斑范围内亮度大于亮度阈值为δ*Bmn_max的部分作为待选定区域。
在示例性实施例中，我们设定选定比例阈值δ为13.5％。即，在该衍射光斑范围内亮度大于13.5％Bmn_max的部分作为待选定区域。以峰值亮度Bmn_max＝100为例，当该衍射光斑范围内亮度大于13.5的部分作为该待选定区域，反之当该衍射光斑范围内亮度不大于13.5的部分则不作为该待选定区域。
步骤S213，以所述待选定区域的长轴作为直径D，求取所述待选定区域的质心Omn；以所述质心Omn为圆心，以所述直径D确定的圆形区域为所述衍射光斑的选定区域；
在本公开实施例中，由于衍射光斑内的亮度分布并不均匀，因此经过上述步骤S212确定的待选定区域并不一定是规则图像。该步骤S213，即在上述步骤S212确定的待选定区域基础上，对待选定区域进行调整，使确定的选定区域为圆形区域。具体确定选定区域的步骤如下：
第一，确定所述待选定区域内的长轴，并以峰值位置Pmn_max为圆心，以该长轴作为直径D，确定的第一圆形区域；
第二，求取所述第一圆形区域的质心Omn；
第三，以所述质心Omn为圆心，以所述直径D确定的圆形区域为所述衍射光斑的选定区域。
应当指出，光斑的质心是基于光斑内各个像素点的亮度分布为权重，确定该光斑的质心位置。由于光斑内的亮度分布并不均匀，因此该质心位置并不一定为圆心位置。由于，光斑的质心求解算法为本领域公知技术常识，在此就不再赘述。
步骤S214，基于所述衍射光斑的选定区域进行光斑亮度积分计算，得到所述衍射光斑的光斑亮度Bmn；所述质心Omn为所述衍射光斑的光斑位置信息Pmn。
在本公开实施例中，基于步骤S213确定的选定区域，对选定区域内各个像素的亮度进行积分计算，得到该选定区域内各个像素亮度值的总和，作为所述衍射光斑的光斑亮度Bmn。而步骤S213中所确定的质心Omn为所述衍射光斑的光斑位置信息Pm。
通过本公开实施例提供的第一测试信息获取过程，可以对衍射光束图案中各个光斑进行预处理，通过一致的预处理方式确定各个衍射光斑的选定区域，并基于该选定区域求取各个衍射光斑的第一测试信息，确保各个衍射光斑之间的第一测试信息是可比的，为后续计算衍射光学元件的光学性能参数，比较各个衍射光斑之间的光学参数提供数据基础。
图5是根据一示例性实施例示出的确定衍射光斑选定区域的流程图。图6是根据一示例性实施例示出的衍射光斑选定区域的选定过程的示意图。如图5、图6所示，在所述步骤S213中，还包括：
步骤S213a，以第一待选定区域的长轴作为第一直径D1，求取所述第一待选定区域的第一质心Omn1；
在本公开实施例中，基于前述步骤S213中所介绍的方法，求取第一待选定区域的第一直径D1和第一质心Omn1。由于前述步骤S213中已经介绍过具体求取方法，在此就不再重复。
步骤S213b，以所述第一质心Omn1为圆心，以所述第一直径D1确定的圆形区域为第二待选定区域；
在本公开实施例中，基于步骤S213a确定的第一待选定区域的第一直径D1和第一质心Omn1。以所述第一质心Omn1为圆心，以所述第一直径D1确定的圆形区域为第二待选定区域。
步骤S213c，以所述第二待选定区域的长轴作为第二直径D2，求取所述第二待选定区域的第二质心Omn2；
在本公开实施例中，基于前述步骤S213中所介绍的方法，求取第二待选定区域的第二直径D2和第二质心Omn2。由于前述步骤S213中已经介绍过具体求取方法，在此就不再重复。
步骤S213d，重复上述过程，直至所述第二质心Omn2与第一质心Omn1的间距小于预设的间距阈值，以所述第二质心Omn2为圆心，以所述第二直径D2确定的圆形区域为所述衍射光斑的选定区域。
在本公开实施例中，由于衍射光斑内的亮度分布并不均匀，因此仅通过一轮步骤S213所介绍的选定区域求取过程，并不一定能获得稳定理想的选定区域范围。为了对该求取过程进行优化，获得稳定理想的选定区域，在本公开实施例中不断重复该选定区域求取过程，直至前后两次求取的质心间距小于预设的间距阈值。在一个可行实施方案中，该预设的间距阈值被设定为0.5个像素。
