CN115910835A - 工件处理系统、距离测量装置及工件放置路径设定方法 - Google Patents

Abstract

一种由工件处理系统对工件实施的工件放置路径设定方法，所述工件处理系统包含承载座及机械手臂，且所述工件放置路径设定方法包含：获得对应所述承载座的第一位置，以及在所述工件被放置于所述承载座的情况下获得对应所述工件的第二位置；根据所述第一位置与所述第二位置之间的差异产生校正放置路径。其中，所述校正放置路径是用于控制所述机械手臂将待处理工件放置至所述承载座，而使得所述待处理工件的中心与所述承载座的中心之间的距离小于所述第一位置与所述第二位置之间的距离。所述校正放置路径能使所述机械手臂将待处理工件放置地与所述承载座更加对齐，所以能避免因所述待处理工件的放置位置偏差而对所述待处理工件的处理造成负面影响。

Description

工件处理系统、距离测量装置及工件放置路径设定方法

技术领域

本发明涉及一种处理系统，特别是涉及一种适用于工件的工件处理系统。本发明还有关于该工件处理系统所包含的一种距离测量装置，以及由该工件处理系统对工件实施的一种工件放置路径设定方法。

背景技术

许多加工产业会利用机械手臂来将工件(例如晶圆)放入各种处理设备(例如蚀刻设备)，以进行工件的加工或其他处理。而工件被放置在处理设备内的位置准确与否对处理成果而言至关重要，因此，如何确保工件能被准确地放置在处理设备中的正确位置，便成为一个值得探讨的议题。

发明内容

因此，本发明的其中一目的，便在于提供一种能够准确放置工件的工件处理系统。

本发明工件处理系统适用于处理工件，所述工件处理系统包含：工件处理设备，包括适用于承载所述工件的承载座、适用于固持并移动所述工件的机械手臂，以及处理单元；距离测量装置，与所述承载座位置相对应且与所述处理单元电连接；其中，所述处理单元用于根据由所述距离测量装置所产生的第一感测结果获得对应所述承载座的第一位置，并根据由所述距离测量装置在所述工件被放置于所述承载座的情况下所产生的第二感测结果获得对应所述工件的第二位置，其中，所述第一位置与所述第二位置之间的距离被作为偏移距离，并且，所述处理单元还用于至少根据所述第一位置与所述第二位置之间的差异产生对应所述机械手臂的校正放置路径，其中，所述校正放置路径是用于控制所述机械手臂将待处理工件放置至所述承载座，且使得所述待处理工件被所述机械手臂放置于所述承载座时的中心位置与所述承载座的中心位置之间的距离小于所述偏移距离。

在本发明工件处理系统的一些实施态样中，所述处理单元还与所述机械手臂电连接，并且，所述处理单元在根据所述第一感测结果获得所述第一位置后，是先根据初始放置路径控制所述机械手臂将所述工件放置至所述承载座，再根据所述距离测量装置在所述工件被以所述初始放置路径放置于所述承载座的情况下所产生的所述第二感测结果获得所述第二位置，并且，所述处理单元是根据所述第一位置与所述第二位置之间的差异调整所述初始放置路径，从而产生所述校正放置路径。

在本发明工件处理系统的一些实施态样中，所述距离测量装置包括多个距离感测器，且所述第一感测结果及所述第二感测结果各包含多个分别对应所述距离感测器的感测距离值，并且，所述处理单元是至少根据所述第一感测结果的所述感测距离值计算出对应所述承载座的所述第一位置，以及至少根据所述第二感测结果的所述感测距离值计算出对应所述工件的所述第二位置。

在本发明工件处理系统的一些实施态样中，所述承载座及所述工件各自呈圆盘状，且所述距离感测器是设置于所述承载座的周围；所述第一感测结果所包含的每一感测距离值，是代表该感测距离值所对应之该距离感测器与所述承载座之侧周面之间的距离；所述处理单元是先至少根据所述第一感测结果的所述感测距离值计算出多个分别对应所述感测距离值的第一圆周坐标，再根据所述第一圆周坐标计算出所述第一位置，且所述第一位置是代表所述承载座之圆形表面的圆心位置；所述第二感测结果所包含的每一感测距离值，是代表该感测距离值所对应之该距离感测器与所述工件之侧周面之间的距离；所述处理单元是先至少根据所述第二感测结果的所述感测距离值计算出多个分别对应所述感测距离值的第二圆周坐标，再根据所述第二圆周坐标计算出所述第二位置，且所述第二位置是代表所述工件之圆形表面的圆心位置。

在本发明工件处理系统的一些实施态样中，所述处理单元还适用于与用于供用户操作的输入单元电连接，并且，所述初始放置路径是由所述处理单元在接收到来自所述输入单元的初始放置坐标后，至少根据所述初始放置坐标所产生的。

