CN115128798A - 一种具有大偏摆角度、高抗振能力的二维快速控制反射镜 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种具有大偏摆角度、高抗振能力的二维快速控制反射镜，包括反射镜片、镜架、限位螺钉、中心柔性铰、四个相同的音圈执行器构成的驱动组件、四个相同的电容式位移传感器构成的反馈组件、安装底座、线夹、底盖。中心柔性铰的下端与安装底座的中心安装接口固定、上端与镜架的中心安装接口固定，反射镜片固定安装在镜架上。驱动组件呈“十”字对称布置在镜架与安装底座之间，驱动组件的动模块与镜架固定连接、定模块与安装底座固定连接。反馈组件呈“十”字对称布置在镜架与安装底座之间，反馈组件的动极板与镜架固定连接，定极板与安装底座固定连接。驱动组件的四个音圈执行器与反馈组件的四个电容式位移传感器成45°交替分布。该型快反镜结构紧凑、体积小、重量轻、偏转角度大、抗振动能力强。

Description

一种具有大偏摆角度、高抗振能力的二维快速控制反射镜

技术领域

本发明属于快速控制反射镜领域，具体涉及一种具有大偏摆角度、高抗振能力的二维快速控制反射镜。

背景技术

快速控制反射镜（Fast Steering Mirror，FSM）是用在光源与接收端之间进行光束调整的装置，是调整和稳定光学系统视轴或光束指向的关键部件，已在自适应光学、精密跟踪、目标指向、光束控制及光通信等领域得到广泛应用，其优点在于体积小、速度快、精度高、带宽高等。

目前，快速控制反射镜的结构形式主要分为有轴系和无轴系两种结构形式。其中，无轴系结构因采用柔性结构代替传统的机械结构，具有体积小、无摩擦、无间隙、灵敏度高、重复性好以及运动平稳等特点，因此已越来越多的为快速控制反射镜所采用。

但是现有快反镜仍然存在如下问题：（1）以两轴正交空间曲线切割成型的柔性铰作为支撑偏转结构的快反镜偏转角度小，不能满足大角度快反镜设计需求。（2）以两轴正交空间曲线切割成型的柔性铰作为支撑偏转结构的快反镜抗振动能力不高，不能满足越来越严苛的使用环境要求。

发明内容

本发明提供了一种具有大偏摆角度、高抗振能力的二维快速控制反射镜，用于增大快反镜的偏转角度和提高快反镜的抗振动能力。

本发明的技术方案为：

本发明提供了一种具有大偏摆角度、高抗振能力的二维快速控制反射镜，包括：

镜架2；

反射镜片1，其装配在镜架2上方；

安装底座10，其布置在镜架2下方，镜架2和安装底座10通过中心柔性铰6相连；中心柔性铰6的上端与镜架2上设置的中心安装接口固定，中心柔性铰6的下端与安装底座10上设置的中心安装接口固定；

