CN116380807B - 一种偏振薄膜成像方法以及装置 - Google Patents
一种偏振薄膜成像方法以及装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN116380807B CN116380807B CN202310652950.1A CN202310652950A CN116380807B CN 116380807 B CN116380807 B CN 116380807B CN 202310652950 A CN202310652950 A CN 202310652950A CN 116380807 B CN116380807 B CN 116380807B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- light
- optimal
- imaging
- polarized light
- arc
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims abstract description 89
- 230000010287 polarization Effects 0.000 title claims description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000004088 simulation Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000012472 biological sample Substances 0.000 claims description 36
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 27
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 25
- 230000000712 assembly Effects 0.000 claims description 22
- 238000000429 assembly Methods 0.000 claims description 22
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 18
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 9
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 6
- 239000002356 single layer Substances 0.000 claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 3
- 230000035699 permeability Effects 0.000 claims description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 claims 2
- 238000012634 optical imaging Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 40
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 210000005013 brain tissue Anatomy 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004807 localization Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002103 nanocoating Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920003223 poly(pyromellitimide-1,4-diphenyl ether) Polymers 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/21—Polarisation-affecting properties
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
- Y02A90/00—Technologies having an indirect contribution to adaptation to climate change
- Y02A90/30—Assessment of water resources
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
本发明公开了一种偏振薄膜成像方法，属于光学成像领域，通过设备搭建、仿真获得最优成像对比度、计算偏振光入射角度、调节偏振光入射角度以及多路偏振光成像等步骤，采用具有稳定相位和可调偏振的多路激光按照最优角度照明，增强了多层薄膜之间反射光的干涉作用，从而大幅提升薄膜组织成像的对比度。本发明还涉及用于实施上述偏振薄膜成像方法的装置。