在本发明工件处理系统的一些实施态样中，所述处理单元产生所述校正放置路径的方式，是至少根据所述第一位置与所述第二位置之间的差异产生对应所述机械手臂的测试放置路径，并根据所述测试放置路径执行测试程序，其中，所述测试程序包含：控制所述机械手臂以所述测试放置路径将所述工件放置至所述承载座，并判断所述工件被放置在该承载座上时的当前中心位置与所述承载座的中心位置之间的距离是否小于更小于该偏移距离的偏移门槛，若判断结果为是，将所述测试放置路径作为所述校正放置路径，若判断结果为否，以所述当前中心位置更新所述第二位置，并至少根据更新后的所述第二位置产生另一对应该机械手臂的测试放置路径，并根据另该测试放置路径再次执行所述测试程序。

本发明的另一目的，在于提供该工件处理系统所包含的一种距离测量装置。

本发明距离测量装置适用于被设置在工件处理设备，且所述工件处理设备包含用于承载工件的承载座；所述距离测量装置包含：本体，适用于设置在所述工件处理设备；多个距离感测器，设置于所述本体并各自朝向所述承载座，以使每一距离感测器能在所述承载座上未放置工件时测量其本身与所述承载座之间的距离，并在所述承载座上有放置所述工件时测量其本身与所述工件之间的距离。

在本发明距离测量装置的一些实施态样中，所述承载座呈圆盘状，且所述距离感测器相对于所述承载座呈扇形排列。

在本发明距离测量装置的一些实施态样中，所述距离感测器的数量为至少三个。

在本发明距离测量装置的一些实施态样中，所述工件处理设备还包含围绕所述承载座的围壁，以及位于所述承载座的其中一侧且用于将所述工件放置至所述承载座的机械手臂，并且，所述距离测量装置的本体是适用于设置在所述围壁上，并且位于所述承载座之相反于所述机械手臂的其中另一侧。

本发明的再一目的，在于提供由该工件处理系统所实施的一种工件放置路径设定方法。

本发明工件放置路径设定方法由工件处理系统对工件实施，其中，所述工件处理系统包含用于承载所述工件的承载座、与所述承载座位置相对应的距离测量装置、用于固持并移动所述工件的机械手臂，以及电连接所述距离测量装置的处理单元；所述工件放置路径设定方法包含：所述处理单元根据由所述距离测量装置所产生的第一感测结果获得对应所述承载座的第一位置，并根据由所述距离测量装置在所述工件被放置于所述承载座的情况下所产生的第二感测结果获得对应所述工件的第二位置，其中，所述第一位置与所述第二位置之间的距离被作为偏移距离；所述处理单元至少根据所述第一位置与所述第二位置之间的差异产生对应所述机械手臂的校正放置路径，其中，所述校正放置路径是用于控制所述机械手臂将待处理工件放置至所述承载座，且使得所述待处理工件被所述机械手臂放置于所述承载座时的中心位置与所述承载座的中心位置之间的距离小于所述偏移距离。

在本发明工件放置路径设定方法的一些实施态样中，所述处理单元还与所述机械手臂电连接，且所述处理单元在根据所述第一感测结果获得所述第一位置后，是先根据初始放置路径控制所述机械手臂将所述工件放置至所述承载座，再根据所述距离测量装置在所述工件被以所述初始放置路径放置于所述承载座的情况下所产生的所述第二感测结果获得所述第二位置，并且，所述处理单元是根据所述第一位置与所述第二位置之间的差异调整所述初始放置路径，从而产生所述校正放置路径。

在本发明工件放置路径设定方法的一些实施态样中，所述距离测量装置包括多个距离感测器，且所述第一感测结果及所述第二感测结果各包含多个分别对应所述距离感测器的感测距离值，并且，所述处理单元是至少根据所述第一感测结果的所述感测距离值计算出对应所述承载座的所述第一位置，以及至少根据所述第二感测结果的所述感测距离值计算出对应所述工件的所述第二位置。

在本发明工件放置路径设定方法的一些实施态样中，所述承载座及所述工件各自呈圆盘状，且所述距离感测器是设置于所述承载座的周围；所述第一感测结果所包含的每一感测距离值，是代表该感测距离值所对应之该距离感测器与所述承载座之侧周面之间的距离；所述处理单元是先至少根据所述第一感测结果的所述感测距离值计算出多个分别对应所述感测距离值的第一圆周坐标，再根据所述第一圆周坐标计算出所述第一位置，且所述第一位置是代表所述承载座之圆形表面的圆心位置；所述第二感测结果所包含的每一感测距离值，是代表该感测距离值所对应之该距离感测器与所述工件之侧周面之间的距离；所述处理单元是先至少根据所述第二感测结果的所述感测距离值计算出多个分别对应所述感测距离值的第二圆周坐标，再根据所述第二圆周坐标计算出所述第二位置，且所述第二位置是代表所述工件之圆形表面的圆心位置。

