CN116449526A - 快速反射镜装置 - Google Patents

Abstract

本发明提出一种快速反射镜装置，第一柔性连接件的一端设置在底座上，另一端远离底座；反射镜设置在第一柔性连接件远离底座的一端上；驱动件设置在底座上，第二柔性连接件的第一连接部的底部与驱动件连接，第一连接部的顶部与底座连接；第二柔性连接件的第二连接部的顶部与第一柔性连接件的顶部边缘连接，第二连接部的底部与第一连接部的顶部连接；驱动件驱动第二柔性连接件带动第一柔性连接件偏转，反射镜跟随第一柔性连接件偏转。本发明自重轻，降低整体惯性；避免与反射镜直接接触，消除驱动件热量对反射镜产生影响。且驱动件的驱动方向不与反射镜干涉，安装调节方式灵活，不受制于驱动件的尺寸限制，抗干扰能力强。

Description

快速反射镜装置

技术领域

本发明涉及光学仪器技术领域，特别涉及一种快速反射镜装置。

背景技术

快速反射镜（Fast Steering Mirror，FSM）是激光系统的重要组成部分，一般由反射镜、铰链、驱动器、基座、传感器和电路系统组成。用于精确控制光束方向，可以决定激光系统的最终精度。快速反射镜的响应频率高，控制精度好，可以对光束的倾斜误差进行快速校正，稳定光束方向，还可以用于快速跟踪系统中。目前广泛应用于激光通信，精密加工，图像稳定和天文望远镜等光电系统中。

有些快速反射镜系统采用刚性的铰链及支撑组件设计方案，由于刚性支撑通常包含转动轴承，运动时存在摩擦和间隙，会导致系统的爬行、震荡等不稳定因素，影响系统的控制带宽和转动精度，具有磨擦、磨损、空回等缺点，因此该快速反射镜难以达到较高的精度，同时具有装调复杂和环境适应性差等缺点。

有些快速反射镜系统采用柔性铰链设计方案，采用柔性铰链设计方案通常分为两种，一种为压电陶瓷致动器，利用逆压电效应的原理，当可调整的高压电信号施加在压电陶瓷两端时，可以对应产生一定的微量位移。然而压电陶瓷致动器行程小、有滞后、具有蠕变特性。且压电陶瓷的质量较大，用于快反镜中将增加装置的惯性。

另一种为音圈电机，基于洛伦兹力原理，当改变线圈电流的强弱及极性时，线圈体在磁钢的作用下作直线往复运动，带动反射镜转动。线圈部分相对重量较轻，从而使转动组件的转动惯量较小，可提高快反镜的工作带宽。但是线圈产生的热量会传递到反射镜镜架上，容易间接的影响反射镜面型精度，且会形成线缆拖拽，会一定程度影响反射镜的控制；且长时间工作后容易出现线缆断裂的问题。此外，音圈电机也可以采用动磁式设计，虽然不会形成线缆拖拽和反射镜加热，但是磁缸部分重量较大，增加快反镜转动部分的转动惯量，影响快反镜的工作带宽。

此外，采用音圈电机应用在快反镜中如增加转角范围，一般需要增加线圈和磁缸之间的间隙，从而影响了音圈电机的出力效率。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种快速反射镜装置，旨在解决现有技术中快速反射镜系统采用柔性铰链设计方案时，自重较大，导致增加整个系统的惯性；或者热量会传递到反射镜镜架上，容易间接的影响反射镜面型精度，且会形成线缆拖拽，一定程度影响反射镜的控制的技术问题。

为实现上述目的，本发明提出一种快速反射镜装置，所述快速反射镜装置包括：

底座；

第一柔性连接件，所述第一柔性连接件的一端设置在所述底座上，另一端远离所述底座；

反射镜，所述反射镜设置在所述第一柔性连接件远离所述底座的一端上；

驱动件，所述驱动件设置在所述底座上，所述驱动件的数量为四个，四个所述驱动件分别设置在所述第一柔性连接件的四周，四个所述驱动件两两相对分别设置在所述第一柔性连接件的两侧；

