CN115861264A - 晶圆检测设备定位方法、装置、计算机设备和存储介质 - Google Patents

晶圆检测设备定位方法、装置、计算机设备和存储介质 Download PDF

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CN115861264A CN202211637558.1A CN202211637558A CN115861264A CN 115861264 A CN115861264 A CN 115861264A CN 202211637558 A CN202211637558 A CN 202211637558A CN 115861264 A CN115861264 A CN 115861264A
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刘梦茹
熊星
李永杰
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Abstract

本申请涉及一种晶圆检测设备定位方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。所述方法包括：识别图像坐标系下的待测晶圆的位置；获取图像坐标系下的标准晶圆的标准位置；根据图像坐标系下的所述标准晶圆的标准位置与所述待测晶圆的位置，获取所述待测晶圆的第一位置偏差；根据所述第一位置偏差以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，对所述待测晶圆的拍摄点位坐标进行补偿。本申请通过获取图像坐标系下的待测晶圆与标准晶圆间的第一位置偏差，以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，完成对晶圆检测设备的拍摄点位的补偿，不需要对晶圆的位置进行调整，减少了晶圆检测定位的时间，提高了晶圆检测设备的效率。

Description

晶圆检测设备定位方法、装置、计算机设备和存储介质
技术领域
本申请涉及视觉目标定位技术领域，特别是涉及一种晶圆检测设备定位方法、装置、计算机设备和存储介质。
背景技术
随着视觉目标定位技术的发展，其逐步被应用于对晶圆进行定位，晶圆定位需要多次进行角度调整以及位置调整。每片晶圆上料后，高精度的对位至少需要一次角度调整、一次位置调整和一次拍照确认，目前的晶圆检测定位存在着耗时久的问题。
发明内容
基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种能够解决晶圆检测定位耗时久的晶圆检测设备定位方法、装置、计算机设备、计算机可读存储介质和计算机程序产品。
一种晶圆检测设备定位方法，所述方法包括：
识别图像坐标系下的待测晶圆的位置；
获取图像坐标系下的标准晶圆的标准位置；
根据图像坐标系下的所述标准晶圆的标准位置与所述待测晶圆的位置，获取所述待测晶圆的第一位置偏差；
根据所述第一位置偏差以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，对所述待测晶圆的拍摄点位坐标进行补偿。
在其中一个实施例中，所述根据所述第一位置偏差以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，对所述待测晶圆的拍摄点位坐标进行补偿，包括：
根据光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，将所述图像坐标系下的第一位置偏差转换成光栅尺坐标系下的第二位置偏差；
将所述第二位置偏差补偿至拍摄点位的坐标。
在其中一个实施例中，所述获取图像坐标系下待测晶圆的位置之前包括：
识别待测晶圆的角度；
获取标准晶圆的标准角度；
根据所述标准晶圆的标准角度与所述待测晶圆的角度，获取所述待测晶圆的角度偏差；
根据所述角度偏差，对待测晶圆进行角度调整。
在其中一个实施例中，根据所述角度偏差，对待测晶圆进行角度调整之后，包括：
再次获取待测晶圆的角度偏差；
当所述待测晶圆的角度偏差小于预设角度阈值时，根据所述第一位置偏差以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，对所述待测晶圆的拍摄点位坐标进行补偿。
在其中一个实施例中，再次获取待测晶圆的角度偏差之后，还包括：
当所述待测晶圆的角度偏差不小于预设角度阈值时，根据所述再次获取的待测晶圆的角度偏差，再次对待测晶圆进行角度调整。
