CN116356289B - 一种石墨舟卡点、石墨舟及镀膜方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种石墨舟卡点，包括：连接件，所述连接件连接在石墨舟的石墨舟片上的石墨舟卡点安装孔内；两对称布置的卡接件，两卡接件分别螺纹连接在所述连接件两端，所述卡接件与连接件之间形成硅片卡接槽，所述硅片卡接槽用于硅片的安装。本发明中，石墨舟卡点设计为连接件和卡接件的可拆式设计。由此，本发明能够解决现有的石墨舟卡点为一体化设计，在对其进行更换时，不能单独对磨损部位进行更换，极大的增加了石墨舟卡点的更换成本的技术问题的技术问题。
Description
技术领域
本发明涉及太阳能电池生产技术领域，特别涉及一种石墨舟卡点、石墨舟及镀膜方法。
背景技术
PECVD系统是一组利用石墨舟和高频等离子激发器的系列发生器，在低压和升温的情况下，等离子发生器直接装在镀膜板中间发生反应，所用的活性气体为硅烷硅烷和氨气，在真空、480摄氏度的环境温度下，通过对石墨舟的导电，使得这些气体作用形成氮化硅并存储在硅片上，由此完成硅片的镀膜，可以根据改变硅烷对氨气的比率，来得到不同的折射指数；
在进行镀膜前需将硅片通过石墨舟卡点安装在石墨舟上，石墨舟卡点在使用过程中会造成磨损，石墨舟卡点的磨损会导致镀膜均匀性降低，因此每隔2-3个月需对石墨舟卡点进行更换，现有的石墨舟卡点为一体化设计，在对其进行更换时，不能单独对磨损部位进行更换，极大的增加了石墨舟卡点的更换成本。
发明内容
本发明提供一种石墨舟卡点、石墨舟及镀膜方法，用以解决现有的石墨舟卡点为一体化设计，在对其进行更换时，不能单独对磨损部位进行更换，极大的增加了石墨舟卡点的更换成本的技术问题。
为解决上述技术问题，本发明公开了一种石墨舟卡点，包括：
连接件，所述连接件连接在石墨舟的石墨舟片上的石墨舟卡点安装孔内；
两对称布置的卡接件，两卡接件分别螺纹连接在所述连接件两端，所述卡接件与连接件之间形成硅片卡接槽，所述硅片卡接槽用于硅片的安装。
优选的，所述连接件包括螺纹连接件和盘体，所述盘体螺纹连接在螺纹连接件中部，所述卡接件螺纹连接在所述螺纹连接件两端。
优选的，所述盘体内开设有收纳槽，所述收纳槽内固定连接有导向筒体，所述导向筒体内滑动连接有导向杆，所述导向杆与所述导向筒体之间固定连接有第一弹性件，所述导向杆远离所述导向筒体的一端固定连接有抵接板体。
优选的，所述卡接件包括：
T型台体，所述T型台体螺纹连接在所述连接件两端；
若干弧形扩容件，若干所述弧形扩容件沿T型台体径向滑动连接在T型台体的扩容件安装滑槽内，所述弧形扩容件与所述扩容件安装滑槽内壁之间通过第二弹性件连接。
优选的，所述T型台体设有扩容驱动组件，所述扩容驱动组件包括：
驱动丝杠，所述驱动丝杠转动连接在所述T型台体内壁，所述驱动丝杠上设有第一驱动件，所述第一驱动件用于驱动所述驱动丝杠转动；
若干环形布置的L型导向件，所述L型导向件与所述弧形扩容件一一对应，所述L型导向件上滑动连接有扩容执行筒体，所述扩容执行筒体与所述L型导向件之间通过第三弹性件连接；
驱动螺母，所述驱动螺母螺纹连接在所述驱动丝杠上，所述驱动螺母上环形铰链连接有若干扩容杆件，所述扩容杆件远离所述驱动螺母的一端与所述扩容执行筒体铰链连接。
优选的，还包括：
环形啮合齿，所述环形啮合齿固定连接在所述T型台体内；
啮合筒体，所述啮合筒体转动连接在所述连接件的螺纹连接件上，所述啮合筒体外壁与所述环形啮合齿相互啮合；
