CN115985808A - 基板处理设备和用于使用其来验证流量计的错误的方法 - Google Patents

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Abstract

本发明构思提供了一种基板处理设备，包括：外壳，具有用于处理基板的处理空间；支撑单元，配置为在处理空间处支撑基板；喷嘴，用于向放置在支撑单元上的基板供应液体；液体供应单元，配置为将液体供应到喷嘴并且具有流量计；和流速测量单元，配置为验证流量计的错误；和控制器，用于控制液体供应单元和流速测量单元，流速测量单元包括：杯，用于容纳液体；测量装置，配置为验证容纳在杯中液体的液位；排出管线，用于排出杯内的液体且在排出管线上安装有排出阀，控制器控制液体供应单元以在所述排出阀闭合的状态下在第一时间内将第一量的液体排出到杯，且控制测量装置以通过确定容纳在杯中的液体的液位是否为第一量来确定流量计中是否发生了错误。

Description

基板处理设备和用于使用其来验证流量计的错误的方法
技术领域
在本文中描述的本发明构思的实施例涉及具有用于在基板上供应液体的液体供应单元的基板处理设备以及使用该基板处理设备的流量计错误验证方法。
背景技术
半导体制造过程包括通过将液体供应到基板上来处理基板的液体处理过程。当使用液体来处理基板时，必须根据每个过程的配方以固定量喷洒液体。为此，在将液体供应到基板的液体供应单元中设置用于测量液体的流速的流量计。
然而，如果流量计中发生错误，则存在以下问题：即使流量计被设置为供应固定量，也不会向基板供应预设量。
为了解决这个问题，操作员目视检查从流量计排出的液体的流速，但难以检查固定量，花费大量时间来测量流速，并且难以自动存储数据。
为了解决这个问题，通过测量液体的重量来计算排出液体的流速，但反映液体特性的计算工作是必要的，这花费时间和成本以供操作员安装用于测量液体重量的装备。
发明内容
本发明构思的实施例提供了基板处理设备和使用该基板处理设备以用于准确地测量流量计的错误的流量计错误验证方法。
本发明构思的技术目的不限于上述目的，并且根据以下描述，其他未提及的技术目的对于本领域技术人员而言将变得显而易见。
本发明构思提供了一种基板处理设备。所述基板处理设备包括：外壳，所述外壳具有处理空间，该处理空间用于在其中处理基板；支撑单元，所述支撑单元被配置为在所述处理空间处支撑所述基板；喷嘴，所述喷嘴用于向放置在所述支撑单元上的基板供应液体；液体供应单元，所述液体供应单元被配置为将所述液体供应到所述喷嘴并且具有流量计；以及流速测量单元，所述流速测量单元被配置为验证所述流量计的错误；以及控制器，所述控制器用于控制所述液体供应单元和所述流速测量单元，并且其中所述流速测量单元包括：杯，所述杯用于容纳所述液体；测量装置，所述测量装置被配置为验证容纳在所述杯中的所述液体的液位；以及排出管线，所述排出管线用于排出在所述杯内的所述液体并且在该排出管线上安装有排出阀，并且其中所述控制器控制所述液体供应单元以便在所述排出阀闭合的状态下在第一时间内将第一量的液体排出到所述杯，并且控制所述测量装置以通过确定容纳在所述杯中的所述液体的所述液位是否为所述第一量来确定所述流量计中是否发生了错误。
在一个实施例中，所述测量装置包括：辅助容器，所述辅助容器被设置成在所述杯的一侧与所述杯的内部空间连通；以及液位传感器，所述液位传感器设置在所述辅助容器中并且用于检测容纳在所述杯中的所述液体的所述液位。
在一个实施例中，所述测量装置包括液位传感器，该液位传感器设置在所述杯上方，以将光照射到容纳在所述杯处的所述液体的表面以检测所述液体的所述液位。
在一个实施例中，所述测量装置包括液位传感器，所述液位传感器被插入到所述杯的一侧中并且用于检测容纳在所述杯中的所述液体的所述液位。
在一个实施例中，所述测量装置包括：第一管，所述第一管在第一高度处与所述杯连通；第二管，所述第二管在高于所述第一高度的第二高度处与所述杯连通；以及第三管，所述第三管与所述第一管和所述第二管连通；以及液位传感器，所述液位传感器设置在所述第三管内并且用于检测容纳在所述第三管中的所述液体的所述液位。