在其中一个实施例中，所述预设角度阈值不大于0.0003度。
一种晶圆检测设备定位装置，所述装置包括：
成像装置，用于对待测晶圆以及标准晶圆进行成像；
控制装置，用于识别图像坐标系下的待测晶圆的位置，获取图像坐标系下的标准晶圆的标准位置，根据图像坐标系下的所述标准晶圆的标准位置与所述待测晶圆的位置，获取所述待测晶圆的第一位置偏差，根据所述第一位置偏差以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，对所述待测晶圆的拍摄点位坐标进行补偿。
一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现以下步骤：
识别图像坐标系下的待测晶圆的位置；
获取图像坐标系下的标准晶圆的标准位置；
根据图像坐标系下的所述标准晶圆的标准位置与所述待测晶圆的位置，获取所述待测晶圆的第一位置偏差；
根据所述第一位置偏差以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，对所述待测晶圆的拍摄点位坐标进行补偿。
一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：
识别图像坐标系下的待测晶圆的位置；
获取图像坐标系下的标准晶圆的标准位置；
根据图像坐标系下的所述标准晶圆的标准位置与所述待测晶圆的位置，获取所述待测晶圆的第一位置偏差；
根据所述第一位置偏差以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，对所述待测晶圆的拍摄点位坐标进行补偿。
一种计算机程序产品，包括计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：
识别图像坐标系下的待测晶圆的位置；
获取图像坐标系下的标准晶圆的标准位置；
根据图像坐标系下的所述标准晶圆的标准位置与所述待测晶圆的位置，获取所述待测晶圆的第一位置偏差；
根据所述第一位置偏差以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，对所述待测晶圆的拍摄点位坐标进行补偿。
上述晶圆检测设备定位方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品，通过获取图像坐标系下的待测晶圆与标准晶圆间的第一位置偏差，以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，完成对晶圆检测设备的拍摄点位的补偿，不需要对晶圆的位置进行调整，减少了晶圆检测定位的时间，提高了晶圆检测设备的效率。
附图说明
图1为一个实施例中晶圆检测设备定位方法的流程示意图；
图2为另一个实施例中晶圆检测设备定位方法的流程示意图；
图3为又一个实施例中晶圆检测设备定位方法的流程示意图；
图4为一个实施例中光栅尺坐标系与图像坐标系的示意图；
图5为一个实施例中计算机设备的内部结构图。
具体实施方式
为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
在一个实施例中，如图1所示，提供了一种晶圆检测设备定位方法，包括以下步骤：
步骤S210，识别图像坐标系下的待测晶圆的位置。
当晶圆上料时，任意一个晶圆均可以作为待测晶圆。
在识别待测晶圆的位置时，首先需要成像装置多点位拍摄晶圆的特征点，从而获取待测晶圆的图像，然后依据待测晶圆的图像，建立图像坐标系。如图4所示，可以将待测晶圆图像的左上角作为图像坐标系的原点，图像的水平方向作为图像坐标系的X轴，图像的垂直方向作为图像坐标系的Y轴，且X轴的正方向可以为图像的原点从左至右的方向，Y轴的正方向可以为图像的原点从上到下的方向。
基于图像坐标系，获取待测晶圆的位置。具体地，可以用图像坐标系下的待测晶圆的坐标来表示待测晶圆的位置。
步骤S220，获取图像坐标系下的标准晶圆的标准位置。
标准晶圆可以为符合产品要求的晶圆片。通过将待测晶圆与标准晶圆进行比对，可以对待测晶圆进行缺陷检测。
可以预先通过成像装置对标准晶圆进行多点位拍摄成像，从而获取图像坐标系下的标准晶圆的标准位置。
具体地，可以用图像坐标系下的标准晶圆的坐标来表示标准晶圆的标准位置。
步骤S230，根据图像坐标系下的标准晶圆的标准位置与待测晶圆的位置，获取待测晶圆的第一位置偏差。
具体地，可以根据图像坐标系下的标准晶圆的坐标以及待测晶圆的坐标，计算待测晶圆与标准晶圆间的第一位置偏差。
步骤S240，根据第一位置偏差以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，对待测晶圆的拍摄点位坐标进行补偿。
其中，如图4所示，可以将半导体设备前置模块(EFEM)的进料口端的左侧作为光栅尺坐标系的原点，将光栅尺坐标系的X轴设置与半导体设备前置模块(EFEM)的进料口端平行，且以原点至待测晶圆的方向作为X轴的正方向。光栅尺坐标系的Y轴与X轴垂直，且以原点至待测晶圆的方向作为Y轴的正方向。在前期获取光栅尺坐标系与图像坐标系间的固定转换关系，根据该转换关系与第一位置偏差，补偿待测晶圆的拍摄点位，使成像装置匹配于待测晶圆。
具体地，光栅尺坐标系XOYO与图像坐标系XIYI转换关系可以表示为如下关系式：
XO＝-KXXI+deltaXOI
YO＝-KYYI+deltaYOI
式中，KX是图像坐标系与光栅尺坐标系间X轴的转换系数，KY是图像坐标系与光栅尺坐标系间Y轴坐标的转换系数。deltaXOI是图像坐标系与光栅尺坐标系间X轴的偏差量，deltaYOI是图像坐标系与光栅尺坐标系间Y轴的偏差量。
选择两个坐标点，分别获取这两个坐标点在图像坐标系与光栅尺坐标系下的坐标，即获取(XO1，YO1)，(XI1，YI1)，(XO2，YO2)以及(XI2，YI2)，将四个坐标带入上述光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换表达式中，可以求解出KX、KY、deltaXOI以及deltaYOI。
上述晶圆检测设备定位方法中，通过获取图像坐标系下的待测晶圆与标准晶圆间的第一位置偏差，以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，完成对晶圆检测设备的拍摄点位的补偿，不需要对晶圆的位置进行调整，减少了晶圆检测定位的时间，提高了晶圆检测设备的效率。
在一个实施例中，如图2所示，步骤S240包括：
步骤S241，根据光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，将图像坐标系下的第一位置偏差转换成光栅尺坐标系下的第二位置偏差。
通过获取待测晶圆的位置与标准晶圆的标准位置，进而获取第一位置偏差(deltax，deltay)，根据光栅尺坐标系与图像坐标系间固定的转换关系，可以将图像坐标系下获取的第一位置偏差转换成光栅尺坐标系下的第二位置偏差(DeltaX，DeltaY)。
具体地，第二位置偏差可以表示为如下关系式：
DeltaX＝-KX*deltax
DeltaY＝-KY*deltay
式中，KX是图像坐标系与光栅尺坐标系间X轴的转换系数，KY是图像坐标系与光栅尺坐标系间Y轴坐标的转换系数。
步骤S242，将所述第二位置偏差补偿至拍摄点位的坐标。
首先需要获取光栅尺坐标系下的拍摄点位的坐标，具体地，可以获取多个拍摄点位的坐标CapPstd，表示为{P0，P1，P2……PN}。然后，将第二位置偏差补偿给拍摄点位的坐标。具体地，补偿之后的实际的拍摄点位的坐标CapP可以表示为{(PX0+DeltaX，PY0+DeltaY)，(PX1+DeltaX，PY1+DeltaY)，……，(PXN+DeltaX，PYN+DeltaY)}，也就是在原坐标的基础上加上第二位置偏差。
在本实施例中，将图像坐标系下的第一位置偏差转换到光栅尺坐标系下成为第二位置偏差，用第二位置偏差直接补偿拍摄点位的坐标。第二位置偏差的获取可以更为直接的补偿拍摄点位的坐标。
在一个实施例中，如图3所示，步骤S210之前包括：
步骤S110，识别待测晶圆的角度。
在识别待测晶圆的角度时，首先需要成像装置多点位拍摄待测晶圆的特征点，从而获取待测晶圆的图像，然后根据待测晶圆的图像获取待测晶圆的角度。
步骤S120，获取标准晶圆的标准角度。
可以预先通过成像装置对标准晶圆进行多点位拍摄成像，从而获取图像坐标系下的标准晶圆的标准位置以及标准角度。
步骤S130，根据标准晶圆的标准角度与待测晶圆的角度，获取待测晶圆的角度偏差。
可以将标准晶圆的标准角度Tstd与待测晶圆的角度T0进行比较，获取待测晶圆的角度偏差deltaT0。
步骤S140，根据角度偏差，对待测晶圆进行角度调整。
根据获取到的待测晶圆的角度偏差deltaT1，调整待测晶圆的角度。
在本实施例中，通过获取待测晶圆与标准晶圆间的角度偏差，对待测晶圆进行角度调整，从而有利于使得待测晶圆与标准晶圆角度一致。
在一个实施例中，如图3所示，步骤S140之后包括：
步骤S150，再次获取待测晶圆的角度偏差。
首先需要应用成像装置再次多点位拍摄待测晶圆的特征点，进而再次获取待测晶圆的角度，将之与标准晶圆的标准角度Tstd比较，再次获取角度偏差deltaT1。