齿轮转轴，所述齿轮转轴转动连接在所述螺纹连接件内，所述齿轮转轴上设有第二驱动件，所述第二驱动件用于驱动所述齿轮转轴转动；
筒体啮合齿轮，所述筒体啮合齿轮键连接在所述齿轮转轴上，所述筒体啮合齿轮与所述啮合筒体内壁相互啮合。
优选的，还包括：
石墨舟卡点更换提示系统，所述石墨舟卡点更换提示系统用于监测石墨舟卡点的使用状况，并在石墨舟卡点使用状况不佳时进行报警提示，所述石墨舟卡点更换提示系统包括：
压力传感器，所述压力传感器设置在所述卡接件的a侧面上，用于检测a侧面所受的压力；
计数器，所述计数器设置在所述石墨舟卡点上，用于检测所述石墨舟卡点的使用次数；
控制器，报警器，所述控制器与所述压力传感器、计数器和报警器电连接，所述控制器基于所述压力传感器和所述计数器控制所述报警器报警，包括以下步骤：
步骤一：基于所述压力传感器和公式(1)，计算石墨舟卡点第i次使用的实际磨损程度衡量系数：
其中，为石墨舟卡点第i次使用的实际磨损程度衡量系数，V0为石墨卡点的单次使用预设磨损体积，Fi为石墨舟卡点第i次使用时所述压力传感器的检测值，li为石墨舟卡点第i次使用时沿卡接件a侧面径向方向卡接件a侧面与硅片的接触长度，HBS为a侧面的硬度衡量值，单位为N/mm2，σ为卡接件的材料脱落系数，其量纲为一，e为自然数，取值为2.71，A为硅片与a侧面的接触面积，/>为压力传感器检测值为Fi时对应的石墨舟卡点的预设磨损深度,/>为石墨舟卡点第i次使用时的实际磨损体积量，/>为石墨舟卡点第i次使用时的实际磨损深度；
步骤二：基于步骤一、计数器和公式(2)，计算石墨舟卡点的实际累积磨损程度衡量系数：
其中，为石墨舟卡点的实际累积磨损程度衡量系数，α为基于石墨舟卡点更换提示系统的实际累积磨损程度衡量系数的偏差纠正系数，/>为基于石墨舟卡点使用环境的实际累积磨损程度衡量系数的偏差纠正系数，n为所述计数器的检测值；
步骤三：所述控制器比较所述石墨舟卡点的实际累积磨损程度衡量系数和石墨舟卡点的预设累积磨损程度衡量系数，若石墨舟卡点的实际累积磨损程度衡量系数大于石墨舟卡点的预设累积磨损程度衡量系数，则所述报警器报警。
一种石墨舟，包括若干石墨舟片，若干石墨舟片平行布置，且通过均匀间隔布置的陶瓷杆连接为一体，形成石墨舟，相邻石墨舟片之间的陶瓷杆上套设有陶瓷短筒，所述陶瓷短筒两端面分别与两相邻的石墨舟片侧面相抵；
所述石墨舟片上设有若干硅片安装槽，所述硅片安装槽包括三条卡接边和一条进料边，三条卡接边依次相邻布置，所述卡接边上开设有若干石墨舟卡点安装孔。
一种镀膜方法，包括以下步骤：
步骤一：将石墨舟和待镀膜的硅片清洗烘干；
步骤二：将清洗烘干后的硅片放入石墨舟的硅片安装槽内，并通过石墨舟卡点将硅片卡接在硅片卡接槽内，使得硅片安装在石墨舟片上；
步骤三：硅片一一安装完毕后，将石墨舟放在推舟上，推舟承载石墨舟将其送入PECVD管式主机台中；
步骤四：关闭炉门，检查PECVD管式主机台内镀膜炉的密封性，若密封良好，则将镀膜炉内的空气抽出，之后向镀膜炉内通入氮气，再次检查镀膜炉的密封性，若密封性良好，则向镀膜炉内通入硅烷和氨气，并保持镀膜炉内温度在420℃-465℃，硅烷和氨气在420V电压下反应生成氮化硅，生成的氮化硅沉积在硅片上；
步骤五：对镀膜后的硅片进行吹扫后，推舟将石墨舟推出PECVD管式主机台；
步骤六：对镀膜后的硅片进行质检，剔除不合格品。
优选的，对镀膜后的硅片进行质检，剔除不合格品包括：通过椭偏机对硅片上的膜厚进行检测，通过检测结果对镀膜均匀度进行判断：