在本发明工件放置路径设定方法的一些实施态样中，所述处理单元还适用于与用于供用户操作的输入单元电连接，并且，所述初始放置路径是由所述处理单元在接收到来自所述输入单元的初始放置坐标后，至少根据所述初始放置坐标所产生的。

在本发明工件放置路径设定方法的一些实施态样中，所述处理单元产生所述校正放置路径的方式，是至少根据所述第一位置与所述第二位置之间的差异产生对应所述机械手臂的测试放置路径，并根据所述测试放置路径执行测试程序，其中，所述测试程序包含：控制所述机械手臂以所述测试放置路径将所述工件放置至所述承载座，并判断所述工件被放置在该承载座上时的当前中心位置与所述承载座的中心位置之间的距离是否小于更小于该偏移距离的偏移门槛，若判断结果为是，将所述测试放置路径作为所述校正放置路径，若判断结果为否，以所述当前中心位置更新所述第二位置，并至少根据更新后的所述第二位置产生另一对应该机械手臂的测试放置路径，并根据另该测试放置路径再次执行所述测试程序。

本发明的有益效果在于：借由获得对应该承载座的该第一位置，以及该工件在该承载座上时对应该工件的该第二位置，该工件处理系统能根据该工件在该承载座上时与承载座之间的相对位置关系而产生该校正放置路径，且该校正放置路径能使该机械手臂将待处理工件放置地与该承载座更加对齐，所以能避免因该待处理工件的放置位置偏差而对该待处理工件的处理造成负面影响。

附图说明

本发明之其他的特征及功效，将于参照附图的实施方式中清楚地呈现，其中：

图1是一方块示意图，示例性地示出本发明工件处理系统的一实施例、一适合应用于该实施例的工件，以及一适于与该实施例配合的输入单元；

图2为一俯视示意图，示例性地绘示该实施例所包含的一工件处理设备及一距离测量装置；

图3为一俯视示意图，示例性地绘示一工件被放置于该工件处理设备的一承载座上；及

图4是一流程图，用于示例性地说明该实施例如何对该工件实施一工件放置路径设定方法。

具体实施方式

在本发明被详细描述之前应当注意：若未特别定义，则本发明说明书中所述的「电连接」是泛指多个电子设备/装置/元件之间通过导电材料彼此相连而实现的「有线电连接」，以及通过无线通信技术进行单/双向无线信号传输的「无线电连接」。并且，若未特别定义，则本发明说明书中所述的「电连接」亦泛指多个电子设备/装置/元件之间彼此直接相连而形成的「直接电连接」，以及多个电子设备/装置/元件之间还通过其他电子设备/装置/元件彼此间接相连而形成的「间接电连接」。

参阅图1及图2，本发明工件处理系统1之一实施例例如包含一工件处理设备11，以及一以可分离方式地被设置于该工件处理设备11上的距离测量装置12，而且，该工件处理设备11例如适于与一用于供用户操作的输入单元2(示于图1)电连接。

该工件处理设备11适用于对一工件5(示例性地示于图3)进行自动化处理。更具体地举例来说，在本实施例的应用中，该工件5可例如为一呈圆盘状的晶圆(wafer)，且具有一圆形表面51及一由该圆形表面51边缘延伸的侧周面52(示于图3)。

另一方面，该工件处理设备11在本实施例中可例如是被实施为一晶圆蚀刻设备，而用于对被放置在该工件处理设备11中的该工件5进行蚀刻处理。然而，在其他实施例中，该工件处理设备11亦可例如是被实施为一用于清洗晶圆的晶圆清洗设备，或者是对晶圆进行其他处理的晶圆处理设备，因此，该工件处理设备11的实际实施态样并不以本实施例为限。

在本实施例中，该工件处理设备11例如包括一基座111、一设置于该基座111且用于承载该工件5的承载座112、一设置于该基座111且围绕该承载座112的围壁113、一用于固持并移动该工件5的机械手臂114，以及一电连接该机械手臂114及该距离测量装置12的处理单元115(示于图1)。

该承载座112例如呈圆盘状且具有一呈水平方向的圆形表面116，以及一由该圆形表面116的边缘向下延伸的侧周面117，而且，当该承载座112承载着该工件5时，该承载座112的圆形表面116会与该工件5的底面相接触。

