CN116435237A - 晶圆输送装置和生产装置 - Google Patents

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CN116435237A CN202310489215.3A CN202310489215A CN116435237A CN 116435237 A CN116435237 A CN 116435237A CN 202310489215 A CN202310489215 A CN 202310489215A CN 116435237 A CN116435237 A CN 116435237A
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rotary driving
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朱玉东
何海龙
侯双明
董宏达
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Abstract

本发明提供了一种晶圆输送装置和生产装置，包括机械臂组件、旋转驱动组件和升降组件；所述旋转驱动组件包括从上而下依次固定设置的第一旋转驱动组件、第二旋转驱动组件和第三旋转驱动组件，所述第一旋转驱动组件与下大臂连接以驱动下大臂进行旋转运动，上大臂与所述下大臂固定设置且随所述下大臂转动，所述第二旋转驱动组件和第三旋转驱动组件分别与下小臂和上小臂连接以分别驱动下小臂和上小臂进行旋转运动，从而带动第一末端执行器、第二末端执行器、第三末端执行器和第四末端执行器执行伸缩运动和旋转运动；本发明实现了四个工位的晶圆输送，大大提升了工作效率，而且旋转驱动组件少，整体结构紧凑，有效减小了所述晶圆输送装置的整体体积。

Description

晶圆输送装置和生产装置
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种晶圆输送装置和生产装置。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。硅会被空气瞬间氧化，真空环境可以保证晶圆的质量以及在真空环境下可以最低程度的减少尘埃颗粒的掉落，所以在半导体器件的制造过程中，半导体晶片主要通过真空机械手在不同真空腔室中传递，并送至相应工位。
公开号为CN115122376A的中国专利公开了一种连杆型双臂直驱真空机械手，包括机械手外壳、腔室法兰连接板、升降驱动件、升降驱动件安装板、双轴手臂驱动件、与双轴手臂驱动件配合设置的一轴手臂及二轴手臂所述双轴手臂驱动件包括与所述一轴手臂对应、并驱动一轴手臂的一轴电机，以及包括与所述二轴手臂对应、并驱动二轴手臂的二轴电机。该专利通过两个电机驱动两个手臂进行晶圆的传输，即该专利的装置壳体中需要设置占用了一定的空间的升降驱动件、升降驱动件安装板、双轴手臂驱动件，但其只能实现2个工位的晶圆传输，存在工作效率低的问题。
因此，有必要提供一种新型的晶圆输送装置和生产装置以解决现有技术中存在的上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种晶圆输送装置和生产装置，以解决现有技术中晶圆传输存在工作效率低的问题。
为实现上述目的，本发明的所述晶圆输送装置包括机械臂组件、旋转驱动组件和升降组件；
所述机械臂组件包括第一机械臂组件和第二机械臂组件，所述第一机械臂组件包括依次连接的下大臂和下小臂，以及与所述下小臂连接的第一末端执行器和第二末端执行器，所述第二机械臂组件包括依次连接的上大臂和上小臂，以及与所述上小臂连接的第三末端执行器和第四末端执行器；
所述旋转驱动组件包括从上而下依次固定设置的第一旋转驱动组件、第二旋转驱动组件和第三旋转驱动组件，所述第一旋转驱动组件与所述下大臂连接以驱动所述下大臂进行旋转运动，所述上大臂与所述下大臂固定设置且随所述下大臂转动，所述第二旋转驱动组件和所述第三旋转驱动组件分别与所述下小臂和所述上小臂连接以分别驱动所述下小臂和所述上小臂进行旋转运动，从而带动所述第一末端执行器、所述第二末端执行器、所述第三末端执行器和所述第四末端执行器进行伸缩运动或旋转运动；
所述升降组件包括升降驱动组件，所述升降驱动组件与所述旋转驱动组件连接，所述升降驱动组件驱动所述旋转驱动组件做升降运动。
本发明的所述晶圆输送装置的有益效果在于：通过所述旋转驱动组件包括从上而下依次固定设置的第一旋转驱动组件、第二旋转驱动组件和第三旋转驱动组件，所述第一旋转驱动组件与所述下大臂连接以驱动所述下大臂进行旋转运动，所述上大臂与所述下大臂固定设置且随所述下大臂转动，所述第二旋转驱动组件和所述第三旋转驱动组件分别与所述下小臂和所述上小臂连接以分别驱动所述下小臂和所述上小臂进行旋转运动，从而带动所述第一末端执行器、所述第二末端执行器、所述第三末端执行器和所述第四末端执行器执行伸缩运动，即通过三个旋转驱动组件即可带动四个末端执行器执行伸缩运动和旋转运动，从而实现了四个工位的晶圆输送，大大提升了工作效率，而且旋转驱动组件少，整体结构紧凑，也更有效减小了所述晶圆输送装置整体体积。
优选的，所述升降组件还包括升降导轨，所述第一旋转驱动组件、所述第二旋转驱动组件和所述第三旋转驱动组件均包括驱动外壳、转子轴、直驱电机、码盘和读数头，所述驱动外壳滑动设置于所述升降导轨，所述直驱电机和所述码盘套设于所述转子轴，所述读数头设置于所述驱动外壳且与所述码盘相对运动，且所述第一旋转驱动组件中的第一转子轴、所述第二旋转驱动组件中的第二转子轴和所述第三旋转驱动组件中的第三转子轴由外而内依次套设。其有益效果在于：所述直驱电机和所述码盘套设于所述转子轴、且第一转子轴、第二转子轴和第三转子轴由外而内依次套设，使得整体结构紧凑，大幅度减小晶圆输送装置本体的体积，能有效增大旋转驱动组件的升降行程，提升工作效率。
优选的，所述机械臂组件还包括第一连接件和第二连接件，且所述第一连接件和所述第二连接件均呈U形结构，所述第一连接件的中部与所述下小臂的末端部转动设置，所述第一连接件的两端部分别与所述第一末端执行器和所述第二末端执行器连接固定，所述第二连接件的中部与所述上小臂的末端部转动设置，所述第二连接件的两端部分别与所述第三末端执行器和所述第四末端执行器连接固定。其有益效果在于：使得通过一个小臂即可带动两个末端执行器转动，实现多工位同时输送晶圆，大大提升了工作效率，而且减小了机械臂组件的体积。
