CN116356408A - 微尺度复杂功能结构弯月面约束电沉积增材制造装置及方法 - Google Patents
微尺度复杂功能结构弯月面约束电沉积增材制造装置及方法 Download PDFInfo
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Abstract
本发明涉及一种微尺度复杂功能结构弯月面约束电沉积增材制造装置及方法，属于3D打印技术与电沉积技术领域。包括底座、x方向移动装置、支架、z方向移动装置、摄像监控装置、y方向移动装置、绕z轴转动装置、喷头装置和打印平台。优点是结构新颖，通过对喷头结构的改进，利用电沉积原理，创造性的利用不同溶液、不同溶液种类数的配合，打印出适用于微机械系统领域的微型弹簧、微型导线、微型导管等微尺度复杂功能结构，改进了减材制造容易形成微裂纹等缺陷和传统弯月面约束法只适合打印线状结构的局限性。
Description
技术领域
本发明属于3D打印技术与电沉积技术领域，具体涉及一种微尺度复杂功能结构弯月面约束电沉积增材制造装置及方法。
背景技术
3D打印技术又称增材制造，它是一种以数字模型文件为基础，运用粉末状金属或聚合物等可粘合材料，通过逐层打印的方法来构造物体的技术。
弯月面约束电沉积技术属于电化学三维微沉积技术的一种，它依靠一个装有电解液的微量移液喷头，移液喷头的出口直径在数百纳米到数微米之间，当微量移液喷头接近基底的表面，在喷头出口和基底之间可以形成连续稳定的弯月面，并在外加电场作用下，使弯月面内部发生电化学反应，以在导体基底上形成具有三维形状特征的金属、合金、导电聚合物或半导体结构与零件。与其他的电化学三维微沉积技术相比，弯月面约束电沉积技术具有成型精度高，可制作复杂线状结构体等优点。
集微传感器、执行器及其电控系统和辅助器件于一体且兼具自响应、自处理和自感知等功能的微机械(电子)系统(Micro Electro Mechanical System，MEMS)自20世纪80年代中后期诞生后在航空航天、生物医疗、精密仪器、机器人以及军事等领域发挥着重要作用。对于开发和改善MEMS产品的加工方式，以期满足日趋复杂的产品结构，提高产品功能，一直是国内外各研究机构与学者关注的焦点。但受到加工精度、工艺等因素的限制，而难以制作微纳尺度的功能性结构部件，正是导致微机械系统难以实现的重要原因之一。
发明内容
本发明提供一种微尺度复杂功能结构弯月面约束电沉积增材制造装置及方法，用于生产出能够适用于微机械系统领域的微尺度复杂功能性结构。
本发明采取的技术方案是：包括底座、x方向移动装置、支架、z方向移动装置、摄像监控装置、y方向移动装置、绕z轴转动装置、喷头装置和打印平台，其中底座固定在安装平面上，x方向移动装置安装在底座上，支架与底座形成配合并且与x方向移动装置通过螺栓固定连接，z方向移动装置安装在支架上，y方向移动装置与z方向移动装置通过螺栓固定连接，绕z轴转动装置固定在喷头装置上，喷头装置与y方向移动装置通过螺栓固定连接，同时与绕z轴转动装置配合，摄像监控装置和打印平台固定在安装平面上。
本发明所述的x方向移动装置包括步进电机一、丝杠一、丝杠螺母一，其中步进电机一通过螺栓固定在底座上，丝杠螺母一安装在支架固定端中，采用螺栓固定，丝杠一两端分别安装在步进电机一和底座上，步进电机一的旋转带动丝杠一的旋转，进而带动与丝杠螺母一相连接的z方向移动装置沿x方向移动。
本发明所述的支架包括支架体和支架固定端，支架固定端通过螺栓与支架体连接。
本发明所述的z方向移动装置包括步进电机二、丝杠二和丝杠螺母二，其中步进电机二通过螺栓固定在支架体上，丝杠螺母二安装在x方向移动装置固定端中，采用螺栓固定，丝杠二两端分别安装在步进电机二和支架上，步进电机二的旋转带动丝杠二的旋转进而带动与丝杠螺母二相连接的y方向移动装置沿z方向移动。
本发明所述的摄像监控装置包括摄像机、支撑架和底座，其中底座固定在安装平面上，支撑架焊接在底座上，摄像机卡在支架上。
本发明所述的y方向移动装置包括固定端、支撑架、丝杠三、丝杠螺母三和步进电机三，其中丝杠三两端分别安装在步进电机三和支撑架上，步进电机三的旋转带动丝杠三的旋转，进而带动与丝杠螺母三相连接的喷头装置沿y方向移动。
本发明所述的绕z轴转动装置包括步进电机四和摩擦主动轮，步进电机四固定在喷头装置固定架上端上，摩擦主动轮和摩擦从动轮配合，步进电机的旋转带动摩擦主动轮的旋转，进而带动与摩擦主动轮相配合的摩擦从动轮的旋转，可最终实现喷头装置沿x轴、y轴、z轴三个方向的移动以及绕z轴转动的运动。
本发明所述的喷头装置包括固定架、喷头固定端、溶液存放管一、溶液存放管二、摩擦从动轮、喷头固定圆盘、溶液存放管三、电沉积反应液喷头和溶液存放管四，其中固定架下端与丝杠螺母固定连接，溶液存放管一与电沉积反应液喷头喷口孔一对应，溶液存放管二与电沉积反应液喷头喷口孔二对应，溶液存放管三与电沉积反应液喷头喷口孔三对应，溶液存放管四与电沉积反应液喷头喷口孔四对应。
本发明所述的打印平台包括底座、沉积平台、z轴移动控制器、y轴移动控制器、x轴移动控制器，其中，x轴移动控制器安装在底座的上部，y轴移动控制器安装在x轴移动控制器的上部，z轴移动控制器安装在y轴移动控制器的上部，沉积平台安装在z轴移动控制器的上部，底座固定在安装平面上。
一种微尺度复杂功能结构弯月面约束电沉积增材制造的方法，包括下列步骤：
(1)、电沉积反应液的配置：根据打印结构的需求，配制的材料为单一金属离子的盐溶液1～4种，将粉末状硫酸盐溶于去离子水，加入适量的浓硫酸用于稳定溶液pH值，得到所需的电沉积金属盐溶液；
(2)、模型数据转化：用Catia软件构建零件模型，将模型从Z方向切片分层处理，使每层厚度为微米级，将模型每层的图形信息导入到计算的控制程序中；
(3)、反应液注入：用移液管将不同的反应液转移到喷头装置中不同的溶液存放管中；
(4)、微尺度复杂功能性结构打印：将沉积平台连接至电源的负极，电沉积反应液倒入溶液存放管之后，将溶液存放管插入电极，然后塞紧溶液存放管，并卡紧电极，用导线连接至电源的正极，之后调整z轴移动装置使喷头装置靠近沉积平台，再通过z轴压电移动平台微调，使电沉积反应液喷头与沉积平台达到需要的初始距离，然后接通电源，施加电压，随着喷头的移动和转动，在沉积平台上开始逐层沉积金属，得到所需的微尺度复杂功能性结构；
(5)、零件的检测及干燥：打印结束后，取出零件用去离子水清洗并进行风干处理，并将所得零件进行SEM检测，观察零件表面形貌及晶粒组成结构，判断其结构和功能是否满足预定要求。
本发明的优点是结构新颖，通过对喷头结构的改进，利用电沉积原理，创造性的利用不同溶液、不同溶液种类数的配合，打印出适用于微机械系统领域的微型弹簧、微型导线、微型导管等微尺度复杂功能结构，改进了减材制造容易形成微裂纹等缺陷和传统弯月面约束法只适合打印线状结构的局限性。
附图说明
图1是本发明装置的结构示意图；
图2是本发明底座的结构示意图；
图3是本发明x方向移动装置的结构示意图；
图4是本发明支架的结构示意图；
图5是本发明z方向移动装置的结构示意图；
图6是本发明摄像监控装置的结构示意图；
图7是本发明y方向移动装置的结构示意图；
图8是本发明绕z轴转动装置的结构示意图；
图9是本发明喷头装置的结构示意图；
图10是本发明喷头装置中固定架的结构示意图；
图11是本发明喷头装置中溶液存放管的结构示意图；
图12是本发明喷头装置中电沉积反应液喷头的剖视图；
图13是本发明喷头装置中电沉积反应液喷头的俯视图；
图14是本发明打印平台的结构示意图。
具体实施方式
参见图1，包括底座1、x方向移动装置2、支架3、z方向移动装置4、摄像监控装置5、y方向移动装置6、绕z轴转动装置7、喷头装置8和打印平台9，其中底座1固定在安装平面上，x方向移动装置2安装在底座1上，支架3与底座1形成配合并且与x方向移动装置2通过螺栓固定连接，z方向移动装置4安装在支架3上，y方向移动装置6与z方向移动装置通过螺栓固定连接，绕z轴转动装置7固定在喷头装置8上，喷头装置8与y方向移动装置6通过螺栓固定连接，同时与绕z轴转动装置7配合，摄像监控装置5和打印平台9固定在安装平面上。
参见图2、3，所述的x方向移动装置2包括步进电机一201、丝杠一202、丝杠螺母一203，其中步进电机一201通过螺栓固定在底座101上，丝杠螺母一203安装在支架固定端302中，采用螺栓固定，丝杠一202两端分别安装在步进电机一201和底座101上，步进电机一201的旋转带动丝杠一202的旋转，进而带动与丝杠螺母一203相连接的z方向移动装置3沿x方向移动。
参见图4，所述的支架3包括支架体301和支架固定端302，支架固定端302通过螺栓与支架体301连接。
参见图5，所述的z方向移动装置4包括步进电机二401、丝杠二402和丝杠螺母二403，其中步进电机二401通过螺栓固定在支架体301上，丝杠螺母二403安装在x方向移动装置固定端601中，采用螺栓固定，丝杠二402两端分别安装在步进电机二401和支架301上，步进电机二401的旋转带动丝杠二402的旋转进而带动与丝杠螺母二403相连接的y方向移动装置6沿z方向移动。
参见图6，所述的摄像监控装置5包括摄像机501、支撑架502和底座503，其中底座503固定在安装平面上，支撑架502焊接在底座503上，摄像机501卡在支架502上。
参见图7，所述的y方向移动装置6包括固定端601、支撑架602、丝杠三603、丝杠螺母三604和步进电机三605，其中丝杠三603两端分别安装在步进电机三605和支撑架602上，步进电机三605的旋转带动丝杠三603的旋转，进而带动与丝杠螺母三604相连接的喷头装置8沿y方向移动。
参见图8，所述的绕z轴转动装置7包括步进电机四701和摩擦主动轮702，步进电机四701固定在喷头装置固定架上端上，摩擦主动轮702和摩擦从动轮804配合，步进电机701的旋转带动摩擦主动轮702的旋转，进而带动与摩擦主动轮702相配合的摩擦从动轮804的旋转，可最终实现喷头装置8沿x轴、y轴、z轴三个方向的移动以及绕z轴转动的运动。
参见图9、10、11、12、13，所述的喷头装置8包括固定架801、喷头固定端802、溶液存放管一803、摩擦从动轮804、喷头固定圆盘805、溶液存放管三806、电沉积反应液喷头807、溶液存放管四808和溶液存放管二809，其中固定架下端与丝杠螺母三604固定连接，溶液存放管一803与电沉积反应液喷头喷口孔一80702对应，溶液存放管二809与电沉积反应液喷头喷口孔二80703对应，溶液存放管三806与电沉积反应液喷头喷口孔三80701对应，溶液存放管四808与电沉积反应液喷头喷口孔四80704对应。传统弯月面约束电沉积法打印的只能打印线状结构缺少，而通过减材制造制作的零件会有重铸层、微裂纹、微孔隙和扭曲等缺陷，通过对于打印装置的改善，增加旋转幅同时改进喷头807的结构，在电沉积时步进电机四701的旋转带动喷头807旋转，由计算机控制的精密打印平台9调整位置进行位移的反向补偿，从而打印出线面状结合的复杂功能结构。
参见图14，所述的打印平台9包括底座901、沉积平台902、z轴移动控制器903、y轴移动控制器904、x轴移动控制器905，其中，x轴移动控制器905安装在底座901的上部，y轴移动控制器904安装在x轴移动控制器905的上部，z轴移动控制器903安装在y轴移动控制器904的上部，沉积平台902安装在z轴移动控制器903的上部，底座901固定在安装平面上，打印平台连接计算机，由计算机精密控制。
实施例1适用于微机械系统的弹簧的制备
(1)、电沉积反应液的配置：取CuSO4·5H2O，20g-30g、浓H2SO4，0-30mL，加入至适量的蒸馏水中，利用磁力搅拌器搅拌，使之混合均匀，配置成250mL电解液，另取NiSO4·6H2O，10g-20g、浓H2SO4，0-20mL，加入至适量的蒸馏水中，利用磁力搅拌器搅拌，使之混合均匀，配置成250mL电解液；
(2)、模型数据转化：用Catia软件构建弹簧模型，将模型从Z方向切片分层处理，使每层厚度为微米级，将模型每层的图形信息导入到计算的控制程序中；
(3)、反应液注入：用移液管将硫酸铜溶液转移到喷头装置中的溶液存放管一803中，将硫酸镍溶液转移到喷头装置中的溶液存放管二809中；
(4)、弹簧结构打印：将导电沉积平台902连接至电源的负极，溶液存放管一803盛装好硫酸铜溶液之后插入电极一，然后塞紧溶液存放管一803，并卡紧电极一，用导线连接至电源的正极，溶液存放管二809盛装好硫酸镍溶液之后插入电极二，然后塞紧溶液存放管二809，并卡紧电极二，用导线连接至电源的正极，之后调整z轴移动装置4使喷头装置8靠近沉积平台902上，再通过z轴压电移动平台903微调，使电沉积反应液喷头807与沉积平台达到需要的初始距离，然后接通电源，施加电压，随着喷头807的移动和转动，喷头孔一80702和喷头孔二80703在沉积平台上开始逐层螺旋状沉积金属，得到所需的弹簧结构，
(5)、弹簧的检测及干燥：打印结束后，取出弹簧用去离子水清洗并进行风干处理，并将所得弹簧进行SEM检测，观察弹簧表面形貌及晶粒组成结构，判断其结构和功能是否满足预定要求。
实施例2适用于微机械系统的微型导线的制备
(1)、电沉积反应液的配置：取CuSO4·5H2O，20g-30g、浓H2SO4，0-30mL，加入至适量的蒸馏水中，利用磁力搅拌器搅拌，使之混合均匀，配置成250mL电解液，另取NiSO4·6H2O，10g-20g、浓H2SO4，0-20mL，加入至适量的蒸馏水中，利用磁力搅拌器搅拌，使之混合均匀，配置成250mL电解液，取KAl(SO4)2·12H2O，40g-50g、浓H2SO4，0-50mL，加入至适量的蒸馏水中，利用磁力搅拌器搅拌，使之混合均匀，配置成250mL电解液；
(2)、模型数据转化：用Catia软件构建导线模型，将模型从Z方向切片分层处理，使每层厚度为微米级，将模型每层的图形信息导入到计算的控制程序中；
(3)、反应液注入：用移液管将硫酸铜溶液转移到喷头装置中的溶液存放管一803中，将硫酸镍溶液转移到喷头装置中的溶液存放管二809中，将硫酸铝溶液转移到喷头装置中的溶液存放管四808中；
(4)、导线结构打印：将导电沉积平台902连接至电源的负极，溶液存放管一803盛装好硫酸铜溶液之后插入电极一，然后塞紧溶液存放管一803，并卡紧电极一，用导线连接至电源的正极，溶液存放管二809盛装好硫酸镍溶液之后插入电极二，然后塞紧溶液存放管二809，并卡紧电极二，用导线连接至电源的正极，溶液存放管四808盛装好硫酸铝溶液之后插入电极三，然后塞紧溶液存放管四808，并卡紧电极三，用导线连接至电源的正极，之后调整z轴移动装置4使喷头装置8靠近沉积平台902上，再通过z轴压电移动平台903微调，使电沉积反应液喷头807与沉积平台达到需要的初始距离，然后接通电源，施加电压，随着喷头807的移动和转动，喷头孔一80702和喷头孔二80703在沉积平台上开始逐层螺旋状沉积金属，喷头孔四80704在沉积平台上开始逐层空心圆柱状沉积金属，得到所需的导线结构；
(5)、导线的检测及干燥：打印结束后，取出导线用去离子水清洗并进行风干处理，并将所得导线进行SEM检测，观察导线形貌及晶粒组成结构，判断其结构和功能是否满足预定要求。
实施例3适用于微机械系统的微型导管的制备
(1)、电沉积反应液的配置：取CuSO4·5H2O，20g-30g、浓H2SO4，0-30mL，加入至适量的蒸馏水中，利用磁力搅拌器搅拌，使之混合均匀，配置成250mL电解液，另取NiSO4·6H2O，10g-20g、浓H2SO4，0-20mL，加入至适量的蒸馏水中，利用磁力搅拌器搅拌，使之混合均匀，配置成250mL电解液，取AgNO3，20g-30g，加入至适量的蒸馏水中，利用磁力搅拌器搅拌，使之混合均匀，配置成250mL电解液，取KAl(SO4)2·12H2O，40g-50g、浓H2SO4，0-50mL，加入至适量的蒸馏水中，利用磁力搅拌器搅拌，使之混合均匀，配置成250mL电解液；
(2)、模型数据转化：用Catia软件构建导管模型，将模型从Z方向切片分层处理，使每层厚度为微米级，将模型每层的图形信息导入到计算的控制程序中；
(3)、反应液注入：反应液注入：用移液管将硫酸铜溶液转移到喷头装置中的溶液存放管一803中，用移液管将硫酸镍溶液转移到喷头装置中的溶液存放管二809中，用移液管将硝酸银溶液转移到喷头装置中的溶液存放管三806中，用移液管将硫酸铝溶液转移到喷头装置中的溶液存放管四808中；
(4)、导管结构打印：将导电沉积平台902连接至电源的负极，溶液存放管一80301盛装好硫酸铜溶液之后插入电极一，然后塞紧溶液存放管一803，并卡紧电极一，用导线连接至电源的正极，溶液存放管二809盛装好硫酸镍溶液之后插入电极二，然后塞紧溶液存放管二809，并卡紧电极二，用导线连接至电源的正极，溶液存放管三806盛装好硝酸银溶液之后插入电极三，然后塞紧溶液存放管三806，并卡紧电极三，用导线连接至电源的正极，溶液存放管四808盛装好硫酸铝溶液之后插入电极四，然后塞紧溶液存放管四808，并卡紧电极四，用导线连接至电源的正极，之后调整z轴移动装置4使喷头装置8靠近沉积平台902上，再通过z轴压电移动平台903微调，使电沉积反应液喷头807与沉积平台达到需要的初始距离，然后接通电源，施加电压，随着喷头807的移动和转动，喷头孔一80702和喷头孔二80703在沉积平台上开始逐层螺旋状沉积金属，喷头孔三80701在沉积平台上开始逐层在所沉积的螺旋状金属内侧空心圆柱状沉积金属，喷头孔四80704在沉积平台上开始逐层在所沉积的螺旋状金属外侧空心圆柱状沉积金属，得到所需的导管结构；
(5)、导管的检测及干燥：打印结束后，取出导管用去离子水清洗并进行风干处理，并将所得导管进行SEM检测，观察导管形貌及晶粒组成结构，判断其结构和功能是否满足预定要求。
Claims (10)
1.一种微尺度复杂功能结构弯月面约束电沉积增材制造装置，其特征在于：包括底座、x方向移动装置、支架、z方向移动装置、摄像监控装置、y方向移动装置、绕z轴转动装置、喷头装置和打印平台，其中底座固定在安装平面上，x方向移动装置安装在底座上，支架与底座形成配合并且与x方向移动装置通过螺栓固定连接，z方向移动装置安装在支架上，y方向移动装置与z方向移动装置通过螺栓固定连接，绕z轴转动装置固定在喷头装置上，喷头装置与y方向移动装置通过螺栓固定连接，同时与绕z轴转动装置配合，摄像监控装置和打印平台固定在安装平面上。
2.根据权利要求1所述的一种微尺度复杂功能结构弯月面约束电沉积增材制造装置，其特征在于：所述的x方向移动装置包括步进电机一、丝杠一、丝杠螺母一，其中步进电机一通过螺栓固定在底座上，丝杠螺母一安装在支架固定端中，采用螺栓固定，丝杠一两端分别安装在步进电机一和底座上，步进电机一的旋转带动丝杠一的旋转，进而带动与丝杠螺母一相连接的z方向移动装置沿x方向移动。
3.根据权利要求1所述的一种微尺度复杂功能结构弯月面约束电沉积增材制造装置，其特征在于：所述的支架包括支架体和支架固定端，支架固定端通过螺栓与支架体连接。
4.根据权利要求1所述的一种微尺度复杂功能结构弯月面约束电沉积增材制造装置，其特征在于：所述的z方向移动装置包括步进电机二、丝杠二和丝杠螺母二，其中步进电机二通过螺栓固定在支架体上，丝杠螺母二安装在x方向移动装置固定端中，采用螺栓固定，丝杠二两端分别安装在步进电机二和支架上，步进电机二的旋转带动丝杠二的旋转进而带动与丝杠螺母二相连接的y方向移动装置沿z方向移动。
5.根据权利要求1所述的一种微尺度复杂功能结构弯月面约束电沉积增材制造装置，其特征在于：所述的摄像监控装置包括摄像机、支撑架和底座，其中底座固定在安装平面上，支撑架焊接在底座上，摄像机卡在支架上。
6.根据权利要求1所述的一种微尺度复杂功能结构弯月面约束电沉积增材制造装置，其特征在于：所述的y方向移动装置包括固定端、支撑架、丝杠三、丝杠螺母三和步进电机三，其中丝杠三两端分别安装在步进电机三和支撑架上，步进电机三的旋转带动丝杠三的旋转，进而带动与丝杠螺母三相连接的喷头装置沿y方向移动。
7.根据权利要求1所述的一种微尺度复杂功能结构弯月面约束电沉积增材制造装置，其特征在于：所述的绕z轴转动装置包括步进电机四和摩擦主动轮，步进电机四固定在喷头装置固定架上端上，摩擦主动轮和摩擦从动轮配合，步进电机的旋转带动摩擦主动轮的旋转，进而带动与摩擦主动轮相配合的摩擦从动轮的旋转，可最终实现喷头装置沿x轴、y轴、z轴三个方向的移动以及绕z轴转动的运动。
8.根据权利要求1所述的一种微尺度复杂功能结构弯月面约束电沉积增材制造装置，其特征在于：所述的喷头装置包括固定架、喷头固定端、溶液存放管一、溶液存放管二、摩擦从动轮、喷头固定圆盘、溶液存放管三、电沉积反应液喷头和溶液存放管四，其中固定架下端与丝杠螺母固定连接，溶液存放管一与电沉积反应液喷头喷口孔一对应，溶液存放管二与电沉积反应液喷头喷口孔二对应，溶液存放管三与电沉积反应液喷头喷口孔三对应，溶液存放管四与电沉积反应液喷头喷口孔四对应。
