CN116072787A - 发光二极管和发光装置 - Google Patents

发光二极管和发光装置 Download PDF

Info

Publication number
CN116072787A
CN116072787A CN202310176103.2A CN202310176103A CN116072787A CN 116072787 A CN116072787 A CN 116072787A CN 202310176103 A CN202310176103 A CN 202310176103A CN 116072787 A CN116072787 A CN 116072787A
Authority
CN
China
Prior art keywords
electrode
light emitting
emitting diode
layer
wire bonding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202310176103.2A
Other languages
English (en)
Inventor
吴志伟
王燕云
熊伟平
高迪
郭桓卲
彭钰仁
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tianjin Sanan Optoelectronics Co Ltd
Original Assignee
Tianjin Sanan Optoelectronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tianjin Sanan Optoelectronics Co Ltd filed Critical Tianjin Sanan Optoelectronics Co Ltd
Priority to CN202310176103.2A priority Critical patent/CN116072787A/zh
Publication of CN116072787A publication Critical patent/CN116072787A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/36Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes
    • H01L33/38Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes with a particular shape
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/02Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
    • H01L33/20Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular shape, e.g. curved or truncated substrate
    • H01L33/22Roughened surfaces, e.g. at the interface between epitaxial layers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Led Devices (AREA)

Abstract

本发明公开发光二极管,发光二极管包括:半导体外延叠层,至少包含依次叠置的第一导电类型半导体层、有源层和第二导电类型半导体层,所述半导体外延叠层形成有第一台面,所述第一台面暴露所述第一导电类型半导体层;第一接触电极,位于所述第一台面上,与所述第一导电类型半导体层电连接;第二接触电极,位于所述第二导电类型半导体层之上,与所述第二导电类型半导体层电连接;第一打线电极和第二打线电极,位于所述第一接触电极和第二接触电极之上;其特征在于:所述第一打线电极和第二打线电极在所述半导体外延叠层上的水平投影落入所述第一接触电极和第二接触电极的水平投影内。本发明可分散打线过程中的冲击力,提升发光二极管的可靠性。

Description

发光二极管和发光装置
技术领域
本发明涉及一种发光二极管,属于半导体光电子器件与技术领域。
背景技术
发光二极管(Light Emitting Diode,简称LED)具有发光强度大、效率高、体积小、使用寿命长等优点,被认为是当前最具有潜力的光源之一。近年来,LED已在日常生活中得到广泛应用,例如照明、信号显示、背光源、车灯和大屏幕显示等领域,同时这些应用也对LED的亮度、发光效率和可靠性提出了更高的要求。
