CN116233710A - 具有由胶粘剂制成的阻尼层的mems音频转换器 - Google Patents

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Abstract

本发明涉MEMS音频转换器、用于所述MEMS音频转换器的转换单元(2)及其制造方法。所述转换单元包括：载体(4)；至少一个转换元件(5)，其与所述载体(4)连接且可沿升降轴(H)偏转；用于将转换元件(5)和与转换元件(5)隔开的膜片(3)连接在一起的耦合元件(13)，其可沿所述升降轴(H)运动；和构建在所述转换元件(5)与所述耦合元件(13)之间的弹簧区域(14)，其具有至少一个弹簧元件(15，30)，所述弹簧元件将所述转换元件(5)与所述耦合元件(13)可移动式连接在一起，且所述弹簧区域具有阻尼层(31)，所述阻尼层至少部分地覆盖所述弹簧元件(15，30)。根据本发明，所述阻尼层(31)由固化的胶粘剂(32)形成。

Description

具有由胶粘剂制成的阻尼层的MEMS音频转换器
技术领域
本发明涉及一种用于MEMS音频转换器的转换单元，所述转换单元具有：载体；至少一个转换元件，所述转换元件与所述载体连接且可沿升降轴偏转；用于将所述转换元件和与所述转换元件隔开的膜片连接在一起的耦合元件，所述耦合元件可沿所述升降轴运动；以及构建在所述转换元件与所述耦合元件之间的弹簧区域，所述弹簧区域具有至少一个弹簧元件，所述弹簧元件将所述转换元件与所述耦合元件可移动式连接在一起，且所述弹簧区域具有阻尼层，所述阻尼层至少部分地覆盖所述弹簧元件，此外，本发明还涉及一种MEMS音频转换器以及这种转换单元和/或这种MEMS音频转换器的制造方法。
背景技术
DE 10 2015 114 242 A1揭示过一种具有致动器和膜片的MEMS扬声器，致动器和膜片在升降轴的方向上相互隔开且通过升降结构间接相连。其中，此致动器通过柔性连接元件与此升降结构连接。此柔性连接元件必须构建得极为精细，以确保升降结构和致动器的最佳运动。其缺点在于，在机械振动下，例如当MEMS扬声器坠落在地面上时，此柔性连接元件可能折断。这又会导致MEMS扬声器故障。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术中已知的缺点，特别是提供一种对外部的机械振动有更强的抵抗力的MEMS音频转换器，以及/或者一种制造方法，所述制造方法可以用来降低制造MEMS音频转换器的制造成本。
本发明用以达成上述目的的解决方案为一种转换单元、一种MEMS音频转换器和/或一种制造方法。
本发明提出一种用于MEMS音频转换器的转换单元，所述转换单元具有载体。所述转换单元还具有至少一个转换元件，所述转换元件与所述载体连接且可沿升降轴偏转。所述转换单元优选具有多个转换元件。所述转换单元还包括用于将所述至少一个转换元件和与所述转换元件隔开的膜片连接在一起的耦合元件。所述耦合元件可沿所述升降轴运动。此外，所述转换单元还包括构建在所述转换元件与所述耦合元件之间的弹簧区域，所述弹簧区域具有至少一个弹簧元件。所述弹簧元件将所述转换元件与所述耦合元件可移动式连接在一起。所述转换单元还包括阻尼层，所述阻尼层至少部分地覆盖所述弹簧元件。所述阻尼层减少了振动量，也就是减少最大诱导张力以及在机械冲击中作用于弹簧元件的负荷的持续时间。这样就能防止该至少一个弹簧元件折断。此外，所述阻尼层由固化的胶粘剂形成。这样就能以极低的成本来形成阻尼层，从而降低转换单元的制造成本。此外，可以与转换元件的材料特性无关地选择阻尼层的材料特性。因此，优选地，可以如此地选择阻尼层的材料特性，使得阻尼层在尽可能不影响弹簧元件的可动性的同时，最大程度地保护弹簧元件免受外部机械干扰。
有利地，固化的胶粘剂为弹性的、柔性的和/或具有小于10MPa的弹性模量。这样就能确保弹簧元件的可动性以及转换单元的可动性大体不受影响。
此外，有利地，固化的胶粘剂具有触变性，使其粘度因持续变形而降低。有利地，当转换单元停止工作时，阻尼层很好地保护了弹簧元件。此外，当转换单元运行时，弹簧元件或转换元件的可动性得到提高或改进。
有利地，固化的胶粘剂具有0.5至1.5g/cm3，特别是1.09g/cm3的密度。
同样有利地，固化的胶粘剂是环氧树脂。为防止弹簧元件受损，有利地，胶粘剂是无溶剂的。
为确保弹簧元件的尽可能良好的可动性，有利地，弹簧区域具有至少一个连贯的凹槽。
此外，有利地，阻尼层至少部分地覆盖和/或跨越该至少一个凹槽。术语“覆盖”和/或“跨越”是指，阻尼层基本上不延伸进凹槽。由此，形成阻尼层的胶粘剂在制造时不会进入或仅在入口区域进入凹槽。
此外，有利地，凹槽沿升降轴方向从弹簧区域的第一侧延伸至弹簧区域的相对的第二侧，该第一侧优选在正常使用中背离为此设置的膜片，该第二侧优选在正常使用中朝向为此设置的膜片。
此外，有利地，凹槽沿转换元件的纵向从转换元件延伸至耦合元件。
同样有利地，凹槽将弹簧元件的纵侧切断。这样就能改进弹簧元件的可动性。
此外，有利地，阻尼层布置在弹簧区域的第一侧和/或第二侧上。
同样有利地，凹槽沿升降轴的方向在弹簧区域的第一侧和/或第二侧上具有凹槽开口。此外，有利地，阻尼层沿升降轴的方向特别是仅布置在凹槽开口的区域内，使得凹槽的连接凹槽开口的内区域优选是无胶粘剂的。
同样有利地，该至少一个凹槽特别是在俯视图中具有第一区段，该第一区段构建在同一弹簧元件的两个相对的弹簧元件区段之间。此外，有利地，该至少一个凹槽优选在俯视图中具有第二区段，该第二区段构建在弹簧元件与转换元件之间。有利地，该至少一个凹槽在俯视图中具有第三区段，该第三区段构建在弹簧元件与耦合元件之间。此外，有利地，该至少一个凹槽在俯视图中具有第四区段，该第四区段构建在两个相邻的弹簧元件之间。
同样有利地，凹槽，特别是第一、第二、第三和/或第四区段的宽度与液态胶粘剂的粘度对应，使得液态胶粘剂不会通过凹槽滴落。优选地，凹槽，特别是第一、第二、第三和/或第四区段具有5μm至40μm，特别是30μm的宽度。
此外，有利地，该至少一个弹簧元件在俯视图中布置在两个凹槽之间。
同样有利地，阻尼层至少部分地覆盖耦合元件的连接弹簧区域的端面。这样就能降低制造阻尼层时的难度，由此降低转换单元的成本。
有利地，转换元件构建为悬臂。此外，有利地，转换元件具有与载体固定连接的基座和/或可沿升降轴相对载体偏转的自由端。有利地，自由端相对于弹簧区域在升降轴的方向上抬高，从而在这二者之间形成台肩，阻尼层抵靠在该台肩上。
同样有利地，转换单元具有多层结构，该多层结构包括至少一个载体层和/或一个压电转换层。
此外，有利地，载体层是转换元件、该至少一个弹簧元件和/或耦合元件的组成部分。
同样有利地，转换层至少部分地形成台肩。
本发明还提出一种用于产生和/或检测声波的MEMS音频转换器，其具有可沿升降轴偏转的膜片和转换单元。所述转换单元具有载体和转换元件，所述转换元件与载体连接、与膜片隔开且可沿升降轴偏转。所述转换单元还具有耦合元件，所述耦合元件将转换元件与隔开的膜片连接在一起，且可以与膜片一起沿升降轴运动。所述转换单元还包括至少一个构建在转换元件与耦合元件之间的弹簧区域，所述弹簧区域具有至少一个弹簧元件，所述弹簧元件将转换元件与耦合元件可移动式连接在一起。为保护弹簧元件，弹簧区域具有阻尼层，所述阻尼层至少部分地覆盖至少所述弹簧元件。所述转换单元根据前文的描述构建，其中可以单独应用述及的特征或将其任意组合。
本发明还提出特别是前述转换单元和/或MEMS音频转换器的一种制造方法，其中可以单独应用前述特征或将其任意组合。在所述制造方法中，在转换单元的弹簧区域内，在至少一个弹簧元件上构建阻尼层。其中，将液态胶粘剂施覆至弹簧区域，该胶粘剂至少部分地覆盖至少弹簧元件。随后，将胶粘剂固化，从而通过固化的胶粘剂形成阻尼层。
有利地，将液态胶粘剂作为液滴或线施覆在弹簧区域内。优选用施覆装置，特别是针头来进行施覆。
有利地，液态胶粘剂具有5000至15000mPa*s，特别是10000mPa*s的粘度。这样就能确保液态胶粘剂不会通过该至少一个构建在弹簧区域内的凹槽滴落。此外，可以快速且针对性地施覆具有前述粘度的液态胶粘剂。由此，还确保液态胶粘剂在需要构建阻尼层的区域内能够流散和/或均匀地分布。
为了缩短转换单元和/或MEMS音频转换器的制造时长，有利地，借助(即通过输送)光，特别是UV和/或VIS，以及/或者借助热量来将胶粘剂固化。
此外，有利地，以超过100mW/cm3，特别是150mW/cm3的照射强度来照射液态胶粘剂以使其固化。就此而言，有利地，对液态胶粘剂进行小于60s，特别是30s的照射以使其固化。
此外，有利地，在超过100℃的温度，特别是环境温度下，优选在超过130℃，特别优选在超过150℃的温度下将液态胶粘剂固化。就此而言，有利地，使液态胶粘剂在所述温度下暴露小于15min，优选小于11min，特别优选小于6min。
同样有利地，胶粘剂在固化期间收缩1vol.％至3vol.％，特别是2vol.％。
此外，有利地，以蚀刻工艺制造转换单元和/或MEMS音频转换器的半成品，特别是至少该弹簧区域，并且在蚀刻工艺之后施覆液态胶粘剂。
附图说明
本发明其他优点在下文的实施例中描述。其中：
图1为MEMS音频转换器的侧面剖视图，
图2为所述MEMS音频转换器的俯视图，
图3为所述MEMS音频转换器的侧面剖视图在弹簧区域的范围内的局部详图，
图4为所述MEMS音频转换器的俯视图在所述弹簧区域的范围内的局部详图，以及
图5为制造所述MEMS音频转换器的转换单元的阻尼层的方法流程。
具体实施方式
图1和图2示出用于产生和/或检测声波的MEMS音频转换器1。因此，MEMS音频转换器1可以用于产生和/或检测处于可听波长谱中的声波。但作为补充或替代方案，MEMS音频转换器1同样可以产生和/或检测超声波范围的声波。MEMS音频转换器因其紧凑的结构形式而特别适用于移动式设备，例如手机、移动电话、音频眼镜、头戴式耳机和/或助听器。
MEMS音频转换器1包括转换单元2。可以用这个转换单元2将运动转化为电信号。在这种情况下，转换单元2用作麦克风、传感器或数据接收器。作为补充或替代方案，转换单元可以由电信号产生运动。在这种情况下，转换单元2用作扬声器、致动器或数据发送器。在本实施例中，MEMS音频转换器1还包括与转换单元2耦合的膜片3。膜片3可沿升降轴H偏转。膜片优选由弹性材料形成。
转换单元2具有载体4和至少一个转换元件5。转换元件5与载体4连接。如图1所示，转换元件5布置在载体4的第一端侧上。膜片3在其边缘区域内紧固在载体4的相对的第二端侧上。膜片3可以具有在此未示出的加固元件，该加固元件与边缘区域隔开。
在本实施例中，转换元件5构建为悬臂。由此，转换元件5包括与载体4固定连接的基座6。转换元件5从这个基座6出发越过载体4延伸进MEMS音频转换器的腔体7。术语“腔体”指的是膜片3背面的声腔或声学体积。转换元件5包括自由端8。这个自由端构建在悬臂的与基座相对的末端上。转换元件5的自由端8可沿升降轴H偏转，从而使得转换元件5在其长度范围内弯曲。
在本实施例中，转换元件5构建为多层结构9的组成部分。多层结构9包括至少一个载体层10和一个转换层11。优选地，转换层11构建为压电转换层11。多层结构9还可以具有在此未示出的其他层，例如电极层和/或绝缘层。
如图1和图2所示，膜片3在升降轴H的方向上与转换元件5隔开，使得在这二者之间构建有载体空腔12。由此，载体空腔12形成MEMS音频转换器1的声腔7的一部分。为使得膜片3与转换元件5耦合，转换单元2还包括耦合元件13。这个耦合元件13在升降轴H的方向上从膜片3延伸至转换元件5。优选地，耦合元件13与膜片3直接和/或刚性连接。因此，膜片3和耦合元件13作为一个单元共同沿升降轴H振荡。
为了对耦合元件13与转换元件5，特别是与自由端8之间的定向变化进行补偿，转换单元2还包括弹簧区域14。这个弹簧区域14构建在转换元件5与耦合元件13之间。因此，转换元件5通过弹簧区域14间接与耦合元件13连接。为此，弹簧区域14包括至少一个第一弹簧元件15。由此，这至少一个第一弹簧元件15将转换元件5与耦合元件13可移动式连接在一起。
特别是从如图3和图4所示局部详图中可以看出，第一弹簧元件15可以具有曲折的形状。第一弹簧元件15在此如此地成型，使其具有两个相对的弹簧元件区段16、17。
弹簧区域14包括第一凹槽18，该第一凹槽18决定第一弹簧元件15的轮廓。第一凹槽18将第一弹簧元件15的第一纵侧19切断。为此，第一凹槽18沿转换元件5的纵向从自由端8延伸至耦合元件13。
如图3所示，弹簧区域14在升降轴H的方向上包括第一侧20和相对的第二侧21。其中，第一侧20背离膜片3，相对的第二侧21朝向膜片3。第一凹槽18构建为连贯的。由此，第一凹槽18在升降轴的方向上从第一侧20连贯地延伸至第二侧21。因此，第一凹槽18在第一侧20和第二侧21上分别包括一个凹槽开口22，在图3中为清楚起见，仅其中的一个用附图标记标示。因此，在这两个凹槽开口22之间构建有第一凹槽18的内区域23。
如图4所示，弹簧区域14包括第二凹槽24。这个第二凹槽按照前文描述与第一凹槽18类似地构建。第二凹槽24将第一弹簧元件15的第二纵侧25切断。因此，在俯视图中，第一弹簧元件15处于这两个凹槽18、24之间。由此，第一弹簧元件15的轮廓由这两个相邻的凹槽18、24决定。
在本实施例中，根据图2和图4，除第一弹簧元件15外，转换单元2还包括将转换元件5与耦合元件13连接在一起的第二弹簧元件30。其中，第二弹簧元件30可以按照前文描述与第一弹簧元件15以相同方式构建。在本实施例中，这两个弹簧元件15、30完全互为镜像。
如图4所示，第一凹槽18包括第一区段26，该第一区段26构建在第一弹簧元件15的两个相对的弹簧元件区段16、17之间。第二凹槽24具有第二区段27，该第二区段27构建在第一弹簧元件15，特别是第一弹簧元件区段16与转换元件5之间。第二凹槽24还具有第三区段28，该第三区段28构建在第一弹簧元件15，特别是第二弹簧元件区段17与耦合元件13之间。第二凹槽24还包括第四区段29，该第四区段29构建在第一弹簧元件15与相邻的第二弹簧元件30之间。因此，第二凹槽24既与第一弹簧元件15对应，又与第二弹簧元件30对应。
该至少一个弹簧元件15、30必须构建得极为精细，以确保耦合元件13和转换元件5的最佳运动。其缺点在于，在机械振动下，该至少一个弹簧元件15、30可能折断，这又会导致转换单元2或整个MEMS扬声器1故障。因此，为保护该至少一个弹簧元件15、30，转换单元2在其弹簧区域14内包括阻尼层31。其中，阻尼层31布置在该至少一个弹簧元件15、30上和/或上方。该阻尼层减少了振动量，也就是减少最大诱导张力以及在机械冲击中作用于该至少一个弹簧元件15、30的负荷的持续时间。这样就能防止该至少一个弹簧元件15、30折断。
其中，阻尼层31至少部分地覆盖该至少一个弹簧元件15、30。在本实施例中，阻尼层31完全覆盖弹簧元件15、30的一侧和/或弹簧元件15、30的整个长度范围。如图1和图3所示，阻尼层31施覆在弹簧区域14的第一侧20上。但作为替代或补充方案，阻尼层31也可以施覆在弹簧区域14的第二侧21上。
阻尼层31在弹簧区域14内不仅布置在该至少一个弹簧元件15、30上，还至少部分地布置在弹簧区域14的至少一个凹槽18、24上。由此，该至少一个弹簧元件15、30得到额外的支撑、缓冲和/或稳定。
阻尼层31由固化的胶粘剂32形成。在固化状态下，这个胶粘剂32具有弹性，从而大体不会对该至少一个弹簧元件15、30的可动性产生不利影响。出于这个原因，胶粘剂32还有利地具有触变性。这表示，其粘度在持续变形的情况下降低。由此，当转换单元2工作时，阻尼层31带给该至少一个弹簧元件15、30的阻力减小。同样有利地，胶粘剂32是无溶剂的，使得优选由多层结构9的载体层10形成的该至少一个弹簧元件15、30不被侵蚀。
图5示出在弹簧区域14上形成阻尼层31的制造方法。在所述制造方法的时间点上，膜片3优选尚未布置在载体4上。图5示出转换单元2的半成品。为制造图5所示半成品33，事先在载体衬底，特别是硅衬底上施覆多个层，特别是至少施覆载体层10、转换层11和/或电极层。随后，以蚀刻工艺将载体衬底至少部分地蚀刻掉，以形成载体空腔12。在这个蚀刻工艺中，同样将所施覆的层局部地和/或部分地蚀刻掉，以形成多层结构9，再由该多层结构形成该至少一个转换元件5和该至少一个弹簧元件15、30。由此，通过局部蚀刻掉载体层10来形成弹簧区域14的至少一个凹槽18、24。
半成品33形成后，如图5所示，将液态胶粘剂32施覆在弹簧区域14上以形成阻尼层31。根据图5所示实施例，在弹簧区域14的第一侧20以及/或者为充分利用重力从上方进行施覆。借助于施覆装置34来进行施覆。这个施覆装置34在此构建为注射针头。由此，将液态胶粘剂32作为液滴、特别是单个的液滴来施覆。但在此处未示出的实施例中，也可以将液态胶粘剂32作为线来施覆。
耦合元件13布置在转换单元2的中心。基于这一点，如图5所示，将液态胶粘剂32注射至耦合元件13的端面35上。从该处出发，液态胶粘剂32特别是由于重力而横向地沿至少一个邻接的弹簧区域14的方向分布。在此过程中，液态胶粘剂32将该至少一个弹簧元件15、30的外侧36覆盖。液态胶粘剂32具有5000至15000mPa*s，特别是10000mPa*s的粘度。此外，该至少一个凹槽18、24的宽度如此之小或者与液态胶粘剂32的粘度对应，使得液态胶粘剂32至少在该至少一个凹槽18、24的一个区段26、27、28、29中大体无法渗透。由此，液态胶粘剂32同样流经这至少一个凹槽18、24。因此，液态胶粘剂32跨越和/或覆盖该至少一个凹槽18、24的对应凹槽开口22。该至少一个凹槽18、24的内区域23由此保持无胶粘剂。这样液态胶粘剂32就无法通过该至少一个凹槽18、24所形成的开缝滴落。
因此，如图5所示，液态胶粘剂32均匀分布在耦合元件13和该至少一个弹簧区域14的端面35上。特别是如图3和图5所示，转换元件5的自由端8相对于相邻的弹簧区域14在升降轴H的方向上抬高，从而在这二者之间形成台肩37。这个台肩37形成针对阻尼层31所设置的空间的侧边界，液态胶粘剂32可以分布在该空间中。在此过程中，液态胶粘剂32如此地定量，使得液态胶粘剂32不越过台肩37。因此，在胶粘剂32固化后，阻尼层31抵靠在这个台肩37上。
当该至少一个弹簧区域14内的液态胶粘剂32均匀分布在第一侧20上后，将这个胶粘剂固化。借助光，特别是UV和/或VIS，以及/或者借助热量来实施固化。由此，用光源38照射液态胶粘剂32，和/或用热源39使得周围环境升温。
随后，将膜片3紧固在转换单元2上，从而形成MEMS音频转换器1。
本发明不局限于示出的和描述的实施例。可以采用处于权利要求书范围内的变体，以及将特征加以组合，即便这些特征是在不同的实施例中揭示和描述。
附图标记表
1 MEMS音频转换器
2 转换单元
3 膜片
4 载体
5 转换元件
6 基座
7 腔体
8 自由端
9 多层结构
10 载体层
11 转换层
12 载体空腔
13 耦合元件
14 弹簧区域
15 第一弹簧元件
16 第一弹簧元件区段
17 第二弹簧元件区段
18 第一凹槽
19 第一纵侧
20 弹簧区域的第一侧
21 弹簧区域的第二侧
22 凹槽开口
23 凹槽的内区域
24 第二凹槽
25 第二纵侧
26 第一区段
27 第二区段
28 第三区段
29 第四区段
30 第二弹簧元件
31 阻尼层
32 胶粘剂
33 半成品
34 施覆装置
35 端面
36 外侧
37 台肩
38 光源
39 热源
H 升降轴

Claims (15)

1.一种用于MEMS音频转换器的转换单元(2)，具有：
载体(4)，
至少一个转换元件(5)，所述转换元件(5)与所述载体(4)连接且可沿升降轴(H)偏转，
用于将所述转换元件(5)和与所述转换元件(5)隔开的膜片(3)连接在一起的耦合元件(13)，所述耦合元件(13)可沿所述升降轴(H)运动，以及
构建在所述转换元件(5)与所述耦合元件(13)之间的弹簧区域(14)，所述弹簧区域(14)具有至少一个弹簧元件(15，30)，所述至少一个弹簧元件(15，30)将所述转换元件(5)与所述耦合元件(13)可移动式连接在一起，且所述弹簧区域(14)具有阻尼层(31)，所述阻尼层(31)至少部分地覆盖所述弹簧元件(15，30)，
其特征在于，
所述阻尼层(31)由固化的胶粘剂(32)形成。
2.根据权利要求1所述的转换单元，其特征在于，所述固化的胶粘剂(32)具有弹性，和/或具有小于10MPa的弹性模量，以及/或者
所述固化的胶粘剂(32)具有触变性，使其粘度因持续变形而降低。
3.根据权利要求1-2中任一项或多项所述的转换单元，其特征在于，所述固化的胶粘剂(32)具有0.5至1.5g/cm3，特别是1.09g/cm3的密度，以及/或者，所述固化的胶粘剂(32)是无溶剂的。
4.根据权利要求1-3中任一项或多项所述的转换单元，其特征在于，所述弹簧区域(14)具有至少一个连贯的凹槽(18，24)，其中所述凹槽(18，24)优选将所述弹簧元件的纵侧(19，25)切断，以及
所述阻尼层(31)至少部分地覆盖和/或跨越所述至少一个凹槽(18，24)。
5.根据权利要求1-4中任一项或多项所述的转换单元，其特征在于，所述阻尼层(31)布置在所述弹簧区域(14)的第一侧和/或第二侧(20，21)上。
6.根据权利要求1-5中任一项或多项所述的转换单元，其特征在于，所述阻尼层(31)沿所述升降轴(H)的方向布置在所述凹槽(18，24)的凹槽开口(22)的区域内并且跨越所述凹槽(18，24)，使得所述凹槽(18，24)的连接所述凹槽开口(22)的内区域(23)是无胶粘剂的。
7.根据权利要求1-6中任一项或多项所述的转换单元，其特征在于，所述至少一个凹槽(18，24)具有：第一区段(26)，所述第一区段(26)构建在同一弹簧元件(15，30)的两个相对的弹簧元件区段(16，17)之间，
第二区段(27)，所述第二区段(27)构建在所述弹簧元件(15，30)与所述转换元件(5)之间，
第三区段(28)，所述第三区段(28)构建在所述弹簧元件(15，30)与所述耦合元件(13)之间，和/或
第四区段(29)，所述第四区段(29)构建在两个相邻的弹簧元件(15，30)之间。
8.根据权利要求1-7中任一项或多项所述的转换单元，其特征在于，所述阻尼层(31)至少部分地覆盖所述耦合元件(13)的连接所述弹簧区域(14)的端面(35)。
9.根据权利要求1-8中任一项或多项所述的转换单元，其特征在于，一自由端(8)相对于所述弹簧区域(14)在所述升降轴(H)的方向上抬高，从而在所述二者之间形成台肩(37)，所述阻尼层(31)抵靠在所述台肩上。
10.一种用于产生和/或检测声波的MEMS音频转换器，
具有可沿升降轴(H)偏转的膜片(3)，且
具有转换单元(2)，所述转换单元(2)包括：
载体(4)，
转换元件(5)，所述转换元件(5)与所述载体(4)连接、与所述膜片(3)隔开且可沿所述升降轴(H)偏转，
耦合元件(13)，所述耦合元件(13)将所述转换元件(5)与所述隔开的膜片(3)连接在一起，且可以与所述膜片(3)一起沿所述升降轴(H)运动，和
至少一个构建在所述转换元件(5)与所述耦合元件(13)之间的弹簧区域(14)，所述弹簧区域(14)具有至少一个弹簧元件(15，30)，所述弹簧元件(15，30)将所述转换元件(5)与所述耦合元件(13)可移动式连接在一起，且所述弹簧区域(14)具有阻尼层(31)，所述阻尼层(31)至少部分地覆盖所述弹簧元件(15，30)，
其特征在于，
所述转换单元(2)根据权利要求1-9中任一项或多项构建。
11.一种特别是根据权利要求1-10中任一项或多项所述的转换单元(2)和/或MEMS音频转换器的制造方法，
在所述制造方法中，在所述转换单元(2)的弹簧区域(14)内，在至少一个弹簧元件(15，30)上构建阻尼层(31)，
其特征在于，
将液态胶粘剂(32)施覆至所述弹簧区域(14)，所述胶粘剂(32)至少部分地覆盖至少所述弹簧元件(15，30)，以及
将所述胶粘剂(32)固化，从而通过所述固化的胶粘剂(32)形成所述阻尼层(31)。
12.根据权利要求11所述的制造方法，其特征在于，将所述液态胶粘剂(32)作为液滴或线施覆在所述弹簧区域(14)内，以及/或者
所述液态胶粘剂(32)具有5000至15000mPa*s，特别是10000mPa*s的粘度。
13.根据权利要求11-12中任一项或多项所述的制造方法，其特征在于，借助光和/或热量来将所述胶粘剂(32)固化，以及/或者
以超过100mW/cm3，特别是150mW/cm3的照射强度和/或以小于60s，特别是30s的时长照射所述液态胶粘剂(32)以使其固化。
14.根据权利要求11-13中任一项或多项所述的制造方法，其特征在于，在超过100℃的温度下，优选在超过130℃，特别优选在超过150℃的温度下将所述液态胶粘剂(32)固化，以及/或者
使所述液态胶粘剂在所述温度下暴露小于15min，优选小于11min，特别优选小于6min。
15.根据权利要求11-14中任一项或多项所述的制造方法，其特征在于，以蚀刻工艺制造所述弹簧区域(14)，并且在所述蚀刻工艺之后施覆所述液态胶粘剂(32)。
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