CN115987057A - 一种干式真空泵水冷变频器安全结构 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种干式真空泵水冷变频器安全结构，包括主板和水冷层，所述主板的上端面上设置有用于隔离强弱电的隐蔽层，所述隐蔽层远离主板一侧的侧面上设置有弱电区、排线区和接线区，所述水冷层设置在主板的下端，所述水冷层包括有水冷散热器、进水管和排水管。本发明确保了变频器的电气安全，实现真空泵的小型化，水冷变频器底部的水冷散热器可以有效减少半导体工厂内的空间热负荷，起到了节能减排的作用，增加同一功率下，水冷变频器降低70%空间热辐射，通过水冷方式，客观上提高了变频器的耐量，可以达到使变频器中继电器元件提高耐温的20℃的效果，水冷变频器通过线缆和开孔之间的橡胶圈进行了防水，端盖可以防止意外的泵内漏水飞溅。

Description

一种干式真空泵水冷变频器安全结构

技术领域

本发明涉及干式真空泵技术领域，具体为一种干式真空泵水冷变频器安全结构。

背景技术

干式真空泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，干式真空泵主要应用于低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中、半导体刻蚀工艺、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺中。

现有技术的不足：

干式真空泵向着高速化、小型化和节能化方向发展，要求各个零部件均需要实现小型化、节能化，水冷变频器是其发展趋势，水冷变频器可以实现在泵体罩板内安装，但由于真空泵和水冷变频器自身内具有水冷结构，一旦发生水的泄露会造成变频器等电气设备的短路等不安全问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种干式真空泵水冷变频器安全结构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种干式真空泵水冷变频器安全结构，包括主板和水冷层，所述主板的上端面上设置有用于隔离强弱电的隐蔽层，所述隐蔽层远离主板一侧的侧面上设置有弱电区、排线区和接线区；

所述水冷层设置在主板的下端，所述水冷层包括有：

水冷散热器，所述水冷散热器设置在主板的下端面上，所述水冷散热器设置的内部设置有水冷通道；

进水管，所述进水管与水冷通道的进水口连接用于向水冷通道注入冷却水冷；

排水管，所述排水管与水冷通道的出水口连接用于排出经过水冷通道的水体进行循环冷却。

作为本发明的进一步改进，所述弱电区包括有；

电源模块，所述电源模块设置在隐蔽层的上端面上：

电源端子，所述电源端子设置在隐蔽层的上端面上并与电源模块连接；

通讯线引出口A，所述通讯线引出口A设置在隐蔽层上端面的一侧；

通讯线引出口B，所述通讯线引出口B设置在隐蔽层的上端面上远离通讯线引出口A一侧。

作为本发明的进一步改进，所述排线区包括有：

动力线端子RST，所述动力线端子RST设置在隐蔽层的上端面上，所述隐蔽层的上端面上在动力线端子RST的两侧设置有第一排线槽；

动力线输出端子UVW，所述动力线输出端子UVW设置在隐蔽层的上端面上，所述隐蔽层的上端面上在动力线输出端子UVW的两侧设置有第二排线槽；

动力线引线出口A，所述动力线引线出口A设置在第一排线槽和第二排线槽的一侧；

动力线引线出口B，所述动力线引线出口B设置在第一排线槽和第二排线槽的另一侧，所述动力线引线出口A和动力线引线出口B对称设置。

作为本发明的进一步改进，所述隐蔽层的上端面上设置有端盖，所述隐蔽层和端盖之间设置有与通讯线引出口A、通讯线引出口B、动力线引线出口A和动力线引线出口B相匹配的通孔，所述隐蔽层和端盖之间通孔内部设置有密封组件。

作为本发明的进一步改进，所述隐蔽层的上端面上在通讯线引出口A和通讯线引出口B处均设置有用于固定通讯线的通讯线固定结构。

作为本发明的进一步改进，所述第一排线槽和第二排线槽的内部均设置有用于固定走线的动力线固定结构。

作为本发明的进一步改进，所述密封组件包括有橡胶圈和可拆卸填充物。

作为本发明的进一步改进，所述电源模块包括有RS485通讯和24V1A电源。

作为本发明的进一步改进，所述电源端子为24V1.5A电源端子。

作为本发明的进一步改进，所述主板与水冷散热器之间、主板与隐蔽层之间和隐蔽层与端盖之间均设置有密封胶。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、本发明中设置有水冷层，水冷层包括有水冷散热器、进水管和排水管，冷散热器可以有效减少半导体工厂内的空间热负荷，起到了节能减排的作用，增加同一功率下，水冷变频器降低70%空间热辐射，通过水冷方式，客观上提高了变频器的耐量，可以达到使变频器中继电器元件提高耐温的20℃的效果；

2、本发明中设置有隐蔽层，主板和弱电区、排线区以及接线区等分别位于隐蔽层两侧，通过隐蔽层实现主板和弱电区的分离，起到了强弱电隔离效果，保证变频器的电气安全性；

3、本发明中在隐蔽层的上端面上在动力线端子RST的两侧安装有第一排线槽，隐蔽层的上端面上在动力线输出端子UVW1的两侧安装有第二排线槽，第一排线槽和第二排线槽的两侧分别设置动力线引线出口A和动力线引线出口B，动力线引线出口A和动力线引线出口B对称分布，可以实现动力线端子RST和动力线输出端子UVW的双向出线，适应性更强，满足双向出线的要求；

4、本发明中在隐蔽层和端盖之间通孔内部安装有密封组件，通过密封组件的作用，既保证防水、防尘、防主板静电，也防止线缆损伤，提高了电气安全性。

附图说明

图1为本发明一种干式真空泵水冷变频器安全结构立体图；

图2为本发明一种干式真空泵水冷变频器安全结构仰视立体图；

图3为本发明一种干式真空泵水冷变频器安全结构仰视平面图；

图4为本发明一种干式真空泵水冷变频器安全结构隐蔽层立体图；

图5为本发明一种干式真空泵水冷变频器安全结构的隐蔽层俯视图。

图中：1、主板；2、水冷层；21、水冷散热器；22、水冷通道；23、进水管；24、排水管；3、隐蔽层；4、电源模块；5、电源端子；6、通讯线引出口A；7、通讯线引出口B；8、动力线端子RST；9、第一排线槽；10、动力线输出端子UVW；11、第二排线槽；12、动力线引线出口A；13、动力线引线出口B；14、端盖；15、密封组件；16、通讯线固定结构；17、动力线固定结构。

具体实施方式

为了使本发明所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

需要说明的是，当元件被称为“固定”、“安装”、“连接”或“设置”有另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上的。需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有说明 书特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

作为本发明的进一步改进，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。

请参阅图1-5，本发明提供一种技术方案：一种干式真空泵水冷变频器安全结构，包括主板1和水冷层2，主板1的上端面上安装有用于隔离强弱电的隐蔽层3，隐蔽层3远离主板1一侧的侧面上分布有弱电区、排线区和接线区，水冷层2安装在主板1的下端，水冷层2包括有水冷散热器21、进水管23和排水管24，水冷散热器21安装在主板1的下端面上，水冷散热器21设置的内部开设有水冷通道22，进水管23与水冷通道22的进水口连接用于向水冷通道22注入冷却水冷，排水管24与水冷通道22的出水口连接用于排出经过水冷通道22的水体进行循环冷却，使用时，通过进水管23向水冷通道22注入冷却水体，经过水冷散热器21再从排水管24排出，水冷散热器21可以有效减少半导体工厂内的空间热负荷，起到了节能减排的作用，增加同一功率下，水冷变频器降低70%空间热辐射，通过水冷方式，客观上提高了变频器的耐量，可以达到使变频器中继电器元件提高耐温的20℃的效果。

在本发明的一些实施例中，弱电区包括有电源模块4、电源端子5、通讯线引出口A6和通讯线引出口B7，电源模块4安装在隐蔽层3的上端面上，电源模块4包括有RS485通讯和24V1A电源，电源端子5安装在隐蔽层3的上端面上并与电源模块4连接，电源端子5为24V1.5A电源端子，通讯线引出口A6安装在隐蔽层3上端面的一侧，通讯线引出口B7安装在隐蔽层3的上端面上远离通讯线引出口A6一侧，通过隐蔽层3实现主板1和弱电区的分离，起到了强弱电隔离效果，保证变频器的电气安全性。

在本发明的一些实施例中，排线区包括有动力线端子RST8、动力线输出端子UVW10、动力线引线出口A12和动力线引线出口B13，动力线端子RST8安装在隐蔽层3的上端面上，隐蔽层3的上端面上在动力线端子RST8的两侧安装有第一排线槽9，动力线输出端子UVW10安装在隐蔽层3的上端面上，隐蔽层3的上端面上在动力线输出端子UVW10的两侧安装有第二排线槽11，动力线引线出口A12位于在第一排线槽9和第二排线槽11的一侧，动力线引线出口B13位于在第一排线槽9和第二排线槽11的另一侧，动力线引线出口A12和动力线引线出口B13对称分布，通过设置了第一排线槽9和第二排线槽11，第一排线槽9和第二排线槽11可以实现动力线端子RST8和动力线输出端子UVW10的双向出线，适应性更强，满足双向出线的要求。

在本发明的一些实施例中，隐蔽层3的上端面上卡接有端盖14，隐蔽层3和端盖14之间形成有与通讯线引出口A6、通讯线引出口B7、动力线引线出口A12和动力线引线出口B13相匹配的通孔，隐蔽层3和端盖14之间通孔内部安装有密封组件15，通过密封组件15的作用，既保证防水、防尘、防主板1静电，也防止线缆损伤，提高了电气安全性。

在本发明的一些实施例中，隐蔽层3的上端面上在通讯线引出口A6和通讯线引出口B7处均安装有用于固定通讯线的通讯线固定结构16，便于通讯线与通讯线引出口A6和通讯线引出口B7线路连接的稳定性。

在本发明的一些实施例中，第一排线槽9和第二排线槽11的内部均安装有用于固定走线的动力线固定结构17，加强动力线安装规范能力和防水、防尘等电气安全性。

在本发明的一些实施例中，密封组件15包括有橡胶圈和可拆卸填充物，通过橡胶圈可以与出线紧密接触，提高密封效果，同时通过可拆卸填充物的作用，根据是否出线进行堵塞密封，进一步提高了防尘防水效果。

在本发明的一些实施例中，主板1与水冷散热器21之间、主板1与隐蔽层3之间和隐蔽层3与端盖14之间均填充有密封胶，进一步增加密封效果。

本发明设置了水冷层2，使用时，通过进水管23向水冷通道22注入冷却水体，经过水冷散热器21再从排水管24排出，水冷散热器21可以有效减少半导体工厂内的空间热负荷，起到了节能减排的作用，增加同一功率下，水冷变频器降低70%空间热辐射，通过水冷方式，客观上提高了变频器的耐量，可以达到使变频器中继电器元件提高耐温的20℃的效果，同时通过隐蔽层3实现主板1和弱电区的分离，起到了强弱电隔离效果，保证变频器的电气安全性，第一排线槽9和第二排线槽11可以实现动力线端子RST8和动力线输出端子UVW10的双向出线，适应性更强，满足双向出线的要求，并且隐蔽层3和端盖14之间通孔内部安装有密封组件15，通过密封组件15的作用，既保证防水、防尘、防主板1静电，也防止线缆损伤，提高了电气安全性，本发明确保了变频器的电气安全，实现真空泵的小型化，水冷变频器底部的水冷散热器21可以有效减少半导体工厂内的空间热负荷，起到了节能减排的作用，增加同一功率下，水冷变频器降低70%空间热辐射，通过水冷方式，客观上提高了变频器的耐量，可以达到使变频器中继电器元件提高耐温的20℃的效果，水冷变频器通过线缆和开孔之间的橡胶圈进行了防水，端盖14可以防止意外的泵内漏水飞溅。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种干式真空泵水冷变频器安全结构，包括主板（1）和水冷层（2），其特征在于：所述主板（1）的上端面上设置有用于隔离强弱电的隐蔽层（3），所述隐蔽层（3）远离主板（1）一侧的侧面上设置有弱电区、排线区和接线区；