该围壁113例如呈环状且与该承载座112相间隔地围绕该承载座112。更明确地说，由于该工件处理设备11在本实施例中是被示例性地实施为晶圆蚀刻设备，因此，该围壁113在本实施例中例如是用于阻挡蚀刻处理过程中在该承载座112周围流动的蚀刻液，但并不以此为限。

该机械手臂114例如是设置于该承载座112的一第一侧，且该机械手臂114能受该处理单元115控制，而固持该工件5并移动该工件5，而将该工件5放置至该承载座112上或移离该承载座112。

该处理单元115在本实施例中可例如是被实施为一中央处理器，且该处理单元115例如适于与该输入单元2电连接。更具体地说，该输入单元2可例如为一键盘，但该输入单元2亦能以其他类型的输入装置或该工件处理设备11本身所具有的输入界面所取代。并且，在类似的实施态样中，该处理单元115亦可例如是被实施为多个彼此电连接的中央处理器，或者是一包括中央处理器的控制电路板，总地来说，该处理单元115只要是具有数据处理及运算功能的计算机硬件即可实施，所以其实际实施态样并不以本实施例为限。

在本实施例中，该距离测量装置12例如是以可拆除的方式被设置于该围壁113上，而且，该距离测量装置12例如位于该承载座112的一相反于该第一侧的第二侧，并且与该承载座112相间隔，借此，该机械手臂114在活动时便不会与该距离测量装置12产生碰撞。

更详细地说，在本实施例中，该距离测量装置12例如包括一以可拆除的方式被设置在该围壁113上的本体121，以及三个设置于该本体121上且与该处理单元115电连接的距离感测器122。

在本实施例中，该距离测量装置12的本体121例如具有呈直条状的一中央段部及两个延伸段部，其中，该两延伸段部例如是分别连接该中央段部的相反两端，且该中央段部与该两延伸段部之间例如是如图2所示地分别呈一钝角，而使得该本体121的整体形状便于被架设在该围壁113上。然而，在其他实施例中，该本体121亦可例如是被实施为无弯折的横杆状，或者是与该围壁113相配合的圆弧状，甚至，该本体121也并不限于设置于该围壁113上。总地来说，该距离测量装置12的本体121只要能被设置在该承载座112的周围即可实施，所以其实际实施态样并不以本实施例为限。

在本实施例中，该距离测量装置12的每一距离感测器122可例如是利用光学技术所实现的雷射测距感测器。然而，在其他实施例中，所述距离感测器122亦可例如是利用红外线或雷达等其他技术来实现测距功能，而且，所述距离感测器122的数量亦可例如为三个以上，因此，所述距离感测器122的实际实施态样并不以本实施例为限。

进一步地，在本实施例中，所述距离感测器122相对于该承载座112例如是如图2所示地扇形排列于该承载座112的周围且各自朝向该承载座112的侧周面117。借此，在该承载座112上未放置有该工件5的情况下(即图2所示之情况)，每一距离感测器122能够量测出其本身与该承载座112之侧周面117之间的距离，而且，每一距离感测器122与该承载座112之侧周面117之间的距离，即相当于该距离感测器122与该圆形表面116的边缘之间在水平方向上的间隔距离。另一方面，在该承载座112上放置有该工件5的情况下(即图3所示之情况)，由于该工件5突伸出该承载座112之外，故每一距离感测器122则能够量测出其本身与该工件5之侧周面52之间的距离，而且，每一距离感测器122与该工件5之侧周面52之间的距离，即相当于该距离感测器122与该圆形表面116的边缘之间在水平方向上的间隔距离。更进一步地说，在较佳的实施态样中，当该距离测量装置12的本体121被设置在该围壁113上且处于水平状态时，所述距离感测器122的水平高度彼此相同，且所述距离感测器122的水平高度与该承载座112的侧周面117亦大致相同。

补充说明的是，由于该工件5之圆形表面51的面积大于该承载座112之圆形表面116的面积，所以，当该工件5被放置于该承载座112上时，所述距离感测器122便自然会感测到该工件5的侧周面52，而非该承载座112的侧周面117。另一方面，在其他实施例中，所述距离感测器122只要与该承载座112的水平高度大致相同，而能够分别对该承载座112的侧周面117及该工件5的侧周面52上的多个点进行测距即可实施，所以，所述距离感测器122在其他实施例中亦可例如是呈直线排列，而并不以本实施例的排列方式为限。再一方面，在其他实施例中，该承载座112及该工件5的其中任一者也可以是其他形状，而并不限于本实施例所述的圆盘状。