在一个实施例中，所述控制器还包括警报单元，所述警报单元用于在确定所述流量计中发生了错误的情况下生成警报。
在一个实施例中，流速测量单元设置在外壳内。
本发明构思提供了一种基板处理设备。所述基板处理设备包括：外壳，所述外壳具有处理空间，该处理空间用于在其中处理基板；支撑单元，所述支撑单元被配置为在所述处理空间处支撑所述基板；喷嘴，所述喷嘴用于向放置在所述支撑单元上的基板供应液体；液体供应单元，所述液体供应单元被配置为将所述液体供应到所述喷嘴并且具有流量计；以及流速测量单元，所述流速测量单元被配置为验证所述流量计的错误；以及控制器，所述控制器用于控制所述液体供应单元和所述流速测量单元，并且其中所述流速测量单元包括：杯，所述杯用于容纳所述液体；测量装置，所述测量装置被配置为验证容纳在所述杯中的所述液体的液位；以及排出管线，所述排出管线用于排出所述杯内的所述液体并且在所述排出管线上安装有排出阀，并且其中所述控制器控制所述液体供应单元以便在所述排出阀闭合的状态下在第一时间内将第一量的液体排出到所述杯，并且通过对所述第一时间与所述测量装置所检测的容纳在所述杯中的所述液体的所述液位达到所述第一量的时间进行比较来确定所述流量计中是否发生了错误。
在一个实施例中，所述测量装置包括：辅助容器，所述辅助容器被设置成在所述杯的一侧与所述杯的内部空间连通；以及液位传感器，所述液位传感器设置在所述辅助容器中并且用于检测容纳在所述杯中的所述液体的所述液位。
在一个实施例中，所述测量装置包括液位传感器，该液位传感器设置在所述杯上方，以将光照射到容纳在所述杯处的所述液体的表面以检测所述液体的所述液位。
在一个实施例中，所述测量装置包括液位传感器，所述液位传感器被插入到所述杯的一侧中并且用于检测容纳在所述杯中的所述液体的所述液位。
在一个实施例中，所述测量装置包括：第一管，所述第一管在第一高度处与所述杯连通；第二管，所述第二管在高于所述第一高度的第二高度处与所述杯连通；以及第三管，所述第三管与所述第一管和所述第二管连通；以及液位传感器，所述液位传感器设置在所述第三管内并且用于检测容纳在所述第三管中的所述液体的所述液位。
在一个实施例中，所述控制器还包括警报单元，所述警报单元用于在确定所述流量计中发生了错误的情况下生成警报。
在一个实施例中，流速测量单元设置在外壳内。
本发明构思提供了一种用于使用流速测量单元来验证设置在液体供应单元处的流量计的错误的方法。所述流速测量单元包括：杯，所述杯用于容纳液体；测量装置，所述测量装置被配置为验证容纳在所述杯中的所述液体的液位；以及排出管线，所述排出管线用于排出所述杯内的所述液体并且在所述排出管线上安装有排出阀，并且其中用于验证所述流量计的所述错误的所述方法包括：设置所述流量计的流速；以及通过在所述排出阀闭合的状态下由所述液体供应单元在第一时间内将第一量的液体排出到所述杯并且通过由所述测量装置检测所述液体的所述液位来验证所述流量计的错误。
在一个实施例中，所述设置所述流量计的流速包括首先通过在所述排出阀闭合的状态下将已经实际测量的所述第一量的液体放入所述杯中来设置所述测量装置的设置位置。
在一个实施例中，用于验证流量计的错误的所述方法还包括基于确定在首先设置所述设置位置并且在所述排出阀闭合的所述状态下由液体供应单元在所述第一时间内将所述第一量的液体排出到所述杯之后由所述测量装置测量的所述液体的所述液位是否对应于所述第一量，来调整所述流量计的流速。
在一个实施例中，所述验证所述流量计的错误包括由所述测量装置确定容纳在所述杯中的所述液体的所述液位是否为所述第一量。
在一个实施例中，所述检测流量计的错误包括由所述测量装置对所述第一时间与容纳在杯所述中的所述液体的所述液位达到所述第一量的时间进行比较。
在一个实施例中，检测所述流量计的错误包括在确定所述流量计中发生了错误的情况下生成警报。
根据本发明构思的实施例，可以准确地测量流量计的错误。
本发明构思的效果不限于上述效果，并且根据以下描述，其他未提及的效果对于本领域技术人员而言将变得显而易见。
附图说明
根据以下参考附图的描述，上述和其他目的和特征将变得显而易见，其中，除非另有说明，否则相同附图标记在各个附图中是指相同部分，并且其中：
图1示意性地示出了根据本发明构思的实施例的基板处理设备。