步骤S160，当待测晶圆的角度偏差小于预设角度阈值时，根据第一位置偏差以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，对待测晶圆的拍摄点位坐标进行补偿。
当待测晶圆的角度偏差deltaT1小于预设角度阈值ThrT时，待测晶圆的角度调整完成，可以进行待测晶圆的位置调整，根据第一位置偏差以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，可以补偿待测晶圆的拍摄点位坐标，完成待测晶圆的位置调整。
作为示例，预设角度阈值ThrT不大于0.0003度。
在本实施例中，在第一次角度调整之后，再次获取待测晶圆的角度与标准晶圆的标准角度间的角度偏差，判断再次获取的角度偏差是否小于预设角度阈值，如果小于角度阈值，便可以进行待测晶圆的拍摄点位坐标的补偿。
在一个实施例中，如图3所示，步骤S160之后包括：
步骤S170，当待测晶圆的角度偏差不小于预设角度阈值时，根据所述再次获取的待测晶圆的角度偏差，再次对待测晶圆进行角度调整。
当待测晶圆的角度偏差不小于预设角度阈值时，待测晶圆的角度调整未完成，需要根据此时的角度偏差再次对待测晶圆进行角度调整。然后，对待测晶圆进行多点位拍摄，获取待测晶圆的角度与位置，将此次获取的待测晶圆的角度与标准晶圆的标准角度进行比较，获取再次调整之后的待测晶圆的角度偏差，当此角度偏差小于预设角度阈值ThrT时，进行拍摄点位坐标的补偿。
在本实施例中，在第一次角度调整之后，再次获取待测晶圆的角度与标准晶圆的标准角度间的角度偏差，判断再次获取的角度偏差是否小于预设角度阈值，如果不小于角度阈值，需要重复待测晶圆的角度调整直至角度偏差小于角度阈值，从而使得待测晶圆与标准晶圆角度一致，从而可以对待测晶圆准确进行缺陷检测。
应该理解的是，虽然图1-3的流程图中的各个步骤按照箭头的指示依次显示，但是这些步骤并不是必然按照箭头指示的顺序依次执行。除非本文中有明确的说明，这些步骤的执行并没有严格的顺序限制，这些步骤可以以其它的顺序执行。而且，图1-3中的至少一部分步骤可以包括多个步骤或者多个阶段，这些步骤或者阶段并不必然是在同一时刻执行完成，而是可以在不同的时刻执行，这些步骤或者阶段的执行顺序也不必然是依次进行，而是可以与其它步骤或者其它步骤中的步骤或者阶段的至少一部分轮流或者交替地执行。
在一个实施例中，提供了一种晶圆检测设备定位装置，包括：成像装置以及控制装置。
其中，成像装置用于获取待测晶圆以及标准晶圆的图像。控制模块用于识别图像坐标系下的待测晶圆的位置，获取图像坐标系下的标准晶圆的标准位置，根据图像坐标系下的标准晶圆的标准位置与待测晶圆的位置，获取待测晶圆的第一位置偏差，根据第一位置偏差以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，对待测晶圆的拍摄点位坐标进行补偿。
关于晶圆检测设备定位装置的具体限定可以参见上文中对于晶圆检测设备定位方法的限定，在此不再赘述。
在一个实施例中，提供了一种计算机设备，该计算机设备可以是服务器，其内部结构图可以如图5所示。该计算机设备包括通过系统总线连接的处理器、存储器和网络接口。其中，该计算机设备的处理器用于提供计算和控制能力。该计算机设备的存储器包括非易失性存储介质、内存储器。该非易失性存储介质存储有操作系统、计算机程序和数据库。该内存储器为非易失性存储介质中的操作系统和计算机程序的运行提供环境。该计算机设备的数据库用于存储待测晶圆的角度与位置数据以及标准晶圆的角度与位置数据。该计算机设备的网络接口用于与外部的终端通过网络连接通信。该计算机程序被处理器执行时以实现一种晶圆检测设备定位方法。
在一个实施例中，提供了一种计算机设备，包括存储器和处理器，存储器中存储有计算机程序，该处理器执行计算机程序时实现以下步骤：
识别图像坐标系下的待测晶圆的位置；
获取图像坐标系下的标准晶圆的标准位置；
根据图像坐标系下的标准晶圆的标准位置与待测晶圆的位置，获取待测晶圆的第一位置偏差；
根据第一位置偏差以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，对待测晶圆的拍摄点位坐标进行补偿。
在一个实施例中，处理器执行计算机程序时还实现以下步骤：
根据光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，将图像坐标系下的第一位置偏差转换成光栅尺坐标系下的第二位置偏差；
将第二位置偏差补偿至拍摄点位的坐标。
在一个实施例中，处理器执行计算机程序时还实现以下步骤：
