CN116626874A - 显微装置和光学设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供了显微装置和光学设备，该显微装置包括：一显微物镜；一第一切换器，包括一第一光学模组，包括一第一安装座和一第一反射元件；一第二切换器，包括一第二光学模组，包括一第二安装座和一第二反射元件、一第三反射元件和一滤光片；其中，显微物镜、第一切换器和第二切换器沿一第一方向依次排列；第一光学模组和第二光学模组被切换进第一光路中时，一入射光能够依次被第一反射元件反射、第二反射元件反射、滤光片反射、第三反射元件反射后形成一第一出射光，第一出射光能够穿过第一切换器和显微物镜。该显微装置中第一切换器和第二切换器能够很方便切换不同光路，光路的设置减小了显微装置在第一方向上的尺寸，并且提高了信噪比。

Description

显微装置和光学设备

技术领域

本发明涉及显微光学技术领域，尤其涉及显微装置和包括该显微装置的光学设备。

背景技术

随着科学研究的发展和光子产业的升级，对于能够在介观尺度精细表征材料光学特性，并且能够实时快速获取样品信息的强烈需求将促进相关检测技术的进步。通常用于光学测量的光学设备使用激光作为激发光源经激发模块后进入显微模块，然后照射样品表面，样品产生的信号光通过显微模块后被收集模块收集处理。现有技术的一种光学设备中，激光经过分束器反射后照射样品。该激光被样品反射后透过该分束器。样品受到激光激发后产生的信号光直接透过该分束器。激光和信号光通过该分束器时都会被衰减。

发明内容

本发明提供了一种显微装置， 包括：

一显微物镜；

一第一切换器，包括一第一光学模组，所述第一光学模组包括一第一安装座和安装于所述第一安装座上的一第一反射元件，所述第一光学模组能够被切换进一第一光路中；

一第二切换器，包括一第二光学模组，所述第二光学模组包括一第二安装座和安装于所述第二安装座上的一第二反射元件、一第三反射元件和一滤光片，所述第二光学模组能够被切换进所述第一光路中；

其中，所述显微物镜、所述第一切换器和所述第二切换器沿一第一方向依次排列；在所述第一光路中，所述第一反射元件能够反射一入射光形成一第一反射光，所述第二反射元件能够反射所述第一反射光形成一第二反射光，所述滤光片能够反射所述第二反射光形成一第三反射光，所述第三反射元件能够反射所述第三反射光形成一第一出射光，所述第一出射光能够穿过所述第一切换器和所述显微物镜。

可选地， 在所述第一光路中，所述第一出射光平行于所述第一方向，所述入射光垂直于所述第一出射光。

可选地，在所述第一光路中，所述入射光和所述第一出射光均位于一第一平面内；所述入射光与所述第一出射光通过同一点，或者所述入射光的延长线与所述第一出射光通过同一点；并且，所述第二反射光和所述第三反射光均位于一第二平面内；所述第一平面与所述第二平面位于同一平面，或者所述第一平面与所述第二平面垂直交叉或倾斜交叉。

可选地，所述第二反射元件的反射面和所述第三反射元件的反射面位于同一平面或平行于同一平面，和/或所述第二反射元件和所述第三反射元件一体成型且位于同一反射元件中。

可选地，所述显微物镜、所述第一切换器和所述第二切换器之间形成一沿所述第一方向延伸的光通道；

所述第一切换器还包括一第三光学模组，所述第三光学模组包括一第三安装座和安装于所述第三安装座上的一第一光学元件，所述第一光学元件能够被移入所述光通道；和/或

所述第二切换器还包括一第四光学模组，所述第四光学模组包括一第四安装座和安装于所述第四安装座上的一第二光学元件，所述第二光学元件能够被移入所述光通道。

可选地，所述第一切换器包括一第一壳体，包括一第一通光孔、一第二通光孔和一第三通光孔；所述第二切换器包括一第二壳体，包括一第四通光孔和一第五通光孔；所述第二通光孔、所述第三通光孔和所述第四通光孔位于所述光通道内。