对于水平结构的发光二极管来说, 打线电极的设计是影响其光学性能及电学性能的重要结构。影响其打线可靠性的因素主要有:1、 打线电极的表面平整度;2、有效分散打线过程中电极的冲击力。影响其光取出效率的因素主要有:1、 用于封装打线电极的遮挡;2、光输出过程中不同折射率材料界面的反射;3、光输出过程中各种材料对光的吸收。
为了解决发光二极管存在的上述问题,提供一种能够有效提高 LED 的打线可靠性同时提高其出光效率的方案实属必要。
发明内容
为了解决上述的问题,提升发光二极管的可靠性和发光效率,本发明提供一种发光二极管,所述发光二极管包括:半导体外延叠层,至少包含依次叠置的第一导电类型半导体层、有源层和第二导电类型半导体层,所述半导体外延叠层形成有第一台面,所述第一台面暴露所述第一导电类型半导体层;第一接触电极,位于所述第一台面上,与所述第一导电类型半导体层电连接;第二接触电极,位于所述第二导电类型半导体层之上,与所述第二导电类型半导体层电连接;第一打线电极和第二打线电极,位于所述第一接触电极和第二接触电极之上;其特征在于:所述第一打线电极和第二打线电极在所述半导体外延叠层上的水平投影落入所述第一接触电极和第二接触电极的水平投影内。
在一些可选的实施例中,所述第一打线电极和第二打线电极在所述半导体外延叠层上的水平投影面积小于所述第一接触电极和第二接触电极的水平投影面积。
在一些可选的实施例中,所述第一打线电极和第二打线电极在所述半导体外延叠层上的水平投影面积为所述第一接触电极和第二接触电极的水平投影面积的50%~99%。
在一些可选的实施例中,所述发光二极管还包含绝缘层,所述绝缘层具有第一开口和第二开口,所述第一打线电极和第二打线电极通过所述第一开口和第二开口与所述第一接触电极和第二接触电极电连接。
在一些可选的实施例中,所述第一打线电极和第二打线电极包括Ti、Al、Pt、Au、Ni、Sn、In或它们中的任意组合的合金或它们中的任意组合的叠层。
在一些可选的实施例中,所述第一接触电极和第二接触电极包括Au、Ge、Ni、Zn、Be或它们中的任意组合的合金或它们中的任意组合的叠层。
在一些可选的实施例中,所述第一打线电极和第二打线电极的厚度为1~5μm。
在一些可选的实施例中,所述第一接触电极和第二电极的厚度为0.5~3μm。
在一些可选的实施例中,所述发光二极管还包括第一电极扩展条和第二电极扩展条,位于所述半导体外延叠层之上,所述第一电极扩展条和第二电极扩展条与所述第一接触电极和第二接触电极相连接。
在一些可选的实施例中,所述第一电极扩展条和第二电极扩展条在所述半导体外延叠层上呈线性分布,所述第一电极扩展条和第二电极扩展条在所述半导体外延叠层上的水平投影与所述第一打线电极和第二打线电极的水平投影不重叠。
在一些可选的实施例中,所述第一电极扩展条和第二电极扩展条的末端为平滑的圆弧状设计。
在一些可选的实施例中,所述第二导电型半导体层包含欧姆接触层,所述欧姆接触层位于所述第二电极扩展条的下方,所述欧姆接触层具有图形化的结构。
在一些可选的实施例中,所述第二打线电极的水平投影不与所述欧姆接触层的水平投影重叠。
在一些可选的实施例中,所述发光二极管辐射波长为550~950 nm的光。
本发明还提出一种发光装置,其特征在于:所述发光装置包含前述的发光二极管。
本发明中的发光二极管通过在接触电极上设置打线电极,其中打线电极在所述半导体外延叠层上的水平方向的投影落入接触电极的水平投影内,可保证打线电极与接触电极具有良好的接触,同时接触电极的面积大于打线电极的面积,在打线过程中受力面积变大,可有效分散打线的冲击力,提高发光二极管的可靠性。
本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述,并且,部分地从说明书中变得显而易见,或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
虽然在下文中将结合一些示例性实施及使用方法来描述本发明,但本领域技术人员应当理解,并不旨在将本发明限制于这些实施例。反之,旨在覆盖包含在所附的权利要求书所定义的本发明的精神与范围内的所有替代品、修正及等效物。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图;在下面描述中附图所述的位置关系,若无特别指明,皆是图示中组件绘示的方向为基准。
图1为本发明实施例1中所提到的发光二极管的剖面结构示意图。
图2为本发明实施例1中所提到的发光二极管的俯视结构示意图。
图3~图7为本发明实施例2中所提到的发光二极管制备过程中的结构示意图。
