CN116560062B - 显微镜对焦防碰撞控制方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了显微镜对焦防碰撞控制方法，具体：采集在不同z轴高度下待测物体的侧面图像；分析待测物体上目标点沿z轴方向移动距离所对应的成像平面上的成像距离;采用相机测距原理推导出侧面相机到测量平台上待测物体上目标点的距离；搭建测量平台上待测物体表面形貌相对于侧面相机所在的三维位置参数；控制与主相机相连的镜头与待测物体间的碰撞风险，并进行碰撞风险预警。本发明能够分析出侧面相机到测量平台上待测物体上目标点的距离以及待测物体的表面形貌参数，并通过测量平台的位置变化获得当前镜头轮廓所覆盖区域内待测物体表面的高度，进而控制与主相机相连的镜头与待测物体间的碰撞风险，实现对焦过程中镜头碰撞风险预警和规避。

Description

显微镜对焦防碰撞控制方法

技术领域

本发明属于显微镜对焦技术领域，涉及到显微镜在对焦测量过程中显微镜对焦防碰撞控制方法。

背景技术

超景深显微镜具有景深大、分辨率大等特点，因显微镜的结构布局限制，无法在显微镜侧面安装两个侧面相机，在显微镜对测量平台上待测物体进行对焦观察及图像采集时，需调节z轴高度进行对焦，因待测物体表面的形貌参数事先无法获取或确定，一旦待测物体表面的高度差大于显微镜工作距离时，导致镜头在对焦观察的过程中，镜头易与待测物体发生碰撞，造成镜头损坏或待测物体损坏，为了解决以上问题，需设计显微镜对焦防碰撞控制方法。

发明内容

本发明公开了显微镜对焦防碰撞控制方法，解决了现有背景技术中存在的问题。

本发明在其一个应用方面中提供了显微镜对焦防碰撞控制方法，包括：

采集测量平台在不同z轴高度下待测物体的侧面图像；

分析待测物体上目标点沿z轴方向移动距离所对应的成像平面上的成像距离;

采用相机测距原理推导出侧面相机到测量平台上待测物体上目标点的距离；

获得测量平台上待测物体表面形貌相对于侧面相机的三维位置参数；

控制与主相机相连的镜头与待测物体间的碰撞风险，并进行碰撞风险预警。

优选地，获取沿z轴方向移动距离D后，待测物体上目标点在侧面图像中的位置，计算沿z轴方向移动距离D后，目标点在成像平面上所对应的成像距离d，，/>表示为单个像素点所占的实际尺寸，/>为目标点沿z轴移动距离D在成像平面所占的像素点个数。

优选地，所述侧面相机到测量平台上待测物体上的目标点间的距离计算公式：，f为侧面相机的焦距。

优选地，待测物体表面形貌的位置参数的获取方法：

获取侧面相机采集的侧面图像，建立三维空间坐标系；

构建成像平面的二维图像坐标；

计算待测物体上任意目标点到侧面相机采集视野中心轴线y0z面的垂直距离以及到侧面相机所在平面x0y面的垂直距离；

根据侧面相机到测量平台上待测物体上目标点的距离、待测物体上目标点到侧面相机采集视野中心轴线y0z面/>以及待测物体上目标点到侧面相机所在平面x0y面间的垂直距离/>，并结合当前测量平台所在的z轴高度，获得测量平台上待测物体的表面形貌的位置参数。

优选地，待测物体上任意目标点到侧面相机采集视野中心轴线y0z面的垂直距离以及到侧面相机所在平面x0y面的垂直距离：，/>为待测物体上目标点到侧面相机所在y0z面的垂直距离，/>为待测物体上目标点到侧面相机所在平面x0y面的垂直距离，/>为目标点在侧面图像所在的图像坐标系上距b轴的像素点个数，/>为目标点在侧面图像所在的图像坐标系上距a轴的像素点个数，W和H分别为侧面相机采集的侧面图像在图像坐标系上的长、宽方向上所占的像素点个数。

