CN116464640A - 一种真空设备 - Google Patents

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王祖茂
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Dongguan Zhineng Machinery Co ltd
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Abstract

本发明公开了一种真空设备，技术方案通过设置机架、在机架上安装真空泵、真空泵油箱、用于对真空泵油进行自动换油和/或控制油温的真空泵循环油路机构、以及用于过滤进入真空泵的空气真空泵风路过滤机构共同组成真空设备；其中，真空泵循环油路机构能够保证真空泵里面的油长期处于合格(油干净、不缺油)的状态，保证真空泵不容易损坏且能长期稳定运行，而经过真空泵风路过滤机构多层过滤的气体，保证了进入真空泵的空气足够干净，能够有效延长真空泵的使用寿命，最终能够保证真空设备的具有较佳的真空度，较佳的真空度生产出来的产品质量好，且真空泵长期稳定运行，保证了正常的生产，最终带来生产成本的大大降低，提高生产效益。

Description

一种真空设备
技术领域
本发明涉及片材、板材或膜材加工技术领域，特别涉及真空设备。
背景技术
以树脂(或在加工过程中用单体直接聚合)为主要成分，以增塑剂、填充剂、润滑剂、着色剂等添加剂为辅助成分，在加工过程中能流动成型的材料，在片材、板材或膜材的加工过程中需要进行融料、压料、烘烤、冷却成型、收料等步骤，在片材、板材或膜材的原材料塑化过程中，目前排气螺杆的主机，采用抽真空的方式，将物料产生的水分、油、灰尘、特殊物质等通过真空泵抽出螺杆，再经过真空泵内部的过滤器过滤后排出到空气中。由于排气螺杆对抽出的水分、油、灰尘、特殊物质等效果要求比较高，需要达到-101kpa的真空度，这样真空度做出来的产品质量好。
首先，现有的真空设备，由于不能保证真空设备的真空泵里面的油一直处于合格(油干净、不缺油)的状态，造成真空泵的运行不稳定，最终导致真空度达不了这个标准，严重影响用户产量，影响公司的生产。
此外，现有的真空设备的真空泵运行不稳定，是因为真空泵的过滤非常简单，只经过第一道简单过滤后，就直接进入到真空泵自带的小过滤系统，由于传统的第一道过滤系统过滤的不够彻底，还有大量的水分、油、灰尘颗粒物等杂质没被过滤掉，直接进入真空泵内，严重影响到真空泵的使用寿命。
现有的真空设备还存在上述不能保证真空泵里面的油长期处于合格(油干净、不缺油)的状态，造成真空泵的运行不稳定，以及进入真空泵里面的空气过滤不够彻底，纯净度不够严重影响到真空泵的使用寿命，以上技术问题将使真空泵运行不稳定以及真空泵使用寿命短，导致真空设备的真空度较差，较差的真空度生产出来的产品质量差，且真空泵不能长期稳定运行，需要经常维护，不能保证正常生产，最终导致生产成本高，生产效益差。
发明内容
本发明的主要目的是提出一种真空设备，旨在解决现有技术的真空设备不能保证达到较好的真空度，最终影响产品质量，导致生产成本高，生产效益差的技术问题。
为实现上述目的，本发明提出一种真空设备，包括：
机架；
真空泵组件，真空泵组件包括真空泵和真空泵油箱；
真空泵循环油路机构，真空泵循环油路机构与真空泵油箱连接，真空泵循环油路机构用于对真空泵油进行自动换油和/或控制油温；
真空泵风路过滤机构，真空泵风路过滤机构与真空泵连接，真空泵风路过滤机构用于过滤进入真空泵的空气，真空泵风路过滤机构设有第一进气端和第一出气端，第一进气端和第一出气端之间设有至少一个过滤装置。
进一步地，还包括真空泵油箱的排气口控制装置，其包括：
箱体，箱体为内部中空结构，箱体设有第一进气口、排气口以及油水排出口；
油水分离器，油水分离器内部设有滤芯，油水分离器用于过滤从第一进气口进入的真空泵排出的气体，油水分离器包括第二进气端和第二出气端，经油水分离器过滤后的气体从第二出气端排出室外，油水分离器设置于箱体内部；
排水件，排水件装于油水排出口，排水件用于控制箱体里面的油水排出箱体外。