通过该方法，经过反复求取待选定区域的质心位置，所最终确定的选定区域更为稳定。基于该选定区域计算获得的第一测试信息，也更为准确。为更佳准确地计算待测衍射光学元件的各个光学性能参数，提供数据基础。
在本公开实施例中，所述步骤S240，根据所述第一测试信息、第二测试信息和第三测试信息，确定所述衍射光学元件的衍射测试结果，还包括：
所述衍射测试结果，包括：零级光强R0；所述零级光强R0，根据以下公式(1)计算得到：
/>
其中，B00为中心衍射光斑的光斑亮度，Bmn为各个所述衍射光斑的光斑亮度。
根据前述步骤S210获得所述第一测试信息，包括：各个衍射光斑的光斑位置信息Pmn和光斑亮度Bmn。根据该第一测试信息，基于上述公式(1)可以计算零级光强R0。该零级光强R0，用以表示中心光束的光斑亮度与所有衍射光斑亮度总和的比值。
在本公开实施例中，所述步骤S240，根据所述第一测试信息、第二测试信息和第三测试信息，确定所述衍射光学元件的衍射测试结果，还包括：
所述衍射测试结果，包括：光斑均匀性U；所述光斑均匀性U，根据以下公式(2)计算得到：
其中，Bmax为各个所述衍射光斑中的最大光斑亮度，Bmin为各个所述衍射光斑中的最小光斑亮度。
根据前述步骤S210获得所述第一测试信息，包括：各个衍射光斑的光斑位置信息Pmn和光斑亮度Bmn。根据该第一测试信息，基于上述公式(2)可以计算光斑均匀性U。该光斑均匀性U，用以衡量全部衍射光斑中各个衍射光斑的亮度均匀性。
在本公开实施例中，所述步骤S240，根据所述第一测试信息、第二测试信息和第三测试信息，确定所述衍射光学元件的衍射测试结果，还包括：
所述衍射测试结果，包括：衍射效率DE；所述衍射效率DE，根据以下公式(3)计算得到：
其中，B00为中心衍射光斑的光斑亮度，Bmn为各个所述衍射光斑的光斑亮度，PC为中心光束光功率，Pi为激光光功率。
根据前述步骤S210、S220、S230获得所述第一测试信息、第二测试信息和第三测试信息，包括：各个衍射光斑的光斑位置信息Pmn和光斑亮度Bmn；衍射光学元件的中心光束光功率PC；光源的激光光功率Pi。根据上述测试信息，基于上述公式(3)可以计算衍射效率DE。该衍射效率DE，是指由衍射光学元件射出的衍射光束总强度与入射到衍射光学元件的激光光束强度的比值。该衍射效率DE，反映的是衍射光学元件的衍射效果，衍射效率越高，生成相同强度的衍射光束图案对光源的功耗要求将越低。
图7是根据一示例性实施例示出的衍射光学元件的测试装置的结构示意图。如图7所示，该衍射光学元件的测试装置700，包括：
第一测试信息模块710，用于在光源和衍射光学元件位于第一位置时，采集所述衍射光学元件射出的衍射光束射入透射屏形成的衍射光束图案，获得第一测试信息；
第二测试信息模块720，用于在所述光源和衍射光学元件位于第二位置时，获得所述衍射光学元件射出的衍射光束的第二测试信息；
第三测试信息模块730，用于在所述光源和衍射光学元件位于第二位置时，获得所述光源射出激光的第二测试信息；
衍射测试结果确定模块740，用于根据所述第一测试信息、第二测试信息和第三测试信息，确定所述衍射光学元件的衍射测试结果。
该衍射光学元件的测试装置700，通过第一测试信息模块710，在第一位置时，获得第一测试信息；通过第二测试信息模块720和第三测试信息模块730，在第二位置时，所述衍射光学元件和光源分别射出的衍射光束和激光射入光功率计；获得第二测试信息和第三测试信息；通过衍射测试结果确定模块740，根据第一测试信息、第二测试信息和第三测试信息，确定所述衍射光学元件的衍射测试结果。通过本公开实施例提供的衍射光学元件的测试装置，可以高效准确的实现光源和衍射光学元件在第一位置和第二位置间进行切换，从而测试出衍射光学元件相关的各种光学参数，进而计算得到待测衍射光学元件的各个光学性能参数，实现对衍射光学元件的测试评估。
在本公开实施例中，所述衍射光束图案，包括若干衍射光斑；所述第一测试信息，包括：各个所述衍射光斑的光斑位置信息Pmn和光斑亮度Bmn；所述第二测试信息，包括：中心光束光功率PC；所述中心光束光功率PC为所述衍射光学元件射出衍射光束中，中心光束的光功率；所述第三测试信息，包括：激光光功率Pi；所述激光光功率Pi为所述光源射出激光的光功率。
