CN116282863B - 一种沉积磷硅玻璃后的退火设备及其工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种沉积磷硅玻璃后的退火设备，包括外壳、支筒、支架和机门，所述外壳的内壁安装有支架，所述支架的外壁安装有支筒，所述外壳的外壁安装有机门，所述支筒的外壁贯穿安装有第一套筒。本发明通过安装有卡杆、支撑柱和一弹簧，实现了方便不同大小沉积磷硅玻璃的支起使其退火更加均匀的效果，第一弹簧移动使拉杆带动卡杆移动，卡杆移动使其移出卡口，此时拉动支撑柱带动滑筒移动，滑筒移动使支撑柱提高高度，支撑柱移动至合适的高度时，松开拉杆由第一弹簧的弹力使卡杆卡入卡口将支撑柱固定，方便不同大小沉积磷硅玻璃的支起使其退火更加均匀，实现了方便不同大小沉积磷硅玻璃的支起使其退火更加均匀的功能。
Description
技术领域
本发明涉及退火技术领域，具体为一种沉积磷硅玻璃后的退火设备及其工艺。
背景技术
硼磷硅玻璃，即掺杂了硼和磷的二氧化硅作为第一层金属前介电质以及金属层间介电质在IC制造中有着广泛的应用，二氧化硅原有的有序网络结构由于硼磷杂质的加入而变得疏松，在高温条件下某种程度上具有像液体一样的流动能力，氧化硅(SiO2)薄膜在半导体制造中的一个重要应用，是作为硅上有源器件与第一金属层之间的隔离层。这种隔离层一般在多层金属结构中的任意金属层之前沉积，因此将其称作金属前介质层，现有的沉积磷硅玻璃后退火设备不方便不同大小沉积磷硅玻璃的支起使其退火不均匀。
现有的沉积磷硅玻璃后退火设备存在的缺陷是：
1、专利文件CN104071972A公开了一种石英玻璃退火炉，“包括炉体，在炉体内设有炉膛，在炉体上设有用于封闭炉膛的炉门，在炉体内位于炉膛两侧由内至外依次为炉膛内层、保温棉层、保温砖层和珍珠岩层，在炉体内位于炉膛下面依次为炉膛底层、保温砖层和珍珠岩层，在炉体内位于炉膛上面依次为炉膛顶层、保温棉层、保温砖层和珍珠岩层；在炉膛内层的相对面上对称设有多个沟槽，在每个沟槽内分别设有电阻丝，每根电阻丝两端分别由炉体两侧引出接线端。有益效果是：使用方便，升温速度快，三小时即可达到退火所需的温度，退火时间短、加工效率高；适用范围广，适合对各种石英玻璃件进行退火处理，例如各种石英玻璃棒和石英玻璃板等”，但是现有的沉积磷硅玻璃后退火设备不方便不同大小沉积磷硅玻璃的支起使其退火不均匀；
2、专利文件CN106517757A公开了一种玻璃制品退火炉，“包括炉体，炉体内设有石棉层，炉体上开有若干通孔，每个通孔内滑动连接有一个温控单元，温控单元包括温控板和绝热的支座，温控板安装在支座上，支座上设有两个连接孔，每个连接孔内各安装有一根导管，温控板内设有S形流道，S形流道内设有点火装置，S形流道包括入口和出口，入口连通一个连接孔，出口连通另一个连接孔，还包括输送装置，输送装置穿过炉体。本专利意在提供一种玻璃制品退火炉，以在对玻璃制品进行退火时，控制玻璃制品局部的退火温度”，但是现有的沉积磷硅玻璃后退火设备不方便控制冷却口开启的大小使温度下降过快造成损坏；
3、专利文件CN103265165A公开了一种浮法玻璃退火窑Ａ区双顺流退火工艺，“包括辐射间接冷却区、热风循环强制冷却区、冷风强制冷却区和自然对流冷却区，所述的辐射间接冷却区设有一个顺流A区、一个退火区B和一个冷却区C，其特征在于在一个顺流A区设有双顺流退火工艺，所述工艺是在顺流A区上加长，并将A区分为A1、A2两区：A1是第一个顺流区；A2是第二个顺流区，A1、A2即“快、慢”前两步，退火窑的B区、C区即作业方法中的“慢、快”的后两步，即构成 “快、慢、慢、快”的退火作业制度。本发明将传统的单顺流退火工艺变更为双顺流退火工艺，改进后的工艺可满足大于800t/d的大吨位浮法线的生产需要；并大大提高了玻璃的退火效率和质量及生产的稳定性”，但是现有的沉积磷硅玻璃后退火设备的机门固定不牢固造成意外开启引发意外事故；