进一步地，真空泵循环油路机构包括：
外设油箱，外设油箱用于储存真空泵油，外设油箱设有入油口和出油口；
油路控制器，油路控制器设有漏油口和进油口，漏油口与入油口连通；
油泵，油泵的第一端与外设油箱连通，用于将外设油箱的真空泵油抽进油路控制器；
油过滤器，油过滤器的第一端与油泵的第二端连通，油过滤器的第二端与进油口连通；
油温控制装置，油温控制装置用于控制真空泵油的油温保持在预定温度；
油路管网，油路管网用于为上述装置之间提供油品的输送管道。
进一步地，油路管网包括漏油管，油路控制器还包括控制器腔体，漏油口与入油口通过漏油管连通，油路控制器腔体的内部中空，漏油管至少部分段伸入油路控制器腔体内，漏油管伸入油路控制器腔体的长度形成漏油管上平面高度，上平面高度与真空泵油箱满油状态时的油面高度一致。
进一步地，真空泵风路过滤机构包括具有第一级和第二级的过滤装置、具有第三级和第四级的过滤装置以及风路管网，进入真空泵的气体通过风路管网首先经具有第一级和第二级的过滤装置的第一级和第二级过滤，之后再经过具有第三级和第四级的过滤装置的第三级和第四级过滤。
进一步地，具有第一级和第二级的过滤装置包括：
第一桶身，第一桶身具有至少一开口的容纳空间，第一桶身的第一端设有第二进气口，第一桶身的第二端设有第一出气口；
第一桶盖，第一桶盖用于盖合所述开口；
第一级过滤组件，第一级过滤组件设置于容纳空间靠近第二进气口的一端，待过滤空气从第二进气口进入第一级过滤组件进行第一级过滤；
第二级过滤组件，第二级过滤组件设于第一级过滤组件的下方并靠近第一出气口的一端，经第一级过滤组件过滤后的空气进入第二级过滤组件进行第二级过滤，之后从第一出气口排出。
进一步地，具有第三级和第四级的过滤装置包括：
第二桶身，第二桶身具有至少一开口的容纳空间，第二桶身的第一端设有第三进气口，第二桶身的第二端设有第二出气口；
第二桶盖，第二桶盖用于盖合所述开口；
第三级过滤件，待过滤空气从第三进气口进入第三级过滤件进行第三级过滤；
第四级过滤件，经第三级过滤件过滤后的空气进入第四级过滤件进行第四级过滤，之后从第二出气口排出。
进一步地，风路管网包括第一管段、第二管段、第三管段以及第四管段，第一管段的第一端与具有第一级和第二级的过滤装置进气端连接，第二管段的第一端与具有第一级和第二级的过滤装置出气端连接，第二管段的第二端与第一管段连接，第三管段的第一端与具有第三级和第四级的过滤装置的进气端连接，第三管段的第二端与第二端的第三端连接，第四管段的第一端与具有第三级和第四级的过滤装置的出气端连接，第四管段的第二端与真空泵连接。
进一步地，还包括一号阀门、二号阀门以及三号阀门，一号阀门设于第二管段靠近与第一管段连接的一端，二号阀门设于第一管段靠近具有第一级和第二级的过滤装置的进气端，三号阀门设于第二管段靠近具有第一级和第二级的过滤装置的出气端。
进一步地，真空泵风路过滤机构包括正常生产风路和保养风路两种状态，当设备处于正常生产风路状态时，一号阀门和二号阀门打开，三号阀门关闭，当设备处于保养风路状态时，一号阀门和二号阀门关闭，三号阀门打开。
本发明技术方案通过设置机架、在机架上安装真空泵、真空泵油箱、用于对真空泵油进行自动换油和/或控制油温的真空泵循环油路机构、以及用于过滤进入真空泵的空气真空泵风路过滤机构共同组成真空设备；其中，真空泵循环油路机构能够保证真空泵里面的油长期处于合格(油干净、不缺油)的状态，保证真空泵不容易损坏且能长期稳定运行，而经过真空泵风路过滤机构多层过滤的气体，保证了进入真空泵的空气足够干净，能够有效延长真空泵的使用寿命，最终能够保证真空设备的具有较佳的真空度，较佳的真空度生产出来的产品质量好，且真空泵长期稳定运行，保证了正常的生产，最终带来生产成本的大大降低，提高生产效益。
附图说明
图1为本发明的立体图；
图2为本发明的前视图；
图3为本发明的后视图；
图4为本发明的左视图；
图5为本发明的真空泵组件立体图；
图6为本发明的真空泵循环油路机构立体图；
图7为本发明的油路控制器立体图；
图8为本发明的油路控制器剖视图；
图9为本发明的真空泵组件与真空泵循环油路机构连接示意图；
