CN116288665A - 一种等径过程中的晶棒断棱检测方法、存储介质及拉晶设备 - Google Patents

一种等径过程中的晶棒断棱检测方法、存储介质及拉晶设备 Download PDF

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CN116288665A CN202310275870.9A CN202310275870A CN116288665A CN 116288665 A CN116288665 A CN 116288665A CN 202310275870 A CN202310275870 A CN 202310275870A CN 116288665 A CN116288665 A CN 116288665A
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Abstract

本申请公开了一种等径过程中的晶棒断棱检测方法、存储介质及拉晶设备，其中等径过程中的晶棒断棱检测方法，所述方法包括：获取晶棒在等径过程中的检测参数；当晶棒的检测参数达到Mi时，获取第一棱线的平均凸起值A1i、第二棱线的平均凸起值A2i、第三棱线的平均凸起值A3i和第四棱线的平均凸起值A4i；判断第一棱线的平均凸起值A1i、第二棱线的平均凸起值A2i、第三棱线的平均凸起值A3i、第四棱线的平均凸起值A4i中是否存在小于或等于预设报警凸起值Bi的凸起值。本申请在预设的验证长度或者预设的验证时长内对等径阶段晶棒的棱线凸起值进行判断，可以减少因晶棒缩小或涨大所引起的测量误差，减少虚假报警的发生，有助于精确地控制长晶工艺。

Description

一种等径过程中的晶棒断棱检测方法、存储介质及拉晶设备
技术领域
本申请属于直拉法拉晶领域，具体地说，涉及一种等径过程中的晶棒断棱检测方法、存储介质及拉晶设备。
背景技术
在直拉法单晶硅棒生产过程中，晶棒在液面处慢慢旋转生长为圆柱形固体晶棒。晶棒在等径生长的过程中，其侧表面每隔90度形成一条竖直的棱线(即每根硅棒四条棱线)。生产过程中的一些因素(如环境卫生不达标、晶棒的拉制速度不匹配等)会致使棱线消失，这种棱线消失业内称为断棱或断线，而断棱后继续生长的部分是不合格的。因此，如果未及时发现断棱并停止生产，晶棒在无棱线的情况下会继续生长为多晶废品，则造成成本浪费。
目前棱线断棱的检测方法是通过检测四条棱线在熔接光圈内凸点的大小来判断棱线是否存在的。例如，中国发明专利ZL 201210290380.8公开了“一种单晶炉非接触式硅棒晶线测量方法，当在某一行内扫到晶线特征像素时，记录下该晶线特征像素的最右边像素点D的位置和与所述像素点D在同一行内并且在临近像素点D的光圈上的像素点C的位置；以S5中所述的像素点D的位置为最高点，以像素点C的位置为最低点，计算从像素点C到像素点D的晶线平面高度x；通过预设x的预警值，判断晶棒是否发生断棱。
这种判断方法仅通过一个预警值对等径过程的棱线进行判断，无法排除在晶棒发生缩小或涨大时所带来的测量误差，可能会造成虚假报警，影响晶棒的正常生产。
发明内容
本申请实施例的目的在于提供了一种等径过程中的晶棒断棱检测方法、存储介质及拉晶设备，以在棱线断棱判断时，兼顾晶棒自身发生缩小或涨大时所带来的测量误差问题。
第一方面，本申请实施例提供了一种等径过程中的晶棒断棱检测方法，所述方法包括：
获取晶棒在等径过程中的检测参数，检测参数为晶棒的等径长度或等径时刻；
当晶棒的检测参数达到Mi时，获取第一棱线的平均凸起值A1i、第二棱线的平均凸起值A2i、第三棱线的平均凸起值A3i和第四棱线的平均凸起值A4i，第一棱线、第二棱线、第三棱线和第四棱线周向均匀生长于晶棒的外表面；
判断第一棱线的平均凸起值A1i、第二棱线的平均凸起值A2i、第三棱线的平均凸起值A3i、第四棱线的平均凸起值A4i中是否存在小于或等于预设报警凸起值Bi的凸起值；
若存在，则进行报警判断；
若不存在，则将i+1，继续执行当晶棒的检测参数达到Mi时，获取第一棱线的平均凸起值A1i、第二棱线的平均凸起值A2i、第三棱线的平均凸起值A3i和第四棱线的平均凸起值A4i的步骤；其中，Mi＝M0+i*m，当检测参数为晶棒的等径长度时，M0为预设的等径长度初始值，i为大于等于0的自然数，m为凸起值的验证长度；当检测参数为晶棒的等径时刻时，M0为预设的等径时刻初始值，i为大于等于0的自然数，m为凸起值的验证时长。
第二方面，本申请实施例还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机指令，计算机指令运行时执行第一方面任意一项所述的等径过程中的晶棒断棱检测方法的步骤。
第三方面，本申请实施例还提供了一种拉晶设备，所述拉晶设备包括炉体、坩埚、拉晶单元、监控单元和控制单元，坩埚、拉晶单元和监控单元均与控制单元电讯连接，监控单元被配置为获取炉体内的图像，控制单元被配置为控制拉晶单元的拉速、坩埚的转速，并根据第一方面任意一项所述的等径过程中的晶棒断棱检测方法判断晶棒是否发生断棱。
本申请实施例提供的一种等径过程中的晶棒断棱检测方法、存储介质及拉晶设备，以晶棒的等径长度或等径时刻作为检测参数，在预设的验证长度或者预设的验证时长内对等径阶段晶棒的棱线凸起值进行判断，可以减少因晶棒缩小或涨大所引起的测量误差，减少虚假报警的发生，有助于精确地控制长晶工艺。
进一步地，本申请实施例提供的一种等径过程中的晶棒断棱检测方法、存储介质及拉晶设备，以晶棒的等径长度或等径时刻作为检测参数，在预设的验证长度或者预设的验证时长内对等径阶段晶棒的棱线凸起值进行判断，能够适应不同的长晶环境，具有较高的容错率。
进一步地，本申请实施例提供的一种等径过程中的晶棒断棱检测方法、存储介质及拉晶设备，以晶棒的等径长度或等径时刻作为检测参数，在预设的验证长度或者预设的验证时长内对等径阶段晶棒的棱线凸起值进行判断，能够排除镀金玻璃积灰以及耗材老化、损伤等因素造成的亮度变化带来的影响。
进一步地，本申请实施例提供的一种等径过程中的晶棒断棱检测方法、存储介质及拉晶设备，以晶棒的等径长度或等径时刻作为检测参数，在预设的验证长度或者预设的验证时长内对等径阶段晶棒的棱线凸起值进行判断，可以实现检测参数标准化、统一化，可降低繁重的人力调试工作，提高拉晶效率。
附图说明
图1为本申请的等径过程中的晶棒断棱检测方法的示意图。
具体实施方式
为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请中的技术方案进行清楚、完整地描述。其中，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。