第二柔性连接件，所述第二柔性连接件的第一连接部的底部与所述驱动件连接，所述第一连接部的顶部与所述底座连接；所述第二柔性连接件的第二连接部的顶部与所述第一柔性连接件的顶部边缘连接，所述第二连接部的底部与所述第一连接部的顶部连接；所述第二柔性连接件的数量为四个，且与四个所述驱动件一一对应设置；

所述驱动件用于驱动所述第二柔性连接件的第一连接部朝向或背离所述第一柔性连接件转动，所述第二柔性连接件的第一连接部转动时带动所述第二柔性连接件的第二连接部弯折以及带动所述第一柔性连接件偏转，所述反射镜跟随所述第一柔性连接件偏转。

可选地，任一所述驱动件驱动与对应连接的所述第一连接部朝向所述第一柔性连接件转动时，与之相对设置的另一个所述驱动件驱动对应连接的所述第一连接部背离所述第一柔性连接件转动。

可选地，所述反射镜装置还包括：

角度传感器，所述角度传感器设置在所述底座上，且位于靠近所述第二柔性连接件的一侧，用于检测所述反射镜的偏转角度；

控制器，所述控制器分别与所述角度传感器以及所述驱动件电连接，所述控制器用于根据所述偏转角度控制所述驱动件以调整所述偏转角度至目标角度。

可选地，所述角度传感器的数量与所述驱动件以及所述第二柔性连接件的数量相同且一一对应设置。

可选地，所述第一柔性连接件的顶部向所述第二柔性连接件的一侧凸起以形成凸台结构，所述凸台结构与所述第二连接部连接，同时，所述凸台结构朝向所述底座的一面为所述角度传感器的工作面。

可选地，所述第二连接部与所述第一柔性连接件的凸台结构连接，所述底座靠近所述第一柔性连接件的一侧向外凸起形成翻边，所述第一连接部的顶部与所述翻边连接。

可选地，所述快速反射镜装置还包括：

第一限位件，所述第一限位件设置在所述第一连接部上，朝向所述第一柔性连接件，所述第一限位件与所述第二柔性连接件活动连接，所述第一限位件用于限制所述第一连接部的转动位置，从而实现调整所述反射镜的偏转角度。

可选地，所述快速反射镜装置还包括：

第二限位件，所述第二限位件设置在所述底座上，朝所述第二柔性连接件；所述第二限位件与所述底座活动连接，限制所述第一连接部的转动位置，从而实现调整所述反射镜的偏转角度。

可选地，所述快速反射镜装置还包括精密垫片，所述精密垫片设置在所述驱动件与所述底座之间；

所述第二柔性连接件上设有三组不同高度的安装孔，每一组所述安装孔分别对应一种厚度的所述精密垫片，更换不同厚度的所述精密垫片时，所述驱动件与所述精密垫片当前厚度对应的所述安装孔连接；

其中，所述精密垫片的厚度越小，所述反射镜的偏转角度的分辨率越高。

本发明技术方案自重轻，降低整体惯性；且所述驱动件仅与所述第二柔性连接件连接，避免与所述反射镜直接接触，避免热量对所述反射镜产生影响。且所述驱动件的驱动方向不与所述反射镜干涉，安装调节方式灵活，不受制于所述驱动件的尺寸限制，抗干扰能力强。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本发明快速反射镜装置的剖面图；

图2为本发明快速反射镜装置的三维结构图的顶部视角；

图3为本发明快速反射镜装置的三维结构图的底部视角；

图4为本发明快速反射镜装置的一实施例的结构示意图。

附图标号说明：

本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明，本发明实施例中所有方向性指示（诸如上、下、左、右、前、后……）仅用于解释在某一特定姿态（如附图所示）下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，在本发明中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