配合参阅图4，以下示例性地详细说明本实施例的该工件处理系统1如何对该工件5实施一工件放置路径设定方法。

首先，在步骤S1中，在该承载座112上未放置有该工件5的情况下(即图2所示之情况)，该处理单元115控制该距离测量装置12的所述距离感测器122运作，以从该距离测量装置12获得一相关于该承载座112的第一感测结果。在本实施例中，该第一感测结果例如包含三个分别由该三个距离感测器122进行测距所产生的感测距离值，并且，该第一感测结果所包含的每一感测距离值，是代表该感测距离值所对应之该距离感测器122与该承载座112之侧周面117之间的距离。

在该处理单元115获得该第一感测结果后，流程进行至步骤S2。

在步骤S2中，该处理单元115根据该第一感测结果所包含的所述感测距离值获得一对应该承载座112的第一位置。

在本实施例中，该处理单元115例如是先根据各该距离感测器122的角度、各该距离感测器122与一参考点坐标的相对位置关系、以及该第一感测结果的所述感测距离值，而计算出多个分别对应所述感测距离值的第一圆周坐标，接着，该处理单元115再例如根据所述第一圆周坐标计算出对应于该承载座112的该第一位置。

更详细地说，在本实施例中，每一个第一圆周坐标例如是代表该承载座112之圆形表面116的边缘上其中一点的位置，也就是该圆形表面116之圆周上其中一点的坐标。另一方面，该第一位置则例如是代表该承载座112之圆形表面116的圆心位置，而且，该处理单元115例如是利用所述第一圆周坐标及圆方程式而计算出该第一位置，但并不以此为限。

在该处理单元115计算出该第一位置后，流程进行至步骤S3。

在步骤S3中，该处理单元115控制该机械手臂114固持该工件5，并根据一初始放置路径控制该机械手臂114将该工件5放置至该承载座112。更详细地说，在本实施例中，该初始放置路径例如是由该处理单元115在接收到一来自该输入单元2的初始放置坐标之后，根据该初始放置坐标以及该机械手臂114与该承载座112之间的相对位置关系所产生的。而且，该初始放置坐标例如是由该输入单元2根据用户的输入操作而产生并提供至该处理单元115，换句话说，该初始放置坐标在本实施中例如是由用户手动地通过该输入单元2输入该工件处理系统1，但并不以此为限。

在该处理单元115根据该初始放置路径控制该机械手臂114将该工件5放置至该承载座112后，流程进行至步骤S4。

在步骤S4中，在该工件5已被该机械手臂114放置于该承载座112的情况下(例如图3所示之情况)，该处理单元115再次控制该距离测量装置12的所述距离感测器122运作，以从该距离测量装置12获得一相关于该工件5的第二感测结果。在本实施例中，该第二感测结果例如包含另外三个分别由该三个距离感测器122进行测距所产生的感测距离值，并且，该第二感测结果所包含的每一感测距离值，是代表该感测距离值所对应之该距离感测器122与该工件5之侧周面52之间的距离。

在该处理单元115获得该第二感测结果后，流程进行至步骤S5。

在步骤S5中，该处理单元115根据该第二感测结果所包含的所述感测距离值获得一对应该工件5的第二位置。

类似于该第一位置，在本实施例中，该处理单元115例如是先根据各该距离感测器122的角度、各该距离感测器122与该参考点坐标的相对位置关系、以及该第二感测结果的所述感测距离值，而计算出多个分别对应该第二感测结果之所述感测距离值的第二圆周坐标，接着，该处理单元115再例如根据所述第二圆周坐标计算出对应于该工件5的该第二位置。

更详细地说，在本实施例中，每一个第二圆周坐标例如是代表该工件5之圆形表面51的边缘上其中一点的位置，也就是该工件5之圆形表面51之圆周上其中一点的坐标。另一方面，该第二位置则例如是代表该工件5之圆形表面51的圆心位置，而且，该处理单元115例如是利用所述第二圆周坐标及圆方程序而计算出该第二位置，但并不以此为限。

在该处理单元115计算出该第二位置后，流程进行至步骤S6。

在步骤S6中，该处理单元115根据该第一位置与该第二位置之间的位置差异及该初始放置路径产生一对应该机械手臂114的校正放置路径，并例如将该校正放置路径输出至一存储单元(图未示出)存储。其中，该存储单元可例如是一用于存储数字数据的数据存储装置(例如硬盘或存储器)，且该存储单元可例如是设置于该工件处理设备11的内部，但亦可例如是设置于一独立于该工件处理设备11的外部服务器之内。

特别说明的是，当该工件5被放置在该承载座112上时，该工件5的中心点理想上应与该承载座112彼此对齐。并且，由于该第一位置及该第二位置在本实施例中是分别代表该承载座112及该工件5的圆心，因此，该第一位置与该第二位置之间的距离例如是被作为本实施例中的一偏移距离，换言之，该偏移距离除了相当于该承载座112的圆心与该工件5的圆心之间的距离外，也相当于该机械手臂114以该初始放置路径放置该工件5所造成的误差量。

另一方面，被存储于储存单元的该校正放置路径是用于供该处理单元115据以控制该机械手臂114将一或多个与该工件5尺寸一致的待处理工件(图未示出)放置至该承载座112，且使得该待处理工件被该机械手臂114以该校正放置路径放置于该承载座112时，该待处理工件的中心位置(相当于该待处理工件的圆心)与该承载座112的中心位置(相当于该承载座112的圆心)之间的距离能小于该偏移距离，也就是使得该待处理工件的圆心能与该承载座112的圆心更加地对齐。补充说明的是，该工件5本身可例如即为所述待处理工件的其中一者。

更详细地说，在本实施例中，该处理单元115例如是根据该第一位置与该第二位置之间的位置差异而对该初始放置路径进行调整，从而产生该校正放置路径。举例来说，假设该第二位置(相当于该工件5的圆心)较该第一位置(相当于该承载座112的圆心)向右偏移了1毫米，则该处理单元115便例如会以「从该初始放置坐标向左移动1毫米」的位置作为一对应该初始放置坐标的校正放置坐标，并根据该校正放置坐标与该初始放置坐标之间的相对位置关系对应地调整该初始放置路径，从而产生该校正该初始放置路径，但并不以此为限。

在该处理单元115产生并输出该校正放置路径后，该工件放置路径设定方法的流程结束。

以上即为本实施例之工件处理系统1如何实施该工件放置路径设定方法的示例说明。补充说明的是，在类似的实施态样中，该工件处理系统1也可以是对与真实晶圆尺寸相符的一晶圆模型实施该工件放置路径设定方法，而并不一定是对真实的晶圆(即本实施例的工件5)实施该工件放置路径设定方法。

特别说明的是，本实施例的步骤S1至步骤S6及图4的流程图仅是用于示例说明本发明工件放置路径设定方法的其中一种可实施方式。应当理解的是，即便将步骤S1至步骤S6进行合并、拆分或顺序调整，若合并、拆分或顺序调整之后的流程与本实施例相比系以实质相同的方式达成实质相同的功效，便仍属于本发明工件放置路径设定方法的可实施态样。因此，本实施例的步骤S1至步骤S6及图4的流程图并非用于限制本发明的可实施范围。

另外，在本实施例的进一步实施态样中，该处理单元115在步骤S6中产生该校正放置路径的方式，可例如是先根据该第一位置与该第二位置之间的位置差异及该初始放置路径产生一对应该机械手臂114的测试放置路径，再根据该测试放置路径执行一测试程序。其中，该处理单元115执行该测试程序的方式，可例如是先控制该机械手臂114以该测试放置路径活动，而将该工件5放置至该承载座112，再判断该工件5被放置在该承载座112上时的一当前中心位置(相当于该工件5的圆心的位置)与该承载座112的中心位置(相当于该承载座112的圆心的位置)之间的距离是否小于一更小于该偏移距离的偏移门槛值。若该处理单元115的判断结果为是，该处理单元115例如将该测试放置路径作为该校正放置路径，另一方面，若该处理单元115的判断结果为否，则该处理单元115例如以该工件5当前的中心位置更新该第二位置(也就是将该工件5当前的中心位置作为新的第二位置)，并根据该第一位置及更新后的该第二位置产生另一对应该机械手臂的测试放置路径，且根据另该测试放置路径再次执行该测试程序，直至产生能作为该校正放置路径的测试放置路径为止。借由该处理单元115执行该测试程序，该工件处理系统1能够进一步地确保该校正放置路径的准确度。

综上所述，借由实施该工件放置路径设定方法，该工件处理系统1能计算出对应该承载座112的该第一位置，以及该工件5在该承载座112上时对应该工件5的该第二位置，并根据该工件5与承载座112之间的相对位置关系而对该初始放置路径进行校正以产生该校正放置路径，并且，该校正放置路径能使该机械手臂114将该待处理工件放置地与该承载座112的中心更加对齐，所以能避免因该待处理工件的放置位置偏差而对该待处理工件的处理造成负面影响。值得一提的是，若借由人为操作来调整该机械手臂114放置待处理工件的路径，通常需耗费半小时以上的时间，且可能发生不同用户调校标准不一致的情形，而借由实施该工件放置路径设定方法，该工件处理系统1仅需十分钟左右即可获得该校正放置路径，而能够节省至少60％的调整时间，且不会有调校标准不一的问题，所以确实能达成本发明之目的。

以上所述者，仅为本发明的实施例而已，当不能以此限定本发明实施的范围，即凡依本发明权利要求书及说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本发明的范围。