优选的，所述第一连接件和所述第二连接件的两端部均设有延伸部，所述第一连接件的两个所述延伸部分别与所述第一末端执行器和所述第二末端执行器连接固定，所述第二连接件的两个所述延伸部分别与所述第三末端执行器和所述第四末端执行器连接固定。其有益效果在于：所述第一连接件和所述第二连接件通过所述延伸部与两个末端执行器连接，使得在连接件两端连接的两个末端执行器之间能保持在一定的距离以满足行业要求的同时，所述第一连接件和所述第二连接件的两端部之间的距离也无需等于与其连接的两个末端执行器之间的距离，即可极大减小U形结构本体的体积，从而避免了所述第一连接件和所述第二连接件与大臂、小臂及末端执行器进行干涉。
优选的，所述机械臂组件还包括四个安装件，四个所述安装件的一端部设有与所述延伸部连接固定的突出部，四个所述安装件的另一端部设有与末端执行器连接固定的开槽部。其有益效果在于：即所述第一末端执行器和所述第二末端执行器分别通过所述安装件与所述第一连接件连接固定，所述第三末端执行器和所述第四末端执行器分别通过所述安装件与所述第二连接件连接固定，使得连接更为牢固可靠。
优选的，所述第一连接件和所述第二连接件两端部的两个所述延伸部之间的距离为550mm或566mm。其有益效果在于：使得所述第一末端执行器和所述第二末端执行器之间的距离、所述第三末端执行器和所述第四末端执行器之间的距离均为550mm或566mm，以满足行业标准，通用性强，便于与行业内各生产装置中的其他设备匹配。
优选的，所述码盘为绝对值码盘，所述码盘的角度分辨率为0-0.00030角秒。其有益效果在于：绝对值码盘结构稳定，定位精准，可使所述机械臂组件取片更准确，所述码盘的角度分辨率为0.00030角秒时，可使装置的重复精度达0.0075角秒。
优选的，所述晶圆输送装置还包括线缆组件，所述线缆组件包括弹性线缆件，所述弹性线缆件分别与所述第一旋转驱动组件、所述第二旋转驱动组件和所述第三旋转驱动组件连接，所述弹性线缆件设置于所述旋转驱动组件的下方且随所述旋转驱动组件的升降而伸缩运动。其有益效果在于：所述弹性线缆件可以随所述旋转驱动组件的升降而伸缩运动，减小了所述弹性线缆件因拉伸而导致的损耗，且所述弹性线缆件在所述旋转驱动组件回降时可收缩，不存在弯折，使得极大的延长了所述弹性线缆件的使用寿命，从而延长了整体装置的使用寿命，消除了安全隐患，而且所述弹性线缆件可收缩，大大减小了所述弹性线缆件在装置的腔体内的占用体积，从而可大幅度减小所述晶圆输送装置本体的体积，能有效增大旋转驱动组件的升降行程，提升了工作效率。
优选的，所述第一旋转驱动组件、所述第二旋转驱动组件和所述第三旋转驱动组件均包括电联接固定件和转接件，所述电联接固定件设置于所述驱动外壳的外壁，所述转接件固定设置于所述电联接固定件，所述线缆组件还包括连接线缆件，所述连接线缆件的一端与所述第一旋转驱动组件、所述第二旋转驱动组件和所述第三旋转驱动组件连接，所述连接线缆件的另一端与所述弹性线缆件连接，所述连接线缆件贯穿所述驱动外壳和所述电联接固定件且固定设置于所述转接件。其有益效果在于：使得所述第一旋转驱动组件、所述第二旋转驱动组件和所述第三旋转驱动组件的驱动外壳内的所述连接线缆件穿出所述驱动外壳后能通过所述电联接固定件和所述转接件固定，从而使得线缆更为规整紧凑，占用空间较小，可极大减小所述晶圆输送装置的整体体积，而且不会干涉所述晶圆输送装置内的其他部件的运行，维修也更为方便，同时所述连接线缆件贯穿所述驱动外壳和所述电联接固定件后固定设置于所述转接件，能增强装置的密封可靠性，从而确保了所述机械臂组件在真空环境中工作，而且所述连接线缆件贯穿所述驱动外壳和所述电联接固定件后固定设置于所述转接件，使得线缆能极大减少因旋转驱动组件旋转而引起的晃动，从而减少了损耗，延长了所述连接线缆件的寿命，使得延长了整体装置的使用寿命，减少了安全隐患。
优选的，所述升降组件还包括第一滑块、第二滑块、第三滑块、第四滑块、第五滑块和第六滑块；所述第一旋转驱动组件中的所述驱动外壳的两侧端部分别通过所述第一滑块和所述第二滑块滑动设置于所述升降导轨，且所述第一滑块和所述第二滑块之间的连线与所述第一转子轴的轴向中心线相交；所述第二旋转驱动组件中的所述驱动外壳的两侧端部分别通过所述第三滑块和所述第四滑块滑动设置于所述升降导轨，且所述第三滑块和所述第四滑块之间的连线与所述第二转子轴的轴向中心线相交；所述第三旋转驱动组件中的所述驱动外壳的两侧端部分别通过所述第五滑块和所述第六滑块滑动设置于所述升降导轨，且所述第五滑块和所述第六滑块之间的连线与所述第三转子轴的轴向中心线相交。其有益效果在于：即导轨在两侧，传动在中心，能使传输更为稳定安全，从而延长了晶圆输送装置的整体使用寿命。
优选的，所述升降驱动组件包括升降支撑件、抱闸器、直驱电机、编码器、丝杆螺母和丝杆，所述抱闸器、所述直驱电机和所述编码器分别与所述丝杆连接，所述丝杆的一端套设于所述第三转子轴内，所述丝杆螺母套设于所述丝杆，所述升降支撑件与所述丝杆螺母固定连接，所述升降支撑件的上端依次固定所述第三旋转驱动组件、所述第二旋转驱动组件和所述第一旋转驱动组件。其有益效果在于：通过所述直驱电机驱动所述丝杆转动，以带动所述升降支撑件做升降运动，从而带动所述升降支撑件上固定的所述第三旋转驱动组件、所述第二旋转驱动组件和所述第一旋转驱动组件沿所述升降导轨做升降运动，所述抱闸器具有抱闸功能，可使所述第三旋转驱动组件、所述第二旋转驱动组件和所述第一旋转驱动组件在行程内的任意高度停止，所述编码器对所述直驱电机的运动进行测量反馈，以实时准确的控制所述第三旋转驱动组件、所述第二旋转驱动组件和所述第一旋转驱动组件的升降。
优选的，所述弹性线缆件为弹簧线缆，所述线缆组件还包括第一固定件和第二固定件，所述弹簧线缆的两端分别固定于所述第一固定件和所述第二固定件，所述第一固定件与所述第三旋转驱动组件中的所述驱动外壳连接固定，所述第二固定件与底座安装板连接固定。其有益效果在于：所述弹簧线缆不仅可随着所述旋转驱动组件的升降而任意伸缩，而且弹簧线缆占用空间小，为晶圆输送装置节约了腔内空间，同时所述弹簧线缆通过螺旋回弹的方式使得所述弹簧线缆在所述弹簧线缆的径向方向的受力极大减少，且不存在弯折，极大的延长了线缆的使用寿命。