下文中将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
针对当前仅通过一个预警值对等径过程中的棱线是否发生断棱进行判断易出现虚假报警的问题，本申请实施例提出了一种等径过程中的晶棒断棱检测方法。
如图1所示，本申请实施例的等径过程中的晶棒断棱检测方法包括：
获取晶棒在等径过程中的检测参数，所述检测参数为晶棒的等径长度或等径时刻；
当晶棒的检测参数达到Mi时，获取第一棱线的平均凸起值A1i、第二棱线的平均凸起值A2i、第三棱线的平均凸起值A3i和第四棱线的平均凸起值A4i，其中，第一棱线、第二棱线、第三棱线和第四棱线周向均匀生长于所述晶棒的外表面；
判断第一棱线的平均凸起值A1i、第二棱线的平均凸起值A2i、第三棱线的平均凸起值A3i、第四棱线的平均凸起值A4i中是否存在小于或等于预设报警凸起值Bi的凸起值；
若存在，则进行报警判断；
若不存在，则将i+1，继续执行当晶棒的检测参数达到Mi时，获取第一棱线的平均凸起值A1i、第二棱线的平均凸起值A2i、第三棱线的平均凸起值A3i和第四棱线的平均凸起值A4i的步骤；其中，Mi＝M0+i*m，当所述检测参数为晶棒的等径长度时，M0为预设的等径长度初始值，i为大于等于0的自然数，m为凸起值的验证长度；当所述检测参数为晶棒的等径时刻时，M0为预设的等径时刻初始值，i为大于等于0的自然数，m为凸起值的验证时长。
本申请实施例提供的一种等径过程中的晶棒断棱检测方法，在预设的验证长度或者预设的验证时长内对等径阶段晶棒的棱线凸起值进行判断，能够适应不同的长晶环境，具有较高的容错率；能够排除镀金玻璃积灰以及耗材老化、损伤等因素造成的亮度变化带来的影响；可以实现检测参数标准化、统一化，可降低繁重的人力调试工作，提高拉晶效率。
可选地，获取第一棱线的平均凸起值A1i、第二棱线的平均凸起值A2i、第三棱线的平均凸起值A3i和第四棱线的平均凸起值A4i，包括：
在晶棒的检测参数Mi至Mi+Δi的区间内，获取第一棱线在至少3处不同检测参数时的凸起值，将至少3处不同检测参数时的凸起值的平均值作为第一棱线的平均凸起值A1i；
在晶棒的检测参数Mi至Mi+Δi的区间内，获取第二棱线在至少3处不同检测参数时的凸起值，将至少3处不同检测参数时的凸起值的平均值作为第二棱线的平均凸起值A2i；
在晶棒的检测参数Mi至Mi+Δi的区间内，获取第三棱线在至少3处不同检测参数时的凸起值，将至少3处不同检测参数时的凸起值的平均值作为第三棱线的平均凸起值A3i；
在晶棒的检测参数Mi至Mi+Δi的区间内，获取第四棱线在至少3处不同检测参数时的凸起值，将至少3处不同检测参数时的凸起值的平均值作为第四棱线的平均凸起值A4i。
需要说明的是，在本申请上述可选地实施例中，Δi可以为固定值，即在等径长度作为检测参数时，Δi+为固定的长度值，在等径时刻作为检测参数时，Δi为固定的时长值；Δi还可以为随i而变化的值，Δi与i之间的变化关系不局限于某种固定关系，例如，Δi可以随着i的增大而增大；或者随着i的增大而减小；或者在i在某个取值区间内Δi的取值相同，在上述某个取值区间之外，Δi取其它值。
在获取棱线的平均凸起值时，通过计算检测参数Mi至Mi+Δi的区间内，至少3处不同检测参数时的凸起值的平均值作为棱线的平均凸起值，能够有效中和区间内某一处检测参数的误差，减少虚假报警的情况，进一步提高本申请实施例的晶棒断棱检测方法的容错率，使该方法能够适用于不同的环境。
可选地，等径过程中的晶棒断棱检测方法，还包括：
计算第一棱线的平均凸起值A1i、第二棱线的平均凸起值A2i、第三棱线的平均凸起值A3i、第四棱线的平均凸起值A4i的平均凸起值
Figure BDA0004136185150000041
将平均凸起值
Figure BDA0004136185150000042
减去预设减数值a，得到报警凸起值验证值Bi’；
将连续的n个报警凸起值验证值Bi’的平均值作为检测参数达到Mi时的预设报警凸起值Bi，预设验证周期为n个m。
通过设定n个m为预设验证周期，在每个验证周期内计算每条棱线的平均凸起值的平均值，利用该平均值减去预设减数值得到每个验证周期内的预设报警凸起值Bi。通过上述方式获取的预设报警凸起值Bi更加具有可靠性，从而使本申请实施例的断棱检测方法更加精准。
可选地，预设减数值a的取值范围为0.5～5。
预设减数值a的取值范围可以根据不同拉晶场景进行适应性选择，一般来说，在新的没有过多记录的拉晶场景中，可以将预设减数值设置的高一些，例如将预设减数值设置为3、3.5、4、4.5、5等数值，以降低预警条件，防止出现断棱误报的情况；在进行过多次拉晶、有一定参考参数的拉晶场景中，可以将预设减数值设置的低一些，例如将预设减数值设为0.5、1、1.5、2、2.5等数值，尽量减少报警判断的反应时长，减少本申请实施例断棱检测方法的等待时长，提高检测效率。
可选地，取n个m为一个预设验证周期，当检测参数为晶棒的等径长度时，预设验证周期的取值范围为450mm～550mm。
当采用等径长度作为检测参数时，取n个m为一个预设验证周期，便于周期性的分析每个验证周期内的棱线情况，对于n的取值，可根据实际工况和计算量等参数进行合理取值；将预设验证周期的取值范围取在450mm～550mm，能较为准确地记录每n个验证长度内的报警凸起值验证值Bi’，根据报警凸起值验证值Bi’计算预设报警凸起值Bi，在晶棒不同等径长度的验证周期内都进行预设报警凸起值Bi的验证，使预设报警凸起值Bi能够根据晶棒拉晶过程中出现的晶棒缩小、涨大、因晶棒长度变化引起的液面亮度变化、耗材老化等因素引起的液面亮度变化进行及时调整，保证预设报警凸起值Bi的精确性，从而提高本申请实施例的断棱检测方法的准确性。此外，采用等径长度作为检测参数，便于工程师结合晶棒长度更好地判断等径效果，具有较佳的直观性，便捷性。
可选地，当检测参数为晶棒的等径时刻时，预设验证周期的取值范围为4.5h～5.5h。
当采用等径时刻作为检测参数时，取n个m为一个预设验证周期，便于周期性的分析每个验证周期内的棱线情况，对于n的取值，可根据实际工况和计算量等参数进行合理取值；将预设验证周期的取值范围取在4.5h～5.5h，能较为精确地记录每n个验证长度内的报警凸起值验证值Bi’，根据报警凸起值验证值Bi’计算预设报警凸起值Bi，在晶棒不同等径长度的验证周期内都进行预设报警凸起值Bi的验证，使预设报警凸起值Bi能够根据晶棒拉晶过程中出现的晶棒缩小、涨大、因晶棒长度变化引起的液面亮度变化、耗材老化等因素引起的液面亮度变化进行及时调整，保证预设报警凸起值Bi的精确性，从而提高本申请实施例的断棱检测方法的准确性。