优选地，与主相机相连的镜头与待测物体间的碰撞风险的具体控制方法为：

步骤W1、建立待测物体初始位置状态的三维形貌参数；

步骤W2、获取主相机初始位置下与主相机相连的镜头底部中心位置坐标以及镜头轮廓尺寸；

步骤W3、提取显微镜测量过程中，测量平台与主相机在X、Y轴方向上的相对移动距离；

步骤W4、定位测量平台与主相机发生相对移动后，镜头底座中心位置正下方相对于初始状态下待测物体在x0y平面下的位置；

步骤W5、以镜头底座中心位置正下方待测物体在x0y平面下的位置为中心筛选出镜头轮廓所覆盖区域内x0y坐标；

步骤W6、筛选出镜头轮廓所覆盖区域内x0y坐标下，待测物体在z轴方向上的高度；

步骤W7、分析当前位置下镜头与覆盖区域内待测物体的各目标点的最高z值间的相对距离，基于相对距离分别控制测量平台和镜头在z轴上移动距离。

优选地，与主相机相连的镜头与待测物体间的碰撞风险控制方法还包括：

步骤E1、获取与主相机相连的镜头的工作距离和焦点深度；

步骤E2、筛选出镜头轮廓所覆盖区域内x0y坐标下，待测物体上各目标点在z轴方向上的高度，并筛选出各目标点所对应的最高z值；

步骤E3、判断镜头轮廓所覆盖区域内待测物体在z轴方向上的最大高度差是否大于镜头沿z轴方向移动的最大量程，若大于镜头沿z轴方向移动的最大量程，则控制测量平台沿z轴向上移动距离D1，重新计算镜头轮廓所覆盖区域内待测物体在z轴方向上的最大高度差,若小于镜头沿z轴方向移动的最大量程，则提取镜头轮廓所覆盖区域内待测物体在z轴方向上的最大高度差/>；

步骤E4、判断最大高度差是否大于第一对焦高度/>，若大于第一对焦高度，则与主相机相连的镜头在对焦过程中，存在与待测物体碰撞的风险，当镜头从当前高度向下移动/>时，控制镜头停止继续向靠近待测物体表面移动，若小于第一对焦高度/>，则执行步骤E5；

步骤E5、判断最大高度差是否大于第二对焦高度/>，若大于第二对焦高度，则控制镜头沿z轴向下移动距离上限，与主相机相连的镜头不与待测物体发生碰撞，若小于第二对焦高度/>,则控制镜头与镜头轮廓所覆盖区域内待测物体在z轴方向上最小高度间的距离大于安全间距，镜头不与待测物体发生碰撞。

优选地，显微镜对焦防碰撞控制方法，还包括判断测量平台的移动轨迹是否相对于侧面相机发生相对转动偏移，若存在转动偏移，则对沿z轴方向移动距离进行修正补偿。

优选地，测量平台的转动偏移分析方法包括如下步骤：

Q1、依次控制测量平台沿z轴方向移动不同距离；

Q2、获取测量平台上目标点沿在z轴移动不同距离前、后的位置点所对应的在成像图像上移动的距离Gv,v=1,2,...,V;

Q3、采用直角三角形分析移动前、后目标点的位置在成像图像上所对应的有效距离；

Q4、根据成像图像上测量平台移动前后的有效距离，计算出测量平台沿z轴移动的偏移角度；

Q5、当测量平台随齿条移动距离D时，目标点沿z轴方向的有效距离。

有益效果：

本发明提供的显微镜对焦防碰撞控制方法，通过对相机采集测量平台在不同z轴高度下待测物体上目标点沿z轴方向移动距离所对应的成像距离进行分析，能够分析出侧面相机到测量平台上待测物体上目标点的距离，并准确获得测量平台上各坐标位置下待测物体的表面形貌参数，为后期显微镜防碰撞控制提供可靠的三维形貌数据。

本发明通过测量平台沿x、y、z轴方向移动下，以准确获得当前镜头轮廓所覆盖区域内待测物体表面的高度，进而控制与主相机相连的镜头与待测物体间的碰撞风险，实现对焦过程中镜头碰撞风险预警和规避，提高了镜头对焦过程中的安全性，避免因待测物体表面高度差而导致镜头与待测物体发生碰撞。

本发明通过对测量平台的转动偏移进行分析判断，以获得测量平台在对焦过程中沿z轴移动是否存在偏移，并对偏移角度进行补偿，获得测量平台沿z轴移动的有效距离，进而准确分析出侧面相机到目标点的距离，实现对待测物体表面形貌参数的准确性，可精准获得待测物体的三维形貌参数，为后期镜头对焦过程中存在的碰撞风险进行及时预警规避，提高了镜头的使用寿命，减少碰撞风险。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为以侧面相机的视野中心为原点所建立的三维坐标系；