优选的，所述晶圆输送装置还包括凹套轴，所述凹套轴套设于所述丝杆和所述第三转子轴之间，且所述凹套轴与所述升降支撑件固定设置。其有益效果在于：使得所述旋转驱动组件和所述升降驱动组件之间能保持良好的密封效果，从而确保了所述机械臂组件在真空环境中工作。
优选的，所述凹套轴套包括套轴部和底座部，所述套轴部套设于所述丝杆和所述第三转子轴之间，所述底座部固定设置于所述升降支撑件的上端面，且所述底座部与所述升降支撑件之间设置有密封圈密封。其有益效果在于：有利于使所述旋转驱动组件和所述升降驱动组件之间能保持良好的密封效果，从而确保了所述机械臂组件在真空环境中工作。
优选的，所述驱动外壳均为一体成型式结构。其有益效果在于：密封效果更好。
优选的，所述第一旋转驱动组件中的第一直驱电机包括第一定子和第一转子，所述第二旋转驱动组件中的第二直驱电机包括第二定子和第二转子，所述第三旋转驱动组件中的第三直驱电机包括第三定子和第三转子；所述晶圆输送装置还包括第一密封隔离套和第二密封隔离套，所述第一密封隔离套卡设于所述第一定子和所述第一转子之间，所述第二密封隔离套包括上密封隔离部和下密封隔离部，所述上密封隔离部卡设于所述第二定子和所述第二转子之间，所述下密封隔离部卡设于所述第三定子和所述第三转子之间。其有益效果在于：使得定子和转子之间能保持良好的密封效果，从而使得装置的整体旋转结构位于真空腔内，确保了所述机械臂组件在真空环境中工作，延长了装置的整体使用寿命。
优选的，所述驱动外壳和所述电联接固定件之间、以及所述电联接固定件与所述转接件之间均设有密封件密封。其有益效果在于：提高了所述驱动外壳的密封性，从而确保了所述机械臂组件在真空环境中工作。
优选的，所述驱动外壳的外壁设有安装凹槽，所述电联接固定件卡设于所述安装凹槽，且所述驱动外壳和所述电联接固定件分别对应设置有供所述连接线缆件贯穿的贯穿孔。其有益效果在于：所述电联接固定件卡设于所述安装凹槽，使得结构更为紧凑，减小了所述晶圆输送装置的整体体积，所述驱动外壳和所述电联接固定件分别对应设置有供所述连接线缆件贯穿的贯穿孔，使得提高了所述驱动外壳的密封性，从而确保了所述机械臂组件在真空环境中工作。
本发明所述的生产装置包括至少两个工艺设备，以及设置于所述至少两个工艺设备之间的所述晶圆输送装置，所述晶圆输送装置用于将晶圆从一个所述工艺设备搬运至另一个所述工艺设备。
本发明的所述生产装置的有益效果在于：通过在所述晶圆输送装置中设置三个旋转驱动组件即可带动四个末端执行器执行伸缩运动和旋转运动，实现了四个工位的晶圆输送，大大提升了所述晶圆输送装置的工作效率，从而提升了所述生产装置的整体工作效率，而且旋转驱动组件少，整体结构紧凑，也更有效减小了所述晶圆输送装置整体体积，使得所述晶圆输送装置不会干涉所述生产装置中的其他部件的运行。
附图说明
图1为本发明实施例的晶圆输送装置中的机械臂组件处于第一运动状态的示意图；
图2为图1所示的晶圆输送装置中的机械臂组件处于第二运动状态的示意图；
图3为图1所示的晶圆输送装置中的机械臂组件处于第三运动状态的示意图；
图4为图1所示的晶圆输送装置的内部结构示意图一；
图5为图1所示的晶圆输送装置的内部结构示意图二；
图6为图1所示的晶圆输送装置的内部结构局部示意图一；
图7为图1所示的晶圆输送装置的内部结构局部示意图二。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。
为克服现有技术中存在的问题，本发明实施例提供了一种晶圆输送装置和生产装置，以解决现有技术中晶圆传输存在工作效率低的问题。
图1为本发明实施例的晶圆输送装置中的机械臂组件处于第一运动状态的示意图；图2为图1所示的晶圆输送装置中的机械臂组件处于第二运动状态的示意图；图3为图1所示的晶圆输送装置中的机械臂组件处于第三运动状态的示意图；图4为图1所示的晶圆输送装置的内部结构示意图一；图5为图1所示的晶圆输送装置的内部结构示意图二。
本发明一些实施例中，参考图1至图5，所述晶圆输送装置包括机械臂组件1、旋转驱动组件2和升降组件3。所述机械臂组件1包括第一机械臂组件(图中未标示)和第二机械臂组件(图中未标示)，所述第一机械臂组件(图中未标示)包括依次连接的下大臂11和下小臂12，以及与所述下小臂12连接的第一末端执行器13和第二末端执行器14，所述第二机械臂组件(图中未标示)包括依次连接的上大臂15和上小臂16，以及与所述上小臂16连接的第三末端执行器17和第四末端执行器18；所述旋转驱动组件2包括从上而下依次固定设置的第一旋转驱动组件21、第二旋转驱动组件22和第三旋转驱动组件23，所述第一旋转驱动组件21与所述下大臂11连接以驱动所述下大臂11进行旋转运动，所述上大臂15与所述下大臂11固定设置且随所述下大臂11转动，所述第二旋转驱动组件22和所述第三旋转驱动组件23分别与所述下小臂12和所述上小臂16连接以分别驱动所述下小臂12和所述上小臂16进行旋转运动，从而带动所述第一末端执行器13、所述第二末端执行器14、所述第三末端执行器17和所述第四末端执行器18执行伸缩运动和旋转运动；所述升降组件3包括升降驱动组件31，所述升降驱动组件31与所述旋转驱动组件2连接，所述升降驱动组件31驱动所述旋转驱动组件2做升降运动。
具体的，通过所述旋转驱动组件包括从上而下依次固定设置的第一旋转驱动组件、第二旋转驱动组件和第三旋转驱动组件，所述第一旋转驱动组件与所述下大臂连接以驱动所述下大臂进行旋转运动，所述上大臂与所述下大臂固定设置且随所述下大臂转动，所述第二旋转驱动组件和所述第三旋转驱动组件分别与所述下小臂和所述上小臂连接以分别驱动所述下小臂和所述上小臂进行旋转运动，从而带动所述第一末端执行器、所述第二末端执行器、所述第三末端执行器和所述第四末端执行器执行伸缩运动和旋转运动，即通过三个旋转驱动组件即可带动四个末端执行器执行伸缩运动和旋转运动，从而实现了四个工位的晶圆输送，大大提升了工作效率，而且旋转驱动组件少，整体结构紧凑，也更有效减小了所述晶圆输送装置的整体体积。
本发明一些实施例中，参考图1至图3，所述机械臂组件1还包括第一连接件111和第二连接件112，且所述第一连接件111和所述第二连接件112均呈U形结构，所述第一连接件111的中部与所述下小臂12的末端部转动设置，所述第一连接件111的两端部分别与所述第一末端执行器13和所述第二末端执行器14连接固定，所述第二连接件112的中部与所述上小臂16的末端部转动设置，所述第二连接件112的两端部分别与所述第三末端执行器17和所述第四末端执行器18连接固定。使得通过一个小臂即可带动两个末端执行器转动，实现多工位同时输送晶圆，大大提升了工作效率，而且减小了机械臂组件的体积。