所述水冷层（2）设置在主板（1）的下端，所述水冷层（2）包括有：

水冷散热器（21），所述水冷散热器（21）设置在主板（1）的下端面上，所述水冷散热器（21）设置的内部设置有水冷通道（22）；

进水管（23），所述进水管（23）与水冷通道（22）的进水口连接用于向水冷通道（22）注入冷却水冷；

排水管（24），所述排水管（24）与水冷通道（22）的出水口连接用于排出经过水冷通道（22）的水体进行循环冷却。

2.根据权利要求1所述的干式真空泵水冷变频器安全结构，其特征在于：所述弱电区包括有；

电源模块（4），所述电源模块（4）设置在隐蔽层（3）的上端面上：

电源端子（5），所述电源端子（5）设置在隐蔽层（3）的上端面上并与电源模块（4）连接；

通讯线引出口A（6），所述通讯线引出口A（6）设置在隐蔽层（3）上端面的一侧；

通讯线引出口B（7），所述通讯线引出口B（7）设置在隐蔽层（3）的上端面上远离通讯线引出口A（6）一侧。

3.根据权利要求1所述的干式真空泵水冷变频器安全结构，其特征在于：所述排线区包括有：

动力线端子RST（8），所述动力线端子RST（8）设置在隐蔽层（3）的上端面上，所述隐蔽层（3）的上端面上在动力线端子RST（8）的两侧设置有第一排线槽（9）；

动力线输出端子UVW（10），所述动力线输出端子UVW（10）设置在隐蔽层（3）的上端面上，所述隐蔽层（3）的上端面上在动力线输出端子UVW（10）的两侧设置有第二排线槽（11）；

动力线引线出口A（12），所述动力线引线出口A（12）设置在第一排线槽（9）和第二排线槽（11）的一侧；

动力线引线出口B（13），所述动力线引线出口B（13）设置在第一排线槽（9）和第二排线槽（11）的另一侧，所述动力线引线出口A（12）和动力线引线出口B（13）对称设置。

4.根据权利要求2和3所述的干式真空泵水冷变频器安全结构，其特征在于：所述隐蔽层（3）的上端面上设置有端盖（14），所述隐蔽层（3）和端盖（14）之间设置有与通讯线引出口A（6）、通讯线引出口B（7）、动力线引线出口A（12）和动力线引线出口B（13）相匹配的通孔，所述隐蔽层（3）和端盖（14）之间通孔内部设置有密封组件（15）。

5.根据权利要求2所述的干式真空泵水冷变频器安全结构，其特征在于：所述隐蔽层（3）的上端面上在通讯线引出口A（6）和通讯线引出口B（7）处均设置有用于固定通讯线的通讯线固定结构（16）。

6.根据权利要求3所述的干式真空泵水冷变频器安全结构，其特征在于：所述第一排线槽（9）和第二排线槽（11）的内部均设置有用于固定走线的动力线固定结构（17）。

7.根据权利要求4所述的干式真空泵水冷变频器安全结构，其特征在于：所述密封组件（15）包括有橡胶圈和可拆卸填充物。

8.根据权利要求2所述的干式真空泵水冷变频器安全结构，其特征在于：所述电源模块（4）包括有RS485通讯和24V1A电源。

9.根据权利要求2所述的干式真空泵水冷变频器安全结构，其特征在于：所述电源端子（5）为24V1.5A电源端子。

10.根据权利要求4所述的干式真空泵水冷变频器安全结构，其特征在于：所述主板（1）与水冷散热器（21）之间、主板（1）与隐蔽层（3）之间和隐蔽层（3）与端盖（14）之间均设置有密封胶。

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