可选地，所述第一光学模组还包括一沿所述第一方向延伸的第一子光通道，所述第二光学模组还包括一沿所述第一方向延伸的第二子光通道，所述第三光学模组还包括一沿所述第一方向延伸的第三子光通道，所述第四光学模组还包括一沿所述第一方向延伸的第四子光通道；所述第一子光通道和所述第三子光通道能够被切换进所述光通道中，所述第二子光通道和所述第四子光通道能够被切换进所述光通道中。

可选地，所述第一切换器还包括一第一旋转安装座，能够绕一第一轴旋转；所述第一光学模组安装于所述第一旋转安装座上；所述第二切换器还包括一第二旋转安装座，能够绕一第二轴旋转；所述第二光学模组安装于所述第二旋转安装座上；所述第一轴和所述第二轴平行于所述第一方向。

可选地，所述第一安装座包括一第一L形安装架；和一第一倾斜安装架，设置于所述第一L形安装架所包围的一侧；所述第一反射元件安装于所述第一倾斜安装架上；

所述第二安装座包括一第二L形安装架；一第二倾斜安装架，设置于所述第二L形安装架所包围的一侧；和一安装框，与所述第二L形安装架的一侧面相对设置；所述第二反射元件和所述第三反射元件安装于所述第二倾斜安装架上，所述滤光片安装于所述安装框。

可选地，所述第一反射元件、所述第二反射元件和所述第三反射元件中的一个或两个或三个为平面反射镜，所述滤光片为边缘滤波片。

本发明还提供了一种光学设备，包括上述的显微装置。

可选地，还包括：一激发模块，能够产生一激光作为所述入射光；和一收集模块，能够接收所述第一出射光激发一样品产生的信号光。

本发明提供了显微装置和光学设备，该显微装置中第一切换器和第二切换器能够很方便切换不同光路，当第一光学元模组和第二光学模组被切换进光路时，光路的设置减小了显微装置在第一方向上的尺寸，并且提高了信噪比。

附图说明

图1为本发明提供的一种光学设备的立体结构示意图；

图2为图1中显微装置处于第一光路时的局部结构示意图；

图3为第一光学模组和第二光学模组位于第一光路的结构示意图；

图4为图3中第一光路的简化示意图；

图5为另一种第一光路的简化示意图；

图6为再一种第一光路的简化示意图；

图7为图1中显微装置处于第二光路时的局部结构示意图；

图8为第三光学模组和第四光学模组位于第二光路的结构示意图；

图9为图8中第二光路的简化示意图；

图10为第一光学模组的立体结构示意图；

图11为第二光学模组的立体结构示意图。

附图标记说明：10 显微装置，11 第一切换器，12 第二切换器，13 物镜，20 激发光路，30 收集模块，40 样品台，51 第一光学模组，52 第二光学模组，53 第三光学模组，54第四光学模组，61 第一反射元件，62 第二反射元件，63 第三反射元件，64 第四反射元件，70 滤光片，81 第一光学元件，82 第二光学元件，100 样品，110 第一壳体，111 第一通光孔，112 第二通光孔，113 第三通光孔，114 第四通光孔，115 第五通光孔，120 第二壳体，121 第一旋转安装座，122 第二旋转安装座，130 入光孔，511 第一安装座，521 第二安装座，531 第三安装座，541 第四安装座，910 第一L形安装架，911 第一倾斜安装架，920 第二L形安装架，921 第二倾斜安装架，922 安装框，9101 第一安装板，9102 第二安装板，9201第三安装板，9202 第四安装板，Z 第一方向，X 第二方向，Y 第三方向，Ri 入射光，Rs信号光，Re1 第一反射光，Re2 第二反射光，Re3 第三反射光，Ro1 第一出射光，Ro2 第二出射光，T光通道。

具体实施方式

图1为本发明提供的一种光学设备的立体结构示意图；图2为图1中显微装置处于第一光路时的局部结构示意图；图3为第一光学模组和第二光学模组位于第一光路的结构示意图；图4为图3中第一光路的简化示意图。结合图1-4可以看出，该光学设备包括：显微装置10。

