CN116086360A - 用于大行程oled喷墨打印机的直线度误差分离装置及方法 - Google Patents

Abstract

本申请涉及导轨直线度测量技术领域，提供了一种用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离装置及方法，装置包括导轨、滑动设置在所述导轨上的运动平台和沿导轨轴向拼接的多块平面反射镜，所述运动平台包括第一直线度测量机构和第二直线度测量机构，所述第一直线度测量机构用于配合平面反射镜测量所述运动平台的实时直线度；所述第二直线度测量机构用于测量所述运动平台的直线度偏差；每个所述平面反射镜还设置有调节机构，用于调节所述平面反射镜的位置。本发明针对直线度实时测量过程中的测量值进行误差分离，通过误差分离方法将平面反射镜拼接带来的拼接误差提前进行分离，使得最终用于反馈控制的测量值为误差分离后的运动平台直线度偏差。

Description

用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离装置及方法

技术领域

本申请涉及导轨直线度测量技术领域，具体而言，涉及一种用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离装置及方法。

背景技术

现有的用于评估导轨直线度的测量系统，一般是利用激光干涉仪来测量导轨直线度。但是一些大行程运动平台例如大行程OLED喷墨打印机，其行程长度一般超过三米，由于高面型精度的长平面反射镜加工困难，价格高昂，同时安装固定易变形，因此一些大行程OLED喷墨打印机采用多块小平面反射镜进行拼接来替代长平面反射镜，但是多块小平面反射镜之间存在拼接误差，平面反射镜作为测量目标，其拼接误差会引入直线度测量中，若不把拼接误差进行分离或者区分，则会影响直线度测量和误差补偿结果，无法实现高精度定位运动。

基于上述问题，目前尚未有有效的解决方法。

发明内容

本申请的目的在于提供一种用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离装置及方法，能够消除拼接误差，实现高精度定位运动。

一方面，本申请提供了一种用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离装置，包括导轨、滑动设置在所述导轨上的运动平台和沿所述导轨轴向拼接的多块平面反射镜，其中，所述运动平台包括第一直线度测量机构和第二直线度测量机构，所述第一直线度测量机构用于配合所述平面反射镜测量所述运动平台的实时直线度；所述第二直线度测量机构用于测量所述运动平台的直线度偏差；每个所述平面反射镜还设置有调节机构，所述调节机构用于调节所述平面反射镜的位置。

本申请的用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离装置，利用第一直线度测量机构测量运动平台的实时直线度，第二直线度测量机构测量运动平台的直线度偏差，通过对每个平面反射镜配备调节机构，根据实时直线度和直线度偏差的大小情况利用调节机构不断对平面反射镜的位置进行调节，使得实时直线度和直线度偏差相等，以达到消除平面反射镜的拼接误差的目的，实现了实时对运动平台的误差修正，使得最终用于反馈控制的测量值为误差分离后的运动平台直线度误差值，实现了高精度定位运动。

可选地，本申请提供的用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离装置，所述调节机构包括两个调节基座，两个所述调节基座分别设置在所述平面反射镜的两端，所述调节基座用于调节所述平面反射镜的高度和摆动角度。

通过这种设置方式，可以方便精确调节平面反射镜的偏移角度，以使获取的实时直线度更接近直线度偏差，提高调节精度。

可选地，本申请提供的用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离装置，所述第一直线度测量机构包括第一激光器、参考镜、干涉镜和1/4波片，所述第一激光器设置在所述运动平台朝向所述平面反射镜的一侧，所述第一激光器、所述干涉镜和所述1/4波片按逐渐靠近所述平面反射镜的顺序依次沿所述第一激光器的轴线设置，所述第一激光器用于发出发射光束，所述干涉镜用于把所述发射光束分解为反射光束和透射光束，所述参考镜用于将所述干涉镜的反射光束反射回所述干涉镜，以与穿过所述1/4波片并经所述平面反射镜反射，返回所述干涉镜的所述透射光束干涉，形成干涉光，所述第一激光器还用于接收所述干涉光。