图2为成像图像所在的二维坐标系；

图3为测量平台所在的x0z坐标系；

图4为成像图像上目标点移动前后的位置示意图。

具体实施方式

为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。

显微镜包括两相机，其中一相机位于测量平台上方，称为主相机，另一相机位于显微镜侧面，称为侧面相机，主相机对放置在测量平台上的待测物体进行超景深对焦采集时，需与主相机相配合使用的镜头向下移动或配合测量平台向上移动，镜头易与测量平台上的待测物体发生碰撞，造成镜头或镜片发生损坏。

实施例一

显微镜对焦防碰撞控制方法，步骤如下：

步骤1、采集测量平台在不同z轴高度下待测物体的侧面图像；

位于显微镜侧面的侧面相机，对当前z轴高度下放置在测量平台上的待测物体进行图像采集，并控制测量平台沿z轴方向移动，依次对测量平台沿z轴方向移动下进行侧面图像采集，获得测量平台在不同z轴高度下待测物体的侧面图像;

步骤2、分析待测物体上目标点沿z轴方向移动距离所对应的成像平面上的成像距离;

选取当前z轴高度下测量平台上待测物体上目标点在侧面图像中的位置，并获取沿z轴方向移动距离D后，待测物体上目标点在侧面图像中的位置，计算沿z轴方向移动距离D后，目标点在成像平面上所对应的成像距离d，，/>表示为单个像素点所占的实际尺寸，单位um/pixel，/>为目标点沿z轴移动距离D在成像平面所占的像素点个数；

步骤3、采用相机测距原理推导出侧面相机到测量平台上待测物体上目标点的距离；

侧面相机到测量平台上待测物体上的目标点间的距离计算公式：/>，f为侧面相机的焦距；

步骤4、获得测量平台上待测物体表面形貌相对于侧面相机的三维位置参数；

其中，待测物体表面形貌的位置参数的获取方法：

获取侧面相机采集的侧面图像，建立三维空间坐标系，如图1所示，以侧面相机的视野中心为原点，以侧面相机的视野中心轴线为y轴，以侧面相机的视野中心且垂直测量平台的轴线为z轴，以过侧面相机的视野中心且垂直y0z平面的轴线为x轴；

构建成像平面的二维图像坐标，如图1所示和如图2所示；

计算待测物体上任意目标点到侧面相机采集视野中心轴线y0z面的垂直距离以及到侧面相机所在平面x0y面的垂直距离：，/>为待测物体上目标点到侧面相机所在y0z面的垂直距离，/>为待测物体上目标点到侧面相机所在平面x0y面的垂直距离，/>为目标点在侧面图像所在的图像坐标系上距b轴的像素点个数，/>为目标点在侧面图像所在的图像坐标系上距a轴的像素点个数，W和H分别为侧面相机采集的侧面图像在图像坐标系上的长、宽方向上所占的像素点个数，图像坐标系以侧面相机所采集的图像的左上角为原点而建立的二维坐标；

基于步骤3中侧面相机到测量平台上待测物体上目标点的距离、待测物体上目标点到侧面相机采集视野中心轴线y0z面/>以及待测物体上目标点到侧面相机所在平面x0y面间的垂直距离/>，并结合当前测量平台所在的z轴高度，获得测量平台上待测物体的表面形貌的位置参数，即不同xy坐标下的待测物体表面高度参数；

步骤5、控制与主相机相连的镜头与待测物体间的碰撞风险，并进行碰撞风险预警。

所述主相机与待测物体间的碰撞风险控制，具体控制方法：

步骤W1、建立待测物体初始位置状态的三维形貌参数，并以侧面相机的镜头中心作为三维坐标系的原点，获得三维位置坐标下待测物体表面各目标点的形貌位置参数，三维坐标系下待测物体上各目标点的表面形貌位置参数（xi，yi，zi），当测量平台沿x轴、y轴移动时，xoy坐标下（xi，yi）所对应的位置高度发生改变；

