CN116422216A - 一种含微量水的二氧化碳配制及供应试验系统 - Google Patents

一种含微量水的二氧化碳配制及供应试验系统 Download PDF

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刘蔚伟
杨鸿�
张根
姜峨
黄彦平
卓文彬
邓平
马韦刚
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Abstract

本发明公开了一种含微量水的二氧化碳配制及供应试验系统,属于化学和材料实验技术领域,为了获得含有精确微量水的超临界二氧化碳气体,所述含微量水的二氧化碳配制及供应试验系统包括依次连通的配制系统(1)、缓冲系统(2)及供应系统(3),配制系统(1)含有二氧化碳气体供应流路(11)和去离子水供应流路(12)。所述含微量水的二氧化碳配制及供应试验系统可配制及供应含有精确微量水的二氧化碳气体,且配制方法简单、结果精确可靠,为超临界二氧化碳先进核电转换系统化学边界确定及关键材料腐蚀性能评估提供理论依据。

Description

一种含微量水的二氧化碳配制及供应试验系统
技术领域
本发明涉及化学和材料实验技术领域,具体的是一种含微量水的二氧化碳配制及供应试验系统。
背景技术
能源是现代社会经济发展的重要保证。纵观世界电力工业的发展与电力资源的构成,核电是继火电、水电之后应用最广泛、最具发展前景、最成熟的新能源,与火电、水电共同构成当今世界电能供应的三大支柱。以超临界二氧化碳布雷顿循环为基础的先进核电转换系统,具有循环效率高、系统简单、安全性高、经济性好等优势,是核电技术创新和发展的重要方向。高温、高压的超临界二氧化碳具有一定的氧化性,能与超临界二氧化碳先进核电转换系统材料反应并在材料表面形成氧化膜,受工质化学环境、温度、压力等外因以及材料的化学成分、组织结构等内因的影响,材料表面氧化膜可能会形成空泡、出现开裂、剥落等现象,使氧化膜的完整性和致密性遭到破坏,失去对金属基体的保护作用,导致材料发生腐蚀损伤。材料腐蚀会威胁系统压力边界的完整性和可靠性,缩短系统设备的使用寿命,增加维修成本,严重时甚至引发事故,危及人员及环境的安全。因此,有必要开展超临界二氧化碳工质化学运行及材料相容性试验研究,掌握系统关键材料在含微量水的二氧化碳环境中的腐蚀性能,对系统化学运行边界确定及材料服役性能评估具有重要的指导意义。
发明内容
为了获得含有精确微量水的超临界二氧化碳气体,本发明提供了一种含微量水的二氧化碳配制及供应试验系统,所述含微量水的二氧化碳配制及供应试验系统可配制及供应含有精确微量水的二氧化碳气体,且配制方法简单、结果精确可靠,为超临界二氧化碳先进核电转换系统化学边界确定及关键材料腐蚀性能评估提供理论依据。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:
一种含微量水的二氧化碳配制及供应试验系统,包括依次连通的配制系统、缓冲系统及供应系统,配制系统含有二氧化碳气体供应流路和去离子水供应流路,二氧化碳气体供应流路上设置有二氧化碳源,去离子水供应流路上设置有去离子水源。
本发明的有益效果是:
1、本发明通过高精度流量控制器和第计量泵精确控制二氧化碳及去离子水注入量,满足配制及注入ppm级至百分级不同去离子水含量的需求,并保证二氧化碳中微量水含量控制精确、可靠。
2、本发明可对配制的含微量水的二氧化碳进行取样分析,并可根据取样分析结果及时调整二氧化碳及去离子水的注入量,确保二氧化碳中微量水含量满足要求。
3、本发明设置两套功能及组成相同的缓冲系统,当一套用于配制含微量水的二氧化碳时,另一套可用于供应含微量水的二氧化碳,保证长周期材料腐蚀试验介质供应的连续性。
4、本发明可根据缓冲容器内压力,自动切换缓冲容器工作状态。
5、本发明通过二氧化碳及去离子水的注入,控制缓冲罐工作压力8MPa-20MPa,保证缓冲罐内二氧化碳在使用过程中不发生气化,确保二氧化碳中微量水分布均匀。
6、本发明采用液体二氧化碳专用增压泵注入二氧化碳,增压泵出口含微量水的二氧化碳的压力8MPa-25MPa。
7、本发明通过高精度计量阀、二氧化碳专用增压泵柱塞杆行程及频率调节含微量水的二氧化碳流量在0.1kg/h-10kg/h范围。