驱动组件，其布置在镜架2和安装底座10之间；

反馈组件，其布置在镜架2和安装底座10之间；

底盖12，其布置在安装底座10下方，用于对安装底座10内的内部电路进行保护；

安装底座10上设置有对驱动组件和反馈组件的通讯线束进行固定的线夹11。

优选地，所述中心柔性铰6包括：

用于与镜架2上设置的中心安装接口连接的上安装座61，

用于与安装底座10上设置的中心安装接口连接的下安装座62，

布置在上安装座61与下安装座62之间的换向座63，

与上安装座61和换向座63装配固定的两组第一角度偏转机构64，以及

与下安装座62和换向座63装配固定的两组第二角度偏转机构65；

在各柔性簧片上布置的锁紧机构66，所述锁紧机构66实现将对应的柔性簧片锁紧在与其装配的部件上；

一组第一角度偏转机构64和一组第二角度偏转机构65均包括偏转轴共线的呈十字交叉布置的两片柔性簧片；

一组第一角度偏转机构64和一组第二角度偏转机构65的偏转轴垂直交叉；

两组第一角度偏转机构64的偏转轴共线，两组第二角度偏转机构65的偏转轴共线。

优选地，换向座63包括：

换向座本体631，

在换向座本体631上端成型并与两组第二角度偏转机构65装配的第一装配端，以及

在换向座本体631下端成型并与两组第一角度偏转机构64装配的第二装配端；

第一装配端和第二装配端的正投影呈十字交叉布置。

优选地，第一装配端由在换向座本体631上端沿X轴正、负方向向外对称延伸出的两个第一装配座632组成，第二装配端由在换向座本体631下端沿Y轴正、负方向向外对称延伸出的两个第二装配座633组成；

上安装座61上沿Y轴正、负方向向外对称延伸出有两个第三装配座611，下安装座62上沿X轴正、负方向向外对称延伸出有两个第四装配座21；

一个第一装配座632和与其位置对应的一个第四装配座621之间装配有一组第二角度偏转机构65；

一个第二装配座633和与其位置对应的一个第三装配座611之间装配有一组第一角度偏转机构64；

X轴和Y轴在水平面上垂直。

优选地，第一装配座632和第四装配座621均具有：与第二角度偏转机构65和在其上装配的锁紧机构66相贴合的安装接口；

第二装配座633和第三装配座611均具有：与第一角度偏转机构64和在其上装配的锁紧机构66相贴合的安装接口；

每个装配座的安装接口为相互垂直的两个斜面。

优选地，第一角度偏转机构64和第二角度偏转机构65的偏转最大角度均为15°；

上安装座61和下安装座62上均形成有对换向座63限位和供换向座63进行位置调整的限位区间；

柔性簧片采用多片叠堆后进行一次切割成型的加工工艺；

锁紧机构66为锁紧垫片，与各柔性簧片装配的部件均与锁紧垫片固定。

优选地，驱动组件呈“十”字对称布置在镜架2与安装底座10之间，或，驱动组件单边布置在镜架2与安装底座10之间；

驱动组件的动模块与镜架2固定连接，定模块与安装底座10固定连接。

优选地，驱动组件包括4个音圈执行器，每个音圈执行器均由磁铁5、线圈9和线圈保持罩8构成，各线圈9通过线圈保持罩8固定在安装底座10上，磁铁5与镜架2固定连接，磁铁2和线圈9的中心同轴线设置；

多个磁铁5构成驱动组件的动模块，多个线圈保持罩8和线圈9构成驱动组件的定模块；

驱动组件的四个音圈执行器与反馈组件的四个电容式位移传感器呈45°交替分布。

优选地，反馈组件呈“十”字对称布置在镜架2与安装底座10之间，或，反馈组件单边布置在镜架2与安装底座10之间；

反馈组件的动极板4与镜架2固定连接，定极板7与安装底座10固定连接。

优选地，反馈组件包括4个电容式位移传感器，每个位移传感器包括动极板4和定极板7，各动极板4固定安装在镜架2上，各定极板7固定安装在安装底座10上；每个电容式位移传感器的动极板4及定极板7中心同轴线设置，且每个电容式位移传感器的动极板4及定极板7均与反射镜面平行布置。

本发明的有益效果为：

快反镜采用音圈电机驱动，四个驱动组件分别布置在镜架四角，其中对角两个音圈电机串联为一组，共构成两组串联驱动。当需要反射镜片绕其中某一轴偏转时，只需控制该轴线其中一边的两个电机和另一边的两个电机出力方向相反即可。

具体为对线圈施加不同方向的电流，驱动组件以此产生不同方向的力。反射镜片与镜架固连，驱动组件的动模块同样与镜架固连，镜架通过中心接口固连于柔性铰的上端面，柔性铰的Z轴（即竖直）方向的刚度非常高，其他运动轴方向的刚度非常低，当运动轴线两边电机出力不平衡时，使得镜架绕柔性铰的低刚度方向旋转（即绕X、Y轴旋转），即可带动反射镜片偏转。

