CN116121717A - 磁控管靶联接器和支承设备 - Google Patents

Abstract

涉及一种磁控管靶联接器和支承设备。根据各种实施方式，磁控管靶联接器(301)包括：靶联接器法兰(702)；轴(808)，该轴在端侧与靶联接器法兰(702)刚性联接，并且在与靶联接器法兰(702)相对置的一侧上具有第一线性支承件部件(8081)；通信接口(704)，该通信接口具有相互电耦联的第一通信电极(704a)和第二通信电极(704b)；其中第二通信电极(704b)在与轴(808)相对置的一侧上刚性地固定在靶联接器法兰(702)处，其中靶联接器法兰(702)设置在第一通信电极(704a)和第二通信电极之间(704b)；其中第一通信电极(704a)被支承，使得其朝向第二通信电极(704b)位移和/或远离其位移。

Description

磁控管靶联接器和支承设备

技术领域

各种实施例涉及磁控管靶联接器和支承设备。

背景技术

一般而言，工件或基板可以被工艺处理，例如机加工、覆层、加热、蚀刻和/或结构改变。用于对基板覆层的方法例如是阴极原子化(所谓的溅射)，阴极原子化是物理气相沉积(PVD)类型的。例如，一个或多个层可以借助于溅射(即通过溅射工艺)沉积在基板上。为此，可以借助于阴极将形成等离子体的气体离子化，其中可以借助于在此形成的等离子体将待沉积的材料(靶材料)原子化。然后可以将原子化的靶材料引导至基板，靶材料可以在基板处沉积并且形成层。

对阴极原子化的修改是借助于磁控管进行溅射，即所谓的磁控溅射，或所谓的反应磁控溅射。在此，可以借助于磁场来支持等离子体的形成。磁场可以由磁体系统产生并且穿透阴极(也称为磁控管阴极)，使得在靶材料表面(靶表面)处可以构成环形等离子体通道，即所谓的轨道，在该等离子体通道中可以形成等离子体。

等离子体的空间分布和与之相关的原子化速率非常敏感地取决于磁场的空间分布。因此，磁体系统对于各种工艺特性，诸如工艺稳定性、再现性、靶利用率和均匀性方面具有特别重要的意义。在此背景下，存在对改进，比如简化磁体系统和/或减少干扰性影响的基本需求。

发明内容

各种实施方式的一个方面可以直观地在于：提供与可调节的磁场的通信。借助对磁场的调节，可以影响靶材料的雾化，例如使得可以进行尽可能均匀的分子化溅射和/或覆层。与之相关，已经直观的认识到：用于通信的、为此使用的部件经受各种干扰，这使与磁体系统的通信或磁场的调节变得困难。

根据各种实施方式，提供呈磁控管靶联接器形式的连续组件，该组件具有轴向可调节的通信接口。通信接口可提供磁体系统与支承设备的通信耦联，使得可以更可靠地操控磁体系统。直观地，轴向可调节的通信接口实现：更好地补偿公差和热膨胀。这减少了与磁体系统的通信的干扰。

可选地，通信接口设计用于与磁体系统或支承设备的非接触式通信，这减少磨损，或避免移动滑动触点。

附图说明

附图示出

图1、图2和图4分别以各种视图示出根据各种实施方式的磁体系统；

图3A、图5和图10分别以不同示意图示出根据各种实施方式的溅射设备，并且图3B示出溅射设备的磁体系统；

图6以示意横截面图示出根据各种实施方式的磁体系统的壳体盖；

图7和图12分别以各种示意图示出根据各种实施方式的磁控管靶联接器；

图8和图13分别以不同的示意图示出根据各种实施方式的通信组件；

图9以示意横截面图示出根据各种实施方式的支承设备；和

图11以示意立体图示出根据各种实施方式的支承设备的转动支承件。

具体实施方式

在下面详细的说明书中参考附图，附图形成说明书的一部分，并且其中示出可以实施本发明的具体的实施形式以用于说明。在此方面，相关于所描述的一个(多个)附图的取向而使用方向术语例如是“上”、“下”、“前”、“后”、“前部”、“后部”等等。因为实施形式的部件可以以多个不同的取向来定位，所以方向术语用于说明并且不以任何方式受到限制。应当理解的是，在不偏离本发明的保护范围的情况下，可以使用其他的实施方式并且可以进行结构上的或逻辑上的改变。应当理解的是，只要没有特殊地另外说明，可以将在此描述的不同的示例性实施方式的特征互相组合。因此，下面详细的描述不能够理解为限制性的意义，并且本发明的保护范围由所附的权利要求来限定。

在本说明书的范围内，术语“连接”、“联接”以及“耦联”用于描述直接的和间接的连接(例如欧姆和/或导电，例如导电连接)、直接的或间接的联接以及直接的或间接的耦联。在附图中，只要是适当的，相同的或类似的元件设有相同的附图标记。

根据各种实施方式，术语“经耦联”或“耦联”可以理解为(例如机械、流体静力、热和/或电)例如直接或间接的连接和/或相互作用。例如，多个元件可以沿着相互作用链彼此耦联，沿着相互作用链可以交换相互作用，例如流体(于是也称为流体引导耦联)。例如，两个相互耦联的元件可以相互交换彼此间的相互作用，例如机械、流体静力、热和/或电相互作用。多个真空部件(例如阀、泵、腔室等)彼此的耦联可以包括：它们是引导流体相互耦联的。根据各种实施方式，“联接”可以理解为机械(例如，实体的或物理的)耦联，例如借助于直接的实体接触。联接器可以设计用于：传递机械相互作用(例如，力、转矩等)。

在此，术语“支承设备”表示设计用于支承(例如，受引导地定位和/或保持)一个构件或多于一个构件的设备。支承设备可以例如对于每个构件(该构件借助于支承设备来支承)具有一个或多于一个支承件，以支承(例如，受引导地定位和/或保持)构件。支承设备的每个支承件可以设计用于：为构件提供一个或多于一个自由度(例如，一个或多于一个平移自由度和/或一个或多于一个旋转自由度)，构件可以根据该自由度移动。支承件的示例包括：径向支承件、轴向支承件、径向推力支承件、线性支承件(也称为线性引导装置)。

术语“溅射”表示借助于等离子体将材料原子化(也称作为覆层材料或靶材料)，该材料作为所谓的靶材料来提供。因此，靶材料的原子化的组成部分彼此分离并且例如可以堆积以形成层。溅射可以借助于所谓的溅射设备进行，溅射设备可以具有磁体系统(溅射设备于是也称为磁控管)。为了溅射，可以将磁控管设置在真空工艺处理腔室中，使得可以在真空中进行溅射。为此，可以在溅射期间设定或调节真空工艺处理腔室内的环境条件(工艺条件)(例如压力、温度、气体组分等)。例如，真空工艺处理腔室可以气密、防尘和/或真空密封地设计，使得可以在真空工艺处理腔室内提供具有预定组分或预定压力(例如根据预定值)的气体气氛。例如，离子形成气体(工艺气体)或气体混合物(例如由工艺气体和反应气体构成)可以在工艺处理腔室中被提供。例如，在反应磁控溅射中，原子化的材料可以与反应气体(例如，具有氧、氮和/或碳)反应，并且可以分离由此形成的反应产物(例如，电介质)。