图2示出了根据本发明构思的实施例的流速测量单元。
图3至图5各自示出了根据本发明构思的另一个实施例的测量装置。
图6示出了根据本发明构思的实施例的流量计错误验证方法的流程图。
图7至图11依次示出了本发明构思的流量计错误验证方法。
具体实施方式
本发明构思可以不同地修改且可以具有各种形式，并且将在附图中示出并详细地描述本发明构思的具体实施例。然而，根据本发明构思的实施例不旨在限制具体公开的形式，并且应当理解，本发明构思包括本发明构思的精神和技术范围中所包括的所有变形、等效物和替换。在本发明构思的描述中，当可能使本发明构思的本质不清楚时，可以省略对相关公知技术的详细描述。
本文中使用的术语仅是为了描述特定实施例的目的，而不意图限制本发明构思。如这里所使用，未指明数量时和表述“该”也旨在包括复数形式，除非上下文清楚地指出。还应理解，当在本说明书中使用时，术语“包括(comprise)”和/或“包括(comprising)”指定所陈述的特征、整体、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一个或多个其他特征、整体、步骤、操作、元件、部件和/或其组合的存在或添加。如本文所使用，术语“和/或”包括相关联的所列项目中的一项或多项的任意和所有组合。此外，术语“示例性”旨在指代示例或说明。
应当理解，尽管在本文中术语“第一”、“第二”、“第三”等可以用于描述各种元件、部件、区域、层和/或区段，但这些元件、部件、区域、层和/或区段应不受这些术语限制。这些术语仅用于将一个元件、部件、区域、层或区段与另一个区域、层或区段区分开来。因此，在不脱离本发明构思的教导的情况下，可以将下面讨论的第一元件、第一部件、第一区域、第一层或第一区段称为第二元件、第二部件、第二区域、第二层或第二区段。
在下文中，将参考附图对本发明构思的实施例进行详细描述。
在下文中，将描述用于使用液体对基板W进行液体处理的基板处理设备的实施例。图1是示出基板处理设备的一个实施例的截面图。参考图1，基板处理设备具有外壳310、支撑单元300、喷嘴380、液体供应单元100和流速测量单元200。
外壳310提供执行基板处理过程的空间。支撑单元300设置在外壳310中。支撑单元300在过程期间支撑基板。在一个实施例中，支撑单元300在过程期间支撑基板并旋转基板。在一个实施例中，支撑单元300具有当从上方观察时通常被设置为圆形的顶表面。
喷嘴380在基板处理过程期间向基板W供应液体。可以设置一个或多个喷嘴380。液体供应单元100将液体供应到喷嘴380。例如，液体可以是诸如氢氟酸、硫酸、硝酸、磷酸等的酸性溶液，或者可以是诸如包含氢氧化钾、氢氧化钠、铵等的碱性溶液的化学溶液。选择性地，液体可以是有机溶剂诸如异丙醇或纯水。此外，液体可以是光敏液体，诸如光致抗蚀剂液体。液体的类型不限于此。在一个实施例中，喷嘴380被设置为可移动的。在一个实施例中，当从上方观察时，喷嘴380被设置成能够在与放置在支撑单元300上的基板W对应的位置和与稍后将描述的杯210对应的位置之间移动。
液体供应单元100包括液体供应源110、供应管线120、供应阀140和流量计160。
液体供应源110存储液体。供应管线120将存储在液体供应源110中的液体供应到喷嘴380。供应阀140控制通过供应管线120供应到喷嘴380的液体是否被供应。流量计160调整供应到喷嘴380的液体的流速。在一个实施例中，流量计160在预定时间内将用户输入的流速供应到喷嘴380。
流速测量单元200验证流量计160的错误。流速测量单元200包括杯210、测量装置230、排出管线和排出阀242。液体被容纳在杯210中。在一个实施例中，杯210接收从喷嘴供应的液体。测量装置230检测包含在杯210中的液体的液位。排出管线240设置有排出阀242。排出阀242控制包含在杯210中的液体是否被排出。
图2示出了根据本发明构思的实施例的流速测量单元200的状态。参考图2，测量装置230包括辅助容器220和液位传感器230a。辅助容器220被设置成在杯210的一侧与杯210的内部空间连通。因此，如果容纳在杯210中的液体达到预定液位，则液体也被容纳在辅助容器220中。液位传感器230a设置在辅助容器220中。在一个实施例中，液位传感器230a可以与液体接触以检测液体的液位。在一个实施例中，液位传感器230a可以实时地将测量数据传输到诸如控制器的装置。例如，液位传感器230a可以向诸如控制器的装置传输诸如液体的测量液位以及从排出液体的时间直到其到达预定液位的时间的数据。