9.根据权利要求1所述的一种微尺度复杂功能结构弯月面约束电沉积增材制造装置，其特征在于：所述的打印平台包括底座、沉积平台、z轴移动控制器、y轴移动控制器、x轴移动控制器，其中，x轴移动控制器安装在底座的上部，y轴移动控制器安装在x轴移动控制器的上部，z轴移动控制器安装在y轴移动控制器的上部，沉积平台安装在z轴移动控制器的上部，底座固定在安装平面上。
10.采用如权利要求1～9任一项所述的微尺度复杂功能结构弯月面约束电沉积增材制造装置的增材制造方法，其特征在于，包括下列步骤：
(1)、电沉积反应液的配置：根据打印结构的需求，配制的材料为单一金属离子的盐溶液1～4种，将粉末状硫酸盐溶于去离子水，加入适量的浓硫酸用于稳定溶液pH值，得到所需的电沉积金属盐溶液；
(2)、模型数据转化：用Catia软件构建零件模型，将模型从Z方向切片分层处理，使每层厚度为微米级，将模型每层的图形信息导入到计算的控制程序中；
(3)、反应液注入：用移液管将不同的反应液转移到喷头装置中不同的溶液存放管中；
(4)、微尺度复杂功能性结构打印：将沉积平台连接至电源的负极，电沉积反应液倒入溶液存放管之后，将溶液存放管插入电极，然后塞紧溶液存放管，并卡紧电极，用导线连接至电源的正极，之后调整z轴移动装置使喷头装置靠近沉积平台，再通过z轴压电移动平台微调，使电沉积反应液喷头与沉积平台达到需要的初始距离，然后接通电源，施加电压，随着喷头的移动和转动，在沉积平台上开始逐层沉积金属，得到所需的微尺度复杂功能性结构；
(5)、零件的检测及干燥：打印结束后，取出零件用去离子水清洗并进行风干处理，并将所得零件进行SEM检测，观察零件表面形貌及晶粒组成结构，判断其结构和功能是否满足预定要求。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202310344788.7A CN116356408A (zh) | 2023-04-02 | 2023-04-02 | 微尺度复杂功能结构弯月面约束电沉积增材制造装置及方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202310344788.7A CN116356408A (zh) | 2023-04-02 | 2023-04-02 | 微尺度复杂功能结构弯月面约束电沉积增材制造装置及方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN116356408A true CN116356408A (zh) | 2023-06-30 |
Family
ID=86920631
Family Applications (1)
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| CN202310344788.7A Pending CN116356408A (zh) | 2023-04-02 | 2023-04-02 | 微尺度复杂功能结构弯月面约束电沉积增材制造装置及方法 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN116356408A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN118028929A (zh) * | 2024-04-12 | 2024-05-14 | 宁波福至新材料有限公司 | 一种cqfp引线框架表面处理方法及电镀装置 |
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2023
- 2023-04-02 CN CN202310344788.7A patent/CN116356408A/zh active Pending
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