可选地，当检测参数为晶棒的等径长度时，凸起值的验证长度m的取值范围为50mm～150mm。
当采用等径长度作为检测参数时，将凸起值的验证长度m的取值范围取在50mm～150mm，能够保证本申请实施例在不同液面敏感度的情况下，都能实时对各条棱线的生长状态进行跟踪判断，从而提高本申请实施例的断棱检测方法的准确性；同时可以减少计算量，降低硬件要求。
可选地，当检测参数为晶棒的等径时刻时，凸起值的验证时长m的取值范围为0.5h～1.5h。
当采用等径时刻作为检测参数时，将凸起值的验证长度m的取值范围取在0.5h～1.5h，能够保证本申请实施例在不同液面敏感度的情况下，都能实时对各条棱线的生长状态进行跟踪判断，从而提高本申请实施例的断棱检测方法的准确性；同时可以减少计算量，降低硬件要求。
可选地，本申请实施例中的报警判断，包括：
获取当前晶棒的直径Di；
若当前晶棒的直径Di与晶棒的目标直径D的差值的绝对值小于或等于预设值，则进行报警提示，并将i+1，继续执行当所述晶棒的检测参数达到Mi时，获取第一棱线的平均凸起值A1i、第二棱线的平均凸起值A2i、第三棱线的平均凸起值A3i和第四棱线的平均凸起值A4i的步骤；
若当前晶棒的直径Di与晶棒的目标直径D的差值的绝对值大于预设值，则将i+1，继续执行当晶棒的检测参数达到Mi时，获取第一棱线的平均凸起值A1i、第二棱线的平均凸起值A2i、第三棱线的平均凸起值A3i和第四棱线的平均凸起值A4i的步骤。
对于上述预设值的取值，根据不同的等径直径、拉晶热场、晶升速度、晶转速度、等径长度、等径时间、液面明暗度等参数进行适应性调整取值，一般优选0.5mm、1mm、1.5mm、2mm等数值。
本申请实施例中的晶棒断棱检测方法结合当前晶棒的直径Di与晶棒的目标直径D进行报警判断，以有效减少虚假报警的发生，从而提高本申请实施例的断棱检测方法的准确性。可选地，当所述检测参数为晶棒的等径长度时，M0的取值范围为250mm～350mm。
将M0的取值范围设置为250mm～350mm，能够及时地启动对晶棒的棱线进行断棱判断，不提前启动棱线判断时间，也可以进一步提高检测效率。
可选地，当所述检测参数为晶棒的等径时刻时，M0的取值范围为2.5h～4.5h。
将M0的取值范围为2.5h～4.5h，能够及时地启动对晶棒的棱线进行断棱判断，不提前启动棱线判断时间，也可以进一步提高检测效率。
基于本申请的等径过程中的晶棒断棱检测方法，本申请实施例还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机指令，计算机指令运行时执行第一方面任意一项所述的等径过程中的晶棒断棱检测方法的步骤。基于本申请的等径过程中的晶棒断棱检测方法，本申请实施例还提供了一种拉晶设备，所述拉晶设备包括炉体、坩埚、拉晶单元、监控单元和控制单元，坩埚、拉晶单元和监控单元均与控制单元电讯连接，监控单元被配置为获取炉体内的图像，控制单元被配置为控制拉晶单元的拉速、坩埚的转速，并根据第一方面任意一项所述的等径过程中的晶棒断棱检测方法判断晶棒是否发生断棱。
实施例1
采用等径长度作为检测参数，对炉台1中目标直径253mm的晶棒进行等径过程中的断棱检测。
当晶棒的等径长度达到300mm时，获取第一棱线的平均凸起值A10、第二棱线的平均凸起值A20、第三棱线的平均凸起值A30和第四棱线的平均凸起值A40；
判断第一棱线的平均凸起值A10、第二棱线的平均凸起值A20、第三棱线的平均凸起值A30和第四棱线的平均凸起值A40中是否存在小于或等于预设报警凸起值B0的凸起值，相关数值如表1：
表1断棱检测预设周期内运算及报警详细表
Figure BDA0004136185150000071
在本实施例中，m取100mm，以连续的5个报警凸起值验证值Bi’的平均值作为检测参数达到Mi时的预设报警凸起值Bi，以5个100mm作为一个预设验证周期，对于表1中，各条棱线的平均凸起值、四条棱线的平均凸起值
Figure BDA0004136185150000072
预设报警凸起值的计算方式，下面进行详细介绍：
各条棱线的平均凸起值：
在晶棒的等径长度300mm至302mm的区间内，获取第一棱线在等径长度300mm时，第一棱线的凸起值为3.0；
获取第一棱线在等径长度301mm时，第一棱线的凸起值为2.9；
获取第一棱线在等径长度302mm时，第一棱线的凸起值为3.1；
将第一棱线在等径长度300mm、301mm、302mm处的凸起值的平均值作为第一棱线的平均凸起值A10，在计算A10时，可以采取向下取整的方式，以提高预设报警凸起值的可靠性，经计算，A10取为3.0。
同上，在晶棒的等径长度300mm至302mm的区间内，获取第二棱线在等径长度300mm时，第二棱线的凸起值为3.1；
获取第二棱线在等径长度301mm时，第二棱线的凸起值为3.0；
获取第二棱线在等径长度302mm时，第二棱线的凸起值为3.3；
将第二棱线在等径长度300mm、301mm、302mm处的凸起值的平均值作为第二棱线的平均凸起值A20，经计算，A20取为3.1。
同上，在晶棒的等径长度300mm至302mm的区间内，获取第三棱线在等径长度300mm时，第三棱线的凸起值为3.2；
获取第三棱线在等径长度301mm时，第三棱线的凸起值为3.1；
获取第三棱线在等径长度302mm时，第三棱线的凸起值为3.4；
将第三棱线在等径长度300mm、301mm、302mm处的凸起值的平均值作为第三棱线的平均凸起值A30，经计算，A30取为3.2。
同上，在晶棒的等径长度300mm至302mm的区间内，获取第四棱线在等径长度300mm时，第四棱线的凸起值为3.3；
获取第四棱线在等径长度301mm时，第四棱线的凸起值为3.2；
获取第四棱线在等径长度302mm时，第四棱线的凸起值为3.5；
将第四棱线在等径长度300mm、301mm、302mm处的凸起值的平均值作为第四棱线的平均凸起值A40，经计算，A40取为3.3。
四条棱线的平均凸起值
Figure BDA0004136185150000081
计算第一棱线的平均凸起值A10、第二棱线的平均凸起值A20、第三棱线的平均凸起值A30、第四棱线的平均凸起值A40的平均凸起值
Figure BDA0004136185150000082
经计算/>
Figure BDA0004136185150000083
为3.2。
预设报警凸起值B0：
将
Figure BDA0004136185150000084
减去预设减数值0.5，得到报警凸起值验证值B0’为2.7，并将B0’作为预设报警凸起值B0。