在本公开实施例中，第一测试信息模块710，还用于确定各个所述衍射光斑的峰值位置Pmn_max和峰值亮度Bmn_max；根据所述衍射光斑的峰值亮度Bmn_max和预设的选定比例阈值δ，确定所述衍射光斑的待选定区域；所述待选定区域内的光斑亮度大于δ*Bmn_max；以所述待选定区域的长轴作为直径D，求取所述待选定区域的质心Omn；以所述质心Omn为圆心，以所述直径D确定的圆形区域为所述衍射光斑的选定区域；基于所述衍射光斑的选定区域进行光斑亮度积分计算，得到所述衍射光斑的光斑亮度Bmn；所述质心Omn为所述衍射光斑的光斑位置信息Pmn。
在本公开实施例中，第一测试信息模块710，还用于以第一待选定区域的长轴作为第一直径D1，求取所述第一待选定区域的第一质心Omn1；以所述第一质心Omn1为圆心，以所述第一直径D1确定的圆形区域为第二待选定区域；以所述第二待选定区域的长轴作为第二直径D2，求取所述第二待选定区域的第二质心Omn2；重复上述过程，直至所述第二质心Omn2与第一质心Omn1的间距小于预设的间距阈值，以所述第二质心Omn2为圆心，以所述第二直径D2确定的圆形区域为所述衍射光斑的选定区域。
在本公开实施例中，衍射测试结果确定模块740，还用于所述衍射测试结果，包括：零级光强R0；所述零级光强R0，根据以下公式计算得到：
其中，B00为中心衍射光斑的光斑亮度，Bmn为各个所述衍射光斑的光斑亮度。
在本公开实施例中，衍射测试结果确定模块740，还用于所述衍射测试结果，包括：光斑均匀性U；所述光斑均匀性U，根据以下公式计算得到：
其中，Bmax为各个所述衍射光斑中的最大光斑亮度，Bmin为各个所述衍射光斑中的最小光斑亮度。
在本公开实施例中，衍射测试结果确定模块740，还用于所述衍射测试结果，包括：衍射效率DE；所述衍射效率DE，根据以下公式计算得到：
其中，B00为中心衍射光斑的光斑亮度，Bmn为各个所述衍射光斑的光斑亮度，PC为所述中心光束光功率，Pi为所述激光光功率。
应当指出，该衍射光学元件的测试装置为用于实施上述衍射光学元件的测试方法的装置。因此，该装置在实施中继承上述方法所描述的相关实施例内容，在此不再重复。
图8是根据一示例性实施例示出的适于用来实现本公开示例性实施例的计算机设备的结构示意图。
如图8所示，本公开实施例中的计算机设备可以包括：一个或多个处理器801、存储器802和输入输出接口803。该处理器801、存储器802和输入输出接口803通过总线804连接。存储器802用于存储计算机程序，该计算机程序包括程序指令，输入输出接口803用于接收数据及输出数据，如用于宿主机与计算机设备之间进行数据交互，或者用于在宿主机中的各个虚拟机之间进行数据交互；处理器801用于执行存储器802存储的程序指令。
其中，该处理器801可以执行如下操作：
在光源和衍射光学元件位于第一位置时，所述衍射光学元件射出的衍射光束射入透射屏，并在所述透射屏上形成衍射光束图案；图像采集设备采集所述衍射光束图案，获得第一测试信息；
在所述光源和衍射光学元件位于第二位置时，所述衍射光学元件射出的衍射光束射入光功率计；所述光功率计获得第二测试信息；
在所述光源和衍射光学元件位于第二位置时，移除所述衍射光学元件，使所述光源射出的激光射入所述光功率计；所述光功率计获得第三测试信息；
根据所述第一测试信息、第二测试信息和第三测试信息，确定所述衍射光学元件的衍射测试结果。
在一些可行的实施方式中，该处理器801可以是中央处理单元(centralprocessing unit，CPU)，该处理器还可以是其他通用处理器、数字信号处理器(digitalsignal processor，DSP)、专用集成电路(application specific integrated circuit，ASIC)、现成可编程门阵列(field-programmable gate array，FPGA)或者其他可编程逻辑器件、分立门或者晶体管逻辑器件、分立硬件组件等。通用处理器可以是微处理器或者该处理器也可以是任何常规的处理器等。