沿硅片镀膜平面的其中一对角线取间隔均匀的x个点，通过椭偏机分别对x个点处的镀膜厚度进行检测，得到每个点处对应的镀膜厚度值；
计算硅片的实际镀膜不均匀度系数：
其中，τ为硅片的实际镀膜不均匀度系数，e为自然数，取值为2.71，为x个点对应的镀膜厚度中的最大值，/>为x个点对应的镀膜厚度中的最小值，/>为硅片的基准镀膜厚度，/>为第M个点对应的镀膜厚度值；
当硅片的实际镀膜不均匀度系数大于硅片的预设镀膜不均匀度系数时，将该硅片剔除，将其表面的氮化硅清洗后，检查硅片质量，若此时硅片质量达标，则将其重新投入产线。
下面通过附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1为本发明石墨舟卡点结构示意图。
图2为本发明图1的A处局部放大图。
图3为本发明图1的B处局部放大图。
图4为本发明石墨舟结构示意图。
图5为本发明石墨舟片结构示意图。
图中：1、连接件；100、螺纹连接件；101、盘体；1010、收纳槽；1011、导向筒体；1012、导向杆；1013、第一弹性件；1014、抵接板体；2、卡接件；200、T型台体；2000、扩容件安装滑槽；2001、第二弹性件；2002、驱动丝杠；2003、L型导向件；2004、扩容执行筒体；2005、第三弹性件；2006、驱动螺母；2007、扩容杆件；201、弧形扩容件；202、环形啮合齿；2020、啮合筒体；2021、齿轮转轴；2022、筒体啮合齿轮；2023、a侧面；3、石墨舟；300、石墨舟卡点安装孔；301、硅片卡接槽；302、硅片；303、石墨舟片；304、陶瓷短筒；305、硅片安装槽；306、三条卡接边；307、进料边。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。
另外，在本发明中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，并非特别指称次序或顺位的意思，亦非用以限定本发明，其仅仅是为了区别以相同技术用语描述的组件或操作而已，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案以及技术特征可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。
本发明提供如下实施例：
实施例1
本发明实施例提供了一种石墨舟卡点，如图1-5所示，包括：
连接件1，所述连接件1连接在石墨舟3的石墨舟片303上的石墨舟卡点安装孔300内；
两对称布置的卡接件2，两卡接件2分别螺纹连接在所述连接件1两端，所述卡接件2与连接件1之间形成硅片卡接槽301，所述硅片卡接槽301用于硅片302的安装。
上述技术方案的工作原理及有益效果为：使用时将硅片302放置在硅片卡接槽301内，石墨舟卡点的磨损部位主要集中在卡接件2上，当卡接件2磨损时，由于卡接件2与连接件1为螺纹连接，可将磨损的卡接件2拆下换上新的卡接件2，由此实现单独对石墨舟卡点磨损部位的更换，节约石墨舟卡点的更换成本。
实施例2
在上述实施例1的基础上，所述连接件1包括螺纹连接件100和盘体101，所述盘体101螺纹连接在螺纹连接件100中部，所述卡接件2螺纹连接在所述螺纹连接件100两端；
所述盘体101内开设有收纳槽1010，所述收纳槽1010内固定连接有导向筒体1011，所述导向筒体1011内滑动连接有导向杆1012，所述导向杆1012与所述导向筒体1011之间固定连接有第一弹性件1013，所述导向杆1012远离所述导向筒体1011的一端固定连接有抵接板体1014；