反射镜在偏转过程中，一个动极板随镜架绕旋转轴作向上运动、另一个动极板随镜架绕旋转轴作向下运动，反馈组件对应的两个定极板会实时检测出与之对应的动极板之间的距离变化；小角度条件下可近似转化成反射镜的角度变化，经差动处理后反馈给控制系统，从而对四个音圈执行器的驱动力进行控制和校正，实现对反射镜片绕旋转轴偏转角度的闭环控制。

本发明具有下述优点：

中间柔性铰采用柔性簧片作为偏转结构，柔性簧片材料为冷轧成型钢板，表面质量高，且加工破坏面为非工作面，避免了对柔性簧片的工作面造成切割损伤，柔性簧片的工作面不损伤会使柔性簧片能承受高强度振动而不损坏。

一组第一角度偏转机构和一组第二角度偏转机构在装配时两片柔性簧片为一组，两片柔性簧片呈十字交叉布置，两组第一角度偏转机构对称布置在换向座的两个对称安装接口上，两组第二角度偏转机构对称布置在换向座的另外两个对称安装接口上，实现中间柔性铰的十字对称布置。对称布置的中间柔性铰在偏转时所受力矩会相互补偿，使柔性簧片应力较为均衡的分布在柔性簧片整个工作面上，避免应力集中；且柔性簧片为平板式结构，整个工作面皆可弯曲、刚度一致，因此可承受15°以内的大角度偏转。

对柔性簧片的加工克服了传统的空间曲线切割成型的柔性铰链利用局部刚度极低，其余部分刚度极高进行偏转而导致偏转角度小、易断裂的原理性弱点。

柔性簧片采用多片叠堆、一次切割成型的加工工艺；单次加工即可完成一只中间柔性铰所需的全部柔性簧片，保证了每只中间柔性铰所需的柔性簧片公差一致。装配后的柔性簧片的偏转中心同轴度高，因此偏转中心稳定，重复精度高。

中间柔性铰的柔性簧片本身为厚薄一致的薄片，中心柔性铰的每组柔性簧片为完全对称布置，偏转受力时可相互补偿，因此可承受大角度偏转；驱动组件由磁铁及线圈构成，结构简单，可根据设计要求按需设计，减小驱动占用的体积空间，减轻重量、提高空间利用率；反馈组件由动极板、动极板构成，结构简单，可根据设计要求按需设计，减小反馈组件空间占用，提高空间利用率；且感器布置方式能提高测量精度，提高线性度。

附图说明

图1是一种大偏摆角度、高抗振能力的二维快速控制反射镜的爆炸图；

图2是一种大偏摆角度、高抗振能力的二维快速控制反射镜的剖视图1；

图3是一种大偏摆角度、高抗振能力的二维快速控制反射镜的剖视图2；

图4是一种大偏摆角度、高抗振能力的二维快速控制反射镜的X轴正视图；

图5是一种大偏摆角度、高抗振能力的二维快速控制反射镜的Y轴正视图；

图6是一种大偏摆角度、高抗振能力的二维快速控制反射镜的轴测图1；

图7是一种大偏摆角度、高抗振能力的二维快速控制反射镜的轴测图2；

图8是一种大偏摆角度、高抗振能力的二维快速控制反射镜的柔性铰；

图9是中间柔性铰的三维展开图；

图10是中间柔性铰的Y向正视图；

图11是中间柔性铰的X向正视图；

图12是中间柔性铰的顶部安装图。

具体实施方式

参照图1至图12，本实施例提供了一种具有大偏摆角度、高抗振能力的二维快速控制反射镜，包括反射镜片1、镜架2、限位螺钉3、中心柔性铰6、四个相同的音圈执行器构成的驱动组件、四个相同的电容式位移传感器构成的反馈组件、安装底座10、线夹11、底盖12。