显微装置10包括：

一显微物镜13；

一第一切换器11，包括一第一光学模组51，第一光学模组51包括一第一安装座511和安装于第一安装座511上的一第一反射元件61，第一光学模组51能够被切换进一第一光路（图中未标识）中；

一第二切换器12，包括一第二光学模组52，第二光学模组52包括一第二安装座521和安装于第二安装座521上的一第二反射元件62、一第三反射元件63和一滤光片70，第二光学模组52能够被切换进第一光路中；

其中，显微物镜13、第一切换器11和第二切换器12沿一第一方向Z依次排列；在第一光路中，第一反射元件61能够反射一入射光Ri形成一第一反射光Re1，第二反射元件62能够反射第一反射光Re1形成一第二反射光Re2，滤光片70能够反射第二反射光Re2形成一第三反射光Re3，第三反射元件63能够反射第三反射光Re3形成一第一出射光Ro1，第一出射光Ro1能够穿过第一切换器11和显微物镜13。

在一个示意性的实施方式中，该光学设备还包括：一激发模块20，能够产生一激光作为入射光Ri；和一收集模块30，能够接收第一出射光Re1激发一样品100产生的信号光。可选的，该光学设备还包括一样品台40，用于放置样品100。图1所示实施例中，光学设备包括激发模块20、收集模块30和样品台40。

可选的，激发光路20包括一激光器（图中未画出），能够产生激光；和一激发调制模块（图中未画出），位于激光器和显微模块10之间。激发调制模块的相关技术方案可参考专利申请号为CN 202320967287X和CN 2023209672846的中国实用新型专利申请文件。

可选的，收集模块30包括成像测量系统，能够实现实空间成像和/或动量空间成像。成像测量系统可以有多种不同的光路设计，相关技术方案可参考专利申请号为202222685016.3、202223066457.1、202223068712.6和202223068881.X的中国实用新型专利申请文件。

具体而言，激发光路20产生的激光作为入射光Ri。入射光Ri通常为激光，例如波长为325纳米或532纳米或785纳米。第一切换器11包括一第一壳体110。第一壳体110包括一第一通光孔111、一第二通光孔112和一第三通光孔113。第一通光孔111与激光光路20相对设置。入射光Ri能够从第一通光孔111进入第一切换器11。第二通光孔112与物镜13的入光孔130相对设置。第二切换器12包括第二壳体120。第二壳体120包括一第四通光孔114和一第五通光孔115。第三通光孔113与第四通光孔114相对设置。第五通光孔115与收集光路30相对设置。这样在第一方向Z上，形成了一光通道T。第二通光孔112、第三通光孔113和第四通光孔114位于光通道T内。也就是说，光通道T穿过入光孔130、第二通光孔112、第三通光孔113和第四通光孔114。物镜13、第一切换器11和第二切换器12之间的光能够通过该光通道T进行传输。

第一切换器11能够将第一光学模组51移入或移出该光通道T，第二切换器12能够将第二光学模组52移入或移出该光通道T。当第一光学模组51和第二光学模组52均被移入该光通道T时，二者内的光学元件位于第一光路。在第一光路中，入射光Ri沿第二方向X传输。第二方向X垂直于第一方向Z。第三方向Y垂直于第一方向Z和第二方向X。通常，第二方向X和第三方向Y均为水平方向，第一方向Z为竖直方向。入射光Ri位于平面XY内。入射光Ri依次被第一反射元件61反射、第二反射元件62反射、滤光片70反射、第三反射元件63反射后形成第一出射光Ro1。第一出射光Ro1平行于第一方向Z传输并通过光通道T穿过第一切换器11和显微物镜13后照射到样品100表面。第一出射光Ro1能够照射到样品100上产生一第四反射光（图中未标识）和一信号光Rs，第四反射光能够依次被第三反射元件63反射和滤光片70反射；信号光Rs能够依次被第三反射元件63反射和滤光片70透射。作为入射光Ri的激光在第一光路中被反射至样品100，但不能从第二切换器12出射。信号光Rs直接从第二切换器12出射。这样，能够将信号光Rs和入射光Ri进行分离，并且信号光在进入滤光片前只被反射，没有被透射衰减，提高了信噪比（尤其适用于拉曼这类弱信号的测量）。另外，第二反射元件62和第三反射元件63使得整个第一光路在第一方向Z上产生了弯折，减小了第一光路在第一方向Z上的尺寸，即减小了显微物镜10在第一方向Z上的尺寸。第二反射元件62、第三反射元件63和滤光片70安装于同一个光学模组（即第二光学模组52）中，三者同时被切换，能够简单方便地实现不同光路的切换。可选的，滤光片70的光轴不垂直于第一方向Z。

根据具体的应用场景，第一光路的具体结构可以进行适应调整。在一个示意性的实施方式中，在第一光路中，第一出射光Ro1平行于第一方向Z，入射光Ri垂直于第一出射光Ro1。这样入射光Ri位于平面XY内，第一出射光Ro1平行于第一方向Z且垂直于平面XY。入射光Ri与第一出射光Ro1可以在同一个平面内相互垂直，也可以在不同平面内相互垂直。可选的，第一出射Ro1光倾斜于第一方向Z，但二者不垂直。

可选的，在第一光路中，入射光Ri和第一出射光Ro1均位于一第一平面（即平面XZ）内；入射光Ri与第一出射光Ro1通过同一点，或者入射光Ri的延长线与第一出射光Ro1通过同一点；并且，第二反射光Re2和第三反射光Re3均位于一第二平面内（图中未画出）；第一平面与第二平面位于同一平面，或者第一平面与第二平面垂直交叉或倾斜交叉。

在图1-4所示实施例中，第一平面与第二平面垂直交叉或倾斜交叉，二者不在同一平面。当第一平面与第二平面垂直交叉时，第二平面垂直于第一方向Z且平行于平面XY，和/或第一平面垂直于第三反射光Re3。

图5为另一种第一光路的简化示意图。从图5中可以看出，与图4所示第一光路相同之处不再赘述，区别在于图5中第一平面与第二平面位于同一平面，即平面XZ。可选的，此时第三反射光Re3垂直于第一出射光Ro1。

在一个示意性的实施方式中，第二反射元件62的反射面和第三反射元件63的反射面位于同一平面或平行于同一平面（未画出），和/或第二反射元件62和第三反射元件63一体成型且位于同一反射元件中。图6为再一种第一光路的简化示意图。从图6中可以看出，与图5所示第一光路相同之处不再赘述，区别在于图6中第二反射元件62的反射面和第三反射元件63的反射面位于同一平面，并且第二反射元件12和第三反射元件13一体成型且位于同一反射元件（即第四反射元件64）中。第二反射元件62的反射面和第三反射元件63的反射面彼此的相对位置和状态固定。这样，第二反射元件62和第三反射元件63均能够反射信号光Rs,增大了信号光Rs的收集范围；二者一体成型可以整体安装，集成度更高。

第一光路的结构可以参考专利申请号为CN202321788145.3的中国实用新型专利申请文件，其中的所有实施例及其描述均可引入本发明作为第一光路的实施例。

在一个示意性的实施方式中，显微物镜13、第一切换器11和第二切换器12之间形成沿第一方向Z延伸的光通道T；

第一切换器11还包括一第三光学模组53，第三光学模组53包括第三安装座531和安装于第三安装座531上的一第一光学元件81，第一光学元件81能够被移入光通道T；和/或

第二切换器12还包括一第四光学模组54，第四光学模组54包括第四安装座541和安装于第四安装座541上的一第二光学元件82，第二光学元件82能够被移入光通道T。

在一个示意性的实施方式中，第一光学模组51还包括一沿第一方向Z延伸的第一子光通道（图中未画出），第二光学模组52还包括一沿第一方向Z延伸的第二子光通道（图中未画出），第三光学模组53还包括一沿第一方向Z延伸的第三子光通道（图中未画出），第四光学模组54还包括一沿第一方向Z延伸的第四子光通道（图中未画出）；第一子光通道和第三子光通道能够被切换进光通道中，第二子光通道和第四子光通道能够被切换进光通道中。也就是说，操作人员能够根据实际应用场景的需求，将第一光学模组51的第一子光通道和第三光学模组53的第三子光通道中的一个切换进光通道T；将第二光学模组52的第二子光通道和第四光学模组54的第四子光通道中的一个切换进光通道T，组成所需要的光路。

可选的，第一切换器11能够将第三光学模组53的第三子光通道切换进光通道T，此时第一光学模组51的第一子光通道被移出光通道T，第二光学模组52保持不动。这样第三光学模组53和第二光学模组52构成一新的光路。可选的，第二切换器12将第四光学模组54的第四子光通道切换进光通道T，此时第二光学模组52的第二子光通道被移出光通道T，第一光学模组51保持不动。这样第四光学模组54和第一光学模组51构成一新的光路。

图7为图1中显微装置处于第二光路时的局部结构示意图；图8为第三光学模组和第四光学模组位于第二光路的结构示意图；图9为图8中第二光路的简化示意图。结合图7-9可以看出，第一光学元件81随着第三光学模组53被切换进光通道T，第二光学元件82随着第四光学模组54被切换进光通道T，进而构成第二光路。在第二光路中，第一光学元件81能够反射入射光Ri形成一第二出射光Ro2，第二出射光Ro2通过物镜13后照射到样品100表面。第二出射光Ro2照射样品100后能够产生一第五反射光（图中未画出）和信号光Rs；第五反射光穿过第一光学元件81后被第二光学元件82反射或透射，或者第五反射光直接被第一光学元件81反射。信号光Rs能够依次被第一光学元件81透射和第二光学元件82反射或透射。

第一切换器11能够将第一光学模组51和第三光学模组53中的一个移入或移出该光通道T，第二切换器12能够将第二光学模组52和第四光学模组54中的一个移入或移出该光通道T。当第三光学模组53和第四光学模组54均被移入该光通道T时，二者内的光学元件构成第二光路。在第二光路中，入射光Ri沿第二方向X传输且位于平面XY内。入射光Ri被第一光学元件81反射后形成第二出射光Ro2。第二出射光Ro2沿第一方向Z传输并通过光通道T穿过显微物镜13后照射到样品100表面。第二出射光Ro2能够照射到样品100上产生第五反射光和信号光Rs。信号光Rs直接从第二切换器12出射。入射光Ri和信号光Rs均会被第一光学元件81减弱。可选的，第二出射光Ro2与第一出射光Ro1平行或重合。第一光路和第二光路中，信号光从第二切换器的同一位置出射。

在一个示意性的实施方式中，第一切换器11还包括一第一旋转安装座121，能够绕一第一轴（图中未画出）旋转；第一光学模组51安装于第一旋转安装座121上；第二切换器12还包括一第二旋转安装座122，能够绕一第二轴（图中未画出）旋转；第二光学模组52安装于第二旋转安装座122上；第一轴和第二轴平行于第一方向Z。如图2和7所示，第一光学模组51和第三光学模组53均安装于第一旋转安装座121上。转动该第一旋转安装座121时，能够使得第一光学模组51和第三光学模组53绕着第一轴旋转，以将第一光学模组51和第三光学模组53中的一个移入或移出光通道T。第二光学模组52和第四光学模组54均安装于第二旋转安装座122上。转动该第二旋转安装座122时，能够使得第二光学模组52和第四光学模组54绕着第二轴旋转，以将第二光学模组52和第四光学模组54中的一个移入或移出光通道T。可选的，第一轴与第二轴重合或不重合。

图10为第一光学模组的立体结构示意图；图11为第二光学模组的立体结构示意图。从图10和图11可以看出，在一个示意性的实施方式中，第一安装座511包括一第一L形安装架910；和一第一倾斜安装架911，设置于第一L形安装架910所包围的一侧；第一反射元件61安装于第一倾斜安装架911上；

第二安装座521包括一第二L形安装架920；一第二倾斜安装架921，设置于第二L形安装架920所包围的一侧；和一安装框922，与第二L形安装架920的一侧面相对设置；第二反射元件62和第三反射元件63安装于第二倾斜安装架921上，滤光片70安装于安装框922。

具体而言，第一L形安装架910包括一第一安装板9101和一第二安装板9102。第一倾斜安装架911的相对的两端分别与第一安装板9101、第二安装板9102相对设置，第一倾斜安装架911正对L形的内角。第一安装板9101、第二安装板9102和第一倾斜安装架911均具有一通光孔（图中未标识）。当第一光学模组51被切换进光通道T内时，第一安装板9101的通光孔与第一通光孔111相对设置（例如在第二方向X上正对设置）；第二安装板9102的通光孔、第二通光孔112和第三通光孔113相对设置（例如在第一方向Z上正对设置）。

第二L形安装架920包括一第三安装板9201和一第四安装板9202。第二倾斜安装架921的相对的两端分别与第三安装板9201、第四安装板9202相对设置，第二倾斜安装架921正对L形的内角。第三安装板9201、第四安装板9202、第二倾斜安装架921和安装框922均具有一通光孔（图中未标识）。安装框922与第三安装板9201相对设置，二者的通光孔也相对设置。当第二光学模组52被切换进光通道T内时，第三安装板9201的通光孔、安装框922的通光孔与第五通光孔115相对设置（例如在第三方向Y上正对设置）；第四安装板9202的通光孔和第四通光孔114相对设置（例如在第一方向Z上正对设置）。滤光片70安装于安装框922内并与安装框922的通光孔相对设置。可选的，安装框922的通光孔的朝向垂直于第一方向Z。

第三光学模组53的第三安装座531的结构以及第四光学模组54的第四安装座541的结构均可参考图11所示的第二安装座521。相同之处不再赘述，其中安装框922可以被去除或不安装任何光学元件。

光学模组的安装座的结构可以参考专利申请号为CN2023105763484的中国发明专利申请文件，其中的所有实施例及其描述均可引入本发明作为光学模组的安装座的实施例。

在一个示意性的实施方式中，第一反射元件61、第二反射元件62、第三反射元件63、第四反射元件64中的一个或多个或全部为反射镜或其他具有反射功能的光学元件（例如分束器、二向色镜）。本公开中的反射镜可选为平面反射镜。可选的，第一反射元件61、第二反射元件62和第三反射元件63中的一个或两个或三个为平面反射镜，滤光片70为边缘滤波片（Edge Filter）。可选的，第四反射元件64为平面反射镜。在一个示意性的实施方式中，第一光学元件81为分束器或二向色镜；第二光学元件82为反射镜或分束器或二向色镜。

可选的，物镜13的放大倍数可选为10倍、20倍、50倍或100倍。

需要说明的是，在本公开中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。在没有更多限制的情况下，“平行”包含在误差范围内的基本平行，“垂直”包含在误差范围内的基本垂直。在没有更多限制的情况下，“和/或”表示前后两个要素中的一个或两个；例如A和/或B，包括三种情况，即A，B，A和B。

尽管本发明的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本发明的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本发明的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本发明的保护范围应由所附的权利要求来限定。

Claims (12)

1.显微装置，其特征在于，包括：

一显微物镜；

一第一切换器，包括一第一光学模组，所述第一光学模组包括一第一安装座和安装于所述第一安装座上的一第一反射元件，所述第一光学模组能够被切换进一第一光路中；

一第二切换器，包括一第二光学模组，所述第二光学模组包括一第二安装座和安装于所述第二安装座上的一第二反射元件、一第三反射元件和一滤光片，所述第二光学模组能够被切换进所述第一光路中；