从表1中可以看出，第一棱线的平均凸起值A10、第二棱线的平均凸起值A20、第三棱线的平均凸起值A30和第四棱线的平均凸起值A40中不存在小于或等于预设报警凸起值B0的凸起值，故将i+1，继续执行当晶棒的等径长度达到400mm时，获取第一棱线的平均凸起值A11、第二棱线的平均凸起值A21、第三棱线的平均凸起值A31和第四棱线的平均凸起值A41；
判断第一棱线的平均凸起值A11、第二棱线的平均凸起值A21、第三棱线的平均凸起值A31和第四棱线的平均凸起值A41中是否存在小于或等于预设报警凸起值B1的凸起值，相关数值如表2：
表2断棱检测预设周期内运算及报警详细表
Figure BDA0004136185150000091
对于表2中，各条棱线的平均凸起值、四条棱线的平均凸起值
Figure BDA0004136185150000092
预设报警凸起值的计算方式与等径长度300mm时的计算方式相同，计算结果见表2，在此不再赘述。
从表2中可以看出，第一棱线的平均凸起值A11、第二棱线的平均凸起值A21、第三棱线的平均凸起值A31和第四棱线的平均凸起值A41中不存在小于或等于预设报警凸起值B1的凸起值，故将i+1，继续执行当晶棒的等径长度达到500mm时，获取第一棱线的平均凸起值A12、第二棱线的平均凸起值A22、第三棱线的平均凸起值A32和第四棱线的平均凸起值A42；
判断第一棱线的平均凸起值A12、第二棱线的平均凸起值A22、第三棱线的平均凸起值A32和第四棱线的平均凸起值A42中是否存在小于或等于预设报警凸起值B2的凸起值，相关数值如表3：
表3断棱检测预设周期内运算及报警详细表
Figure BDA0004136185150000093
Figure BDA0004136185150000101
对于表3中，各条棱线的平均凸起值、四条棱线的平均凸起值
Figure BDA0004136185150000102
预设报警凸起值的计算方式与等径长度300mm时的计算方式相同，计算结果见表3，在此不再赘述。
从表3中可以看出，第一棱线的平均凸起值A12、第二棱线的平均凸起值A22、第三棱线的平均凸起值A32和第四棱线的平均凸起值A42中不存在小于或等于预设报警凸起值B2的凸起值，故将i+1，继续执行当晶棒的等径长度达到600mm时，获取第一棱线的平均凸起值A13、第二棱线的平均凸起值A23、第三棱线的平均凸起值A33和第四棱线的平均凸起值A43；
判断第一棱线的平均凸起值A13、第二棱线的平均凸起值A23、第三棱线的平均凸起值A33和第四棱线的平均凸起值A43中是否存在小于或等于预设报警凸起值B3的凸起值，相关数值如表4：
表4断棱检测预设周期内运算及报警详细表
Figure BDA0004136185150000103
对于表4中，各条棱线的平均凸起值、四条棱线的平均凸起值
Figure BDA0004136185150000104
预设报警凸起值的计算方式与等径长度300mm时的计算方式相同，计算结果见表4，在此不再赘述。
从表4中可以看出，第一棱线的平均凸起值A13、第二棱线的平均凸起值A23、第三棱线的平均凸起值A33和第四棱线的平均凸起值A43中，第四棱线的平均凸起值A43与预设报警凸起值B3相等，存在等于预设报警凸起值B3的凸起值，故需进行报警判断。
具体地，获取当前晶棒的直径Di为255mm，预设值取1mm；
当前晶棒的直径Di与晶棒的目标直径253mm的差值的绝对值大于1mm，故将i+1，继续执行当晶棒的等径长度达到700mm时，获取第一棱线的平均凸起值A14、第二棱线的平均凸起值A24、第三棱线的平均凸起值A34和第四棱线的平均凸起值A44；
判断第一棱线的平均凸起值A14、第二棱线的平均凸起值A24、第三棱线的平均凸起值A34和第四棱线的平均凸起值A44中是否存在小于或等于预设报警凸起值B4的凸起值，相关数值如表5：
表5断棱检测预设周期内运算及报警详细表
Figure BDA0004136185150000111
从表5中可以看出，第一棱线的平均凸起值A14、第二棱线的平均凸起值A24、第三棱线的平均凸起值A34和第四棱线的平均凸起值A44中，第四棱线的平均凸起值A44与预设报警凸起值B4相等，存在等于预设报警凸起值B4的凸起值，故需进行报警判断。
具体地，获取当前晶棒的直径Di为254.5mm；
当前晶棒的直径Di与晶棒的目标直径253mm的差值的绝对值大于1mm，故将i+1，继续执行当晶棒的等径长度达到800mm时，获取第一棱线的平均凸起值A15、第二棱线的平均凸起值A25、第三棱线的平均凸起值A35和第四棱线的平均凸起值A45；
判断第一棱线的平均凸起值A15、第二棱线的平均凸起值A25、第三棱线的平均凸起值A35和第四棱线的平均凸起值A45中是否存在小于或等于预设报警凸起值B5的凸起值，相关数值如表6：
表6断棱检测预设周期内运算及报警详细表
Figure BDA0004136185150000121
截止到表6时，第一个预设验证周期(即5个100mm已经结束)，因为在本实施例中的第一个预设验证周期内，初始的报警凸起值验证值Bi’都是取等径长度300mm时的同一初始值，不具有较好的参考性，因此在本实施例中，在第一预设验证周期内没有取各等径长度阶段的报警凸起值验证值Bi’的平均值，当然，也是可以在第一个预设验证周期内取各等径长度阶段的报警凸起值验证值Bi’的平均值作为预设报警凸起值的。
等径长度800mm为新的一个预设验证周期的周期起始点，对于等径长度在800mm时的预设报警凸起值B5的计算，可采用等径长度在400mm、500mm、600mm、700mm、800mm处的各个报警凸起值验证值2.9、2.6、2.5、2.3、2.8的平均值作为预设报警凸起值B5。
从表6中可以看出，第一棱线的平均凸起值A15、第二棱线的平均凸起值A25、第三棱线的平均凸起值A35和第四棱线的平均凸起值A45中不存在小于或等于预设报警凸起值B5的凸起值，故将i+1，继续执行当晶棒的等径长度达到900mm时，获取第一棱线的平均凸起值A16、第二棱线的平均凸起值A26、第三棱线的平均凸起值A36和第四棱线的平均凸起值A46；
判断第一棱线的平均凸起值A16、第二棱线的平均凸起值A26、第三棱线的平均凸起值A36和第四棱线的平均凸起值A46中是否存在小于或等于预设报警凸起值B6的凸起值，相关数值如表7：
表7断棱检测预设周期内运算及报警详细表
Figure BDA0004136185150000131
在900mm时的预设报警凸起值B6的计算，可采用等径长度在500mm、600mm、700mm、800mm、900mm处的各个报警凸起值验证值2.6、2.5、2.3、2.8、2.8的平均值作为预设报警凸起值B6。