溅射可以借助于所谓的管形磁控管进行，其中具有靶材料的管形的靶(也称为管形靶或管形阴极)轴向地围绕磁体系统旋转。可以借助于调节磁体系统或借助于改变借此产生的磁场来影响靶材料的溅射进而改变空间分布，靶材料以该空间分布被剥离。

管形阴极和磁体系统可以借助于支承设备(也称为靶支承设备)来支承，支承设备可以可相对于磁体系统转动的方式支承管形阴极。支承设备例如可以具有一个或多于一个端块，其中支承设备的每个端块保持管形阴极或磁体系统的端部部段。支承设备(例如，其一个或多个端块)还可以提供对管形阴极的供应(例如供应电功率、转动运动和/或冷却流体)。

根据各种实施方式，溅射设备的端块(于是也称为驱动端块)可以具有用于将转动运动传递到管形阴极的驱动系，驱动系可以例如与驱动器联接。替代地或附加地，溅射设备的端块(也称为介质端块)可以设计用于输送和导出冷却流体(例如基于水的混合物)，冷却流体可以引导穿过阴极。

然而，也可以使用刚好一个端块(也称为紧凑端块)，该端块具有驱动系和流体线路，进而共同提供驱动端块和介质端块的功能。例如，管形靶的与紧凑端块相对置的一侧可以自由伸出(即，自由悬挂)，这称作为悬臂配置，或者借助于支承块支撑。

磁体系统可以是多极的，即具有多个磁极。多个磁极中的第一磁极(也称为外磁极)可以沿着自身闭合的路径(也称为循环路径)延伸，并且第二磁极可以设置在由环绕路径包围的区域内(也称为内极)。例如，循环路径可以是椭圆形的。每个磁极可以具有多个依次排列的磁体(于是也称为一排磁体或磁体排)，磁体中的每个磁体都被磁化或具有磁化部。例如，每个磁极每米可以具有至少10个(例如至少100个)磁体。例如，两个或更多个设置在磁体系统的端件之间的磁体排可以基本上提供磁体系统的中间区域(直观地，一排内极，在内极的两侧各一磁体排，外极)。通常，外极和内极可以彼此具有一定间距和/或在其磁化方向和/或其磁体数量上彼此不同。

磁体系统，例如其磁棒可以可选地具有多个依次设置的和/或空间彼此分离的(例如多极的)区段(也称作磁体系统或磁体系统组)，这些区段中的两个区段(也称为反转区段或端部件)设置在磁体系统的端侧处(直观地设置在磁体系统端部处)，并且其中一个或多于一个可选的区段(也称作中间件)设置在端部件之间。其中，示例性地参考具有多个磁体系统组的磁体系统，其中在这方面的描述内容也可以适用于未分区段的磁体系统，或者关于磁体系统组的描述内容可以类似地适用于多个磁体系统组，并且反之亦然。

根据各种实施方式，术语“弹簧弹性”可以参考如下物体来理解，该物体可以克服恢复力而变形(也称为柔性的)。可变形性可通过以下方式来提供：即弹簧弹性的物体具有弹性材料或者由其制成，例如具有弹性体或由其制成。替代地或附加地，可变形性(例如可拉伸性)可以通过如下方式来提供：即弹簧弹性的物体具有带有高强度(例如抗弯强度)的材料或由其制成，例如弹簧钢。可变形性(例如可拉伸性)表示物体的如下能力：在机械负荷的情况下从初始状态(例如初始形状)克服恢复力变形，在负荷消失的情况下返回到初始状态(例如无损坏)。使用初始状态x(例如扩展x)，变形Δx(例如扩展变化Δx)与初始状态(例如初始u哦站)的比例ε，即ε＝Δx/x，也表示相对的可变形性(与扩展有关，也称为伸长率)。根据各种实施方式，弹簧弹性的物体(例如气体引导结构)可以针对大于约10％，例如约25％，例如约50％，例如约75％的相对的可变形性来设计。

下面，首先解释磁体系统和溅射设备的功能和结构，以便简化对所提供的磁控管靶联接器的理解。

在此提出一种通信接口，该通信接口设计用于长度补偿，例如通过该通信接口具有两个彼此电耦联的通信电极的方式来进行长度补偿，通信电极彼此间的间距可变地设计(例如借助于线性支承件)，使得通信电极可以执行彼此间轴向的相对运动。当支承件电极与支承框架刚性联接(但是这不一定是必需的)时，该配置是有用的。替代地或附加地，支承电极和支承框架之间的间距可以可变地设计(例如，借助于线性支承件)，例如使得支承电极和支承框架可以执行彼此间轴向的相对运动。于是，通信接口的两个彼此电耦联的通信电极可以(但不一定必须)彼此刚性联接。

因此可以理解的是：本文中关于两个彼此电耦联的通信电极的相对运动的描述内容可以类似地适用于支承电极。更一般地，通信电极(其直接与支承电极相对置)和/或支承电极被支承为，使得当磁控管靶联接器相对于支承框架位移一定路段时，支承电极彼此间的间距变化小于该路段。以类似的方式，例如当在四个电极之间轴向相对运动不可行时，可以在与通信接口相对置的靶端部处实施长度补偿。

图1以示意性细节图示出根据各种实施方式的磁体系统100，例如，以观察如下方向101示出(也称作为参考方向101)，磁体系统100沿着该方向纵向延伸。例如，磁体系统可以具有大于约0.5m(米)和/或小于约6m，例如在约2m至约5m的范围内，和/或大于3m的长度(沿参考方向101的扩展)。

磁体系统100可以具有多个磁体104和承载机构160，该承载机构设计用于承载磁体系统100的磁体104。承载机构160可以具有至少一个(即一个或多于一个)载体102、202(也称为磁体载体)，磁体载体中的第一载体102(也称为第一磁体载体或系统载体)设计用于承载磁体系统100的一个或多于一个磁体系统组150(例如其磁体104)。

磁体系统100可以例如具有每个系统载体102一个或多于一个磁体系统组150，例如每个系统载体102多个磁体系统组150。每个磁体系统组150可以具有多个(例如三个或更多个)磁体104并且可以可选地以可调的方式来设计。每个磁体系统组150的至少两个磁体104可以在其磁化方向上彼此不同。

每个可调设计的磁体系统组150可以具有调节装置150s，调节装置例如(例如部分地)设置在系统载体102和/或磁体系统组150的磁体104之间和/或将其彼此联接。调节装置150s可以设计用于：例如通过以下方式改变由磁体系统组150产生的磁场120的空间分布：即，该调节装置改变磁体系统组150的一个/多个磁体104的空间分布(例如位置和/或对准)。例如，调节装置150s可以是承载机构160的部件并且可以设计用于改变磁体系统100的至少一个磁体的空间位置和/或对准。

调节装置150s的示例性部件具有：支承设备116(也称为组支承设备)和/或致动器106。调节装置150s(例如其组支承设备116和/或致动器106)可以将磁体系统组150的该磁体104或每个磁体104与系统载体102联接。组支承设备116可为磁体104提供一个或多个平移自由度111，其中第一平移自由度111可以沿着参考方向101和/或一个或多于一个第二平移自由度111可以横向于参考方向101。