4、专利文件CN101597134A公开了一种大规格玻璃精密退火的装置，“该装置可以改善精密退火炉的温场不均匀性和减小退火炉的温度波动性，从而提高大规格玻璃精密退火质量。玻璃精密退火装置，包括盖板和中空柱体，所述盖板设置在所述中空柱体上，玻璃设置在中空柱体内，玻璃与中空柱体之间、玻璃与盖板之间设置有绝热材料。本发明采用绝热材料使大块玻璃处于一个等温体内，从而减少退火炉温度不均匀引起的径向温差和轴向温差，还可以抵抗炉温波动对玻璃的退火质量的影响，从而提高大规格玻璃精密退火质量，退火后的大块玻璃的应力均匀性≤2nm/cm，光学均匀性≤2×10－6，应力均匀性达到2类”，但是现有的沉积磷硅玻璃后退火设备退火使产生的有害气体不能净化加大对工作人员身体的伤害。
发明内容
本发明的目的在于提供一种沉积磷硅玻璃后的退火设备及其工艺，以解决上述背景技术中提出的缺少支撑功能、缺少调节功能、缺少固定结构、缺少净化结构的技术问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种沉积磷硅玻璃后的退火设备，包括外壳、支筒、支架和机门，所述外壳的内壁安装有支架，所述支架的外壁安装有支筒，所述外壳的外壁安装有机门；
所述支筒的外壁贯穿安装有第一套筒，所述第一套筒的内壁贯穿安装有卡杆，所述卡杆的一端安装有拉杆，所述拉杆的外壁安装有第一弹簧，且第一弹簧的一端与支筒的外壁连接，所述支筒的内壁贯穿安装有支撑柱，所述支撑柱的外壁设有卡口，所述支筒的内壁安装有滑杆；
所述滑杆的外壁安装有滑筒，且滑筒的外壁与支撑柱的外壁连接。
优选的，所述外壳的外壁安装有第一支盒、外壳的顶部贯穿安装有第二套筒，外壳的底部安装有支撑块。
优选的，所述第一支盒的外壁贯穿安装有第一电机，第一电机的输出端安装有转杆，转杆的外壁安装有收集轮，收集轮的外壁安装有拉绳，第一支盒的内壁安装有第二支杆，第二支杆的外壁安装有滑环，第二支杆的外壁安装有限位块，滑环的外壁安装有第三支杆，第三支杆的外壁安装有堵头，第三支杆的外壁安装有第三弹簧，且第三弹簧的一端与第一支盒的内壁连接，第一支盒的外壁设有第三开口。
优选的，所述第二套筒的内壁贯穿安装有卡柱，卡柱的外壁安装有第四支杆，第四支杆的外壁安装有第四弹簧，且第四弹簧的一端与外壳的内壁连接，机门的外壁安装有卡块，外壳的外壁设有第五开口，且卡块通过第五开口延伸至外壳的内部，卡块的外壁设有第二开口，机门的外壁安装有保温板。
优选的，所述卡杆延伸至卡口的内部，堵头位于第三开口处，卡柱延伸至第二开口的内部，第二套筒对卡柱进行移动支撑。
优选的，所述外壳的顶部安装有第二支盒，外壳的外壁安装有控制组件。
优选的，所述第二支盒的内壁贯穿安装有第一管道，且第一管道的一端延伸至外壳的内部，第一管道的一端安装有风头，第二支盒的内壁安装有收集盒，收集盒的顶部贯穿安装有第二管道，且第二管道的一端设有至第二支盒的顶部，收集盒的外壁贯穿安装有第三电机，第三电机的输出端安装有第七支杆，第七支杆的外壁安装有搅杆。
优选的，所述外壳的内壁安装有加热组件。
优选的，该退火设备的工作步骤如下：
S1、拉动拉杆带动第一弹簧移动，第一弹簧移动使拉杆带动卡杆移动，卡杆移动使其移出卡口，此时拉动支撑柱带动滑筒移动，滑筒移动使支撑柱提高高度，支撑柱移动至合适的高度时，松开拉杆由第一弹簧的弹力使卡杆卡入卡口将支撑柱固定，方便不同大小沉积磷硅玻璃的支起使其退火更加均匀，实现了方便不同大小沉积磷硅玻璃的支起使其退火更加均匀的功能；
S2、第一电机转动带动转杆转动，转杆转动带动收集轮转动，收集轮转动带动拉绳移动，拉绳移动带动第三支杆移动，第三支杆移动带动滑环移动，滑环移动使第三支杆带动第三弹簧移动，第三弹簧移动使第三支杆带动堵头移动，堵头移动将第三开口开启使空气通过通风道进入退火设备的内部，通风道贯穿第一支盒和外壳，实现了方便控制冷却口开启的大小防止温度下降过快的功能；