从表7中可以看出，第一棱线的平均凸起值A16、第二棱线的平均凸起值A26、第三棱线的平均凸起值A36和第四棱线的平均凸起值A46中不存在小于或等于预设报警凸起值B6的凸起值，故将i+1，继续执行当晶棒的等径长度达到1000mm时，获取第一棱线的平均凸起值A17、第二棱线的平均凸起值A27、第三棱线的平均凸起值A37和第四棱线的平均凸起值A47；
判断第一棱线的平均凸起值A17、第二棱线的平均凸起值A27、第三棱线的平均凸起值A37和第四棱线的平均凸起值A47中是否存在小于或等于预设报警凸起值B7的凸起值，相关数值如表8：
表8断棱检测预设周期内运算及报警详细表
Figure BDA0004136185150000132
/>
Figure BDA0004136185150000141
在1000mm时的预设报警凸起值B7的计算，可采用等径长度在600mm、700mm、800mm、900mm、1000mm处的各个报警凸起值验证值2.5、2.3、2.8、2.8、2.5的平均值作为预设报警凸起值B7。
从表8中可以看出，第一棱线的平均凸起值A17、第二棱线的平均凸起值A27、第三棱线的平均凸起值A37和第四棱线的平均凸起值A47中不存在小于或等于预设报警凸起值B7的凸起值，故将i+1，继续执行当晶棒的等径长度达到1100mm时，获取第一棱线的平均凸起值A18、第二棱线的平均凸起值A28、第三棱线的平均凸起值A38和第四棱线的平均凸起值A48；
判断第一棱线的平均凸起值A18、第二棱线的平均凸起值A28、第三棱线的平均凸起值A38和第四棱线的平均凸起值A48中是否存在小于或等于预设报警凸起值B8的凸起值，相关数值如表9：
表9断棱检测预设周期内运算及报警详细表
Figure BDA0004136185150000142
/>
Figure BDA0004136185150000151
在1100mm时的预设报警凸起值B8的计算，可采用等径长度在700mm、800mm、900mm、1000mm、1100mm处的各个报警凸起值验证值2.3、2.8、2.8、2.5、2.4的平均值作为预设报警凸起值B8。
从表9中可以看出，第一棱线的平均凸起值A18、第二棱线的平均凸起值A28、第三棱线的平均凸起值A38和第四棱线的平均凸起值A48中不存在小于或等于预设报警凸起值B8的凸起值，故将i+1，继续执行当晶棒的等径长度达到1200mm时，获取第一棱线的平均凸起值A19、第二棱线的平均凸起值A29、第三棱线的平均凸起值A39和第四棱线的平均凸起值A49；
判断第一棱线的平均凸起值A19、第二棱线的平均凸起值A29、第三棱线的平均凸起值A39和第四棱线的平均凸起值A49中是否存在小于或等于预设报警凸起值B9的凸起值，相关数值如表10：
表10断棱检测预设周期内运算及报警详细表
Figure BDA0004136185150000152
在1200mm时的预设报警凸起值B9的计算，可采用等径长度在800mm、900mm、1000mm、1100mm、1200mm处的各个报警凸起值验证值2.8、2.8、2.5、2.4、2.2的平均值作为预设报警凸起值B9。
从表10中可以看出，第一棱线的平均凸起值A19、第二棱线的平均凸起值A29、第三棱线的平均凸起值A39和第四棱线的平均凸起值A49中不存在小于或等于预设报警凸起值B9的凸起值，故将i+1，继续执行当晶棒的等径长度达到1300mm时，获取第一棱线的平均凸起值A110、第二棱线的平均凸起值A210、第三棱线的平均凸起值A310和第四棱线的平均凸起值A410；
判断第一棱线的平均凸起值A110、第二棱线的平均凸起值A210、第三棱线的平均凸起值A310和第四棱线的平均凸起值A410中是否存在小于或等于预设报警凸起值B10的凸起值，相关数值如表11：
表11断棱检测预设周期内运算及报警详细表
Figure BDA0004136185150000161
在1300mm时的预设报警凸起值B10的计算，可采用等径长度在900mm、1000mm、1100mm、1200mm、1300mm处的各个报警凸起值验证值2.8、2.5、2.4、2.2、2.1的平均值作为预设报警凸起值B10。
从表11中可以看出，第一棱线的平均凸起值A110、第二棱线的平均凸起值A210、第三棱线的平均凸起值A310和第四棱线的平均凸起值A410中不存在小于或等于预设报警凸起值B10的凸起值，故将i+1，继续执行当晶棒的等径长度达到1400mm时，获取第一棱线的平均凸起值A111、第二棱线的平均凸起值A211、第三棱线的平均凸起值A311和第四棱线的平均凸起值A411；
判断第一棱线的平均凸起值A111、第二棱线的平均凸起值A211、第三棱线的平均凸起值A311和第四棱线的平均凸起值A411中是否存在小于或等于预设报警凸起值B11的凸起值，并执行相应的步骤，具体步骤在上述等径长度中均以做过介绍，本实施例不再进行赘述。
实施例2
与实施例1不同之处在于，当晶棒的等径长度达到250mm时，获取第一棱线的平均凸起值A10、第二棱线的平均凸起值A20、第三棱线的平均凸起值A30和第四棱线的平均凸起值A40。
m取50mm，以连续的3个报警凸起值验证值Bi’的平均值作为检测参数达到Mi时的预设报警凸起值Bi，以11个50mm作为一个预设验证周期，报警判断中的预设值取1.5mm。对于各条棱线的平均凸起值、四条棱线的平均凸起值
Figure BDA0004136185150000171
预设报警凸起值的计算原理同实施例1。/>
实施例3
与实施例1不同之处在于，当晶棒的等径长度达到350mm时，获取第一棱线的平均凸起值A10、第二棱线的平均凸起值A20、第三棱线的平均凸起值A30和第四棱线的平均凸起值A40。
m取150mm，以连续的6个报警凸起值验证值Bi’的平均值作为检测参数达到Mi时的预设报警凸起值Bi，以3个150mm作为一个预设验证周期，报警判断中的预设值取2mm。对于各条棱线的平均凸起值、四条棱线的平均凸起值
Figure BDA0004136185150000172
预设报警凸起值的计算原理同实施例1。
实施例4
采用等径时刻作为检测参数，对炉台1的目标直径253mm的晶棒进行等径过程中的断棱检测。
当晶棒的等径时刻达到3h时，获取第一棱线的平均凸起值A10、第二棱线的平均凸起值A20、第三棱线的平均凸起值A30和第四棱线的平均凸起值A40；
判断第一棱线的平均凸起值A10、第二棱线的平均凸起值A20、第三棱线的平均凸起值A30和第四棱线的平均凸起值A40中是否存在小于或等于预设报警凸起值B0的凸起值，相关数值如表12：
表12断棱检测预设周期内运算及报警详细表
Figure BDA0004136185150000173
