CN116447139A - 定子及真空泵 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种定子及真空泵，包括：第一壳体和第二壳体；第一壳体包括第一本体和第一隔板；第一隔板将第一本体分隔为第一腔室和第二腔室；第一隔板上形成有第一气体通道，第一气体通道与第二腔室连通；第一本体上设置有与第一腔室连通的吸气口；第二壳体包括第二本体和第二隔板；第二隔板将第二本体分隔为第三腔室和第四腔室；第二隔板上设置有第二气体通道、第三气体通道和第四气体通道，第三气体通道和第四气体通道均与第二气体通道连通；第二气体通道与第三腔室连通；第四气体通道与第四腔室连通；第三气体通道与第一气体通道连通。本申请旨在通过改善定子的排气通道布局以达到提高真空泵排气量和排气效率的目的。

Description

定子及真空泵

技术领域

本申请涉及真空设备技术领域，具体涉及一种定子及真空泵。

背景技术

真空泵包括转子和定子。通过转子在定子的腔室内的旋转，来实现对泵内气体的压缩。定子限定出排气通道。在多级爪式真空泵中，排气通道设置为爪式排气路径。两泵级之间通常仅设置有一条排气路径，真空泵在排气量和排气率上均不高。

发明内容

本申请提供一种定子及真空泵，旨在通过改善定子的排气通道布局以达到提高真空泵排气量和排气效率的目的。

本申请提出一种定子，包括：

第一壳体，所述第一壳体包括第一本体和第一隔板；所述第一本体具有第一腔体，所述第一隔板设置于所述第一腔体内，与将所述第一腔体分隔为第一腔室和第二腔室；所述第一隔板具有第一气体通道，所述第一气体通道的出气端与所述第二腔室连通；所述第一本体上设置有吸气口，所述吸气口与所述第一腔室连通；

第二壳体，所述第二壳体包括第二本体和第二隔板；所述第二本体具有第二腔体，所述第二隔板设置于所述第二腔体内，以将所述第二腔体分隔为第三腔室和第四腔室；所述第二隔板具有第二气体通道、第三气体通道和第四气体通道，所述第三气体通道和所述第四气体通道均与所述第二气体通道的出气端连通；所述第二气体通道的进气端与所述第三腔室连通；所述第四气体通道的出气端与所述第四腔室连通；

其中，所述第二隔板与所述第一隔板连接，所述第一腔室和所述第三腔室共同形成第一压缩腔；所述第二腔室和所述第四腔室形成第二压缩腔；所述第三气体通道的出气端与所述第一气体通道的入气端连通。

可选地，所述第二本体上设置有排气口；所述第二壳体还包括第三隔板，所述第三隔板设置于所述第二腔体内，并与所述第二隔板间隔设置以限定出所述第四腔室，且所述第三隔板与所述第二本体限定出第五腔室；所述排气口与所述第五腔室连通；所述第三隔板与所述第二本体之间限定出第五气体通道，所述第五气体通道用于连通所述第五腔室和所述第四腔室。

可选地，所述第三隔板上还设有第六气体通道，所述第六气体通道与所述第四腔室连通；所述第一壳体还包括第四隔板，所述第四隔板设置于所述第一腔体内，并与所述第一隔板间隔设置，以共同限定出所述第二腔室；所述第四隔板与所述第一本体限定出第六腔室；所述第四隔板上设置有第七气体通道，所述第七气体通道与所述第六腔室连通；所述第四隔板与所述第三隔板连接，所述第七气体通道与所述第六气体通道连通，所述第六腔室和所述第五腔室形成第三压缩腔。

可选地，所述第七气体通道与所述第二腔室连通。

可选地，所述第一壳体还包括第五隔板和第六隔板，所述第五隔板和所述第六隔板设置于所述第二腔室内，以将所述第二腔室分隔为至少三个第一气体流动腔室；所述第二壳体还包括第七隔板和第八隔板，所述第七隔板和所述第八隔板设置于所述第四腔室内，以将所述第四腔室分隔为至少三个第二气体流动腔室；其中，所述第七隔板与所述第五隔板连接，所述第八隔板与所述第六隔板连接，所述第一气体流动腔室与所述第二气体流动腔室一一对应设置，以使得所述第二压缩腔形成至少三个级间压缩腔。

