CN116129427A - 基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置 - Google Patents

基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置 Download PDF

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Abstract

本申请提供了一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质，该方法包括：在采集到待检测区域的扫描电子显微镜图像的情况下，提取扫描电子显微镜图像的第一扫描电子显微镜图像轮廓；基于扫描电子显微镜图像对第一扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第二扫描电子显微镜图像轮廓；将第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图对准，生成对准结果；基于对准结果对第二扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓；提取第三扫描电子显微镜图像轮廓的轮廓信息。本申请能够有效地提高扫描电子显微镜图像轮廓的精细度。

Description

基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置
技术领域
本申请涉及图像轮廓提取领域，尤其是一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置及电子设备。
背景技术
目前芯片生产过程中，随着芯片生产技术节点不断推进，生产中产生的缺陷越来越小，电子束缺陷检测显得尤为重要。目前传统的电子束缺陷检测主要采取芯片到芯片(Die to Die)检测的方式，然而这种方式对于系统性缺陷和非周期性区域束手无策，而且检测缺陷率过度依赖于检测图像与参考图像之间的对准效果。为了应对这些问题，基于设计版图的电子束缺陷检测方法越来越重要。
现有的扫描电子显微镜图像轮廓提取方案如图1所示：首先基于电子束缺陷检测设备采集待检测区域的扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope，SEM)图像；其次，利用第一算法(比如：梯度算法)提取SEM图像轮廓，基于SEM图像对SEM图像轮廓进行调整；最后输出SEM图像轮廓。
现有技术完全基于SEM图像信息进行轮廓提取，因此轮廓提取完全取决于SEM图像质量。在图像质量较好的时候，可以很容易提取出较好轮廓，在图像质量较差(边缘模糊，明暗不均匀等)时，提取出来的轮廓往往不完整，这使得其应用面较窄。
因此，如何提高扫描电子显微镜图像轮廓的精细度是本领域技术人员亟需解决的技术问题。
发明内容
本申请的目的是提供了一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置及电子设备，能够有效地提高扫描电子显微镜图像轮廓的精细度。
根据本申请的第一方面，提供了一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，该方法包括：
在采集到待检测区域的扫描电子显微镜图像的情况下，提取扫描电子显微镜图像的第一扫描电子显微镜图像轮廓；
基于扫描电子显微镜图像对第一扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第二扫描电子显微镜图像轮廓；
将第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图对准，生成对准结果；
基于对准结果对第二扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓；
提取第三扫描电子显微镜图像轮廓的轮廓信息。
可选的，基于对准结果对第二扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓，包括：
基于对准结果对第二扫描电子显微镜图像轮廓中的图形线条信息进行调整，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓；其中，图形线条信息包括图形线条与第二扫描电子显微镜图像的间隔、图形线条的宽度中的至少一项。
可选的，在将第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图对准，生成对准结果之后，方法还包括：
基于对准结果进行电子束缺陷检测，得到缺陷检测结果。
可选的，在将第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图对准，生成对准结果之后，方法还包括：
基于对准结果进行自动量测，得到自动量测结果。
可选的，在采集到待检测区域的扫描电子显微镜图像的情况下，提取扫描电子显微镜图像的第一扫描电子显微镜图像轮廓，包括：