图8为本发明实施例3中所提到的发光装置的结构示意图。
图中元件标号说明:10:生长衬底;100:基板; 101:键合层; 102:第一导电类型半导体层;103:有源层;104:第二导电类型半导体层; 105:欧姆接触层;106:第一接触电极;106-1:第一电极扩展条;S1:第一台面; 107:第二接触电极;107-1第二电极扩展条;108:绝缘层;109:第一打线电极;110:第二打线电极;201固晶胶;200:固晶基板。
实施方式
以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式,本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用,本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用,在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。
需要说明的是,本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想,遂图示中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制,其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变,且其组件布局型态也可能更为复杂。
以下将结合附图及实施例来详细说明本发明的实施方式,借此对本发明如何应用技术手段来解决技术问题,并达成技术效果的实现过程能充分理解并据以实施。
实施例
图1和图2为本发明一实施例的一种发光二极管芯片的剖面结构示意图和俯视结构示意图。
请参考图1,为达本发明欲实现的优点至少其中之一或其他优点,本发明的一实施例提供一种发光二极管芯片,其包括如下堆叠层:100:基板;101:键合层; 102:第一导电类型半导体层;103:有源层;104:第二导电类型半导体层; 105:欧姆接触层;106:第一接触电极;106-1:第一电极扩展条; 107:第二接触电极;107-1第二电极扩展条;108:绝缘层;109:第一打线电极;110:第二打线电极。
发光二极管芯片可为常规尺寸的发光二极管芯片。发光二极管芯片可具有约90000μm2以上且约2000000μm2以下的水平截面积。
发光二极管芯片也可为小尺寸或者微尺寸的发光二极管芯片。发光二极管芯片可具有约90000μm2以下的水平截面积。例如,发光二极管芯片的可具有100μm以上至300μm以下的长度和/或宽度,进而可具有40μm以上至100μm以下的厚度。
发光二极管芯片还可为更小尺寸的微型发光二极管芯片。发光二极管芯片可具有约10000μm2以下的水平截面积的发光二极管芯片。例如,发光二极管芯片可具有2μm以上至100μm以下的长度和/或宽度,进而可具有2μm以上至100μm以下的厚度。本实施例的发光二极管芯片可以具有上述水平截面积及厚度,因此所述发光二极管芯片可容易地应用到要求小型和/或微型发光装置的各种电子装置。
请再参考图1,半导体外延叠层具有第一表面和与第一表面相对的第二表面。半导体外延叠层1通过MOCVD或其它的生长方式获得,为能够提供常规的如紫外、蓝、绿、黄、红、红外光等辐射的半导体材料,具体的可以是200~950nm的材料,如常见的氮化物,具体的如氮化镓基半导体外延叠层,氮化镓基外延叠层常见有掺杂铝、铟等元素,主要提供200~550nm波段的辐射;或者常见的铝镓铟磷基或铝镓砷基半导体外延叠层,主要提供550~950nm波段的辐射。
半导体外延叠层包括第一导电类型半导体层102、第二导电类型半导体层104以及位于第一导电类型半导体层102和第二导电类型半导体层104之间的有源层103;半导体外延叠层具有第一台面S1,所述第一台面S1暴露所述第一导电类型半导体层102。
第一导电类型半导体层102和第二导电类型半导体层104具有不同的导电型态、电性、极性或依掺杂的元素以提供电子或空穴,即:第一导电类型半导体层102具有第一导电性,第二导电类型半导体层104具有第二导电性,其中第一导电性与第二导电性不同,例如第一导电类型半导体层102可为p型半导体层,第二导电类型半导体层104可为n型半导体层;反之亦然。来自于n型半导体层的电子与来自于p型半导体层的空穴在外加电流驱动的下,在有源层103实现将电能转换成光能并发射出光线。
在本实施例中,半导体外延叠层为砷化镓(gallium arsenide,GaAs)系列的材料,其中,第一导电类型半导体层102的掺杂为p型,第二导电类型半导体层104的掺杂为n型。
在本发明公开的其他实施例中,第一导电类型半导体层102的材料包含Ⅱ-Ⅵ族材料(例如,硒化锌(ZnSe))或Ⅲ-Ⅴ氮族化合物材料(例如,砷化镓(GaAs)、氮化镓(GaN)、氮化铝(AlN)、氮化铟(InN)、氮化铟镓(InGaN)、氮化铝镓(AlGaN)或氮化铝铟镓(AlInGaN)),且第一导电类型半导体层102的材料还可包含可包含镁(Mg)、碳(C)等掺杂物,但本公开实施例并非以此为限。在一些其他实施例中,第一导电类型半导体层102也可以是单层或多层结构。
在本发明公开的其他实施例中,第二导电类型半导体层104的材料包含Ⅲ-Ⅴ氮族化合物材料(例如,砷化镓(GaAs)、氮化镓(GaN)、氮化铝(AlN)、氮化铟(InN)、氮化铟镓(InGaN)、氮化铝镓(AlGaN)或氮化铝铟镓(AlInGaN)),且所述第二导电类型半导体层104的材料可包含硅(Si)或锗(Ge)等掺杂物,但本公开实施例并非以此为限。在一些其他实施例中,第二导电类型半导体层104也可以是单层或多层结构。
在本实施例中,有源层103采用砷化镓(GaAs)系列的半导体材料。具体来说,当有源层103以磷化铝铟镓(AlGaInP)系列、砷化镓(GaAs)系列的半导体材料为基础时,可以发出红光、橙光或黄光;当以氮化铝镓铟(AlGaInN)系列的半导体材料为基础时,可以发出蓝光或绿光。在本发明的一些实施例中,所述有源层103可包含至少一无掺杂(un-doped)半导体层或是至少一低掺杂层。在本发明的一些实施例中,所述有源层103可为单异质结构(singleheterostructure,SH),双异质结构(doubleheterostructure,DH),双侧双异质结构(double-sidedoubleheterostructure,DDH),或多层量子阱结构(multi-quantumwell,MQW),但本公开实施例并非以此为限。
请再参考图1,半导体外延叠层通过键合层101键合至基板100,优选地,所述半导体外延叠层面向所述基板100的一侧形成为粗糙表面,以减少光输出过程中的反射次数,提高发光二极管的亮度。在本实施例中,所述基板100为蓝宝石衬底。基板100可以是透明衬底,透明衬底的材料包含无机材料或Ⅲ-Ⅴ族半导体材料。无机材料包含碳化硅(SiC)、锗(Ge)、蓝宝石(sapphire)、铝酸锂(LiAlO2)、氧化锌(ZnO)、玻璃或石英。Ⅲ-Ⅴ族半导体材料包含磷化铟(InP)、磷化镓(GaP)、氮化镓(GaN)、氮化铝(AlN)材料。基板100具有足以机械性地支撑半导体外延叠层的强度,并且能透过从半导体外延叠层射出的光。基板100的厚度优选为50μm以上。另外,为了便于在向半导体外延叠层键合后对基板100的机械加工,优选为厚度不超过300μm的厚度。
需要指明的是,本发明的发光二极管芯片并不局限于只包含一个半导体外延叠层,亦可包含多个半导体外延叠层位于基板100上,其中多个半导体外延叠层间可具有一导线结构使多个半导体外延叠层于此基板100上以串联、并联、串并联等方式彼此电连接。
键合层101的材料可为绝缘材料和/或导电材料。绝缘材料包含但不限于聚亚酰胺(PI)、苯并环丁烯(BCB)、过氟环丁烷(PFCB)、氧化镁(MgO)、Su8、环氧树脂(Epoxy)、丙烯酸树脂(AcrylicResin)、环烯烃聚合物(COC)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚对苯二甲酸乙二酯(PET)、聚碳酸酯(PC)、聚醚酰亚胺(Polyetherimide)、氟碳聚合物(FluorocarbonPolymer)、玻璃(Glass)、氧化铝(Al2O3)、氧化硅(SiOx)、氧化钛(TiO2)、氧化钽(Ta2O5)、氮化硅(SiNx)或旋涂玻璃(SOG)。导电材料包含但不限于氧化铟锡(ITO)、氧化铟(InO)、氧化锡(SnO)、氧化镉锡(CTO)、氧化锑锡(ATO)、氧化铝锌(AZO)、氧化锌锡(ZTO)、氧化锌(ZnO)、氧化铟锌(IZO)、类钻碳薄膜(DLC)或氧化镓锌(GZO)等。当键合层101采用导电材料与第一导电类型半导体层102接触,可起电流扩展层的作用,改善电流扩展的效果,提升电流分布的均匀性。
在一些实施例中,键合层101的折射率优选介于第一导电类型半导体层102的折射率和基板100的折射率之间。举例来说,第一导电类型半导体层102具一折射率n1,键合层100具有一折射率n2,基板100具有一折射率n3,其中,折射率n1>折射率n2>折射率n3。在一些实施例中,键合层100的折射率范围为1.2~3。所述键合层101可为单层结构或者多层结构。