Description
技术领域
本发明涉及光学成像领域，尤其是涉及偏振薄膜成像方法以及装置。
背景技术
生命科学研究需要对生物组织的三维结构获取尽可能详尽的信息。通过对生物组织的连续超薄切片成像，可以重构生物组织的三维空间结构，是生命科学研究的重要技术手段。其中，生物组织切片的厚度决定了组织成像的轴向分辨率，越薄的切片意味着越高的轴向分辨率。目前先进的切片技术可以实现厚度仅有几十纳米的生物组织切片，但是在对超薄生物组织切片进行无标记成像时，由于成像对比度主要源于切片不同部位生物组织的折射率差异，在超薄样本中，由于光作用距离短，差异体现不明显，成像对比度低，从而影响了对生物组织的观测。
现有技术通过快速采集大量超薄切片，以低分辨率绘制数千个组织切片，然后对兴趣区域进行高分辨率成像。为了精准关联和定位兴趣区域，对生物组织超薄切片无标记光学成像的高分辨率和高对比度提出了明确需求。
发明内容
为了克服现有技术的不足，本发明的目的之一在于提供一种偏振薄膜成像方法，能够增强多层薄膜之间反射光的干涉作用，从而大幅提升薄膜组织成像的对比度。
为了克服现有技术的不足，本发明的目的之二在于提供一种偏振薄膜成像装置，能够增强多层薄膜之间反射光的干涉作用，从而大幅提升薄膜组织成像的对比度。
本发明的目的之一采用如下技术方案实现：
一种偏振薄膜成像方法，包括以下步骤：
设备搭建：设置多组照明组件，每一所述照明组件发出一束偏振光；
仿真获得最优成像对比度：对于制备完成的生物样本，仿真模拟多层薄膜干涉成像过程，获得最优成像对比度；
计算入射光最优偏振态和偏振光最优入射角度：根据多层薄膜的层数、厚度、薄膜层折射率、最优成像对比度以及入射光波长计算入射光最优偏振态和偏振光最优入射角度；
调节入射光偏振态：通过旋转半波片，调节入射光电场相对生物样本的振荡方向，使入射光偏振态最优；
调节偏振光入射角度：偏振光通过光纤准直器射出并照射到生物样本上，调节光纤准直器在弧形支架上的位置，以调节偏振光相对生物样本的入射角度，使入射角度最优；
多路偏振光成像：多组照明组件发出多束偏振光，多束偏振光以最优偏振态以及最优入射角度照射至生物样本，生物样本反射的光在相机的探测平面多方位成像。
进一步的，计算偏振光入射角度步骤具体为：
假设平面波通过无限平面上的无损介质入射，在每个界面上都产生了反射和折射光线，光波在每个分层媒质中的特征矩阵的表达式如下：
（1），
其中，为波束，/> 为薄膜层复折射率，z为薄膜厚度，/> 为入射角，i为虚数符号，/> 为与偏振相关的物理量，当光以TE波的模式在介质中传播时，/>；当光以TM波的模式在介质中传播时，/>，其中，ε为介质相对介电常数，μ为介质相对磁导率，当成像样本为多层薄膜结构时，/>层薄膜的特征矩阵/>可以由单个媒质的特征矩阵/>按序相乘得出，即
（2），
此时，多层媒质等效为一个单层媒质，由电磁场的边界条件可以得到等效单层媒质的反射系数和反射率/>，分别为：
（3），
（4），
其中，和/>分别为第一层和最后一层的/>值，生物样本成像的对比度/> 定义为样本不同部位反射率（即/>和/>）的差值比，表达式如下：
（5），
根据最优成像对比度的值，计算出最优入射光偏振态和最优入射角/>。
进一步的，所述弧形支架调节范围为180度。
本发明的目的之二采用如下技术方案实现：
一种偏振薄膜成像装置，用于实施上述任意一种偏振薄膜成像方法，包括多组照明组件以及框架，每一组所述照明组件包括起偏器、半波片以及光纤准直器，所述起偏器以及半波片使光源的光形成最优偏振态的线偏光，所述框架包括弧形支架，所述光纤准直器安装于所述弧形支架的不同位置以调节偏振光的入射角度。
进一步的，所述偏振薄膜成像装置还包括三维平移台，所述三维平移台用于承载生物样本，所述弧形支架的数量为多个，多个所述弧形支架位于所述三维平移台上方并关于所述三维平移台对称。
进一步的，所述偏振薄膜成像装置还包括成像组件，多个所述弧形支架之间形成间隙，所述成像组件位于间隙处。
进一步的，所述框架还包括底座，所述底座呈圆形，所述弧形支架固定于所述底座，所述三维平移台位于所述底座中。
进一步的，所述框架还包括紧固件，所述弧形支架设有安装槽，所述安装槽呈弧形，所述光纤准直器安装于所述安装槽中并通过紧固件锁定。
进一步的，每一所述照明组件还包括光源，所述光源为连续光激光器或脉冲激光器中的一种。
进一步的，所述偏振薄膜成像装置还包括光源组件，所述光源组件包括光源、起偏器以及分光镜，多组所述照明组件均与所述光源组件连接共用所述光源。
相比现有技术，本发明偏振薄膜成像方法通过设备搭建、仿真获得最优成像对比度、计算入射光偏振态和入射角度、调节入射光偏振态、调节偏振光入射角度以及多路偏振光成像等步骤，采用具有稳定相位和可调偏振的多路激光按照最优角度照明，增强了多层薄膜之间反射光的干涉作用，从而大幅提升薄膜组织成像的对比度。
附图说明
图1为本发明偏振薄膜成像方法的流程图；
图2为本发明偏振薄膜成像装置的示意图；
图3为图2的偏振薄膜成像装置的框架的立体图；
图4为图3的准直器安装件的立体图；
图5为图2的偏振薄膜成像装置的使用示意图；
