CN116059780A - 一种真空再生气进制硫装置的调控方法及装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种真空再生气进制硫装置的调控方法及装置，S Zorb再生烟气经吸附后采用变频真空设备再生，在真空设备进出口设压力表，在进出口压力表前管线间设联通侧线，侧线上设调节阀Ⅰ，在出口压力表后并联设调节阀Ⅱ和限流设备，之后设浓度分析仪和流量计，在吸附设备前与浓度分析仪前管路之间设联通跨线，跨线上设调节阀Ⅲ，通过流量计调控出口气量；真空再生启动后采用三级调控和气量调控保持浓度和气量稳定。本发明在无需设缓冲设施情况下，实现了S Zorb再生烟气经吸附后产生的真空再生气中SO2浓度和气量稳定，减少了对后续制硫装置的冲击，运行稳定性好。
Description
技术领域
本发明属于大气污染治理技术领域，具体涉及一种真空再生气进制硫装置的调控方法及装置。
背景技术
S Zorb装置主要用于催化汽油吸附脱硫，目前国内有几十套装置，该装置包括进料与吸附脱硫反应、吸附剂再生、吸附剂循环和产品稳定四个部分。在吸附剂空气氧化再生过程中，会产生S Zorb再生烟气需要处理，烟气中主要含二氧化硫。
目前，广泛应用的脱硫技术可分为湿法脱硫技术和干法脱硫技术。现有的脱硫技术按脱硫产物回收利用的程度可分为三类：第一类是二氧化硫脱除后不可回收或难以利用，如石膏法、电石渣法等，这类方法产生大量的液体或固体废物，带来二次污染。第二类是通过化学试剂氧化或催化氧化将二氧化硫转化为稀硫酸或硫酸盐，如双氧水氧化法、氨氧化法、活性炭湿式催化法等，如专利CN105381699A记载了使用双氧水脱二氧化硫，专利CN101085410A记载了把烟气中二氧化硫转化成硫酸氨的方法。该类技术需要不间断消耗氧化剂或催化剂，涉及到药剂供应半径及成本问题，偏远地区使用不便。第三类是将低浓度二氧化硫气体经吸收或吸附后再解吸再生得到高浓度二氧化硫气体，可以用于制取液态二氧化硫、进入制酸工段制取硫酸或者进入制硫装置制取硫磺等。
CN111375274A公开了一种含SO2气体的处理方法及装置，主要包括压缩单元、吸附单元和再生单元，其中压缩单元主要包括压缩机，用于对废气进行压缩处理；吸附单元主要包括两个或两个以上吸附塔，装填有改性锌基金属有机骨架材料，用于SO2的吸附；再生单元主要包括真空泵、氮气加热器等，用于解吸再生得到高浓度SO2。该专利采用的解吸再生采用加热再生、真空再生或真空热再生，得到的解吸气为高纯度的SO2气体，可以用于需要使用SO2气体的场合，比如用于硫回收装置制硫磺、炼油废碱液酸化处理等。但是如果是直接进现有再利用装置会对其造成一定冲击，需要增加缓冲设施。
CN102380311A公开了一种汽油吸附脱硫再生烟气的处理方法，将再生烟气引入硫磺回收装置尾气加氢单元与Claus尾气混合，采用该方法专用尾气加氢催化剂处理，加氢尾气经溶剂吸收-再生，硫化氢返回Claus单元回收硫磺，净化尾气经焚烧炉焚烧后达标排放。既可回收硫资源，又可避免环境污染。是目前汽油吸附脱硫再生烟气较理想的处理方式。但是，将再生烟气直接引入加氢单元，由于无缓冲设施，受再生过程的影响反应稳定性不佳。
S Zorb再生烟气经吸附法处理后，饱和吸附剂一般采用真空再生或/和真空热再生，真空再生产生的再生气为含高浓度二氧化硫气体，通常可进入炼厂制硫装置制取硫磺或者制酸工段制取硫酸，但由于真空泵的操作曲线和工艺特点，真空再生气量和浓度难以稳定，气量波动范围较大，对直接进后续再利用装置的稳定运行影响较大。针对此问题，现阶段在工业装置设计实践中一般采用在真空再生设备后面设置缓冲设施如缓冲罐，由于真空泵出口压力不高，为满足缓冲效果缓冲罐尺寸较大，有些设计为减小缓冲罐尺寸需要在真空泵出口串联压缩机，将真空再生气压缩后再进入缓冲罐，以期减小缓冲罐尺寸，提高缓冲效率，但这样就势必会造成占地、运行费用及一次投资成本的升高。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供了一种真空再生气进制硫装置的调控方法及装置。本发明在无需设置缓冲设施情况下，实现了S Zorb再生烟气经吸附再生后产生的真空再生气中SO2浓度和气量的稳定，减少了对后续制硫装置的冲击，运行稳定性好。