本发明一些实施例中，参考图1至图3，所述机械臂组件1的各部件分层且间隙设置，其中，第一层为所述下大臂11所在的水平面层，第二层为所述上大臂15所在的水平面层，第三层为所述下小臂12所在的水平面层，第四层为所述第一连接件111、所述第一末端执行器13和所述第二末端执行器14所在的水平面层，第五层为所述第二连接件112、所述第三末端执行器17和所述第四末端执行器18所在的水平面层，第六层为所述上小臂16所在的水平面层。即所述机械臂组件1的各部件共分有6层且各层处于不同水平面层，使得所述机械臂组件1的各部件互不干涉，有效减小了所述晶圆输送装置整体体积，从而使得所述晶圆输送装置不会干涉所述生产装置中的其他部件的运行。
本发明一些实施例中，参考图1至图3，所述第一连接件111和所述第二连接件112的两端部均设有延伸部113，所述第一连接件111的两个所述延伸部113分别与所述第一末端执行器13和所述第二末端执行器14连接固定，所述第二连接件112的两个所述延伸部113分别与所述第三末端执行器17和所述第四末端执行器18连接固定。所述第一连接件111和所述第二连接件112通过所述延伸部113与两个末端执行器连接，使得连接件两端连接的两个末端执行器之间能保持在一定的距离以满足行业要求的同时，所述第一连接件111和所述第二连接件112的两端部之间的距离也无需等于与其连接的两个末端执行器之间的距离，即可极大减小U形结构本体的体积，从而避免了所述第一连接件111和所述第二连接件112与大臂、小臂及末端执行器进行干涉。
本发明一些实施例中，参考图1至图3，所述机械臂组件1还包括四个安装件114，四个所述安装件114的一端部设有与所述延伸部113连接固定的突出部1141，四个所述安装件114的另一端部设有与末端执行器连接固定的开槽部1142。即所述开槽部1142与所述第一末端执行器13、所述第二末端执行器14、所述第三末端执行器17和所述第四末端执行器18适配固定，以使所述第一末端执行器13和所述第二末端执行器14分别通过所述安装件114与所述第一连接件111连接固定，所述第三末端执行器17和所述第四末端执行器18分别通过所述安装件114与所述第二连接件112连接固定，使得连接更为牢固可靠。
具体的，参考图1至图3，所述突出部1141与所述延伸部113通过螺钉连接固定，四个所述安装件114的所述开槽部1142分别与所述第一末端执行器13、所述第二末端执行器14、所述第三末端执行器17和所述第四末端执行器18通过螺钉连接固定。
本发明一些实施例中，参考图1至图3，所述第一连接件111和所述第二连接件112两端部的两个所述延伸部113之间的距离为550mm或566mm。使得所述第一末端执行器13和所述第二末端执行器14之间的距离、所述第三末端执行器17和所述第四末端执行器18之间的距离均为550mm或566mm，以满足行业标准，通用性强，便于与行业内各生产装置中的其他设备匹配。
本发明一些实施例中，参考图1至图3，所述下大臂11与所述上大臂15呈夹角设置，且所述夹角为118±0.5°、110±0.5°、115±0.5°或120±0.5°等。以满足行业标准，通用性强，便于与行业内各生产装置中的其他设备匹配。
本发明一些实施例中，所述晶圆输送装置还包括线缆组件4，所述线缆组件4包括弹性线缆件41，所述弹性线缆件41分别与所述第一旋转驱动组件21、所述第二旋转驱动组件22和所述第三旋转驱动组件23连接，所述弹性线缆件41设置于所述旋转驱动组件2的下方且随所述旋转驱动组件2的升降而伸缩运动。所述弹性线缆件41可以随所述旋转驱动组件2的升降而伸缩运动，减小了所述弹性线缆件41因拉伸而导致的损耗，且所述弹性线缆件41在所述旋转驱动组件2回降时可收缩，不存在弯折，使得极大的延长了所述弹性线缆件41的使用寿命，从而延长了整体装置的使用寿命，消除了安全隐患，而且所述弹性线缆件可收缩，大大减小了所述弹性线缆件41在装置的腔体内的占用体积，从而可大幅度减小所述晶圆输送装置本体的体积，能有效增大旋转驱动组件2的升降行程，提升了工作效率。
本发明一些实施例中，参考图1至图5，所述晶圆输送装置还包括装置壳体5，所述装置壳体5的上端部设置真空腔上法兰51，下端部设置底座安装板52，所述装置壳体5、所述真空腔上法兰51和所述底座安装板52构成安装腔体。所述机械臂组件1的外壳与所述真空腔上法兰51连接。所述第一旋转驱动组件21、所述第二旋转驱动组件22、所述第三旋转驱动组件23和所述升降驱动组件31从上而下依次设置于所述安装腔体内，所述弹性线缆件41设置于所述第三旋转驱动组件23的下方，使得布局合理，结构紧凑，极大减小了所述晶圆输送装置的整体体积。
本发明一些实施例中，参考图1至图3，所述装置壳体5开设有散热孔53，从而增加了散热面积，保证了内部结构运行环境温度的恒定稳定。
本发明一些实施例中，所述升降组件还包括升降导轨，所述第一旋转驱动组件、所述第二旋转驱动组件和所述第三旋转驱动组件均包括驱动外壳、转子轴、直驱电机、码盘和读数头，所述驱动外壳滑动设置于所述升降导轨，所述直驱电机和所述码盘套设于所述转子轴，所述读数头设置于所述驱动外壳且与所述码盘相对运动，且所述第一旋转驱动组件中的第一转子轴、所述第二旋转驱动组件中的第二转子轴和所述第三旋转驱动组件中的第三转子轴由外而内依次套设。所述直驱电机和所述码盘套设于所述转子轴、且第一转子轴、第二转子轴和第三转子轴由外而内依次套设，使得整体结构紧凑，大幅度减小晶圆输送装置本体的体积，能有效增大旋转驱动组件的升降行程，提升工作效率。