中心柔性铰6的下端与安装底座10的中心安装接口固定、上端与镜架2的中心安装接口固定，反射镜片1通过螺钉或者粘贴的方式固定安装在镜架2上。

驱动组件呈“十”字对称布置在镜架2与安装底座10之间，驱动组件的动模块与镜架2固定连接、定模块与安装底座10固定连接。

反馈组件呈“十”字对称布置在镜架2与安装底座10之间，反馈组件的动极板4与镜架2固定连接，定极板7与安装底座10固定连接。

驱动组件的四个音圈执行器与反馈组件的四个电容式位移传感器成45°交替布置。

底盖12与安装底座10固定，线夹11用于固定反馈组件和驱动组件的线缆。

反射镜片1通过两端定位螺孔与镜架2连接。

本实施例中，中心柔性铰6为一种偏转角度大、抗振动能力强的双轴柔性铰。

驱动组件包括4个音圈执行器，每个音圈执行器包括线圈保持罩8、线圈9、磁铁5。线圈9通过线圈保持罩8固定在安装底座10上，磁铁5及线圈9中心同轴线布置。磁铁5构成驱动组件的动模块，与镜架2固定连接；线圈保持罩8、线圈9构成驱动组件的定模块，与安装底座10固定连接。

反馈组件包括4个电容式位移传感器，每个位移传感器包括动极板4、定极板7。动极板4固定安装在镜架2上，定极板7固定安装在安装底座10上；动极板4及定极板7中心同轴线、且都与安装底座10的反射镜面平行布置。

所述安装底座10一体式集成了磁铁5的安装座、定极板7的安装座、中心柔性铰6的固定端安装座。安装底座10为一体加工成型。

所述反射镜片1、镜架2均采用同种材料加工而成。

限位螺钉3为快反镜偏转角机械限位结构，能限制快反镜过角度偏转。

本实施例提供了一种偏转角度大、抗振动能力强的双轴中间柔性铰，该中间柔性铰具有沿两个轴发生角度偏转的能力。

该双轴中间柔性铰包括：上安装座61、换向座63、下安装座62和柔性簧片。

柔性簧片作为实现双轴柔性铰发生偏转的角度偏转机构。其中，在上安装座61和换向座63之间装配有两组对称布置的第一角度偏转机构64，在下安装座62和换向座63之间装配有两组对称布置的第二角度偏转机构65。

每组第一角度偏转机构64和每组第二角度偏转机构65均由两片呈十字交叉布置的柔性簧片组成，两片柔性簧片的偏转轴共线。

如图1，两组第一角度偏转机构64的偏转轴共线，两组第二角度偏转机构65的偏转轴共线，第一角度偏转机构64和第二角度偏转机构65的偏转轴垂直交叉。也就是说，四组角度偏转机构分布在换向座的四个方向。

换向座63沿Z向（竖向）方向的正投影呈十字状，换向座本体631的上端沿X轴的正向和反向分别向外对称延伸出有第一装配座632，换向座本体的下端沿Y轴的正向和反向方向分别向外对称延伸出有第二装配座633，两个第一装配座632构成换向座63与两组第二角度偏转机构65装配的第一装配端，两个第二装配座633构成换向座63与两组第一角度偏转机构64装配的第二装配端。前述的X轴和Y轴为在水平方向上相垂直。

上安装座61沿Y轴的正向和反向方向别向外对称延伸出有第三装配座611，下安装座62沿X轴的正向和反向方向分别向外对称延伸出有第四装配座621。一个第一装配座632和一个第四装配座621之间连接有一组第二角度偏转机构65，一个第二装配座633和一个第三装配座611之间连接有一组第一角度偏转机构64。