本发明第一方面提供了一种真空再生气进制硫装置的调控方法，包括如下内容：
S Zorb再生烟气经吸附设备处理后采用真空设备再生，在真空设备进出口设压力表，在进出口压力表前管线之间设联通侧线，侧线上设调节阀Ⅰ，在出口压力表后设并联的调节阀Ⅱ和限流设备，之后依次设浓度分析仪和流量计，在吸附设备前与浓度分析仪前该管线之间设联通跨线，跨线上设调节阀Ⅲ，通过流量计调控出口气量；真空再生启动前，调节阀Ⅰ、Ⅲ开启，调节阀Ⅱ关闭；真空再生启动后，采用三级调控保持出口二氧化硫浓度和气量稳定，第一级调控通过浓度分析仪、调节阀Ⅱ和限流设备关联形成闭路调控实现，第二级调控通过浓度分析仪和调节阀Ⅰ关联形成闭路调控实现，第三级调控通过浓度分析仪和真空设备关联形成闭路调控实现，当真空设备频率达到最大频率的100%时，仍无法保持出口二氧化硫浓度时，停止真空再生操作；此时通过调节阀Ⅲ和流量计维持气量，待下一再生周期重复上述过程。
本发明方法中，所述的S Zorb再生烟气是S Zorb催化汽油吸附脱硫生产装置的吸附剂再生过程中产生的烟气， SO2浓度为0.5v%～7v%，O2体积含量小于0.5%，温度为150～240℃。
本发明方法中，S Zorb再生烟气在吸附设备中进行吸附处理，吸附压力为0.3～0.9MPaG，吸附时间为5～20min。
本发明方法中，真空再生启动前，调节阀Ⅰ和调节阀Ⅲ开启，调节阀Ⅱ关闭。控制调节阀Ⅰ的开度为10%～100%，优选60%～80%。
本发明方法中，真空再生启动前，真空设备变频设置为总频率的10%～90%，优选40%～60%。
本发明方法中，真空再生启动后，先进行第一级调控，为稳定出口二氧化硫浓度，逐渐开启调节阀Ⅱ，当调节阀Ⅱ接近全开时，仍无法保持二氧化硫浓度，启动第二级调控；第二级调控中，逐渐关闭调节阀Ⅰ，当调节阀Ⅰ接近全关时，启动第三级调控；第三级调控中，真空设备频率逐渐增加，当达到最大频率的100%时，仍无法稳定二氧化硫浓度时，停止真空再生操作。
本发明方法中，在第一级调控中，通过限流设备限定真空设备的出口压力为1～30KPaG，优选2～10KPaG。通过浓度分析仪对调节阀Ⅱ开度进行调控，即根据预设的二氧化硫浓度，将信号传递给调节阀Ⅱ对开度进行控制，从而稳定真空再生气中二氧化硫浓度。当调节阀Ⅱ接近全开，即开度不低于90%时，仍无法保持预设二氧化硫浓度时，启动第二级控制。
本发明方法中，在第二级调控中，为稳定出口二氧化硫浓度，调节阀Ⅰ逐渐关闭，当接近全关时，启动第三级调控。
本发明方法中，在第三级调控中，为稳定出口二氧化硫浓度，当真空设备的频率达到最大频率的100%时，进一步的观察真空泵入口压力表的真空度达到90KPa～绝对真空，优选96～99KPa，仍无法保持二氧化硫浓度时，停止真空再生。
本发明方法中，根据制硫装置的要求确定气量的预设范围，在真空再生过程中，当气量不足时，在流量计和调节阀Ⅲ的调控下，将S Zorb再生烟气通过联通跨线引入真空再生体系中，将气量控制在预设范围内，保证后续进入制硫装置气量的稳定，待下一再生周期重复上面过程。
本发明方法中，为使进入下游制硫装置真空再生气的气量和浓度稳定，优选SZorb再生烟气吸附时间和真空再生时间相等。
本发明方法中，所述的用于S Zorb再生烟气吸附设备装填的吸附剂是能吸附二氧化硫的各种多孔吸附剂，如活性炭、分子筛、硅胶等中的至少一种。