在采集到待检测区域的扫描电子显微镜图像的情况下，提取扫描电子显微镜图像的亚像素级别的第一扫描电子显微镜图像轮廓。
可选的，将第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图对准，生成对准结果，包括：
将第二扫描电子显微镜图像轮廓转化为与设计版图格式相同的第二扫描电子显微镜图像轮廓；
将转化后的第二扫描电子显微镜图像轮廓与预设的原始设计版图进行对准，得到对准结果。
可选的，将转化后的第二扫描电子显微镜图像轮廓与预设的原始设计版图进行对准，得到对准结果，包括：
将转化后的第二扫描电子显微镜图像轮廓与预设的原始设计版图进行对准，并基于预设的图形相似度指标，获取对准结果；其中，图形相似度指标用于表征第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图之间的对准程度。
可选的，设计版图为GDSII流格式的设计版图。
可选的，基于对准结果进行电子束缺陷检测，得到缺陷检测结果，包括：
基于对准结果对设计版图的不同层的电子束缺陷进行检测，得到缺陷检测结果；其中，不同层至少包括：层与层之间的连接层、金属层以及多晶硅层中至少一项。
可选的，基于扫描电子显微镜图像对第一扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第二扫描电子显微镜图像轮廓，包括：
将扫描电子显微镜图像与第一扫描电子显微镜图像轮廓进行比对，生成比对结果；
在比对结果为第一扫描电子显微镜图像轮廓中存在多余连接的轮廓的情况下，获取存在多余连接的轮廓的点的位置；
基于点的位置去除点之间的连接，生成第二扫描电子显微镜图像轮廓。
可选的，在将扫描电子显微镜图像与第一扫描电子显微镜图像轮廓进行比对，生成比对结果之后，方法还包括：
在比对结果为第一扫描电子显微镜图像轮廓存在连接不完整的轮廓的情况下，获取存在连接不完整的轮廓的点的位置；
基于点的位置将点进行连接，生成第二扫描电子显微镜图像轮廓。
可选的，基于对准结果对第二扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓，包括：
基于对准结果对第二扫描电子显微镜图像轮廓进行膨胀和/或腐蚀，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓。
根据本申请的第二方面，提供了一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取装置，该装置包括：
第一提取模块，用于在采集到待检测区域的扫描电子显微镜图像的情况下，提取扫描电子显微镜图像的第一扫描电子显微镜图像轮廓；
第一调整模块，用于基于扫描电子显微镜图像对第一扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第二扫描电子显微镜图像轮廓；
对准模块，用于将第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图对准，生成对准结果；
第二调整模块，用于基于对准结果对第二扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓；
第二提取模块，用于提取第三扫描电子显微镜图像轮廓的轮廓信息。
可选的，第二调整模块，用于基于对准结果对第二扫描电子显微镜图像轮廓中的图形线条信息进行调整，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓；其中，图形线条信息包括图形线条与第二扫描电子显微镜图像的间隔、图形线条的宽度中的至少一项。
可选的，装置还包括：检测模块，用于基于对准结果进行电子束缺陷检测，得到缺陷检测结果。
可选的，装置还包括：量测模块，用于基于对准结果进行自动量测，得到自动量测结果。
可选的，第一提取模块，用于在采集到待检测区域的扫描电子显微镜图像的情况下，提取扫描电子显微镜图像的亚像素级别的第一扫描电子显微镜图像轮廓。
可选的，对准模块，用于将第二扫描电子显微镜图像轮廓转化为与设计版图格式相同的第二扫描电子显微镜图像轮廓；将转化后的第二扫描电子显微镜图像轮廓与预设的原始设计版图进行对准，得到对准结果。
可选的，对准模块，用于将转化后的第二扫描电子显微镜图像轮廓与预设的原始设计版图进行对准，并基于预设的图形相似度指标，获取对准结果；其中，图形相似度指标用于表征第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图之间的对准程度。
可选的，设计版图为GDSII流格式的设计版图。
可选的，检测模块，用于基于对准结果对设计版图不同层的电子束缺陷进行检测，得到缺陷检测结果；其中，不同层至少包括：层与层之间的连接层、金属层以及多晶硅层中至少一项。
可选的，第一调整模块包括：比对单元，用于将扫描电子显微镜图像与第一扫描电子显微镜图像轮廓进行比对，生成比对结果；第一获取单元，用于在比对结果为第一扫描电子显微镜图像轮廓中存在多余连接的轮廓的情况下，获取存在多余连接的轮廓的点的位置；去除单元，用于基于点的位置去除点之间的连接，生成第二扫描电子显微镜图像轮廓。