S3、保温板的作用是防止机门过热，拉动卡柱带动第四支杆移动，第四支杆移动带动第四弹簧移动，第四弹簧移动使卡柱移出第二开口，此时拉动机门带动卡块移动，卡块移动使其通过第五开口移出将机门开启，实现了使退火装置的机门固定更加牢固防止意外开启的功能；
S4、收集盒的内壁设有氢氧化钠溶液使氯气清除，沉积磷硅玻璃退火过程中产生的有害气体通过风头进入第一管道内部，气体通过第一管道进入收集盒内部，此时第三电机转动带动第七支杆转动，第七支杆转动带动搅杆转动，搅杆转动使气体与溶液快速反应将有害气体吸附，多余的空气通过第二管道排出，实现了将退火使产生的有害气体净化减少工作人员身体伤害的功能。
优选的，在所述步骤S1中还包括如下步骤：
S11、滑筒通过滑杆进行移动支撑，卡杆通过第一套筒进行移动支撑；
在所述步骤S2中还包括如下步骤：
S21、滑环通过第二支杆进行移动，滑环由限位块进行移动限位。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1.本发明通过安装有卡杆、支撑柱和一弹簧，实现了方便不同大小沉积磷硅玻璃的支起使其退火更加均匀的效果，拉动拉杆带动第一弹簧移动，第一弹簧移动使拉杆带动卡杆移动，卡杆移动使其移出卡口，此时拉动支撑柱带动滑筒移动，滑筒移动使支撑柱提高高度，支撑柱移动至合适的高度时，松开拉杆由第一弹簧的弹力使卡杆卡入卡口将支撑柱固定，方便不同大小沉积磷硅玻璃的支起使其退火更加均匀，实现了方便不同大小沉积磷硅玻璃的支起使其退火更加均匀的功能；
2.本发明通过安装有拉绳、堵头和第三支杆，实现了方便控制冷却口开启的大小防止温度下降过快的效果，第一电机转动带动转杆转动，转杆转动带动收集轮转动，收集轮转动带动拉绳移动，拉绳移动带动第三支杆移动，第三支杆移动带动滑环移动，滑环移动使第三支杆带动第三弹簧移动，第三弹簧移动使第三支杆带动堵头移动，堵头移动将第三开口开启使空气通过通风道进入退火设备的内部，通风道贯穿第一支盒和外壳，实现了方便控制冷却口开启的大小防止温度下降过快的功能；
3.本发明通过安装有第四弹簧、卡块和卡柱，实现了使退火装置的机门固定更加牢固防止意外开启的效果，保温板的作用是防止机门过热，拉动卡柱带动第四支杆移动，第四支杆移动带动第四弹簧移动，第四弹簧移动使卡柱移出第二开口，此时拉动机门带动卡块移动，卡块移动使其通过第五开口移出将机门开启，实现了使退火装置的机门固定更加牢固防止意外开启的功能；
4.本发明通过安装有搅杆、第一管道和收集盒，实现了将退火使产生的有害气体净化减少工作人员身体伤害的效果，收集盒的内壁设有氢氧化钠溶液使氯气清除，沉积磷硅玻璃退火过程中产生的有害气体通过风头进入第一管道内部，气体通过第一管道进入收集盒内部，此时第三电机转动带动第七支杆转动，第七支杆转动带动搅杆转动，搅杆转动使气体与溶液快速反应将有害气体吸附，多余的空气通过第二管道排出，实现了将退火使产生的有害气体净化减少工作人员身体伤害的功能。
附图说明
图1为本发明的正视结构示意图；
图2为本发明的右面结构示意图；
图3为本发明的卡杆结构示意图；
图4为本发明的滑筒结构示意图；
图5为本发明的行星柱结构示意图；
图6为本发明的堵头示意图；
图7为本发明的收集盒结构示意图；
图8为本发明的流程示意图。
图中：1、外壳；2、支撑块；3、控制组件；4、机门；5、支架；6、加热组件；7、支筒；8、第一套筒；9、卡杆；10、拉杆；11、第一弹簧；12、支撑柱；13、卡口；14、滑杆；15、滑筒；16、第一支盒；17、第一电机；18、转杆；19、收集轮；20、拉绳；21、第二支杆；22、滑环；23、限位块；24、第三支杆；25、堵头；26、第三弹簧；27、第二套筒；28、卡柱；29、第四支杆；30、第四弹簧；31、卡块；32、保温板；33、第二开口；34、第五开口；35、第二支盒；36、第一管道；37、风头；38、收集盒；39、第二管道；40、第三电机；41、第七支杆；42、搅杆。