可选地，本申请提供的用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离装置，所述平面反射镜的中轴线和所述第一直线度测量机构的测量光轴处于同一高度。

通过这种设置方式，可以减小阿贝误差，提高检测精度。

可选地，本申请提供的用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离装置，所述第二直线度测量机构包括第二激光器、渥拉斯顿棱镜和第一反射镜，所述第一反射镜设置在所述运动平台上，所述第二激光器和所述渥拉斯顿棱镜固定设置在所述运动平台以外，所述第一反射镜、所述渥拉斯顿棱镜和所述第二激光器按逐渐远离所述运动平台的顺序依次沿所述运动平台的运动方向设置。

可选地，本申请提供的用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离装置，所述运动平台朝向所述导轨的底部设置有气浮块，所述气浮块用于驱动所述运动平台。

可选地，本申请提供的用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离装置，所述运动平台上设置有微动台，所述微动台用于调节所述运动平台的位姿。

本申请提供的用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离装置，利用第一直线度测量机构测量运动平台的实时直线度，第二直线度测量机构测量运动平台的直线度偏差，通过对每个平面反射镜配备调节机构，根据实时直线度和直线度偏差的大小情况利用调节机构不断对平面反射镜的位置进行调节，使得实时直线度和直线度偏差相等，以达到消除平面反射镜的拼接误差的目的，实现了实时对运动平台的误差修正，使得最终用于反馈控制的测量值为误差分离后的运动平台直线度误差值，实现了高精度定位运动。

另一方面，本申请还提供一种用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离方法，其中，包括以下步骤：

S1.根据所述平面反射镜的位置对所述导轨进行标记，以获取多个测量点位；

S2.令所述运动平台从所述导轨的一端移动到所述导轨的另一端，随后利用所述第二直线度测量机构获取所述运动平台在各个所述测量点位的直线度偏差；

S3.移动所述运动平台至各个所述测量点位，并利用第一直线度测量机构获取所述运动平台在各个所述测量点位的实时直线度；

S4.利用调节机构调节所述平面反射镜，直至将所述运动平台各个所述测量点位对应的实时直线度和直线度偏差调至相等。

可选地，本申请提供的用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离方法，步骤S2包括：

S201.以预设步距驱动所述运动平台移动，并记录每次移动后所述第二直线度测量机构测量的测量值；

S202.对多个所述测量值进行拟合，以获取直线度偏差曲线；

S203.获取各个所述测量点位在所述导轨上的坐标值；

S204.根据所述直线度偏差曲线和各个所述测量点位在所述导轨上的坐标值获取各个所述测量点位的直线度偏差。

可选地，本申请提供的用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离方法，步骤S3中，所述实时直线度的计算公式如下：

；

其中，代表所述实时直线度；代表干涉条纹的数量；代表当前测量环境折射率；代表所述第一直线度测量机构发射的激光在当前测量环境中的波长;代表所述第一直线度测量机构到所述平面反射镜的初始距离。

本申请提供的用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离方法，将直线度实时测量过程中的实时直线度和直线度偏差进行对比，利用调节机构将每块平面反射镜拼接带来的拼接误差进行分离，实现了实时误差修正，使得最终用于反馈控制的测量值为误差分离后的运动平台的直线度偏差，实现了高精度定位运动。

综上，本申请的用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离装置及方法，将直线度实时测量过程中的实时直线度和直线度偏差进行对比，利用调节机构将每块平面反射镜拼接带来的拼接误差进行分离，实现了实时误差修正，使得最终用于反馈控制的测量值为误差分离后的运动平台的直线度偏差，实现了高精度定位运动。

附图说明

图1为本申请提供的用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离装置的一种流程图。

图2为本申请提供的第一直线度测量机构的结构图。

图3为本申请提供的第二直线度测量机构的结构图。

标号说明：

100、导轨；200、运动平台；210、气浮块；220、微动台；300、平面反射镜；400、第一直线度测量机构；410、第一激光器；420、参考镜；430、干涉镜；440、1/4波片；500、第二直线度测量机构；510、第二激光器；520、渥拉斯顿棱镜；530、第一反射镜；600、调节基座。