附图说明
构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本发明的进一步理解,本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明,并不构成对本发明的不当限定。
图1是本发明所述含微量水的二氧化碳配制及供应试验系统的示意图。
附图标记说明如下:
1、配制系统; 2、缓冲系统; 3、供应系统;
11、二氧化碳气体供应流路; 12、去离子水供应流路;
111、二氧化碳源;112、第一过滤器;113、干燥器;114、第二过滤器;115、冷却器;116、循环冷却水机;117、第一增压泵;118、缓冲罐;119、流量控制器;1110、第一压力传感器;1111、第一电磁阀;1112、第一温度传感器;1113、第一单向阀;1114、第一减压阀;1115、第二压力传感器;1116、第一背压阀;1117、第一安全阀;
121、去离子水源;122、第三过滤器;123、计量泵;124、第一球阀;125、第二球阀;126、第二电磁阀;127、第三压力传感器;128、第一计量阀;129、第一流量计;1210、第二单向阀;1211、第二安全阀;
21、第一缓冲流路;22、第二缓冲流路;
211、第一缓冲容器;212、第三电磁阀;213、第四电磁阀;214、第三安全阀;215、第四压力传感器;216、第一针阀;217、第二温度传感器;
221、第二缓冲容器;222、第五电磁阀;223、第六电磁阀;224、第四安全阀;225、第五压力传感器;226、第二针阀;227、第三温度传感器;
31、含微量水的二氧化碳供应流路;
311、第四过滤器;312、第二增压泵;313、第三球阀;314、第四温度传感器;315、第三单向阀;316、第五安全阀;317、第二计量阀;318、第二流量计;319、第六压力传感器;3110、第七电磁阀。
具体实施方式
需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。
一种含微量水的二氧化碳配制及供应试验系统,包括依次连通的配制系统1、缓冲系统2及供应系统3,配制系统1含有二氧化碳气体供应流路11和去离子水供应流路12,二氧化碳气体供应流路11上设置有二氧化碳源111,去离子水供应流路12上设置有去离子水源121,如图1所示。
配制系统1的出口端与缓冲系统2的入口端连接,缓冲系统2的出口端与供应系统3的入口端连接,配制系统1的出口端为二氧化碳气体供应流路11的出口端和去离子水供应流路12的出口端,二氧化碳源111中的二氧化碳在二氧化碳气体供应流路11中经过下述第一增压泵117增压为液态,二氧化碳气体供应流路11的出口端和去离子水供应流路12的出口端重合,二氧化碳气体供应流路11喷出的二氧化碳液体与去离子水供应流路12供应的去离子水在二氧化碳气体供应流路11的出口端和去离子水供应流路12的出口端相遇并混合。二氧化碳气体供应流路11和去离子水供应流路12之间为并联关系,二氧化碳源111为含有二氧化碳(气体、液体或固体)的密封容器,去离子水源121为含有去离子的密封容器。
所述含微量水的二氧化碳配制及供应试验系统利用配制系统1向缓冲系统2中注入一定量含微量水的二氧化碳,利用供应系统3将缓冲系统2中配制好的含微量水的二氧化碳增压后,以一定流量输出,开展超临界二氧化碳先进核电转换系统关键材料在含微量水环境下的腐蚀试验。
在本实施例中,二氧化碳源111设置于二氧化碳气体供应流路11的入口端,二氧化碳气体供应流路11的出口端与缓冲系统2的入口端连通,沿二氧化碳气体供应流路11内的气流方向,二氧化碳气体供应流路11上还依次设置有第一过滤器112干燥器113、第二过滤器114、冷却器115、第一增压泵117、缓冲罐118和流量控制器119,冷却器115连接有循环冷却水机116。