实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体的连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
请参阅图1-图8，本发明提供的一种实施例：一种沉积磷硅玻璃后的退火设备，包括外壳1、支筒7、支架5和机门4，外壳1的作用是为沉积磷硅玻璃退火设备提供保护，支筒7的作用是为第一套筒8提供支撑，支架5的作用是为支筒7提供支撑，机门4的作用是方便沉积磷硅玻璃的拿取，外壳1的内壁安装有支架5，支架5的外壁安装有支筒7，外壳1的外壁安装有机门4，外壳1的外壁安装有第一支盒16、第一支盒16的作用是为第一电机17提供支撑，外壳1的顶部贯穿安装有第二套筒27，第二套筒27的作用是为卡柱28提供支撑，外壳1的底部安装有支撑块2，支撑块2的作用是为外壳1提供支撑，卡杆9延伸至卡口13的内部，堵头25位于第三开口处，卡柱28延伸至第二开口33的内部，第二套筒27对卡柱28进行移动支撑，外壳1的顶部安装有第二支盒35，第二支盒35的作用是为第一管道36提供支撑，外壳1的外壁安装有控制组件3，控制组件3的作用是控制退火设备的启停，外壳1的内壁安装有加热组件6，加热组件6的作用是为沉积磷硅玻璃的退火提供加热。
支筒7的外壁贯穿安装有第一套筒8，第一套筒8的内壁贯穿安装有卡杆9，卡杆9的一端安装有拉杆10，拉杆10的外壁安装有第一弹簧11，且第一弹簧11的一端与支筒7的外壁连接，支筒7的内壁贯穿安装有支撑柱12，支撑柱12的外壁设有卡口13，支筒7的内壁安装有滑杆14，滑杆14的外壁安装有滑筒15，且滑筒15的外壁与支撑柱12的外壁连接，拉动拉杆10带动第一弹簧11移动，第一弹簧11移动使拉杆10带动卡杆9移动，卡杆9移动使其移出卡口13，此时拉动支撑柱12带动滑筒15移动，滑筒15移动使支撑柱12提高高度，支撑柱12移动至合适的高度时，松开拉杆10由第一弹簧11的弹力使卡杆9卡入卡口13将支撑柱12固定，方便不同大小沉积磷硅玻璃的支起使其退火更加均匀，实现了方便不同大小沉积磷硅玻璃的支起使其退火更加均匀的功能。
第一支盒16的外壁贯穿安装有第一电机17，第一电机17的输出端安装有转杆18，转杆18的外壁安装有收集轮19，收集轮19的外壁安装有拉绳20，第一支盒16的内壁安装有第二支杆21，第二支杆21的外壁安装有滑环22，第二支杆21的外壁安装有限位块23，滑环22的外壁安装有第三支杆24，第三支杆24的外壁安装有堵头25，第三支杆24的外壁安装有第三弹簧26，且第三弹簧26的一端与第一支盒16的内壁连接，第一支盒16的外壁设有第三开口，第一电机17转动带动转杆18转动，转杆18转动带动收集轮19转动，收集轮19转动带动拉绳20移动，拉绳20移动带动第三支杆24移动，第三支杆24移动带动滑环22移动，滑环22移动使第三支杆24带动第三弹簧26移动，第三弹簧26移动使第三支杆24带动堵头25移动，堵头25移动将第三开口开启使空气通过通风道进入退火设备的内部，通风道贯穿第一支盒16和外壳1，实现了方便控制冷却口开启的大小防止温度下降过快的功能。
