CN116455939A - 一种数据采集方法、ctc设备和一种数据采集系统 - Google Patents

一种数据采集方法、ctc设备和一种数据采集系统 Download PDF

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李军璇
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Abstract

本发明实施例提供了一种数据采集方法、CTC设备和一种数据采集系统，该方法应用于集簇设备控制程序CTC设备端，CTC设备端与设备数据采集EDA服务端连接，该方法包括：接收EDA服务端发送的需要采集的工艺参数编号和对应的采集频率；根据采集频率确定目标采集频率等级，获取与所述目标采集频率等级对应的目标定时器；按照目标定时器设置的时间间隔采集工艺参数编号对应的工艺参数，并存储到数据缓存区。本发明可以按照不同的采集频率等级设置定时器，然后根据采集频率确定目标采集频率等级，从而查询到对应的定时器，按照定时器对应的采集频率采集工艺参数；可以适应不同客户的需求，提高了工艺数据采集的性能。

Description

一种数据采集方法、CTC设备和一种数据采集系统
技术领域
本发明涉及半导体设备技术领域，特别是涉及一种数据采集方法、CTC设备和一种数据采集系统。
背景技术
EDA(Equipment Data Acquisition，设备数据采集)标准是一套SEMI标准，其设计目的是方便并改善工厂的数据采集软件应用和工厂设备之间的通讯，工厂使用EDA标准收集来自设备的具体工艺参数数据；EDA分为客户端和服务端，一般通过EDA服务端接收客户端发送的DCP(Data Collection Plan，数据采集计划)，然后从CTC(Cluster ToolController，集簇设备控制程序)端创建的数据缓存区获取对应的工艺参数，但是并不能按照客户的需求按照不同的频率采集数据。
发明内容
鉴于上述问题，提出了本发明实施例以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种数据采集方法、CTC设备和一种数据采集系统。
为了解决上述问题，本发明实施例公开了一种数据采集方法，应用于集簇设备控制程序CTC设备端，所述CTC设备端与设备数据采集EDA服务端连接，所述方法包括：
接收所述EDA服务端发送的需要采集的工艺参数编号和对应的采集频率；
根据所述采集频率确定目标采集频率等级；
获取与所述目标采集频率等级对应的目标定时器；
按照所述目标定时器设置的时间间隔采集所述工艺参数编号对应的工艺参数，并存储到数据缓存区。
可选地，所述根据所述采集频率确定目标采集频率等级，包括：
获取配置文件，所述配置文件包括多个采集频率与采集频率等级的第一对应关系；
从所述第一对应关系中查询与所述采集频率对应的目标采集频率等级。
可选地，所述获取与所述目标采集频率等级对应的目标定时器，包括：
获取等级查询字典，所述等级查询字典包括多个采集频率等级与定时器的第二对应关系；
从所述第二对应关系中查询所述目标采集频率等级对应的目标定时器。
可选地，所述配置文件还包括多个工艺参数编号对应的数据源信息，所述按照所述目标定时器中设置的时间间隔采集所述工艺参数编号对应的工艺参数，包括：
从所述配置文件中查询所述工艺参数编号对应的目标数据源；
按照所述目标定时器设置的时间间隔，从所述目标数据源采集所述工艺参数编号对应的工艺参数。
可选地，所述数据源信息包括上位机、下位机、工厂端的至少一种。
可选地，按照所述目标定时器设置的时间间隔采集所述工艺参数编号对应的工艺参数，包括：
当目标采集频率等级对应的工艺参数的个数大于或等于预设个数时，则启动所述目标定时器，按照所述目标定时器设置的时间间隔采集所述工艺参数编号对应的工艺参数。
本发明还公开了一种集簇设备控制程序CTC设备，所述CTC设备与EDA服务器连接，所述CTC设备用于接收所述EDA服务器发送的需要采集的工艺参数编号和对应的采集频率；根据所述采集频率确定目标采集频率等级；获取与所述目标采集频率等级对应的目标定时器；按照所述目标定时器设置的时间间隔采集所述工艺参数编号对应的工艺参数，并存储到数据缓存区。
本发明还公开了一种数据采集系统，所述系统包括设备数据采集EDA客户端、EDA服务器、集簇设备控制程序CTC设备，所述EDA服务端分别与所述EDA客户端、CTC设备连接；
所述EDA客户端用于创建数据采集计划DCP，并将所述DCP激活发送至所述EDA服务器，所述数据采集计划包括需要采集的工艺参数编号和对应的采集频率；