为了将后述的第一接触电极106及第二接触电极107配置于第一导电类型半导体层102及第二导电类型半导体层104的同一面侧,可以以第一导电类型半导体层102的一部分露出的方式将第二导电类型半导体层104层积于第一导电类型半导体层102上,或者以第二导电类型半导体层104的一部分露出的方式将第一导电类型半导体层102层积于第二导电类型半导体层104上。举例来说,请再参考图1,在本实施例中,半导体外延叠层包括至少局部地贯通第二导电类型半导体层104、有源层103而露出第一导电类型半导体层102的第一台面S1。
发光二极管芯片包括位于第一导电类型半导体层102上并且直接或间接地电连接至第一导电类型半导体层102的一个或多个第一接触电极106,以及位于第二导电类型半导体层104上并且直接或间接地电连接至第二导电类型半导体层104的一个或多个第二接触电极107。在第一导电类型半导体层102为p型的情况下,第一接触电极106是指p侧接触电极;在第一导电类型半导体层102为n型的情况下,第一接触电极106是指n侧接触电极。而第二接触电极106与第一接触电极107相反。本实施例中,优选所述第一接触电极106为p侧接触电极。
所述第一接触电极106和第二接触电极107可以是金属电极,例如,所述第一接触电极106和第二接触电极107包括Au、Ge、Ni、Zn、Be或它们中的任意组合的合金或它们中的任意组合的叠层。第一接触电极106优选为Au、Zn或者Be组成的合金或者它们中的任意组合的叠层,第二接触电极107优选为Au、Ge或者Ni组成的合金或者它们中的任意组合的叠层。第一接触电极106和第二接触电极107的厚度为0.5~3μm,优选为1μm以上,以保证第一接触电极106和第二接触电极107与半导体外延叠层形成良好的欧姆接触。
绝缘层108覆盖半导体外延叠层的上表面及侧面,并且覆盖第一接触电极106、第二接触电极107,同时,该绝缘层108能够以延伸覆盖至部分露出在半导体外延叠层的周边的基板100的上表面的方式形成。由此,绝缘层108可与基板100的上表面相接,因此可更稳定地覆盖在半导体外延叠层的侧面。所述绝缘层108用于保护半导体外延叠层免受水汽或者污染物的损坏,保证半导体外延叠层的光学及电学性能。所述绝缘层可为单层或者多层结构,所述绝缘层可为SiO2、SiNx、Al2O3等材料组成。
所述绝缘层具有第一开口和第二开口,第一打线电极109及第二打线电极110布置于所述绝缘层108的上部。第一打线电极109可通过所述绝缘层108的第一开口电连接至所述第一接触电极106。第二打线电极110可通过所述第二开口电连接至所述第二接触电极107。第一开口和第二开口可以是呈圆形形状,在一些其他的实施例中,该第一开口和第二开口也可是方形等,各开口部的形状与个数不受特别的限制,可以是仅设置有一个开口部,若是设置有多个开口部,则可以更为均匀地分散电流。此外,在一些其他的实施例中,设置有多个开口部的情况下,各开口部可依据实际需求,而选择等间距或非等间距的分布形式,并不以本发明公开的实施例为限。在一些实施例中,所述第一打线电极109包括Ti、Al、Pt、Au、Ni、Sn或它们中的任意组合的合金或它们中的任意组合的叠层。在一些实施例中,所述第二打线电极110包括Ti、Al、Pt、Au、Ni、Sn或它们中的任意组合的合金或它们中的任意组合的叠层。所述第一打线电极109和第二打线电极110的厚度为1~5μm,优选为3~4μm。
为了有效分散打线过程中电极的冲击力,提升发光二极管的打线的可靠性,本实施例中通过设置第一打线电极109和第二打线电极110在半导体外延叠层上的水平投影落入第一接触电极106和第二接触电极107在半导体外延叠层的水平投影内。在一些可选的实施例中,优选所述第一打线电极109和第二打线电极110在半导体外延叠层的水平投影面积小于所述第一接触电极106和第二接触电极107在半导体外延叠层的水平投影面积。优选地,所述第一打线电极109和第二打线电极110在半导体外延叠层的水平投影面积为所述第一接触电极106和第二接触电极107在半导体外延叠层的水平投影面积的50%~99%,优选为60%以上,更优选为70%或者80%以上,以保证第一接触电极和第一打线电极之间有足够的接触面积,便于电流的扩展。
参考图2,所述发光二极管还包括第一电极扩展条106-1和第二电极扩展条107-1,位于所述半导体外延叠层之上,所述第一电极扩展条106-1和第二电极扩展条107-1与所述第一接触电极106和第二接触电极107相连接。
可选地,所述第一电极扩展条106-1和第二电极扩展条107-1在所述半导体外延叠层上呈线性分布,可选地,所述第一电极扩展条106-1和第二电极扩展条107-1末端为平滑的圆弧状设计,这样既可以保证电流扩展均匀,同时圆弧状的末端可以减少电荷集聚,ESD击穿的风险。