图6为生物样本的示意图；
图7为采用LED光源的宽场落射成像系统成像图；
图8为采用本发明偏振薄膜成像装置的成像图。
图中：10、照明组件；11、光源；12、起偏器；13、半波片；14、光纤耦合器；15、保偏光纤；16、光纤准直器；20、成像组件；21、物镜；22、筒镜；23、相机；30、三维平移台；40、框架；41、底座；410、主体；4101、连接槽；411、固定部；4110、固定孔；42、弧形支架；420、支架本体；4201、安装槽；421、安装部；4210、安装孔；43、安装组件；430、准直器安装件；4301、安装块；4302、夹持部；4303、锁紧孔；4304、通孔；4305、开槽；431、紧固件；200、生物样本。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在另一中间组件，通过中间组件固定。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在另一中间组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在另一中间组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及／或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
图1为本发明偏振薄膜成像方法的流程图，本发明偏振薄膜成像方法包括以下步骤：
设备搭建：设置多组照明组件10，每一照明组件10发出一束偏振光；
仿真获得最优成像对比度：对于制备完成的生物样本200，仿真模拟多层薄膜干涉成像过程，获得最优成像对比度；
计算入射光最优偏振态和偏振光最优入射角度：根据多层薄膜的层数、厚度、薄膜层折射率、最优成像对比度以及入射光波长计算入射光最优偏振态和偏振光最优入射角度；
调节入射光偏振态：通过旋转半波片13，调节入射光电场相对生物样本200的振荡方向，使入射光偏振态最优；
调节偏振光入射角度：偏振光通过光纤准直器16射出并照射到生物样本200上，调节光纤准直器16在弧形支架42上的位置，以调节偏振光相对生物样本200的入射角度，使入射角度最优；
多路偏振光成像：多组照明组件10发出多束偏振光，多束偏振光以最优偏振态以及最优入射角度照射至生物样本200，生物样本200反射的光在相机23的探测平面多方位成像。
具体的，在设备搭建步骤中，设置多组照明组件10，每一组照明组件10发出一束偏振光，就会有多束偏振光照在生物样本200上，形成二维或者三维空间多方位成像，可以消减激光成像的散斑作用，提升图像质量或降低图像解析的复杂度，提高对比度。
具体的，在仿真获得最优成像对比度步骤中，对于制备完成的生物样本200，其复折射率与薄膜厚度为确定值，在仿真程序中通过调试偏振态和入射角以获得最优成像对比度/>。
计算偏振光入射角度步骤具体为：
假设平面波通过无限平面上的无损介质入射，在每个界面上都产生了反射和折射光线，从麦克斯韦方程组出发，得到光波在每个分层媒质中的特征矩阵的表达式如下：
（1），
其中，为波束，/>为薄膜层复折射率，z为薄膜厚度，/>为入射角，i为虚数符号，/>为与偏振相关的物理量。当光以TE波的模式在介质中传播时，/>；当光以TM波传播时，/>，其中，ε为介质相对介电常数，μ为介质相对磁导率。当成像样本为多层薄膜结构时，/>层薄膜的特征矩阵/>可以由单个媒质的特征矩阵按序相乘得出，即
（2），
此时，多层媒质等效为一个单层媒质，由电磁场的边界条件可以得到等效单层媒质的反射系数和反射率/>，分别为：
（3），
（4），
其中，和/>分别为第一层和最后一层的/>值，生物样本成像的对比度/> 定义为样本不同部位反射率（即/>和/>）的差值比，表达式如下：
（5），
根据最优成像对比度的值，计算出最优入射光偏振态（即/>和/>成分占比）和最优入射角/>。采用最优偏振态和最优入射角，能够增强多层薄膜之间反射光的干涉作用，从而大幅提升薄膜组织成像的对比度，理论上最高可提升两个数量级，具体提升倍数取决于生物组织不同部位的折射率差异和多层薄膜的各层介质材料。
请继续参阅图2至图5，本发明还涉及用于实施上述偏振薄膜成像方法的偏振薄膜成像装置，偏振薄膜成像装置包括多组照明组件10、成像组件20、三维平移台30以及框架40。
每一组照明组件10包括依次设置的光源11、起偏器12、半波片13、光纤耦合器14、保偏光纤15以及光纤准直器16。光源11需采用偏振性较好的激光光源，且波长为可见光范围，即390nm-780nm。具体的，光源11为连续光激光器或脉冲激光器中的一种。光源11发出的空间光经过起偏器12和半波片13得到完全的线偏光，经过光纤耦合器14耦合入保偏光纤15，然后通过光纤准直器16出射至生物组织多层薄膜结构样本表面。通过旋转照明组件10中的半波片13，调节同一照明组件10的出射光的线偏振方向。半波片13旋转角度为0°-360°，涵盖所有的偏振方向。
多组照明组件10的出射光照射至生物样本200的同一位置。
在其他实施例中，多组照明组件10采用同一光源11，此时在光源11出口处增加起偏器12和分光镜。通常，每个照明组件10的完全线偏光具有相同的能量，也可根据需要，随机分配。