第二套筒27的内壁贯穿安装有卡柱28，卡柱28的外壁安装有第四支杆29，第四支杆29的外壁安装有第四弹簧30，且第四弹簧30的一端与外壳1的内壁连接，机门4的外壁安装有卡块31，外壳1的外壁设有第五开口34，且卡块31通过第五开口34延伸至外壳1的内部，卡块31的外壁设有第二开口33，机门4的外壁安装有保温板32，保温板32的作用是防止机门4过热，拉动卡柱28带动第四支杆29移动，第四支杆29移动带动第四弹簧30移动，第四弹簧30移动使卡柱28移出第二开口33，此时拉动机门4带动卡块31移动，卡块31移动使其通过第五开口34移出将机门4开启，实现了使退火装置的机门4固定更加牢固防止意外开启的功能。
第二支盒35的内壁贯穿安装有第一管道36，且第一管道36的一端延伸至外壳1的内部，第一管道36的一端安装有风头37，第二支盒35的内壁安装有收集盒38，收集盒38的顶部贯穿安装有第二管道39，且第二管道39的一端设有至第二支盒35的顶部，收集盒38的外壁贯穿安装有第三电机40，第三电机40的输出端安装有第七支杆41，第七支杆41的外壁安装有搅杆42，收集盒38的内壁设有氢氧化钠溶液使氯气清除，沉积磷硅玻璃退火过程中产生的有害气体通过风头37进入第一管道36内部，气体通过第一管道36进入收集盒38内部，此时第三电机40转动带动第七支杆41转动，第七支杆41转动带动搅杆42转动，搅杆42转动使气体与溶液快速反应将有害气体吸附，多余的空气通过第二管道39排出，实现了将退火使产生的有害气体净化减少工作人员身体伤害的功能。
该退火设备的工作步骤如下：
S1、拉动拉杆10带动第一弹簧11移动，第一弹簧11移动使拉杆10带动卡杆9移动，卡杆9移动使其移出卡口13，此时拉动支撑柱12带动滑筒15移动，滑筒15移动使支撑柱12提高高度，支撑柱12移动至合适的高度时，松开拉杆10由第一弹簧11的弹力使卡杆9卡入卡口13将支撑柱12固定，方便不同大小沉积磷硅玻璃的支起使其退火更加均匀，实现了方便不同大小沉积磷硅玻璃的支起使其退火更加均匀的功能；
S2、第一电机17转动带动转杆18转动，转杆18转动带动收集轮19转动，收集轮19转动带动拉绳20移动，拉绳20移动带动第三支杆24移动，第三支杆24移动带动滑环22移动，滑环22移动使第三支杆24带动第三弹簧26移动，第三弹簧26移动使第三支杆24带动堵头25移动，堵头25移动将第三开口开启使空气通过通风道进入退火设备的内部，通风道贯穿第一支盒16和外壳1，实现了方便控制冷却口开启的大小防止温度下降过快的功能；
S3、保温板32的作用是防止机门4过热，拉动卡柱28带动第四支杆29移动，第四支杆29移动带动第四弹簧30移动，第四弹簧30移动使卡柱28移出第二开口33，此时拉动机门4带动卡块31移动，卡块31移动使其通过第五开口34移出将机门4开启，实现了使退火装置的机门4固定更加牢固防止意外开启的功能；
S4、收集盒38的内壁设有氢氧化钠溶液使氯气清除，沉积磷硅玻璃退火过程中产生的有害气体通过风头37进入第一管道36内部，气体通过第一管道36进入收集盒38内部，此时第三电机40转动带动第七支杆41转动，第七支杆41转动带动搅杆42转动，搅杆42转动使气体与溶液快速反应将有害气体吸附，多余的空气通过第二管道39排出，实现了将退火使产生的有害气体净化减少工作人员身体伤害的功能。
在步骤S1中还包括如下步骤：
S11、滑筒15通过滑杆14进行移动支撑，卡杆9通过第一套筒8进行移动支撑；
在步骤S2中还包括如下步骤：
S21、滑环22通过第二支杆21进行移动，滑环22由限位块23进行移动限位