具体实施方式

下面将结合本申请实施方式中附图，对本申请实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本申请一部分实施方式，而不是全部的实施方式。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施方式的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施方式。基于本申请的实施方式，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本申请保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。同时，在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

请参照图1，图1是本申请一些实施方式中的用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离装置的结构图，包括导轨100、滑动设置在导轨100上的运动平台200和沿导轨100轴向拼接的多块平面反射镜300，其中，运动平台200包括第一直线度测量机构400和第二直线度测量机构500，第一直线度测量机构400用于配合平面反射镜300测量运动平台200的实时直线度；第二直线度测量机构500用于测量运动平台200的直线度偏差；每个平面反射镜300还设置有调节机构，调节机构用于调节平面反射镜300的位置。

其中，平面反射镜300的数量和长度可以根据实际导轨100的长度进行设置。在本申请的实施例中，一共使用了三块平面反射镜300，三块平面反射镜300依次沿导轨100的长度方向拼接设置，最终拼接起来的三块平面反射镜300的总长度和导轨100的长度一致。本申请的用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离装置，利用第一直线度测量机构400测量运动平台200的实时直线度，第二直线度测量机构500测量运动平台200的直线度偏差，通过对每个平面反射镜300配备调节机构，根据实时直线度和直线度偏差的大小情况利用调节机构不断对平面反射镜300的位置进行调节，使得实时直线度和直线度偏差相等，以达到消除平面反射镜300的拼接误差的目的，实现了实时对运动平台200的误差修正，使得最终用于反馈控制的测量值为误差分离后的运动平台200直线度误差值，实现了高精度定位运动。

在实际应用中，平面反射镜300作为测量反射镜，是进行测量直线度的基准，所以调整平面反射镜300，保证多块平面反射镜300处于同一条直线，同时保证多块平面反射镜300与运动平台200运动方向保持平行，是进行直线度实时测量的关键。

因此在一些优选的实施方式中，调节机构包括两个调节基座600，两个调节基座600分别设置在平面反射镜300的两端，调节基座600用于调节平面反射镜300的高度和摆动角度。其中，将假设垂直于地面的轴作为z轴，那么摆动角度就是平面反射镜300绕z轴的转动角度。在实际应用中，各平面反射镜300的底部还设置有支架，调节基座600设置在支架的顶部，调节基座600上还设置有用于固定平面反射镜300的夹具。其中，调节基座600为现有技术，可以采用现有的精密调节基座600，可实现多自由度的微米级调节。通过这种设置方式，可以方便精确调节平面反射镜300的高度和摆动角度，以使获取的实时直线度更接近直线度偏差，提高调节精度。

参阅图2，在一些实施方式中，第一直线度测量机构400包括第一激光器410、参考镜420、干涉镜430和1/4波片440，第一激光器410设置在运动平台200朝向平面反射镜300的一侧，第一激光器410、干涉镜430和1/4波片440按逐渐靠近平面反射镜300的顺序依次沿第一激光器410的轴线设置，第一激光器410用于发出发射光束，干涉镜430用于把发射光束分解为反射光束和透射光束，参考镜420用于将干涉镜430的反射光束反射回干涉镜430，以与穿过1/4波片440并经平面反射镜300反射，返回干涉镜430的透射光束干涉，形成干涉光，第一激光器410还用于接收干涉光。在实际应用中，第一直线度测量机构400的基本原理是单频激光干涉测长，第一激光器410采用的是单频激光器配合迈克逊激光干涉光路结构，其工作原理如图2所示，激光由第一激光器410发出后入射至干涉镜430分成两束相互垂直的反射光束和透射光束。反射光束经过参考镜420,反射后回到干涉镜430处，另外一束透射光束经过1/4波片440和平面反射镜300,反射后回到干涉镜430处，两束光束汇合并发生干涉，当平面反射镜300与干涉镜430的相对距离发生变化时，就会产生干涉条纹的明暗变化，经过信号处理后经计算机计算出干涉条纹的数量，从而计算出被测物体即平面反射镜300的位移。通过这种方式，可以计算出实时直线度。

在进一步的实施方式中，平面反射镜300的中轴线和第一直线度测量机构400的测量光轴处于同一高度。其中，平面反射镜300的中轴线是指经过该平面反射镜300的几何中心点的直线，该直线和运动平台200的运动方向平行。通过这种设置方式，可以减小阿贝误差，提高检测精度。

参阅图3，在一些实施方式中，第二直线度测量机构500包括第二激光器510、渥拉斯顿棱镜520和第一反射镜530，第一反射镜530设置在运动平台200上，第二激光器510和渥拉斯顿棱镜520固定设置在运动平台200以外，第一反射镜530、渥拉斯顿棱镜520和第二激光器510按逐渐远离运动平台200的顺序依次沿运动平台200的运动方向设置。在实际应用中，渥拉斯顿棱镜520是一种由天然方解石晶体制成的双折射偏光器件，因此第二激光器510发射的激光进入其内部的光束会发生双折射现象，形成两束偏振方向相互垂直的线偏振出射光。两束线偏振出射光以相对于光轴近乎对称的分光角θ分别射向第一反射镜530的上下两个直角棱镜，经直角棱镜内部反射后又沿着与入射光平行的方向返回到渥拉斯顿棱镜520的另一侧，当运动平台200开始运动时，此时将第一反射镜530的位置记为初始位置；当运动平台200运动一端距离后，将第一反射镜530的位置记为当前位置（即图3中第一反射镜530的右侧），可以看出，第一反射镜530的初始位置和当前位置之间存在上下位置或左右位置的直线度偏差，图中所示情况为存在上下位置的直线度偏差h。其中，第一反射镜530的初始位置和当前位置的获取方式为现有技术。通过这种方式，可以获取直线度偏差。

在一些实施方式中，运动平台200朝向导轨100的底部设置有气浮块210，气浮块210用于驱动运动平台200。其中，气浮块210为现有技术。气浮块210可和导轨100配合，负责运动平台200的移动，提高运动平台200的运动精度。

在一些实施方式中，运动平台200上设置有微动台220，微动台220用于调节运动平台200的位姿。其中，微动台220为现有技术，可采用现有的六自由度微动台。通过设置微动台220，可以实现误差补偿和高精度运动。

另一方面，本申请还提供一种用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离方法，其中，包括以下步骤：

S1.根据平面反射镜300的位置对导轨100进行标记，以获取多个测量点位；

S2.令运动平台200从导轨100的一端移动到导轨100的另一端，随后利用第二直线度测量机构500获取运动平台200在各个测量点位的直线度偏差；

S3.移动运动平台200至各个测量点位，并利用第一直线度测量机构400获取运动平台200在各个测量点位的实时直线度；

S4.利用调节机构调节平面反射镜300，直至将运动平台200各个测量点位对应的实时直线度和直线度偏差调至相等。

步骤S1中，测量点位一般是在导轨100被各个平面反射镜300覆盖的部分标记。

在实际应用中，第二直线度测量机构500可以是现有的干涉仪测量机构；现有的干涉仪测量机构一般是需要运动平台200走完全程通过计算才能得到运动平台200在各个测量点位的直线度偏差。而第一直线度测量机构400是实时测量的，时刻得到运动平台200在各个测量点位到平面反射镜300的距离（即实时直线度），但是平面反射镜300有多条，不能保证每条平面反射镜300都是完全平行且在同一条直线上。所以通过第二直线度测量机构500获取运动平台200在各个测量点位的直线度偏差后，将第一直线度测量机构400在各个测量点位实时测量的实时直线度调整到与第二直线度测量机构500得到的各个测量点位的直线度偏差一致后，这样就可以认为各平面反射镜300在一条直线了，就间接的消除了拼接误差。

本申请提供的用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离方法，将直线度实时测量过程中的实时直线度和直线度偏差进行对比，利用调节机构将每块平面反射镜300拼接带来的拼接误差进行分离，实现了实时误差修正，使得最终用于反馈控制的测量值为误差分离后的运动平台200的直线度偏差，实现了高精度定位运动。

目前第二直线度测量机构500进行直线度测量时，由于初始进行激光准直时无法使激光路径与运动平台200运动方向完全一致，无法直接进行直线度实时读数获取直线度偏差。为了获取直线度偏差，在进一步的实施方式中，步骤S2包括：

S201.以预设步距驱动运动平台200移动，并记录每次移动后第二直线度测量机构500测量的测量值；

S202.对多个测量值进行拟合，以获取直线度偏差曲线；

S203.获取各个测量点位在导轨100上的坐标值；

S204.根据直线度偏差曲线和各个测量点位在导轨100上的坐标值获取各个测量点位的直线度偏差。

步骤S201中，预设步距的长度可以根据需要进行设置。

步骤S202中，可以将测量值作为节点的纵坐标值，将预设步距作为节点的横坐标值，随后采用现有的拟合方法对多个节点进行拟合，以获取直线度偏差曲线。

步骤S203中，测量点位的坐标值是指在导轨100上的横坐标值。

通过这种方式，可以获得运动平台200在各个测量点位的直线度偏差。

在进一步的实施方式中，步骤S3中，实时直线度的计算公式如下：

；

其中，代表实时直线度；代表干涉条纹的数量；代表当前测量环境折射率；代表第一直线度测量机构400发射的激光在当前测量环境中的波长;代表第一直线度测量机构400到平面反射镜300的初始距离。

其中，第一直线度测量机构400到平面反射镜300的初始距离是指第一直线度测量机构400刚到达平面反射镜300的端部时，第一直线度测量机构400内的第一激光器410到该平面反射镜300的距离。

通过这种方式，可以获取实时直线度。

步骤S3和S4中，当运动平台200移动到任一测量点位时，获取运动平台在该测量点位的实时直线度，然后对比该测量点位的直线度误差和实时直线度，若该测量点位的直线度误差和实时直线度不相等，则调节平面反射镜300的高度和摆动角度，直到该测量点位的直线度误差和实时直线度相等，则可将运动平台200移动到其他测量点位。

由上可知，本申请的用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离装置及方法，利用第一直线度测量机构400测量运动平台200的实时直线度，第二直线度测量机构500测量运动平台200的直线度偏差，通过对每个平面反射镜300配备调节机构，根据实时直线度和直线度偏差的大小情况利用调节机构不断对平面反射镜300的位置进行调节，使得实时直线度和直线度偏差相等，以达到消除平面反射镜300的拼接误差的目的，实现了实时对运动平台200的误差修正，使得最终用于反馈控制的测量值为误差分离后的运动平台200直线度误差值，实现了高精度定位运动。

在本申请所提供的实施方式中，应该理解到，所揭露系统和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的系统实施方式仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，又例如，多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口，系统或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。

以上所述仅为本申请的实施方式而已，并不用于限制本申请的保护范围，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离装置，包括导轨（100）、滑动设置在所述导轨（100）上的运动平台（200）和沿所述导轨（100）轴向拼接的多块平面反射镜（300），其特征在于，所述运动平台（200）包括第一直线度测量机构（400）和第二直线度测量机构（500），所述第一直线度测量机构（400）用于配合所述平面反射镜（300）测量所述运动平台（200）的实时直线度；所述第二直线度测量机构（500）用于测量所述运动平台（200）的直线度偏差；每个所述平面反射镜（300）还设置有调节机构，所述调节机构用于调节所述平面反射镜（300）的位置。

2.根据权利要求1所述的用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离装置，其特征在于，所述调节机构包括两个调节基座（600），两个所述调节基座（600）分别设置在所述平面反射镜（300）的两端，所述调节基座（600）用于调节所述平面反射镜（300）的高度和摆动角度。

3.根据权利要求1所述的用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离装置，其特征在于，所述第一直线度测量机构（400）包括第一激光器（410）、参考镜（420）、干涉镜（430）和1/4波片（440），所述第一激光器（410）设置在所述运动平台（200）朝向所述平面反射镜（300）的一侧，所述第一激光器（410）、所述干涉镜（430）和所述1/4波片（440）按逐渐靠近所述平面反射镜（300）的顺序依次沿所述第一激光器（410）的轴线设置，所述第一激光器（410）用于发出发射光束，所述干涉镜（430）用于把所述发射光束分解为反射光束和透射光束，所述参考镜（420）用于将所述干涉镜（430）的反射光束反射回所述干涉镜（430），以与穿过所述1/4波片（440）并经所述平面反射镜（300）反射，返回所述干涉镜（430）的所述透射光束干涉，形成干涉光，所述第一激光器（410）还用于接收所述干涉光。

4.根据权利要求1所述的用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离装置，其特征在于，所述平面反射镜（300）的中轴线和所述第一直线度测量机构（400）的测量光轴处于同一高度。

5.根据权利要求1所述的用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离装置，其特征在于，所述第二直线度测量机构（500）包括第二激光器（510）、渥拉斯顿棱镜（520）和第一反射镜（530），所述第一反射镜（530）设置在所述运动平台（200）上，所述第二激光器（510）和所述渥拉斯顿棱镜（520）固定设置在所述运动平台（200）以外，所述第一反射镜（530）、所述渥拉斯顿棱镜（520）和所述第二激光器（510）按逐渐远离所述运动平台（200）的顺序依次沿所述运动平台（200）的运动方向设置。

6.根据权利要求5所述的用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离装置，其特征在于，所述运动平台（200）朝向所述导轨（100）的底部设置有气浮块（210），所述气浮块（210）用于驱动所述运动平台（200）。

7.根据权利要求6所述的用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离装置，其特征在于，所述运动平台（200）上设置有微动台（220），所述微动台（220）用于调节所述运动平台（200）的位姿。

8.一种用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离方法，用于权利要求1-7任一项所述的用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离装置，其特征在于，包括以下步骤：

S1.根据所述平面反射镜（300）的位置对所述导轨（100）进行标记，以获取多个测量点位；

S2.令所述运动平台（200）从所述导轨（100）的一端移动到所述导轨（100）的另一端，随后利用所述第二直线度测量机构（500）获取所述运动平台（200）在各个所述测量点位的直线度偏差；

S3.移动所述运动平台（200）至各个所述测量点位，并利用所述第一直线度测量机构（400）获取所述运动平台（200）在各个所述测量点位的实时直线度；

S4.利用调节机构调节所述平面反射镜（300），直至将所述运动平台（200）在各个所述测量点位对应的实时直线度和直线度偏差调至相等。

9.根据权利要求8所述的用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离方法，其特征在于，步骤S2包括：

S201.以预设步距驱动所述运动平台（200）移动，并记录每次移动后所述第二直线度测量机构（500）测量的测量值；

S202.对多个所述测量值进行拟合，以获取直线度偏差曲线；

S203.获取各个所述测量点位在所述导轨（100）上的坐标值；

S204.根据所述直线度偏差曲线和各个所述测量点位在所述导轨（100）上的坐标值获取各个所述测量点位的直线度偏差。

10.根据权利要求8所述的用于大行程OLED喷墨打印机的直线度误差分离方法，其特征在于，步骤S3中，所述实时直线度的计算公式如下：

；

其中，代表所述实时直线度；代表干涉条纹的数量；代表当前测量环境折射率；代表所述第一直线度测量机构（400）发射的激光在当前测量环境中的波长;代表所述第一直线度测量机构（400）到所述平面反射镜（300）的初始距离。

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