所述EDA服务器用于将所述激活后的DCP中需要采集的工艺参数编号和对应的采集频率发送至所述CTC设备；
所述CTC设备用于根据所述采集频率确定目标采集频率等级，并查询与所述目标采集频率等级对应的目标定时器；按照所述目标定时器设置的时间间隔采集所述工艺参数编号对应的工艺参数，并存储到数据缓存区；
所述EDA服务器用于根据所述DCP创建参数采集列表，根据所述参数采集列表从所述数据缓存区获取需要采集的工艺参数，并将所述需要采集的工艺参数发送至所述EDA客户端。
可选地，所述CTC设备还用于当所述目标采集频率等级对应的工艺参数的个数大于或等于预设个数时，则启动所述目标定时器，按照所述目标定时器设置的时间间隔采集所述工艺参数编号对应的工艺参数。
可选地，所述EDA服务器用于从所述CTC设备端获取激活参数列表，并根据所述激活参数列表将所述DCP中未订阅的工艺参数发送至所述CTC设备端；所述CTC设备用于将所述未订阅的工艺参数添加至所述激活参数列表；所述激活参数列表用于存储已订阅的需要采集的工艺参数。
可选地，所述EDA服务器与所述CTC设备通过数据采集通道EDA Bridge连接，所述EDA Bridge用于从所述CTC设备获取激活参数列表，根据所述激活参数列表将所述DCP中未订阅的工艺参数过滤出来，并将所述未订阅的工艺参数发送至所述CTC设备。
本发明实施例包括以下优点：
本发明公开了一种数据采集方法，本发明可以按照不同的采集频率等级设置定时器，然后根据采集频率确定目标采集频率等级，从而查询到对应的定时器，按照定时器对应的采集频率采集工艺参数；可以适应不同客户的需求，提高了工艺数据采集的性能。
附图说明
图1是本发明实施例提供的一种EDA通信架构图；
图2是本发明实施例提供的一种数据采集方法的步骤流程图；
图3是本发明实施例提供的另一种数据采集方法的步骤流程图；
图4是本发明实施例提供的一种CTC设备的结构框图；
图5是本发明实施例提供的一种数据采集系统的结构框图；
图6是本发明实施例提供的一种参数采集列表；
图7是本发明实施例提供的一种EDA数据采集流程图。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
EDA(Equipment Data Acquisition，设备数据采集)标准是一套SEMI标准，其设计目的是方便并改善工厂的数据采集软件应用和工厂设备之间的通讯，工厂使用EDA标准收集来自设备的具体工艺参数数据，然后分析数据来确定如何才能更好的提高生成率，提高质量，降低成本。
基于SEMI InterfaceA标准的EDA项目采用的是WCF(Windows CommunicationFoundation，windows通讯接口)通信，绑定协议使用的是.NetTCPBinding协议(通过TCP协议进行通信)。
EDA项目分为服务端和客户端，一个EDA服务端可以连接多个EDA客户端，EDA客户端可以根据EDA服务端提供的接口来访问和定义需要采集的数据，EDA服务端的数据需要从对应的CTC设备端获取，如图1，示出了现有的EDA通信架构图，图中从CTC设备端获取数据的步骤为：
(1)CTC设备端启动。
(2)EDA服务端连接到对应的CTC设备端。
(3)客户端选择连接EDA服务端已经启动的CTC设备端。
(4)客户端根据SEMI InterfaceA标准定义需要采集的设备DCP(Data CollectionPlan，数据采集计划)，并将数据采集计划激活发送至EDA服务端。
(5)EDA服务端接收到EDA客户端定义的对应CTC设备端的DCP。
(6)EDA服务端向CTC设备端发送需要采集的数据。
(7)CTC设备端向EDA服务端反馈相应的设备的数据。
(8)EDA服务端向EDA客户端反馈采集到的对应CTC设备端的数据。
在原有的数据采集过程中，在EDA客户端定义DCP可以设置工艺参数采集的频率为10ms一次，但是在CTC设备端真实取值的过程中所有的工艺参数都是按照间隔1s的频率进行采集然后存入Buffer数据缓存区中，EDA服务端接收到DCP后，从数据缓存区直接读取预存的工艺参数值，这样使得虽然DCP设设置的采集频率为10ms，但是设备的真实采集频率却为1s，并不能达到客户的需求。
本发明实施例的核心构思之一在于，提出了一种数据采集方法，本发明可以按照不同的采集频率等级设置定时器(线程方案雷同，可设置线程)，然后根据采集频率确定目标采集频率等级，从而查询到对应的定时器(或线程)，按照定时器(或线程)对应的采集频率采集工艺参数；可以适应不同客户的需求，提高了工艺数据采集的性能。