本实施例中，要求第一装配座632至第四装配座621具有与柔性簧片贴合并装配的安装接口斜面。具体来说，该第一装配座632的第一斜面6321斜向下布置，第二装配座633的第一斜面6331斜向上布置，第三装配座611的第一斜面6111斜向下布置，第四装配座621的第一斜面6211斜向上布置，第一装配座632的第一斜面6321与第四装配座621的第一斜面6211平行，第二装配座633的第一斜面6331和第三装配座611的第一斜面6111平行。

柔性簧片为厚薄一致的薄片，各柔性簧片的上下两侧均设置有对应的与换向座63的第一斜面实现螺接固定的螺接孔。其中，对于一组第二角度偏转机构65，两片柔性簧片中位于上侧的柔性簧片与第一装配座632的第一斜面6321贴合并连接，位于下侧的柔性簧片与第四装配座621的第一斜面6211贴合并连接。对于一组第一角度偏转机构64，两片柔性簧片中位于上侧的柔性簧片与第三装配座611的第一斜面6111贴合并连接，两片柔性簧片中位于下侧的柔性簧片与第二装配座633的第一斜面6331贴合并连接。

本实施例中，利用各柔性簧片实现上安装座61、换向座63和下安装座62之间的连接。在外部机构需要绕X轴偏转时，外部机构带动上安装座61运动，上安装座61的运动会进而带动第一角度偏转机构64同步旋转，进而带动换向座63上的第二角度偏转机构65旋转，第二角度偏转机构65随即相对于X轴发生角度的偏转；在外部机构需要绕Y轴偏转时，外部机构带动上安装座61运动，进而带动换向座63上的第一角度偏转机构64旋转，第一角度偏转机构64随即相对于Y轴发生角度的偏转。

考虑到依靠螺钉7实现柔性簧片与上安装座61、下安装座62和换向座63装配时，由于单面装配稳定性不够高，会导致中间柔性铰在多次重复使用过程后可能出现偏转不稳的问题，为此，本实施例增加了对柔性簧片同上安装座61、下安装座62和换向座63锁紧的锁紧机构66，该锁紧机构66为在各柔性簧片上垂直布置的锁紧垫片。其中，每一组角度偏转机构的两片柔性簧片上设置有两个方向相反的锁紧垫片，第一装配座632至第四装配座621具有与锁紧垫片实现锁紧的第二斜面，各装配座的第一斜面和第二斜面在空间上呈垂直布置形成一个安装接口。具体来说，针对下安装座62和换向座63之间装配的第二角度偏转机构65，两片柔性簧片中位于上侧的柔性簧片上表面上装配的锁紧垫片与第一装配座632的第二斜面6322贴合后再通过螺钉锁紧，位于下侧的柔性簧片下表面上装配的锁紧垫片与第四装配座621的第二斜面6212贴合再通过螺钉67锁紧，装配完成后，这一组第二角度偏转机构65的上端与第一装配座632呈十字形锁紧，下端与第四装配座621呈十字形锁紧。同理，针对上安装座61和换向座63之间装配的第一角度偏转机构64，也采用上述相同构造实现柔性簧片与上安装座61和换向座63之间的十字形装配锁紧。这样，能够提高柔性弹簧同各部件之间的装配稳定性，在外部机构同中间柔性铰装配锁紧后，外部机构的重复使用精度高。

本发明上述中间柔性铰的工作原理如下：

外部产品的动端（旋转端）通过4颗螺钉与上安装座61固连，外部产品的静端（固定端）通过4颗螺钉与下安装座62连接。连接固定后即可实现整个产品的二轴旋转功能。

本中间柔性铰采用柔性簧片作为偏转结构，柔性簧片材料为冷轧成型钢板，表面质量高，且加工破坏面为非工作面，避免了对柔性簧片的工作面造成切割损伤。工作面不损伤会使柔性簧片能承受高强度振动而不损坏。