识别待测晶圆的角度；
获取标准晶圆的标准角度；
根据标准晶圆的标准角度与待测晶圆的角度，获取待测晶圆的角度偏差；
根据角度偏差，对待测晶圆进行角度调整。
在一个实施例中，处理器执行计算机程序时还实现以下步骤：
再次获取待测晶圆的角度偏差；
当待测晶圆的角度偏差小于预设角度阈值时，根据第一位置偏差以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，对待测晶圆的拍摄点位坐标进行补偿。
在一个实施例中，处理器执行计算机程序时还实现以下步骤：
当待测晶圆的角度偏差不小于预设角度阈值时，根据再次获取的待测晶圆的角度偏差，再次对待测晶圆进行角度调整。
在一个实施例中，提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：
识别图像坐标系下的待测晶圆的位置；
获取图像坐标系下的标准晶圆的标准位置；
根据图像坐标系下的标准晶圆的标准位置与待测晶圆的位置，获取待测晶圆的第一位置偏差；
根据第一位置偏差以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，对待测晶圆的拍摄点位坐标进行补偿。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：
根据光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，将图像坐标系下的第一位置偏差转换成光栅尺坐标系下的第二位置偏差；
将第二位置偏差补偿至拍摄点位的坐标。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：
识别待测晶圆的角度；
获取标准晶圆的标准角度；
根据标准晶圆的标准角度与待测晶圆的角度，获取待测晶圆的角度偏差；
根据角度偏差，对待测晶圆进行角度调整。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：
再次获取待测晶圆的角度偏差；
当待测晶圆的角度偏差小于预设角度阈值时，根据第一位置偏差以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，对待测晶圆的拍摄点位坐标进行补偿。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：
当待测晶圆的角度偏差不小于预设角度阈值时，根据再次获取的待测晶圆的角度偏差，再次对待测晶圆进行角度调整。
在一个实施例中，提供了一种计算机程序产品，包括计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：
识别图像坐标系下的待测晶圆的位置；
获取图像坐标系下的标准晶圆的标准位置；
根据图像坐标系下的标准晶圆的标准位置与待测晶圆的位置，获取待测晶圆的第一位置偏差；
根据第一位置偏差以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，对待测晶圆的拍摄点位坐标进行补偿。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：
根据光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，将图像坐标系下的第一位置偏差转换成光栅尺坐标系下的第二位置偏差；
将第二位置偏差补偿至拍摄点位的坐标。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：
识别待测晶圆的角度；
获取标准晶圆的标准角度；
根据标准晶圆的标准角度与待测晶圆的角度，获取待测晶圆的角度偏差；
根据角度偏差，对待测晶圆进行角度调整。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：
再次获取待测晶圆的角度偏差；
当待测晶圆的角度偏差小于预设角度阈值时，根据第一位置偏差以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，对待测晶圆的拍摄点位坐标进行补偿。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：
当待测晶圆的角度偏差不小于预设角度阈值时，根据再次获取的待测晶圆的角度偏差，再次对待测晶圆进行角度调整。