参照图2，示出了本发明实施例提供的一种数据采集方法的步骤流程图，应用于集簇设备控制程序CTC设备端，所述方法具体可以包括如下步骤：
步骤101，接收设备数据采集EDA服务端发送的需要采集的工艺参数编号和对应的采集频率。
本发明实施例中，工艺参数编号是用来区分不同的工艺参数的编号，采集频率指的是采集工艺参数的时间间隔，例如，当工艺参数为温度，对应的工艺参数编号为031，采集频率为100hz，则说明需要采集的工艺参数为温度值，间隔时间为0.01秒采集一次。
步骤102，根据采集频率确定目标采集频率等级。
本发明实施例中，不同的采集频率范围对应的不同采集频率等级，例如将95hz～105hz对应的采集频率等级为高等级，9hz～11hz对应的采集频率设置为中等级，0.095hz～0.105hz对应的采集频率等级为低等级。
步骤103，获取与目标采集频率等级对应的目标定时器(线程方案同样适用)。
本发明实施例中，不同的采集频率等级对应着不同的定时器，高等级采集频率对应着定时器A，定时器A采集工艺参数的时间间隔0.01秒，中等级采集频率对应着定时器B，定时器B采集工艺参数的时间间隔为0.1秒，低等级采集频率对应着定时器C，定时器C采集工艺参数的时间间隔为10秒，在一种示例中，当采集频率为10hz，对应的是中等级采集频率，则获取对应的是定时器B，且定时器B采集工艺参数的时间间隔为10秒。
步骤104，按照目标定时器设置的时间间隔采集工艺参数编号对应的工艺参数，并存储到数据缓存区。
本发明实施例中，在确定目标定时器后，CTC设备端可以按照定时器设定的时间间隔采集工艺参数编号对应的工艺参数，例如，当工艺参数编号为032，采集频率为100hz，032对应的工艺参数为压力工艺参数，100hz对应的定时器为高等级定时器A，则CTC设备端按照定时器A设定的时间间隔为0.01s采集压力值，并存到数据缓存区。
本发明公开了一种数据采集方法，本发明可以按照不同的采集频率等级设置定时器，然后根据采集频率确定目标采集频率等级，从而查询到对应的定时器，按照定时器对应的采集频率采集工艺参数；可以适应不同客户的需求，提高了工艺数据采集的性能。
参照图3，示出了本发明实施例提供的另一种数据采集方法的步骤流程图，应用于集簇设备控制程序CTC设备端，所述方法具体可以包括如下步骤：
步骤201，接收EDA服务端发送的需要采集的工艺参数编号和对应的采集频率。
步骤202，获取配置文件，配置文件包括多个采集频率与采集频率等级的第一对应关系。
本发明实施例中，配置文件是预先设置在CTC设备端的文件，可以用来存储包括多个采集频率与采集频率等级的第一对应关系，例如第一对应关系中1-10hz对应的采集频率等级为低等级Low，10-100hz对应的采集频率等级为中等级Medium(我们通常叫Normal)，大于100hz对应的采集频率等级为高等级High，即可以根据获取的采集频率从第一对应关系中确定对应的采集频率等级。
步骤203，从第一对应关系中查询与采集频率对应的目标采集频率等级。
在一种示例中，接收的采集频率为10hz，对应的采集频率等级为低等级Low。
步骤204，获取等级查询字典，等级查询字典包括多个采集频率等级与定时器的第二对应关系。
本发明实施例中，等级查询字典中以包括多个采集频率等级与定时器的对应关系，例如采集频率等级为High1对应的定时器A1、采集频率等级为High2对应的定时器A2、频率等级为High3对应的定时器A3、频率等级为High4对应的定时器A4、频率等级为High5对应的定时器A5，对应关系的个数可以根据客户需要用到的采集频率来设定，在此不做限定。
需要说明的是，频率等级中的数字越高代表采集间隔时间越短。
步骤205，从第二对应关系中查询目标采集频率等级对应的目标定时器。
在一种示例中，若确定的目标采集频率等级为Low1，则可以查询到对应的目标定时器为C1，若确定的目标采集频率等级为Low2，则可以查询到对应的目标定时器为C2。
步骤206，从配置文件中查询工艺参数编号对应的目标数据源；配置文件还包括多个工艺参数编号对应的数据源信息。
本发明实施例中，配置文件还包括多个工艺参数编号对应的数据源信息，例如，配置文件中工艺参数编号031(温度)对应的数据源为下位机，工艺参数编号032(压力)对应的数据源为上位机，工艺参数编号033(气体流量)对应的数据源为工厂端，可以根据从获取的配置文件中查询到工艺参数编号对应的目标是数据源，在一种示例中，工艺参数编号为032，代表的是压力值，则可以查询到对应的目标数据源为上位机。