工作原理，外壳1的作用是为沉积磷硅玻璃退火设备提供保护，支筒7的作用是为第一套筒8提供支撑，支架5的作用是为支筒7提供支撑，机门4的作用是方便沉积磷硅玻璃的拿取，拉动拉杆10带动第一弹簧11移动，第一弹簧11移动使拉杆10带动卡杆9移动，卡杆9移动使其移出卡口13，此时拉动支撑柱12带动滑筒15移动，滑筒15移动使支撑柱12提高高度，支撑柱12移动至合适的高度时，松开拉杆10由第一弹簧11的弹力使卡杆9卡入卡口13将支撑柱12固定，方便不同大小沉积磷硅玻璃的支起使其退火更加均匀，实现了方便不同大小沉积磷硅玻璃的支起使其退火更加均匀的功能，第一电机17转动带动转杆18转动，转杆18转动带动收集轮19转动，收集轮19转动带动拉绳20移动，拉绳20移动带动第三支杆24移动，第三支杆24移动带动滑环22移动，滑环22移动使第三支杆24带动第三弹簧26移动，第三弹簧26移动使第三支杆24带动堵头25移动，堵头25移动将第三开口开启使空气通过通风道进入退火设备的内部，通风道贯穿第一支盒16和外壳1，实现了方便控制冷却口开启的大小防止温度下降过快的功能，保温板32的作用是防止机门4过热，拉动卡柱28带动第四支杆29移动，第四支杆29移动带动第四弹簧30移动，第四弹簧30移动使卡柱28移出第二开口33，此时拉动机门4带动卡块31移动，卡块31移动使其通过第五开口34移出将机门4开启，实现了使退火装置的机门4固定更加牢固防止意外开启的功能，收集盒38的内壁设有氢氧化钠溶液使氯气清除，沉积磷硅玻璃退火过程中产生的有害气体通过风头37进入第一管道36内部，气体通过第一管道36进入收集盒38内部，此时第三电机40转动带动第七支杆41转动，第七支杆41转动带动搅杆42转动，搅杆42转动使气体与溶液快速反应将有害气体吸附，多余的空气通过第二管道39排出，实现了将退火使产生的有害气体净化减少工作人员身体伤害的功能。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (7)
1.一种沉积磷硅玻璃后的退火设备，包括外壳（1）、支筒（7）、支架（5）和机门（4），其特征在于：所述外壳（1）的内壁安装有支架（5），所述支架（5）的外壁安装有支筒（7），所述外壳（1）的外壁安装有机门（4）；
所述支筒（7）的外壁贯穿安装有第一套筒（8），所述第一套筒（8）的内壁贯穿安装有卡杆（9），所述卡杆（9）的一端安装有拉杆（10），所述拉杆（10）的外壁安装有第一弹簧（11），且第一弹簧（11）的一端与支筒（7）的外壁连接，所述支筒（7）的内壁贯穿安装有支撑柱（12），所述支撑柱（12）的外壁设有卡口（13），所述支筒（7）的内壁安装有滑杆（14）；
所述滑杆（14）的外壁安装有滑筒（15），且滑筒（15）的外壁与支撑柱（12）的外壁连接，所述外壳（1）的外壁安装有第一支盒（16）、外壳（1）的顶部贯穿安装有第二套筒（27），外壳（1）的底部安装有支撑块（2），所述第一支盒（16）的外壁贯穿安装有第一电机（17），第一电机（17）的输出端安装有转杆（18），转杆（18）的外壁安装有收集轮（19），收集轮（19）的外壁安装有拉绳（20），第一支盒（16）的内壁安装有第二支杆（21），第二支杆（21）的外壁安装有滑环（22），第二支杆（21）的外壁安装有限位块（23），滑环（22）的外壁安装有第三支杆（24），第三支杆（24）的外壁安装有堵头（25），第三支杆（24）的外壁安装有第三弹簧（26），且第三弹簧（26）的一端与第一支盒（16）的内壁连接，第一支盒（16）的外壁设有第三开口，所述第二套筒（27）的内壁贯穿安装有卡柱（28），卡柱（28）的外壁安装有第四支杆（29），第四支杆（29）的外壁安装有第四弹簧（30），且第四弹簧（30）的一端与外壳（1）的内壁连接，机门（4）的外壁安装有卡块（31），外壳（1）的外壁设有第五开口（34），且卡块（31）通过第五开口（34）延伸至外壳（1）的内部，卡块（31）的外壁设有第二开口（33），机门（4）的外壁安装有保温板（32）。
2.根据权利要求1所述的一种沉积磷硅玻璃后的退火设备，其特征在于：所述卡杆（9）延伸至卡口（13）的内部，堵头（25）位于第三开口处，卡柱（28）延伸至第二开口（33）的内部，第二套筒（27）对卡柱（28）进行移动支撑。
3.根据权利要求1所述的一种沉积磷硅玻璃后的退火设备，其特征在于：所述外壳（1）的顶部安装有第二支盒（35），外壳（1）的外壁安装有控制组件（3）。
4.根据权利要求3所述的一种沉积磷硅玻璃后的退火设备，其特征在于：所述第二支盒（35）的内壁贯穿安装有第一管道（36），且第一管道（36）的一端延伸至外壳（1）的内部，第一管道（36）的一端安装有风头（37），第二支盒（35）的内壁安装有收集盒（38），收集盒（38）的顶部贯穿安装有第二管道（39），且第二管道（39）的一端设有至第二支盒（35）的顶部，收集盒（38）的外壁贯穿安装有第三电机（40），第三电机（40）的输出端安装有第七支杆（41），第七支杆（41）的外壁安装有搅杆（42）。
5.根据权利要求1所述的一种沉积磷硅玻璃后的退火设备，其特征在于：所述外壳（1）的内壁安装有加热组件（6）。
6.根据权利要求1-5任意一项所述的一种沉积磷硅玻璃后的退火设备的使用方法，其特征在于，该退火设备的工作步骤如下：
S1、拉动拉杆（10）带动第一弹簧（11）移动，第一弹簧（11）移动使拉杆（10）带动卡杆（9）移动，卡杆（9）移动使其移出卡口（13），此时拉动支撑柱（12）带动滑筒（15）移动，滑筒（15）移动使支撑柱（12）提高高度，支撑柱（12）移动至合适的高度时，松开拉杆（10）由第一弹簧（11）的弹力使卡杆（9）卡入卡口（13）将支撑柱（12）固定，方便不同大小沉积磷硅玻璃的支起使其退火更加均匀，实现了方便不同大小沉积磷硅玻璃的支起使其退火更加均匀的功能；
S2、第一电机（17）转动带动转杆（18）转动，转杆（18）转动带动收集轮（19）转动，收集轮（19）转动带动拉绳（20）移动，拉绳（20）移动带动第三支杆（24）移动，第三支杆（24）移动带动滑环（22）移动，滑环（22）移动使第三支杆（24）带动第三弹簧（26）移动，第三弹簧（26）移动使第三支杆（24）带动堵头（25）移动，堵头（25）移动将第三开口开启使空气通过通风道进入退火设备的内部，通风道贯穿第一支盒（16）和外壳（1），实现了方便控制冷却口开启的大小防止温度下降过快的功能；
S3、保温板（32）的作用是防止机门（4）过热，拉动卡柱（28）带动第四支杆（29）移动，第四支杆（29）移动带动第四弹簧（30）移动，第四弹簧（30）移动使卡柱（28）移出第二开口（33），此时拉动机门（4）带动卡块（31）移动，卡块（31）移动使其通过第五开口（34）移出将机门（4）开启，实现了使退火装置的机门（4）固定更加牢固防止意外开启的功能；
S4、收集盒（38）的内壁设有氢氧化钠溶液使氯气清除，沉积磷硅玻璃退火过程中产生的有害气体通过风头（37）进入第一管道（36）内部，气体通过第一管道（36）进入收集盒（38）内部，此时第三电机（40）转动带动第七支杆（41）转动，第七支杆（41）转动带动搅杆（42）转动，搅杆（42）转动使气体与溶液快速反应将有害气体吸附，多余的空气通过第二管道（39）排出，实现了将退火使产生的有害气体净化减少工作人员身体伤害的功能。
7.根据权利要求6所述的一种沉积磷硅玻璃后的退火设备的使用方法，其特征在于，在所述步骤S1中还包括如下步骤：
S11、滑筒（15）通过滑杆（14）进行移动支撑，卡杆（9）通过第一套筒（8）进行移动支撑；
在所述步骤S2中还包括如下步骤：
S21、滑环（22）通过第二支杆（21）进行移动，滑环（22）由限位块（23）进行移动限位。
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2023
- 2023-04-11 CN CN202310381893.8A patent/CN116282863B/zh active Active
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