另外，本发明各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。

本发明提出一种快速反射镜60装置，请参照图1，本发明提出一种快速反射镜60装置，所述快速反射镜60装置包括底座40、第一柔性连接件10、反射镜60、驱动件30、第二柔性连接件20，所述第一柔性连接件10的一端设置在所述底座40上，另一端远离所述底座40；所述反射镜60设置在所述第一柔性连接件10远离所述底座40的一端上；所述驱动件30设置在所述底座40上，所述驱动件30的数量为四个，四个所述驱动件30分别设置在所述第一柔性连接件10的四周，四个所述驱动件30两两相对分别设置在所述第一柔性连接件10的两侧；所述第二柔性连接件20的第一连接部21的底部与所述驱动件30连接，所述第一连接部21的顶部与底座40连接；所述第二柔性连接件20的第二连接部22的顶部与所述第一柔性连接件10的顶部边缘连接，所述第二连接部22的底部与所述第一连接部21的顶部连接；所述第二柔性连接件20的数量为四个，且与四个所述驱动件30一一对应设置；所述驱动件30用于驱动所述第一连接部21朝向或背离所述第一柔性连接件10转动，所述第一连接部21转动时带动所述第二连接部22弯折以及带动所述第一柔性连接件10偏转，所述反射镜60跟随所述第一柔性连接件10偏转。

所述第一柔性连接件10作为主要支撑结构，底部安装在所述底座40上，通过螺钉进行固定；所述反射镜60则固定在所述第一柔性连接件10的顶部，所述第一柔性连接件10发生形变，从而实现带动所述反射镜60进行偏转的效果。

在制作所述第一柔性连接件10时，其尺寸高度可设置为80mm，长度设置为100mm，宽度设置为100mm，以保证提高整体结构的稳定性，提高抗干扰能力。

所述第二柔性连接件20的长度为178mm、宽130mm、厚度26mm，相对所述第一柔性连接件10，所述第二柔性连接件20的尺寸较小，以保证转动效果。

所述驱动件30可以采用音圈电机，重量轻，降低装置整体的自重量。

所述驱动件30安装在所述底座40上，且所述驱动件30的驱动方向与所述反射镜60的镜面平行，所述反射镜60位于所述驱动件30的顶部，呈错位设置，从而避免所述驱动件30运行时与所述反射镜60干涉。通过上述安装方式，可以更加灵活调节所述驱动件30的安装方式，对所述驱动件30的体积要求较低。

同时，所述驱动件30不与所述第一柔性连接件10直接作用，可以有效避免所述第一柔性连接件10偶然过载，保护所述第一柔性连接件10。

所述第二柔性连接件20由所述第一连接部21和所述第二连接部构成，正常设置情况下，所述第一连接部21指位于底部的部分，所述第二连接部22指位于顶部的部分。

所述第一连接部21的底部与所述驱动件30的驱动端连接，所述第一连接部21的顶部与所述底座40连接。所述驱动件30的驱动端可朝向所述第一柔性连接件10伸缩移动，当所述驱动件30向所述第一柔性连接件10一侧伸出时，带动所述第一连接部21向所述第一柔性连接件10一侧移动。

根据杠杆原理，由于所述第一连接部21的顶部与所述底座40连接，因此所述第一连接部21的底部摆动时，会带动所述第二连接部22沿反方向摆动。因此所述第二连接部22则会朝远离所述第一柔性连接件10的一侧移动，并拉扯所述第一柔性连接件10的偏转，进而所述反射镜60随着所述第一柔性连接件10的偏转而发生偏转。

本发明技术方案自重轻，降低整体惯性；且所述驱动件30仅与所述第二柔性连接件20连接，避免与所述反射镜60直接接触，避免热量对所述反射镜60产生影响。且所述驱动件30的驱动方向不与所述反射镜60干涉，安装调节方式灵活，不受制于所述驱动件30的尺寸限制，抗干扰能力强。

进一步地，请参照图2，所述驱动件30的数量为四个，四个所述驱动件30分别设置在所述第一柔性连接件10的四周，且两两相对设置在所述第一柔性连接件10的两侧；所述第二柔性连接件20的数量与所述驱动件30的数量相同且一一对应设置；其中，任一所述驱动件30驱动与对应连接的所述第一连接部21朝向所述第一柔性连接件10转动时，与之相对设置的另一个所述驱动件30驱动对应连接的所述第一连接部21背离所述第一柔性连接件10转动。

请参照图4，左侧的驱动件伸出时，驱动左侧的第二柔性连接件20向右移动；右侧的驱动件同时缩回，驱动右侧的第二柔性连接件20同样向右移动，保证两侧偏转一致。

采用多个所述第二柔性连接件20的连接方式，提高连接的稳定性，以及抗干扰能力。同时避免由于所述反射镜60自重影响，导致整个柔性连接结构变形而产生初始偏转角度。

本实施例中，位于所述第一柔性连接件10左右两侧的两个所述第二柔性连接件20相对设置，位于所述第一柔性连接件10前后两侧的两个所述第二柔性连接件20相对设置。

通过两两相对设置的方式，当需要转动所述反射镜60时，使左侧的所述驱动件30伸出，同时右侧的所述驱动件30缩回，保证所述反射镜60在X轴方向上转动的稳定性。同理，前后两侧的两个所述驱动件30相互配合，保证所述反射镜60在Y轴方向上转动的稳定性，四个所述第二柔性连接件20之间相互配合则能够实现所述反射镜360°偏转。

并且，本实施例中采用相对设置的方式，相对的两个所述驱动件30对所述反射镜60的热影响会相互抵消，避免影响所述反射镜60的调节精度。

进一步地，所述反射镜60装置还包括角度传感器50及控制器，所述角度传感器50设置在所述底座40上，且位于靠近所述第二柔性连接件20的一侧，用于检测所述反射镜60的偏转角度，所述控制器分别与所述角度传感器50以及所述驱动件30电连接，所述控制器用于根据所述偏转角度控制所述驱动件30以调整所述偏转角度至目标角度。

所述传感器采用电容传感器，所述角度传感器50设置在所述底座40上，并位于所述第一柔性连接件10与所述第二柔性连接件20之间，所述角度传感器50的检测方向朝向所述反射镜60，从而检测所述反射镜60的偏转角度。

所述角度传感器50将检测到的偏转角度发送至所述控制器，通过所述控制器根据反馈的所述偏转角度进行调整，从而形成闭环系统。

当检测到所述反射镜60的偏转角度未达到所述目标角度时，则对所述反射镜60的偏转角度进行修正。例如，设定的所述目标角度为向左侧偏转3°，检测到所述反射镜60的偏转角度为向左侧偏转2.5°，则所述控制器继续控制左侧的驱动件30继续伸出，使所述反射镜60继续向左侧转动，直至所述反射镜60的偏转角度达到3°。同理，当偏转角度过大至3.5°时，则所述控制器控制左侧的驱动件30缩回，从而使所述反射镜60向右偏转0.5°。

其中，所述偏转角度为0°~0.86°，偏转角度具体指所述反射镜60朝一个方向偏转的角度，例如可向左偏转0°~0.86°，也可向右偏转0°~0.86°；在建立参考系时，则可以将向右偏转的角度定义为-0.86°~0°。

所述驱动件30的伸缩长度为-3.35~2.35mm，也即最大能够伸出2.35mm，最大能够缩回3.35mm。

进一步地，所述角度传感器50的数量与所述驱动件30的数量相同且一一对应设置。

每个所述角度传感器50分别检测对应所述驱动件30一侧的偏转角度，从而通过几何分析计算所述反射镜60的偏转角度，进一步提高检测精度。

进一步地，请参照图3，所述第一柔性连接件10的顶部向所述第二柔性连接件20的一侧凸起以形成凸台结构11，所述凸台结构11与所述第二连接部22连接，同时，所述凸台结构11朝向所述底座40的一面为所述角度传感器50的工作面。

本实施例中，所述第一柔性连接件10的顶部向外凸出从而形成所述凸台结构11，以便于连接所述第二柔性连接件20。

所述角度传感器50的检测方向可朝向所述凸台结构11一侧，也即所述凸台结构11朝向所述底座40的一面。

进一步地，所述第二连接部22与所述第一柔性连接件10的凸台结构11连接，所述底座40靠近所述第一柔性连接件10的一侧向外凸起形成翻边41，所述第一连接部21的顶部与所述翻边41连接。

所述第一连接部21较宽，部分位于所述翻边41的底部，从而所述第一连接部21的顶部与所述翻边41抵接。

当所述第一连接部21摆动时，所述第一连接部21以抵接在所述翻边41的点为圆心转动。同理所述第二连接部22也沿该点为圆心，通过杠杆原理向反方向转动。

所述第二连接部22的较窄，与所述第一连接部21远离所述第一柔性连接件10的边缘连接，避免摆动时与其他结构干涉，可采用一体成型设置提高连接刚度。

进一步地，所述快速反射镜60装置还包括连接板及第一限位件70，所述第一限位件70设置在所述第一连接部21上，朝向所述第一柔性连接件10，所述第一限位件70与所述第二柔性连接件20活动连接，所述第一限位件70用于限制所述第一连接部21的转动位置，从而实现调整所述反射镜60的偏转角度。

所述第一限位件70安装在所述第一连接部21朝向所述第一柔性连接件10的一面上。

所述第一限位件70用于限位所述第二柔性连接件20向所述第一柔性连接件10一侧的移动距离。当所述驱动件30伸出时，所述第二限位件80先与所述第一柔性连接件10抵接，防止第二柔性连接件20形变过大导致结构被破坏，从而利用所述第二限位件80进行限位。

所述第二限位件80同样可采用螺钉，所述第一连接部21朝向所述第一柔性连接件10的一面上设置螺纹孔，通过拧动所述第一限位件70来调节所述第一限位件70凸出所述所述第一连接部21朝向所述第一柔性连接件10的一面的距离。

进一步地，所述快速反射镜60装置还包括第二限位件80，所述第二限位件80设置在所述底座40上，朝所述第二柔性连接件20；所述第二限位件80与所述底座40活动连接，限制所述第一连接部21的转动位置，从而实现调整所述反射镜60的偏转角度。

所述第二限位件80可通过所述连接板固定在所述底座40上，连接板竖直固定在所述底座40上，所述第二限位件80用于限位所述第二柔性连接件20向所述驱动件30一侧的移动距离。当所述驱动件30缩回时，为了防止第二柔性连接件20形变过大导致结构被破坏，从而利用所述第二限位件80进行限位。

所述第二限位件80同样可以采用螺钉，在所述连接板上设置螺纹孔，通过拧动的方式，可调节所述第二限位件80在所述连接板上的位置，根据不同尺寸的所述第二柔性连接件20来调节限位的位置，也即调节所述第二柔性连接件20的偏转角度，进而提高结构调整的灵活度。

进一步地，所述快速反射镜60装置还包括精密垫片，所述精密垫片设置在所述驱动件30与所述底座40之间；所述第二柔性连接件20上设有三组不同高度的安装孔，每一组所述安装孔分别对应一种厚度的所述精密垫片，更换不同厚度的所述精密垫片时，所述驱动件30与所述精密垫片当前厚度对应的所述安装孔连接；其中，所述精密垫片的厚度越小，所述反射镜60的偏转角度的分辨率越高。

所述精密垫片设置在所述驱动件30的底部，从而调节所述驱动件30在所述底座40上的高度，可以改变所述驱动件30在所述第二柔性连接件20上的施力点，实现所述快速反射镜60装置在所述驱动件30固定位移下角度缩放功能，和所述驱动件30在所述快速反射镜60装置角度固定其输出位移和力可调整的功能。

所述精密垫片的长度为60mm，宽度为60mm，厚度为2mm。

进一步地，所述第一柔性连接件10的侧壁上设有缓冲槽12。

在转动所述反射镜60时，所述第一柔性连接件10同样会产生形变。然而所述第一柔性连接件10的尺寸较大，为了防止所述第一柔性连接件10破损，从而在所述第一柔性连接件10的侧壁上开设所述缓冲槽12，以提高所述第一柔性连接件10形变的可靠性。