Claims (16)

1.一种工件处理系统，适用于处理工件，其特征在于：所述工件处理系统包含：

工件处理设备，包括适用于承载所述工件的承载座、适用于固持并移动所述工件的机械手臂，以及处理单元；及

距离测量装置，与所述承载座位置相对应且与所述处理单元电连接；

其中，所述处理单元用于根据由所述距离测量装置所产生的第一感测结果获得对应所述承载座的第一位置，并根据由所述距离测量装置在所述工件被放置于所述承载座的情况下所产生的第二感测结果获得对应所述工件的第二位置，其中，所述第一位置与所述第二位置之间的距离被作为偏移距离，并且，所述处理单元还用于至少根据所述第一位置与所述第二位置之间的差异产生对应所述机械手臂的校正放置路径，其中，所述校正放置路径是用于控制所述机械手臂将待处理工件放置至所述承载座，且使得所述待处理工件被所述机械手臂放置于所述承载座时的中心位置与所述承载座的中心位置之间的距离小于所述偏移距离。

2.根据权利要求1所述的工件处理系统，其特征在于：所述处理单元还与所述机械手臂电连接，并且，所述处理单元在根据所述第一感测结果获得所述第一位置后，是先根据初始放置路径控制所述机械手臂将所述工件放置至所述承载座，再根据所述距离测量装置在所述工件被以所述初始放置路径放置于所述承载座的情况下所产生的所述第二感测结果获得所述第二位置，并且，所述处理单元是根据所述第一位置与所述第二位置之间的差异调整所述初始放置路径，从而产生所述校正放置路径。

3.根据权利要求2所述的工件处理系统，其特征在于：所述距离测量装置包括多个距离感测器，且所述第一感测结果及所述第二感测结果各包含多个分别对应所述距离感测器的感测距离值，并且，所述处理单元是至少根据所述第一感测结果的所述感测距离值计算出对应所述承载座的所述第一位置，以及至少根据所述第二感测结果的所述感测距离值计算出对应所述工件的所述第二位置。

4.根据权利要求3所述的工件处理系统，其特征在于：

所述承载座及所述工件各自呈圆盘状，且所述距离感测器是设置于所述承载座的周围；

所述第一感测结果所包含的每一感测距离值，是代表该感测距离值所对应之该距离感测器与所述承载座之侧周面之间的距离；

所述处理单元是先至少根据所述第一感测结果的所述感测距离值计算出多个分别对应所述感测距离值的第一圆周坐标，再根据所述第一圆周坐标计算出所述第一位置，且所述第一位置是代表所述承载座之圆形表面的圆心位置；

所述第二感测结果所包含的每一感测距离值，是代表该感测距离值所对应之该距离感测器与所述工件之侧周面之间的距离；及

所述处理单元是先至少根据所述第二感测结果的所述感测距离值计算出多个分别对应所述感测距离值的第二圆周坐标，再根据所述第二圆周坐标计算出所述第二位置，且所述第二位置是代表所述工件之圆形表面的圆心位置。

5.根据权利要求2所述的工件处理系统，其特征在于：所述处理单元还适用于与用于供用户操作的输入单元电连接，并且，所述初始放置路径是由所述处理单元在接收到来自所述输入单元的初始放置坐标后，至少根据所述初始放置坐标所产生的。

6.根据权利要求1所述的工件处理系统，其特征在于：所述处理单元产生所述校正放置路径的方式，是至少根据所述第一位置与所述第二位置之间的差异产生对应所述机械手臂的测试放置路径，并根据所述测试放置路径执行测试程序，其中，所述测试程序包含：控制所述机械手臂以所述测试放置路径将所述工件放置至所述承载座，并判断所述工件被放置在该承载座上时的当前中心位置与所述承载座的中心位置之间的距离是否小于更小于该偏移距离的偏移门槛，若判断结果为是，将所述测试放置路径作为所述校正放置路径，若判断结果为否，以所述当前中心位置更新所述第二位置，并至少根据更新后的所述第二位置产生另一对应该机械手臂的测试放置路径，并根据另该测试放置路径再次执行所述测试程序。

7.一种距离测量装置，适用于设置在工件处理设备，且所述工件处理设备包含用于承载工件的承载座；其特征在于：所述距离测量装置包含：

本体，适用于被设置在所述工件处理设备；及

多个距离感测器，设置于所述本体并各自朝向所述承载座，以使每一距离感测器能在所述承载座上未放置工件时测量其本身与所述承载座之间的距离，并在所述承载座上有放置所述工件时测量其本身与所述工件之间的距离。