在本实施例中,二氧化碳气体供应流路11上还设置有第一压力传感器1110、第一电磁阀1111、第一温度传感器1112、第一单向阀1113、第一减压阀1114、第二压力传感器1115、第一背压阀1116和第一安全阀1117;第一压力传感器1110位于二氧化碳源111和第一过滤器112之间,第一电磁阀1111位于第二过滤器114和冷却器115之间,第一温度传感器1112位于冷却器115和第一增压泵117之间,第一单向阀1113位于第一增压泵117和缓冲罐118之间,第一减压阀1114位于缓冲罐118和流量控制器119之间,第一背压阀1116位于二氧化碳气体供应流路11的出口端和流量控制器119之间,第二压力传感器1115和第一安全阀1117均位于流量控制器119和第一背压阀1116之间。
二氧化碳源111采用瓶装高纯二氧化碳,纯度99.99%以上。在二氧化碳源111和第一过滤器112之间设置有第一压力传感器1110,用于测量二氧化碳源111内压力。冷却器115用于降低二氧化碳温度至5℃以下,确保二氧化碳状态为液态,提高第一增压泵117工作效率,冷却器115所用的冷却水由循环冷却水机116提供。第一增压泵117用于将二氧化碳注入缓冲罐118中。缓冲罐118内储存高压二氧化碳,压力范围25MPa-40MPa。流量控制器119用于精确控制及测量高纯二氧化碳流量,流量控制器119的流量控制及测量范围为0.2kg/h-10kg/h,流量控制器119控制的测量精度±0.5%。在缓冲罐118和流量控制器119之间设置第一减压阀1114,在流量控制器119和缓冲系统2之间设置第一背压阀1116,分别用于控制流量控制器119前、后端压力稳定,保证流量控制器119控制精度。在冷却器115及第一增压泵117之间设置第一温度传感器1112,用于测量第一增压泵117入口处高纯二氧化碳温度。在流量控制器119及第一背压阀1116之间设置第二压力传感器1115,用于测量第一背压阀1116入口处高纯二氧化碳压力。
在本实施例中,去离子水源121设置于去离子水供应流路12的入口端,去离子水供应流路12的出口端与缓冲系统2的入口端连通,沿去离子水供应流路12内的水流方向,去离子水供应流路12上还依次设置有第三过滤器122和计量泵123。
在本实施例中,去离子水源121含有上出口和下出口,去离子水源121的上出口与去离子水供应流路12的入口端连接,去离子水源121的下出口外连接有第一球阀124,去离子水供应流路12上还设置有第二球阀125、第二电磁阀126、第三压力传感器127、第一计量阀128、第一流量计129、第二单向阀1210和第二安全阀1211;第二球阀125位于去离子水源121和第三过滤器122之间,第二电磁阀126位于第三过滤器122和计量泵123之间,第二单向阀1210位于去离子水供应流路12的出口端和计量泵123之间,第一流量计129位于计量泵123和第二单向阀1210之间,第一计量阀128位于计量泵123和第一流量计129之间,第三压力传感器127和第二安全阀1211均位于计量泵123和第一计量阀128之间。
去离子水供应流路12可向缓冲系统2的下述第一缓冲容器211或第二缓冲容器221中以一定流量供应去离子水。去离子水源121内装有去离子水,电导率<2uS/cm。计量泵123用于精确输出去离子水,计量泵123的流量输出范围0.001g/min-10g/min,计量泵123的流量输出精度≤±2mg/min。在计量泵123和缓冲系统2之间依次设置有第一计量阀128、第三压力传感器127和第一流量计129,分别用于调节去离子水流量、监测去离子水压力和流量。
在本实施例中,缓冲系统2含有并联设置的第一缓冲流路21和第二缓冲流路22,第一缓冲流路21上设置有第一缓冲容器211,第二缓冲流路22上设置有第二缓冲容器221。
在本实施例中,第一缓冲流路21上还设置有第三电磁阀212和第四电磁阀213,第三电磁阀212位于第一缓冲流路21的入口端和第一缓冲容器211的入口端之间,第四电磁阀213位于第一缓冲容器211的出口端和第一缓冲流路21的出口端之间,如图1所示。
在本实施例中,第二缓冲流路22上还设置有第五电磁阀222和第六电磁阀223,第五电磁阀222位于第二缓冲流路22的入口端和第二缓冲容器221的入口端之间,第六电磁阀223位于第二缓冲容器221的出口端和第二缓冲流路22的出口端之间,如图1所示。
在本实施例中,第一缓冲容器211连接有第三安全阀214、第四压力传感器215、第一针阀216和第二温度传感器217;第二缓冲容器221连接有第四安全阀224、第五压力传感器225、第二针阀226和第三温度传感器227。