本发明一些实施例中，参考图4和图5，所述第一旋转驱动组件21包括第一驱动外壳211、第一转子轴212、第一直驱电机213、第一码盘214和第一读数头(图中未示出)，所述第一直驱电机213和所述第一码盘214套设于所述第一转子轴212，所述第一读数头(图中未示出)设置于所述第一驱动外壳211且与所述第一码盘214相对运动。所述第二旋转驱动组件22还包括第二驱动外壳221、第二转子轴222、第二直驱电机223、第二码盘224和第二读数头(图中未示出)，所述第二直驱电机223和所述第二码盘224套设于所述第二转子轴222，所述第二读数头(图中未示出)设置于所述第二驱动外壳221且与所述第二码盘224相对运动。所述第三旋转驱动组件23还包括第三驱动外壳231、第三转子轴232、第三直驱电机233、第三码盘234和第三读数头(图中未示出)，所述第三直驱电机233和所述第三码盘234套设于所述第三转子轴232，所述第三读数头(图中未示出)设置于所述第三驱动外壳231且与所述第三码盘234相对运动。且所述第一转子轴212、所述第二转子轴222和所述第三转子轴232由外而内依次套设。所述升降组件3还包括升降导轨32，所述第一驱动外壳211、所述第二驱动外壳221和所述第三驱动外壳231滑动设置于所述升降导轨32。
具体的，参考图4和图5，所述第一转子轴212贯穿所述真空腔上法兰51并与所述下大臂11连接，所述第一直驱电机213作为动力部件带动所述第一转子轴212与所述第一码盘214进行旋转，所述第一转子轴212旋转带动所述下大臂11进行旋转运动。且所述第一直驱电机213转动时，所述第一码盘214与所述第一读数头(图中未示出)相对运动，所述第一读数头(图中未示出)读取所述第一码盘214旋转的旋转角度并将所述旋转角度传输给控制组件。此时，所述上大臂15随所述下大臂11转动而转动。所述第二转子轴222贯穿所述真空腔上法兰51并与所述下小臂12连接，所述第二直驱电机223作为动力部件带动所述第二转子轴222与所述第二码盘224进行旋转，所述第二转子轴222旋转带动所述下小臂12进行旋转运动。且所述第二直驱电机223转动时，所述第二码盘224与所述第二读数头(图中未示出)相对运动，所述第二读数头(图中未示出)读取所述第二码盘224旋转的旋转角度并将所述旋转角度传输给所述控制组件。所述第三转子轴232贯穿所述真空腔上法兰51并与所述上小臂16连接，所述第三直驱电机233作为动力部件带动所述第三转子轴232与所述第三码盘234进行旋转，所述第三转子轴232旋转带动所述上小臂16进行旋转运动。且所述第三直驱电机233转动时，所述第三码盘234与所述第三读数头(图中未示出)相对运动，所述第三读数头(图中未示出)读取所述第三码盘234旋转的旋转角度并将所述旋转角度传输给所述控制组件。所述下大臂11、所述下小臂12、所述上小臂16分别能进行360°自由旋转，且不干涉，而所述上大臂15随所述下大臂11转动而转动，使得与所述下小臂12连接的所述第一末端执行器13和所述第二末端执行器14、与所述上小臂16连接的所述第三末端执行器17和所述第四末端执行器18实现了旋转运动或伸缩运动，从而实现了将晶圆从一个工位运输到另一个工位的目的。
本发明一些实施例中，所述码盘为绝对值码盘，所述码盘的角度分辨率为0-0.00030角秒。绝对值码盘结构稳定，定位精准，可使所述机械臂组件取片更准确，所述码盘的角度分辨率为0.00030角秒时，可使装置的重复精度达0.0075角秒。
本发明一些实施例中，所述码盘与所述转子轴过渡配合，过渡配合的安装方式更为便捷，方便维护。
本发明一些实施例中，参考图4和图5，所述真空腔上法兰51与所述第一驱动外壳211之间设有波纹管件54，所述波纹管件54的上端面与所述真空腔上法兰51连接固定，所述波纹管件54的下端面与所述第一驱动外壳211连接固定，且所述波纹管件54与所述真空腔上法兰51之间的接触面设有密封件进行密封，所述波纹管件54与所述第一驱动外壳211之间的接触面设有密封件进行密封，使得增强了装置的密封可靠性，使腔体内部真空区与外部大气区分开，从而确保了所述机械臂组件1在真空环境中工作。其中，所述第一转子轴212、所述第二转子轴222和所述第三转子轴232贯穿所述波纹管件54和所述真空腔上法兰51而分别与所述下大臂11、所述下小臂12和所述上小臂16连接。
本发明一些实施例中，所述驱动外壳均为一体成型式结构。参考图4，即所述第一驱动外壳211、所述第二驱动外壳221和第三驱动外壳231均为一体成型式结构，一体成型式结构的驱动外壳密封效果更好。
本发明一些实施例中，所述第一旋转驱动组件、所述第二旋转驱动组件和所述第三旋转驱动组件均包括电联接固定件和转接件，所述电联接固定件设置于所述驱动外壳的外壁，所述转接件固定设置于所述电联接固定件，所述线缆组件还包括连接线缆件，所述连接线缆件的一端与所述第一旋转驱动组件、所述第二旋转驱动组件和所述第三旋转驱动组件连接，所述连接线缆件的另一端与所述弹性线缆件连接，所述连接线缆件贯穿所述驱动外壳和所述电联接固定件且固定设置于所述转接件。使得所述第一旋转驱动组件、所述第二旋转驱动组件和所述第三旋转驱动组件的驱动外壳内的所述连接线缆件穿出所述驱动外壳后能通过所述电联接固定件和所述转接件固定，从而使得线缆更为规整紧凑，占用空间较小，可极大减小所述晶圆输送装置的整体体积，而且不会干涉所述晶圆输送装置内的其他部件的运行，维修也更为方便，同时所述连接线缆件贯穿所述驱动外壳和所述电联接固定件后固定设置于所述转接件，能增强装置的密封可靠性，从而确保了所述机械臂组件在真空环境中工作，而且所述连接线缆件贯穿所述驱动外壳和所述电联接固定件后固定设置于所述转接件，使得线缆能极大减少因旋转驱动组件旋转而引起的晃动，从而减少了损耗，延长了所述连接线缆件的寿命，使得延长了整体装置的使用寿命，减少了安全隐患。
本发明一些实施例中，所述转接件为PCB转接件。具体的，所述转接件作为所述驱动外壳内外部所述连接线缆件的连接转接口。
本发明一些实施例中，所述连接线缆件包括电源线和信息数据线，所述电源线一端分别与所述第一旋转驱动组件、所述第二旋转驱动组件和所述第三旋转驱动组件连接，另一端与所述电源件连接，所述信息数据线一端分别与所述第一旋转驱动组件、所述第二旋转驱动组件和所述第三旋转驱动组件连接，另一端与所述控制组件连接后并外接。