其中，所述显微物镜、所述第一切换器和所述第二切换器沿一第一方向依次排列；在所述第一光路中，所述第一反射元件能够反射一入射光形成一第一反射光，所述第二反射元件能够反射所述第一反射光形成一第二反射光，所述滤光片能够反射所述第二反射光形成一第三反射光，所述第三反射元件能够反射所述第三反射光形成一第一出射光，所述第一出射光能够穿过所述第一切换器和所述显微物镜。

2.根据权利要求1所述的显微装置，其特征在于，在所述第一光路中，所述第一出射光平行于所述第一方向，所述入射光垂直于所述第一出射光。

3.根据权利要求2所述的显微装置，其特征在于，在所述第一光路中，所述入射光和所述第一出射光均位于一第一平面内；所述入射光与所述第一出射光通过同一点，或者所述入射光的延长线与所述第一出射光通过同一点；并且，所述第二反射光和所述第三反射光均位于一第二平面内；所述第一平面与所述第二平面位于同一平面，或者所述第一平面与所述第二平面垂直交叉或倾斜交叉。

4.根据权利要求1所述的显微装置，其特征在于，所述第二反射元件的反射面和所述第三反射元件的反射面位于同一平面或平行于同一平面，和/或所述第二反射元件和所述第三反射元件一体成型且位于同一反射元件中。

5. 根据权利要求1所述的显微装置，其特征在于，所述显微物镜、所述第一切换器和所述第二切换器之间形成一沿所述第一方向延伸的光通道；

所述第一切换器还包括一第三光学模组，所述第三光学模组包括一第三安装座和安装于所述第三安装座上的一第一光学元件，所述第一光学元件能够被移入所述光通道；和/或

所述第二切换器还包括一第四光学模组，所述第四光学模组包括一第四安装座和安装于所述第四安装座上的一第二光学元件，所述第二光学元件能够被移入所述光通道。

6.根据权利要求5所述的显微装置，其特征在于，所述第一切换器包括一第一壳体，包括一第一通光孔、一第二通光孔和一第三通光孔；所述第二切换器包括一第二壳体，包括一第四通光孔和一第五通光孔；所述第二通光孔、所述第三通光孔和所述第四通光孔位于所述光通道内。

7.根据权利要求5所述的显微装置，其特征在于，所述第一光学模组还包括一沿所述第一方向延伸的第一子光通道，所述第二光学模组还包括一沿所述第一方向延伸的第二子光通道，所述第三光学模组还包括一沿所述第一方向延伸的第三子光通道，所述第四光学模组还包括一沿所述第一方向延伸的第四子光通道；所述第一子光通道和所述第三子光通道能够被切换进所述光通道中，所述第二子光通道和所述第四子光通道能够被切换进所述光通道中。

8.根据权利要求1所述的显微装置，其特征在于，所述第一切换器还包括一第一旋转安装座，能够绕一第一轴旋转；所述第一光学模组安装于所述第一旋转安装座上；所述第二切换器还包括一第二旋转安装座，能够绕一第二轴旋转；所述第二光学模组安装于所述第二旋转安装座上；所述第一轴和所述第二轴平行于所述第一方向。

9.根据权利要求1所述的显微装置，其特征在于，所述第一安装座包括一第一L形安装架；和一第一倾斜安装架，设置于所述第一L形安装架所包围的一侧；所述第一反射元件安装于所述第一倾斜安装架上；

所述第二安装座包括一第二L形安装架；一第二倾斜安装架，设置于所述第二L形安装架所包围的一侧；和一安装框，与所述第二L形安装架的一侧面相对设置；所述第二反射元件和所述第三反射元件安装于所述第二倾斜安装架上，所述滤光片安装于所述安装框。

10.根据权利要求1所述的显微装置，其特征在于，所述第一反射元件、所述第二反射元件和所述第三反射元件中的一个或两个或三个为平面反射镜，所述滤光片为边缘滤波片。

11.光学设备，其特征在于，包括根据权利要求1-10任一项所述的显微装置。

12.根据权利要求11所述的光学设备，其特征在于，还包括：一激发模块，能够产生一激光作为所述入射光；和一收集模块，能够接收所述第一出射光激发一样品产生的信号光。