所述第一电极扩展条106-1和第二电极扩展条107-1在所述半导体外延叠层上的水平投影与所述第一打线电极109和第二打线电极110的水平投影不重叠。
在一些可选的实施例中,所述第二导电型半导体层104包含欧姆接触层105,所述欧姆接触层105位于所述第二电极扩展条107-1的下方,所述欧姆接触层105具有图形化的结构。所述欧姆接触层105可与第二电极扩展条107-1形成良好的欧姆接触。欧姆接触层105的长度可以等于或者短于第二电极扩展条107-1,宽度可以等于或者小于第二电极扩展条107-1。例如欧姆接触层105的宽度可以是3 μm ~9 μm。作为一个更佳的实施方式,如图1所示,所述的欧姆接触层106并不位于绝缘层108的通孔下方,线性的欧姆接触层105的一端与绝缘层108的通孔具有一定的距离;可选地,欧姆接触层105的另外一端与第二电极扩展条107-1可以对齐,也可以不对齐。可选地,例如,当第二接触电极107为N型电极时,欧姆接触层105可以是砷化镓,掺杂为N型。所述欧姆接触层105为线性结构,可以减少欧姆接触层105的吸光,提升发光二极管的发光效率。可选地,所述第二打线电极110的水平投影不与所述欧姆接触层的水平投影重叠。
本实施例中发光二极管通过在接触电极上设置打线电极,其中打线电极在所述半导体外延叠层上的水平方向的投影落入接触电极的水平投影内,可保证打线电极与接触电极具有良好的接触,同时接触电极面积大于打线电极,在打线过程中受力面积变大,可有效分散打线的冲击力,提高发光二极管的可靠性。
实施例
下面对上述实施例1的发光二极管的制作工艺进行详细的说明。
请参考图3,在生长衬底10上形成半导体外延叠层,通常可利用已知的各种方法生长,例如可利用有机金属化学气相沉积(Metal Organic Chemical VaporDeposition,MOCVD)、分子束磊晶(Molecular Beam Epitaxy,MBE)或氢化物气相磊晶(Hydride VaporPhase Epitaxy,HVPE)等技术生长。所述生长衬底10为砷化镓衬底。所述半导体外延叠层为砷化镓(gallium arsenide,GaAs)系列的材料,所述半导体外延叠层包括第一导电类型半导体层102、第二导电类型半导体层104以及位于第一导电类型半导体层102和第二导电类型半导体层104之间的有源层103。
请参考图4,通过粗化处理制成,在第一导电类型半导体层102表面形成粗化面,形成粗化面的方法没有特别限制,例如可使用蚀刻或机械研磨。在粗化后的第一导电类型半导体层102表面沉积键合层101,抛光键合层101的表面,所述键合层101优选为二氧化硅。
请参考图5,先将半导体外延叠层与基板100通过键合层101键合,所述基板100为蓝宝石衬底;然后去除生长衬底10。
请参考图6,定义半导体外延叠层表面形成光刻胶图形,在第二导电类型半导体层104表面部分区域去除第二导电类型半导体层104、有源层103,直至露出部分第一导电类型半导体层102,形成第一台面S1。对第二导电型半导体层的欧姆接触层105进行图案化处理,然后在第一台面和第二导电类型半导体层上形成第一接触电极106和第二接触电极107;
请参考图7,沉积绝缘层108,所述绝缘层108完全覆盖半导体外延叠层的表面,半导体外延叠层的侧壁,以及裸露出的键合层101表面。
然后,分别在位于第一导电类型半导体层102和第二导电类型半导体层104上的绝缘层108的形成第一开口和第二开口,制备第一打线电极109和第二打线电极110并通过相对应的第一开口和第二开口分别与第一导电类型半导体层102和第二导电类型半导体层104形成电连接,得到如图1所示的发光二极管。
本实施例中制备方法得到的发光二极管,其打线电极在所述半导体外延叠层上的水平方向的投影落入接触电极的水平投影内,可保证打线电极与接触电极具有良好的接触,同时接触电极面积大于打线电极,在打线过程中受力面积变大,可有效分散打线的冲击力,提高发光二极管的可靠性。
实施例
本实施例提供一种发光装置,如图8所示,该发光装置包括固晶基板200以及位于固晶基板200上的发光二极管。该发光二极管可以是本申请实施例1中提供的发光元件。该固晶基板200可以是陶瓷基板、印刷电路板等。固晶基板200上方具有固晶区域,该固晶区域具有较好反射作用。发光二极管固定至该固晶区域,例如通过具有一定折射率的固晶胶201将发光二极管固定至固晶基板200。由此,发光元件发射的光更容易通过固晶胶201射到固晶基板200上,并被固晶基板200反射,从而提高发光装置的出光效率。