以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的发明构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (9)

1.一种快速反射镜装置，其特征在于，所述快速反射镜装置包括：

底座；

第一柔性连接件，所述第一柔性连接件的一端设置在所述底座上，另一端远离所述底座；

反射镜，所述反射镜设置在所述第一柔性连接件远离所述底座的一端上；

驱动件，所述驱动件设置在所述底座上，所述驱动件的数量为四个，四个所述驱动件分别设置在所述第一柔性连接件的四周，四个所述驱动件两两相对分别设置在所述第一柔性连接件的两侧；

第二柔性连接件，所述第二柔性连接件的第一连接部的底部与所述驱动件连接，所述第一连接部的顶部与所述底座连接；所述第二柔性连接件的第二连接部的顶部与所述第一柔性连接件的顶部边缘连接，所述第二连接部的底部与所述第一连接部的顶部连接；所述第二柔性连接件的数量为四个，且与四个所述驱动件一一对应设置；

所述驱动件用于驱动所述第一连接部朝向或背离所述第一柔性连接件转动，所述第一连接部转动时带动所述第二连接部弯折以及带动所述第一柔性连接件偏转，所述反射镜跟随所述第一柔性连接件偏转。

2.根据权利要求1所述的快速反射镜装置，其特征在于，任一所述驱动件驱动与对应连接的所述第一连接部朝向所述第一柔性连接件转动时，与之相对设置的另一个所述驱动件驱动对应连接的所述第一连接部背离所述第一柔性连接件转动。

3.根据权利要求1所述的快速反射镜装置，其特征在于，所述反射镜装置还包括：

角度传感器，所述角度传感器设置在所述底座上，且位于靠近所述第二柔性连接件的一侧，用于检测所述反射镜的偏转角度；

控制器，所述控制器分别与所述角度传感器以及所述驱动件电连接，所述控制器用于根据所述偏转角度控制所述驱动件以调整所述偏转角度至目标角度。

4.根据权利要求3所述的快速反射镜装置，其特征在于，所述角度传感器的数量与所述驱动件以及所述第二柔性连接件的数量相同且一一对应设置。

5.根据权利要求3所述的快速反射镜装置，其特征在于，所述第一柔性连接件的顶部向所述第二柔性连接件的一侧凸起以形成凸台结构，所述凸台结构与所述第二连接部连接，同时，所述凸台结构朝向所述底座的一面为所述角度传感器的工作面。

6.根据权利要求5所述的快速反射镜装置，其特征在于，所述第二连接部与所述第一柔性连接件的凸台结构连接，所述底座靠近所述第一柔性连接件的一侧向外凸起形成翻边，所述第一连接部的顶部与所述翻边连接。

7.根据权利要求1所述的快速反射镜装置，其特征在于，所述快速反射镜装置还包括：

第一限位件，所述第一限位件设置在所述第一连接部上，朝向所述第一柔性连接件，所述第一限位件与所述第二柔性连接件活动连接，所述第一限位件用于限制所述第一连接部的转动位置，从而实现调整所述反射镜的偏转角度。

8.根据权利要求7所述的快速反射镜装置，其特征在于，所述快速反射镜装置还包括：

第二限位件，所述第二限位件设置在所述底座上，朝所述第二柔性连接件；所述第二限位件与所述底座活动连接，限制所述第一连接部的转动位置，从而实现调整所述反射镜的偏转角度。

9.根据权利要求1所述的快速反射镜装置，其特征在于，所述快速反射镜装置还包括精密垫片，所述精密垫片设置在所述驱动件与所述底座之间；

所述第二柔性连接件上设有三组不同高度的安装孔，每一组所述安装孔分别对应一种厚度的所述精密垫片，更换不同厚度的所述精密垫片时，所述驱动件与所述精密垫片当前厚度对应的所述安装孔连接；

其中，所述精密垫片的厚度越小，所述反射镜的偏转角度的分辨率越高。