图3至图5分别示出了根据本发明构思的另一个实施例的测量装置230的状态。
参考图3，测量装置230包括设置在杯210上方的液位传感器230b。液位传感器230b通过向容纳在杯210中的液体的表面照射光来检测液体的液位。也就是说，液位传感器230b可以在不接触液体的情况下以非接触方式测量液体的液位。在一个实施例中，液位传感器230b可以安装在固定到外壳310的支撑构件231上。
参考图4，测量装置230包括安装在杯210上的液位传感器230c。在一个示例中，测量装置230可以包括液位传感器230c，该液位传感器被插入到杯210的一侧中并且检测包含在杯(210)中的液体的液位。在一个示例中，液位传感器230c安装在固定到杯210的支撑构件232上。液位传感器230c可以与液体接触以检测液体的液位。
参考图5，测量装置230包括第一管252、第二管256、第三管254和液位传感器230d。第一管252在第一高度与杯210连通。第二管256在高于第一高度的第二高度与杯210连通。第三管254与第一管252和第二管256连通。第三管254垂直于第一管252和第二管256设置。如果容纳在杯210中的液体超过预定液位，则液体通过第一孔212逸出到第一管252。由于第二管256使液体通过第二孔214返回到杯210，因此液体的液位保持恒定。液位传感器230d设置在第三管254中以检测容纳在第三管254中的液体的液位。液位传感器230d可以与液体接触以检测液体的液位。
在一个实施例中，如果控制器确定流量计160中存在错误，则还可以包括用于生成警报的警报单元(未示出)。
在下文中，将参考图6至图11描述本发明构思的流量计160的错误验证方法。控制器可以控制基板处理设备以执行本发明构思的流量计160的错误验证方法。在下文中，将描述测量装置230被设置到辅助容器220和液位传感器230a。然而，相比之下，可以使用上述测量装置230的另一个实施例。
图6示出了根据本发明构思的流量计160的错误验证方法的流程图。参考图6，本发明构思的流量计160的错误验证方法包括流速设置步骤S10和错误验证步骤S20。在流速设置步骤S10中，设置流量计160的流速。流速设置步骤S10包括第一设置步骤S11和第二设置步骤S12。
在第一设置步骤S11中，设置测量装置230的设置位置。例如，在第一设置步骤S11中，确定液位传感器230a的设置位置。图7至图8示出了第一设置步骤S11。假设要供应到基板的液体的量是第一量A。首先，将液体放置在诸如烧杯700的测量装置中以测量液体是否为第一量A。此后，如图8所示，将在排出阀242被锁定时测量的第一量A的液体放置在杯210中以设置测量装置230的设置位置。例如，如果第一量A的液体放置在杯210中，则液位传感器230a的安装位置被设置成使得当辅助容器填充有液体时，液体可以接触液位传感器230a。如果液位传感器230a的安装完成，如图9所示，则打开排出阀242以排空杯210。
在第一设置步骤S11之后，执行第二设置步骤S12。在第二设置步骤S12中，如图10所示，在排出阀242被锁定时液体供应单元100在第一时间内将第一量A的液体排出到杯210。在第一设置步骤S11中，确定由液位传感器230a在设定位置测量的液体液位是否对应于第一量A，并基于此来调整流量计160的流速。如果由液位传感器230a测量的流速与第一设置步骤S11的流速不同，则如图10所示，则调整流量计160的流速。
在第二设置步骤S12之后，执行错误验证步骤S20。在错误验证步骤S20中，确定在流量计160中是否存在错误。在流速设置步骤S10中，确认在第一时间内通过流量计160供应的液体的流速是否对应于第一量A，但由于重复使用等在流量计160中可能出现错误。
因此，如图11所示，在排出阀242被锁定时液体供应单元100在第一时间内将第一量A的液体排出到杯210，但测量装置230确定容纳在杯210中的液体的液位是否为第一量A。
另选地，在排出阀242被锁定时液体供应单元100在第一时间内将第一量A的液体排出到杯210，但将第一时间与测量装置230检测到包含在杯210中的液体的液位已经达到第一量A的时间进行比较以检测流量计160中是否发生错误。
在一个实施例中，如果控制器确定在流量计160中存在错误，则警报单元生成警报。
根据本发明构思，为了验证流量计160的错误，将直到预设量的液体达到杯210中的预设液位的时间、液体的高度等实时传输到控制器以验证流量计160的错误并且存储日志数据。因此，具有以下优点：可以知道流量计160中是否发生了错误，并且可以确定在哪点流量计160中发生了错误。
此外，根据本发明构思，流速测量单元200设置在外壳310中以验证流量计160中的错误，使得操作者不需要打开外壳310来测量流速，由此确保工人的安全并降低外来物质进入外壳310的风险。
本发明构思的效果不限于上述效果，并且未提及的效果可以根据本说明书和附图而被本发明构思所涉及的领域的技术人员清楚地理解。
尽管直到现在一直在示出和描述本发明构思的优选实施例，但本发明构思不限于上述具体实施例，并且应注意，在不脱离权利要求书中要求的本发明构思的本质的情况下，本发明构思所涉及领域的普通技术人员可以不同地执行本发明构思，并且不应与本发明构思的技术精神或前景分开解释修改。

Claims (20)

1.一种基板处理设备，包括：
外壳，所述外壳具有处理空间，所述处理空间用于在其中处理基板；
支撑单元，所述支撑单元被配置为在所述处理空间处支撑所述基板；
喷嘴，所述喷嘴用于向放置在所述支撑单元上的基板供应液体；
液体供应单元，所述液体供应单元被配置为将所述液体供应到所述喷嘴并且具有流量计；以及
流速测量单元，所述流速测量单元被配置为验证所述流量计的错误；以及
控制器，所述控制器用于控制所述液体供应单元和所述流速测量单元，并且
其中所述流速测量单元包括：
杯，所述杯用于容纳所述液体；
测量装置，所述测量装置被配置为验证容纳在所述杯中的所述液体的液位；以及
排出管线，所述排出管线用于排出在所述杯内的所述液体并且在所述排出管线上安装有排出阀，并且
其中所述控制器控制所述液体供应单元以便在所述排出阀闭合的状态下在第一时间内将第一量的液体排出到所述杯，并且
控制所述测量装置以通过确定容纳在所述杯中的所述液体的所述液位是否为所述第一量来确定所述流量计中是否发生了错误。
2.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中所述测量装置包括：
辅助容器，所述辅助容器被设置成在所述杯的一侧与所述杯的内部空间连通；以及
液位传感器，所述液位传感器设置在所述辅助容器中并且用于检测容纳在所述杯中的所述液体的所述液位。
3.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中所述测量装置包括液位传感器，所述液位传感器设置在所述杯上方以便将光照射到容纳在所述杯处的所述液体的表面以检测所述液体的所述液位。
4.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中所述测量装置包括液位传感器，所述液位传感器被插入到所述杯的一侧中并且用于检测容纳在所述杯中的所述液体的所述液位。
5.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中所述测量装置包括：
第一管，所述第一管在第一高度处与所述杯连通；
第二管，所述第二管在高于所述第一高度的第二高度处与所述杯连通；以及
第三管，所述第三管与所述第一管和所述第二管连通；以及
液位传感器，所述液位传感器设置在所述第三管内并且用于检测容纳在所述第三管中的所述液体的所述液位。
6.根据权利要求1所述的基板处理设备，其中所述控制器还包括警报单元，所述警报单元用于在确定所述流量计中发生了错误的情况下生成警报。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的基板处理设备，其中所述流速测量单元设置在所述外壳内。
8.一种基板处理设备，包括：
外壳，所述外壳具有处理空间，所述处理空间用于在其中处理基板；
支撑单元，所述支撑单元被配置为在所述处理空间处支撑所述基板；
喷嘴，所述喷嘴用于向放置在所述支撑单元上的基板供应液体；
液体供应单元，所述液体供应单元被配置为将所述液体供应到所述喷嘴并且具有流量计；以及
流速测量单元，所述流速测量单元被配置为验证所述流量计的错误；以及
控制器，所述控制器用于控制所述液体供应单元和所述流速测量单元，并且
其中所述流速测量单元包括：
杯，所述杯用于容纳所述液体；
测量装置，所述测量装置被配置为验证容纳在所述杯中的所述液体的液位；以及
排出管线，所述排出管线用于排出所述杯内的所述液体并且在所述排出管线上安装有排出阀，并且
其中所述控制器控制所述液体供应单元以便在所述排出阀闭合的状态下在第一时间内将第一量的液体排出到所述杯，并且
通过对所述第一时间与所述测量装置所检测的容纳在所述杯中的所述液体的所述液位达到所述第一量的时间进行比较来确定所述流量计中是否发生了错误。
9.根据权利要求8所述的基板处理设备，其中所述测量装置包括：
辅助容器，所述辅助容器被设置成在所述杯的一侧与所述杯的内部空间连通；以及
液位传感器，所述液位传感器设置在所述辅助容器中并且用于检测容纳在所述杯中的所述液体的所述液位。
10.根据权利要求8所述的基板处理设备，其中所述测量装置包括液位传感器，所述液位传感器设置在所述杯上方以便将光照射到容纳在所述杯处的所述液体的表面以检测所述液体的所述液位。
11.根据权利要求8所述的基板处理设备，其中所述测量装置包括液位传感器，所述液位传感器被插入到所述杯的一侧中并且用于检测容纳在所述杯中的所述液体的所述液位。
12.根据权利要求8所述的基板支撑单元，其中所述测量装置包括：
第一管，所述第一管在第一高度处与所述杯连通；
第二管，所述第二管在高于所述第一高度的第二高度处与所述杯连通；以及
第三管，所述第三管与所述第一管和所述第二管连通；以及
液位传感器，所述液位传感器设置在所述第三管内并且用于检测容纳在所述第三管中的所述液体的所述液位。
13.根据权利要求8所述的基板处理设备，其中所述控制器还包括警报单元，所述警报单元用于在确定所述流量计中发生了错误的情况下生成警报。
14.根据权利要求8至13中任一项所述的基板处理设备，其中所述流速测量单元设置在所述外壳内。
15.一种用于使用流速测量单元来验证流量计的错误的方法，所述流量计设置在液体供应单元处，所述流速测量单元包括：
杯，所述杯用于容纳液体；
测量装置，所述测量装置被配置为验证容纳在所述杯中的所述液体的液位；以及
排出管线，所述排出管线用于排出所述杯内的所述液体并且在所述排出管线上安装有排出阀，并且
其中用于验证所述流量计的所述错误的所述方法包括：
设置所述流量计的流速；以及
通过在所述排出阀闭合的状态下由所述液体供应单元在第一时间内将第一量的液体排出到所述杯并且通过由所述测量装置检测所述液体的所述液位来验证所述流量计的错误。
16.根据权利要求15所述的用于验证流量计的错误的方法，其中所述设置所述流量计的流速包括首先通过在所述排出阀闭合的状态下将已经实际测量的所述第一量的液体放入所述杯中来设置所述测量装置的设置位置。
17.根据权利要求16所述的用于验证流量计的错误的方法，还包括基于确定在首先设置所述设置位置并且在所述排出阀闭合的所述状态下由液体供应单元在所述第一时间内将所述第一量的液体排出到所述杯之后由所述测量装置测量的所述液体的所述液位是否对应于所述第一量，来调整所述流量计的流速。
18.根据权利要求15所述的用于验证所述流量计的错误的方法，其中所述验证所述流量计的错误包括由所述测量装置确定容纳在所述杯中的所述液体的所述液位是否为所述第一量。
19.根据权利要求15所述的用于验证流量计的错误的方法，其中检测所述流量计的错误包括由所述测量装置对所述第一时间与容纳在杯所述中的所述液体的所述液位达到所述第一量的时间进行比较。
20.根据权利要求15所述的用于验证流量计的错误的方法，其中检测所述流量计的错误包括在确定所述流量计中发生了错误的情况下生成警报。
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