成像组件20包括物镜21、筒镜22以及相机23，物镜21、筒镜22以及相机23位于同一直线（探测轴）上。筒镜22位于物镜21以及相机23之间。物镜21靠近生物样本200。
三维平移台30用于承载生物样本200。通过三维平移台30的三轴精准调节生物样本200相对于线偏光照明点的位置。
框架40包括底座41、多个安装于底座41的弧形支架42以及多个用于安装光纤准直器16的安装组件43。
底座41包括主体410以及多个固定部411。主体410呈圆环形，主体410上设有连接槽4101，连接槽4101呈弧形，连接槽4101的数量为多个并且均匀分布于主体410，使主体410不同位置都能安装弧形支架42，使光纤准直器16能够安装在不同位置，并且在确保相同入射角的情况下，能够安装不同数量的光纤准直器16。固定部411从主体410延伸而出，固定部411上设有固定孔4110，底座41通过固定孔4110固定于工作台面。
弧形支架42包括支架本体420以及安装部421，支架本体420与安装部421一体成型。安装部421设有安装孔4210，弧形支架42的安装孔4210与连接槽4101对准，通过螺钉固定。支架本体420设有安装槽4201，安装槽4201用于安装光纤准直器16。安装槽4201呈弧形，并位于底座41上方。多个弧形支架42之间形成间隙，用于安装成像组件20。
安装组件43包括准直器安装件430以及紧固件431。准直器安装件430包括安装块4301以及两从安装块4301延伸而出的夹持部4302，夹持部4302呈凸起状。夹持部4302伸入弧形支架42的安装槽4201中，实现安装。安装块4301上设有收容光纤准直器16的通孔4304。安装块4301上还设有开槽4305，开槽4305与通孔4304连通，开槽4305使安装块4301能够变形，便于卡紧光纤准直器16。夹持部4302上设有锁紧孔4303，紧固件431伸入锁紧孔4303将光纤准直器16锁紧于准直器安装件430。
生物样本200为生物组织多层薄膜结构。
使用偏振薄膜成像装置时，将生物样本200放置于三维平移台30上，三维平移台30的三轴调节生物样本200相对于线偏光照明点的位置。根据生物样本200的层数、厚度、薄膜层折射率、最优成像对比度以及入射光波长计算偏振光最优入射角度，根据最优入射角度调节光纤准直器16在弧形支架42上的位置。多组照明组件10发出偏振光，偏振光照射至生物样本200，生物样本200反射的光由物镜21收集，经过筒镜22，在相机23的探测平面成像。
请继续参阅图6、图7以及图8，采用如图6所示的生物样本200，生物样本200包括生物组织超薄切片201、金属纳米镀层202、卷带层203和基底204。
具体采用50nm的脑组织切片（两个不同位置的折射率分别为1.426以及2.183+0.9645i），50nm的金属铁镀层（折射率为2.72+2.86i），50nm的Kapton卷带（折射率为1.8605+0.00084i），50nm的导电基底（折射率为1.8605+0.00084i）。采用本发明的偏振薄膜成像装置，当入射光的波长为488nm，入射角度为65°时，且线偏光方向为与入射面平行时（TM波），成像如附图7所示，可以获得10 a.u.的对比度。同样计算条件下，如果采用LED正入射照明，成像如附图6所示，成像对比度仅为1 a.u.，对比度提升约10倍。
以上实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进演变，都是依据本发明实质技术对以上实施例做的等同修饰与演变，这些都属于本发明的保护范围。
Claims (9)
1.一种偏振薄膜成像方法，其特征在于，包括以下步骤：
设备搭建：设置多组照明组件，每一所述照明组件发出一束偏振光；
仿真获得最优成像对比度：对于制备完成的生物样本，仿真模拟多层薄膜干涉成像过程，获得最优成像对比度的值；
计算入射光最优偏振态和偏振光最优入射角度：根据多层薄膜的层数、厚度、薄膜层折射率、最优成像对比度以及入射光波长计算入射光最优偏振态和偏振光最优入射角度，具体为：
假设平面波通过无限平面上的无损介质入射，在每个界面上都产生了反射和折射光线，光波在每个分层媒质中的特征矩阵的表达式如下：
（1）
其中，为波束，/> 为薄膜层复折射率，z为薄膜厚度，/> 为入射角，/>为虚数符号，/> 为与偏振相关的物理量，当光以TE波的模式在介质中传播时，/>；当光以TM波的模式在介质中传播时，/>，其中，ε为介质相对介电常数，μ为介质相对磁导率，当成像样本为多层薄膜结构时，/>层薄膜的特征矩阵/>由单个媒质的特征矩阵/>，j=1，2，……N，按序相乘得出，即
（2）
此时，多层媒质等效为一个单层媒质，由电磁场的边界条件得到等效单层媒质的反射系数r和反射率，分别为：
（3）
（4）
其中，和/>分别为第一层和最后一层的/>值，生物样本成像的对比度 定义为样本不同部位反射率，即/>和/>的差值比，表达式如下：
（5）
将已经获得的最优成像对比度的值，带入公式（5）至公式（1）计算出最优入射光偏振态和最优入射角/>；
调节入射光偏振态：通过旋转半波片，调节入射光电场相对生物样本的振荡方向，使入射光偏振态最优；
调节偏振光入射角度：偏振光通过光纤准直器射出并照射到生物样本上，调节光纤准直器在弧形支架上的位置，以调节偏振光相对生物样本的入射角度，使入射角度最优；
多路偏振光成像：多组照明组件发出多束偏振光，多束偏振光以最优偏振态以及最优入射角度照射至生物样本，生物样本反射的光在相机的探测平面多方位成像。
2.根据权利要求1所述的偏振薄膜成像方法，其特征在于：所述弧形支架调节范围为180度。
3.一种偏振薄膜成像装置，用于实施如权利要求1-2任意一项所述的偏振薄膜成像方法，其特征在于：包括多组照明组件以及框架，每一组所述照明组件包括起偏器、半波片以及光纤准直器，所述起偏器以及半波片使光源的光形成最优偏振态的线偏光，所述框架包括弧形支架，所述光纤准直器安装于所述弧形支架的不同位置以调节偏振光的入射角度。
4.根据权利要求3所述的偏振薄膜成像装置，其特征在于：所述偏振薄膜成像装置还包括三维平移台，所述三维平移台用于承载生物样本，所述弧形支架的数量为多个，多个所述弧形支架位于所述三维平移台上方并关于所述三维平移台对称。
5.根据权利要求4所述的偏振薄膜成像装置，其特征在于：所述偏振薄膜成像装置还包括成像组件，多个所述弧形支架之间形成间隙，所述成像组件位于间隙处。
6.根据权利要求4所述的偏振薄膜成像装置，其特征在于：所述框架还包括底座，所述底座呈圆形，所述弧形支架固定于所述底座，所述三维平移台位于所述底座中。
7.根据权利要求3所述的偏振薄膜成像装置，其特征在于：所述框架还包括紧固件，所述弧形支架设有安装槽，所述安装槽呈弧形，所述光纤准直器安装于所述安装槽中并通过紧固件锁定。
8.根据权利要求3所述的偏振薄膜成像装置，其特征在于：每一所述照明组件还包括光源，所述光源为连续光激光器或脉冲激光器中的一种。
9.根据权利要求3所述的偏振薄膜成像装置，其特征在于：所述偏振薄膜成像装置还包括光源组件，所述光源组件包括光源、起偏器以及分光镜，多组所述照明组件均与所述光源组件连接共用所述光源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202310652950.1A CN116380807B (zh) | 2023-06-05 | 2023-06-05 | 一种偏振薄膜成像方法以及装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202310652950.1A CN116380807B (zh) | 2023-06-05 | 2023-06-05 | 一种偏振薄膜成像方法以及装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN116380807A CN116380807A (zh) | 2023-07-04 |
| CN116380807B true CN116380807B (zh) | 2023-08-11 |
Family
ID=86971573
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202310652950.1A Active CN116380807B (zh) | 2023-06-05 | 2023-06-05 | 一种偏振薄膜成像方法以及装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN116380807B (zh) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5333052A (en) * | 1990-11-27 | 1994-07-26 | Orbotech Ltd. | Method and apparatus for automatic optical inspection |
| CA2407918A1 (en) * | 2002-05-13 | 2003-11-13 | Juan Manuel Bueno Garcia | Method and apparatus for imaging using polarimetry and matrix based image reconstruction |
| CN102292980A (zh) * | 2008-11-25 | 2011-12-21 | 泰特拉维公司 | 高分辨率三维成像的系统和方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW201512644A (zh) * | 2013-09-16 | 2015-04-01 | Ind Tech Res Inst | 光學檢測方法及其系統 |
-
2023
- 2023-06-05 CN CN202310652950.1A patent/CN116380807B/zh active Active
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5333052A (en) * | 1990-11-27 | 1994-07-26 | Orbotech Ltd. | Method and apparatus for automatic optical inspection |
| CA2407918A1 (en) * | 2002-05-13 | 2003-11-13 | Juan Manuel Bueno Garcia | Method and apparatus for imaging using polarimetry and matrix based image reconstruction |
| CN102292980A (zh) * | 2008-11-25 | 2011-12-21 | 泰特拉维公司 | 高分辨率三维成像的系统和方法 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| LiMn1-xFexPO4 (x =0, 0.1, 0.2) nanorods synthesized by a facile solvothermal approach as high performance cathode materials for lithium-ion batteries;Ye Hong等;Journal of Power Sources;全文 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN116380807A (zh) | 2023-07-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN107102526B (zh) | 基于逐点扫描的太赫兹反射式全息成像系统及成像方法 | |
| JP5721195B2 (ja) | 光学特性測定装置及び光学特性測定方法 | |
| CN107024848B (zh) | 基于逐点扫描的太赫兹透射式全息成像系统及成像方法 | |
| CN111257227B (zh) | 基于偏振自相关的暗场共焦显微测量装置和方法 | |
| CN108645831B (zh) | 多功能表面等离子体耦合发射荧光与拉曼检测仪及其检测方法 | |
| EP1875162A1 (en) | Determining positional error of an optical component using structured light patterns | |
| CN110108201B (zh) | 透反射双模式的高精度离轴数字全息显微装置及成像方法 | |
| EP2668465A1 (en) | Single-shot full-field reflection phase microscopy | |
| CN106841136B (zh) | 一种对超薄细胞的高精度轴向定位与成像方法与装置 | |
| WO2009009081A2 (en) | Tomographic phase microscopy | |
| WO2005026658A1 (en) | Interference scatterometer | |
| CN106691394B (zh) | 一种基于光程编码的高分辨长焦深oct成像系统和方法 | |
| CN111257226B (zh) | 基于偏振自相关的暗场共焦显微测量装置和方法 | |
| JP2010528281A (ja) | ピンホールカメラを有する撮像光学検査デバイス | |
| CN112798564A (zh) | 随机光学重建与结构光照明复合超分辨成像系统 | |
| JP2012080963A (ja) | Ｘ線画像撮影方法およびｘ線画像撮影装置 | |
| Yashchuk et al. | Calibration of the modulation transfer function of surface profilometers with binary pseudorandom test standards: expanding the application range to Fizeau interferometers and electron microscopes | |
| CN115480383A (zh) | 透射反射式数字全息显微系统 | |
| Wachulak et al. | A “water window” tomography based on a laser-plasma double-stream gas-puff target soft X-ray source | |
| US4523849A (en) | Front lighted optical tooling method and apparatus | |
| CN116380807B (zh) | 一种偏振薄膜成像方法以及装置 | |
| CN113758901B (zh) | 衍射层析显微成像系统及方法 | |
| CN117110205B (zh) | 一种角度连续可变的单波长椭偏测量装置及测量方法 | |
| Susemihl et al. | Specular reflectance properties of silvered polymer materials | |
| KR102315016B1 (ko) | 조각거울과 가림막을 이용한 반사형 ｆｐｍ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |