CN116231436A - 一种激光器 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种激光器，涉及激光技术领域。该激光器包括泵源组、第一调整组、第一谐振组、第一晶体组、第二谐振组、第三谐振组、第一反射组、第一倍频组和第四谐振组，第一调整组设置在泵源组输入泵浦光的一侧。第一谐振组设置在第一调整组背离泵源组的一侧。第一晶体组设置在第一谐振组背离第一调整组的一侧，第二谐振组设置在第一晶体组背离第一谐振组的一侧，第三谐振组设置第二谐振组与第一晶体组相邻的一侧，第一反射组设置在第三谐振组与第二谐振组相邻的一侧。第一倍频组设置在第一反射组背离第三谐振组的一侧，第四谐振组设置在第一倍频组背离第一反射组的一侧。本申请可实现绿光激光高功率稳定运转，同时也兼容低功率运行。

Description

一种激光器

技术领域

本申请涉及激光技术领域，尤其涉及一种激光器。

背景技术

激光是近代科学技术中的重大发明之一，其中，532nm绿光激光应用于冷加工领域，在非金属以及精密加工中的应用价值尤其突出。随着全球对精细加工的需求日益增加，使得绿光激光器的应用领域不断扩大。获取光束质量优良，参数可控，且能长效稳定运行的绿光激光，对精密加工行业和非金属加工行业，意义重大。

现在市面上用于工业加工的绿光激光器多采用固体激光器倍频的方案，腔内倍频或者腔外倍频来实现激光由1064nm到532nm的转换。

在中高功率绿光(大于30W平均输出功率)输出方面，更需要良好的设计与工业处理，才能得到高稳定运转的532nm绿光激光输出。

为了获得中高功率的532nm绿光激光输出，有些采用侧面泵浦的方式进行，但是在输出光束质量、稳定性、长期工作可靠性、光脉宽等输出参数方面都比较差，对于下游的实际使用不利。端面泵浦是比较合适的方式，不过市面上一般的单端面泵浦在高功率泵浦下，激光晶体吸收泵浦光后受热不均，热透镜非常大，同时晶体很容易开裂，不能满足532nm绿光激光高平均功率输出的稳定运转要求；单端泵浦只适合小功率输出的激光器。一般平台来说，无法兼容满足高中低功率的不同功率输出需求，导致整体机器外形尺寸种类繁杂，对下游集成商不太友好。

发明内容

有鉴于此，本申请的目的在于提供了一种激光器，旨在解决现有技术中的技术问题。

为实现上述目的，本申请采用的技术方案如下：

第一方面，本申请实施例提供了一种激光器，包括：

泵源组，所述泵源组用于产生泵浦光；

第一调整组，所述第一调整组设置在所述泵源组输入泵浦光的一侧；

第一谐振组，所述第一谐振组设置在所述第一调整组背离所述第泵源组的一侧，所述第一谐振组用于透射泵浦光；

第一晶体组，所述第一晶体组设置在所述第一谐振组背离所述第一调整组的一侧，所述第一晶体组用于吸收泵浦光并产生基频光；

第二谐振组，所述第二谐振组设置在所述第一晶体组背离所述第一谐振组的一侧，所述第二谐振组用于透射泵浦光并反射基频光；

第三谐振组，所述第三谐振组设置所述第二谐振组与所述第一晶体组相邻的一侧，且所述第三谐振组位于所述第二谐振组反射的基频光的方向，以及所述第三谐振组用于反射基频光；

第一反射组，所述第一反射组设置在所述第三谐振组与所述第二谐振组相邻的一侧；

第一倍频组，所述第一倍频组设置在所述第一反射组背离所述第三谐振组的一侧；

第四谐振组，所述第四谐振组设置在所述第一倍频组背离所述第一反射组的一侧。

在第一方面的其中一个实施例中，所述泵源组包括第一泵源和第二泵源，所述第一泵源设置所述第二泵源的一侧，且所述第一泵源与所述第二泵源平行，以及所述第一泵源输出泵浦光的一端与所述第二泵源输出泵浦光的一端同侧。

在第一方面的其中一个实施例中，所述第一调整组包括第一透镜、第二透镜和第三透镜，所述第一透镜设置在所述第一泵源输出泵浦光的一侧，所述第二透镜设置在所述第一透镜背离所述第一泵源的一侧，且所述第三透镜设置所述第二泵源输出泵浦光的一侧；

其中，所述第一透镜、第二透镜和第三透镜均为泵浦整形聚焦透镜。

在第一方面的其中一个实施例中，所述第一谐振组包括第一谐振腔镜片，所述第一谐振腔镜片设置在所述第二透镜背离所述第一透镜的一侧。

在第一方面的其中一个实施例中，所述第一晶体组包括第一激光晶体和第二激光晶体，所述第一激光晶体设置在所述第一谐振腔镜片背离所述第二透镜的一侧，所述第二激光晶体设置在所述第一激光晶体背离所述第一谐振腔镜片的一侧。

在第一方面的其中一个实施例中，所述第二谐振组包括第二谐振腔镜片，所述第二谐振腔镜片设置在所述第二激光晶体背离所述第一激光晶体的一侧。

在第一方面的其中一个实施例中，所述第三谐振组包括第三谐振腔镜片和声光Q晶体，所述第三谐振腔镜片设置在第二谐振腔镜片且与所述第二晶体组相邻的一侧，所述第三谐振腔镜片用于反射基频光，所述声光Q晶体设置在所述第三谐振腔镜片与所述第二谐振腔镜片之间，所述声光Q晶体用于对基频光进行控制和调制。

在第一方面的其中一个实施例中，所述第三谐振组还包括第三激光晶体，所述第三激光晶体设置在所述第二谐振腔镜片与所述声光Q晶体之间，所述第三激光晶体用于吸收泵浦光。

在第一方面的其中一个实施例中，所述第一反射组包括第一分色镜和第二分色镜，所述第一分色镜设置在所述第三谐振腔镜片且与所述第二谐振组相邻的一侧，且所述第一分色镜与所述第三谐振腔镜片平行，所述第二分色镜设置在所述第一分色镜靠近所述第一谐振腔镜片的一侧，且所述第二分色镜与所述第一分色镜平行；

所述第一倍频组为二倍频晶体，所述二倍频晶体的光轴与输入二倍频晶体的光的方向平行，所述二倍频晶体用于产生目标激光；

所述第四谐振组包括第四谐振腔镜片，所述第四谐振腔镜片设置在所述二倍频晶体背离所述第一分色镜的一侧，所述第四谐振腔镜片用于反射基频光和所述目标激光。

在第一方面的其中一个实施例中，所述激光器还包括第二反射组，所述第二反射组设置在所述第二谐振组背离所述第一晶体组的一侧，且所述第二反射组包括：

第一半透半反射镜，所述第一半透半反射镜设置在所述第一透镜背离所述第一泵源的一侧；

第二反射镜，所述第二反射镜设置在所述第一半透半反射镜背离所述第一透镜的一侧，且所述第二反射镜与所述第一半透半反射镜平行；

第四透镜，所述第四透镜设置在所述第二谐振腔镜片背离所述第三激光晶体的一侧，且所述第四透镜位于所述第二谐振腔镜片与所述第一半透半反射镜之间；

第三反射镜，所述第三反射镜设置在所述第二谐振腔镜片背离所述第二激光晶体的一侧，且所述第三反射镜位于所述第二反射镜的一侧，以及所述第三反射镜的光轴与所述第二反射镜的光轴垂直。

第五透镜，所述第五透镜设置在所述第二谐振腔镜片与所述第三反射镜之间。

相对于现有技术，本申请的有益效果是：本申请提出一种激光器，该激光器包括泵源组、第一调整组、第一谐振组、第一晶体组、第二谐振组、第三谐振组、第一反射组、第一倍频组和第四谐振组，本申请通过泵源组产生泵浦光，第一调整组对泵源组产生的泵浦光进行聚焦和透射，使得泵浦光聚焦到第一谐振组，经过第一谐振组后，泵浦光进入第一晶体组并被第一晶体组吸收，第一晶体组吸收泵浦光产生基频光，该基频光经第二谐振组的反射至第三谐振组，并经第三谐振组反射至第一反射组，第一反射组队该基频光进行透射，进而基频光到达第一倍频组，在第一倍频组的作用下，基频光转化为目标激光，该目标激光经过第四谐振组的反射再次经过第一倍频组，进而达到第一反射组，并且第一反射组对该目标激光进行反射并输出，而经过第四谐振组反射的非目标激光原路返回并在四个谐振组内来回反射，直至以目标激光从第一反射组输出。本申请的激光器可实现固体绿光激光器的高光束质量、高可靠性的长期运转，以及绿光激光高功率稳定运转，同时也兼容低功率运行。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1示出了本申请一些实施例中激光器的通光示意图；

图2示出了本申请一些实施例中激光器的另一通光示意图；

图3示出了本申请一些实施例中含有一个激光晶体的激光器的通光示意图；

图4示出了本申请一些实施例中含有两个激光晶体的激光器的通光示意图。

主要元件符号说明：

110-泵源组；111-第一泵源；112-第二泵源；120-第一调整组；121-第一透镜；122-第二透镜；123-第三透镜；130-第一谐振组；131-第一谐振腔镜片；140-第一晶体组；141-第一激光晶体；142-第二激光晶体；150-第二谐振组；151-第二谐振腔镜片；160-第三谐振组；161-第三谐振腔镜片；162-声光Q晶体；163-第三激光晶体；170-第一反射组；171-第一分色镜；172-第二分色镜；180-第一倍频组；181-二倍频晶体；190-第四谐振组；191-第四谐振腔镜片；210-第二反射组；211-第一半透半反射镜；212-第二反射镜；213-第三反射镜；214-第四透镜；215-第五透镜。

具体实施方式

下面详细描述本申请的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能理解为对本申请的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

如图1和图2所示，本申请的实施例提供了一种激光器。该激光器包括泵源组110、第一调整组120、第一谐振组130、第一晶体组140、第二谐振组150、第三谐振组160、第一反射组170、第一倍频组180和第四谐振组190。

所述泵源组110用于产生泵浦光，该泵浦光的波长例如为808nm，或该泵浦光的波长例如为880nm。

所述第一调整组120设置在所述泵源组110输入泵浦光的一侧，所述第一调整组120用于对泵源组110输入的泵浦光进行聚焦和透射。所述第一谐振组130设置在所述第一调整组120背离所述第一调整组120的一侧，所述第一谐振组130用于透射泵浦光。所述第一晶体组140设置在所述第一谐振组130背离所述第一调整组120的一侧，所述第一晶体组140用于吸收泵浦光并产生基频光，其中，该基频光例如为1064nm的连续光。所述第二谐振组150设置在所述第一晶体组140背离所述第一谐振组130的一侧，所述第二谐振组150用于透射泵浦光以及反射基频光，经过第二谐振组150透射的泵浦光可达到第一晶体组140，由第一晶体组140进行吸收处理。

所述第三谐振组160设置所述第二谐振组150与所述第一晶体组140相邻的一侧，且所述第三谐振组160位于所述第二谐振组150反射的基频光的方向，以及所述第三谐振组160用于反射基频光。因此，经过第二谐振组150反射的基频光可到达第三谐振组160，由第三谐振组160进行反射处理。

所述第一反射组170设置在所述第三谐振组160与所述第二谐振组150相邻的一侧第一反射组170用于对基频光进行透射处理和对目标激光进行反射处理，该目标激光例如为波长为532nm的绿光。所述第一倍频组180设置在所述第一反射组170背离所述第三谐振组160的一侧，第一倍频组180用于对射入其的基频光产生倍频效应，从而将部分基频光转化为目标激光，即例如将经过第一倍频组180的部分波长为1064nm的基频光转化为532nm的绿光。所述第四谐振组190设置在所述第一倍频组180背离所述第一反射组170的一侧，第四谐振组190用于对目标激光和基频光进行反射处理，例如第四谐振组190将由第一倍频组180传输至第四谐振组190的波长为532nm的绿光和未转化为532nm绿光的1064nm的基频光进行反射处理，并将其532nm绿光和1064nm基频光均反射至第一倍频组180，即1064nm基频光再一次经过第一倍频组180时，则该1064nm基频光中一部分光则在第一倍频组180的作用下转化为532nm的绿光。

相对的现有技术中，为了获得中高功率的532nm绿光激光输出，有些采用侧面泵浦的方式进行，但是采用侧面泵浦方式的绿光激光器在输出光束质量、稳定性、长期工作可靠性、光脉宽等输出参数方面都比较差，不利实际使用。其中，端面泵浦是比较合适激光器获得中高功率的532nm绿光激光输出的方式，但市面上一般的单端面泵浦在高功率泵浦下，激光晶体吸收泵浦光后受热不均匀，热透镜非常大，同时晶体很容易开裂，因此，单端泵浦只适合小功率输出的激光器，不能满足532nm绿光激光高平均功率输出的稳定运转要求。于一般平台而言，无法兼容满足高中低功率的不同功率输出需求，会导致整体机器外形尺寸种类繁杂，对下游集成商不太友好，会出现装配和维修困难等问题。

本发明实施例中，该激光器包括泵源组110、第一调整组120、第一谐振组130、第一晶体组140、第二谐振组150、第三谐振组160、第一反射组170、第一倍频组180和第四谐振组190。本发明实施例中的激光器通过第一谐振组130、第二谐振组150、第三谐振组160、第一倍频组180和第四谐振组190转化得到绿光，实现绿光激光的准直输出。同时通过第一晶体组140吸收泵浦光，大大减少了实现高功率运转的情况下单个激光晶体所需要承受吸收的泵浦能量，避免了晶体散热难和打坏开裂的问题，并且增加了本发明实施例中激光器的四个谐振组吸收的能量，可以有效保障晶体的良好运转以及谐振组输出更高的激光能量。

如图2和图4所示，所述泵源组110包括第一泵源111和第二泵源112，所述第一泵源111设置所述第二泵源112的一侧，且所述第一泵源111与所述第二泵源112平行，且第一泵源111输出的泵浦光和第二泵源112输出的泵浦光平行，以及所述第一泵源111输出泵浦光的一端与所述第二泵源112输出泵浦光的一端同侧。需要说明的是，本发明实施例中并不限制泵源的数量，该泵源的数量例如为一个，或者该泵源的数量为两个，泵源的具体数量可根据实际生产设计。可选地，第一泵源111和第二泵源112均例如为可输出808nm或者880nm的半导体激光器。

所述第一调整组120包括第一透镜121、第二透镜122和第三透镜123，所述第一透镜121设置在所述第一泵源111输出泵浦光的一侧，所述第二透镜122设置在所述第一透镜121背离所述第一泵源111的一侧，且所述第三透镜123设置所述第二泵源112输出泵浦光的一侧。其中，所述第一透镜121、第二透镜122和第三透镜123均为泵浦整形聚焦透镜，且第一透镜121、第二透镜122和第三透镜123均镀有泵浦激光增透膜，以及第一透镜121、第二透镜122和第三透镜123均为平凸透镜，其中，第一透镜121与第二透镜122的凸面相对，因此，使得由第一泵源111输出的发散的泵浦光，经过第一透镜121形成平行的泵浦光，平行的泵浦光再经过第二透镜122进行聚焦。

所述第一谐振组130包括第一谐振腔镜片131，所述第一谐振腔镜片131设置在所述第二透镜122背离所述第一透镜121的一侧。其中，第一谐振腔镜片131上镀有透射泵浦光和反射1064nm基频光的膜，且泵浦光与第一谐振腔镜片131成0°射入其第一谐振腔镜片131内。

所述第一晶体组140包括第一激光晶体141和第二激光晶体142，所述第一激光晶体141设置在所述第一谐振腔镜片131背离所述第二透镜122的一侧，所述第二激光晶体142设置在所述第一激光晶体141背离所述第一谐振腔镜片131的一侧。其中，第一激光晶体141和第二激光晶体142分别例如为掺钕钒酸钇(Nd:YVO4)晶体、掺钒钇铝石榴石(NdYAG)晶体或掺钆钒酸钇(Gd:YVO4)晶体。

需要说明的是，本发明实施例中并不限制第一晶体组140中的激光晶体数量，第一晶体组140中的激光晶体数量例如为一个或者两个，即当激光器为低功率运转时，如图3所示，则第一晶体组140中为一个激光晶体，当激光器为高功率运转时，则第一晶体组140为两个激光晶体，第一晶体组140中的激光晶体的具体数量可根据实际生产需要设计。本实施例中的激光器可兼容多端泵浦，即本发明实施例中的激光器由原本的一个激光晶体变为两个激光晶体或者三个晶体吸收泵浦光，很大程度上减少了实现高功率运转的情况下单个激光晶体所需要承受吸收的泵浦能量，以及避免了晶体散热难和打坏开裂的问题，同时又增加了四个谐振腔镜片吸收的能量，本发明实施例中的激光器可以有效保障激光晶体的良好运转以及使得谐振腔镜片中可以输出更高的激光能量。

所述第二谐振组150包括第二谐振腔镜片151，所述第二谐振腔镜片151设置在所述第二激光晶体142背离所述第一激光晶体141的一侧。其中，所述第二谐振腔镜片151上镀有透射泵浦光和反射1064nm基频光的膜，使得第二谐振腔镜片151可以透射泵浦光，以及反射1064nm基频光。另外，泵浦光与第二谐振腔镜片151成45°射入该第二谐振腔镜片151中。

所述第三谐振组160包括第三谐振腔镜片161和声光Q晶体162。其中，所述第三谐振腔镜片161设置在第二谐振腔镜片151且与所述第二晶体组相邻的一侧，第三谐振腔镜片161上镀有反射1064nm基频光的膜，因此，所述第三谐振腔镜片161用于反射1064nm的基频光。所述声光Q晶体162设置在所述第三谐振腔镜片161与所述第二谐振腔镜片151之间，所述声光Q晶体162用于对基频光进行电学控制和调制，使得1064nm基频光在四个谐振腔镜片之间来回反射变为1064nm的脉冲基频光。

所述第三谐振组160还包括第三激光晶体163，所述第三激光晶体163设置在所述第二谐振腔镜片151与所述声光Q晶体162之间，所述第三激光晶体163用于吸收泵浦光。第三激光晶体163例如为掺钕钒酸钇(Nd:YVO4)晶体、掺钒钇铝石榴石(NdYAG)晶体或掺钆钒酸钇(Gd:YVO4)晶体。需要说明的是，在合理搭配谐振腔镜片曲率参数以及泵浦整形聚焦透镜参数的情况下，激光器中例如采用一个激光晶体则适合3～30W的绿光激光输出，激光器例如采用两个激光晶体则适合30～60W的绿光激光输出，激光器例如采用三个晶体则适合60～80W的绿光激光输出。

所述第一反射组170包括第一分色镜171和第二分色镜172，所述第一分色镜171设置在所述第三谐振腔镜片161且与所述第二谐振组150相邻的一侧，且所述第一分色镜171与所述第三谐振腔镜片161平行，所述第二分色镜172设置在所述第一分色镜171靠近所述第一谐振腔镜片131的一侧，且所述第二分色镜172与所述第一分色镜171平行。其中，第一分色镜171上镀有反射532nm绿光和透射1064nm光的膜，因此第一分色镜171用于反射532nm绿光和透射1064nm的基频光，第二分色镜172上镀有反射532nm绿光的膜，因此第二分色镜172用于反射并输出532nm绿光。此外，射入第一分色镜171的532nm光和1064nm基频光均为45°入射，以及射入第二分色镜172的532nm光和1064nm基频光均为45°入射。

所述第一倍频组180为二倍频晶体181，所述二倍频晶体181的光轴与输入二倍频晶体181的光的方向平行，所述二倍频晶体181用于产生目标激光，该目标激光例如为532nm的绿光，即1064nm的脉冲基频光从声光Q晶体162射出，再经第三谐振腔镜片161反射和第一分色镜171透射并射入二倍频晶体181中，1064nm脉冲基频光经过二倍频晶体181产生倍频效应，使其部分1064nm脉冲基频光转化为532nm的绿光。该二倍频晶体181例如为磷酸二氢钾(KDP)晶体、磷酸钛氧钾(KTP)晶体或三硼酸锂(LBO)晶体。

所述第四谐振组190包括第四谐振腔镜片191，所述第四谐振腔镜片191设置在所述二倍频晶体181背离所述第一分色镜171的一侧，第四谐振腔镜片191上镀有反射532nm绿光和透射1064nm基频光的膜，所述第四谐振腔镜片191用于反射基频光和所述目标激光，该目标激光例如为532nm绿光。此外，射入第四谐振腔镜片191的光与第四谐振腔镜片191为45度。

如图2所示，所述激光器还包括第二反射组210，所述第二反射组210设置在所述第二谐振组150背离所述第一晶体组140的一侧，且所述第二反射组210包括第一半透半反射镜211、第二反射镜212、第四透镜214、第三反射镜213和第五透镜215。

所述第一半透半反射镜211设置在所述第一透镜121背离所述第一泵源111的一侧，该第一半透半反射镜211上例如镀有对泵浦光具有50％反射和50％透射作用的膜，因此，第一半透半反射镜211用于对泵浦光进行部分透射和部分反射处理，且第一半透半反射镜211与射入其第一半透半反射镜211的光成45度。需要说明的是，本发明实施例中并不限制第一半透半反射镜211的反射率规格，即第一半透半反射镜211还可以例如为30％、40％、60％、70％等其他反射率的规格，第一半透半反射镜211的反射率规格可根据实际生产需求进行设计。

所述第二反射镜212设置在所述第一半透半反射镜211背离所述第一透镜121的一侧，且所述第二反射镜212与所述第一半透半反射镜211平行，即经过第一半透半反射镜211的泵浦光与第二反射镜212成45度入射第二反射镜212并由第二反射镜212将其反射至第三反射镜213。

所述第四透镜214设置在所述第二谐振腔镜片151背离所述第三激光晶体163的一侧，且所述第四透镜214位于所述第二谐振腔镜片151与所述第一半透半反射镜211之间，第四透镜214用于将第一半透半反射镜211反射的泵浦光进行聚焦并传输至第二谐振腔镜片151上。需要说明的是，第四透镜214为泵浦整形聚焦透镜，且该第四透镜214为平凸透镜，以及该第四透镜214上镀有泵浦激光增透膜，以提高泵浦光在第四透镜214中的透过率。

所述第三反射镜213设置在所述第二谐振腔镜片151背离所述第二激光晶体142的一侧，且所述第三反射镜213位于所述第二反射镜212的一侧，以及所述第三反射镜213的光轴与所述第二反射镜212的光轴垂直。所述第五透镜215设置在所述第二谐振腔镜片151与所述第三反射镜213之间。其中，第三反射镜213和第二反射镜212都镀有泵浦激光反射膜，第三反射镜213用于将第二反射镜212反射的泵浦光反射至第五透镜215。第五透镜215为泵浦整形聚焦透镜，且该第五透镜215为平凸透镜，以及该第五透镜215上镀有泵浦激光增透膜，第五透镜215将第三反射镜213反射的泵浦光聚焦并透射至第二谐振腔镜片151上，进而经第二谐振腔镜片151透射至第二激光晶体142和第一激光晶体141，并发生倍频效应产生532nm绿光。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本申请的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本申请的限制，本领域的普通技术人员在本申请的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (10)

1.一种激光器，其特征在于，包括：

泵源组，所述泵源组用于产生泵浦光；

第一调整组，所述第一调整组设置在所述泵源组输入泵浦光的一侧；

第一谐振组，所述第一谐振组设置在所述第一调整组背离所述泵源组的一侧，所述第一谐振组用于透射泵浦光；

第一晶体组，所述第一晶体组设置在所述第一谐振组背离所述第一调整组的一侧，所述第一晶体组用于吸收泵浦光并产生基频光；

第二谐振组，所述第二谐振组设置在所述第一晶体组背离所述第一谐振组的一侧，所述第二谐振组用于透射泵浦光并反射基频光；

第三谐振组，所述第三谐振组设置所述第二谐振组与所述第一晶体组相邻的一侧，且所述第三谐振组位于所述第二谐振组反射的基频光的方向，以及所述第三谐振组用于反射基频光；

第一反射组，所述第一反射组设置在所述第三谐振组与所述第二谐振组相邻的一侧；

第一倍频组，所述第一倍频组设置在所述第一反射组背离所述第三谐振组的一侧；

第四谐振组，所述第四谐振组设置在所述第一倍频组背离所述第一反射组的一侧。

2.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述泵源组包括第一泵源和第二泵源，所述第一泵源设置所述第二泵源的一侧，且所述第一泵源与所述第二泵源平行，以及所述第一泵源输出泵浦光的一端与所述第二泵源输出泵浦光的一端同侧。

3.根据权利要求2所述的激光器，其特征在于，所述第一调整组包括第一透镜、第二透镜和第三透镜，所述第一透镜设置在所述第一泵源输出泵浦光的一侧，所述第二透镜设置在所述第一透镜背离所述第一泵源的一侧，且所述第三透镜设置所述第二泵源输出泵浦光的一侧；

其中，所述第一透镜、第二透镜和第三透镜均为泵浦整形聚焦透镜。

4.根据权利要求3所述的激光器，其特征在于，所述第一谐振组包括第一谐振腔镜片，所述第一谐振腔镜片设置在所述第二透镜背离所述第一透镜的一侧。

5.根据权利要求4所述的激光器，其特征在于，所述第一晶体组包括第一激光晶体和第二激光晶体，所述第一激光晶体设置在所述第一谐振腔镜片背离所述第二透镜的一侧，所述第二激光晶体设置在所述第一激光晶体背离所述第一谐振腔镜片的一侧。

6.根据权利要求5所述的激光器，其特征在于，所述第二谐振组包括第二谐振腔镜片，所述第二谐振腔镜片设置在所述第二激光晶体背离所述第一激光晶体的一侧。

7.根据权利要求6所述的激光器，其特征在于，所述第三谐振组包括第三谐振腔镜片和声光Q晶体，所述第三谐振腔镜片设置在第二谐振腔镜片且与所述第二晶体组相邻的一侧，所述第三谐振腔镜片用于反射基频光，所述声光Q晶体设置在所述第三谐振腔镜片与所述第二谐振腔镜片之间，所述声光Q晶体用于对基频光进行控制和调制。

8.根据权利要求7所述的激光器，其特征在于，所述第三谐振组还包括第三激光晶体，所述第三激光晶体设置在所述第二谐振腔镜片与所述声光Q晶体之间，所述第三激光晶体用于吸收泵浦光。

9.根据权利要求8所述的激光器，其特征在于，所述第一反射组包括第一分色镜和第二分色镜，所述第一分色镜设置在所述第三谐振腔镜片且与所述第二谐振组相邻的一侧，且所述第一分色镜与所述第三谐振腔镜片平行，所述第二分色镜设置在所述第一分色镜靠近所述第一谐振腔镜片的一侧，且所述第二分色镜与所述第一分色镜平行；

所述第一倍频组为二倍频晶体，所述二倍频晶体的光轴与输入二倍频晶体的光的方向平行，所述二倍频晶体用于产生目标激光；

所述第四谐振组包括第四谐振腔镜片，所述第四谐振腔镜片设置在所述二倍频晶体背离所述第一分色镜的一侧，所述第四谐振腔镜片用于反射基频光和所述目标激光。

10.根据权利要求9所述的激光器，其特征在于，所述激光器还包括第二反射组，所述第二反射组设置在所述第二谐振组背离所述第一晶体组的一侧，且所述第二反射组包括：

第一半透半反射镜，所述第一半透半反射镜设置在所述第一透镜背离所述第一泵源的一侧，

第二反射镜，所述第二反射镜设置在所述第一半透半反射镜背离所述第一透镜的一侧，且所述第二反射镜与所述第一半透半反射镜平行；

第四透镜，所述第四透镜设置在所述第二谐振腔镜片背离所述第三激光晶体的一侧，且所述第四透镜位于所述第二谐振腔镜片与所述第一半透半反射镜之间；

第三反射镜，所述第三反射镜设置在所述第二谐振腔镜片背离所述第二激光晶体的一侧，且所述第三反射镜位于所述第二反射镜的一侧，以及所述第三反射镜的光轴与所述第二反射镜的光轴垂直；

第五透镜，所述第五透镜设置在所述第二谐振腔镜片与所述第三反射镜之间。

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