本发明方法中，S Zorb再生烟气在吸附设备进行吸附处理后，净化气达标排放，再生产生的真空再生气中二氧化硫浓度提升，可以进入后续制硫装置中制取硫磺。
本发明第二方面提供了一种用于上述真空再生气进制硫装置的调控方法的装置，主要包括吸附设备、变频真空设备和三级调控系统，在真空设备进出口设压力表，在进出口压力表前管线之间设联通侧线，侧线上设调节阀Ⅰ，在出口压力表后设并联的调节阀Ⅱ和限流设备，之后依次设浓度分析仪和流量计，在吸附塔前与浓度分析仪前的管路之间设联通跨线，跨线上设调节阀Ⅲ，通过流量计调控出口气量；采用三级调控系统保持出口二氧化硫浓度和气量稳定，第一级调控系统主要包括浓度分析仪、调节阀Ⅱ和限流设备以及三者关联形成的闭路调控管路；第二级调控系统主要包括浓度分析仪和调节阀Ⅰ以及二者关联形成的闭路调控管路；第三级调控系统主要包括浓度分析仪和真空设备以及二者关联形成的闭路调控管路。
本发明装置中，所述的吸附塔为本领域常规使用的填料塔，装填用于吸附S Zorb再生烟气的多孔吸附剂，如活性炭、分子筛、硅胶等中的至少一种。
本发明装置中，所述的变频真空设备用于S Zorb再生烟气吸附处理后的真空再生，选自能产生真空度为90KPa～绝对真空的变频真空泵，如可以选自但不限于螺杆真空泵、液环真空泵、活塞真空泵、隔膜真空泵、旋片式真空泵等中的任意一种。所述变频真空泵是通过调节真空泵电机频率来调节真空泵抽真空能力。
本发明装置中，所述的限流设备是能稳定调节阀前压力的设备，如可以是工艺手阀、单向阀、减压阀、孔板等中任意一种。
本发明装置中，真空再生启动前，调节阀Ⅰ和调节阀Ⅲ开启，调节阀Ⅱ关闭；真空再生启动后，采用三级调控系统保持出口二氧化硫浓度和气量稳定。
本发明装置中，在第一级调控系统中，通过限流设备限定真空设备出口压力，通过浓度分析仪对调节阀Ⅱ开度进行调控，当调节阀Ⅱ接近全开，仍无法保持二氧化硫浓度时，启动第二级调控系统。
本发明装置中，在第二级调控系统中，为稳定二氧化硫浓度，调节阀Ⅰ逐渐关闭，当接近全关时，启动第三级调控系统。
本发明装置中，在第三级调控系统中，当真空设备的频率达到最大频率的100%时，进一步的观察真空泵入口压力表的真空度达到90KPa～绝对真空，优选96～99KPa，仍无法保持二氧化硫浓度时，停止真空再生。
本发明装置中，在真空再生过程中，当气量不足时，在流量计和调节阀Ⅲ调控下，将S Zorb再生烟气通过联通跨线引入真空再生管路中，将气量控制在预设范围内，保证进入后续制硫装置气量的稳定，待下一再生周期重复上面过程。
与现有技术相比，本发明的有益效果如下：
（1）通常吸附剂再生时，采用真空再生的气量、浓度波动均较大，对后续再利用装置会造成较大冲击。为避免使用压缩、缓冲设施，本申请发明人通过采用变频真空再生结合三级调控方式，以及将S Zorb再生烟气引入真空再生气中调控气量，使非线性的再生过程最大程度的线性化，从而保证真空再生气浓度和气量的稳定，在不增加缓冲设施的情况下，减少了对后续制硫装置的冲击。
（2）本发明通过构建三级闭路调控方式并结合引入部分S Zorb再生烟气调控气量，使真空再生气中二氧化硫浓度和气量保持稳定，不需要额外增加压缩、缓冲设备，降低了物耗和投资成本。
（3）本申请发明人在试验中发现，由于真空再生气温度相对较低，造成有部分水分凝出，在管道中造成气阻或气锤现象，从而造成管线和设备腐蚀。为此发明人在调控浓度和气量基础上，将S Zorb再生烟气引入真空再生气管路中调控气量，提升了真空再生气温度，避免了游离水的生成，防止管线和设备腐蚀。此外，将S Zorb再生烟气引入真空再生气中调控气量，回收了部分热量，节省了进入制硫装置的燃料消耗。
附图说明
图1 是本发明方法和装置的一种流程示意图；