本发明一些实施例中，参考图4和图5，所述线缆组件4还包括连接线缆件(图中未示出)，所述连接线缆件(图中未示出)的一端与所述第一旋转驱动组件21、所述第二旋转驱动组件22和所述第三旋转驱动组件23连接，所述连接线缆件(图中未示出)的另一端与所述弹性线缆件41连接。所述第一旋转驱动组件21还包括第一电联接固定件215和第一转接件216，所述第一电联接固定件215设置于所述第一驱动外壳211的外壁，所述第一转接件216固定设置于所述第一电联接固定件215，所述连接线缆件(图中未示出)贯穿所述第一驱动外壳211和所述第一电联接固定件215且固定设置于所述第一转接件216。所述第二旋转驱动组件22还包括第二电联接固定件225和第二转接件226，所述第二电联接固定件225设置于所述第二驱动外壳221的外壁，所述第二转接件226固定设置于所述第二电联接固定件225，所述连接线缆件(图中未示出)贯穿所述第二驱动外壳221和所述第二电联接固定件225且固定设置于所述第二转接件226。所述第三旋转驱动组件23还包括第三电联接固定件235和第三转接件236，所述第三电联接固定件235设置于所述第三驱动外壳231的外壁，所述第三转接件236固定设置于所述第三电联接固定件235，所述连接线缆件(图中未示出)贯穿所述第三驱动外壳231和所述第三电联接固定件235且固定设置于所述第三转接件236。
本发明一些实施例中，所述驱动外壳的外壁设有安装凹槽，所述电联接固定件卡设于所述安装凹槽，且所述驱动外壳和所述电联接固定件分别对应设置有供所述连接线缆件贯穿的贯穿孔。所述电联接固定件卡设于所述安装凹槽，使得结构更为紧凑，减小了所述晶圆输送装置的整体体积，所述驱动外壳和所述电联接固定件分别对应设置有供所述连接线缆件贯穿的贯穿孔，使得提高了所述驱动外壳的密封性，从而确保了所述机械臂组件在真空环境中工作。
本发明一些具体实施例中，参考图4和图5，所述第一驱动外壳211的外壁设有安装凹槽(图中未标示)，所述第一电联接固定件215卡设于所述安装凹槽(图中未标示)，且所述第一驱动外壳211和所述第一电联接固定件215分别对应设置有供所述连接线缆件(图中未示出)贯穿的贯穿孔(图中未标示)。所述第二驱动外壳221的外壁设有安装凹槽(图中未标示)，所述第二电联接固定件225卡设于所述安装凹槽(图中未标示)，且所述第二驱动外壳221和所述第二电联接固定件225分别对应设置有供所述连接线缆件(图中未示出)贯穿的贯穿孔(图中未标示)。所述第三驱动外壳231的外壁设有安装凹槽(图中未标示)，所述第三电联接固定件235卡设于所述安装凹槽(图中未标示)，且所述第三驱动外壳231和所述第三电联接固定件235分别对应设置有供所述连接线缆件(图中未示出)贯穿的贯穿孔(图中未标示)。
本发明一些实施例中，所述驱动外壳和所述电联接固定件之间、以及所述电联接固定件与所述转接件之间均设有密封件密封。提高了所述驱动外壳的密封性，从而确保了所述机械臂组件在真空环境中工作。具体的，所述第一驱动外壳和所述第一电联接固定件之间设有密封件密封，所述第一转接件和所述第一电联接固定件之间设有密封件密封。所述第二驱动外壳和所述第二电联接固定件之间设有密封件密封，所述第二转接件和所述第二电联接固定件之间设有密封件密封。所述第三驱动外壳和所述第三电联接固定件之间设有密封件密封，所述第三转接件和所述第三电联接固定件之间设有密封件密封。
本发明一些实施例中，所述升降组件还包括第一滑块、第二滑块、第三滑块、第四滑块、第五滑块和第六滑块；所述第一旋转驱动组件中的所述驱动外壳的两侧端部分别通过所述第一滑块和所述第二滑块滑动设置于所述升降导轨，且所述第一滑块和所述第二滑块之间的连线与所述第一转子轴的轴向中心线相交；所述第二旋转驱动组件中的所述驱动外壳的两侧端部分别通过所述第三滑块和所述第四滑块滑动设置于所述升降导轨，且所述第三滑块和所述第四滑块之间的连线与所述第二转子轴的轴向中心线相交；所述第三旋转驱动组件中的所述驱动外壳的两侧端部分别通过所述第五滑块和所述第六滑块滑动设置于所述升降导轨，且所述第五滑块和所述第六滑块之间的连线与所述第三转子轴的轴向中心线相交。即导轨在两侧，传动在中心，能使传输更为稳定安全，从而延长了晶圆输送装置的整体使用寿命。
本发明一些实施例中，参考图2，所述升降组件3还包括六个滑块33，所述升降导轨32为双导轨结构，分别固定设置于所述装置壳体5。所述第一驱动外壳211的两侧端部分别通过两个所述滑块33滑动设置于所述升降导轨32；所述第二驱动外壳221的两侧端部分别通过两个所述滑块33滑动设置于所述升降导轨32；所述第三驱动外壳231的两侧端部分别通过两个所述滑块33滑动设置于所述升降导轨32。所述第一驱动外壳211、所述第二驱动外壳221和所述第三驱动外壳231之间通过螺栓进行内部密封固定。如此使得腔体内部真空区与外部大气区能很好的分开，从而确保了所述机械臂组件1在真空环境中工作。
本发明一些实施例中，所述第一旋转驱动组件中的第一直驱电机包括第一定子和第一转子，所述第二旋转驱动组件中的第二直驱电机包括第二定子和第二转子，所述第三旋转驱动组件中的第三直驱电机包括第三定子和第三转子；所述晶圆输送装置还包括第一密封隔离套和第二密封隔离套，所述第一密封隔离套卡设于所述第一定子和所述第一转子之间，所述第二密封隔离套包括上密封隔离部和下密封隔离部，所述上密封隔离部卡设于所述第二定子和所述第二转子之间，所述下密封隔离部卡设于所述第三定子和所述第三转子之间。使得定子和转子之间能保持良好的密封效果，从而使得装置的整体旋转结构位于真空腔内，确保了所述机械臂组件在真空环境中工作，延长了装置的整体使用寿命。且所述第二直驱电机和所述第三直驱电机相邻设置，使得设置一个所述第二密封隔离套即可对所述第二直驱电机和所述第三直驱电机的定子和转子实现密封作用，为晶圆输送装置节约了腔内空间，可大幅度减小所述晶圆输送装置本体的体积。
图6为图1所示的晶圆输送装置的内部结构局部示意图一。
本发明一些实施例中，参考图6，所述第二直驱电机223包括第二定子2231和第二转子2232，所述第三直驱电机233包括第三定子2331和第三转子2332；所述第二密封隔离套6包括上密封隔离部61和下密封隔离部62，所述上密封隔离部61卡设于所述第二定子2231和所述第二转子2232之间，所述下密封隔离部62卡设于所述第三定子2331和所述第三转子2332之间。
本发明一些实施例中，参考图6，所述上密封隔离部61的内壁与所述第二驱动外壳221抵持设置，且所述上密封隔离部61与所述第二驱动外壳221之间设置有第一O型圈63密封；所述下密封隔离部62的内壁与所述第三驱动外壳231抵持设置，且所述下密封隔离部62与所述第三驱动外壳231之间设置有第二O型圈64密封。
图7为图1所示的晶圆输送装置的内部结构局部示意图二。