步骤W2、获取主相机初始位置下与主相机相连的镜头底部中心位置坐标以及镜头轮廓尺寸，镜头底部中心位置坐标（xj，yj，zj）；

步骤W3、提取显微镜测量过程中，测量平台与主相机在X、Y轴方向上的相对移动距离，分别为, />；

步骤W4、定位测量平台与主相机发生相对移动后，镜头底座中心位置正下方相对于初始状态下待测物体在x0y平面下的位置；

即相对于初始状态下待测物体在x0y平面下的位置：，当测量平台相对于主相机向x正方向移动时，k取值1，当测量平台相对于主相机向x负方向移动时，k取值-1；当测量平台相对于主相机向y正方向移动时，g取值1，当测量平台相对于主相机向y负方向移动时，g取值-1；

步骤W5、以镜头底座中心位置正下方待测物体在x0y坐标下的位置为中心筛选出镜头轮廓所覆盖区域内x0y坐标；

步骤W6、筛选出镜头轮廓所覆盖区域内x0y坐标下，待测物体在z轴方向上的高度；

步骤W7、分析当前位置下镜头与覆盖区域内待测物体的各目标点的最高z值间的相对距离，基于相对距离分别控制测量平台和镜头在z轴上移动距离。

通过与主相机相连的镜头与待测物体间的最小距离进行实时追踪，能够控制与主相机相连的镜头对测量平台上的待测物体进行对焦调整时的可调节深度，以实现对镜头对焦方向上的防碰撞预警预测，避免镜头与待测物体发生碰撞所造成的风险程度。

另外，与主相机相连的镜头与待测物体间的碰撞风险控制方法，还可采用以下方式，具体为：

步骤E1、获取与主相机相连的镜头的工作距离和焦点深度；

步骤E2、筛选出镜头轮廓所覆盖区域内x0y坐标下，待测物体上各目标点在z轴方向上的高度，并筛选出各目标点所对应的最高z值；

步骤E3、判断镜头轮廓所覆盖区域内待测物体在z轴方向上的最大高度差是否大于镜头沿z轴方向移动的最大量程，若大于，则控制测量平台沿z轴向上移动距离D，重新计算镜头轮廓所覆盖区域内待测物体在z轴方向上的最大高度差,若小于，则提取镜头轮廓所覆盖区域内待测物体在z轴方向上的最大高度差/>，/>，若最大高度差大于镜头沿z轴方向移动的最大量程，则需控制测量平台沿z轴向上移动距离D1，表示为镜头轮廓所覆盖区域内待测物体上各目标点所对应的最大z轴数值，/>表示为镜头轮廓所覆盖区域内待测物体上各目标点所对应的最小z轴数值；

步骤E4、判断最大高度差是否大于第一对焦高度/>，若大于第一对焦高度，则与主相机相连的镜头在对焦过程中，存在与待测物体碰撞的风险，当镜头从当前高度向下移动/>时，控制镜头停止继续向靠近待测物体表面移动，若小于第一对焦高度/>，则执行步骤E5；

步骤E5、判断最大高度差是否大于第二对焦高度/>，其中，焦点深度=H1-H2，H1=工作距离+1/2焦点深度,H2=工作距离-1/2焦点深度，若大于第二对焦高度/>，则控制镜头沿z轴向下移动距离上限U，U=Zmax-工作距离，Zmax为镜头轮廓所覆盖区域内待测物体上各目标点与镜头在z轴方向上的最大距离，此过程对焦，与主相机相连的镜头不与待测物体发生碰撞，若小于第二对焦高度/>，则控制镜头与镜头轮廓所覆盖区域内待测物体在z轴方向上最小高度间的距离大于安全间距，镜头不与待测物体发生碰撞，安全间距＝工作距离-1/2*焦点深度。

通过镜头的性能指标参数（工作距离和焦点深度）对镜头对焦过程中进行z轴移动距离的控制，以实现碰撞预警提醒，能够准确识别当前镜头型号下对镜头轮廓所覆盖区域下对焦调整所产生的对焦碰撞风险，可及时进行碰撞风险预警。