另外,本领域技术人员应当理解,尽管现有技术中存在许多问题,但是,本发明的每个实施例或技术方案可以仅在一个或几个方面进行改进,而不必同时解决现有技术中或者背景技术中列出的全部技术问题。本领域技术人员应当理解,对于一个权利要求中没有提到的内容不应当作为对于该权利要求的限制。
尽管本文中较多的使用了诸如衬底、生长衬底、半导体外延叠层、第一导电类型半导体层、发光层、第二导电类型半导体层、第一接触电极、第一打线电极、第二接触电极、第二打线电极、绝缘层、键合层等术语,但并不排除使用其它术语的可能性。使用这些术语仅仅是为了更方便地描述和解释本发明的本质;把它们解释成任何一种附加的限制都是与本发明精神相违背的;本发明实施例的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、等(如果存在)是用于区别类似的对象,而不必用于描述特定的顺序或先后次序。
最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (15)

1.发光二极管包括;
半导体外延叠层,至少包含依次叠置的第一导电类型半导体层、有源层和第二导电类型半导体层,所述半导体外延叠层形成有第一台面,所述第一台面暴露所述第一导电类型半导体层;
第一接触电极,位于所述第一台面上,与所述第一导电类型半导体层电连接;
第二接触电极,位于第二导电类型半导体层之上,与所述第二导电类型半导体层电连接;
第一打线电极和第二打线电极,位于所述第一接触电极和第二接触电极之上;
其特征在于:所述第一打线电极和第二打线电极在所述半导体外延叠层上的水平投影落入所述第一接触电极和第二接触电极的水平投影内。
2.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于:所述第一打线电极和第二打线电极在所述半导体外延叠层上的水平投影面积小于所述第一接触电极和第二接触电极的水平投影面积。
3.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于:所述第一打线电极和第二打线电极在所述半导体外延叠层上的水平投影面积为所述第一接触电极和第二接触电极的水平投影面积的50%~99%。
4.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于:还包含绝缘层,所述绝缘层具有第一开口和第二开口,所述第一打线电极和第二打线电极通过所述第一开口和第二开口与所述第一接触电极和第二接触电极电连接。
5.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于:所述第一打线电极和第二打线电极包括Ti、Al、Pt、Au、Ni、Sn、In或它们中的任意组合的合金或它们中的任意组合的叠层。
6.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于:所述第一接触电极和第二接触电极包括Au、Ge、Ni、Zn、Be或它们中的任意组合的合金或它们中的任意组合的叠层。
7.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于:所述第一打线电极和第二打线电极的厚度为1~5μm。
8.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于:所述第一接触电极和第二电极的厚度为0.5~3μm。
9.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于:还包括第一电极扩展条和第二电极扩展条,位于所述半导体外延叠层之上,所述第一电极扩展条和第二电极扩展条与所述第一接触电极和第二接触电极相连接。
10.根据权利要求9所述的发光二极管,其特征在于:所述第一电极扩展条和第二电极扩展条在所述半导体外延叠层上呈线性分布,所述第一电极扩展条和第二电极扩展条在所述半导体外延叠层上的水平投影与所述第一打线电极和第二打线电极的水平投影不重叠。
11.根据权利要求9所述的发光二极管,其特征在于:所述第一电极扩展条和第二电极扩展条的末端为平滑的圆弧状设计。
12.根据权利要求9所述的发光二极管,其特征在于:所述第二导电型半导体层包含欧姆接触层,所述欧姆接触层位于所述第二电极扩展条的下方,所述欧姆接触层具有图形化的结构。
13.根据权利要求12所述的发光二极管,其特征在于:所述第二打线电极的水平投影不与所述欧姆接触层的水平投影重叠。
14.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于:所述发光二极管辐射波长为550~950 nm的光。
15.一种发光装置,其特征在于:所述发光装置包含权利要求1~14中任一项所述的发光二极管。