可选地，在所述定子的长度方向上，所述第二隔板、所述第七隔板、所述第八隔板和所述第三隔板依次间隔设置；其中，所述第七隔板与所述第二本体之间限定出第一排气通道，所述第一排气通道连通位于所述第七隔板和所述第五隔板两侧的两个级间压缩腔。

可选地，所述第六隔板与所述第一本体之间限定出第二排气通道，所述第二排气通道连通位于所述第六隔板和所述第八隔板两侧的两个级间压缩腔。

可选地，所述第一隔板上还设有第八气体通道，所述第八气体通道与所述第二腔室连通，所述第八气体通道与所述第四气体通道连通。

可选地，所述第一隔板上还设有第九气体通道，所述第九气体通道还与所述第一气体通道和所述第八气体通道均连通；所述第九气体通道与所述第二气体通道连通。

本申请还提出一种真空泵，包括：

如前所述的定子；

第一转子，配置为在所述第一压缩腔内可转动；

第二转子，配置为在所述第一压缩腔内可转动，并与所述第一转子配合，以从所述吸气口吸气；

第三转子，配置为在所述第二压缩腔内可转动；

第四转子，配置为在所述第二压缩腔内可转动，并与所述第三转配配合，以在不同时刻通过所述第二气体通道和所述第四气体通道形成的第一气体流道将所述第一压缩腔内的气体吸入所述第二压缩腔内，以及通过所述第二气体通道、所述第三气体通道和所述第一气体通道形成的第二气体流道将所述第一压缩腔内的气体吸入所述第二压缩腔内。

在本申请实施例中，气流经过吸气口进入到第一腔室和第三腔室共同形成的第一压缩腔后；由于第二气体通道与第三腔室连通，因而气流会进入到第二气体通道内。进入到第二气体通道内的气流在真空泵内转子的作用下一部分进入到第三气体通道内(这部分气流为β气流)，另一部分进入到第四气体通道内(这部分气流为α气流)。在转子转动的过程中，α气流直接被排出至第二压缩腔内(第二腔室和第四腔室内)。而β气流在转子转动的过程中会沿着第三气体通道进入到第一壳体上的第一气体通道内，然后再被排放至(第二腔室和第四腔室内)。由此，本申请实施例中，转子在转动一圈时，会有两股气流不同时刻通过不同的流动通道被排放至下一压缩腔内，因而相比较于现有技术而言，本申请的技术方案在转子每转动一圈就有两次排气，提高了排气量和排气效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请实施例提供的定子的爆炸示意图；

图2是本申请实施例中提供的定子的第一壳体的立体结构示意图；

图3是本申请实施例中提供的定子的第一壳体的二维结构示意图；

图4是图3中A-A截面的截面示意图；

图5是本申请实施例中提供的定子的第二壳体的立体结构示意图；

图6是本申请实施例中提供的定子的第二壳体的二维结构示意图；

图7是图6中B-B截面的截面示意图；

图8是本申请实施例中定子的一视角下的平面示意图；

图9是图8中C-C截面的截面示意图；

图10是应用本申请实施例的定子的真空泵的结构示意图。

附图标记列表

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，“示例性”一词用来表示“用作例子、例证或说明”。本申请中被描述为“示例性”的任何实施例不一定被解释为比其它实施例更优选或更具优势。为了使本领域任何技术人员能够实现和使用本发明，给出了以下描述。在以下描述中，为了解释的目的而列出了细节。应当明白的是，本领域普通技术人员可以认识到，在不使用这些特定细节的情况下也可以实现本发明。在其它实例中，不会对公知的结构和过程进行详细阐述，以避免不必要的细节使本发明的描述变得晦涩。因此，本发明并非旨在限于所示的实施例，而是与符合本申请所公开的原理和特征的最广范围相一致。

请参照图1所示，本申请提出一种定子，定子包括第一壳体100和第二壳体200。第一壳体100和第二壳体200连接，形成真空泵的泵体。

参照图2至图4所示，所述第一壳体100包括第一本体110和第一隔板120。所述第一本体110具有第一腔体。在实施例中，第一本体110内凹形成有第一腔体。所述第一隔板120设置于所述第一腔体内，与将所述第一腔体分隔为第一腔室S1和第二腔室S2。所述第一隔板120具有第一气体通道H1，所述第一气体通道H1的出气端与所述第二腔室S2连通。也即进入到第一气体通道H1内的气流可以排入至第二腔室S2内。所述第一本体110上设置有吸气口111，所述吸气口111与所述第一腔室S1连通。在本申请实施例中，真空泵吸入的气体从吸气口111进入到到第一腔室S1内。

参照图5至图7所示，所述第二壳体200包括第二本体210和第二隔板220；所述第二本体210具有第二腔体。在实施例中，第二本体210内凹形成有第二腔体。所述第二隔板220设置于所述第二腔体内，以将所述第二腔体分隔为第三腔室S3和第四腔室S4。所述第二隔板220具有第二气体通道H2、第三气体通道H3和第四气体通道H4，所述第三气体通道H3和所述第四气体通道H4均与所述第二气体通道H2的出气端连通。如图5所示，第三气体通道H3和第四气体通道H4分布在第二气体通道H2的两侧。进入到第二气体通道H2内的气流可以分别进入到第三气体通道H3和第四气体通道H4内。所述第二气体通道H2的进气端与所述第三腔室S3连通，也即进入到第三腔室S3内的气流会进入到第二气体通道H2内。所述第四气体通道H4的出气端与所述第四腔室S4连通，也即进入到第四气体通道H4的气流排至第四腔室S4内。

参照图8至图9所示，所述第二隔板220与所述第一隔板120连接，所述第一腔室S1和所述第三腔室S3共同形成第一压缩腔T1；所述第二腔室S2和所述第四腔室S4形成第二压缩腔T2；所述第三气体通道H3的出气端与所述第一气体通道H1的入气端连通。在本申请实施例中，气流经过吸气口111进入到第一腔室S1和第三腔室S3共同形成的第一压缩腔T1后；由于第二气体通道H2与第三腔室S3连通，因而气流会进入到第二气体通道H2内。进入到第二气体通道H2内的气流在真空泵内转子的作用下一部分进入到第三气体通道H3内(在实施例中，这部分气流为β气流)，另一部分进入到第四气体通道H4内(在实施例中，这部分气流为α气流)。在转子转动的过程中，α气流直接被排出至第二压缩腔T2内(第二腔室S2和第四腔室S4内)。而β气流在转子转动的过程中会沿着第三气体通道H3进入到第一壳体100上的第一气体通道H1内，然后再被排放至(第二腔室S2和第四腔室S4内)。由此，本申请实施例中，转子在转动一圈时，会有两股气流不同时刻通过不同的流动通道被排放至下一压缩腔内，因而相比较于现有技术而言，本申请的技术方案在转子每转动一圈就有两次排气，提高了排气量和排气效率。

需要说明的是，需要说明的是，真空泵内的排气和压缩均是通过在一个压缩腔内的两个相互配合的转子完成的。在现有技术中，气流在真空泵泵体内仅具有一条排气路径，其气流的路径大致为图2和图5中所示的α气流。也即，现有技术中，真空泵泵体内的排气路径为爪式排气路径；该爪式排气路径大致是沿着真空泵的宽度方向进行排气的。而本申请实施例是在现有技术的基础上，增加了一条上下排气路径，该上下排气路径大致是沿着真空泵的高度方向进行排气的。

作为上述实施例的可选实施方式，所述第二本体210上设置有排气口211；所述第二壳体200还包括第三隔板230，所述第三隔板230设置于所述第二腔体内，并与所述第二隔板220间隔设置以限定出所述第四腔室S4，且所述第三隔板230与所述第二本体210限定出第五腔室S5；所述排气口211与所述第五腔室S5连通；所述第三隔板230与所述第二本体210之间限定出第五气体通道H5，所述第五气体通道H5用于连通所述第五腔室S5和所述第四腔室S4。进入到第四腔室S4的β气流在转子配的作用下通过第五气体通道H5排入至第五腔室S5内，然后排出排气口211，真空泵完成将β气流排出排气口211。

作为上述实施例的可选实施方式，所述第三隔板230上还设有第六气体通道H6，所述第六气体通道H6与所述第四腔室S4连通；所述第一壳体100还包括第四隔板130，所述第四隔板130设置于所述第一腔体内，并与所述第一隔板120间隔设置，以共同限定出所述第二腔室S2；所述第四隔板130与所述第一本体110限定出第六腔室S6；所述第四隔板130上设置有第七气体通道H7，所述第七气体通道H7与所述第六腔室S6连通；所述第四隔板130与所述第三隔板230连接，所述第七气体通道H7与所述第六气体通道H6连通，所述第六腔室S6和所述第五腔室S5形成第三压缩腔T3。在实施例中，α气流在第四腔室S4内(第二压缩腔T2)可以通过第六气体通道H6进入到第三隔板230内，然后排放至第七气体通道H7内，然后排放至第六腔室S6内；由于第六腔室S6和第五腔室S5形成第三压缩腔T3，在转子的配合下，α气流被驱动至第五腔室S5内被排出排气口211。

作为上述实施例的可选实施方式，所述第七气体通道H7与所述第二腔室S2连通。也即：第二压缩腔T2内的α气流也可以在转子的配合下直接排放至第七气体通道H7内，然后排放至第六腔室S6内(第三压缩腔T3)；在转子的配合下，α气流被驱动至第五腔室S5内被排出排气口211。

通常情况下，真空泵包括多级压缩腔：首级压缩腔、中间级压缩腔和末级压缩腔。其中，上述实施例中，第一压缩腔T1为首级压缩腔，主要用于将待抽真空的设备内的气流吸入到首级压缩腔内，完成压缩后排放至中间级压缩腔。其中，上述实施例中，第二压缩腔T2为中间级压缩腔，主要用于气流的传输和多级压缩。其中，上述实施例中，第三压缩腔T3为末级压缩腔，主要将压缩后气流排出真空泵。

通常情况下，真泵泵包括多个级间压缩腔。本申请实施例的技术方案中，作为上述实施例的可选实施方式，所述第一壳体100还包括第五隔板140和第六隔板150，所述第五隔板140和所述第六隔板150设置于所述第二腔室S2内，以将所述第二腔室S2分隔为至少三个第一气体流动腔室(S21、S22、S23)。在实施例中，第五隔板140和第六隔板150的个数根据实际情况可以设置为不止一个；因而第一气体流动腔室可以为不止三个。如图2至图4所示仅为本申请实施例的一结构的具体示意图。在图中，标号S21、S22和S23均对应术语第一气体流动腔室。采用不同的标号在于说明S21、S22和S23是由不同的结构所围合限定的。

所述第二壳体200还包括第七隔板240和第八隔板250，所述第七隔板240和所述第八隔板250设置于所述第四腔室S4内，以将所述第四腔室S4分隔为至少三个第二气体流动腔室S41、S42、S43；在实施例中，第七隔板240和第八隔板250的个数根据实际情况可以设置为不止一个；因而第二气体流动腔室可以为不止三个。如图5至图7所示仅为本申请实施例的一结构的具体示意图。在图中，标号S41、S42、S43均对应术语第二气体流动腔室。采用不同的标号在于说明第二气体流动腔室是由不同的结构所围合限定的。

所述第七隔板240与所述第五隔板140连接，所述第八隔板250与所述第六隔板150连接，所述第一气体流动腔室与所述第二气体流动腔室一一对应设置，以使得所述第二压缩腔T2形成至少三个级间压缩腔T21、T22、T23。标号T22、T21、T23均对应术语级间压缩腔。采用不同的标号在于说明级间压缩腔是由不同的结构所围合限定的。

通常而言，第二压缩腔T2通常设置有多个级间压缩单元，完成对气流的传输和多级压缩。α气流的级间流动路径采用现有技术的技术方案，为此不做过多的赘述，其是在级间隔板上(下述实施例的第五隔板140、第六隔板150、第七隔板240和第八隔板250)上设置蛇形排布的月牙形通道，以使得α气流在转子配合下沿着宽度方向上进行流动，如图2、3、6和7所示。

下述实施例主要示例本申请实施例中β气流的传输路径。作为上述实施例的可选实施方式，在所述定子的长度方向上，所述第二隔板220、所述第七隔板240、所述第八隔板250和所述第三隔板230依次间隔设置；其中，所述第七隔板240与所述第二本体210之间限定出第一排气通道P1，所述第一排气通道P1连通由所述第七隔板240和所述第五隔板140共同隔开所形成的两个级间压缩腔。在实施例中，进入到级间压缩腔T21内的β气流，在转子转动的过程中，从第一壳体100上的第一气体流动腔室S21流动至第二气体流动腔室S41中，然后通过第一排气通道P1排放至下一级间压缩腔T22内，完成β气流在中间级压缩腔的第一次压缩和传输。

作为上述实施例的可选实施方式，所述第六隔板150与所述第一本体110之间限定出第二排气通道P2，所述第二排气通道P2连通由所述第六隔板150和所述第八隔板250共同隔开所形成的两个级间压缩腔。在级间压缩腔T22内，β气流在转子转动的过程中，从第二壳体200的第二气体流动腔室S42内流动至第一壳体100的第一气体流动腔室S22内，然后从第二排气通道P2排放至下一级间压缩腔T23内。

在实施例中，在级间压缩腔T23内的β气流，在转子转动的过程中，从第一壳体100上的第一气体流动腔室S23流动至第二壳体200的第二气体流动腔室S43中，然后通过第五气体通道H5排放至第五腔室S5内，然后排出排气口211，真空泵完成将β气流排出排气口211。

参照图9所示了β气流的传输路径的具体示意图，其排气路径与爪式排气路径虽然都是将气流从首级压缩腔引导至末级压缩腔；但是在各个级间压缩腔内，在转子配合下，α气流和β气流在传输方向上完全不同的。

上述实施例中，仅仅示例了中间级压缩腔仅为三级的结构。在具体实施过程中，中间级压缩腔还可以为更多级。中间级压缩腔中的最后一级与第三压缩腔T3通过第五气体通道H5连通。

作为上述实施例的可选实施方式，所述第一隔板120上还设有第八气体通道H8，所述第八气体通道H8与所述第二腔室S2连通，所述第八气体通道H8与所述第四气体通道H4连通。在实施例中，第四气体通道H4的α气流可以直接排至第四腔室S4内，也可以通过第一隔板120上的第八气体通道H8排放至第二腔室S2内。结合图2和图5所示，第一隔板120和第二隔板220上均设置有分别对应第四气体通道H4设置的和第八气体通道H8设置的月牙形开口，以将α气流在转子配合的作用下引入至第二压缩腔T2内。

作为上述实施例的可选实施方式，所述第一隔板120上还设有第九气体通道H9，所述第九气体通道H9与所述第一气体通道H1和所述第八气体通道H8均连通；所述第九气体通道H9与所述第二气体通道H2连通。在实施例中，进入到第二气体通道H2的气流可以进入到第三气体通道H3、第四气体通道H4和第一隔板120上的第九气体通道H9内。进入到第九气体通道H9内的气流在第二压缩腔T2内转子的作用下，分别可以在不同时刻进入到第一气体通道H1内形成作为β气流，以及进入到第八气体通道H8内形成α气流，以降低真空泵的气体流动阻力，可以降低真空泵的能耗。

本申请还提出一种真空泵，定子、第一转子、第二转子、第三转子和第四转子。第一转子和第三转子套设在第一转子轴300上。第二转子和第四转子套设在第二转子轴400上。在实施例中，定子采用了前述实施例的一部分技术方案或者全部技术方案，因而该真空泵具有排期效率高、排气量大的技术优势。

在实施例中，第一转子和第二转子，配置为在所述第一压缩腔T1内可转动，两者相互配合，以将气体从真空泵外通过吸气口111吸入至第一压缩腔T1内，完成第一级压缩。压缩后的气体通过第二气流通道进入到第二壳体200内。

第三转子和第四转子，配置为在所述第二压缩腔T2内可转动，两者相互配合。在第一时刻，第三转子和第四转子处于第一相位时，通过所述第二气体通道H2和所述第四气体通道H4形成的第一气体流道将所述第一压缩腔T1内的气体吸入所述第二压缩腔T2内，该气流为α气流；在第二时刻，第三转子和第四转子处于第二相位时，通过所述第二气体通道H2、所述第三气体通道H3和所述第一气体通道H1形成的第二气体流道将所述第一压缩腔T1内的气体吸入所述第二压缩腔T2内，该气流为β气流。在上述实施例中，第一相位和第二相位一般设置为相差90°。

进一部地，在实施例中，在第三时刻，第三转子和第四转子处于第三相位时，α气流被排放至下一级压缩腔内；在第四时刻，第三转子和第四转子处于第四相位时，β气流被排放至下一级压缩腔内。第一相位和第三相位相差180°，第二相位和第四相位相差180°。

以上对本申请实施例所提供的一种定子及真空泵进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (10)

1.一种定子，其特征在于，包括：

第一壳体，所述第一壳体包括第一本体和第一隔板；所述第一本体具有第一腔体，所述第一隔板设置于所述第一腔体内，并将所述第一腔体分隔为第一腔室和第二腔室；所述第一隔板具有第一气体通道，所述第一气体通道的出气端与所述第二腔室连通；所述第一本体上设置有吸气口，所述吸气口与所述第一腔室连通；

第二壳体，所述第二壳体包括第二本体和第二隔板；所述第二本体具有第二腔体，所述第二隔板设置于所述第二腔体内，并将所述第二腔体分隔为第三腔室和第四腔室；所述第二隔板具有第二气体通道、第三气体通道和第四气体通道，所述第三气体通道和所述第四气体通道均与所述第二气体通道的出气端连通；所述第二气体通道的进气端与所述第三腔室连通；所述第四气体通道的出气端与所述第四腔室连通；

其中，所述第二隔板与所述第一隔板连接，所述第一腔室和所述第三腔室共同形成第一压缩腔；所述第二腔室和所述第四腔室形成第二压缩腔；所述第三气体通道的出气端与所述第一气体通道的入气端连通。

2.如权利要求1所述的定子，其特征在于，所述第二本体上设置有排气口；

所述第二壳体还包括第三隔板，所述第三隔板设置于所述第二腔体内，并与所述第二隔板间隔设置以限定出所述第四腔室，且所述第三隔板与所述第二本体限定出第五腔室；所述排气口与所述第五腔室连通；

所述第三隔板与所述第二本体之间限定出第五气体通道，所述第五气体通道用于连通所述第五腔室和所述第四腔室。

3.如权利要求2所述的定子，其特征在于，所述第三隔板上还设有第六气体通道，所述第六气体通道与所述第四腔室连通；

所述第一壳体还包括第四隔板，所述第四隔板设置于所述第一腔体内，并与所述第一隔板间隔设置，以共同限定出所述第二腔室；所述第四隔板与所述第一本体限定出第六腔室；

所述第四隔板上设置有第七气体通道，所述第七气体通道与所述第六腔室连通；

所述第四隔板与所述第三隔板连接，所述第七气体通道与所述第六气体通道连通，所述第六腔室和所述第五腔室形成第三压缩腔。

4.如权利要求3所述的定子，其特征在于，所述第七气体通道与所述第二腔室连通。

5.如权利要求3所述的定子，其特征在于，所述第一壳体还包括第五隔板和第六隔板，所述第五隔板和所述第六隔板设置于所述第二腔室内，以将所述第二腔室分隔为至少三个第一气体流动腔室；

所述第二壳体还包括第七隔板和第八隔板，所述第七隔板和所述第八隔板设置于所述第四腔室内，以将所述第四腔室分隔为至少三个第二气体流动腔室；

其中，所述第七隔板与所述第五隔板连接，所述第八隔板与所述第六隔板连接，所述第一气体流动腔室与所述第二气体流动腔室一一对应设置，以使得所述第二压缩腔形成至少三个级间压缩腔。

6.如权利要求5所述的定子，其特征在于，在所述定子的长度方向上，所述第二隔板、所述第七隔板、所述第八隔板和所述第三隔板依次间隔设置；

其中，所述第七隔板与所述第二本体之间限定出第一排气通道，所述第一排气通道连通位于所述第七隔板和所述第五隔板两侧的两个级间压缩腔。

7.如权利要求6所述的定子，其特征在于，所述第六隔板与所述第一本体之间限定出第二排气通道，所述第二排气通道连通位于所述第六隔板和所述第八隔板两侧的两个级间压缩腔。

8.如权利要求1所述的定子，其特征在于，所述第一隔板上还设有第八气体通道，所述第八气体通道连通所述第二腔室与所述第四气体通道。

9.如权利要求8所述的定子，其特征在于，所述第一隔板上还设有第九气体通道，所述第九气体通道与所述第一气体通道和所述第八气体通道均连通；

所述第九气体通道还与所述第二气体通道连通。

10.一种真空泵，其特征在于，包括：

权利要求1至9中任一项所述的定子；

第一转子，配置为在所述第一压缩腔内可转动；

第二转子，配置为在所述第一压缩腔内可转动，并与所述第一转子配合，以从所述吸气口吸气；

第三转子，配置为在所述第二压缩腔内可转动；

第四转子，配置为在所述第二压缩腔内可转动，并与所述第三转配配合，以在不同时刻通过所述第二气体通道和所述第四气体通道形成的第一气体流道将所述第一压缩腔内的气体吸入所述第二压缩腔内，以及通过所述第二气体通道、所述第三气体通道和所述第一气体通道形成的第二气体流道将所述第一压缩腔内的气体吸入所述第二压缩腔内。