所述卡接件2包括：
T型台体200，所述T型台体200螺纹连接在所述连接件1两端；
若干弧形扩容件201，若干所述弧形扩容件201沿T型台体200径向滑动连接在T型台体200的扩容件安装滑槽2000内，所述弧形扩容件201与所述扩容件安装滑槽2000内壁之间通过第二弹性件2001连接；
所述T型台体200设有扩容驱动组件，所述扩容驱动组件包括：
驱动丝杠2002，所述驱动丝杠2002转动连接在所述T型台体200内壁，所述驱动丝杠2002上设有第一驱动件，所述第一驱动件用于驱动所述驱动丝杠2002转动；
若干环形布置的L型导向件2003，所述L型导向件2003与所述弧形扩容件201一一对应，所述L型导向件2003上滑动连接有扩容执行筒体2004，所述扩容执行筒体2004与所述L型导向件2003之间通过第三弹性件2005连接；
驱动螺母2006，所述驱动螺母2006螺纹连接在所述驱动丝杠2002上，所述驱动螺母2006上环形铰链连接有若干扩容杆件2007，所述扩容杆件2007远离所述驱动螺母2006的一端与所述扩容执行筒体2004铰链连接；
环形啮合齿202，所述环形啮合齿202固定连接在所述T型台体200内；
啮合筒体2020，所述啮合筒体2020转动连接在所述连接件1的螺纹连接件100上，所述啮合筒体2020外壁与所述环形啮合齿202相互啮合；
齿轮转轴2021，所述齿轮转轴2021转动连接在所述螺纹连接件100内，所述齿轮转轴2021上设有第二驱动件，所述第二驱动件用于驱动所述齿轮转轴2021转动；
筒体啮合齿轮2022，所述筒体啮合齿轮2022键连接在所述齿轮转轴2021上，所述筒体啮合齿轮2022与所述啮合筒体2020内壁相互啮合。
上述技术方案的工作原理及有益效果为：硅片302安装时，将硅片302如图1所示安装在硅片卡接槽301内，通过若干石墨舟卡点的相互配合实现硅片302与石墨舟片303之间的连接；
可根据硅片302的厚度调节硅片卡接槽301的宽度，调节时第二驱动件驱动所述齿轮转轴2021转动，齿轮转轴2021转动带动筒体啮合齿轮2022转动，筒体啮合齿轮2022转动带动啮合筒体2020转动，啮合筒体2020转动带动环形啮合齿202转动，从而使得T型台体200转动，由于T型台体200与螺纹连接件100螺纹连接，在螺纹的作用下T型台体200转动可调节硅片卡接槽301的宽度，从而实现硅片卡接槽301宽度的粗调，同时由于导向杆1012与所述导向筒体1011之间固定连接有第一弹性件1013，在第一弹性件1013的作用下抵接板体1014会向硅片302侧面微量运动，从而实现硅片卡接槽301的微调，由此使得石墨舟卡点可适应不同厚度的硅片302；
可根据硅片302的不同安装需求，调节T型台体200与硅片302之间的受力情况，从而提高硅片302镀膜质量，调节时第一驱动件驱动所述驱动丝杠2002转动，驱动丝杠2002转动带动驱动螺母2006沿驱动丝杠2002运动，驱动螺母2006沿驱动丝杠2002运动从而带动扩容杆件2007运动，扩容杆件2007运动带动扩容执行筒体2004沿L型导向件2003滑动，从而使得扩容执行筒体2004推动弧形扩容件201向远离T型台体200轴线的方向运动，从而扩大卡接件2对硅片302的作用面积，通过调节卡接件2对硅片302的作用面积适应不同硅片302的安装需求，提高石墨舟卡点产品适应范围的同时可有效提高不同规格硅片302的镀膜质量。
实施例3