实施例二

实施例一对显微镜在对焦过程进行防碰撞控制，能够避免镜头对焦时与待测物体间存在碰撞风险，显微镜在对焦的过程中，需测量平台和与主相机相连的镜头配合使用，以满足镜头的工作距离要求，测量平台沿z轴方向的移动控制，由显微镜底座上的电机带动齿轮转动，并由齿轮带动与齿条相连接的测量平台进行同步移动，但是当齿条安装倾斜，会导致测量平台沿z轴移动轨迹随齿条安装角发生倾斜，测量平台沿z轴移动的距离为沿齿条安装方向上移动的距离，如图3所示，则导致放置在测量平台上的待测物体表面形貌参数的三维位置坐标不准确，进而导致显微镜对焦过程中无法准确进行防碰撞预警与控制。

显微镜对焦防碰撞控制方法，还包括判断测量平台的移动轨迹是否相对于侧面相机发生相对转动偏移，若存在转动偏移，则对沿z轴方向移动距离进行修正补偿。

测量平台的转动偏移分析方法包括如下步骤：

Q1、依次控制测量平台沿z轴方向移动不同距离；

Q2、获取测量平台上目标点沿在z轴移动不同距离前、后的位置点所对应的在成像图像上移动的距离Gv,v=1,2,...,V，如图4所示；

Q3、采用直角三角形分析移动前、后目标点的位置在成像图像上所对应的有效距离；

Q4、根据成像图像上测量平台移动前后的有效距离，计算出测量平台沿z轴移动的偏移角度；

Q5、当测量平台随齿条移动距离D2时，目标点沿z轴方向的有效距离。

采用测量平台的转动偏移分析方法进行测量平台在对焦过程中沿z轴方向移动的距离进行补偿修正，能够排除测量平台移动发生偏转而造成的沿z轴方向移动的距离不属于实际有效沿z轴移动距离，进而能够准确获得待测物体上各位置到侧面相机的距离，进而能够精准地定位待测物体在距离侧面相机的距离准确，进而获得待测物体准确的三维形貌参数，为后期镜头对焦过程中存在的碰撞风险进行及时预警规避，提高了镜头的使用寿命，减少碰撞风险。

以上内容仅仅是对本发明的构思所作的举例和说明，所属本技术领域的技术人员对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离发明的构思或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本发明的保护范围。

Claims (7)

1.显微镜对焦防碰撞控制方法，其特征在于，包括：

采集测量平台在不同z轴高度下待测物体的侧面图像；

分析待测物体上目标点沿z轴方向移动距离所对应的成像平面上的成像距离;

采用相机测距原理推导出侧面相机到测量平台上待测物体上目标点的距离；

获得测量平台上待测物体表面形貌相对于侧面相机的三维位置参数；

控制与主相机相连的镜头与待测物体间的碰撞风险，并进行碰撞风险预警；

与主相机相连的镜头与待测物体间的碰撞风险的具体控制方法为：

步骤W1、建立待测物体初始位置状态的三维形貌参数；

步骤W2、获取主相机初始位置下与主相机相连的镜头底部中心位置坐标以及镜头轮廓尺寸；

步骤W3、提取显微镜测量过程中，测量平台与主相机在X、Y轴方向上的相对移动距离；

步骤W4、定位测量平台与主相机发生相对移动后，镜头底座中心位置正下方相对于初始状态下待测物体在x0y平面下的位置；

步骤W5、以镜头底座中心位置正下方待测物体在x0y平面下的位置为中心筛选出镜头轮廓所覆盖区域内x0y坐标；

步骤W6、筛选出镜头轮廓所覆盖区域内x0y坐标下，待测物体在z轴方向上的高度；

步骤W7、分析当前位置下镜头与覆盖区域内待测物体的各目标点的最高z值间的相对距离，基于相对距离分别控制测量平台和镜头在z轴上移动距离；

与主相机相连的镜头与待测物体间的碰撞风险控制方法还包括：

步骤E1、获取与主相机相连的镜头的工作距离和焦点深度；

步骤E2、筛选出镜头轮廓所覆盖区域内x0y坐标下，待测物体上各目标点在z轴方向上的高度，并筛选出各目标点所对应的最高z值；

步骤E3、判断镜头轮廓所覆盖区域内待测物体在z轴方向上的最大高度差是否大于镜头沿z轴方向移动的最大量程，若大于镜头沿z轴方向移动的最大量程，则控制测量平台沿z轴向上移动距离D1，重新计算镜头轮廓所覆盖区域内待测物体在z轴方向上的最大高度差,若小于镜头沿z轴方向移动的最大量程，则提取镜头轮廓所覆盖区域内待测物体在z轴方向上的最大高度差/>；

步骤E4、判断最大高度差是否大于第一对焦高度/>，若大于第一对焦高度/>，则与主相机相连的镜头在对焦过程中，存在与待测物体碰撞的风险，当镜头从当前高度向下移动/>时，控制镜头停止继续向靠近待测物体表面移动，若小于第一对焦高度/>，则执行步骤E5；

步骤E5、判断最大高度差是否大于第二对焦高度/>，若大于第二对焦高度/>，其中，焦点深度=H1-H2，H1=工作距离+1/2焦点深度,H2=工作距离-1/2焦点深度，则控制镜头沿z轴向下移动距离上限U，与主相机相连的镜头不与待测物体发生碰撞，若小于第二对焦高度/>，则控制镜头与镜头轮廓所覆盖区域内待测物体在z轴方向上最小高度间的距离大于安全间距，镜头不与待测物体发生碰撞，U=Zmax-工作距离，安全间距＝工作距离-1/2*焦点深度，Zmax为镜头轮廓所覆盖区域内待测物体上各目标点与镜头在z轴方向上的最大距离。

2.根据权利要求1所述的显微镜对焦防碰撞控制方法，其特征在于，获取沿z轴方向移动距离D后，待测物体上目标点在侧面图像中的位置，计算沿z轴方向移动距离D后，目标点在成像平面上所对应的成像距离d，，/>表示为单个像素点所占的实际尺寸，为目标点沿z轴移动距离D在成像平面所占的像素点个数。

3.根据权利要求1所述的显微镜对焦防碰撞控制方法，其特征在于，所述侧面相机到测量平台上待测物体上的目标点间的距离计算公式：/>，f为侧面相机的焦距。

4.根据权利要求1所述的显微镜对焦防碰撞控制方法，其特征在于，待测物体表面形貌的位置参数的获取方法：

获取侧面相机采集的侧面图像，建立三维空间坐标系；

构建成像平面的二维图像坐标；

计算待测物体上任意目标点到侧面相机采集视野中心轴线y0z面的垂直距离以及到侧面相机所在平面x0y面的垂直距离；

根据侧面相机到测量平台上待测物体上目标点的距离、待测物体上目标点到侧面相机采集视野中心轴线y0z面的垂直距离/>以及待测物体上目标点到侧面相机所在平面x0y面间的垂直距离/>，并结合当前测量平台所在的z轴高度，获得测量平台上待测物体的表面形貌的位置参数。

5.根据权利要求4所述的显微镜对焦防碰撞控制方法，其特征在于，待测物体上任意目标点到侧面相机采集视野中心轴线y0z面的垂直距离以及到侧面相机所在平面x0y面的垂直距离：，/>为待测物体上目标点到侧面相机所在y0z面的垂直距离，/>为待测物体上目标点到侧面相机所在平面x0y面的垂直距离，/>为目标点在侧面图像所在的图像坐标系上距b轴的像素点个数，/>为目标点在侧面图像所在的图像坐标系上距a轴的像素点个数，W和H分别为侧面相机采集的侧面图像在图像坐标系上的长、宽方向上所占的像素点个数。

6.根据权利要求1-5任意一所述的显微镜对焦防碰撞控制方法，其特征在于，显微镜对焦防碰撞控制方法，还包括判断测量平台的移动轨迹是否相对于侧面相机发生相对转动偏移，若存在转动偏移，则对沿z轴方向移动距离进行修正补偿。

7.根据权利要求6所述的显微镜对焦防碰撞控制方法，其特征在于，测量平台的转动偏移分析方法包括如下步骤：

Q1、依次控制测量平台沿z轴方向移动不同距离；

Q2、获取测量平台上目标点沿在z轴移动不同距离前、后的位置点所对应的在成像图像上移动的距离Gv,v=1,2,...,V;

Q3、采用直角三角形分析移动前、后目标点的位置在成像图像上所对应的有效距离；

Q4、根据成像图像上测量平台移动前后的有效距离，计算出测量平台沿z轴移动的偏移角度；

Q5、当测量平台随齿条移动距离D2时，目标点沿z轴方向的有效距离。