Figure BDA0004136185150000181
在本实施例中，m取0.5h，以连续的7个报警凸起值验证值Bi’的平均值作为检测参数达到Mi时的预设报警凸起值Bi，以7个0.5h作为一个预设验证周期，对于表12中，各条棱线的平均凸起值、四条棱线的平均凸起值
Figure BDA0004136185150000182
预设报警凸起值的计算方式，下面进行详细介绍：
各条棱线的平均凸起值：
在晶棒的等径时刻3h至3h+1min的区间内，获取第一棱线在等径时刻3h时，第一棱线的凸起值为3.1；
获取第一棱线在等径时刻3h+30s时，第一棱线的凸起值为2.9；
获取第一棱线在等径时刻3h+1min时，第一棱线的凸起值为3.1；
将第一棱线在等径时刻3h、3h+30s、3h+1min处的凸起值的平均值作为第一棱线的平均凸起值A10，在计算A10时，可以采取向下取整的方式，以提高预设报警凸起值的可靠性，经计算，A10取为3.0。
同上，在晶棒的等径时刻3h至3h+1min的区间内，获取第二棱线在等径时刻3h时，第二棱线的凸起值为3.0；
获取第二棱线在等径时刻3h+30s时，第二棱线的凸起值为3.0；
获取第二棱线在等径时刻3h+1min时，第二棱线的凸起值为3.1；
将第二棱线在等径时刻3h、3h+30s、3h+1min处的凸起值的平均值作为第二棱线的平均凸起值A20，经计算，A20取为3.0。
同上，在晶棒的等径时刻3h、3h+30s、3h+1min的区间内，获取第三棱线在等径时刻3h时，第三棱线的凸起值为3.1；
获取第三棱线在等径时刻3h+30s时，第三棱线的凸起值为3.0；
获取第三棱线在等径时刻3h+1min时，第三棱线的凸起值为3.2；
将第三棱线在等径时刻3h、3h+30s、3h+1min处的凸起值的平均值作为第三棱线的平均凸起值A30，经计算，A30取为3.1。
同上，在晶棒的等径时刻3h、3h+30s、3h+1min的区间内，获取第四棱线在等径时刻3h时，第四棱线的凸起值为3.1；
获取第四棱线在等径时刻3h+30s时，第四棱线的凸起值为3.2；
获取第四棱线在等径时刻3h+1min时，第四棱线的凸起值为3.1；
将第四棱线在等径时刻3h、3h+30s、3h+1min处的凸起值的平均值作为第四棱线的平均凸起值A40，经计算，A40取为3.1。
四条棱线的平均凸起值
Figure BDA0004136185150000191
计算第一棱线的平均凸起值A10、第二棱线的平均凸起值A20、第三棱线的平均凸起值A30、第四棱线的平均凸起值A40的平均凸起值
Figure BDA0004136185150000192
并采用向下取整的方式，经计算/>
Figure BDA0004136185150000193
为3.0。
预设报警凸起值B0：
将
Figure BDA0004136185150000194
减去预设减数值0.7，得到报警凸起值验证值B0’为2.3，并将B0’作为预设报警凸起值B0。
从表12中可以看出，第一棱线的平均凸起值A10、第二棱线的平均凸起值A20、第三棱线的平均凸起值A30和第四棱线的平均凸起值A40中不存在小于或等于预设报警凸起值B0的凸起值，故将i+1，继续执行当晶棒的等径时刻达到3.5h时，获取第一棱线的平均凸起值A11、第二棱线的平均凸起值A21、第三棱线的平均凸起值A31和第四棱线的平均凸起值A41；
判断第一棱线的平均凸起值A11、第二棱线的平均凸起值A21、第三棱线的平均凸起值A31和第四棱线的平均凸起值A41中是否存在小于或等于预设报警凸起值B1的凸起值，相关数值如表13：
表13断棱检测预设周期内运算及报警详细表
Figure BDA0004136185150000195
Figure BDA0004136185150000201
对于表13中，各条棱线的平均凸起值、四条棱线的平均凸起值
Figure BDA0004136185150000202
的计算方式与等径时刻3.5h时的计算方式相同，计算结果见表13，在此不再赘述。对于预设报警凸起值B1取B0’、B1’的平均值。
从表13中可以看出，第一棱线的平均凸起值A11、第二棱线的平均凸起值A21、第三棱线的平均凸起值A31和第四棱线的平均凸起值A41中不存在小于或等于预设报警凸起值B1的凸起值，故将i+1，继续执行当晶棒的等径长度达到4h时，获取第一棱线的平均凸起值A12、第二棱线的平均凸起值A22、第三棱线的平均凸起值A32和第四棱线的平均凸起值A42；
判断第一棱线的平均凸起值A12、第二棱线的平均凸起值A22、第三棱线的平均凸起值A32和第四棱线的平均凸起值A42中是否存在小于或等于预设报警凸起值B2的凸起值，相关数值如表14：
表14断棱检测预设周期内运算及报警详细表
Figure BDA0004136185150000203
对于表14中，各条棱线的平均凸起值、四条棱线的平均凸起值
Figure BDA0004136185150000204
的计算方式与等径时刻3.5h时的计算方式相同，计算结果见表14，在此不再赘述。对于预设报警凸起值B2取B0’、B1’、B2’的平均值。
从表14中可以看出，第一棱线的平均凸起值A12、第二棱线的平均凸起值A22、第三棱线的平均凸起值A32和第四棱线的平均凸起值A42中不存在小于或等于预设报警凸起值B2的凸起值，故将i+1，继续执行当晶棒的等径长度达到4.5h时，获取第一棱线的平均凸起值A13、第二棱线的平均凸起值A23、第三棱线的平均凸起值A33和第四棱线的平均凸起值A43；
判断第一棱线的平均凸起值A13、第二棱线的平均凸起值A23、第三棱线的平均凸起值A33和第四棱线的平均凸起值A43中是否存在小于或等于预设报警凸起值B3的凸起值，相关数值如表15：
表15断棱检测预设周期内运算及报警详细表
Figure BDA0004136185150000211
对于表15中，各条棱线的平均凸起值、四条棱线的平均凸起值i的计算方式与等径时刻3.5h时的计算方式相同，计算结果见表15，在此不再赘述。对于预设报警凸起值B3取B0’、B1’、B2’、B3’的平均值。
从表15中可以看出，第一棱线的平均凸起值A13、第二棱线的平均凸起值A23、第三棱线的平均凸起值A33和第四棱线的平均凸起值A43中不存在小于或等于预设报警凸起值B3的凸起值，故将i+1，继续执行当晶棒的等径长度达到5h时，获取第一棱线的平均凸起值A14、第二棱线的平均凸起值A24、第三棱线的平均凸起值A34和第四棱线的平均凸起值A44；
判断第一棱线的平均凸起值A14、第二棱线的平均凸起值A24、第三棱线的平均凸起值A34和第四棱线的平均凸起值A44中是否存在小于或等于预设报警凸起值B4的凸起值，相关数值如表16：