图10为本发明的真空泵风路过滤机构立体图；
图11为本发明的具有第一级和第二级的过滤装置剖视图；
图12为本发明的具有第一级和第二级的过滤装置分解图；
图13为本发明的具有第三级和第四级的过滤装置剖视图；
图14为本发明的具有第三级和第四级的过滤装置分解图；
图15为本发明的真空泵油箱的排气口控制装置立体图；
图16为本发明的真空泵油箱的排气口控制装置剖视图；
图17为本发明的真空泵组件与真空泵油箱的排气口控制装置连接示意图；
图18为本发明的风路管网正常风路示意图；
图19为本发明的风路管网保养风路示意图；
图20为本发明的真空泵组件与真空泵风路过滤机构连接示意图。
其中，上述附图包括以下附图标记：
1、机架；2、真空泵组件；21、真空泵；211、真空泵排气口；22、真空泵油箱；3、真空泵循环油路机构；31、外设油箱；311、入油口；312、出油口；32、油路控制器；321、漏油口；322、进油口；323、控制器腔体；33、油泵；34、油过滤器；35、油温控制装置；36、油路管网；361、漏油管；4、真空泵风路过滤机构；41、第一进气端；42、第一出气端；43、过滤装置；431、具有第一级和第二级的过滤装置；4311、第一桶身；4311a、第二进气口；4311b、第一出气口；4312、第一桶盖；4313、第一级过滤组件；4314、第二级过滤组件；432、具有第三级和第四级的过滤装置；4321、第二桶身；4321a、第三进气口；4321b、第二出气口；4322、第二桶盖；4323、第三级过滤件；4324、第四级过滤件；433、风路管网；4331、第一管段；4332、第二管段；4333、第三管段；4334、第四管段；4335、一号阀门；4336、二号阀门；4338、三号阀门；5、真空泵油箱的排气口控制装置；51、箱体；511、第一进气口；512、排气口；513、油水排出口；52、油水分离器；521、滤芯；522、第二进气端；523、第二出气端；53、排水件；531、电动球阀。
具体实施方式
下面将结合附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
需要说明，若本发明实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后、顶、底、内、外、垂向、横向、纵向，逆时针、顺时针、周向、径向、轴向……)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
另外，若本发明实施例中有涉及“第一”或者“第二”等的描述，则该“第一”或者“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。
本发明提供一种真空设备，参见图1至20所示，包括机架1、真空泵组件2、真空泵循环油路机构3以及真空泵风路过滤机构4；其中，真空泵组件2包括真空泵21和真空泵油箱22，真空泵油箱22可内置于真空泵21内，也可以外置于真空泵21；
真空泵循环油路机构3与真空泵油箱22连接，真空泵循环油路机构3用于对真空泵油进行自动换油和/或控制油温；
真空泵风路过滤机构4与真空泵21连接，真空泵风路过滤机构4用于过滤进入真空泵21的空气，真空泵风路过滤机构4设有第一进气端41和第一出气端42，第一进气端41和第一出气端42之间设有至少一个过滤装置43。
具体地，还包括真空泵油箱的排气口控制装置5，包括：
箱体51，箱体51为内部中空结构，箱体51设有第一进气口511、排气口512以及油水排出口513；
油水分离器52，油水分离器52内部设有滤芯521，油水分离器52用于过滤从第一进气口511进入的真空泵21排出的气体，油水分离器52包括第二进气端522和第二出气端523，经油水分离器52过滤后的气体从第二出气端523排出室外，油水分离器52设置于箱体51内部；
排水件53，排水件53装于油水排出口513，排水件53用于控制箱体51里面的油水排出箱体51外。
真空泵油箱的排气口控制装置5安装在本发明的真空泵排气口2111处，真空泵油箱22排出的气体先进入箱体51内，因为室温的温度相对于真空泵21内部的温度是偏低的，水气在遇到冷环境后就会液化变成水珠，沉积在箱体51的最底部，经过冷却后的气体再经过油水分离器52过滤后变成符合环保标准排放的气体排到室外。当真空泵油箱的排气口控制装置5的箱体51的底部沉积了一定的水后，程序设定时间，电动球阀531自动打开，进行排水，排完水后程序给出指令，电动球阀531自动闭合。传统的真空泵21设计是把真空泵21的排气滤芯(油水分离器52)装在真空泵21内部，拆卸麻烦，不方便更换，而此结构是将排气滤芯(油水分离器52)装箱体51内，箱体51是装在真空泵21外面的，在外面拆卸，维护操作空间大，只需要通过拆卸几个安装螺丝即可，大大降低了排气滤芯(油水分离器52)的更换时间。真空泵油箱的排气口控制装置5能保证水气更好的排出真空泵21内，同时又能保证水气不会倒流回真空泵21内，还能方便更换油水分离器52，延长真空泵油被乳化的时间，使真空泵油长时间处于较低的乳化程度，保证真空泵21长期稳定运行，延长真空泵21维修保养周期。
在本发明的实施例中，真空泵循环油路机构3包括：
外设油箱31，外设油箱31用于储存真空泵油，外设油箱31设有入油口311和出油口312；
油路控制器32，油路控制器32设有漏油口321和进油口322，漏油口321与入油口311连通；
油泵33，油泵33的第一端与外设油箱31连通，用于将外设油箱31的真空泵油抽进油路控制器32；
油过滤器34，油过滤器34的第一端与油泵33的第二端连通，油过滤器34的第二端与进油口322连通；
油温控制装置35，油温控制装置35用于控制真空泵油的油温保持在预定温度；
油路管网36，油路管网36用于为上述装置之间提供油品的输送管道。
具体地，油路管网36包括漏油管361，油路控制器32还包括控制器腔体323，漏油口321与入油口311通过漏油管361连通，控制器腔体323的内部中空，漏油管361至少部分段伸入控制器腔体323内，漏油管361伸入控制器腔体323的长度形成漏油管361上平面高度，上平面高度与真空泵油箱22满油状态时的油面高度一致。
真空泵循环油路机构3，可以很好的保证真空泵油箱22内的油是合格的。程序设定好换油时间，当换油时间到了后，油泵33开始抽外设油箱31内的油，抽出来的油经过油过滤器34过滤后进入风冷散热器(如果油温没有超过程序设定的最高温度，风冷散热器此时不会工作)，经过风冷散热器降温到正常工作温度的油再进入油路控制器32内。新加入的真空泵油进入真空泵21内部后将使用过的真空泵油置换出来，经过油路控制器32流入外设油箱31内。当真空泵油箱22内的油的温度超过程序设定的温度时，此时进行油冷却。油泵33启动，将外设油箱31内的油抽出，经过油过滤器34过滤后泵入风冷散热器(此时风冷散热器的风扇是在工作的)内降温，降温后的油经过油路控制器32进入真空泵21内部，将超温的油置换出来，再经过油路控制器32流入外设油箱31内，如此反复，直到真空泵油箱22内的油温不超温。真空泵循环油路机构3可以很好的确保真空泵油箱22内的油是合格的，保证真空泵不容易损坏且能长期稳定运行，又能有效保证生产品质，延长真空泵21的维修保养时间。
在本发明的实施例中，真空泵风路过滤机构4包括具有第一级和第二级的过滤装置431、具有第三级和第四级的过滤装置432以及风路管网433，进入真空泵21的气体通过风路管网433首先经具有第一级和第二级的过滤装置431的第一级和第二级过滤，之后再经过具有第三级和第四级的过滤装置432的第三级和第四级过滤。
具体地，具有第一级和第二级的过滤装置431包括：
第一桶身4311，第一桶身4311具有至少一开口的容纳空间，第一桶身4311的第一端设有第二进气口4311a，第一桶身4311的第二端设有第一出气口4311b；
第一桶盖4312，第一桶盖4312用于盖合所述开口；
第一级过滤组件4313，第一级过滤组件4313设置于容纳空间靠近第二进气口4311a的一端，待过滤空气从第二进气口4311a进入第一级过滤组件4313进行第一级过滤；
第二级过滤组件4314，第二级过滤组件4314设于第一级过滤组件4313的下方并靠近第一出气口4311b的一端，经第一级过滤组件4313过滤后的空气进入第二级过滤组件4314进行第二级过滤，之后从第一出气口4311b排出。
具体地，具有第三级和第四级的过滤装置432包括：
第二桶身4321，第二桶身4321具有至少一开口的容纳空间，第二桶身4321的第一端设有第三进气口4321a，第二桶身4321的第二端设有第二出气口4321b；
第二桶盖4322，第二桶盖4322用于盖合所述开口；
第三级过滤件4323，待过滤空气从第三进气口4321a进入第三级过滤件4323进行第三级过滤；
第四级过滤件4324，经第三级过滤件4323过滤后的空气进入第四级过滤件4324进行第四级过滤，之后从第二出气口4321b排出。
具体地，风路管网433包括第一管段4331、第二管段4332、第三管段4333以及第四管段4334，第一管段4331的第一端与具有第一级和第二级的过滤装置431进气端连接，第二管段4332的第一端与具有第一级和第二级的过滤装置431出气端连接，第二管段4332的第二端与第一管段4331连接，第三管段4333的第一端与具有第三级和第四级的过滤装置432的进气端连接，第三管段4333的第二端与第二端的第三端连接，第四管段4334的第一端与具有第三级和第四级的过滤装置432的出气端连接，第四管段4334的第二端与真空泵21连接。
具体地，还包括一号阀门4335、二号阀门4336以及三号阀门4338，一号阀门4335设于第二管段4332靠近与第一管段4331连接的一端，二号阀门4336设于第一管段4331靠近具有第一级和第二级的过滤装置431的进气端，三号阀门4338设于第二管段4332靠近具有第一级和第二级的过滤装置431的出气端。
独特的风路设计，在保养更换第一级、第二级滤芯时，不用停机就可正常更换或保养第一级、第二级滤芯，保证正常生产。
真空泵风路过滤机构4包括正常生产风路和保养风路两种状态，当设备处于正常生产风路状态时，一号阀门4335和二号阀门4336打开，三号阀门4338关闭，当设备处于保养风路状态时，一号阀门4335和二号阀门4336关闭，三号阀门4338打开，保养完毕，再切换回正常生产风路状态(一号阀门4335和二号阀门4336打开，三号阀门4338关闭)。
具有第一级和第二级的过滤装置431装在排气主机螺排气口(未图示)，排气主机螺排气口会有一节管道连接处(未图示)，由于螺杆抽出来的气体是很脏的，里面含有大量的水分、油、灰尘颗粒物等杂质，如果很脏的气体直接接入真空泵21内部，轻则停机换油，重则损坏真空泵21，因此需要先进行过滤处理，从排气主机螺杆抽出来的水分、油、灰尘颗粒物等杂质通过第二进气口4311a进入第一桶身4311，然后再经过一级过滤和二级过滤将主机螺杆抽出来的水分、油、灰尘颗粒物等杂质过滤掉绝大部分，过滤后相对干净的气体再经过第一出气口4311b进入到下一道过滤系统，经过第一级第二级过滤后的相对干净的气体通过第三进气口4321a进入第二桶身4321，然后再经过三级滤芯和四级滤芯过滤精度更强的过滤，经过更彻底过滤后干净的气体再经过第二出气口4321b进入到真空泵过滤系统，此时进入真空泵21的空气过滤的足够干净，本真空泵风路过滤机构4在保护真空泵不容易损坏的情况下又能有效保证真空度。
以上仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的发明构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关/相近的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种真空设备，其特征在于，包括：
机架；
真空泵组件，真空泵组件包括真空泵和真空泵油箱；
真空泵循环油路机构，真空泵循环油路机构与真空泵油箱连接，真空泵循环油路机构用于对真空泵油进行自动换油和/或控制油温；
真空泵风路过滤机构，真空泵风路过滤机构与真空泵连接，真空泵风路过滤机构用于过滤进入真空泵的空气，真空泵风路过滤机构设有第一进气端和第一出气端，第一进气端和第一出气端之间设有至少一个过滤装置。