其中，1-联通侧线，2-调节阀Ⅰ，3-进口压力表，4-真空泵，5-真空泵变频组件，6-出口压力表，7-调节阀Ⅱ，8-限流设备，9-二氧化硫浓度分析仪，10-S Zorb再生烟气，11-联通跨线，12-调节阀Ⅲ，13-流量计，14-去制硫装置的真空再生气，15-吸附塔；101-第一级调控系统，102-第二级调控系统，103-第三级调控系统，104-气量调控。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明方法和装置作进一步详细说明。实施例在以本发明技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本发明的保护范围不限于下述的实施例。本发明中，v%为体积分数。
以下实施例中的实验方法，如无特殊说明，均为本领域常规方法。下述实施例中所用的实验材料，如无特殊说明，均从常规生化试剂商店购买得到。
本发明真空再生气进制硫装置的调控方法及装置的流程示意图如附图1所示，主要包括吸附塔15、真空泵4（包括真空泵变频组件5）和三级控制系统101、102和103，在真空泵进出口管线上分别设进口压力表3和出口压力表6，在进出口压力表前管线之间设联通侧线1，在联通侧线1上设调节阀Ⅰ，在出口压力表6后并联设调节阀Ⅱ和限流设备8，之后依次设二氧化硫浓度分析仪9和流量计13，在吸附塔15前与二氧化硫浓度分析仪9前管线之间设联通跨线11，跨线上设调节阀Ⅲ，通过流量计13调控气量。真空再生启动前，调节阀Ⅰ和调节阀Ⅲ开启，调节阀Ⅱ关闭。流量计13与调节阀Ⅲ进行气量调节，将气量调控在预设范围内，真空泵变频组件5设置初始频率。真空再生启动后，采用三级调控系统和气量调控保持出口二氧化硫浓度和气量稳定。
第一级调控系统101主要是通过调节阀Ⅱ、限流设备8和二氧化硫浓度分析仪9关联形成闭路调控实现；通过限流设备8限定真空泵出口压力为1～30KPaG，优选2～10KPaG。通过二氧化硫浓度分析仪9对调节阀Ⅱ的开度进行调控，即根据预设二氧化硫浓度，将信号传递给调节阀Ⅱ对开度进行控制，从而稳定真空再生气中二氧化硫浓度。当调节阀Ⅱ接近全开，即开度不低于90%时，仍无法保持预设的二氧化硫浓度时，启动第二级调控系统。
第二级调控系统102是通过调节阀Ⅰ、二氧化硫浓度分析仪9关联形成闭路调控实现，为稳定二氧化硫浓度，调节阀Ⅰ通过自动控制逐渐关闭，当调节阀Ⅰ接近全关时，启动第三级调控系统。
第三级调控系统103是通过流量计13和变频真空泵4的真空泵变频组件5关联形成的闭路调控实现，为稳定二氧化硫浓度，自动控制逐渐增加真空设备频率，当真空泵频率逐渐达到最大频率的100%时，进一步观察真空泵入口压力表3，当真空度达到90KPa～绝对真空，停止真空再生操作。
在真空再生过程中，通过流量计13和调节阀Ⅲ调控气量不变，当气量不足时，将SZorb再生烟气通过联通跨线11引入真空再生管路中，维持预设的气量不变，保证进入制硫装置气量稳定，待下一再生周期重复上面过程。
在真空吸附-再生过程中，为使进入制硫装置真空再生气的气量和浓度稳定，优选S Zorb再生烟气的吸附时间和真空再生时间相等。
实施例1
某企业S Zorb装置再生烟气中SO2的体积浓度为2%～5%，O2的体积浓度小于0.2%，烟气处理量约为2900Nm3/h。经除尘、冷却、压缩处理后进入吸附塔进行吸附，吸附剂为活性炭，吸附压力0.6MPaG，吸附时间15min，采用本发明调控方法和附图1调控装置进行吸附-真空再生，产生的真空再生气进下游制硫装置制取硫磺，制硫装置要求气量稳定在300～400Nm3/h，浓度稳定在45v%～55v%。