本发明一些实施例中，图4至图7，所述升降驱动组件31包括升降支撑件311、抱闸器312、直驱电机313、编码器314、丝杆螺母315和丝杆316，所述抱闸器312、所述直驱电机313和所述编码器314分别与所述丝杆316连接，所述丝杆316的一端套设于所述第三转子轴232内，所述丝杆螺母315套设于所述丝杆316，所述升降支撑件311与所述丝杆螺母315固定连接，所述升降支撑件311的上端依次固定所述第三旋转驱动组件23、所述第二旋转驱动组件22和所述第一旋转驱动组件21。通过所述直驱电机313驱动所述丝杆316转动，以带动所述升降支撑件311做升降运动，从而带动所述升降支撑件311上固定的所述第三旋转驱动组件23、所述第二旋转驱动组件22和所述第一旋转驱动组件21沿所述升降导轨32做升降运动，所述抱闸器312具有抱闸功能，可使所述第三旋转驱动组件23、所述第二旋转驱动组件22和所述第一旋转驱动组件21在行程内的任意高度停止，所述编码器314对所述直驱电机313的运动进行测量反馈，以实时准确的控制所述第三旋转驱动组件23、所述第二旋转驱动组件22和所述第一旋转驱动组件21的升降。
本发明一些实施例中，所述第一转子轴212的轴向中心线、所述第二转子轴222的轴向中心线、所述第三转子轴232的轴向中心线和所述丝杆316的轴向中心线重合设置，即四轴同心且互不干涉，使得整体结构紧凑，大幅度减小晶圆输送装置本体的体积。
本发明一些实施例中，参考图4和图5，所述弹性线缆件41为弹簧线缆，所述线缆组件还包括第一固定件42和第二固定件43，所述弹簧线缆的两端分别固定于所述第一固定件42和所述第二固定件43，所述第一固定件42与所述第三旋转驱动组件23中的所述第三驱动外壳231连接固定，所述第二固定件43与所述底座安装板52连接固定。所述弹簧线缆不仅可随着所述旋转驱动组件2的升降而任意伸缩，而且弹簧线缆占用空间小，为晶圆输送装置节约了腔内空间，同时所述弹簧线缆通过螺旋回弹的方式使得所述弹簧线缆在所述弹簧线缆的径向方向的受力极大减少，且不存在弯折，极大的延长了线缆的使用寿命。
本发明一些实施例中，参考图4和图5，所述线缆组件4还包括两个线缆固定件44，一个所述线缆固定件44的两端分别设置于所述第一驱动外壳211和所述第二驱动外壳221，另一个所述线缆固定件44的两端分别设置于所述第二驱动外壳221和所述第三驱动外壳231。所述线缆固定件44用于固定与所述弹性线缆件41连接的所述连接线缆件(图中未示出)，使得线缆更为规整紧凑，占用空间较小，可极大减小所述晶圆输送装置的整体体积，而且不会干涉其他部件的运行，维修也更为方便。
本发明一些实施例中，参考图6和图7，所述晶圆输送装置还包括凹套轴7，所述凹套轴套7设于所述丝杆316和所述第三转子轴232之间，且所述凹套轴7与所述升降支撑件311固定设置。使得所述旋转驱动组件2和所述升降驱动组件31之间能保持良好的密封效果，从而确保了所述机械臂组件1在真空环境中工作。
本发明一些实施例中，参考图7，所述凹套轴7包括套轴部(图中未标示)和底座部(图中未标示)，所述套轴部(图中未标示)套设于所述丝杆316和所述第三转子轴232之间，所述底座部第三固定设置于所述升降支撑件311的上端面，且所述底座部第三与所述升降支撑件311之间设置有密封圈71密封。有利于使所述旋转驱动组件2和所述升降驱动组件31之间能保持良好的密封效果，从而确保了所述机械臂组件1在真空环境中工作。
本发明一些实施例中，所述生产装置包括至少两个工艺设备，以及设置于所述至少两个工艺设备之间的所述晶圆输送装置，所述晶圆输送装置用于将晶圆从一个所述工艺设备搬运至另一个所述工艺设备。
具体的，通过在所述晶圆输送装置中设置三个旋转驱动组件即可带动四个末端执行器执行伸缩运动和旋转运动，实现了四个工位的晶圆输送，大大提升了所述晶圆输送装置的工作效率，从而提升了所述生产装置的整体工作效率，而且旋转驱动组件少，整体结构紧凑，也更有效减小了所述晶圆输送装置的整体体积，使得所述晶圆输送装置不会干涉所述生产装置中的其他部件的运行。
虽然在上文中详细说明了本发明的实施方式，但是对于本领域的技术人员来说显而易见的是，能够对这些实施方式进行各种修改和变化。但是，应理解，这种修改和变化都属于权利要求书中所述的本发明的范围和精神之内。而且，在此说明的本发明可有其它的实施方式，并且可通过多种方式实施或实现。

Claims (19)

1.一种晶圆输送装置，其特征在于，包括：
机械臂组件，包括第一机械臂组件和第二机械臂组件，所述第一机械臂组件包括依次连接的下大臂和下小臂，以及与所述下小臂连接的第一末端执行器和第二末端执行器，所述第二机械臂组件包括依次连接的上大臂和上小臂，以及与所述上小臂连接的第三末端执行器和第四末端执行器；
旋转驱动组件，包括从上而下依次固定设置的第一旋转驱动组件、第二旋转驱动组件和第三旋转驱动组件，所述第一旋转驱动组件与所述下大臂连接以驱动所述下大臂进行旋转运动，所述上大臂与所述下大臂固定设置且随所述下大臂转动，所述第二旋转驱动组件和所述第三旋转驱动组件分别与所述下小臂和所述上小臂连接以分别驱动所述下小臂和所述上小臂进行旋转运动，从而带动所述第一末端执行器、所述第二末端执行器、所述第三末端执行器和所述第四末端执行器执行伸缩运动或旋转运动；
升降组件，包括升降驱动组件，所述升降驱动组件与所述旋转驱动组件连接，所述升降驱动组件驱动所述旋转驱动组件做升降运动。
2.的体积根据权利要求1所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述升降组件还包括升降导轨，所述第一旋转驱动组件、所述第二旋转驱动组件和所述第三旋转驱动组件均包括驱动外壳、转子轴、直驱电机、码盘和读数头，所述驱动外壳滑动设置于所述升降导轨，所述直驱电机和所述码盘套设于所述转子轴，所述读数头设置于所述驱动外壳且与所述码盘相对运动，且所述第一旋转驱动组件中的第一转子轴、所述第二旋转驱动组件中的第二转子轴和所述第三旋转驱动组件中的第三转子轴由外而内依次套设。
3.根据权利要求1所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述机械臂组件还包括第一连接件和第二连接件，且所述第一连接件和所述第二连接件均呈U形结构，所述第一连接件的中部与所述下小臂的末端部转动设置，所述第一连接件的两端部分别与所述第一末端执行器和所述第二末端执行器连接固定，所述第二连接件的中部与所述上小臂的末端部转动设置，所述第二连接件的两端部分别与所述第三末端执行器和所述第四末端执行器连接固定。
4.根据权利要求3所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述第一连接件和所述第二连接件的两端部均设有延伸部，所述第一连接件的两个所述延伸部分别与所述第一末端执行器和所述第二末端执行器连接固定，所述第二连接件的两个所述延伸部分别与所述第三末端执行器和所述第四末端执行器连接固定。
5.根据权利要求4所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述机械臂组件还包括四个安装件，四个所述安装件的一端部设有与所述延伸部连接固定的突出部，四个所述安装件的另一端部设有与末端执行器连接固定的开槽部。
6.根据权利要求4所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述第一连接件和所述第二连接件两端部的两个所述延伸部之间的距离为550mm或566mm。
7.根据权利要求2所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述码盘为绝对值码盘，所述码盘的角度分辨率为0-0.00030角秒。
8.根据权利要求2所述的晶圆输送装置，其特征在于，还包括线缆组件，所述线缆组件包括弹性线缆件，所述弹性线缆件分别与所述第一旋转驱动组件、所述第二旋转驱动组件和所述第三旋转驱动组件连接，所述弹性线缆件设置于所述旋转驱动组件的下方且随所述旋转驱动组件的升降而伸缩运动。
9.根据权利要求8所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述第一旋转驱动组件、所述第二旋转驱动组件和所述第三旋转驱动组件均包括电联接固定件和转接件，所述电联接固定件设置于所述驱动外壳的外壁，所述转接件固定设置于所述电联接固定件，所述线缆组件还包括连接线缆件，所述连接线缆件的一端与所述第一旋转驱动组件、所述第二旋转驱动组件和所述第三旋转驱动组件连接，所述连接线缆件的另一端与所述弹性线缆件连接，所述连接线缆件贯穿所述驱动外壳和所述电联接固定件且固定设置于所述转接件。
10.根据权利要求2所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述升降组件还包括第一滑块、第二滑块、第三滑块、第四滑块、第五滑块和第六滑块；
所述第一旋转驱动组件中的所述驱动外壳的两侧端部分别通过所述第一滑块和所述第二滑块滑动设置于所述升降导轨，且所述第一滑块和所述第二滑块之间的连线与所述第一转子轴的轴向中心线相交；
所述第二旋转驱动组件中的所述驱动外壳的两侧端部分别通过所述第三滑块和所述第四滑块滑动设置于所述升降导轨，且所述第三滑块和所述第四滑块之间的连线与所述第二转子轴的轴向中心线相交；
所述第三旋转驱动组件中的所述驱动外壳的两侧端部分别通过所述第五滑块和所述第六滑块滑动设置于所述升降导轨，且所述第五滑块和所述第六滑块之间的连线与所述第三转子轴的轴向中心线相交。
11.根据权利要求8所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述升降驱动组件包括升降支撑件、抱闸器、直驱电机、编码器、丝杆螺母和丝杆，所述抱闸器、所述直驱电机和所述编码器分别与所述丝杆连接，所述丝杆的一端套设于所述第三转子轴内，所述丝杆螺母套设于所述丝杆，所述升降支撑件与所述丝杆螺母固定连接，所述升降支撑件的上端依次固定所述第三旋转驱动组件、所述第二旋转驱动组件和所述第一旋转驱动组件。
12.根据权利要求8所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述弹性线缆件为弹簧线缆，所述线缆组件还包括第一固定件和第二固定件，所述弹簧线缆的两端分别固定于所述第一固定件和所述第二固定件，所述第一固定件与所述第三旋转驱动组件中的所述驱动外壳连接固定，所述第二固定件与底座安装板连接固定。
13.根据权利要求11所述的晶圆输送装置，其特征在于，还包括凹套轴，所述凹套轴套设于所述丝杆和所述第三转子轴之间，且所述凹套轴与所述升降支撑件固定设置。
14.根据权利要求13所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述凹套轴套包括套轴部和底座部，所述套轴部套设于所述丝杆和所述第三转子轴之间，所述底座部固定设置于所述升降支撑件的上端面，且所述底座部与所述升降支撑件之间设置有密封圈密封。
15.根据权利要求2所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述驱动外壳均为一体成型式结构。
16.根据权利要求2所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述第一旋转驱动组件中的第一直驱电机包括第一定子和第一转子，所述第二旋转驱动组件中的第二直驱电机包括第二定子和第二转子，所述第三旋转驱动组件中的第三直驱电机包括第三定子和第三转子；
所述晶圆输送装置还包括第一密封隔离套和第二密封隔离套，所述第一密封隔离套卡设于所述第一定子和所述第一转子之间，所述第二密封隔离套包括上密封隔离部和下密封隔离部，所述上密封隔离部卡设于所述第二定子和所述第二转子之间，所述下密封隔离部卡设于所述第三定子和所述第三转子之间。
17.根据权利要求9所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述驱动外壳和所述电联接固定件之间、以及所述电联接固定件与所述转接件之间均设有密封件密封。
18.根据权利要求9所述的晶圆输送装置，其特征在于，所述驱动外壳的外壁设有安装凹槽，所述电联接固定件卡设于所述安装凹槽，且所述驱动外壳和所述电联接固定件分别对应设置有供所述连接线缆件贯穿的贯穿孔。
19.一种生产装置，其特征在于，包括至少两个工艺设备，以及设置于所述至少两个工艺设备之间的如权利要求1至18任一项所述的晶圆输送装置，所述晶圆输送装置用于将晶圆从一个所述工艺设备搬运至另一个所述工艺设备。
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