在实施例1或2的基础上，石墨舟卡点更换提示系统，所述石墨舟卡点更换提示系统用于监测石墨舟卡点的使用状况，并在石墨舟卡点使用状况不佳时进行报警提示，所述石墨舟卡点更换提示系统包括：
压力传感器，所述压力传感器设置在所述卡接件2的a侧面2023上，用于检测a侧面2023所受的压力；
计数器，所述计数器设置在所述石墨舟卡点上，用于检测所述石墨舟卡点的使用次数；
控制器，报警器，所述控制器与所述压力传感器、计数器和报警器电连接，所述控制器基于所述压力传感器和所述计数器控制所述报警器报警，包括以下步骤：
步骤一：基于所述压力传感器和公式(1)，计算石墨舟卡点第i次使用的实际磨损程度衡量系数：
其中，为石墨舟卡点第i次使用的实际磨损程度衡量系数，V0为石墨卡点的单次使用预设磨损体积，Fi为石墨舟卡点第i次使用时所述压力传感器的检测值，li为石墨舟卡点第i次使用时沿卡接件2a侧面2023径向方向卡接件2a侧面2023与硅片302的接触长度，HBS为a侧面2023的硬度衡量值，单位为N/mm2，σ为卡接件2的材料脱落系数，其量纲为一，e为自然数，取值为2.71，A为硅片302与a侧面2023的接触面积，/>为压力传感器检测值为Fi时对应的石墨舟卡点的预设磨损深度,/>为石墨舟卡点第i次使用时的实际磨损体积量，/>为石墨舟卡点第i次使用时的实际磨损深度；
步骤二：基于步骤一、计数器和公式(2)，计算石墨舟卡点的实际累积磨损程度衡量系数：
其中，为石墨舟卡点的实际累积磨损程度衡量系数，α为基于石墨舟卡点更换提示系统的实际累积磨损程度衡量系数的偏差纠正系数，/>为基于石墨舟卡点使用环境的实际累积磨损程度衡量系数的偏差纠正系数，n为所述计数器的检测值；
步骤三：所述控制器比较所述石墨舟卡点的实际累积磨损程度衡量系数和石墨舟卡点的预设累积磨损程度衡量系数，若石墨舟卡点的实际累积磨损程度衡量系数大于石墨舟卡点的预设累积磨损程度衡量系数，则所述报警器报警。
上述技术方案的工作原理及有益效果为：石墨舟卡点的磨损会对硅片302的镀膜的均匀性造成极大的影响，由此石墨舟卡点需在2-3个月更换依次，以保证硅片302的镀膜质量，石墨舟卡点更换提示系统的设计可及时提醒工作人员对磨损程度较严重的石墨舟卡点进行更换，避免石墨舟卡点不及时更换带来的不良影响；
通过对单次石墨舟卡点实际磨损程度衡量系数的计算，再将单次石墨舟卡点实际磨损程度衡量系数进行累积，由此预估石墨舟卡点整体的磨损情况，在计算石墨舟卡点第i次使用的实际磨损程度衡量系数时，除考虑石墨舟卡点第i次使用时的实际磨损体积量外，还考虑到了石墨舟卡点第i次使用时的实际磨损深度/>由此增加石墨舟卡点第i次使用的实际磨损程度衡量系数的准确度，算石墨舟卡点的实际累积磨损程度衡量系数时，考虑到了石墨舟卡点更换提示系统自身对检测结果造成的偏差的影响α，同时考虑到每次使用时外界环境不同对检测结果造成的偏差的影响/>从而使得石墨舟卡点的实际累积磨损程度衡量系数更加准确；
所述控制器比较所述石墨舟卡点的实际累积磨损程度衡量系数和石墨舟卡点的预设累积磨损程度衡量系数，若石墨舟卡点的实际累积磨损程度衡量系数大于石墨舟卡点的预设累积磨损程度衡量系数，则所述报警器报警，此时证明该石墨舟卡点应该进行更换。
实施例4
在实施例1-3任意一项的基础上，本发明实施例提供了一种石墨舟卡点，包括若干石墨舟片303，若干石墨舟片303平行布置，且通过均匀间隔布置的陶瓷杆连接为一体，形成石墨舟3，相邻石墨舟片303之间的陶瓷杆上套设有陶瓷短筒304，所述陶瓷短筒304两端面分别与两相邻的石墨舟片303侧面相抵；
所述石墨舟片303上设有若干硅片安装槽305，所述硅片安装槽305包括三条卡接边306和一条进料边307，三条卡接边306依次相邻布置，所述卡接边306上开设有若干石墨舟卡点安装孔300。
上述技术方案的工作原理及有益效果为：硅片302安装时将硅片302从进料边307处插入硅片安装槽305内，之后用石墨舟卡点安装孔300内的石墨舟卡点实现硅片302与石墨舟片303之间的安装。
实施例5
在实施例1-4任意一项的基础上，本发明实施例提供了一种镀膜方法，包括以下步骤：
步骤一：将石墨舟3和待镀膜的硅片302清洗烘干；
步骤二：将清洗烘干后的硅片302放入石墨舟3的硅片安装槽305内，并通过石墨舟卡点将硅片302卡接在硅片卡接槽301内，使得硅片302安装在石墨舟片303上；
步骤三：硅片302一一安装完毕后，将石墨舟3放在推舟上，推舟承载石墨舟3将其送入PECVD管式主机台中；
步骤四：关闭炉门，检查PECVD管式主机台内镀膜炉的密封性，若密封良好，则将镀膜炉内的空气抽出，之后向镀膜炉内通入氮气，再次检查镀膜炉的密封性，若密封性良好，则向镀膜炉内通入硅烷和氨气，并保持镀膜炉内温度在420℃-465℃，硅烷和氨气在420V电压下反应生成氮化硅，生成的氮化硅沉积在硅片302上；
步骤五：对镀膜后的硅片302进行吹扫后，推舟将石墨舟3推出PECVD管式主机台；
步骤六：对镀膜后的硅片302进行质检，剔除不合格品。
上述技术方案的工作原理及有益效果为：对石墨舟3和待镀膜的硅片302的清洗烘干可避免石墨舟3和待镀膜的硅片302上的杂质对镀膜质量的影响，对PECVD管式主机台内镀膜炉的密封性的检测，有助于保证镀膜质量。
实施例6
在实施例5的基础上，对镀膜后的硅片302进行质检，剔除不合格品包括：通过椭偏机对硅片302上的膜厚进行检测，通过检测结果对镀膜均匀度进行判断：
沿硅片302镀膜平面的其中一对角线取间隔均匀的x个点，通过椭偏机分别对x个点处的镀膜厚度进行检测，得到每个点处对应的镀膜厚度值；
计算硅片302的实际镀膜不均匀度系数：
其中，τ为硅片302的实际镀膜不均匀度系数，e为自然数，取值为2.71，为x个点对应的镀膜厚度中的最大值，/>为x个点对应的镀膜厚度中的最小值，/>为硅片302的基准镀膜厚度，/>为第M个点对应的镀膜厚度值；
当硅片302的实际镀膜不均匀度系数大于硅片302的预设镀膜不均匀度系数时，将该硅片302剔除，将其表面的氮化硅清洗后，检查硅片302质量，若此时硅片302质量达标，则将其重新投入产线。
上述技术方案的工作原理及有益效果为：取硅片302镀膜平面的其中一对角线上的点作为检测点，取样范围广，可提高镀膜均匀度判断的准确性，计算硅片302的实际镀膜不均匀度系数时，除引入每处点对应膜厚度与该硅片上点对应膜厚度的平均值之差外还引入了x个点对应的镀膜厚度中的最大值与x个点对应的镀膜厚度中的最小值之差/>从而避免出现膜厚度最值相差较大却归为合格品情况的发生，提高对镀膜均匀度判断的准确度，当硅片302的实际镀膜不均匀度系数大于硅片302的预设镀膜不均匀度系数时，将该硅片302剔除，将其表面的氮化硅清洗后，检查硅片302质量，若此时硅片302质量达标，则将其重新投入产线，由此节约生产成本。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (7)
1.一种石墨舟卡点，其特征在于，包括：
连接件(1)，所述连接件(1)连接在石墨舟(3)的石墨舟片(303)上的石墨舟卡点安装孔(300)内；
两对称布置的卡接件(2)，两卡接件(2)分别螺纹连接在所述连接件(1)两端，所述卡接件(2)与连接件(1)之间形成硅片卡接槽(301)，所述硅片卡接槽(301)用于硅片(302)的安装；
所述卡接件(2)包括：
T型台体(200)，所述T型台体(200)螺纹连接在所述连接件(1)两端；
若干弧形扩容件(201)，若干所述弧形扩容件(201)沿T型台体(200)径向滑动连接在T型台体(200)的扩容件安装滑槽(2000)内，所述弧形扩容件(201)与所述扩容件安装滑槽(2000)内壁之间通过第二弹性件(2001)连接；
所述T型台体(200)设有扩容驱动组件，所述扩容驱动组件包括：
驱动丝杠(2002)，所述驱动丝杠(2002)转动连接在所述T型台体(200)内壁，所述驱动丝杠(2002)上设有第一驱动件，所述第一驱动件用于驱动所述驱动丝杠(2002)转动；
若干环形布置的L型导向件(2003)，所述L型导向件(2003)与所述弧形扩容件(201)一一对应，所述L型导向件(2003)上滑动连接有扩容执行筒体(2004)，所述扩容执行筒体(2004)与所述L型导向件(2003)之间通过第三弹性件(2005)连接；
驱动螺母(2006)，所述驱动螺母(2006)螺纹连接在所述驱动丝杠(2002)上，所述驱动螺母(2006)上环形铰链连接有若干扩容杆件(2007)，所述扩容杆件(2007)远离所述驱动螺母(2006)的一端与所述扩容执行筒体(2004)铰链连接。
2.根据权利要求1所述的一种石墨舟卡点，其特征在于，所述连接件(1)包括螺纹连接件(100)和盘体(101)，所述盘体(101)螺纹连接在螺纹连接件(100)中部，所述卡接件(2)螺纹连接在所述螺纹连接件(100)两端。
3.根据权利要求2所述的一种石墨舟卡点，其特征在于，所述盘体(101)内开设有收纳槽(1010)，所述收纳槽(1010)内固定连接有导向筒体(1011)，所述导向筒体(1011)内滑动连接有导向杆(1012)，所述导向杆(1012)与所述导向筒体(1011)之间固定连接有第一弹性件(1013)，所述导向杆(1012)远离所述导向筒体(1011)的一端固定连接有抵接板体(1014)。
4.根据权利要求1所述的一种石墨舟卡点，其特征在于，还包括：
环形啮合齿(202)，所述环形啮合齿(202)固定连接在所述T型台体(200)内；
啮合筒体(2020)，所述啮合筒体(2020)转动连接在所述连接件(1)的螺纹连接件(100)上，所述啮合筒体(2020)外壁与所述环形啮合齿(202)相互啮合；
齿轮转轴(2021)，所述齿轮转轴(2021)转动连接在所述螺纹连接件(100)内，所述齿轮转轴(2021)上设有第二驱动件，所述第二驱动件用于驱动所述齿轮转轴(2021)转动；
筒体啮合齿轮(2022)，所述筒体啮合齿轮(2022)键连接在所述齿轮转轴(2021)上，所述筒体啮合齿轮(2022)与所述啮合筒体(2020)内壁相互啮合。
5.根据权利要求1所述的一种石墨舟卡点，其特征在于，还包括：
石墨舟卡点更换提示系统，所述石墨舟卡点更换提示系统用于监测石墨舟卡点的使用状况，并在石墨舟卡点使用状况不佳时进行报警提示，所述石墨舟卡点更换提示系统包括：
压力传感器，所述压力传感器设置在所述卡接件(2)的a侧面(2023)上，用于检测a侧面(2023)所受的压力；
计数器，所述计数器设置在所述石墨舟卡点上，用于检测所述石墨舟卡点的使用次数；