采用液环真空泵，限流设备为减压阀。真空再生启动前，调节阀Ⅰ初始开度为70%，调节阀Ⅱ关闭，开启调节阀Ⅲ和流量计，调控真空泵出口气量为300Nm3/h，真空泵变频设置为总频率的50%。真空再生启动后采用三级调控方式保持出口二氧化硫浓度和气量稳定，第一级控制通过限流设备限定真空泵出口压力为5KPaG，通过二氧化硫浓度分析仪对调节阀Ⅱ开度进行控制，使浓度稳定在50v%左右；当调节阀Ⅱ开度到95%时，仍无法保持真空泵出口二氧化硫浓度，启动第二级控制；在第二级控制中，为稳定二氧化硫浓度，调节阀Ⅰ由初始70%开度逐渐关闭，当接近全关时，启动第三级控制；在第二级控制中，为稳定二氧化硫浓度，真空泵变频组件通过自动控制逐渐达到最大频率的100%，进一步观察真空泵入口压力表，真空度达到96KPa，此时仍无法保持二氧化硫浓度时，停止真空再生操作。此时，只保持气量调控开启，待下一再生周期重复上面过程。检测结果如表1所示。
实施例2
某炼厂S Zorb装置再生烟气中SO2的体积浓度为2%～5%，O2的体积浓度小于0.2%，烟气处理量约为1900Nm3/h。经除尘、冷却、压缩处理后进入吸附塔进行吸附，吸附剂为活性炭，吸附压力0.6MPaG，吸附时间15min。采用本发明方法和附图1的装置对吸附剂进行真空再生处理，真空再生气进下游制硫装置制取硫磺，制硫装置要求气量稳定在150～250Nm3/h，浓度稳定在35v%～45v%。
采用隔膜真空泵，限流设备为单向阀。真空再生启动前，调节阀Ⅰ初始开度为60%，调节阀Ⅱ关闭，开启调节阀Ⅲ和流量计，调控真空泵出口气量为200Nm3/h，真空泵变频设置为总频率的60%。真空再生启动后采用三级调控方式保持出口二氧化硫浓度和气量稳定，第一级控制通过限流设备限定真空泵出口压力为7KPaG，通过二氧化硫浓度分析仪对调节阀Ⅱ开度进行控制，使浓度稳定在40v%左右；当调节阀Ⅱ开度到90%时，仍无法保持真空泵出口二氧化硫浓度，启动第二级控制；在第二级控制中，为稳定二氧化硫浓度，调节阀Ⅰ由初始60%开度逐渐关闭，当接近全关时，启动第三级控制；在第二级控制中，为稳定二氧化硫浓度，真空泵变频组件通过自动控制逐渐达到最大频率的100%，进一步观察真空泵入口压力表，真空度达到97KPa，此时仍无法保持二氧化硫浓度时，停止真空再生操作。此时，只保持气量调控开启，待下一再生周期重复上面过程。检测结果如表1所示。
实施例3
某企业S Zorb装置再生烟气中SO2的体积浓度为2%～5%，O2的体积浓度小于0.2%，烟气处理量约为800Nm3/h。经除尘、冷却、压缩处理后进入吸附塔进行吸附，吸附剂为活性炭，吸附压力0.4MPaG，吸附时间15min。采用本发明方法和附图1的流程图对吸附剂进行真空再生处理，真空再生气进下游制硫装置制取硫磺，制硫装置要求气量稳定在50～150Nm3/h，浓度稳定在30v%-40v%。
采用螺杆真空泵，限流设备为工艺手阀。真空再生启动前，调节阀Ⅰ初始开度为80%，调节阀Ⅱ关闭，开启调节阀Ⅲ和流量计，调控真空泵出口气量为80Nm3/h，真空泵变频设置为总频率的50%。真空再生启动后采用三级调控方式保持出口二氧化硫浓度和气量稳定，第一级控制通过限流设备限定真空泵出口压力为5KPaG，通过二氧化硫浓度分析仪对调节阀Ⅱ开度进行控制，使浓度稳定在35v%左右；当调节阀Ⅱ开度到90%时，仍无法保持真空泵出口二氧化硫浓度，启动第二级控制；在第二级控制中，为稳定二氧化硫浓度，调节阀Ⅰ由初始80%开度逐渐关闭，当接近全关时，启动第三级控制；在第二级控制中，为稳定二氧化硫浓度，真空泵变频组件通过自动控制逐渐达到最大频率的100%，进一步观察真空泵入口压力表，真空度达到98KPa，此时仍无法保持二氧化硫浓度时，停止真空再生操作。此时，只保持气量调控开启，待下一再生周期重复上面过程。检测结果如表1所示。
实施例4
同实施例3，不同在于：吸附剂采用分子筛代替活性炭。检测结果如表1所示。
比较例1
同实施例1，不同在于：未设置本发明所述的三级控制方式，仅采用真空泵对吸附剂进行真空再生，再生时间为15min。检测结果如表1所示。
比较例2
同实施例1，不同在于：未设置调节阀Ⅰ和第二调控系统。检测结果如表1所示。
比较例3
同实施例1，不同在于：第一调控系统中未设置限流设备。检测结果如表1所示。
比较例4
同实施例1，不同在于：第一调控系统中未设置调节阀Ⅱ。检测结果如表1所示。
比较例5
同实施例1，不同在于：未设置第三调控系统。检测结果如表1所示。
比较例6
同实施例1，不同在于：未设置联通跨线、调节阀Ⅲ及气量调控。检测结果如表1所示。
不同实施例和比较例真空再生后，真空再生气的气量和浓度检测结果如表1所示。真空再生为常温。
表1 不同实施例和比较例真空再生气量和浓度变化
由表1可见，采用本申请技术方案可以使真空再生气的气量和浓度在整个过程中保持稳定，满足进后续制硫装置的要求，极大减少了对后续制硫装置的冲击。
Claims (21)
1.一种真空再生气进制硫装置的调控方法，其特征在于包括如下内容：S Zorb再生烟气经吸附设备处理后采用真空设备再生，在真空设备进出口设压力表，在进出口压力表前管线之间设联通侧线，侧线上设调节阀Ⅰ，在出口压力表后并联设调节阀Ⅱ和限流设备，之后依次设浓度分析仪和流量计，在吸附设备前与浓度分析仪前管线之间设联通跨线，跨线上设调节阀Ⅲ，通过流量计调控出口气量；真空再生启动前，调节阀Ⅰ、Ⅲ开启，调节阀Ⅱ关闭；启动后采用三级调控方式保持出口浓度和气量稳定，第一级调控通过浓度分析仪、调节阀Ⅱ和限流设备关联形成闭路调控实现，第二级调控通过浓度分析仪和调节阀Ⅰ关联形成闭路调控实现，第三级调控通过浓度分析仪和真空设备关联形成闭路调控实现，当真空设备频率达到最大频率的100%时，仍无法保持出口二氧化硫浓度时，停止真空再生操作；此时通过调节阀Ⅲ和流量计维持气量，待下一再生周期重复上述过程。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述的S Zorb再生烟气是S Zorb催化汽油吸附脱硫生产装置的吸附剂再生过程中产生的烟气，SO2浓度为0.5v%～7v%，O2体积含量小于0.5%，温度为150～240℃。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于：所述的S Zorb再生烟气在吸附设备中的吸附压力0.3～0.9MPaG，吸附时间为5～20min。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：真空再生启动前，调节阀Ⅰ的开度为10%～100%，优选60%～80%。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：真空再生启动前，真空设备变频设置为总频率的10%～90%，优选40%～60%。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：真空再生启动后，先进行第一级调控，为稳定出口二氧化硫浓度，逐渐开启调节阀Ⅱ，当调节阀Ⅱ接近全开时，仍无法保持二氧化硫浓度，启动第二级调控；第二级调控中，逐渐关闭调节阀Ⅰ，当调节阀Ⅰ接近全关时，启动第三级调控；第三级调控中，真空设备频率逐渐增加，当达到最大频率的100%时，仍无法稳定二氧化硫浓度时，停止真空再生。
7.根据权利要求1或6所述的方法，其特征在于：在第一级调控中，通过限流设备限定真空设备的出口压力为1～30KPaG，优选2～10KPaG。
8.根据权利要求1或6所述的方法，其特征在于：在第一级调控中，通过浓度分析仪对调节阀Ⅱ进行调控，当调节阀Ⅱ接近全开，即开度不低于90%时，仍无法保持预设二氧化硫浓度时，启动第二级控制。