2.如权利要求1所述的真空设备，其特征在于：还包括真空泵油箱的排气口控制装置，其包括：
箱体，箱体为内部中空结构，箱体设有第一进气口、排气口以及油水排出口；
油水分离器，油水分离器内部设有滤芯，油水分离器用于过滤从第一进气口进入的真空泵排出的气体，油水分离器包括第二进气端和第二出气端，经油水分离器过滤后的气体从第二出气端排出室外，油水分离器设置于箱体内部；
排水件，排水件装于油水排出口，排水件用于控制箱体里面的油水排出箱体外。
3.如权利要求1或2所述的真空设备，其特征在于：真空泵循环油路机构包括：
外设油箱，外设油箱用于储存真空泵油，外设油箱设有入油口和出油口；
油路控制器，油路控制器设有漏油口和进油口，漏油口与入油口连通；
油泵，油泵的第一端与外设油箱连通，用于将外设油箱的真空泵油抽进油路控制器；
油过滤器，油过滤器的第一端与油泵的第二端连通，油过滤器的第二端与进油口连通；
油温控制装置，油温控制装置用于控制真空泵油的油温保持在预定温度；
油路管网，油路管网用于为上述装置之间提供油品的输送管道。
4.如权利要求3所述的真空设备，其特征在于：油路管网包括漏油管，油路控制器还包括控制器腔体，漏油口与入油口通过漏油管连通，油路控制器腔体的内部中空，漏油管至少部分段伸入油路控制器腔体内，漏油管伸入油路控制器腔体的长度形成漏油管上平面高度，上平面高度与真空泵油箱满油状态时的油面高度一致。
5.如权利要求1或2所述的真空设备，其特征在于：真空泵风路过滤机构包括具有第一级和第二级的过滤装置、具有第三级和第四级的过滤装置以及风路管网，进入真空泵的气体通过风路管网首先经具有第一级和第二级的过滤装置的第一级和第二级过滤，之后再经过具有第三级和第四级的过滤装置的第三级和第四级过滤。
6.如权利要求5所述的真空设备，其特征在于：具有第一级和第二级的过滤装置包括：
第一桶身，第一桶身具有至少一开口的容纳空间，第一桶身的第一端设有第二进气口，第一桶身的第二端设有第一出气口；
第一桶盖，第一桶盖用于盖合所述开口；
第一级过滤组件，第一级过滤组件设置于容纳空间靠近第二进气口的一端，待过滤空气从第二进气口进入第一级过滤组件进行第一级过滤；
第二级过滤组件，第二级过滤组件设于第一级过滤组件的下方并靠近第一出气口的一端，经第一级过滤组件过滤后的空气进入第二级过滤组件进行第二级过滤，之后从第一出气口排出。
7.如权利要求5所述的真空设备，其特征在于：具有第三级和第四级的过滤装置包括：
第二桶身，第二桶身具有至少一开口的容纳空间，第二桶身的第一端设有第三进气口，第二桶身的第二端设有第二出气口；
第二桶盖，第二桶盖用于盖合所述开口；
第三级过滤件，待过滤空气从第三进气口进入第三级过滤件进行第三级过滤；
第四级过滤件，经第三级过滤件过滤后的空气进入第四级过滤件进行第四级过滤，之后从第二出气口排出。
8.如权利要求5所述的真空设备，其特征在于：风路管网包括第一管段、第二管段、第三管段以及第四管段，第一管段的第一端与具有第一级和第二级的过滤装置进气端连接，第二管段的第一端与具有第一级和第二级的过滤装置出气端连接，第二管段的第二端与第一管段连接，第三管段的第一端与具有第三级和第四级的过滤装置的进气端连接，第三管段的第二端与第二端的第三端连接，第四管段的第一端与具有第三级和第四级的过滤装置的出气端连接，第四管段的第二端与真空泵连接。
9.如权利要求8所述的真空设备，其特征在于：还包括一号阀门、二号阀门以及三号阀门，一号阀门设于第二管段靠近与第一管段连接的一端，二号阀门设于第一管段靠近具有第一级和第二级的过滤装置的进气端，三号阀门设于第二管段靠近具有第一级和第二级的过滤装置的出气端。
10.如权利要求9所述的真空设备，其特征在于：真空泵风路过滤机构包括正常生产风路和保养风路两种状态，当设备处于正常生产风路状态时，一号阀门和二号阀门打开，三号阀门关闭，当设备处于保养风路状态时，一号阀门和二号阀门关闭，三号阀门打开。
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