CN116625339A - 一种实现mems陀螺数字电路中相位解调系统及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种实现MEMS陀螺数字电路中相位解调系统及方法，解决现有技术相位调整精度不高、相位误差随温度漂移大和需要手动调节补偿相位的技术问题，所述一种实现MEMS陀螺数字电路中相位解调系统包括自动相位补偿电路以及与所述自动相位补偿电路相连接的两路结构相同的输入回路，所述输入回路包括频率数字转换器和数字滤波器，所述频率数字转换器的输入端与驱动轴X或检测轴Y的输出信号连接，频率数字转换器的输出通过数字滤波器与自动相位补偿电路的一个输入端连接。本发明具有相位调整精度高、相位误差随温度漂移小等有益效果。
Description
技术领域
本发明涉及MEMS陀螺检测与集成电路领域，尤其涉及一种实现MEMS陀螺数字电路中相位解调系统及方法。
背景技术
MEMS陀螺驱动和检测电路对信号相位精度要求很高，信号的相位精度制约着陀螺的零偏稳定性。
在模拟方式中，相位精度被模拟电路所制约，器件的温漂和器件精度误差都是制约相位精度的关键因素。而对模拟电路的相位进行调整的方式主要还是利用一次性可编程OTP之类的存储器对电路进行修调，较为繁琐。
在数字方式中，可以在数字域进行相位的调整，优点是不受工艺误差的制约，但是传统的数字相位调整通过寄存器的延迟来实现相位的改变，这种方式来调整相位，其精度受到时钟频率的影响，相位调整的精度正比于Fb/Fs(Fs为控制寄存器时钟频率，Fb为输入信号频率)，只能通过提高时钟频率Fs来提升精度。这种实现方式数字电路的面积和功耗与相位精度成为相互制约的关系。在需要相位精确控制的应用环境中并不实用，因为时钟频率可能会在GHz-THz的量级，对电路的面积和功耗带来极大的负担，实际使用并不现实。并且调整相位的方式还是需要手动调试，在温度漂移的情况下，会产生较大的误差。
MEMS陀螺相位解调电路现有技术缺点：
1.模拟解调电路缺点：电路由于工艺误差偏移大和温度漂移大，很难进行高精度的相位调整；
2.现有数字解调电路缺点：现有技术主要还是通过寄存器的延迟来实现相位的改变，它的量化误差很大程度上取决于参考时钟与信号的频率比。相位调整的精度正比于Fb/Fs(Fs为控制寄存器参考时钟频率，Fb为输入信号频率)，只能通过提高时钟频率Fs来提升精度。这种实现方式下，数字电路的面积和功耗两个因素与相位精度成为相互制约的关系，同时也受到温度漂移的影响。
发明内容
本发明的目的在于，针对以上现有技术问题，一种实现MEMS陀螺数字电路中相位解调系统及方法，实现MEMS陀螺数字电路中精确相位解调的系统设计，其相位调整电路面积小、功耗低、温漂小、精度高和非线性误差小，能够在全温范围内对陀螺实现精确的相位解调。
一种实现MEMS陀螺数字电路中相位解调系统，包括自动相位补偿电路及其两路结构相同输入回路，所述输入回路包括频率数字转换器和数字滤波器，所述频率数字转换器的输入端与驱动轴X或检测轴Y的输出信号连接，频率数字转换器的输出通过数字滤波器与自动相位补偿电路的一个输入端连接。
进一步的，一种实现MEMS陀螺数字电路中相位解调系统，所述频率数字转换器包括相位频率检波器、电荷泵、低通滤波器、压控振荡器、数字频率检波器和数字微分器，驱动轴X或检测轴Y的输出信号作为所述相位频率检波器的输入信号θin与相位频率检波器的一个输入端连接，相位频率检波器的输出与电荷泵连接，电荷泵的输出与低通滤波器连接，低通滤波器的输出与压控振荡器连接，压控振荡器的输出与数字频率检波器和数字微分器连接，压控振荡器的输出作为环路反馈信号θfb还与相位频率检波器的另一个输入端连接。
进一步的，一种实现MEMS陀螺数字电路中相位解调系统，所述数字滤波器为四阶低通抽取滤波器，低通抽取滤波器以高采样率工作的级联积分器和以低采样率工作的梳状级滤波器组成。
进一步的，一种实现MEMS陀螺数字电路中相位解调系统，所述自动相位补偿电路包括积分器组件、滤波器组件、乘法器组件、查表单元、减法器和除法器，所述积分器组件包括积分器1和积分器2，所述滤波器组件包括滤波器1和滤波器2，所述乘法器组件包括乘法器1、乘法器2和乘法器3；
所述积分器1的输入端与检测轴Y的FDC输出连接，积分器1的输出与减法器的一个输入端连接，所述积分器2的输入端与驱动轴X的FDC输出连接，积分器2输出与减法器的另一个输入端连接，所述减法器的输出端连接查表单元的输入端，查表的输出端连接乘法器1的输入端，乘法器1的另一个输入端与检测轴Y的ADC输出连接，乘法器1的输出端连接滤波器1的输入端，滤波器1的输出端连接乘法器3的一个输入端；
乘法器2的两个输入端分别为两个检测轴Y的ADC输出连接，乘法器2的输出端连接滤波器2的输入端，滤波器2的输出端连接除法器的输入端，除法器的输出端连接乘法器3的另一个输入端，驱动轴X的FDC输出还连接至除法器的另一个输入端。
一种实现MEMS陀螺数字电路中相位解调方法，利用频率数字转换器和自动相位补偿电路实现MEMS陀螺数字电路中精确相位解调。
进一步的，一种实现MEMS陀螺数字电路中相位解调方法，所述频率数字转换器进行频率数字转换的步骤为：
S11：相位频率检波器输出端接到电荷泵输入端，电荷泵输出端接到低通滤波器输入端，低通滤波器输出端接到压控振荡器输入端，固有的一阶噪声整形在相位域量化的压控振荡器输出；
S12：压控振荡器输出端反馈到相位频率检波器的输入端形成闭环电路，低通滤波器和压控振荡器提供另一种二阶噪声整形；
S13：一阶噪声整形和二阶噪声整形整合，最终获得三阶噪声整形，频率数字转换器完成频率信号提取并数字化；
所述数字滤波器对频率数字转换器的输出信号进行降采样和扩展位宽，衰减频率数字转换器输出信号中的量化噪声，使得频率数字转换器输出信号中的高频杂散现象在数字域中得到抑制。
进一步的，一种实现MEMS陀螺数字电路中相位解调方法，所述自动相位补偿电路进行相位补偿的步骤为：
S21：驱动轴X的和检测轴Y的输出信号输入到积分器组件，驱动轴X的频率值Fx输出到除法器，检测轴Y的输出信号输出到乘法器2；
S211：检测轴Y的输出信号经过频率数字转换器后输出到积分器1；
驱动轴X的输出信号经过频率数字转换器后一端输出到积分器2；
驱动轴X的频率值Fx经过频率数字转换器后另一端输出到除法器；
S212：检测轴Y的输出信号经过频率数字转换器后输出到乘法器2；
检测轴Y的输出信号经过频率数字转换器后输出到乘法器2；
S22：积分器组件输出相位差到减法器，乘法器2输出检测轴Y的输出信号到滤波器2；
S221：积分器1输出检测轴Y的相位θy到减法器；
积分器2输出检测轴X的相位θx到减法器；
S222：乘法器2中解调检测轴Y的输出信号，再输入到滤波器2；
S23:查表将sin（ωx+θx+Δθ）和检测轴Y的输出信号经过滤波器1转化为Ωzo，除法器得到Fx/ |Vy|=Cq；
所述ωx代表驱动轴信号的角速度；
S231：查表中计算Δθ=θx-θy，代入sin（ωx+θx+Δθ）中，计算出结果，输出到乘法器1中；
检测轴Y的输出信号经过频率数字转换器后输出到乘法器1;
乘法器1将sin（ωx+θx+Δθ）和模拟数字转换输出信号相乘获得Ωzo；
S232：滤波器2中输出幅值|Vy|到除法器；
除法器计算出幅值|Vy|和频率值Fx得到Fx/ |Vy|=Cq，Cq为正交温度补偿值；
S24：乘法器3将Ωzo和Cq相乘，得到补偿结果Ωz；
S241：滤波器1将Ωzo输入乘法器3中；
S242：除法器将Cq输出到乘法器3中；
S243：乘法器中将输入的Ωzo和Cq相乘得到补偿后的Ωz，输出补偿结果Ωz。