可选的，装置还包括：第二获取单元，用于在比对结果为第一扫描电子显微镜图像轮廓存在连接不完整的轮廓的情况下，获取存在连接不完整的轮廓的点的位置；连接单元，用于基于点的位置将点进行连接，生成第二扫描电子显微镜图像轮廓。
可选的，第二调整模块用于基于对准结果对第二扫描电子显微镜图像轮廓进行膨胀和/或腐蚀，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓。
根据本申请的第三方面，提供了一种电子设备，该电子设备包括处理器、存储器及存储在存储器上并可在处理器上运行的程序或指令，程序或指令被处理器执行时实现如第一方面所示的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法的步骤。
本申请通过提取出来的第一扫描电子显微镜图像轮廓根据扫描电子显微镜图像进行调整，生成第二扫描电子显微镜图像轮廓；然后将第二扫描电子显微镜图像轮廓图像对准方法与设计版图进行对准，生成对准结果，然后根据对准结果对第二扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓，即本申请对提取出来的图像轮廓进行两次调整。其中，首先根据扫描电子显微镜图像对图像轮廓进行调整，然后根据设计版图对调整后的图像轮廓进行再次调整，无需过多考虑图像质量问题，也能够使图像轮廓更加精细。
附图说明
为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为现有技术提供的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法的流程图；
图2为本申请实施例提供的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法的流程图；
图3-图8为本申请实施例提供的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法的示意图；
图9为本申请实施例提供的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法的流程图；以及
图10为本申请实施例提供的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取装置的示意图。
具体实施方式
为了使本申请的上述以及其他特征和优点更加清楚，下面结合附图进一步描述本申请。应当理解，本文给出的具体实施例是出于向本领域技术人员解释的目的，仅是示例性的，而非限制性的。
在以下描述中，阐述了许多具体细节以提供对本申请的透彻理解。然而，对于本领域普通技术人员来说将明显的是，不需要采用具体细节来实践本申请。在其他情况下，未详细描述众所周知的步骤或服务，以避免模糊本申请。
基于背景技术部分的内容可知，现有技术中，轮廓提取完全取决于扫描电子显微镜图像质量，从而导致图像轮廓不精细。
为了解决上述技术问题，本申请提供一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置及电子设备。下面结合附图，通过具体的实施例及其应用场景先对本申请提供的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法进行详细地说明。
如图2所示，本申请提供了基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，该方法可以包括：
步骤S11：在采集到待检测区域的扫描电子显微镜图像的情况下，提取扫描电子显微镜图像的第一扫描电子显微镜图像轮廓。
步骤S13：基于扫描电子显微镜图像对第一扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第二扫描电子显微镜图像轮廓。
在一个可选的实施例中，基于扫描电子显微镜图像对第一扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第二扫描电子显微镜图像轮廓可以采用如下方式：
将扫描电子显微镜图像与第一扫描电子显微镜图像轮廓进行比对，生成比对结果。
在比对结果为第一扫描电子显微镜图像轮廓中存在多余连接的轮廓的情况下，获取存在多余连接的轮廓的点的位置。
基于点的位置去除点之间的连接，生成第二扫描电子显微镜图像轮廓。
在比对结果为第一扫描电子显微镜图像轮廓存在连接不完整的轮廓的情况下，获取存在连接不完整的轮廓的点的位置。
基于点的位置将点进行连接，生成第二扫描电子显微镜图像轮廓。
具体的，在本申请中，结合图3-图5所示，首先可以利用电子束缺陷检测设备采集待检测区域的扫描电子显微镜图像(请参考图3)；然后对扫描电子显微镜图像进行提取，得到第一扫描电子显微镜图像轮廓(请参考图4)；将第一扫描电子显微镜图像轮廓与扫描电子显微镜图像进行比对，生成比对结果。其中，比对结果可以为第一扫描电子显微镜图像轮廓中存在多余连接的轮廓和/或第一扫描电子显微镜图像轮廓存在连接不完整的轮廓，即基于扫描电子显微镜图像的质量得到的第一扫描电子显微镜图像轮廓中，有些轮廓之间的连接并不好，甚至存在不该连接的地方也被连接，因此，需要根据扫描电子显微镜图像对第一扫描电子显微镜图像轮廓进行初步调整。其中，由于轮廓可以由多个点连接而成，在比对结果为第一扫描电子显微镜图像轮廓中存在多余连接的轮廓的情况下，需要获取存在多余连接的轮廓的点的位置。然后基于点的位置去除点之间的连接，生成第二扫描电子显微镜图像轮廓(请参考图5)；在比对结果为第一扫描电子显微镜图像轮廓存在连接不完整的轮廓的情况下，获取存在连接不完整的轮廓的点的位置。然后基于点的位置将点进行连接，生成第二扫描电子显微镜图像轮廓(请参考图5)；此时，第二扫描电子显微镜图像轮廓基本完整。
需要说明的是，在比对结果为第一扫描电子显微镜图像轮廓存在连接不完整的轮廓，并且第一扫描电子显微镜图像轮廓存在多余连接的轮廓的情况下，需要获取存在连接不完整的轮廓的点的位置。然后基于点的位置将点进行连接，并且需要获取存在多余连接的轮廓的点的位置。然后基于点的位置去除点之间的连接，从而生成第二扫描电子显微镜图像轮廓。
在一个可选的实施例中，可以利用梯度算法提取第一扫描电子显微镜图像轮廓。其中，梯度算法可以为Canny算法和索贝尔Sobel算法。需要说明的是，Canny算法能够尽可能多地标识出图像中的实际边缘，漏检真实边缘的概率和误检非边缘的概率都尽可能小；Sobel算法能够有效地计算图像灰度函数的近似梯度。因此，本申请采用上述Canny算法或Sobel算法能够准确地得到第一扫描电子显微镜轮廓。
在一个可选的实施例中，步骤S11包括：在采集到待检测区域的扫描电子显微镜图像的情况下，提取扫描电子显微镜图像的亚像素级别的第一扫描电子显微镜图像轮廓。
步骤S15：将第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图对准，生成对准结果。
在本实施例中，结合图5、图6和图7所示。如果只是根据扫描电子显微镜图像对第一扫描电子显微镜图像轮廓进行上述调整，从而生成第二扫描电子显微镜图像轮廓的情况下，导致第二扫描电子显微镜图像轮廓的精细度依赖于扫描电子显微镜图像的质量。其中，在图像质量较好的时候，可以很容易提取出较好图像轮廓，在图像质量较差(边缘模糊，明暗不均匀等)时，提取出来的图像轮廓往往不完整，这使得图像轮廓的应用面较窄。因此，本实施例在根据扫描电子显微镜图像对第一扫描电子显微镜图像轮廓进行上述调整，从而生成第二扫描电子显微镜图像轮廓之后，将第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图(请参考图6)进行对准，生成对准结果(请参考图7)，以使图像轮廓的提取不再只依赖扫描电子显微镜图像的质量，而且在加入了设计版图信息后，图像轮廓的提取会更加精细。
在一个可选的实施例中，将第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图对准，生成对准结果可以采用如下方式：
将第二扫描电子显微镜图像轮廓转化为与设计版图格式相同的第二扫描电子显微镜图像轮廓。
将转化后的第二扫描电子显微镜图像轮廓与预设的原始设计版图进行对准，得到对准结果。
在本实施例中，在将第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图进行对准时，需要先将第二扫描电子显微镜图像轮廓的格式转化为与设计版图格式相同的第二扫描电子显微镜图像轮廓。只有第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图的格式相同时，才能进行对准。
在一个可选的实施例中，设计版图为GDSII流格式的设计版图。
在本实施例中，设计版图的格式可以为GDSII流格式，即GDS格式的设计版图，并非是图片。
在一个可选的实施例中，将转化后的第二扫描电子显微镜图像轮廓与预设的原始设计版图进行对准，得到对准结果，包括：将转化后的第二扫描电子显微镜图像轮廓与预设的原始设计版图进行对准，并基于预设的图形相似度指标，获取对准结果；其中，图形相似度指标用于表征第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图之间的对准程度。
步骤S17：基于对准结果对第二扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓。
在一个可选的实施例中，基于对准结果对第二扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓可以采用如下方式：
基于对准结果对第二扫描电子显微镜图像轮廓进行膨胀和/或腐蚀，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓。
步骤S19：提取第三扫描电子显微镜图像轮廓的轮廓信息。
具体的，在本申请中，结合图7和图8所示，基于设计版图对第二扫描电子显微镜图像轮廓进行对准，生成对准结果之后，会使得采集到的第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图之间存在差异。因此，需要基于对准结果对第二扫描电子显微镜图像进行再次调整，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓(请参考图8)。需要说明的是，调整的方式可以为在第二扫描电子显微镜图像轮廓的轮廓比设计版图较宽时，可以采用腐蚀的方式将轮廓进行缩小，即确定轮廓上多个凸出于设计版图的点，然后将轮廓上凸出于设计版图的点按照设计版图上对应点的位置进行调整；在第二扫描电子显微镜图像轮廓的轮廓比设计版图较窄时，可以采用膨胀的方式将轮廓扩大，即确定轮廓上多个窄于设计版图的点，然后将轮廓上多个窄于设计版图的点按照设计版图上对应点的位置进行调整。最后，提取第三扫描电子显微镜图像轮廓的轮廓信息。
在一个可选的实施例中，基于对准结果对第二扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓，包括：
基于对准结果对第二扫描电子显微镜图像轮廓中的图形线条信息进行调整，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓；其中，图形线条信息包括图形线条的宽度、图形线条与第二扫描电子显微镜图像的间隔中的至少一项。
在一个可选的实施例中，在步骤S15之后，方法还包括：基于对准结果进行电子束缺陷检测，得到缺陷检测结果。
在一个可选的实施例中，基于对准结果进行电子束缺陷检测，得到缺陷检测结果，包括：
基于对准结果对设计版图的不同层的电子束缺陷进行检测，得到缺陷检测结果；其中，不同层至少包括：层与层之间的连接层、金属层以及多晶硅层中至少一项。
在一个可选的实施例中，在步骤S15之后，方法还包括：基于对准结果进行自动量测，得到自动量测结果。
结合图9所示，在一个可选的实施例中，本申请提供了一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，该方法可以包括：
采集待检测区域的SEM图像。
基于梯度算法初步提取SEM图像轮廓。
基于SEM图像对于上一步中提取出来的轮廓进行调整。
将调整后的SEM图像轮廓与设计版图对准。
基于设计版图精细修正SEM图像轮廓。
输出SEM图像轮廓信息。
综上，本申请在基于扫描电子显微镜图像进行图像轮廓提取的基础上，基于设计版图对图像轮廓进行再次提取，使得图像轮廓不再只依赖于扫描电子显微镜图像，而且，基于设计版图对图像轮廓再次提取的方式，能够有效地提高图像轮廓的精细度。
此外，由于图像轮廓与设计版图之间高精度对准的特性，不仅能够应用于扫描电子显微镜图像缺陷检测，也能够应用于扫描电子显微镜图像自动量测。
另外，本申请提取的轮廓信息，由于包含设计版图信息，因此，不仅可以应用于层与层之间的连接层的缺陷检测，也可以应用于其它层(比如：金属层以及多晶硅层)。
图10示出了本申请实施例提供的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取装置。如图10所示，该装置包括：
第一提取模块101，用于在采集到待检测区域的扫描电子显微镜图像的情况下，提取扫描电子显微镜图像的第一扫描电子显微镜图像轮廓；
第一调整模块102，用于基于扫描电子显微镜图像对第一扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第二扫描电子显微镜图像轮廓；
对准模块103，用于将第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图对准，生成对准结果；
第二调整模块104，用于基于对准结果对第二扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓；
第二提取模块105，用于提取第三扫描电子显微镜图像轮廓的轮廓信息。
可选的，第二调整模块104，用于基于对准结果对第二扫描电子显微镜图像轮廓中的图形线条信息进行调整，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓；其中，图形线条信息包括图形线条的宽度、图形线条与第二扫描电子显微镜图像的间隔中的至少一项。
可选的，装置还包括：检测模块，用于基于对准结果进行电子束缺陷检测，得到缺陷检测结果。
可选的，装置还包括：量测模块，用于基于对准结果进行自动量测，得到自动量测结果。
可选的，第一提取模块101，用于在采集到待检测区域的扫描电子显微镜图像的情况下，提取扫描电子显微镜图像的亚像素级别的第一扫描电子显微镜图像轮廓。
可选的，对准模块103，用于将第二扫描电子显微镜图像轮廓转化为与设计版图格式相同的第二扫描电子显微镜图像轮廓；将转化后的第二扫描电子显微镜图像轮廓与预设的原始设计版图进行对准，得到对准结果。
可选的，对准模块103，用于将转化后的第二扫描电子显微镜图像轮廓与预设的原始设计版图进行对准，并基于预设的图形相似度指标，获取对准结果；其中，图形相似度指标用于表征第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图之间的对准程度。
可选的，设计版图为GDSII流格式的设计版图。
可选的，检测模块，用于基于对准结果对设计版图的不同层的电子束缺陷进行检测，得到缺陷检测结果；其中，不同层至少包括：层与层之间的连接层、金属层以及多晶硅层中至少一项。
可选的，第一调整模块102包括：比对单元，用于将扫描电子显微镜图像与第一扫描电子显微镜图像轮廓进行比对，生成比对结果；第一获取单元，用于在比对结果为第一扫描电子显微镜图像轮廓中存在多余连接的轮廓的情况下，获取存在多余连接的轮廓的点的位置；去除单元，用于基于点的位置去除点之间的连接，生成第二扫描电子显微镜图像轮廓。
可选的，装置还包括：第二获取单元，用于在比对结果为第一扫描电子显微镜图像轮廓存在连接不完整的轮廓的情况下，获取存在连接不完整的轮廓的点的位置；连接单元，用于基于点的位置将点进行连接，生成第二扫描电子显微镜图像轮廓。
可选的，第二调整模块104用于基于对准结果对第二扫描电子显微镜图像轮廓进行膨胀和/或腐蚀，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓。
应理解，本申请的装置的各个模块/单元可全部或部分地通过软件、硬件、固件或其组合来实现。各模块/单元各自可以硬件或固件形式内嵌于电子设备的处理器中或独立于处理器，也可以软件形式存储于电子设备的存储器中以供处理器调用来执行各模块/单元的服务。各模块/单元各自可以实现为独立的部件或模块，或者两个或更多个模块/单元可实现为单个部件或模块。
在一个实施例中，提供了一种电子设备，其包括存储器和处理器，存储器上存储有可由处理器执行的计算机指令，计算机指令在由处理器执行时指示处理器执行本申请的方法的各步骤。该电子设备可以广义地为服务器、终端，或任何其他具有必要的计算和/或处理能力的电子设备。在一个实施例中，该电子设备可包括通过系统总线连接的处理器、存储器、网络接口、通信接口等。该电子设备的处理器可用于提供必要的计算、处理和/或控制能力。该电子设备的存储器可包括非易失性存储介质和内存储器。该非易失性存储介质中或上可存储有服务系统、计算机程序等。该内存储器可为非易失性存储介质中的服务系统和计算机程序的运行提供环境。该电子设备的网络接口和通信接口可用于与外部的设备通过网络连接和通信。
本申请可以实现为一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，计算机程序在由处理器执行时导致本申请的方法的步骤被执行。在一个实施例中，计算机程序被分布在网络耦合的多个电子设备或处理器上，以使得计算机程序由一个或多个电子设备或处理器以分布式方式存储、访问和执行。单个方法步骤/服务，或者两个或更多个方法步骤/服务，可以由单个电子设备或处理器或由两个或更多个电子设备或处理器执行。一个或多个方法步骤/服务可以由一个或多个电子设备或处理器执行，并且一个或多个其他方法步骤/服务可以由一个或多个其他电子设备或处理器执行。一个或多个电子设备或处理器可以执行单个方法步骤/服务，或执行两个或更多个方法步骤/服务。
本领域普通技术人员可以理解，本申请方法的步骤可以通过计算机程序来指示相关的硬件如电子设备或处理器完成，的计算机程序可存储于非暂时性计算机可读存储介质中，该计算机程序被执行时导致本申请的方法的步骤被执行。根据情况，本文中对存储器、存储、数据库或其它介质的任何引用可包括非易失性和/或易失性存储器。非易失性存储器的示例包括只读存储器(ROM)、可编程ROM(PROM)、电可编程ROM(EPROM)、电可擦除可编程ROM(EEPROM)、闪存、磁带、软盘、磁光数据存储装置、光学数据存储装置、硬盘、固态盘等。易失性存储器的示例包括随机存取存储器(RAM)、外部高速缓冲存储器等。
以上描述的各技术特征可以任意地组合。尽管未对这些技术特征的所有可能组合进行描述，但这些技术特征的任何组合都应当被认为由本说明书涵盖，只要这样的组合不存在矛盾。
尽管结合实施例对本申请进行了描述，但本领域技术人员应理解，上文的描述和附图仅是示例性而非限制性的，本申请不限于所公开的实施例。在不偏离本申请的精神的情况下，各种改型和变体是可能的。

Claims (25)

1.一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，所述方法包括：
在采集到待检测区域的扫描电子显微镜图像的情况下，提取所述扫描电子显微镜图像的第一扫描电子显微镜图像轮廓；
基于所述扫描电子显微镜图像对所述第一扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第二扫描电子显微镜图像轮廓；
将所述第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图对准，生成对准结果；
基于所述对准结果对所述第二扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓；
提取所述第三扫描电子显微镜图像轮廓的轮廓信息。
2.根据权利要求1所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，所述基于所述对准结果对所述第二扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓，包括：
基于所述对准结果对所述第二扫描电子显微镜图像轮廓中的图形线条信息进行调整，生成所述第三扫描电子显微镜图像轮廓；其中，所述图形线条信息包括所述图形线条与所述第二扫描电子显微镜图像的间隔、所述图形线条的宽度中的至少一项。
3.根据权利要求1所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，在所述将所述第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图对准，生成对准结果之后，所述方法还包括：
基于所述对准结果进行电子束缺陷检测，得到缺陷检测结果。
4.根据权利要求1所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，在所述将所述第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图对准，生成对准结果之后，所述方法还包括：
基于所述对准结果进行自动量测，得到自动量测结果。
5.根据权利要求1所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，所述在采集到待检测区域的扫描电子显微镜图像的情况下，提取所述扫描电子显微镜图像的第一扫描电子显微镜图像轮廓，包括：
在采集到所述待检测区域的所述扫描电子显微镜图像的情况下，提取所述扫描电子显微镜图像的亚像素级别的所述第一扫描电子显微镜图像轮廓。
6.根据权利要求1所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，所述将所述第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图对准，生成对准结果，包括：
将所述第二扫描电子显微镜图像轮廓转化为与设计版图格式相同的所述第二扫描电子显微镜图像轮廓；
将转化后的所述第二扫描电子显微镜图像轮廓与预设的原始设计版图进行对准，得到对准结果。
7.根据权利要求6所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，所述将转化后的所述第二扫描电子显微镜图像轮廓与预设的原始设计版图进行对准，得到对准结果，包括：
将转化后的所述第二扫描电子显微镜图像轮廓与预设的所述原始设计版图进行对准，并基于预设的图形相似度指标，获取所述对准结果；其中，所述图形相似度指标用于表征所述第二扫描电子显微镜图像轮廓与所述设计版图之间的对准程度。
8.根据权利要求6所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，所述设计版图为GDSII流格式的所述设计版图。
9.根据权利要求3所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，所述基于所述对准结果进行电子束缺陷检测，得到缺陷检测结果，包括：
基于所述对准结果对所述设计版图的不同层的电子束缺陷进行检测，得到所述缺陷检测结果；其中，所述不同层至少包括：层与层之间的连接层、金属层以及多晶硅层中至少一项。
10.根据权利要求1所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，所述基于所述扫描电子显微镜图像对所述第一扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第二扫描电子显微镜图像轮廓，包括：
将所述扫描电子显微镜图像与所述第一扫描电子显微镜图像轮廓进行比对，生成比对结果；
在所述比对结果为所述第一扫描电子显微镜图像轮廓中存在多余连接的轮廓的情况下，获取存在多余连接的所述轮廓的点的位置；
基于所述点的位置去除所述点之间的连接，生成所述第二扫描电子显微镜图像轮廓。
11.根据权利要求10所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，在所述将所述扫描电子显微镜图像与所述第一扫描电子显微镜图像轮廓进行比对，生成比对结果之后，所述方法还包括：
在所述比对结果为所述第一扫描电子显微镜图像轮廓存在连接不完整的轮廓的情况下，获取存在连接不完整的所述轮廓的点的位置；
基于所述点的位置将所述点进行连接，生成所述第二扫描电子显微镜图像轮廓。
12.根据权利要求1所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，基于所述对准结果对所述第二扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓，包括：
基于所述对准结果对所述第二扫描电子显微镜图像轮廓进行膨胀和/或腐蚀，生成所述第三扫描电子显微镜图像轮廓。
13.一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取装置，所述装置包括：
第一提取模块，用于在采集到待检测区域的扫描电子显微镜图像的情况下，提取所述扫描电子显微镜图像的第一扫描电子显微镜图像轮廓；
第一调整模块，用于基于所述扫描电子显微镜图像对所述第一扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第二扫描电子显微镜图像轮廓；
对准模块，用于将所述第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图对准，生成对准结果；
第二调整模块，用于基于所述对准结果对所述第二扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓；
第二提取模块，用于提取所述第三扫描电子显微镜图像轮廓的轮廓信息。
14.根据权利要求13所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取装置，其特征在于，所述第二调整模块，用于基于所述对准结果对所述第二扫描电子显微镜图像轮廓中的图形线条信息进行调整，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓；其中，所述图形线条信息包括所述图形线条与所述第二扫描电子显微镜图像的间隔、所述图形线条的宽度中的至少一项。
15.根据权利要求13所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取装置，其特征在于，所述装置还包括：
检测模块，用于基于所述对准结果进行电子束缺陷检测，得到缺陷检测结果。
16.根据权利要求13所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取装置，其特征在于，所述装置还包括：
量测模块，用于基于所述对准结果进行自动量测，得到自动量测结果。
17.根据权利要求13所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取装置，其特征在于，所述第一提取模块，用于在采集到待检测区域的扫描电子显微镜图像的情况下，提取所述扫描电子显微镜图像的亚像素级别的所述第一扫描电子显微镜图像轮廓。
18.根据权利要求13所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取装置，其特征在于，所述对准模块，用于将所述第二扫描电子显微镜图像轮廓转化为与设计版图格式相同的所述第二扫描电子显微镜图像轮廓；
将转化后的所述第二扫描电子显微镜图像轮廓与预设的原始设计版图进行对准，得到对准结果。
19.根据权利要求18所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取装置，其特征在于，所述对准模块，用于将转化后的所述第二扫描电子显微镜图像轮廓与预设的所述原始设计版图进行对准，并基于预设的图形相似度指标，获取所述对准结果；其中，所述图形相似度指标用于表征所述第二扫描电子显微镜图像轮廓与所述设计版图之间的对准程度。
20.根据权利要求18所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取装置，其特征在于，所述设计版图为GDSII流格式的设计版图。
21.根据权利要求15所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取装置，其特征在于，所述检测模块，用于基于所述对准结果对所述设计版图的不同层的电子束缺陷进行检测，得到所述缺陷检测结果；其中，所述不同层至少包括：层与层之间的连接层、金属层以及多晶硅层中至少一项。
22.根据权利要求13所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取装置，其特征在于，所述第一调整模块包括：
比对单元，用于将所述扫描电子显微镜图像与所述第一扫描电子显微镜图像轮廓进行比对，生成比对结果；
第一获取单元，用于在所述比对结果为所述第一扫描电子显微镜图像轮廓中存在多余连接的轮廓的情况下，获取存在多余连接的所述轮廓的点的位置；
去除单元，用于基于所述点的位置去除所述点之间的连接，生成所述第二扫描电子显微镜图像轮廓。
23.根据权利要求22所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取装置，其特征在于，所述装置还包括：
第二获取单元，用于在所述比对结果为所述第一扫描电子显微镜图像轮廓存在连接不完整的轮廓的情况下，获取存在连接不完整的所述轮廓的点的位置；
连接单元，用于基于所述点的位置将所述点进行连接，生成所述第二扫描电子显微镜图像轮廓。
24.根据权利要求13所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取装置，其特征在于，所述第二调整模块用于基于所述对准结果对所述第二扫描电子显微镜图像轮廓进行膨胀和/或腐蚀，生成所述第三扫描电子显微镜图像轮廓。
25.一种电子设备，其特征在于，所述电子设备包括：处理器以及存储有计算机程序指令的存储器；
所述处理器执行所述计算机程序指令时实现如权利要求1-12任意一项所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法。
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