该存储器802可以包括只读存储器和随机存取存储器，并向处理器801和输入输出接口803提供指令和数据。存储器802的一部分还可以包括非易失性随机存取存储器。例如，存储器802还可以存储设备类型的信息。
具体实现中，该计算机设备可通过其内置的各个功能模块执行如上述实施例中各个步骤所提供的实现方式，具体可参见上述实施例中各个步骤所提供的实现方式，在此不再赘述。
本公开实施例通过提供一种计算机设备，包括：处理器、输入输出接口、存储器，通过处理器获取存储器中的计算机程序，执行上述实施例中所示方法的各个步骤，进行传输操作。
本公开实施例还提供一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质存储有计算机程序，该计算机程序适于由该处理器加载并执行上述实施例中各个步骤所提供的方法，具体可参见上述实施例中各个步骤所提供的实现方式，在此不再赘述。另外，对采用相同方法的有益效果描述，也不再进行赘述。对于本公开所涉及的计算机可读存储介质实施例中未披露的技术细节，请参照本公开方法实施例的描述。作为示例，计算机程序可被部署为在一个计算机设备上执行，或者在位于一个地点的多个计算机设备上执行，又或者，在分布在多个地点且通过通信网络互连的多个计算机设备上执行。
该计算机可读存储介质可以是前述任一实施例提供的装置或者该计算机设备的内部存储单元，例如计算机设备的硬盘或内存。该计算机可读存储介质也可以是该计算机设备的外部存储设备，例如该计算机设备上配备的插接式硬盘，智能存储卡(smart mediacard，SMC)，安全数字(secure digital，SD)卡，闪存卡(flash card)等。进一步地，该计算机可读存储介质还可以既包括该计算机设备的内部存储单元也包括外部存储设备。该计算机可读存储介质用于存储该计算机程序以及该计算机设备所需的其他程序和数据。该计算机可读存储介质还可以用于暂时地存储已经输出或者将要输出的数据。
本公开实施例还提供了一种计算机程序产品或计算机程序，该计算机程序产品或计算机程序包括计算机指令，该计算机指令存储在计算机可读存储介质中。计算机设备的处理器从计算机可读存储介质读取该计算机指令，处理器执行该计算机指令，使得该计算机设备执行上述实施例中的各种可选方式中所提供的方法。
本公开实施例的说明书和权利要求书及附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而非用于描述特定顺序。此外，术语“包括”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、装置、产品或设备没有限定于已列出的步骤或模块，而是可选地还包括没有列出的步骤或模块，或可选地还包括对于这些过程、方法、装置、产品或设备固有的其他步骤单元。
本领域普通技术人员可以意识到，结合本文中所公开的实施例描述的各示例的单元及算法步骤，能够以电子硬件、计算机软件或者二者的结合来实现，为了清楚地说明硬件和软件的可互换性，在该说明中已经按照功能一般性地描述了各示例的组成及步骤。这些功能究竟以硬件还是软件方式来执行，取决于技术方案的特定应用和设计约束条件。专业技术人员可以对每个特定的应用来使用不同方法来实现所描述的功能，但是这种实现不应认为超出本公开的范围。
本公开实施例提供的方法及相关装置是参照本公开实施例提供的方法流程图和/或结构示意图来描述的，具体可由计算机程序指令实现方法流程图和/或结构示意图的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。这些计算机程序指令可提供到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程传输设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程传输设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或结构示意图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程传输设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或结构示意图一个方框或多个方框中指定的功能。