第一缓冲容器211上装有第四压力传感器215、第二温度传感器217,实时监测第一缓冲容器211内温度及压力,并根据第四压力传感器215的实时压力监测情况向第三电磁阀212和第四电磁阀213提供开启/闭合信号。第一缓冲容器211上设有第一针阀216,可取样分析第一缓冲容器211内微量水含量。
第二缓冲容器221上装有第五压力传感器225、第三温度传感器227,实时监测第二缓冲容器221内温度及压力,并根据第五压力传感器225的实时压力监测情况向第五电磁阀222和第六电磁阀223提供开启/闭合信号。第二缓冲容器221上设有第二针阀226,可取样分析第二缓冲容器221内微量水含量。
在本实施例中,供应系统3含有含微量水的二氧化碳供应流路31,含微量水的二氧化碳供应流路31的入口端与缓冲系统2的出口端连接,沿含微量水的二氧化碳供应流路31内的气流方向,含微量水的二氧化碳供应流路31上依次设置有第四过滤器311和第二增压泵312。
在本实施例中,含微量水的二氧化碳供应流路31上还设置有第三球阀313,第三球阀313位于含微量水的二氧化碳供应流路31的入口端和第四过滤器311之间。在含微量水的二氧化碳供应流路31的出口端和第二增压泵312之间,沿含微量水的二氧化碳供应流路31内的气流方向,含微量水的二氧化碳供应流路31上还依次设置有第四温度传感器314、第三单向阀315、第五安全阀316、第二计量阀317、第二流量计318、第六压力传感器319和第七电磁阀3110。
第二增压泵312为现有的液态二氧化碳专用柱塞式增压泵,第二增压泵312可以将第一缓冲容器211或第二缓冲容器221中液体进行增压后输出,第二增压泵312的最大出口压力为25MPa、最大出口流量为10kg/h。第四温度传感器314用于测量输出的含微量水的二氧化碳的温度,温度测量范围-20℃-100℃、测量精度为0.5%FS。第二流量计318用于测量输出的含微量水的二氧化碳的流量,第二流量计318的流量测量范围为0.021kg/h-1kg/h、测量精度0.2%FS。第六压力传感器319用于测量输出的含微量水的二氧化碳的压力,第六压力传感器319的压力测量范围0.01MPa-40MPa、测量精度0.5%FS。第二计量阀317用于调节输出的含微量水的二氧化碳的流量。
下面介绍所述含微量水的二氧化碳配制及供应试验系统的工作过程,包括以下步骤:
步骤1、系统通电。
步骤2、第一缓冲容器211注液运行。打开第一电磁阀1111、第三电磁阀212,启动循环冷却水机116。设定流量控制器119流量为一定值,启动第一增压泵117,调节第一减压阀1114和第一背压阀1116至流量控制器119前后端压差稳定,向第一缓冲容器211中注入高纯二氧化碳。当第一缓冲容器211中高纯二氧化碳注入量达到一定值时停止注入高纯二氧化碳,关闭第一增压泵117,关闭第一电磁阀1111。打开第二电磁阀126,设定计量泵123流量为一定值,调节第一计量阀128,向第一缓冲容器211中注入去离子水。当第一缓冲容器211中去离子水注入量达到一定值时停止注入去离子水,关闭计量泵123,关闭第二电磁阀126。打开第一针阀216,取样分析第一缓冲容器211中微量水含量。若第一缓冲容器211中微量水含量不满足试验要求,重复上述步骤注入高纯二氧化碳或去离子水,直至第一缓冲容器211中微量水含量满足试验要求,关闭第三电磁阀212。
步骤3、第一缓冲容器211供液运行。打开第四电磁阀213、第三球阀313、第七电磁阀3110,启动第二增压泵312,调节第二计量阀317,输出流量、压力满足要求的含微量水的二氧化碳。
步骤4、第二缓冲容器221注液运行。打开第一电磁阀1111、第五电磁阀222,设定流量控制器119流量为一定值,启动第一增压泵117,调节第一减压阀1114和第一背压阀1116至流量控制器119前后端压差稳定,向第二缓冲容器221中注入高纯二氧化碳。当第二缓冲容器221中高纯二氧化碳注入量达到一定值时停止注入高纯二氧化碳,关闭第一增压泵117,关闭第一电磁阀1111。打开第二电磁阀126,设定计量泵123流量为一定值,调节第一计量阀128,向第二缓冲容器221中注入去离子水。当第二缓冲容器221中去离子水注入量达到一定值时停止注入去离子水,关闭计量泵123,关闭第二电磁阀126。取样分析第二缓冲容器221中微量水含量。若第二缓冲容器221中微量水含量不满足试验要求,重复步骤4中的上述步骤注入高纯二氧化碳或去离子水,直至第二缓冲容器221中微量水含量满足试验要求,关闭第五电磁阀222。