表16断棱检测预设周期内运算及报警详细表
Figure BDA0004136185150000221
对于表16中，各条棱线的平均凸起值、四条棱线的平均凸起值i的计算方式与等径时刻3.5h时的计算方式相同，计算结果见表16，在此不再赘述。对于预设报警凸起值B4取B0’、B1’、B2’、B3’、B4’的平均值。
从表16中可以看出，第一棱线的平均凸起值A14、第二棱线的平均凸起值A24、第三棱线的平均凸起值A34和第四棱线的平均凸起值A44中不存在小于或等于预设报警凸起值B4的凸起值，故将i+1，继续执行当晶棒的等径长度达到5.5h时，获取第一棱线的平均凸起值A15、第二棱线的平均凸起值A25、第三棱线的平均凸起值A35和第四棱线的平均凸起值A45；
判断第一棱线的平均凸起值A15、第二棱线的平均凸起值A25、第三棱线的平均凸起值A35和第四棱线的平均凸起值A45中是否存在小于或等于预设报警凸起值B5的凸起值，相关数值如表17：
表17断棱检测预设周期内运算及报警详细表
Figure BDA0004136185150000231
对于表17中，各条棱线的平均凸起值、四条棱线的平均凸起值i的计算方式与等径时刻3.5h时的计算方式相同，计算结果见表17，在此不再赘述。对于预设报警凸起值B5取B0’、B1’、B2’、B3’、B4’、B5’的平均值。
从表17中可以看出，第一棱线的平均凸起值A15、第二棱线的平均凸起值A25、第三棱线的平均凸起值A35和第四棱线的平均凸起值A45中的第四棱线的平均凸起值A45小于预设报警凸起值B5的凸起值，故需要进行报警判断。
具体地，获取当前晶棒的直径Di为252.6mm，预设值取0.5mm；
当前晶棒的直径Di与晶棒的目标直径253mm的差值的绝对值小于0.5mm，则进行报警提示(当出现报警时，操作人员可根据实际情况调整预设减数值a的取值)，并将i+1，继续执行当晶棒的等径长度达到6h时，获取第一棱线的平均凸起值A16、第二棱线的平均凸起值A26、第三棱线的平均凸起值A36和第四棱线的平均凸起值A46；
判断第一棱线的平均凸起值A16、第二棱线的平均凸起值A26、第三棱线的平均凸起值A36和第四棱线的平均凸起值A46中是否存在小于或等于预设报警凸起值B6的凸起值，相关数值如表18：
表18断棱检测预设周期内运算及报警详细表
Figure BDA0004136185150000232
/>
Figure BDA0004136185150000241
对于表18中，各条棱线的平均凸起值、四条棱线的平均凸起值i的计算方式与等径时刻3.5h时的计算方式相同，计算结果见表18，在此不再赘述。对于预设报警凸起值B5取B0’、B1’、B2’、B3’、B4’、B5’的平均值。
从表18中可以看出，第一棱线的平均凸起值A16、第二棱线的平均凸起值A26、第三棱线的平均凸起值A36和第四棱线的平均凸起值A46中不存在小于或等于预设报警凸起值B6的凸起值，故将i+1，继续执行当晶棒的等径长度达到6.5h时，获取第一棱线的平均凸起值A17、第二棱线的平均凸起值A27、第三棱线的平均凸起值A37和第四棱线的平均凸起值A47；
判断第一棱线的平均凸起值A17、第二棱线的平均凸起值A27、第三棱线的平均凸起值A37和第四棱线的平均凸起值A47中是否存在小于或等于预设报警凸起值B7的凸起值，相关数值如表19：
表19断棱检测预设周期内运算及报警详细表
Figure BDA0004136185150000242
/>
Figure BDA0004136185150000251
从表19中可以看出，第一棱线的平均凸起值A17、第二棱线的平均凸起值A27、第三棱线的平均凸起值A37和第四棱线的平均凸起值A47中不存在小于或等于预设报警凸起值B7的凸起值，故将i+1，继续执行当晶棒的等径时刻达到7h时，获取第一棱线的平均凸起值A18、第二棱线的平均凸起值A28、第三棱线的平均凸起值A38和第四棱线的平均凸起值A48；
判断第一棱线的平均凸起值A18、第二棱线的平均凸起值A28、第三棱线的平均凸起值A38和第四棱线的平均凸起值A48中是否存在小于或等于预设报警凸起值B8的凸起值，并执行相应的步骤，具体步骤在上述等径时刻中均以做过介绍，本实施例不再进行赘述。
实施例5
与实施例4不同之处在于，当晶棒的等径时刻达到2.5时，获取第一棱线的平均凸起值A10、第二棱线的平均凸起值A20、第三棱线的平均凸起值A30和第四棱线的平均凸起值A40。
m取1h，以连续的5个报警凸起值验证值Bi’的平均值作为检测参数达到Mi时的预设报警凸起值Bi，以5个1h作为一个预设验证周期，报警判断中的预设值取1mm。对于各条棱线的平均凸起值、四条棱线的平均凸起值
Figure BDA0004136185150000252
预设报警凸起值的计算原理同实施例4。
实施例6
与实施例4不同之处在于，当晶棒的等径时刻达到4.5h时，获取第一棱线的平均凸起值A10、第二棱线的平均凸起值A20、第三棱线的平均凸起值A30和第四棱线的平均凸起值A40。
m取1.5h，以连续的6个报警凸起值验证值Bi’的平均值作为检测参数达到Mi时的预设报警凸起值Bi，以3个1.5h作为一个预设验证周期，报警判断中的预设值取1.5mm。对于各条棱线的平均凸起值、四条棱线的平均凸起值
Figure BDA0004136185150000253
预设报警凸起值的计算原理同实施例4。
实施例7
与实施例4不同之处在于，当晶棒的等径时刻达到4h时，获取第一棱线的平均凸起值A10、第二棱线的平均凸起值A20、第三棱线的平均凸起值A30和第四棱线的平均凸起值A40。
m取0.5h，以连续的11个报警凸起值验证值Bi’的平均值作为检测参数达到Mi时的预设报警凸起值Bi，以11个0.5h作为一个预设验证周期，报警判断中的预设值取2mm。对于各条棱线的平均凸起值、四条棱线的平均凸起值
Figure BDA0004136185150000261
预设报警凸起值的计算原理同实施例4。/>
申请人在同一个炉台1中，采用现有技术中通过一个预警值对等径过程中的棱线判断，进行了10次拉晶，采用上述实施例1-7中的技术方案分别进行了10次拉晶，并记录了每个方案中拉晶的平均报警情况，如下表20：
表20拉晶报警记录
Figure BDA0004136185150000262
注：表20中，误报率＝(误报次数÷总检测次数)*100％；正确率＝(总正确报警次数÷总检测次数)*100％。其中：总检测次数＝误报次数+未报次数+迟缓报警次数+正确报警次数，总正确报警次数＝迟缓报警次数+正确报警次数，在考虑极严检测要求的情况下，将正常报警分为正确报警与迟缓报警，迟缓报警表示超出甲方要求的正确报警次数。表20中以断线长度15mm以内报警为正常报警，断线长度30mm以内报警为迟缓报警，断线长度超出30mm未报警则判定为未报；系统报警提示断线，但实际未断线则判定为误报。
从表20中可以看出：
1)本申请总体误报次数较少：在不排除极端检测环境因素的情况下，本申请的误报率远低于现有技术的误报率。
3)本申请总体未报次数极少，在实施例2-4、6、7中均未有未报情形发生，而未报发生，说明预设报警凸起值的设置不够准确，需要通过调整预设减数值调整，那么未报发生的次数越多，需要人为干预调试的次数也就越多。
4)本申请总体迟缓报警次数较多，相应的，本申请误报和未报的次数远低于现有技术。
综上，采用本申请的方案进行晶棒断棱检测，报警正确率更高，且调试周期短，节省工时，节省人力，对检测环境的容错率较高。
以上示意性地对本申请创造及其实施方式进行了描述，该描述没有限制性，附图中所示的也只是本申请创造的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。所以，如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本专利的保护范围。

Claims (10)

1.一种等径过程中的晶棒断棱检测方法，其特征在于，所述等径过程中的晶棒断棱检测方法包括：
获取晶棒在等径过程中的检测参数，所述检测参数为晶棒的等径长度或等径时刻；
当所述晶棒的检测参数达到Mi时，获取第一棱线的平均凸起值A1i、第二棱线的平均凸起值A2i、第三棱线的平均凸起值A3i和第四棱线的平均凸起值A4i，所述第一棱线、所述第二棱线、所述第三棱线和所述第四棱线周向均匀生长于所述晶棒的外表面；
判断所述第一棱线的平均凸起值A1i、所述第二棱线的平均凸起值A2i、所述第三棱线的平均凸起值A3i、所述第四棱线的平均凸起值A4i中是否存在小于或等于预设报警凸起值Bi的凸起值；
若存在，则进行报警判断；
若不存在，则将i+1，继续执行当所述晶棒的检测参数达到Mi时，获取第一棱线的平均凸起值A1i、第二棱线的平均凸起值A2i、第三棱线的平均凸起值A3i和第四棱线的平均凸起值A4i的步骤；其中，Mi＝M0+i*m，当所述检测参数为晶棒的等径长度时，M0为预设的等径长度初始值，i为大于等于0的自然数，m为凸起值的验证长度；当所述检测参数为晶棒的等径时刻时，M0为预设的等径时刻初始值，i为大于等于0的自然数，m为凸起值的验证时长。
2.根据权利要求1所述的等径过程中的晶棒断棱检测方法，其特征在于，所述获取第一棱线的平均凸起值A1i、第二棱线的平均凸起值A2i、第三棱线的平均凸起值A3i和第四棱线的平均凸起值A4i，包括：
在所述晶棒的检测参数Mi至Mi+Δi的区间内，获取第一棱线在至少3处不同检测参数时的凸起值，将所述至少3处不同检测参数时的凸起值的平均值作为所述第一棱线的平均凸起值A1i；
在所述晶棒的检测参数Mi至Mi+Δi的区间内，获取第二棱线在至少3处不同检测参数时的凸起值，将所述至少3处不同检测参数时的凸起值的平均值作为所述第二棱线的平均凸起值A2i；
在所述晶棒的检测参数Mi至Mi+Δi的区间内，获取第三棱线在至少3处不同检测参数时的凸起值，将所述至少3处不同检测参数时的凸起值的平均值作为所述第三棱线的平均凸起值A3i；
在所述晶棒的检测参数Mi至Mi+Δi的区间内，获取第四棱线在至少3处不同检测参数时的凸起值，将所述至少3处不同检测参数时的凸起值的平均值作为所述第四棱线的平均凸起值A4i。
3.根据权利要求1所述的等径过程中的晶棒断棱检测方法，其特征在于，所述等径过程中的晶棒断棱检测方法，还包括：
计算所述第一棱线的平均凸起值A1i、所述第二棱线的平均凸起值A2i、所述第三棱线的平均凸起值A3i、所述第四棱线的平均凸起值A4i的平均凸起值
Figure FDA0004136185130000021
将所述平均凸起值
Figure FDA0004136185130000022
减去预设减数值a，得到报警凸起值验证值Bi ’；
将连续的n个报警凸起值验证值Bi ’的平均值作为检测参数达到Mi时的预设报警凸起值Bi。
4.根据权利要求1所述的等径过程中的晶棒断棱检测方法，其特征在于，取n个m为一个预设验证周期，当所述检测参数为晶棒的等径长度时，所述预设验证周期的取值范围为450mm～550mm；当所述检测参数为晶棒的等径时刻时，所述预设验证周期的取值范围为3.5h～5.5h。
5.根据权利要求3所述的等径过程中的晶棒断棱检测方法，其特征在于，所述预设减数值a的取值范围为0.5～5。
6.根据权利要求1所述的等径过程中的晶棒断棱检测方法，其特征在于，当所述检测参数为晶棒的等径长度时，所述凸起值的验证长度m的取值范围为50mm～150mm；当所述检测参数为晶棒的等径时刻时，所述凸起值的验证时长m的取值范围为0.5h～1.5h。
7.根据权利要求1～6任意一项所述的等径过程中的晶棒断棱检测方法，其特征在于，所述报警判断，包括：
获取当前晶棒的直径Di；
若当前晶棒的直径Di与晶棒的目标直径D的差值的绝对值小于或等于预设值，则进行报警提示，并将i+1，继续执行当所述晶棒的检测参数达到Mi时，获取第一棱线的平均凸起值A1i、第二棱线的平均凸起值A2i、第三棱线的平均凸起值A3i和第四棱线的平均凸起值A4i的步骤；
若当前晶棒的直径Di与晶棒的目标直径D的差值的绝对值大于预设值，则将i+1，继续执行当所述晶棒的检测参数达到Mi时，获取第一棱线的平均凸起值A1i、第二棱线的平均凸起值A2i、第三棱线的平均凸起值A3i和第四棱线的平均凸起值A4i的步骤。
8.根据权利要求1所述的等径过程中的晶棒断棱检测方法，其特征在于，所述当所述检测参数为晶棒的等径长度时，M0的取值范围为250mm～350mm；当所述检测参数为晶棒的等径时刻时，M0的取值范围为2.5h～4.5h。
9.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机指令，其特征在于，所述计算机指令运行时执行权利要求1～8任意一项所述的等径过程中的晶棒断棱检测方法的步骤。
10.一种拉晶设备，其特征在于，所述拉晶设备包括炉体、坩埚、拉晶单元、监控单元和控制单元，所述坩埚、所述拉晶单元和所述监控单元均与所述控制单元电讯连接，所述监控单元被配置为获取所述炉体内的图像，所述控制单元被配置为控制所述拉晶单元的拉速、所述坩埚的转速，并根据权利要求1～8任意一项所述的等径过程中的晶棒断棱检测方法判断晶棒是否发生断棱。
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