控制器，报警器，所述控制器与所述压力传感器、计数器和报警器电连接，所述控制器基于所述压力传感器和所述计数器控制所述报警器报警，包括以下步骤：
步骤一：基于所述压力传感器和公式(1)，计算石墨舟卡点第i次使用的实际磨损程度衡量系数：
其中，为石墨舟卡点第i次使用的实际磨损程度衡量系数，V0为石墨卡点的单次使用预设磨损体积，Fi为石墨舟卡点第i次使用时所述压力传感器的检测值，li为石墨舟卡点第i次使用时沿卡接件(2)a侧面(2023)径向方向卡接件(2)a侧面(2023)与硅片(302)的接触长度，HBS为a侧面(2023)的硬度衡量值，单位为N/mm2，σ为卡接件(2)的材料脱落系数，其量纲为一，e为自然数，取值为2.71，A为硅片(302)与a侧面(2023)的接触面积，/>为压力传感器检测值为Fi时对应的石墨舟卡点的预设磨损深度,/>为石墨舟卡点第i次使用时的实际磨损体积量，/>为石墨舟卡点第i次使用时的实际磨损深度；
步骤二：基于步骤一、计数器和公式(2)，计算石墨舟卡点的实际累积磨损程度衡量系数：
其中，为石墨舟卡点的实际累积磨损程度衡量系数，α为基于石墨舟卡点更换提示系统的实际累积磨损程度衡量系数的偏差纠正系数，/>为基于石墨舟卡点使用环境的实际累积磨损程度衡量系数的偏差纠正系数，n为所述计数器的检测值；
步骤三：所述控制器比较所述石墨舟卡点的实际累积磨损程度衡量系数和石墨舟卡点的预设累积磨损程度衡量系数，若石墨舟卡点的实际累积磨损程度衡量系数大于石墨舟卡点的预设累积磨损程度衡量系数，则所述报警器报警。
6.一种石墨舟，包括如权利要求1-5任一项所述的一种石墨舟卡点，其特征在于，包括若干石墨舟片(303)，若干石墨舟片(303)平行布置，且通过均匀间隔布置的陶瓷杆连接为一体，形成石墨舟(3)，相邻石墨舟片(303)之间的陶瓷杆上套设有陶瓷短筒(304)，所述陶瓷短筒(304)两端面分别与两相邻的石墨舟片(303)侧面相抵；
所述石墨舟片(303)上设有若干硅片安装槽(305)，所述硅片安装槽(305)包括三条卡接边(306)和一条进料边(307)，三条卡接边(306)依次相邻布置，所述卡接边(306)上开设有若干石墨舟卡点安装孔(300)。
7.一种镀膜方法，用于采用如权利要求1-6任一项所述的一种石墨舟卡点和石墨舟进行硅片的镀膜，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一：将石墨舟(3)和待镀膜的硅片(302)清洗烘干；
步骤二：将清洗烘干后的硅片(302)放入石墨舟(3)的硅片安装槽(305)内，并通过石墨舟卡点将硅片(302)卡接在硅片卡接槽(301)内，使得硅片(302)安装在石墨舟片(303)上；
步骤三：硅片(302)一一安装完毕后，将石墨舟(3)放在推舟上，推舟承载石墨舟(3)将其送入PECVD管式主机台中；
步骤四：关闭炉门，检查PECVD管式主机台内镀膜炉的密封性，若密封良好，则将镀膜炉内的空气抽出，之后向镀膜炉内通入氮气，再次检查镀膜炉的密封性，若密封性良好，则向镀膜炉内通入硅烷和氨气，并保持镀膜炉内温度在420℃-465℃，硅烷和氨气在420V电压下反应生成氮化硅，生成的氮化硅沉积在硅片(302)上；
步骤五：对镀膜后的硅片(302)进行吹扫后，推舟将石墨舟(3)推出PECVD管式主机台；
步骤六：对镀膜后的硅片(302)进行质检，剔除不合格品。
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