8.根据权利要求7所述的距离测量装置，其特征在于：所述承载座呈圆盘状，且所述距离感测器相对于所述承载座呈扇形排列。

9.根据权利要求7所述的距离测量装置，其特征在于：所述距离感测器的数量为至少三个。

10.根据权利要求7所述的距离测量装置，其特征在于：所述工件处理设备还包含围绕所述承载座的围壁，以及位于所述承载座的其中一侧且用于将所述工件放置至所述承载座的机械手臂，并且，所述距离测量装置的本体是适用于设置在所述围壁上，并且位于所述承载座之相反于所述机械手臂的其中另一侧。

11.一种工件放置路径设定方法，其特征在于：所述工件放置路径设定方法由工件处理系统对工件实施，其中，所述工件处理系统包含用于承载所述工件的承载座、与所述承载座位置相对应的距离测量装置、用于固持并移动所述工件的机械手臂，以及电连接所述距离测量装置的处理单元；所述工件放置路径设定方法包含：

所述处理单元根据由所述距离测量装置所产生的第一感测结果获得对应所述承载座的第一位置，并根据由所述距离测量装置在所述工件被放置于所述承载座的情况下所产生的第二感测结果获得对应所述工件的第二位置，其中，所述第一位置与所述第二位置之间的距离被作为偏移距离；及

所述处理单元至少根据所述第一位置与所述第二位置之间的差异产生对应所述机械手臂的校正放置路径，其中，所述校正放置路径是用于控制所述机械手臂将待处理工件放置至所述承载座，且使得所述待处理工件被所述机械手臂放置于所述承载座时的中心位置与所述承载座的中心位置之间的距离小于所述偏移距离。

12.根据权利要求11所述的工件放置路径设定方法，其特征在于：所述处理单元还与所述机械手臂电连接，且所述处理单元在根据所述第一感测结果获得所述第一位置后，是先根据初始放置路径控制所述机械手臂将所述工件放置至所述承载座，再根据所述距离测量装置在所述工件被以所述初始放置路径放置于所述承载座的情况下所产生的所述第二感测结果获得所述第二位置，并且，所述处理单元是根据所述第一位置与所述第二位置之间的差异调整所述初始放置路径，从而产生所述校正放置路径。

13.根据权利要求12所述的工件放置路径设定方法，其特征在于：所述距离测量装置包括多个距离感测器，且所述第一感测结果及所述第二感测结果各包含多个分别对应所述距离感测器的感测距离值，并且，所述处理单元是至少根据所述第一感测结果的所述感测距离值计算出对应所述承载座的所述第一位置，以及至少根据所述第二感测结果的所述感测距离值计算出对应所述工件的所述第二位置。

14.根据权利要求13所述的工件放置路径设定方法，其特征在于：

所述承载座及所述工件各自呈圆盘状，且所述距离感测器是设置于所述承载座的周围；

所述第一感测结果所包含的每一感测距离值，是代表该感测距离值所对应之该距离感测器与所述承载座之侧周面之间的距离；

所述处理单元是先至少根据所述第一感测结果的所述感测距离值计算出多个分别对应所述感测距离值的第一圆周坐标，再根据所述第一圆周坐标计算出所述第一位置，且所述第一位置是代表所述承载座之圆形表面的圆心位置；

所述第二感测结果所包含的每一感测距离值，是代表该感测距离值所对应之该距离感测器与所述工件之侧周面之间的距离；及

所述处理单元是先至少根据所述第二感测结果的所述感测距离值计算出多个分别对应所述感测距离值的第二圆周坐标，再根据所述第二圆周坐标计算出所述第二位置，且所述第二位置是代表所述工件之圆形表面的圆心位置。

15.根据权利要求12所述的工件放置路径设定方法，其特征在于：所述处理单元还适用于与用于供用户操作的输入单元电连接，并且，所述初始放置路径是由所述处理单元在接收到来自所述输入单元的初始放置坐标后，至少根据所述初始放置坐标所产生的。

16.根据权利要求11所述的工件放置路径设定方法，其特征在于：所述处理单元产生所述校正放置路径的方式，是至少根据所述第一位置与所述第二位置之间的差异产生对应所述机械手臂的测试放置路径，并根据所述测试放置路径执行测试程序，其中，所述测试程序包含：控制所述机械手臂以所述测试放置路径将所述工件放置至所述承载座，并判断所述工件被放置在该承载座上时的当前中心位置与所述承载座的中心位置之间的距离是否小于更小于该偏移距离的偏移门槛，若判断结果为是，将所述测试放置路径作为所述校正放置路径，若判断结果为否，以所述当前中心位置更新所述第二位置，并至少根据更新后的所述第二位置产生另一对应该机械手臂的测试放置路径，并根据另该测试放置路径再次执行所述测试程序。

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