这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程传输设备上，使得在计算机或其他可编程设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或结构示意一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。
以上所揭露的仅为本公开较佳实施例而已，当然不能以此来限定本公开之权利范围，因此依本公开权利要求所作的等同变化，仍属本公开所涵盖的范围。
Claims (10)
1.一种衍射光学元件的测试设备，其特征在于，包括：
光源，用于发射激光；
衍射光学元件，与所述光源相对设置，用于将所述光源发射的激光进行衍射；
透射屏，与所述衍射光学元件相对设置，用于接收所述衍射光学元件射出的衍射光束，并在所述透射屏上形成衍射光束图案；
图像采集设备，与所述透射屏相对设置，用于采集所述透射屏上的衍射光束图案；
光功率计，与所述衍射光学元件相对设置，用于测量由所述光源或衍射光学元件射入光束的光功率；
所述光源和衍射光学元件固定在导轨上，并沿所述导轨滑动至第一位置和第二位置；在所述光源和衍射光学元件滑动至第一位置时，所述衍射光学元件与所述透射屏相对，使所述衍射光学元件射出的衍射光束射入所述透射屏；在所述光源和衍射光学元件滑动至第二位置时，所述衍射光学元件与所述光功率计相对，使所述衍射光学元件射出的衍射光束射入所述光功率计。
2.一种衍射光学元件的测试方法，其特征在于，基于权利要求1所述的衍射光学元件的测试设备执行，所述测试方法包括：
在光源和衍射光学元件位于第一位置时，所述衍射光学元件射出的衍射光束射入透射屏，并在所述透射屏上形成衍射光束图案；图像采集设备采集所述衍射光束图案，获得第一测试信息；
在所述光源和衍射光学元件位于第二位置时，所述衍射光学元件射出的衍射光束射入光功率计；所述光功率计获得第二测试信息；
在所述光源和衍射光学元件位于第二位置时，移除所述衍射光学元件，使所述光源射出的激光射入所述光功率计；所述光功率计获得第三测试信息；
根据所述第一测试信息、第二测试信息和第三测试信息，确定所述衍射光学元件的衍射测试结果。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，包括：
所述衍射光束图案，包括若干衍射光斑；所述第一测试信息，包括：各个所述衍射光斑的光斑位置信息Pmn和光斑亮度Bmn；
所述第二测试信息，包括：中心光束光功率PC；所述中心光束光功率PC为所述衍射光学元件射出衍射光束中，中心光束的光功率；
所述第三测试信息，包括：激光光功率Pi；所述激光光功率Pi为所述光源射出激光的光功率。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述图像采集设备采集所述衍射光束图案，获得第一测试信息，包括：
确定各个所述衍射光斑的峰值位置Pmn_max和峰值亮度Bmn_max；
根据所述衍射光斑的峰值亮度Bmn_max和预设的选定比例阈值δ，确定所述衍射光斑的待选定区域；所述待选定区域内的光斑亮度大于δ*Bmn_max；
以所述待选定区域的长轴作为直径D，求取所述待选定区域的质心Omn；以所述质心Omn为圆心，以所述直径D确定的圆形区域为所述衍射光斑的选定区域；
基于所述衍射光斑的选定区域进行光斑亮度积分计算，得到所述衍射光斑的光斑亮度Bmn；所述质心Omn为所述衍射光斑的光斑位置信息Pmn。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述以所述待选定区域的长轴作为直径D，求取所述待选定区域的质心Omn；以所述质心Omn为圆心，以所述直径D确定的圆形区域为所述衍射光斑的选定区域，包括：