一组第一角度偏转机构4和一组第二角度偏转机构65在装配时两片柔性簧片为一组，两片柔性簧片呈十字交叉布置，两组第一角度偏转机构4对称布置在换向座的两个对称安装接口上，两组第二角度偏转机构65对称布置在换向座的另外两个对称安装接口上，实现中间柔性铰的十字对称布置。对称布置的中间柔性铰在偏转时所受力矩会相互补偿，使柔性簧片应力较为均衡的分布在柔性簧片整个工作面上，避免应力集中；且柔性簧片为平板式结构，整个工作面皆可弯曲、刚度一致，因此可承受15°以内的大角度偏转。

对柔性簧片的加工克服了传统的空间曲线切割成型的柔性铰链利用局部刚度极低，其余部分刚度极高进行偏转而导致偏转角度小、易断裂的原理性弱点。

柔性簧片采用多片叠堆、一次切割成型的加工工艺；单次加工即可完成一只中间柔性铰所需的全部柔性簧片，保证了每只中间柔性铰所需的柔性簧片公差一致。装配后的柔性簧片的偏转中心同轴度高，因此偏转中心稳定，重复精度高。

中间柔性铰6的柔性簧片本身为厚薄一致的薄片，中心柔性铰6的每组柔性簧片为完全对称布置，偏转受力时可相互补偿，因此可承受大角度偏转；驱动组件由磁铁5及线圈9构成，结构简单，可根据设计要求按需设计，减小驱动占用的体积空间，减轻重量、提高空间利用率；反馈组件由动极板4、动极板7构成，结构简单，可根据设计要求按需设计，减小反馈组件空间占用，提高空间利用率；且感器布置方式能提高测量精度，提高线性度。

Claims (10)

1.一种具有大偏摆角度、高抗振能力的二维快速控制反射镜，其特征在于，包括：

镜架（2）；

反射镜片（1），其装配在镜架（2）上方；

安装底座（10），其布置在镜架（2）下方，镜架（2）和安装底座（10）通过中心柔性铰（6）相连；中心柔性铰（6）的上端与镜架（2）上设置的中心安装接口固定，中心柔性铰（6）的下端与安装底座（10）上设置的中心安装接口固定；

驱动组件，其布置镜架（2）和安装底座（10）之间；

反馈组件，其布置在镜架（2）和安装底座（10）之间；

底盖（12），其布置在安装底座（10）下方，用于对安装底座（10）内的内部电路进行保护；

安装底座（10）上设置有对驱动组件和反馈组件的通讯线束进行固定的线夹（11）。

2.根据权利要求1所述的具有大偏摆角度、高抗振能力的二维快速控制反射镜，其特征在于，所述中心柔性铰（6）包括：

用于与镜架（2）上设置的中心安装接口连接的上安装座（61），

用于与安装底座（10）上设置的中心安装接口连接的下安装座（62），

布置在上安装座（61）与下安装座（62）之间的换向座（63），

与上安装座（61）和换向座（63）装配固定的两组第一角度偏转机构（64），以及

与下安装座（62）和换向座（63）装配固定的两组第二角度偏转机构（65）；

在各柔性簧片上布置的锁紧机构（66），所述锁紧机构（66）实现将对应的柔性簧片锁紧在与其装配的部件上；

一组第一角度偏转机构（64）和一组第二角度偏转机构（65）均包括偏转轴共线的呈十字交叉布置的两片柔性簧片；

一组第一角度偏转机构（64）和一组第二角度偏转机构（65）的偏转轴垂直交叉；

两组第一角度偏转机构（64）的偏转轴共线，两组第二角度偏转机构（65）的偏转轴共线。

3.根据权利要求2所述的具有大偏摆角度、高抗振能力的二维快速控制反射镜，其特征在于，换向座（63）包括：

换向座本体（631），

在换向座本体（631）上端成型并与两组第二角度偏转机构（65）装配的第一装配端，以及

在换向座本体（631）下端成型并与两组第一角度偏转机构（64）装配的第二装配端；

第一装配端和第二装配端的正投影呈十字交叉布置。

4.根据权利要求3所述的具有大偏摆角度、高抗振能力的二维快速控制反射镜，其特征在于，第一装配端由在换向座本体（631）上端沿X轴正、负方向向外对称延伸出的两个第一装配座（632）组成，第二装配端由在换向座本体（631）下端沿Y轴正、负方向向外对称延伸出的两个第二装配座（633）组成；

上安装座（61）上沿Y轴正、负方向向外对称延伸出有两个第三装配座（611），下安装座（62）上沿X轴正、负方向向外对称延伸出有两个第四装配座（21）；

一个第一装配座（632）和与其位置对应的一个第四装配座（621）之间装配有一组第二角度偏转机构（65）；

一个第二装配座（633）和与其位置对应的一个第三装配座（611）之间装配有一组第一角度偏转机构（64）；

X轴和Y轴在水平面上垂直。

5.根据权利要求4所述的具有大偏摆角度、高抗振能力的二维快速控制反射镜，其特征在于，第一装配座（632）和第四装配座（621）均具有：与第二角度偏转机构（65）和在其上装配的锁紧机构（66）相贴合的安装接口；

第二装配座（633）和第三装配座（611）均具有：与第一角度偏转机构（64）和在其上装配的锁紧机构（66）相贴合的安装接口；

每个装配座的安装接口为相互垂直的两个斜面。

6.根据权利要求2所述的具有大偏摆角度、高抗振能力的二维快速控制反射镜，其特征在于，第一角度偏转机构（64）和第二角度偏转机构（65）的偏摆最大角度均为（15）°；

上安装座（61）和下安装座（62）上均形成有对换向座（63）限位和供换向座（63）进行位置调整的限位区间；

柔性簧片采用多片叠堆后进行一次切割成型的加工工艺；

锁紧机构（66）为锁紧垫片，与各柔性簧片装配的部件均与锁紧垫片固定。

7.根据权利要求1所述的具有大角度、高抗振能力的二维快速控制反射镜，其特征在于，

驱动组件呈“十”字对称布置在镜架（2）与安装底座（10）之间，或，驱动组件单边布置在镜架（2）与安装底座（10）之间；

驱动组件的动模块与镜架（2）固定连接，定模块与安装底座（10）固定连接。

8.根据权利要求7所述的具有大偏摆角度、高抗振能力的二维快速控制反射镜，其特征在于，

驱动组件包括4个音圈执行器，每个音圈执行器均由磁铁（5）、线圈（9）和线圈保持罩（8）构成，各线圈（9）通过线圈保持罩（8）固定在安装底座（10）上，磁铁（5）与镜架（2）固定连接，磁铁（2）和线圈（9）的中心同轴线设置；

多个磁铁（5）构成驱动组件的动模块，多个线圈保持罩（8）和线圈（9）构成驱动组件的定模块；

驱动组件的四个音圈执行器与反馈组件的四个电容式位移传感器呈45°交替分布。

9.根据权利要求8所述的具有大偏摆角度、高抗振能力的二维快速控制反射镜，其特征在于，

反馈组件呈“十”字对称布置在镜架（2）与安装底座（10）之间，或，反馈组件单边布置在镜架（2）与安装底座（10）之间；

反馈组件的动极板（4）与镜架（2）固定连接，定极板（7）与安装底座（10）固定连接；

所述反射镜片可以用螺钉固定在镜架（2）上或用粘接固定在镜架（2）上。

10.根据权利要求9所述的具有大偏摆角度、高抗振能力的二维快速控制反射镜，其特征在于，反馈组件包括4个电容式位移传感器，每个位移传感器包括动极板（4）和定极板（7），各动极板（4）固定安装在镜架（2）上，各定极板（7）固定安装在安装底座（10）上；每个电容式位移传感器的动极板（4）及定极板（7）中心同轴线设置，且每个电容式位移传感器的动极板（4）及定极板（7）均与反射镜面平行布置。

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