步骤5、第一缓冲容器211注液运行、第二缓冲容器221供液运行。当第四压力传感器215压力降至8MPa以下时,打开第六电磁阀223,关闭第四电磁阀213,由第二缓冲容器221进行供液。第一缓冲容器211参照步骤2进行注液运行。
步骤6、第二缓冲容器221注液运行、第一缓冲容器211供液运行。当第五压力传感器225压力降至8MPa以下时,打开第四电磁阀213,关闭第六电磁阀223,由第一缓冲容器211进行供液。第二缓冲容器221参照步骤4进行注液运行。
步骤7、第一缓冲容器211和第二缓冲容器221依次按步骤5和步骤6交替进行注液、供液运行。
步骤8、停止运行。关闭循环冷却水机116、第一增压泵117、计量泵123、第二球阀125、第一计量阀128,关闭第一电磁阀1111、第二电磁阀126,关闭第一减压阀1114,打开第一背压阀1116,关闭第二增压泵14、关闭第三电磁阀212、第四电磁阀213、第五电磁阀222、第六电磁阀223、第七电磁阀3110,关闭第三球阀313、第二计量阀317。系统断电。
通过上述方法,能够准确配制含不同微量水的二氧化碳,微量水下限可达1ppm级;该系统能够长时间连续供应压力、流量稳定的含微量水的二氧化碳。该系统配制及供应的含微量水的二氧化碳(即水和二氧化碳的混合物)中水的含量可以为1mg/kg-1000mg/kg。所述含微量水的二氧化碳配制及供应试验系统利用配制系统向缓冲系统中注入一定量含微量水的二氧化碳,利用供应系统将缓冲系统中配制好的含微量水的二氧化碳增压后,以一定流量输出,开展超临界二氧化碳先进核电转换系统关键材料在含微量水环境下的腐蚀试验。
以上所述,仅为本发明的具体实施例,不能以其限定发明实施的范围,所以其等同组件的置换,或依本发明专利保护范围所作的等同变化与修饰,都应仍属于本专利涵盖的范畴。另外,本发明中的技术特征与技术特征之间、技术特征与技术方案、技术方案与技术方案、实施例与实施例之间均可以自由组合使用。

Claims (12)

1.一种含微量水的二氧化碳配制及供应试验系统,其特征在于,所述含微量水的二氧化碳配制及供应试验系统包括依次连通的配制系统(1)、缓冲系统(2)及供应系统(3),配制系统(1)含有二氧化碳气体供应流路(11)和去离子水供应流路(12),二氧化碳气体供应流路(11)上设置有二氧化碳源(111),去离子水供应流路(12)上设置有去离子水源(121)。
2.根据权利要求1所述的含微量水的二氧化碳配制及供应试验系统,其特征在于,二氧化碳源(111)设置于二氧化碳气体供应流路(11)的入口端,二氧化碳气体供应流路(11)的出口端与缓冲系统(2)的入口端连通,沿二氧化碳气体供应流路(11)内的气流方向,二氧化碳气体供应流路(11)上还依次设置有第一过滤器(112)干燥器(113)、第二过滤器(114)、冷却器(115)、第一增压泵(117)、缓冲罐(118)和流量控制器(119),冷却器(115)连接有循环冷却水机(116)。
3.根据权利要求2所述的含微量水的二氧化碳配制及供应试验系统,其特征在于,二氧化碳气体供应流路(11)上还设置有第一压力传感器(1110)、第一电磁阀(1111)、第一温度传感器(1112)、第一单向阀(1113)、第一减压阀(1114)、第二压力传感器(1115)、第一背压阀(1116)和第一安全阀(1117);第一压力传感器(1110)位于二氧化碳源(111)和第一过滤器(112)之间,第一电磁阀(1111)位于第二过滤器(114)和冷却器(115)之间,第一温度传感器(1112)位于冷却器(115)和第一增压泵(117)之间,第一单向阀(1113)位于第一增压泵(117)和缓冲罐(118)之间,第一减压阀(1114)位于缓冲罐(118)和流量控制器(119)之间,第一背压阀(1116)位于二氧化碳气体供应流路(11)的出口端和流量控制器(119)之间,第二压力传感器(1115)和第一安全阀(1117)均位于流量控制器(119)和第一背压阀(1116)之间。
4.根据权利要求1所述的含微量水的二氧化碳配制及供应试验系统,其特征在于,去离子水源(121)设置于去离子水供应流路(12)的入口端,去离子水供应流路(12)的出口端与缓冲系统(2)的入口端连通,沿去离子水供应流路(12)内的水流方向,去离子水供应流路(12)上还依次设置有第三过滤器(122)和计量泵(123)。
5.根据权利要求4所述的含微量水的二氧化碳配制及供应试验系统,其特征在于,去离子水源(121)含有上出口和下出口,去离子水源(121)的上出口与去离子水供应流路(12)连接,去离子水源(121)的下出口外连接有第一球阀(124),去离子水供应流路(12)上还设置有第二球阀(125)、第二电磁阀(126)、第三压力传感器(127)、第一计量阀(128)、第一流量计(129)、第二单向阀(1210)和第二安全阀(1211);第二球阀(125)位于去离子水源(121)和第三过滤器(122)之间,第二电磁阀(126)位于第三过滤器(122)和计量泵(123)之间,第二单向阀(1210)位于去离子水供应流路(12)的出口端和计量泵(123)之间,第一流量计(129)位于计量泵(123)和第二单向阀(1210)之间,第一计量阀(128)位于计量泵(123)和第一流量计(129)之间,第三压力传感器(127)和第二安全阀(1211)均位于计量泵(123)和第一计量阀(128)之间。
6.根据权利要求1所述的含微量水的二氧化碳配制及供应试验系统,其特征在于,缓冲系统(2)含有并联设置的第一缓冲流路(21)和第二缓冲流路(22),第一缓冲流路(21)上设置有第一缓冲容器(211),第二缓冲流路(22)上设置有第二缓冲容器(221)。
7.根据权利要求6所述的含微量水的二氧化碳配制及供应试验系统,其特征在于,第一缓冲流路(21)上还设置有第三电磁阀(212)和第四电磁阀(213),第三电磁阀(212)位于第一缓冲流路(21)的入口端和第一缓冲容器(211)的入口端之间,第四电磁阀(213)位于第一缓冲容器(211)的出口端和第一缓冲流路(21)的出口端之间。
8.根据权利要求6所述的含微量水的二氧化碳配制及供应试验系统,其特征在于,第二缓冲流路(22)上还设置有第五电磁阀(222)和第六电磁阀(223),第五电磁阀(222)位于第二缓冲流路(22)的入口端和第二缓冲容器(221)的入口端之间,第六电磁阀(223)位于第二缓冲容器(221)的出口端和第二缓冲流路(22)的出口端之间。
9.根据权利要求6所述的含微量水的二氧化碳配制及供应试验系统,其特征在于,第一缓冲容器(211)连接有第三安全阀(214)、第四压力传感器(215)、第一针阀(216)和第二温度传感器(217);第二缓冲容器(221)连接有第四安全阀(224)、第五压力传感器(225)、第二针阀(226)和第三温度传感器(227)。
10.根据权利要求1所述的含微量水的二氧化碳配制及供应试验系统,其特征在于,供应系统(3)含有含微量水的二氧化碳供应流路(31),含微量水的二氧化碳供应流路(31)的入口端与缓冲系统(2)的出口端连接,沿含微量水的二氧化碳供应流路(31)内的气流方向,含微量水的二氧化碳供应流路(31)上依次设置有第四过滤器(311)和第二增压泵(312)。
11.根据权利要求10所述的含微量水的二氧化碳配制及供应试验系统,其特征在于,含微量水的二氧化碳供应流路(31)上还设置有第三球阀(313),第三球阀(313)位于含微量水的二氧化碳供应流路(31)的入口端和第四过滤器(311)之间。
12.根据权利要求10所述的含微量水的二氧化碳配制及供应试验系统,其特征在于,在含微量水的二氧化碳供应流路(31)的出口端和第二增压泵(312)之间,沿含微量水的二氧化碳供应流路(31)内的气流方向,含微量水的二氧化碳供应流路(31)上还依次设置有第四温度传感器(314)、第三单向阀(315)、第五安全阀(316)、第二计量阀(317)、第二流量计(318)、第六压力传感器(319)和第七电磁阀(3110)。
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