此外，承载机构160、例如每个磁体系统组150的承载机构可以具有第二载体202(也称为第二磁体载体或组载体)，第二载体将多个磁体104(也参见图2)彼此联接和/或与调节装置150s联接。在该情况下，该组或每个组载体202可以是磁性的(于是提供所谓的回送载体)，并且系统载体102可以是非磁性的。

致动器106可以设计用于根据一个或多于一个平移自由度111机械地移动磁体104(也称为致动过程)。为此，致动器106可以与磁体104和/或系统载体102联接，使得在调节致动器106时，可以改变磁体104相对于系统载体102的方位(即对准和/或位置)，例如根据目标状态来改变。

为了产生运动，致动器106可以具有机电转换器(例如，电动马达或压电致动器)。机电转换器可以设计用于：产生平移运动(例如在线性电动马达的情况下)或产生转动运动(例如在旋转电动马达的情况下)。为了将运动传递给磁体104，致动器106可以可选地具有变速器(也称为致动器变速器)。

为了对致动器106提供电功率(也称为供应功率)和/或为了将通信信号输送至致动器106，致动器106可以与一个或多于一个电线路108耦联。原则上，通信信号和供应功率可以经由线路108一起输送，但不是必须的。这些通信信号和供应功率也可以经由彼此分开的线路108来输送。

图2以示意性立体图示出根据各种实施方式200的磁体系统100，其中磁体系统100具有多个空间彼此分离的磁体排204a、204i，这些磁体排固定在共同的组载体202上(例如与其磁性耦联)。每个磁体排204a、204i可以具有相同磁化方向的多个成排依次设置的磁体。至少中间的磁体排204i，其设置在靠外的磁体排204a的两个磁体之间，可以沿参考方向101纵向延伸。

图3A以示意性侧视图或横截面图示出根据各种实施方式的溅射设备300，并且图3B以示意性细节图300b示出溅射设备300的磁体系统100。

溅射设备300可以具有用于可转动地支承管形靶302(也称为管状靶)的支承设备350(也称为靶支承设备)。靶支承设备350可以具有一个或多于一个端块312a、312b，其中管形靶302借助于端块312a、312b可转动地支承，例如可围绕转动轴线311转动，和/或可以借助于端块来供应。为此，靶支承设备350(例如，每个端块312a、312b)可以具有一个或多于一个对应的转动支承件950(也参见图9)。

靶支承设备350可以具有每个转动支承件950例如一个磁控管靶联接器301，该磁控管靶联接器与转动支承件950联接。磁控管靶联接器301设计用于：保持靶302和磁体系统100，使得靶302可以围绕磁体系统100转动。例如，磁控管靶联接器301可以具有靶接口法兰702(参见图7)，靶接口法兰借助于转动支承件950可转动地支承并且管形靶302可以与靶接口法兰联接。转动轴线311可以沿着参考方向101或者可以沿着磁控管靶联接器301的轴的轴线。

靶支承设备350的第一端块312a可以设计为驱动端块312a，即具有用于转动管形靶302的驱动系302a。靶支承设备350的第二端块312b或第一端块312a可以设计为介质端块312b，即用于输送和导出冷却流体(例如，具有水)和/或用于对管形阴极302供应电功率。冷却流体可以被引导经过管形靶302。

驱动系302a可以与设置在驱动端块312a之外的驱动设备(例如，马达)联接或者具有该驱动设备。转矩可以借助于驱动系302a联接到管形靶302中，以驱动管形靶302的转动运动。

此外，溅射设备300可以具有磁体系统100，该磁体系统借助于支承设备350保持，例如相对于重力方向位置固定地和/或防转动地保持。例如，在管形靶302(围绕磁体系统100)转动时保留相对于重力方向的固定对准。

支承设备350可以具有每个端块312a、312b一个可转动支承的靶接口法兰702(参见图7)，借助该靶接口法兰可以联接管形靶302，例如联接于驱动系302a和/或联接于冷却流体供应装置(例如具有一个或多个流体线路)。例如，靶接口法兰(参见图7)可设计用于：与靶302可拆卸地连接，使得可以安装和拆卸管形靶302。靶联接器301、例如其靶接口法兰702可以可选地由固定支承件穿透，借助该固定支承件可以支承磁体系统100。

在细节图300b中，示例性地示出两个磁体系统组150，其中每个磁体系统组具有组载体202；具有多个磁体104，这些磁体借助于组载体202(例如磁性地)彼此耦联；并且具有电致动器106，该电致动器设计用于：响应于输送给电致动器106的电的通信信号调节组载体202或磁体104相对于系统载体102和/或相对于彼此的方位。致动器106例如具有电动马达106m和可选的调节变速器106g。调节变速器106g可以将马达106m与组载体202联接。

可选地，磁体系统100可以具有发电机308，发电机设计用于：将电功率(也称作供应功率)或供应电压输送给每个致动器106。为此，线路108可以具有将发电机308与每个致动器106耦联的一个或多于一个供电线路108b。

此外，磁控管靶联接器301可以具有通信接口704，通信接口将端块312a、312b中的至少一个与线路108、例如其通信线路108a电耦联(例如，电流解耦地和/或电容性地耦联)。例如，借助通信线路108a的通信接口704可以耦联输入来自端块的通信信号。

图4以示意性侧视图或横截面图示出根据各种实施方式400的磁体系统100，其中磁体系统100具有(例如流体密封的，例如真空密封的)腔室406(也称为系统腔室406)，腔室具有例如管形的壳体406g和一个或多于一个盖406d(也称为接口盖406d或壳体盖406d)。该盖406d或每个盖406d可以设计用于：在端侧(例如从参考方向101的方向或沿参考方向101的方向)封闭(例如流体密封，例如真空密封)。可选地，系统腔室406的至少一个壳体盖406d可以设计用于对磁体系统100的该磁体系统组或每个磁体系统组150进行供应(于是也称为供应盖)，例如供应通信信号和/或供应功率或供应电压。为此，供应盖406d例如可以具有变速器级804、发电机308、通信电极406e和/或转动馈通件，如其在图6中所更详细描述的。

图5以示意互连图示出根据各种实施方式500的溅射设备300。在此，示意性地示出磁体系统100的六个致动器106，其中其数量也可以大于或小于六个。可选地，溅射设备300可以具有控制设备806(例如用于驱动控制)，控制设备产生通信信号。

可以理解的是：借助于通信信号可在控制设备806和磁体系统100的致动器106之间进行通信，例如双向(即来回)或单向(即仅从控制设备806到致动器106)进行通信。换言之，通信信号可以是控制设备806和致动器106之间的信息传输的载体。

通信信号直观地可以是电信号，借助该电信号可以传输信息(也称为通信)，例如指令或控制数据、测量数据、请求和/或响应。借助于通信信号的通信可以在物理层面上借助于交换电功率来进行。物理层面的通信可以借助于物理发射器来进行。借助于通信信号的通信可以在逻辑层面上借助于信息交换进行。通信的逻辑层面可以借助于数据处理来进行，该数据处理可以例如借助于处理器和/或程序来实施和/或操控发射器。例如，可以根据要传输的信息来调制发射器之间的电功率的交换。

例如，根据通信协议(例如网络协议)，通信可以基于消息(即，以消息为基础)来进行。例如，现场总线网络协议可以用作通信协议。例如，可以使用USB总线网络协议作为通信协议(通用串行总线-USB)。当然，也可以使用其他通信协议，其他通信协议例如可以是专有的。

从控制装置806传输给致动器106的信息例如可以代表致动器106应该采取的目标状态。从致动器106传输给控制设备806的信息例如可以代表致动器106的实际状态或接收确认。

通信线路108a可以与通信接口704耦联。通信接口704可以设计用于在控制设备806和一个或多于一个致动器106之间交换通信信号。换言之，通信接口704可以设计用于转发通信信号。这通常可以借助于光学耦联、电感性耦联和/或电容性耦联来进行。这些耦联实现更可靠的通信。直观地，通信信号的光学、电感和/或电容性转发可以引起在致动器106和控制设备806之间的电流隔离。这种电流隔离抑制在磁体系统100运行中的电学干扰影响。

通信接口704可以设计用于：跨多个媒介空间在静止和移动部件之间进行非接触式通信(例如信息传输)以及同时进行长度补偿，这将在后面更详细地解释。

可选地，通信接口704可以设计成，使得一个或多于一个通信通道在管形靶的转动运动的时钟中中断(或断开)和建立(即闭合)，例如交替中断和建立。这引起：根据靶的转动运动以时钟脉冲的方式进行通信(即在转动运动的时钟中)。这种时钟脉冲实现更可靠的通信。直观地，因此，源于管形靶302的转动运动的干扰影响可以是系统性的，这简化了其滤除。

可以理解：该时钟脉冲的通信可以在通信的物理层面上和/或在通信的逻辑层面上来实施。例如，欧姆、光学、电感和/或电容性耦联可以随着管形靶的转动运动的时钟中物理地中断(即断开)和再次建立(即闭合)，例如交替进行。替代地或附加地，逻辑通信(例如，数据或整个消息的发送和/或接收)可以是时钟脉冲的方式，使得中断和再次建立该逻辑通信。

发电机308可以设计用于：在管形靶302的运行中(例如在靶额定转速的情况下)产生供应电压。该供应电压可以施加在所有致动器106处，或者借助于多路复用器单独地施加在致动器106的总是仅一个被操控的致动器处。如果致动器106之一被操控，则致动器106可以相应地从发电机308接收电功率，该电功率被施加用于调节磁场。

磁体系统100可以可选地具有一个或多于一个传感器816，传感器设计用于：检测借助于溅射设备300提供的溅射工艺(例如覆层工艺)和/或磁体系统100的磁场的实际状态(也称为工艺状态)。控制设备806可以设计用于：基于工艺状态操控致动器106。例如，致动器106的操控可以基于预设的目标状态来进行，使得例如减小工艺状态和目标状态之间的差异。

下文中讨论壳体盖406g的各种示例性的实施方案，其简化在本文中描述的功率工艺和/或通信的实施方案。

图6以示意性横截面图示出根据各种实施方式600的磁体系统100的壳体盖406d。通常，壳体盖406d具有(一件式的或多件式的)机械载体作为基本体802，该基本体承载用于电子通信和用于电功率供应的部件。

用于电功率供应的部件具有变速器级804、发电机308和将变速器级804(例如其发电机轮708)与发电机308联接的转动馈通件850。用于电子通信的部件具有通信接口704和彼此(例如导电)耦联的电接口862。

在基本体802的示例性的实施方式中，基本体可以具有法兰802p和远离法兰802p延伸和/或导电的(例如，栓形的)支撑设备802v。支撑设备802v和法兰802p可以例如刚性地和/或导电地彼此耦联。

基本体802(也称为盖基本体)至少部分地(例如至少其法兰802p)设置在变速器级804和发电机308之间。转动馈通件850允许穿过基本体802(例如其法兰802p)的贯通开口交换转动运动。

在电接口862的示例性实施方式中，电接口可以具有一个或多于一个接口端子和/或与一个或多于一个电通信线路108a联接。替代地或附加地，电接口862可以与盖电极406e电耦联，优选欧姆耦联，例如借助于基本体802(例如，其法兰802p和/或其支撑设备802v)电耦联，优选欧姆耦联。

驱动侧的变速器轮718可以借助于转动支承件851支撑在基本体802处，例如其支撑设备802v处。替代地或附加地，转动馈通件850可以具有轴850w，该轴借助于转动支承件851支撑在基本体802处，例如其法兰802p处。

如果变速器级是内装齿的，则其驱动侧的变速器轮718具有内齿圈718(也参见图12)。内齿圈718直观地提供留空部，在该留空部中可以设置发电机轮708。这节省空间。

在下文中解释所提供的磁控管靶联接器301并参考其示例性的实施方式。可以理解的是：磁控管靶联接器301也可以作为单个组件来提供，例如从支承设备350和/或磁体系统100上拆卸。

图7以示意性横截面图示出根据各种实施方式700的磁控管靶联接器301。

磁控管靶联接器301具有法兰702(也称为靶接口法兰702)和通信接口704。通信接口704具有第一电极704a(也称为第一通信电极704a)和第二电极704b(也称为第二通信电极704b)，第一电极和第二电极彼此电耦联，例如借助于通信接口704的电线路710耦联和/或欧姆耦联。

靶联接器法兰702可以例如(例如沿着轴的轴线808a)由贯通开口702o穿透，电线路710延伸穿过该贯通开口。例如，密封件702d(例如O形环密封件)可以设置在贯通开口702o中，密封件贴靠靶联接器法兰702和电线路710。

在示例性实施方式中，这些或每个通信电极704a、704b(例如由导电材料构成，例如金属构成)设计用于电容性通信。例如，通信电极704a、704b可以被(例如介电)封装，例如借助于电介质封装。这减少了必须沿通信路径引导线缆和/或将线缆彼此固定用于接线的需要。

在该示例性实施方式或其替代示例性实施方式中，这些或每个通信电极704a、704b(例如由导电材料构成，例如由金属构成)盘形和/或板形或作为板电极(例如作为电容器板)用于电容性通信。例如，第一通信电极704a和/或第二通信电极704b可以具有盘、环或其区段或者由其构成。

磁控管靶联接器301还具有与靶联接器法兰702刚性联接的轴808。

轴808可以沿着轴的轴线808a延伸，例如穿过第一通信电极704a。轴808在与靶联接器法兰702相对置的一侧上具有第一线性支承件部件8081(例如，圈)。第一线性支承件部件8081可以设计用于：与第二线性支承件部件8181(参见图9)拼接在一起，形成线性支承件918(也称为轴容纳支承件)，例如可转动支承的线性支承件。

第一通信电极704a可以设置在线性支承件部件808l和靶联接器法兰702之间。

第二通信电极704b可以(例如在靶联接器法兰702的与轴相对置的一侧上)刚性地安装在靶联接器法兰702和/或轴808处，例如至少部分沉入靶联接器法兰702中或至少设置在靶联接器法兰702的留空部中。这增加了组件的紧凑性。

根据各种实施方式，第一通信电极704a借助于支承设备714(也称为电极支承设备714)承载。电极支承设备714可以具有至少一个线性支承件，该线性支承件为第一通信电极704a提供至少一个平移自由度，例如相对于第二通信电极、轴808和/或靶联接器法兰702的平移自由度。平移自由度714t可以例如沿着轴808的轴的轴线808a或参考方向101。

直观地，平移自由度714t实现：(例如可转动支承的)通信电极704a可轴向位移，以补偿公差和热膨胀。这减少了与磁体系统100通信的干扰。

例如，电极支承设备714可以设计成，使得第一通信电极704a可以朝向和/或远离第二通信电极或靶联接器法兰702位移，例如沿着轴808的轴的轴线808a位移。替代地或附加地，第一通信电极704a被支承，使得该第一通信电极可以相对于轴808位移。

靶联接器法兰702可以可选地具有背离第一通信电极704a的密封面706。密封面706(例如，具有用于容纳密封件的槽)可以例如贴靠弹性体密封件，弹性体密封件例如容纳在槽中。例如，第二通信电极704b可以由密封面706环绕。

下面讨论磁控管靶联接器301的部件的附加示例性的实施方式。

在电线路710的示例性的实施方式中，电线路可以具有由金属构成的、一个或多于一个销710s(也称作为接触销)和插座710b(也称作为接触插座)或由其形成，接触销710s容纳在该接触插座中。销例如可以借助于线性支承件相对于第一通信电极704a可位移地支承和/或刚性设计。这避免了附加的线缆。

在电极支承设备714的示例性实施方式中，电极支承设备可以具有将第一通信电极704a和第二通信电极704b彼此联接的弹簧弹性元件714f(例如，弹簧)。如果弹簧弹性元件714f变形(例如拉伸和/或压缩)，则该元件可以产生相反于变形定向的恢复力。弹性元件714f越硬，即其弹簧常数越大，恢复力(在变形恒定的情况下测量)就可以越大。

根据各种实施方式，弹簧弹性元件714f可以具有弹性材料或由弹性材料构成，例如塑料，例如弹性体、聚合物或共聚物，例如橡胶、硅树脂、硅橡胶、氟化硅橡胶、天然橡胶或其他合适的(例如软的和/或真空兼容的)塑料。例如，聚合物或共聚物可以具有硅。根据各种其他实施方式，弹性材料可以是金属性的，例如钢(例如，弹簧钢)或另一种金属、金属合金或金属间化合物。

在弹簧弹性元件714f的示例性实施方式中，其可以具有多个匝，例如以螺旋弹簧或蜗形弹簧的形式(也参见下面的图8)。这是不那么复杂且便宜的。更一般地，弹簧弹性元件714f可以具有一个或多于一个弹簧(例如金属弹簧和/或塑料弹簧)，其例如呈盘式弹簧、螺旋扭力弹簧、扭簧、板簧或其他弹簧形式。

借助弹簧弹性元件710s提供的恢复力可以克服第一通信电极704a从初始位置和/或沿着平移自由度714t向外的运动(平移)。在初始位置中，恢复力可以为零，或者第一通信电极704a可以由恢复力压靠止挡件。

在弹簧弹性元件710f的示例性实施方式中，弹簧弹性元件可以被预紧。然后，恢复力可以设计成，将第一通信电极704a压靠止挡件。例如，止挡件可以固定在轴808处和/或可以是第一通信电极704a的封装的一部分。

在线性支承件部件808l的示例性实施方式中，该线性支承件部件提供如下第一路段808t，轴808可以沿该第一路段位移。为此，线性支承件部件8081可具有沿轴的轴线808a的扩展，该扩展等于或大于第一路段808t。第一路段808t例如可以约1厘米(cm)或更大，例如约2厘米或更大，例如约4厘米或更大，例如约5厘米或更大。

在线性支承件部件8081的该示例性实施方式或一替代的示例性实施方式中，该线性支承件部件具有转矩支柱。转矩支柱可以设计用于(例如，当线性支承件部件8081提供轴容纳支承件时)抑制线性支承件部件8081的转动。例如，转矩支柱可以借助于线性支承件部件8081的轮廓化的环周面来实施。对此的示例具有一个或多于一个槽作为转矩支柱和/或一个或多于一个齿作为转矩支柱，所述转矩支柱沿轴轴线808a纵向延伸，例如纵向延伸第一路段808t或更多。例如，线性支承件部件8081可以具圈(例如齿圈)作为转矩支柱，圈具有沿着轴轴线808a的扩展，该扩展大约对应于第一路段808t或者更长，例如直至靶联接器法兰702。

在电极支承设备714的示例性实施方式中，电极支承设备可以为第一通信电极704a提供第二路段714t，第一通信电极704a可以(例如，沿着平移自由度714t)(例如，相对于轴808)位移第二路段。第二路段714t可以是第一路段808t的至少10％，例如第一路段808t的至少25％，例如第一路段808t的至少50％，例如第一路段808t的至少75％，例如第一路段808t的至少90％。例如，第二路段714t和第一路段808t可以相同大。这改进了磁控管靶联接器301的操作。

在通信接口704的示例性实施方式中，通信接口与靶联接器法兰702和/或轴808分离，例如，电隔离和/或借助于电介质分离。这改进了信号传输。

在通信接口704的该示例性实施方式或替代的性示例性实施方式中，第一通信电极704a和/或第二通信电极704b被封装，例如借助于电介质被封装。这改进了电隔离和/或其使用寿命。

图8以示意性横截面图示出根据各种实施方式的通信组件800，该通信组件具有磁控管靶联接器301和安装在其处的壳体盖406d，例如作为溅射设备300的一部分。

轴808可以可转动地支承或者或具有轴轴线808a，该轴可围绕轴的轴线转动地支承。替代地或附加地，靶联接器法兰702可以相对于壳体盖406d、例如其盖电极406e转动地支承。为此，磁控管靶联接器301可以具有例如安装结构814(例如，沿轴的轴线808a延伸的和/或设置在轴808中的安装结构)，该安装结构相对于轴808可转动地支承和/或由轴808支撑。

安装结构814可以匹配于壳体盖406d设计，使得可以将壳体盖固定在安装结构814处(例如其基本体802，例如其支撑设备802v处)。

根据各种实施例，盖406d可以具有第四通信电极406e(也称为盖电极)，第四通信电极例如与磁体系统100的致动器106耦联，例如欧姆耦联。

例如，盖电极406e可以靠近第二通信电极704b设置，例如与第二通信电极直接相对置和/或与第二通信电极距离间距903(也称作为第二电极-电极间距)。第二电极-电极间距903可以例如大约等于第一电极-电极间距903。第二电极-电极间距903可以替代地或附加地小于约1cm，例如小于约0.5厘米，例如小于约0.25厘米。这改进了通信。

盖电极406e和第二通信电极704b可以彼此电容性耦联，使得它们实现控制设备806和磁体系统100(例如其致动器106)之间的通信路径。

根据各种实施例，盖电极406e和/或支承件电极904可以位置固定地支承。通信接口704(例如其第一通信电极704a和/或第二通信电极704b)可以相对于其而可转动地支承，例如围绕轴的轴线808a支承和/或与支承件电极904同心地支承。

第一通信电极704a可以距靶联接器法兰702具有间距961(也称为电极-法兰间距)。电极-法兰间距可以大于第一电极-电极间距901和/或大于第二电极-电极间距903，例如它们的总和。电极-法兰间距可以大于第一路段714t。直观地，电极-法兰间距可用于：提供用于使第一通信电极704a位移的自由空间。电极-法兰间距961的空间直观地用作公差和长度扩展的自由空间。

图9例如以观察端块312a的方式以示意性横截面图示出根据各种实施方式900的支承设备350，在其中支承设备350、例如其端块312具有框架912(也称为支承件框架912)。例如，框架912可以具有端块壳体或由端块壳体构成。此外，支承件设备350具有磁控管靶联接器301，其仅部分示出。

支承设备350，例如其端块312a具有借助于支承件框架912承载的铰链952，该铰链具有转动支承件950和可借助于转动支承件950转动支承的第二线性支承件部件8181。第二线性支承件部件8181可以设计用于：与第一线性支承件部件8081拼接在一起(例如插接到彼此中)，以形成轴容纳支承件918，使得轴容纳支承件918是可转动支承的线性支承件。轴容纳支承件918可以借助于转动支承件950围绕轴的轴线808a可转动地支承。轴容纳支承件918可以为轴808提供沿第一路段808t的平移自由度。

此外，支承设备350可具有支承件电极904(也称为第三通信电极904)，该支承件电极与框架912刚性联接(例如安装在其处)，例如至少部分地沉入框架912中，或至少设置在框架912的留空部中。这增加了组件的紧凑性。

例如，支承件电极904可以设置在第一通信电极704a附近，例如直接与第一通信电极相对置和/或距第一通信电极相距一定间距901(也称为第一电极-电极间距)。第一电极-电极间距901例如可以小于第一路段808t和/或第二路段714t(也称为调节路径714t)。第一电极-电极间距901可以例如小于约1cm，例如小于约0.5cm，例如小于约0.25cm。这改进了通信。

例如，第一电极-电极间距901可以相对于第一通信电极704a沿着轴的轴线808a和/或根据平移自由度的位移是不变的，这改进了通信。这例如可以借助于止挡件962实现，这在后面更详细地描述。

支承件电极904和第一通信电极704a可以彼此电容性耦联，使得第一通信电极和支承件电极实现在控制设备806和磁体系统100(例如其致动器106)之间的通信路径。

支承件电极904可以与通信电极704a和/或与框架912电隔离地设计。例如，支承件电极904可以被封装(例如介电封装)，例如借助于电介质封装。这改进了电隔离和/或其使用寿命。

图10以示意性细节图示出根据各种实施方式1000的溅射设备300，其中溅射设备具有彼此分离的多个空腔。

框架912可以具有在运行中具有第一(例如，大气的)压力A的第一空腔10A。第二空腔10B可以设置在第一通信电极704a和第二通信电极704之间，并且在运行中具有真空(例如，压力B)。

压力B可以低于压力A和/或低于0.3mbar，例如在从大约10mbar到大约1mbar的范围内(于是也称为粗真空)或更小，例如在从大约1mbar到大约10^-3mbar的范围内(于是也称为精细真空范围)或更小，例如在从大约10^-3mbar到大约10^-7mbar的范围内(于是也称为高真空范围)或更小。

在运行中具有冷却流体和/或压力C的第三空腔10C可以设置在靶302内，例如设置在该靶和磁体系统100之间和/或设置在第二通信电极704b和盖电极406e之间。例如，压力C可以大于压力A。

在运行中具有第四(例如，大气压)压力D的第四空腔10D可以设置在磁体系统100内，例如设置在壳体406d的内部中(也称为壳体内部空间)。可选地，第四(例如大气)压力D和第一压力A可以彼此不同，即它们不一定必须是相同的。

根据各种实施方式，支承设备350(例如其端块)可具有将第一空腔10A与第二空腔10B分离的密封件。替代地或附加地，磁控管靶联接器301(例如其靶联接器法兰702)可以具有将第二空腔10B与第三空腔10C分离的靶密封件702d。替代地或附加地，磁体系统100(例如其盖406d)可以具有将第三空腔10C与第四空腔10D分开的密封件。

控制设备806和磁体系统100之间(例如到其致动器106)的通信路径可以伸展穿过第一空腔10A、第二空腔10B、第三空腔10C和/或第四空腔10D，例如从大气到真空到水到大气。

在靶联接器法兰702的示例性实施方式中，靶联接器法兰可以是多件式的，例如具有第一法兰部件702a(例如具有留空部)和第二法兰部件702b，在这些法兰部件之间形成环形间隙。靶可以容纳(例如夹紧)在环形间隙中，例如以力配合和/或形状配合的方式保持。例如，两个法兰部件702a、702b可以以拼接在一起的方式形成用于夹紧靶302的夹紧设备(也称为靶夹具)。此外，附加的靶密封件712d可以贴靠密封面706上，例如设置在环形间隙中和/或设置在两个法兰部件702a、702b之间。

第二线性支承件部件818l可以具有第五空腔808h，第一线性支承件部件8081容纳在该第五空腔中。

图11以示意性细节图(以观察支承件电极904的方式)示出根据各种实施方式1100的支承设备350，在这些实施方式中，支承件电极904环形和/或盘形地设计，例如以环的形式构成。

图12以示意性立体图(以观察第一通信电极704a的方式)示出根据各种实施方式1200的磁控管靶联接器301，在这些实施方式中第一通信电极704a被分区段和/或盘形地设计，例如以环区段的形式构成。可选地，第一通信电极704a可以嵌入电介质中。

图13以示意性剖开的立体图示出根据各种实施方式的通信组件1300，该通信组件具有磁控管靶联接器301、壳体盖406d和支承件电极904，例如作为溅射设备300的一部分。

在示例性实施方式中，通信电极704a、704b、904、406d中的一个或多于一个(例如每个)设计成，使得这些通信电极形围绕轴的轴线808a的圆形的面元件并且是环的整面或部分面(也参见图11和图12)。替代地或附加地，每个通信电极704a、704b、904与法兰或框架912的与其邻接的构件电隔离。

转动的第二通信电极704b提供电(例如，电容性)耦联，借助该耦联将可转动位移的第一通信电极704a与磁体系统100，例如其盖电极406e电耦联，其中电耦联被与冷却流体(例如水)电绝缘和/或(例如无接触地)桥接冷却流体。它们之间的电耦联可以以密封方式来设计，例如在真空和水之间密封。

盖406d的与盖电极406e电耦联的电接口862例如与磁体系统100的一个或多于一个致动器106电耦联，例如借助于供应线路108b电耦联。电接口862和盖电极406e之间的电耦联可以以密封方式来设计，例如在冷却流体和大气之间密封。

在靶侧联接于靶联接器法兰702的构件可以具有公差和总装拉伸。第一通信电极704a的可轴向位移的支承实现：更好地补偿该公差和热膨胀。这减少了与磁体系统100的通信的干扰。

第一通信电极704a可以通过所提供的恢复力或借助于弹簧弹性元件714f(例如，具有一个或多于一个弹簧)被压靠可选的止挡件962。这改进了第一电极-电极间隙901的稳定性。

根据各种实施方式，第一通信电极704a和第二通信电极704b彼此电耦联。第一和第二通信电极之间的电耦联可以设计成，使得第一和第二通信电极能够保持在第一通信电极704a和第二通信电极704b相对于彼此的任何方位中。这减少了与磁体系统100的通信的干扰。它们之间的电耦联还可以以密封方式的方式设计成，使得第一和第二通信电极相对于第三空腔10C密封第二空腔10B，和/或在第二空腔10B和第三空腔10C之间交换通信信号。第一和第二通信电极之间的电耦联在一个有利的实施方式中可以借助于接触插座710b和接触销710s来提供。

例如，接触销710s可以移动到接触插座710b中或从其中移出。可选地，同样可以将导电的弹簧弹性元件设置在接触插座710b中，该弹簧弹性元件以其恢复力压靠接触销710s。这改进了接触销710s和接触插座710b之间的电接触。替代地或附加地，接触销710s可以具有滑动面，该接触销可以以该滑动面以平面方式贴靠接触插座710b。

例如，接触销710s和接触插座710b可以与靶联接器法兰702电分离。

可选地，靶密封件702d可以设置在接触销710s和靶联接器法兰702之间。

靠外的两个通信电极(支承件电极904和盖电极406e)可以各自与电接口862电耦联。例如，第一电接口862可以与盖电极406e电耦联，优选欧姆耦联，例如借助于基本体802(例如其法兰802p和/或其支撑设备802v)耦联。例如，第二电接口872(参见图9)与支承件电极904电耦联，优选欧姆耦联。

下面描述各种示例，这些示例涉及前述描述内容和附图中的示出内容。

示例1是磁控管靶联接器，包括：靶联接器法兰(例如用于联接靶，例如管形靶)；轴，该轴(例如在端侧)与靶联接器法兰刚性联接(例如沿轴的轴线远离靶联接器法兰和/或朝向端块侧延伸)，并且在与靶联接器法兰相对置的一侧上或在背离靶联接器法兰的端部部段处具有第一线性支承件部件(例如圈)；通信接口，该通信接口具有第一通信电极(例如左侧内盘)和第二通信电极(例如右侧内盘)，第一通信电极优选设置在第一线性支承件部件和靶联接器法兰之间，第二通信电极和第一通信电极彼此电耦联(欧姆耦联)；其中第二通信电极(例如在背离轴或至少其线性支承件部件的一侧上)刚性地联接在靶联接器法兰处(例如固定在其处)，其中靶联接器法兰设置在第一通信电极和第二通信电极之间；其中第一通信电极优选地以这样的方式(例如，相对于轴可移动地和/或相对于轴抗转动)支承(例如借助于线性支承件)，使得第一电极可以朝向和/或远离第二通信电极(例如沿着该轴的轴的轴线)位移；或者与轴和/或与第二通信电极刚性联接。

示例2是根据示例1的磁控管靶联接器，其中第一通信电极和/或第二通信电极具有板和/或被封装。

示例3是根据示例1或2的磁控管靶材耦联器，还包括：弹簧弹性元件(例如，具有一个或多于一个弹簧)，弹簧弹性元件将第一通信电极和第二通信电极彼此联接，使得第一通信电极可以克服弹簧弹性元件的恢复力朝第二通信电极位移。

示例4是根据示例1至3之一的磁控管靶联接器，还包括：机械止挡件，机械止挡件限制如下路段，第一通信电极和第二通信电极可以相互远离该路段；其中止动件优选地与轴或第一通信电极刚性联接；和/或其中弹簧弹性元件优选地将第一通信电极压靠止挡件或将止挡件压靠支承设备。

示例5是根据示例1至4之一的磁控管靶联接器，其中第一通信电极可以朝向第二通信电极位移的路段(例如沿着轴的轴线)大于等于线性支承件部件平行于该路段的扩展的50％。

示例6是根据示例1至5之一的磁控管靶联接器，其中线性支承件部件具有转矩支柱。

示例7是示例6的磁控管靶联接器，其中转矩支柱朝向靶联接器法兰纵向延伸和/或具有齿圈(例如，外齿圈)。

示例8是根据示例1至7之一的磁控管靶联接器，其中第一通信电极具有留空部(例如贯通开口)，轴延伸穿过该留空部。

示例9是根据示例1至8之一的磁控管靶联接器，还包括：线性支承件，借助该线性支承件可位移地支承第一通信电极。

示例10是根据示例1至9之一的磁控管靶联接器，其中法兰具有优选地环绕第二通信电极的一个或多于一个密封件。

示例11是根据示例1至10之一的磁控管靶联接器，其中第一通信电极设置在第一线性支承件部件和靶联接器法兰之间。

示例12是根据示例1至11之一的磁控管靶联接器，其中通信接口与靶联接器法兰和/或轴电隔离。

示例13是根据示例1至12之一的磁控管靶联接器，其中第一通信电极或第一通信电极的封装件具有贯通开口，轴延伸穿过该贯通开口。

示例14是根据示例1至13之一的磁控管靶联接器，其中第二通信电极具有露出安装结构(优选用于安装磁体系统)的贯通开口，该贯通开口优选相对于轴可转动地支承。

示例15是根据示例1至14之一的磁控管靶联接器，其中第一通信电极和/或第二通信电极具有电容器板和/或极电极或由其构成。

示例16是根据示例1至15之一的磁控管靶联接器，其中靶联接器法兰是多件式的，例如设计成，使得靶联接器法兰以拼接在一起的方式提供用于容纳靶的环形间隙。

示例17是一种支承设备，包括：框架；根据示例1至16中任一项的磁控管靶联接器；借助于框架承载的转动支承件和第二线性支承件部件，第二线性支承件部件借助于转动支承件可转动地支承并且设计用于：以与磁控管靶联接器的第一线性支承件部件拼接在一起的方式形成线性支承件，使得为磁控管靶联接器提供沿着转动支承件的转动轴线或沿着轴的轴线的平移自由度；第三通信电极，第三通信电极设置成，使得当形成线性支承件时，第三通信电极朝向磁控管靶联接器的第一通信电极(例如，电容性与其耦联和/或与其电隔离)；其中第三通信电极优选地与框架刚性联接(例如当优选地支承第一通信电极，使得第一通信电极可以朝向和/或远离第二通信电极位移时)，或者被支承为(例如借助于线性支承件)，使得第三通信电极可以朝向和/或远离框架位移(例如当第一通信电极与轴和/或与第二通信电极刚性联接时)。

示例18是一种支承设备(例如，根据示例17)，包括：框架；磁控管靶联接器(例如根据示例1至16之一)；该磁控管靶离合器具有：靶联接器法兰(例如用于联接靶，例如管形靶)；轴，该轴(例如在端侧)与靶联接器法兰刚性联接(例如沿轴轴线远离靶联接器法兰和/或朝向端块侧延伸)，并且在与靶联接器法兰相对置的一侧上或在背离靶联接器法兰的端部部段处具有第一线性支承件部件(例如圈)；通信接口，该通信接口具有第一通信电极(例如左侧内盘)和第二通信电极(例如右侧内盘)，第一通信电极优选设置在第一线性支承件部件和靶联接器法兰之间，第二通信电极和第一通信电极彼此电耦联(欧姆耦联)；其中优选地第二通信电极(例如在背离轴或至少其线性支承件部件的一侧上)刚性地联接在靶联接器法兰处(例如固定在其处)，其中优选地靶联接器法兰设置在第一通信电极和第二通信电极之间；支承设备还包括：借助于框架承载的转动支承件和第二线性支承件部件，第二线性支承件部件可借助于转动支承件转动支承并且设计用于：以与磁控管靶联接器的第一线性支承件部件拼接在一起的方式形成线性支承件，使得为磁控管靶联接器提供沿着转动支承件的转动轴线或沿着轴的轴线的平移自由度；第三通信电极，第三通信电极设置成，使得当形成线性支承件时，第三通信电极朝向磁控管靶联接器的第一通信电极(例如，电容性与其耦联和/或与其电隔离)，和/或当形成线性支承件时，第三通信电极以距所述第一通信电极一定间距(例如沿着转动轴线测量)设置；其中第一通信电极和/或第三通信电极优选地被支承(至少借助于一个或多于一个平移支承件)，使得当磁控管靶联接器根据平移自由度相对于框架位移(例如位移一定路段)时，间距的变化小于该路段(例如小于路段的50％)，例如基本上是恒定的，或者相对于磁控管靶联接器根据平移自由度的位移至少是不变的。

示例19是根据示例17或18的支承设备，其中第二支承设备具有空腔，该空腔设计为容纳第一线性支承件部件。

示例20是一种溅射设备，具有：根据示例17至19之一的支承设备，该支承设备优选地具有一个或多于一个端块，用于借助于磁控管靶联接器可转动地支承溅射靶；可选的磁体系统，该磁体系统借助于支承设备位置固定地(例如相对于支承设备和/或相对于重力方向)支承在溅射靶内。

示例21是根据示例20的溅射设备，支承设备还具有：固定支承件，固定支承件承载磁体系统和/或穿过磁控管靶联接器、例如穿过其轴与磁体系统联接。

示例22是根据示例20或21的溅射设备，其中轴具有贯通开口，固定支承件延伸进入该贯通开口中。

示例23是根据示例20至22之一的溅射设备，磁体系统，其具有：(例如非磁性的)壳体，该壳体具有壳体内部空间；(例如非磁性的)磁体载体，磁体载体设置在壳体内部空间中并且借助于壳体支撑，优选相对于壳体位置固定地支撑；(例如非磁性的)壳体盖，壳体盖以与壳体拼接在一起的方式形成流体密封的腔室；其中壳体盖具有与第二通信电极直接相对置的第四通信电极(例如，电容性地与第二通信电极耦联和/或与其电隔离)并且可选地具有变速器级、发电机和将变速器级与发电机联接的转动馈通件。

Claims (11)

1.一种磁控管靶联接器(301)，包括：

·靶联接器法兰(702)，用于联接管形靶；

·轴(808)，所述轴与所述靶联接器法兰(702)刚性联接，并且在与所述靶联接器法兰(702)相对置的端部部段处具有第一线性支承件部件(8081)；

·通信接口(704)，所述通信接口具有相互电耦联的第一通信电极(704a)和第二通信电极(704b)，所述第一通信电极设置在所述第一线性支承件部件(8081)和所述靶联接器法兰(702)之间，

·其中所述靶联接器法兰(702)与所述第二通信电极(704b)刚性联接，并且设置在所述第一通信电极(704a)和所述第二通信电极(704b)之间；

·其中所述第一通信电极(704a)被支承，使得所述第一通信电极能够朝向所述第二通信电极(704b)位移和/或远离所述第二通信电极位移。

2.根据权利要求1所述的磁控管靶联接器(301)，

·其中所述第一通信电极(704a)和/或所述第二通信电极(704b)具有板和/或被封装。

3.根据权利要求1或2所述的磁控管靶联接器(301)，还包括：

·弹簧弹性元件(714f)，所述弹簧弹性元件将所述第一通信电极(704a)和所述第二通信电极(704b)彼此联接，使得所述第一通信电极(704a)能够克服所述弹簧弹性元件的恢复力朝向所述第二通信电极(704b)位移。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的磁控管靶联接器(301)，其中所述第一通信电极(704a)能够朝向所述第二通信电极(704b)位移的路段是所述线性支承件部件(8081)平行于所述路段的扩展的至少50％。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的磁控管靶联接器(301)，其中所述线性支承件部件(8081)具有转矩支柱。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的磁控管靶联接器(301)，其中所述第一通信电极(704a)具有留空部，所述轴(808)延伸穿过所述留空部。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的磁控管靶联接器(301)，其中所述通信接口(704)与所述靶联接器法兰(702)和/或所述轴(808)电隔离。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的磁控管靶联接器(301)，还包括：

线性支承件，借助所述线性支承件以能位移的方式支承所述第一通信电极(704a)。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的磁控管靶联接器(301)，其中所述第二通信电极(704b)具有贯通开口，所述贯通开口露出用于安装磁体系统的安装结构，所述安装结构以相对于所述轴(808)能转动的方式支承。

10.一种支承设备(350)，包括：

·框架(912)；

·根据权利要求1至9中任一项所述的磁控管靶联接器(301)；

·借助于所述框架(912)承载的转动支承件(950)和第二线性支承件部件(8181)，所述第二线性支承件部件借助于所述转动支承件(950)能转动地支承，并且所述第二线性支承件部件设计用于：以与所述磁控管靶联接器(301)的所述第一线性支承件部件(808l)拼接在一起的方式形成线性支承件，使得为所述磁控管靶联接器(301)提供沿着所述转动支承件的转动轴线(808a)的平移自由度；

·第三通信电极(904)，所述第三通信电极设置成，使得当形成所述线性支承件时，所述第三通信电极朝向所述磁控管靶联接器(301)的所述第一通信电极，其中所述第三通信电极(904)优选地与所述框架(912)刚性联接。

11.一种支承设备(350)，包括：

·框架(912)；

·磁控管靶联接器(301)，

所述磁控管靶联接器(301)具有：

·用于联接管形靶的靶联接器法兰(702)；

·轴(808)，所述轴与所述靶联接器法兰(702)刚性联接，并且在与所述靶联接器法兰(702)相对置的端部部段处具有第一线性支承件部件(8081)；

·通信接口(704)，所述通信接口具有设置在所述第一线性支承件部件(808l)和所述靶联接器法兰(702)之间的通信电极(704a)；

所述支承设备(350)还包括：

·借助于所述框架(912)承载的转动支承件(950)和第二线性支承件部件(8181)，所述第二线性支承件部件借助于所述转动支承件(950)能转动地支承，并且所述第二线性支承件部件设计用于：以与所述磁控管靶联接器(301)的所述第一线性支承件部件(8081)拼接在一起的方式形成线性支承件，使得为所述磁控管靶联接器(301)提供沿着所述转动支承件的转动轴线(808a)的平移自由度；

·附加的通信电极(904)，所述附加的通信电极设置成，使得当形成所述线性支承件时，所述附加的通信电极朝向所述磁控管靶联接器(301)的所述通信电极并且以距所述通信电极一定间距设置；

·其中所述通信电极(704a)和/或所述附加的通信电极(904)被支承，使得当所述磁控管靶联接器(301)根据所述平移自由度相对于所述框架(912)位移一定路段时，所述间距的变化小于所述路段。

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