本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程，是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的计算机程序可存储于一非易失性计算机可读取存储介质中，该计算机程序在执行时，可包括如上述各方法的实施例的流程。其中，本申请所提供的各实施例中所使用的对存储器、存储、数据库或其它介质的任何引用，均可包括非易失性和易失性存储器中的至少一种。非易失性存储器可包括只读存储器(Read-Only Memory，ROM)、磁带、软盘、闪存或光存储器等。易失性存储器可包括随机存取存储器(Random Access Memory，RAM)或外部高速缓冲存储器。作为说明而非局限，RAM可以是多种形式，比如静态随机存取存储器(Static Random Access Memory，SRAM)或动态随机存取存储器(Dynamic Random Access Memory，DRAM)等。
以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种晶圆检测设备定位方法，其特征在于，所述方法包括：
识别图像坐标系下的待测晶圆的位置；
获取图像坐标系下的标准晶圆的标准位置；
根据图像坐标系下的所述标准晶圆的标准位置与所述待测晶圆的位置，获取所述待测晶圆的第一位置偏差；
根据所述第一位置偏差以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，对所述待测晶圆的拍摄点位坐标进行补偿。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，
所述根据所述第一位置偏差以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，对所述待测晶圆的拍摄点位坐标进行补偿，包括：
根据光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，将所述图像坐标系下的第一位置偏差转换成光栅尺坐标系下的第二位置偏差；
将所述第二位置偏差补偿至拍摄点位的坐标。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取图像坐标系下待测晶圆的位置之前包括：
识别待测晶圆的角度；
获取标准晶圆的标准角度；
根据所述标准晶圆的标准角度与所述待测晶圆的角度，获取所述待测晶圆的角度偏差；
根据所述角度偏差，对待测晶圆进行角度调整。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，
根据所述角度偏差，对待测晶圆进行角度调整之后，包括：
再次获取待测晶圆的角度偏差；
当所述待测晶圆的角度偏差小于预设角度阈值时，根据所述第一位置偏差以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，对所述待测晶圆的拍摄点位坐标进行补偿。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，
再次获取待测晶圆的角度偏差之后，还包括：
当所述待测晶圆的角度偏差不小于预设角度阈值时，根据所述再次获取的待测晶圆的角度偏差，再次对待测晶圆进行角度调整。
6.根据权利要求4或5所述的方法，其特征在于，所述预设角度阈值不大于0.0003度。
7.一种晶圆检测设备定位装置，其特征在于，所述装置包括：
成像装置，用于对待测晶圆以及标准晶圆进行成像；
控制装置，用于识别图像坐标系下的待测晶圆的位置，获取图像坐标系下的标准晶圆的标准位置，根据图像坐标系下的所述标准晶圆的标准位置与所述待测晶圆的位置，获取所述待测晶圆的第一位置偏差，根据所述第一位置偏差以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，对所述待测晶圆的拍摄点位坐标进行补偿。
8.一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至6中任一项所述的方法的步骤。
9.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至6中任一项所述的方法的步骤。
10.一种计算机程序产品，包括计算机程序，其特征在于，该计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至6中任一项所述的方法的步骤。
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