9.根据权利要求1或6所述的方法，其特征在于：在第三级调控中，为稳定出口二氧化硫浓度，当真空设备的频率达到最大频率的100%时，进一步观察真空泵入口压力表的真空度达到90KPa～绝对真空，优选96～99KPa，仍无法保持二氧化硫浓度时，停止真空再生。
10.根据权利要求1或6所述的方法，其特征在于：在真空再生过程中，当气量不足时，在流量计和调节阀Ⅲ的调控下，将S Zorb再生烟气通过联通跨线引入真空再生管路中，将气量控制在预设范围内，待下一再生周期重复上面过程。
11.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：为使进入下游制硫装置真空再生气的气量和浓度稳定，S Zorb再生烟气吸附时间和真空再生时间相等。
12.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述的用于S Zorb再生烟气吸附处理的吸附剂是能吸附二氧化硫的多孔吸附剂，优选活性炭、分子筛、硅胶中的至少一种。
13.一种用于权利要求1-12任一项所述真空再生气进制硫装置的调控方法的装置，其特征在于包括吸附设备、变频真空设备和三级调控系统，在真空设备进出口设压力表，在进出口压力表前管线之间设联通侧线，侧线上设调节阀Ⅰ，在出口压力表后设并联的调节阀Ⅱ和限流设备，之后依次设浓度分析仪和流量计，在吸附塔前与浓度分析仪前的管路之间设联通跨线，跨线上设调节阀Ⅲ，通过流量计调控出口气量；采用三级调控系统保持出口二氧化硫浓度和气量稳定，第一级调控系统主要包括浓度分析仪、调节阀Ⅱ和限流设备以及三者关联形成的闭路调控管路；第二级调控系统主要包括浓度分析仪和调节阀Ⅰ以及二者关联形成的闭路调控管路；第三级调控系统主要包括浓度分析仪和真空设备以及二者关联形成的闭路调控管路。
14.根据权利要求13所述的装置，其特征在于：所述的吸附塔为填料塔，装填用于吸附SZorb再生烟气的多孔吸附剂，优选为活性炭、分子筛、硅胶中的至少一种。
15.根据权利要求13所述的装置，其特征在于：所述的变频真空设备用于S Zorb再生烟气吸附处理后的真空再生，选自能产生真空度为90KPa～绝对真空的变频真空泵，优选螺杆真空泵、液环真空泵、活塞真空泵、隔膜真空泵、旋片式真空泵中的任意一种。
16.根据权利要求13所述的装置，其特征在于：所述的限流设备是能稳定调节阀前压力的设备，优选工艺手阀、单向阀、减压阀、孔板中任意一种。
17.根据权利要求13所述的装置，其特征在于：真空再生启动前，调节阀Ⅰ和调节阀Ⅲ开启，调节阀Ⅱ关闭；真空再生启动后，采用三级调控系统保持出口二氧化硫浓度和气量稳定。
18.根据权利要求13所述的装置，其特征在于：在第一级调控系统中，通过限流设备限定真空设备出口压力，通过浓度分析仪对调节阀Ⅱ开度进行调控，当调节阀Ⅱ接近全开，仍无法保持二氧化硫浓度时，启动第二级调控系统。
19.根据权利要求13所述的装置，其特征在于：在第二级调控系统中，为稳定二氧化硫浓度，调节阀Ⅰ逐渐关闭，当接近全关时，启动第三级调控系统。
20.根据权利要求13所述的装置，其特征在于：在第三级调控系统中，当真空设备的频率达到最大频率的100%时，进一步的观察真空泵入口压力表的真空度达到90KPa～绝对真空，优选96～99KPa，仍无法保持二氧化硫浓度时，停止真空再生。
21.根据权利要求13所述的装置，其特征在于：在真空再生过程中，当出口气量不足时，在流量计和调节阀Ⅲ调控下，将S Zorb再生烟气通过跨线引入真空再生管路中，将气量控制在预设范围内，保证进入后续制硫装置气量的稳定，待下一再生周期重复上面过程。
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