本发明的有益效果为：通过一种实现MEMS陀螺数字电路中相位解调系统及方法，三阶噪声整形的数字频率转换器降低了对时钟的频率要求，提高了相位调整的精度，驱动轴和检测轴信号通过数字频率转换器转换出的数字量相减后，得到一个与数字频率转换器精度相同的相位误差量，相位调整精度不受时钟频率的制约，能够实现更高的相位精度；自动相位补偿电路将温度影响的相位解调误差和正交误差都进行补偿实现，使得电路对温度的变化不敏感，即可以自动进行解调相位的温度补偿，取得相位误差随温度漂移小的技术效果。
附图说明
图1是MEMS陀螺数字电路精确相位解调的系统框图。
图2是频率数字转换器电路框图。
图3是自动相位补偿电路框图。
实施方式
为了对本发明的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图说明本发明的具体实施方式。
如附图1所示，一种实现MEMS陀螺数字电路中相位解调系统，包括自动相位补偿电路及其两路结构相同输入回路，所述输入回路包括频率数字转换器和数字滤波器，所述频率数字转换器的输入端与驱动轴X或检测轴Y的输出信号连接，频率数字转换器的输出通过数字滤波器与自动相位补偿电路的一个输入端连接。
进一步的，相位频率检波器输出一对脉冲开关“上”和“下”，代表输入信号和环路反馈信号之间的相位滞后和超前；
所述相位频率检波器累积压控振荡器相位并通过微分器后输出，输出的数字码Dout为1位脉冲，脉宽等于参考时钟周期，参考时钟周期为频率数字转换器工作时需要的时钟周期，脉宽平均值表示输入频率与参考时钟频率的比值；
与传统的基于锁相环的频率数字转换器不同，频率数字转换器不是量化压控振荡器的控制电压值，并且不需要额外的模拟数字转换器来实现控制电压的数字化。
如附图2所示，一种实现MEMS陀螺数字电路中相位解调系统，所述频率数字转换器包括相位频率检波器、电荷泵、低通滤波器、压控振荡器、数字频率检波器和数字微分器，驱动轴X或检测轴Y的输出信号作为所述相位频率检波器的输入信号θin与相位频率检波器的一个输入端连接，相位频率检波器的输出与电荷泵连接，电荷泵的输出与低通滤波器连接，低通滤波器的输出与压控振荡器连接，压控振荡器的输出与数字频率检波器和数字微分器连接，压控振荡器的输出作为环路反馈信号θfb还与相位频率检波器的另一个输入端连接；
所述相位频率检波器输出一脉冲开关信号，代表输入信号θin和环路反馈信号之间的相位滞后和超前。
进一步的，一种实现MEMS陀螺数字电路中相位解调系统，所述数字滤波器为四阶低通抽取滤波器，低通抽取滤波器以高采样率工作的级联积分器和以低采样率工作的梳状级滤波器组成。
如附图3所示，一种实现MEMS陀螺数字电路中相位解调系统，所述自动相位补偿电路包括积分器组件、滤波器组件、乘法器组件、查表单元、减法器和除法器，所述积分器组件包括积分器1和积分器2，所述滤波器组件包括滤波器1和滤波器2，所述乘法器组件包括乘法器1、乘法器2和乘法器3；
所述积分器1的输入端与检测轴Y的FDC输出连接，积分器1的输出与减法器的一个输入端连接，所述积分器2的输入端与驱动轴X的FDC输出连接，积分器2输出与减法器的另一个输入端连接，所述减法器的输出端连接查表单元的输入端，查表的输出端连接乘法器1的输入端，乘法器1的另一个输入端与检测轴Y的ADC输出连接，乘法器1的输出端连接滤波器1的输入端，滤波器1的输出端连接乘法器3的一个输入端；
乘法器2的两个输入端分别为两个检测轴Y的ADC输出连接，乘法器2的输出端连接滤波器2的输入端，滤波器2的输出端连接除法器的输入端，除法器的输出端连接乘法器3的另一个输入端，驱动轴X的FDC输出还连接至除法器的另一个输入端。
一种实现MEMS陀螺数字电路中相位解调方法，通过利用频率数字转换器和自动相位补偿电路实现MEMS陀螺数字电路中精确相位解调。
进一步的，一种实现MEMS陀螺数字电路中相位解调方法，所述频率数字转换器进行频率数字转换的步骤为：
S11：相位频率检波器输出端接到电荷泵输入端，电荷泵输出端接到低通滤波器输入端，低通滤波器输出端接到压控振荡器输入端，固有的一阶噪声整形在相位域量化的压控振荡器输出；
S12：压控振荡器输出端反馈到相位频率检波器的输入端形成闭环电路，低通滤波器和压控振荡器提供另一种二阶噪声整形；
S13：一阶噪声整形和二阶噪声整形整合，最终获得三阶噪声整形，频率数字转换器完成频率信号提取并数字化；
所述数字滤波器对频率数字转换器的输出信号进行降采样和扩展位宽，衰减频率数字转换器输出信号中的量化噪声，使得频率数字转换器输出信号中的高频杂散现象在数字域中得到抑制。
进一步的，一种实现MEMS陀螺数字电路中相位解调方法，所述自动相位补偿电路进行相位补偿的步骤为：
S21：驱动轴X的和检测轴Y的输出信号输入到积分器组件，驱动轴X的频率值Fx输出到除法器，检测轴Y的输出信号输出到乘法器2；
S211：检测轴Y的输出信号经过频率数字转换器后输出到积分器1；
驱动轴X的输出信号经过频率数字转换器后一端输出到积分器2；
驱动轴X的频率值Fx经过频率数字转换器后另一端输出到除法器；
S212：检测轴Y的输出信号经过频率数字转换器后输出到乘法器2；
检测轴Y的输出信号经过频率数字转换器后一端输出到乘法器2；
S22：积分器组件输出相位差到减法器，乘法器2输出检测轴Y的输出信号到滤波器2；
S221：积分器1输出检测轴Y的相位θy到减法器；
积分器2输出检测轴X的相位θx到减法器；
S222：乘法器2中解调检测轴Y的输出信号，再输入到滤波器2；
S23:查表将sin（ωx+θx+Δθ）和检测轴Y的输出信号经过滤波器1转化为Ωzo，除法器得到Fx/ |Vy|=Cq；
所述ωx代表驱动轴信号的角速度；
S231：查表中计算Δθ=θx-θy，代入sin（ωx+θx+Δθ）中，计算出结果，输出到乘法器1中；
检测轴Y的输出信号经过频率数字转换器后输出到乘法器1;
乘法器1将sin（ωx+θx+Δθ）和模拟数字转换输出信号相乘获得Ωzo；
S232：滤波器2中输出幅值|Vy|到除法器；
除法器计算出幅值|Vy|和频率值Fx得到Fx/ |Vy|=Cq，Cq为正交温度补偿值；
S24：乘法器3将Ωzo和Cq相乘，得到补偿结果Ωz；
S241：滤波器1将Ωzo输入乘法器3中；
S242：除法器将Cq输出到乘法器3中；
S243：乘法器中将输入的Ωzo和Cq相乘得到补偿后的Ωz，输出补偿结果Ωz。
由于相位精度比较高，查表法可以避免使用大量逻辑资源并且本电路对时序要求非常高，若用其他计算方式，则其延时很难满足要求。
此自动相位补偿电路技术优势在温度变化时，驱动轴和检测轴的频率信号也会发生变化，对驱动轴信号进行频率和幅度变化的检测后得到的正交误差补偿值也随着温度变化的，能够减小温度漂移带来的误差，检测轴信号进行解调的波形相位是利用FDC检测出来的相位值进行实时补偿的相位，也会随温度变化而变化，减小温度漂移带来的误差。
详细来说，如附图1所示，一种实现MEMS陀螺数字电路中相位解调系统，设计结构为：
驱动轴X的信号连接模拟数字转换器X输入端，模拟数字转换器X输出端连接数字滤波器1的输入端，数字滤波器1的输出端连接自动控制补偿电路的输入端；
驱动轴X的信号连接频率数字转换器X输入端，频率数字转换器X输出端连接数字滤波器2的输入端，数字滤波器2的输出端连接自动控制补偿电路的输入端；
检测轴Y的信号连接模拟数字转换器Y输入端，模拟数字转换器Y输出端连接数字滤波器3的输入端，数字滤波器3的输出端连接自动控制补偿电路的输入端；
驱动轴Y的信号连接频率数字转换器Y输入端，频率数字转换器Y输出端连接数字滤波器3的输入端，数字滤波器3的输出端连接自动控制补偿电路的输入端；
自动控制补偿电路输出补偿后的科里奥利力Ωz。
详细来说，如附图2所示，频率数字转换器电路，连接结构为：
相位频率检波器输出端连接电荷泵输入端，电荷泵输出端连接低通滤波器输入端，低通滤波器输出端接到压控振荡器输入端；
压控振荡器输出端反馈到相位频率检波器的输入端形成闭环电路，压控振荡器输出端同时连接上升沿检波器和微分器输入端；
上升沿检波器和微分器输出经过三阶噪声整形的一位数字信号。
详细来说，如附图3所示，自动相位补偿电路框图，连接结构为：
驱动轴X和检测轴Y的频率数字转换器输出信号同时连接积分器1和积分器2的输入端；
积分器1输出端连接减法器一个输入端，积分器2输出端连接减法器另一个输入端；
减法器输出在查表之后得到的值输入到乘法器1和滤波器1的一个输入端；
检测轴Y的模拟数字转换器输出信号输入到乘法器1和滤波器1的另一个输入端；
乘法器1和滤波器1输出端接入到乘法器3的一个输入端；
检测轴Y的模拟数字转换器输出信号输入到乘法器2和滤波器2的两个输入端；
乘法器2和滤波器2输出端连接除法器的一个输入端，驱动轴X的频率数字转换器输出信号同时接到除法器的另一个输入端，除法器的输出端接入到乘法器3的另一个输入端；
乘法器3的输出端输出相位补偿后的科里奥利力Ωz。
本方案通过一种实现MEMS陀螺数字电路中相位解调系统及方法，通过利用频率数字转换器和自动相位补偿电路来实现MEMS陀螺数字电路中精确相位解调的系统解决相位调整精度不高、相位误差随温度漂移大和需要手动调节补偿相位的问题，具体如下：
1. 利用频率数字转换器的三阶噪声整形来降低时钟频率，在低时钟频率下可以实现高的相位精度，避免使用相位精度被时钟制约的调节方式，减小系统功耗和面积；
2. 利用自动相位补偿电路在驱动轴和检测轴都使用频率数字转换器进行相位检测后再做差值，由于波形的相位差实时检测实时变化，电路自动将差值进行补偿后解调检测轴的输出波形，避免手动调节补偿相位的操作，取得自动调节补偿相位的技术效果；同时这种方法使得电路对温度的变化不敏感，即可以自动进行解调相位的温度补偿，取得相位误差随温度漂移小的技术效果。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (7)
1.一种实现MEMS陀螺数字电路中相位解调系统，其特征在于，包括自动相位补偿电路以及与所述自动相位补偿电路相连接的两路结构相同的输入回路，所述输入回路包括频率数字转换器和数字滤波器，所述频率数字转换器的输入端与驱动轴X或检测轴Y的输出信号连接，频率数字转换器的输出通过数字滤波器与自动相位补偿电路的一个输入端连接。
2.根据权利要求1所述一种实现MEMS陀螺数字电路中相位解调系统，其特征在于，所述频率数字转换器包括相位频率检波器、电荷泵、低通滤波器、压控振荡器、数字频率检波器和数字微分器，驱动轴X或检测轴Y的输出信号作为所述相位频率检波器的输入信号θin与相位频率检波器的一个输入端连接，相位频率检波器的输出与电荷泵连接，电荷泵的输出与低通滤波器连接，低通滤波器的输出与压控振荡器连接，压控振荡器的输出与数字频率检波器和数字微分器连接，压控振荡器的输出作为环路反馈信号θfb还与相位频率检波器的另一个输入端连接。
3.根据权利要求2所述一种实现MEMS陀螺数字电路中相位解调系统，其特征在于，所述数字滤波器为四阶低通抽取滤波器，所述四阶低通抽取滤波器以高采样率工作的级联积分器和以低采样率工作的梳状级滤波器组成。
4.根据权利要求1所述一种实现MEMS陀螺数字电路中相位解调系统，其特征在于，所述自动相位补偿电路包括积分器组件、滤波器组件、乘法器组件、查表单元、减法器和除法器，所述积分器组件包括积分器1和积分器2，所述滤波器组件包括滤波器1和滤波器2，所述乘法器组件包括乘法器1、乘法器2和乘法器3；
所述积分器1的输入端与检测轴Y的FDC输出连接，积分器1的输出与减法器的一个输入端连接，所述积分器2的输入端与驱动轴X的FDC输出连接，积分器2输出与减法器的另一个输入端连接，所述减法器的输出端连接查表单元的输入端，查表的输出端连接乘法器1的输入端，乘法器1的另一个输入端与检测轴Y的ADC输出连接，乘法器1的输出端连接滤波器1的输入端，滤波器1的输出端连接乘法器3的一个输入端；
乘法器2的两个输入端分别为两个检测轴Y的ADC输出连接，乘法器2的输出端连接滤波器2的输入端，滤波器2的输出端连接除法器的输入端，除法器的输出端连接乘法器3的另一个输入端，驱动轴X的FDC输出还连接至除法器的另一个输入端。
5.一种实现MEMS陀螺数字电路中相位解调方法，基于权利要求1~4任意一项一种实现MEMS陀螺数字电路中相位解调系统所实现，其特征在于，包括利用频率数字转换器和自动相位补偿电路实现MEMS陀螺数字电路中精确相位解调的步骤。
6.根据权利要求5所述一种实现MEMS陀螺数字电路中相位解调方法，其特征在于，所述频率数字转换器进行频率数字转换的步骤为：
S11：相位频率检波器输出端接到电荷泵输入端，电荷泵输出端接到低通滤波器输入端，低通滤波器输出端接到压控振荡器输入端，固有的一阶噪声整形在相位域量化的压控振荡器输出；
S12：压控振荡器输出端反馈到相位频率检波器的输入端形成闭环电路，低通滤波器和压控振荡器提供另一种二阶噪声整形；
S13：一阶噪声整形和二阶噪声整形整合，最终获得三阶噪声整形，频率数字转换器完成频率信号提取并数字化；
所述数字滤波器对频率数字转换器的输出信号进行降采样和扩展位宽，衰减频率数字转换器输出信号中的量化噪声，使得频率数字转换器输出信号中的高频杂散现象在数字域中得到抑制。
7.根据权利要求5所述一种实现MEMS陀螺数字电路中相位解调方法，其特征在于，所述自动相位补偿电路进行相位补偿的步骤为：
S21：驱动轴X的和检测轴Y的输出信号输入到积分器组件，驱动轴X的频率值Fx输出到除法器，检测轴Y的输出信号输出到乘法器2；
S211：检测轴Y的输出信号经过频率数字转换器后输出到积分器1；
驱动轴X的输出信号经过频率数字转换器后一端输出到积分器2；
驱动轴X的频率值Fx经过频率数字转换器后另一端输出到除法器；
S212：检测轴Y的输出信号经过频率数字转换器后输出到乘法器2；
检测轴Y的输出信号经过频率数字转换器后输出到乘法器2；
S22：积分器组件输出相位差到减法器，乘法器2输出检测轴Y的输出信号到滤波器2；
S221：积分器1输出检测轴Y的相位θy到减法器；
积分器2输出检测轴X的相位θx到减法器；
S222：乘法器2中解调检测轴Y的输出信号，再输入到滤波器2；
S23:查表将sin（ωx+θx+Δθ）和检测轴Y的输出信号经过滤波器1转化为Ωzo，除法器得到Fx/ |Vy|=Cq；
所述ωx代表驱动轴信号的角速度；
S231：查表中计算Δθ=θx-θy，代入sin（ωx+θx+Δθ）中，计算出结果，输出到乘法器1中；
检测轴Y的输出信号经过频率数字转换器后输出到乘法器1;
乘法器1将sin（ωx+θx+Δθ）和模拟数字转换输出信号相乘获得Ωzo；
S232：滤波器2中输出幅值|Vy|到除法器；
除法器计算出幅值|Vy|和频率值Fx得到Fx/ |Vy|=Cq，Cq为正交温度补偿值；
S24：乘法器3将Ωzo和Cq相乘，得到补偿结果Ωz；
S241：滤波器1将Ωzo输入乘法器3中；
S242：除法器将Cq输出到乘法器3中；
S243：乘法器中将输入的Ωzo和Cq相乘得到补偿后的Ωz，输出补偿结果Ωz。
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