需要说明的是，配置文件中多个工艺参数编号对应的数据源信息可以根据用户的需求进行配置，在此不做限定。
步骤207，按照目标定时器设置的时间间隔，从目标数据源采集工艺参数编号对应的工艺参数，并存储到数据缓存区。
本发明实施例中，在确定目标定时器和目标数据源后，可以按照目标定时器设置的时间间隔，从目标数据源采集工艺参数编号对应的工艺参数，例如工艺参数编号为031，对应的工艺参数为温度，采集频率为101hz，对应的采集频率等级为高等级，采用的定时器为定时器A，工艺参数编号031对应的数据源为下位机，此时CTC设备端按照定时器设定的时间间隔(0.01s)从下位机采集温度值，进而EDA服务端可以从数据缓存区获取到需要的工艺参数值。
在本发明的一种实施例方式中，数据源信息包括上位机、下位机、工厂端FA(Factory Automation)的至少一种。
本发明实施例中，CTC设备端分别与上位机、下位机、工厂端FA连接，数据源信息可以包括上位机、下位机、工厂端FA的至少一种，例如EDA服务端发送的需要采集的工艺参数编号和对应的采集频率分别为(031，100hz)，(032，10hz)，(033，1hz)，则CTC设备端在确定各自对应的定时器和数据源后，可以按照定时器A从与CTC设备端连接的下位机采集温度值，按照定时器B从与CTC设备端连接的上位机采集压力值，按照定时器C从与CTC设备端连接的工厂端采集气体流量值。
在本发明的一种实施例方式中，按照目标定时器设置的时间间隔采集工艺参数编号对应的工艺参数，包括：
当目标采集频率等级对应的工艺参数的个数大于或等于预设个数时，则启动目标定时器，按照目标定时器设置的时间间隔采集工艺参数编号对应的工艺参数。
本发明实施例中，可以根据目标频率采集等级对应的工艺参数的个数确定是否启动或者关闭定时器，首先可以确定需要采集的工艺参数的个数，当需要采集的工艺参数的个数为0，则说明不需要采集该工艺参数，即不需要启动定时器，当需要采集的工艺参数的个数为10，且大于1，则说明满足定时器的启动条件，此时可以启动目标定时器，然后按照目标定时器设置的时间间隔采集工艺参数编号对应的工艺参数。
在一种示例中，工艺参数编号为032，对应的采集频率为1hz，032编号对应的工艺参数为压力，1hz对应的采集频率等级为低等级，对应的定时器为定时器C，需要采集的压力值个数为50个，预设数值为1，此时需要采集的压力值个数大于1，则CTC设备端启动定时器C，并按照定时器C设置的时间间隔1s采集压力值。
在另一种示例中，EDA服务端发送的工艺参数编号为033，对应的采集频率为10hz，需要采集的工艺参数个数为0，预设数值为1，此时需要采集的气体流量值小于0，则说明不需要启动定时器B。本发明可以通过判断目标采集频率等级对应的工艺参数的个数是否大于或等于预设个数，来确定是否启动对应的目标定时器，提高了采集任务的准确性，提高了工作效率。
本发明公开了一种数据采集方法，本发明可以按照不同的采集频率等级设置定时器，然后根据采集频率确定目标采集频率等级，从而查询到对应的定时器，按照定时器对应的采集频率采集工艺参数；可以适应不同客户的需求，提高了工艺数据采集的性能。
需要说明的是，对于方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本发明实施例并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本发明实施例，某些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作并不一定是本发明实施例所必须的。
参照图4，示出了本发明实施例提供的一种集簇设备控制程序CTC设备301的结构框图，CTC设备301与EDA服务器302连接，CTC设备301用于接收EDA服务器302发送的需要采集的工艺参数编号和对应的采集频率；根据采集频率确定目标采集频率等级；获取与目标采集频率等级对应的目标定时器；按照目标定时器设置的时间间隔采集工艺参数编号对应的工艺参数，并存储到数据缓存区。
参照图5，示出了本发明提供的一种数据采集系统40的结构框图，该系统包括EDA客户端401、EDA服务器402、CTC设备403，EDA服务器402分别与EDA客户端401、CTC设备403连接。
EDA客户端用于创建数据采集计划DCP，并将DCP激活发送至EDA服务器，数据采集计划包括需要采集的工艺参数编号和对应的采集频率；
本发明实施例中，数据采集计划DCP指的是一种数据包采集请求，可以包括需要采集的工艺参数编号和对应的采集频率，即用户可以通过EDA客户端设定工艺参数的采集频率，例如，用户需要采集的工艺参数编号为031，对应的采集频率为0.1hz，需要采集20个数值，则数据采集计划中包括工艺参数编号031、0.1hz、20。
EDA服务器用于将激活后的DCP中需要采集的工艺参数编号和对应的采集频率发送至CTC设备。
本发明实施例中，EDA服务器可以接收激活后的DCP，然后将激活后的DCP中需要采集的工艺参数编号和对应的采集频率发送至CTC设备。
CTC设备用于根据采集频率确定目标采集频率等级，并查询与目标采集频率等级对应的目标定时器；按照目标定时器设置的时间间隔采集工艺参数编号对应的工艺参数，并存储到数据缓存区。
本发明实施例中，CTC设备可以根据采集频率确定目标采集频率等级，然后查询与目标采集频率等级对应的目标定时器，在确定目标定时器后，可以按照定时器设定的时间间隔采集工艺参数编号对应的工艺参数，例如，当工艺参数编号为032，采集频率为100hz，032对应的工艺参数为压力工艺参数，100hz对应的定时器为高等级定时器A，则CTC设备按照定时器A设定的时间间隔为0.01s采集压力值，并存到数据缓存区。
EDA服务器用于根据DCP创建参数采集列表，根据参数采集列表从数据缓存区获取需要采集的工艺参数，并将需要采集的工艺参数发送至EDA客户端。
本发明实施例中，EDA服务器可以通过DCP确定需要采集的工艺参数的编号和采集频率，根据工艺参数的编号和采集频率可以创建一个参数采集列表，采集列表中包括工艺参数编号和对应的采集频率，然后可以根据参数采集列表从数据缓存区提取对应的数据，然后将提取的数据发送至客户端，可以在客户端的显示页面进行显示；在一种示例中，DCP中需要采集的工艺参数的编号和采集频率分别为(031，10hz)、(031，100hz)，即可以创建参数采集列表，如图6示出了本发明实施例提供的一种参数采集列表，(031，10)指的从数据缓存区提取通过定时器B采集的温度值，(031，100)指的是从数据缓存区提取通过定时器A采集的温度值，其中，T11至T14以及T21至T24均表示采集的温度值，这些温度值仅为示例。
在本发明的一种实施例中方式中，EDA服务器还可以判断DCP是否满足停止条件，停止条件包括采集到的工艺参数个数达到预设个数，或所述数据采集计划达到停止激活条件；若满足所述停止条件，则停止采集工艺参数，并将所述数据采集计划取消激活状态。
在本发明实施例中，数据采集计划的状态分为激活和未激活状态，激活状态指的是对工艺参数进行采集，未激活状态指的是停止对工艺参数进行采集；EDA服务器还可以通过判断DCP是否满足停止条件从而确定是否停止采集工艺参数，在一种示例中，需要采集的工艺参数为20个，当采集的个数达到20个时，则确定满足停止条件，此时可以停止工艺参数采集，并取消数据采集计划的激活状态；在另一种示例中，若数据采集计划被设置为停止激活状态，则此时采集计划达到停止激活条件，则可以停止工艺参数采集，并取消数据采集计划的激活状态。
本发明公开了一种数据采集系统，本发明可以按照不同的采集频率等级设置定时器，然后根据采集频率确定目标采集频率等级，从而查询到对应的定时器，按照定时器对应的采集频率采集工艺参数；可以适应不同客户的需求，提高了工艺数据采集的性能。
在本发明的一种实施例方式中，CTC设备还用于当目标采集频率等级对应的工艺参数的个数大于或等于预设个数时，则启动所述目标定时器，按照所述目标定时器设置的时间间隔采集所述工艺参数编号对应的工艺参数。
本发明实施例中，CTC设备可以根据目标频率采集等级对应的工艺参数的个数确定是否启动或者关闭定时器，首先可以确定需要采集的工艺参数的个数，当需要采集的工艺参数的个数为0，则说明不需要采集该工艺参数，即不需要启动定时器，当需要采集的工艺参数的个数为10，且大于1，则说明满足定时器的启动条件，此时可以启动目标定时器，然后按照目标定时器设置的时间间隔采集工艺参数编号对应的工艺参数。
在本发明的一种实施例方式中，EDA服务器用于从所述CTC设备获取激活参数列表，并根据所述激活参数列表将所述DCP中未订阅的工艺参数发送至所述CTC设备；所述CTC设备用于将所述未订阅的工艺参数添加至所述激活参数列表；所述激活参数列表用于存储已订阅的需要采集的工艺参数。
本发明实施例中，激活参数列表指的是用来存储已订阅的需要采集工艺参数，EDA服务器可以从CTC设备获取激活参数列表，然后根据激活参数列表中已订阅的需要采集工艺参数可以确定出未订阅的工艺参数，然后将未订阅的工艺参数发送至CTC设备，进而CTC设备可以将未订阅的工艺参数添加至激活参数列表，例如，激活参数列表中已订阅的工艺参数为A、B、C，当前需要采集的工艺参数编号为B、C、F，可以看出未订阅的工艺参数为编号F对应的工艺参数，则将编号F对应的工艺参数添加至激活参数列表，从而CTC设备可以对工艺参数编号为B、C、F对应的工艺参数进行采集。
在本发明的一种实施例方式中，EDA服务器与所述CTC设备通过数据采集通道EDABridge连接，所述EDA Bridge用于从所述CTC设备获取激活参数列表，根据所述激活参数列表将所述DCP中未订阅的工艺参数过滤出，并将所述未订阅的工艺参数发送至所述CTC设备。
本发明实施例中，如图5所示，EDA服务器与CTC设备可以通过数据采集通道EDABridge连接，EDA Bridge可以获取EDA服务器中需要采集的工艺参数的编号，然后从CTC设备获取激活参数列表，进一步可以根据激活参数列表中已订阅的需要采集工艺参数确定出未订阅的工艺参数，最后将未订阅的工艺参数发送至CTC设备，从而使得CTC设备将未订阅的工艺参数添加到激活参数列表中，在一种示例中，EDA Bridge获取的激活参数列表中已订阅的需要采集的工艺参数为P1、P2、P3，EDA服务器发送的需要采集的工艺参数编号为P2、P4、P5，则过滤出未订阅的工艺参数为P4、P5，此时可以将P4、P5发送至CTC设备，从而CTC设备可以将P4、P5添加至激活参数列表，从而CTC设备可以对工艺参数编号为P2、P4、P5对应的工艺参数进行采集。
在本发明的一种实施例方式中，CTC设备用于获取配置文件，配置文件包括多个采集频率与采集频率等级的第一对应关系；从第一对应关系中查询与采集频率对应的目标采集频率等级。
本发明实施例中，配置文件是预先设置在CTC设备端的文件，可以用来存储包括多个采集频率与采集频率等级的第一对应关系，例如第一对应关系中1-10hz对应的采集频率等级为低等级Low，10-100hz对应的采集频率等级为中等级Medium，大于100hz对应的采集频率等级为高等级High，即可以根据获取的采集频率从第一对应关系中确定对应的采集频率等级。CTC设备在接收到EDA服务器发送的采集频率后，可以从第一对应关系中确定对应的采集频率等级，例如接收的采集频率为10hz，对应的采集频率等级为低等级Low。
在本发明的一种实施例方式中，CTC设备用于获取等级查询字典，等级查询字典包括多个采集频率等级与定时器的第二对应关系；从第二对应关系中查询目标采集频率等级对应的目标定时器。
本发明实施例中，等级查询字典中以包括多个采集频率等级与定时器的对应关系，例如采集频率等级为High1对应的定时器A1、采集频率等级为High2对应的定时器A2、频率等级为High3对应的定时器A3、频率等级为High4对应的定时器A4、频率等级为High5对应的定时器A5，对应关系的个数可以根据客户需要用到的采集频率来设定，在此不做限定。需要说明的是，频率等级中的数字越高代表采集间隔时间越短。在一种示例中，若CTC设备确定的目标采集频率等级为Medium1，则可以查询到对应的目标定时器为B1，若确定的目标采集频率等级为Medium2，则可以查询到对应的目标定时器为B2。
在本发明的一种实施例方式中，CTC设备用于从所述配置文件中查询所述工艺参数编号对应的目标数据源；按照所述目标定时器设置的时间间隔，从所述目标数据源采集所述工艺参数编号对应的工艺参数；所述配置文件还包括多个工艺参数编号对应的数据源信息。
本发明实施例中，配置文件还包括多个工艺参数编号对应的数据源信息，例如，配置文件中工艺参数编号031(温度)对应的数据源为下位机，工艺参数编号032(压力)对应的数据源为上位机，工艺参数编号033(气体流量)对应的数据源为工厂端，可以根据从获取的配置文件中查询到工艺参数编号对应的目标是数据源，在一种示例中，工艺参数编号为033，CTC设备可以从配置文件中查询到工艺参数编号033对应的数据源为工厂化自动端，然后从与CTC设备相连的工厂化自动端采集对应的气体流量。
参照图7，示出了本发明实施例提供的一种EDA数据采集流程图，Ecceplus(EDA)客户端定义DCP数据采集计划，并激活DCP发送至EDA Service服务器，EDA服务器将激活后的DCP发送至EDA Bridge，EDA Bridge通过ICTC Interface接口与CTC设备建立连接，获取CTC设备的激活参数列表，过滤出激活后的DCP中未订阅的工艺参数，并将未订阅的工艺参数发送至CTC设备，CTC设备中预先根据配置文件生成了对应数目的定时器，并将定时器存储到定时器字典中。
CTC设备接收到未订阅的工艺参数后，将未订阅的工艺参数添加到激活参数列表中，然后根据更新后的激活参数列表确定需要采集的工艺参数的目标采集频率等级，然后从定时器字典中的对应关系中找到对应的目标定时器，检测目标定时器是否满足启动条件：即判断工艺参数的采集个数是否大于或者等于1，如果小于1，则不满足停止条件，定时器停止，若大于或者等于1，则目标定时器满足启动条件，然后根据配置文件确定工艺参数编号对应的目标数据源，在确定目标数据源后，可以按照定时器中设置的时间间隔从与CTC设备连接的目标数据源采集对应的工艺参数，并发送至Buffer数据缓存区。
EDA服务器接收到激活后的DCP后，需要判断DCP是否设置有触发模块，若未设置触发模块，则直接根据DCP确定参数采集列表，然后将参数采集列表发送至EDA Bridge，EDABridge通过ICTC Interface与数据缓存区建立连接，然后根据参数采集列表从数据缓存区获取对应的参数值。
EDA服务器还可以判断DCP是否满足停止条件，即判断采集到的工艺参数个数是否达到预设个数，或数据采集计划是否达到停止激活条件；若满足停止条件，则停止采集对应的工艺参数，然后通过EDA将DCP的状态设置为未激活状态；若未满足停止条件，则继续执行DCP确定参数采集列表的步骤。
EDA服务器通过ICTC Interface获取到数据缓存区的数据后，可以根据DCP组合形成DCR(Data Collection Report，数据采集报告)，并上报至EDA客户端，EDA客户端可以显示DCR，用户可以通过EDA客户端查看采集到的工艺参数。
本发明公开了一种数据采集系统，可以按照不同的采集频率等级设置定时器，然后根据采集频率确定目标采集频率等级，从而查询到对应的定时器，按照定时器对应的采集频率采集工艺参数；可以适应不同客户的需求，提高了工艺数据采集的性能。
本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。
本领域内的技术人员应明白，本发明实施例的实施例可提供为方法、装置、或计算机程序产品。因此，本发明实施例可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本发明实施例可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、CD-ROM、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。
本发明实施例是参照根据本发明实施例的方法、终端设备(系统)、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理终端设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理终端设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。
这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理终端设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。
这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理终端设备上，使得在计算机或其他可编程终端设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程终端设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。
尽管已描述了本发明实施例的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明实施例范围的所有变更和修改。
最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者终端设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者终端设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者终端设备中还存在另外的相同要素。
以上对本发明所提供的一种数据采集方法、CTC设备和一种数据采集系统，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (11)

1.一种数据采集方法，其特征在于，应用于集簇设备控制程序CTC设备端，所述CTC设备端与设备数据采集EDA服务端连接，所述方法包括：
接收所述EDA服务端发送的需要采集的工艺参数编号和对应的采集频率；
根据所述采集频率确定目标采集频率等级；
获取与所述目标采集频率等级对应的目标定时器；
按照所述目标定时器设置的时间间隔采集所述工艺参数编号对应的工艺参数，并存储到数据缓存区。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述采集频率确定目标采集频率等级，包括：
获取配置文件，所述配置文件包括多个采集频率与采集频率等级的第一对应关系；
从所述第一对应关系中查询与所述采集频率对应的目标采集频率等级。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取与所述目标采集频率等级对应的目标定时器，包括：
获取等级查询字典，所述等级查询字典包括多个采集频率等级与定时器的第二对应关系；
从所述第二对应关系中查询所述目标采集频率等级对应的目标定时器。
4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述配置文件还包括多个工艺参数编号对应的数据源信息，所述按照所述目标定时器中设置的时间间隔采集所述工艺参数编号对应的工艺参数，包括：
从所述配置文件中查询所述工艺参数编号对应的目标数据源；
按照所述目标定时器设置的时间间隔，从所述目标数据源采集所述工艺参数编号对应的工艺参数。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述数据源信息包括上位机、下位机、工厂端的至少一种。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述按照所述目标定时器设置的时间间隔采集所述工艺参数编号对应的工艺参数，包括：
当所述目标采集频率等级对应的工艺参数的个数大于或等于预设个数时，则启动所述目标定时器，按照所述目标定时器设置的时间间隔采集所述工艺参数编号对应的工艺参数。
7.一种集簇设备控制程序CTC设备，其特征在于，所述CTC设备与EDA服务器连接，所述CTC设备用于接收所述EDA服务器发送的需要采集的工艺参数编号和对应的采集频率；根据所述采集频率确定目标采集频率等级；获取与所述目标采集频率等级对应的目标定时器；按照所述目标定时器设置的时间间隔采集所述工艺参数编号对应的工艺参数，并存储到数据缓存区。
8.一种数据采集系统，其特征在于，所述系统包括设备数据采集EDA客户端、EDA服务器、集簇设备控制程序CTC设备，所述EDA服务器分别与所述EDA客户端、CTC设备连接；
所述EDA客户端用于创建数据采集计划DCP，并将所述DCP激活发送至所述EDA服务器，所述数据采集计划包括需要采集的工艺参数编号和对应的采集频率；
所述EDA服务器用于将所述激活后的DCP中需要采集的工艺参数编号和对应的采集频率发送至所述CTC设备；
所述CTC设备用于根据所述采集频率确定目标采集频率等级，获取与所述目标采集频率等级对应的目标定时器；按照所述目标定时器设置的时间间隔采集所述工艺参数编号对应的工艺参数，并存储到数据缓存区；
所述EDA服务器用于根据所述DCP创建参数采集列表，根据所述参数采集列表从所述数据缓存区获取需要采集的工艺参数，并将所述需要采集的工艺参数发送至所述EDA客户端。
9.根据权利要求8所述的系统，其特征在于，所述CTC设备还用于当所述目标采集频率等级对应的工艺参数的个数大于或等于预设个数时，则启动所述目标定时器，按照所述目标定时器设置的时间间隔采集所述工艺参数编号对应的工艺参数。
10.根据权利要求8所述的系统，其特征在于，所述EDA服务器用于从所述CTC设备获取激活参数列表，并根据所述激活参数列表将所述DCP中未订阅的工艺参数发送至所述CTC设备；所述CTC设备用于将所述未订阅的工艺参数添加至所述激活参数列表；所述激活参数列表用于存储已订阅的需要采集的工艺参数。
11.根据权利要求10所述的系统，其特征在于，所述EDA服务器与所述CTC设备通过数据采集通道EDA Bridge连接，所述EDA Bridge用于从所述CTC设备获取激活参数列表，根据所述激活参数列表将所述DCP中未订阅的工艺参数过滤出，并将所述未订阅的工艺参数发送至所述CTC设备。
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