以第一待选定区域的长轴作为第一直径D1，求取所述第一待选定区域的第一质心Omn1；
以所述第一质心Omn1为圆心，以所述第一直径D1确定的圆形区域为第二待选定区域；
以所述第二待选定区域的长轴作为第二直径D2，求取所述第二待选定区域的第二质心Omn2；
重复上述过程，直至所述第二质心Omn2与第一质心Omn1的间距小于预设的间距阈值，以所述第二质心Omn2为圆心，以所述第二直径D2确定的圆形区域为所述衍射光斑的选定区域。
6.根据权利要求3-5任一项所述的方法，其特征在于，包括：
所述衍射测试结果，包括：零级光强R0；所述零级光强R0，根据以下公式计算得到：
其中，B00为中心衍射光斑的光斑亮度，Bmn为各个所述衍射光斑的光斑亮度。
7.根据权利要求3-5任一项所述的方法，其特征在于，包括：
所述衍射测试结果，包括：光斑均匀性U；所述光斑均匀性U，根据以下公式计算得到：
其中，Bmax为各个所述衍射光斑中的最大光斑亮度，Bmin为各个所述衍射光斑中的最小光斑亮度。
8.根据权利要求3-5任一项所述的方法，其特征在于，包括：
所述衍射测试结果，包括：衍射效率DE；所述衍射效率DE，根据以下公式计算得到：
其中，B00为中心衍射光斑的光斑亮度，Bmn为各个所述衍射光斑的光斑亮度，PC为所述中心光束光功率，Pi为所述激光光功率。
9.一种衍射光学元件的测试装置，其特征在于，包括：
第一测试信息模块，用于在光源和衍射光学元件位于第一位置时，采集所述衍射光学元件射出的衍射光束射入透射屏形成的衍射光束图案，获得第一测试信息；
第二测试信息模块，用于在所述光源和衍射光学元件位于第二位置时，获得所述衍射光学元件射出的衍射光束的第二测试信息；
第三测试信息模块，用于在所述光源和衍射光学元件位于第二位置时，获得所述光源射出激光的第二测试信息；
衍射测试结果确定模块，用于根据所述第一测试信息、第二测试信息和第三测试信息，确定所述衍射光学元件的衍射测试结果。
10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序适于由处理器加载并执行，以使得具有所述处理器的计算机设备执行权利要求2-8任一项所述的方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202310659384.7A CN116659820A (zh) | 2023-06-02 | 2023-06-02 | 一种衍射光学元件的测试设备、方法、装置及存储介质 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202310659384.7A CN116659820A (zh) | 2023-06-02 | 2023-06-02 | 一种衍射光学元件的测试设备、方法、装置及存储介质 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN116659820A true CN116659820A (zh) | 2023-08-29 |
Family
ID=87716820
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202310659384.7A Pending CN116659820A (zh) | 2023-06-02 | 2023-06-02 | 一种衍射光学元件的测试设备、方法、装置及存储介质 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN116659820A (zh) |
-
2023
- 2023-06-02 CN CN202310659384.7A patent/CN116659820A/zh active Pending
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