CN202310176103.2A 2023-02-28 2023-02-28 发光二极管和发光装置 Pending CN116072787A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202310176103.2A CN116072787A (zh) 2023-02-28 2023-02-28 发光二极管和发光装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202310176103.2A CN116072787A (zh) 2023-02-28 2023-02-28 发光二极管和发光装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN116072787A true CN116072787A (zh) 2023-05-05

Family

ID=86181967

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202310176103.2A Pending CN116072787A (zh) 2023-02-28 2023-02-28 发光二极管和发光装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN116072787A (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10950758B2 (en) Light-emitting device with reflective layer
EP2390928B1 (en) Light emitting device, light emitting device package, and lighting system
EP2372791B1 (en) Light emitting diode
KR101014071B1 (ko) 발광 소자, 발광 소자 제조방법, 발광 소자 패키지 및 조명 시스템
EP2330641A2 (en) Light emitting device and light emitting device package including the same
EP2355193A2 (en) Light emitting diode and package having the same
JP2016026390A (ja) 発光素子
EP2355188B1 (en) Light emitting device and light emitting device package having the same
EP2445019A2 (en) Electrode configuration for a light emitting diode
CN113851567B (zh) 一种发光二极管芯片、发光装置
KR102413447B1 (ko) 발광소자
CN108431970B (zh) 发光元件
EP2390934A2 (en) Light emitting device and light emitting device package
KR20110115384A (ko) 발광 소자 및 그 제조방법, 발광 소자 패키지 및 조명 시스템
CN116072787A (zh) 发光二极管和发光装置
KR101776302B1 (ko) 발광 소자 및 발광 소자 패키지
KR101744971B1 (ko) 발광 소자, 발광 소자 제조방법, 발광 소자 패키지 및 조명 시스템
KR20110118333A (ko) 발광 소자, 발광 소자 제조방법, 발광 소자 패키지, 및 조명 시스템
CN116646432A (zh) 发光二极管和发光装置
US20240113262A1 (en) Light-emitting device, backlight unit and display apparatus having the same
KR102563266B1 (ko) 발광소자 및 이를 구비한 광원 모듈
TWI804437B (zh) 發光元件
TWI764528B (zh) 發光元件及其製造方法
CN117673221A (zh) 发光二极管和发光装置
KR20170077512A (ko) 발광소자 및 조명장치

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination