CN115831830A - 一种用于半导体晶圆传送的环境检测预警系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种用于半导体晶圆传送的环境检测预警系统，涉及晶圆传送检测技术领域，所述半导体晶圆传送的环境检测预警系统包括：粉尘监测模块、环境采集模块、气流捕获模块以及终端处理器，所述粉尘监测模块用于对放置点范围内的粉尘进行数据监测，所述环境采集模块用于对环境监测点范围内的环境进行数据监测，所述气流捕获模块用于捕获机械臂移动后的气体流动影像，所述终端处理器包括：分析模块以及存储模块，本发明通过对机械臂移动后的气体流动影像进行分析，对半导体晶圆传送室内的粉尘以及环境进行精准监测，以解决现有的监测方法不够精准，预警不准确的问题。

Description

一种用于半导体晶圆传送的环境检测预警系统

技术领域

本发明涉及晶圆传送检测技术领域，尤其涉及一种晶圆传送环境检测预警系统。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，晶圆传送设备主要用于扩散工艺设备和槽式清洗设备上的晶圆批量传输，在现有的晶圆传送领域中，通常是基于固定的监测点对晶圆的传送环境进行监测，环境监测设备通常位于传送室的上方区域，对上方区域进行监测以达到对传送室进行环境监测，而传送室内因为机械臂的摆动，会导致空气流动从而使一定范围内空气中的粉尘浓度发生变化，采用现有的监测技术很难对变化区域或粉尘浓度过高的区域进行监测，现有的监测方法不够精准，预警不准确，鉴于此，有必要对现有技术中的半导体晶圆传送系统予以改进，以解决上述问题。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明目的是提供一种晶圆传送环境检测预警系统，通过对机械臂移动后的气体流动影像进行分析，对半导体晶圆传送室内的粉尘以及环境进行精准监测，以解决现有的监测方法不够精准，预警不准确的问题。

为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种用于半导体晶圆传送的环境检测预警系统，所述检测预警系统包括粉尘监测模块、环境采集模块、气流捕获模块以及终端处理器，所述粉尘监测模块、环境采集模块以及气流捕获模块与终端处理器通讯连接；

所述粉尘监测模块包括空气滤膜、空气流量传感器、计时器以及称重器，所述空气滤膜用于过滤空气中的粉尘，所述空气流量传感器用于采集第一时间段内通过空气滤膜的气体流量，所述计时器用于计算粉尘监测模块运行的时间，所述称重器用于对空气滤膜采样前后的重量进行称重；

所述环境采集模块包括温度采集单元、湿度采集单元以及风速采集单元，所述温度采集单元用于检测空气中的温度，所述湿度采集单元用于检测空气中的湿度，所述风速采集单元用于检测空气中的风速；

所述气流捕获模块包括纹影仪，所述纹影仪用于获取机械臂移动后的气体流动影像；

所述终端处理器包括分析模块以及存储模块；

所述存储模块包括传送室空间参数以及机械臂移动参数，所述传送室空间参数包括：传送室的内部空间的长度、宽度以及高度，所述机械臂移动参数包括：机械臂从抓取位置到放置位置的移动路径；

所述分析模块包括存储数据分析单元、影像数据分析单元、监测数据分析单元以及预警分析单元，所述存储数据分析单元用于对传送室空间参数分析并搭建三维立体模型，对机械臂移动参数分析得到位置点，所述影像数据分析单元用于对纹影仪捕获的气体流动影像进行分析，得出最佳监测点，所述监测数据分析单元用于基于最佳监测点设置粉尘监测模块和环境采集模块的监测位置，对粉尘监测模块监测到的数据进行分析得到粉尘浓度值，对环境采集模块监测到的数据进行分析得到环境监测值；

所述预警分析单元用于对粉尘浓度值、环境监测值以及综合分析值进行比对分析，基于比对分析结果进行预警。

进一步地，所述监测数据分析单元配置有粉尘浓度算法，所述粉尘浓度算法配置为：

；

其中，Dc为粉尘浓度值，m1为采样前的滤膜质量，m2为采样后的滤膜质量，Q为采样时间内通过空气滤膜的气体流量，t为采样时间。

进一步地，所述监测数据分析单元配置有环境分析算法，所述环境分析算法配置：

；

其中，Co为环境监测值，v为风速，A1为风速转换系数。

进一步地，所述存储数据分析单元配置有数据分析策略，所述数据分析策略包括：

获取传送室的内部空间的长度、宽度、高度以及传送平台的长度、宽度、高度以及位置的参数；

根据传送室的内部空间的长度、宽度、高度以及传送平台的长度、宽度、高度以及位置的参数搭建三维立体模型；

获取若干次机械臂从抓取位置到放置位置的移动路径，将若干次放置位置设定位置点，依次标记每一个位置点；

标记位置点1至位置点n，n为正整数。

进一步地，所述影像数据分析单元配置有影像分析策略，所述影像分析策略包括：

获取三维立体模型中的一个位置点，机械臂运作后使用纹影仪获取该位置点的气体流动影像；

对气体流动影像进行逐帧区分，对每一帧图像进行灰度化处理，将机械臂轮廓进行框选，删除机械臂的位置图像后，设定为气体流动图像，获取气体流动图像中灰度值最大的点位，设定为：深度点；

依次将每一帧的深度点标记为深度点1至深度点m，m为正整数；

对深度点1至深度点m进行灰度值对比，选出最深的深度点X；

将深度点X所处的帧数X放入三维立体模型中，标记其所处的位置，记为粉尘点X；

重复影像分析策略若干次数，记录每次粉尘点X的坐标的x轴数值、y轴数值以及z轴数值，对同一坐标轴的数值删去一个最大值和一个最小值后取平均值得到平均x轴数值、平均y轴数值以及平均z轴数值，将平均x轴数值、平均y轴数值以及平均z轴数值构成的坐标设定为：最佳监测点。

进一步地，所述监测数据分析单元还包括监测放置策略，所述监测放置策略包括：

依次对机械臂的位置点1至位置点n使用影像分析策略，得到最佳监测点1至最佳监测点n；

获取三维立体模型，将最佳监测点1至最佳监测点n放置到三维立体模型中进行坐标比对，从传送平台上获取距离最佳监测点最近的坐标，将其标记为：放置点；

依次将每一个最佳监测点对应的放置点标记为放置点1至放置点n；

将粉尘监测模块放置到放置点。

进一步地，所述监测数据分析单元还包括监测数据处理策略，所述监测数据处理策略包括：

通过粉尘浓度算法得出每个放置点的粉尘浓度值，记录为Dc1至Dcn，其中n为正整数；

监测数据分析单元获取Dc1至Dcn中的最大值记为DcMax；

监测数据分析单元发送DcMax到预警分析模块，所述预警分析模块配置有粉尘预警策略，所述粉尘预警策略包括将DcMax与第一粉尘浓度进行比对，当DcMax大于等于第一粉尘浓度时，预警分析模块开始警报。

进一步地，所述监测数据分析单元还包括监测环境策略，所述监测环境策略包括：

将DcMax对应的放置点标记为环境监测点；

在环境监测点放置环境采集模块，通过环境分析算法得出该环境监测点的环境监测值Co；

监测数据分析单元发送Co到预警分析模块，所述预警分析模块配置有环境预警策略，所述环境预警策略包括将Co与第一环境值进行比对，当Co大于等于第一环境值时，预警分析模块开始警报。

进一步地，预警分析单元还包括综合预警策略，所述综合预警策略配置有综合预警算法，综合预警算法配置为：

；其中，Ca为综合分析值，Co为环境监测值，α为综合转换系数；

所述综合预警策略包括将Ca与第一综合区间进行比对，当Ca不在第一综合区间内时，预警分析单元开始警报。

本发明的有益效果：

1.本发明通过气流捕获模块捕获机械臂移动后造成的气体流动影像，对纹影仪捕获的气体流动影像进行分析，得出最佳监测点，监测数据分析单元基于最佳监测点设置粉尘监测模块和环境采集模块的监测位置，对半导体晶圆最临近或者是相关度最大的区域进行精准监测，然后通过粉尘浓度值、环境监测值以及综合分析值进行比对分析，基于比对分析结果进行预警，优点在于能够对传送室内粉尘浓度最大的区域进行精准的粉尘监测并及时预警，并基于最佳监测点对粉尘浓度最高的区域进行环境监测；

2.本发明将得到的气体流动影像进行逐帧分析，找出气体流动中粉尘浓度最高的点，得到需要采集的最佳监测点，并通过采集一个点位的多组数据，去掉一个最大值和一个最小值，再对其余数据求平均值，使得获取到的最佳监测点的位置更加精准；

3.本实验还将获取到的各个最佳监测点的粉尘浓度值进行比对，将粉尘浓度值最高的最佳监测点作为环境监测点，使针对环境的监测更加准确，进而更加全面的对晶圆传送环境进行预警；

4.除此之外，本发明还将粉尘浓度值与环境监测值进行综合分析得到综合分析值，通过预警分析单元分析后，进行综合的预警处理，优点在于能够结合粉尘浓度值以及环境监测值，在粉尘浓度值以及环境监测值均低于第一粉尘浓度以及第一环境值的情况下，对传送室内的环境进行更加精准的分析。

本发明附加方面的优点将在下面的具体实施方式的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其他特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本发明的环境检测预警系统的原理框图；

图2为本发明的环境检测预警系统中的终端处理器的原理框图；

图3为本发明的纹影仪的摆放位置参考图。

图中：1、摄像机；2、剃刀片；3、光源；4、机械臂；5、凹面镜。

具体实施方式

应该指出，以下详细说明都是示例性的，旨在对本发明提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本发明所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本发明的示例性实施方式。

在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

请参阅图1-图3所示，本发明提供一种用于半导体晶圆传送的环境检测预警系统，通过对机械臂4移动后的气体流动影像进行分析，对半导体晶圆传送室内的粉尘以及环境进行精准监测，以解决现有的监测方法不够精准，预警不准确的问题。

具体地，用于半导体晶圆传送的环境检测预警系统包括：粉尘监测模块、环境采集模块、气流捕捉模块、用户终端以及终端处理器，所述粉尘监测模块、环境采集模块、用户终端以及气流捕获模块与终端处理器通讯连接；

所述粉尘监测模块包括空气滤膜、空气流量传感器、计时器以及称重器，所述空气滤膜用于过滤空气中的粉尘，所述空气滤膜是采用双向拉伸工艺制备的聚四氟乙烯（PTFE）微孔膜，是亿万条互连纤丝交叉排列而形成的网状微孔，其微孔结构呈结点-微纤的交错排布，孔径小且均匀，孔隙率高，在保持空气流通的同时，可以过滤包括细菌在内的所有尘埃颗粒，以达到获取空气通过空气滤膜的粉尘的目的，所述空气流量传感器用于采集第一时间段内通过空气滤膜的气体流量，所述计时器用于计算粉尘监测模块运行的时间，所述称重器用于对空气滤膜采样前后的重量进行称重，通过称取的重量相减获取在第一时间段内通过空气滤膜的粉尘重量；

其中，将第一时间段设定为10分钟，在粉尘监测模块开始运转后启动计时器，将称重器对空气滤膜进行第一次称重记为m2，10分钟后粉尘监测模块停止运转并停止计时器，将计时器获取的时间记为t，将空气流量传感器取到该10分钟内通过空气滤膜的气体流量记为Q，将称重器对空气滤膜进行第二次称重记为m1；

所述环境采集模块包括温度采集单元、湿度采集单元以及风速采集单元，通过温度采集单元获取空气中的温度，通过湿度采集单元获取空气中的湿度，通过风速采集单元获取空气中的风速；

请参阅图3所示，所述气流捕获模块包括纹影仪，所述纹影仪用于获取机械臂4移动后的气体流量影像，所述纹影仪由摄像机1、光源3、剃刀片2以及凹面镜5构成，利用光在被测流场中的折射率梯度正比于流场的气流密度进行测量，用于得到机械臂4移动后造成的空气流动影像，所述空气流动影像为机械臂4移动后带动空气，导致一定范围内的空气流动的影像；

请参阅图2所示，所述终端处理器包括分析模块以及存储模块；

所述存储模块包括传送室空间参数以及机械臂移动参数，所述传送室空间参数包括：传送室的内部空间的长度、宽度以及高度，所述机械臂移动参数包括：机械臂4从抓取位置到放置位置的移动路径；

所述分析模块包括存储数据分析单元、影像数据分析单元、监测数据分析单元以及预警分析单元；

所述存储数据分析单元配置有数据分析策略，所述数据分析策略用于对传送室空间参数分析并搭建三维立体模型，对机械臂移动参数分析得到位置点，

所述三维立体模型由传送室的内部空间的长度、宽度、高度以及传送平台的长度、宽度、高度以及位置参数搭建而成，将传送平台的长度、宽度、高度以及位置参数导入三维立体模型，以传送平台的位置参数为中心坐标，以传送平台的长度以及宽度参数在三维立体模型的二维平面上确定传送平台的位置，导入高度参数后将传送平台的位置标记在三维立体模型中；

获取若干次机械臂4从抓取位置到放置位置的移动路径，将若干次放置位置设定为：位置点，依次标记每一个位置点，记为位置点1至位置点n，n为正整数。

所述影像数据分析单元配置有影像分析策略，所述影像分析策略包括：

获取三维立体模型中的一个位置点，将摄像机1、光源3、剃刀片2放置在位置点的一侧，将凹面镜5放置在位置点的另一侧，将机械臂4的移动位置放置在中间，由摄像机1捕获倒映在凹面镜5上的气体流动影像，在机械臂4开始移动且静止在位置点后，开启光源3，开启摄像机1进行录制，在机械臂4从位置点移出凹面镜5的范围后，关闭光源3，关闭摄像机1保存记录的影像，该影像记为气体流动影像；

对气体流动影像进行逐帧分析，分别将每一帧标记为帧数1至帧数m，m为正整数，对每一帧图像进行灰度化处理，将机械臂轮廓进行框选，删除每一帧内的机械臂4的位置图像后，设定为气体流动图像，获取气体流动图像中灰度值最大的点位，设定为：深度点，依次将每一帧的深度点标记为深度点1至深度点m；

对深度点1至深度点m进行灰度值对比，选出最深的深度点，记为深度点X；

将深度点X所处的帧数X放入三维立体模型中，标记其所在的位置，记为粉尘点X；

对同一位置点重复影像分析策略若干次数，记录该位置点每次得到的粉尘点X的坐标，获取每个粉尘点X的坐标的x轴坐标数值、y轴坐标数值以及z轴坐标数值，对同一坐标轴的坐标数值删去一个最大值和一个最小值后取平均值，得到平均x轴数值、平均y轴数值以及平均z轴数值，将平均x轴数值、平均y轴数值以及平均z轴数值构成的坐标点设定为：最佳监测点。

具体实施时，坐标点数值保留一位小数，以5次进行，第一次得到x1为10、y1为86、z1为56，第二次得到x2为11、y2为87、z2为59，第三次得到x3为9、y3为88、z3为54，第四次得到x4为15、y4为88、z4为51，第五次得到x5为12、y5为87、z5为55，算得平均x值为11，平均y值为87.3，平均z值为55，因此坐标（11,87.3,55）为最佳监测点。

所述监测数据分析单元包括监测放置策略，所述监测放置策略包括：

获取三维立体模型，依次对位置点1至位置点n使用影像分析策略，得到最佳监测点1至最佳监测点n；

获取三维立体模型，将最佳监测点1至最佳监测点n放置到三维立体模型中，将每个最佳监测点坐标与三维立体模型中的传送平台的位置进行比对，从传送平台上获取距离最佳监测点最近的坐标，将该装置坐标标记为：放置点；

依次将每一个最佳监测点对应的放置点标记为放置点1至放置点n;

将粉尘监测模块放置到放置点。

所述监测数据分析单元还配置有粉尘浓度算法，所述粉尘浓度算法配置为：

；

其中，Dc为粉尘浓度值，m1为采样后的空气滤膜的质量，m2为采样前的空气滤膜的质量，Q为采样时间内通过空气滤膜的气体流量，t为采样时间；

在具体监测中，若测得m1为100.065g，测得m2为100g，Q为65立方，t为10分钟，则测到的粉尘浓度值为10。

所述监测数据分析单元还配置有环境分析算法，所述环境分析算法配置为：

；

其中，Co为环境监测值v为风速，A1为风速转换系数。

例如，在通常情况下，无风环境为0m/s-0.2m/s，去v为取0.1m/s，A1设置为0.1，则通常情况下Co为1，当风速变大时，环境监测值也变大。

所述监测数据分析单元还包括监测数据处理策略，所述监测数据处理策略包括：

通过粉尘浓度算法得出放置点的粉尘浓度值，记录为Dc；

依次记录每个放置点的粉尘浓度值Dc1至Dcn，n为正整数，监测数据分析单元获取Dc1至Dcn中的最大值记为DcMax；

监测数据分析单元发送DcMax到预警分析模块，所述预警分析模块配置有粉尘预警策略，所述粉尘预警策略包括将DcMax与第一粉尘浓度进行比对，当DcMax大于等于第一粉尘浓度时，预警分析模块开始警报并向用户终端发送“粉尘异常”短信。

其中，第一粉尘浓度为100，当空气流量不变时，10分钟检测到的粉尘含量为10毫克每立方米，此时空气中的粉尘含量达到临界值，若粉尘含量高于10毫克每立方米，则会对半导体晶圆的传送造成影响。

所述监测数据分析单元还包括监测环境策略，所述监测环境策略包括：

将DcMax对应的放置点标记为环境监测点；

在环境监测点放置环境采集模块，通过环境分析算法得出该环境监测点的环境监测值Co；

监测数据分析单元发送Co到预警分析模块，所述预警分析模块配置有环境预警策略，所述环境预警策略包括将Co与第一环境值进行比对，当Co大于等于第一环境值时，预警分析模块开始警报并向用户终端发送“环境异常”短信。

其中，第一环境值为30，当Co为30时，此时的风速v为3m/s，是传送室内所能承受的最大风速，若传送室内风速高于3m/s，则会对半导体晶圆的传送造成影响。

预警分析单元还包括综合预警策略，所述综合预警策略配置有综合预警算法，综合预警算法配置为：

；其中，Ca为综合分析值，Co为环境监测值，α为综合转换系数；

具体的，在通常情况下，粉尘浓度值约为10，环境监测值约为1，α的值设定为0.1，当其他因素不变，空气流速或风速变大时，Ca值会降低，当其他因素不变，粉尘浓度值变大时，Ca值会升高。

所述综合预警策略包括将Ca与第一综合区间进行比对，当Ca不在第一综合区间内时，预警分析单元开始警报并向用户终端发送“综合环境异常”短信；

其中，第一综合区间为（0.034，10）。

工作原理：首先通过存储数据分析单元获取传送室空间参数以及机械臂移动参数，搭建三维立体模型；然后在三维立体模型内标记出需要监测的位置点，影像数据分析单元配置纹影仪在位置点获取气体流动影响，对气体流动影像通过逐帧分析以及灰度化处理筛选出深度点，然后将所有深度点进行灰度化处理对比找出最深的深度点X；然后将深度点X放到三维立体模型中得到其所在位置记为粉尘点X；对同一位置多次重复处理后，取平均值让粉尘点X更加准确，最终确认为最佳监测点；

将所有最佳监测点放入三维立体模型中进行坐标比对，找到距离最佳监测点最近或相关性最大的装置坐标，标记为放置点，在所有放置点放置粉尘监测模块，将监测到的数据通过粉尘浓度分析算法得到粉尘浓度值，将所有的粉尘浓度值进行比对，记最大的粉尘浓度值为DcMax，标记DcMax的位置，将该位置定为环境监测点，在环境监测点放置环境采集模块，将监测到的数据通过环境分析算法得到环境监测值，对DcMax和环境监测值分别进行预警分析后进行预警，并将DcMax和环境监测值通过综合预警策略进行计算得到综合分析值，并对综合分析值进行预警分析后进行预警。

本领域内的技术人员应明白，本发明的实施例可提供为方法、系统、或计算机程序产品。因此，本发明可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本发明可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质上实施的计算机程序产品的形式。其中，存储介质可以由任何类型的易失性或非易失性存储设备或者它们的组合实现，如静态随机存取存储器（Static RandomAccess Memory，简称SRAM），电可擦除可编程只读存储器（Electrically ErasableProgrammable Read-Only Memory，简称EEPROM），可擦除可编程只读存储器（ErasableProgrammable Read Only Memory，简称EPROM），可编程只读存储器（Programmable Red-Only Memory，简称PROM），只读存储器（Read-OnlyMemory，简称ROM），磁存储器，快闪存储器，磁盘或光盘。这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和／或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。

以上所述实施例，仅为本发明的具体实施方式，用以说明本发明的技术方案，而非对其限制，本发明的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明实施例技术方案的精神和范围，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (9)

1.一种用于半导体晶圆传送的环境检测预警系统，其特征在于，所述检测预警系统包括粉尘监测模块、环境采集模块、气流捕获模块以及终端处理器，所述粉尘监测模块、环境采集模块以及气流捕获模块与终端处理器通讯连接；

所述粉尘监测模块包括空气滤膜、空气流量传感器、计时器以及称重器，所述空气滤膜用于过滤空气中的粉尘，所述空气流量传感器用于采集第一时间段内通过空气滤膜的气体流量，所述计时器用于计算粉尘监测模块运行的时间，所述称重器用于对空气滤膜采样前后的重量进行称重；

所述环境采集模块包括温度采集单元、湿度采集单元以及风速采集单元，所述温度采集单元用于检测空气中的温度，所述湿度采集单元用于检测空气中的湿度，所述风速采集单元用于检测空气中的风速；

所述气流捕获模块包括纹影仪，所述纹影仪用于获取机械臂移动后的气体流动影像；

所述终端处理器包括分析模块以及存储模块；

所述存储模块包括传送室空间参数以及机械臂移动参数，所述传送室空间参数包括：传送室的内部空间的长度、宽度、高度以及传送室内装置的参数，所述机械臂移动参数包括：机械臂从抓取位置到放置位置的移动路径；

所述分析模块包括存储数据分析单元、影像数据分析单元、监测数据分析单元以及预警分析单元，所述存储数据分析单元用于对传送室空间参数分析并搭建三维立体模型，对机械臂移动参数分析得到位置点，所述影像数据分析单元用于对纹影仪捕获的气体流动影像进行分析，得出最佳监测点，所述监测数据分析单元用于基于最佳监测点设置粉尘监测模块和环境采集模块的监测位置，对粉尘监测模块监测到的数据进行分析得到粉尘浓度值，对环境采集模块监测到的数据进行分析得到环境监测值；

所述预警分析单元用于对粉尘浓度值、环境监测值以及综合分析值进行比对分析，基于比对分析结果进行预警。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体晶圆传送的环境检测预警系统，其特征在于，所述监测数据分析单元配置有粉尘浓度算法，所述粉尘浓度算法配置为：

；

其中，Dc为粉尘浓度值，m1为采样前的滤膜质量，m2为采样后的滤膜质量，Q为采样时间内通过空气滤膜的气体流量，t为采样时间。

3.根据权利要求2所述的一种用于半导体晶圆传送的环境检测预警系统，其特征在于，所述监测数据分析单元配置有环境分析算法，所述环境分析算法配置：

；

其中，Co为环境监测值，v为风速，A1为风速转换系数。

4.根据权利要求3所述的一种用于半导体晶圆传送的环境检测预警系统，其特征在于，所述存储数据分析单元配置有数据分析策略，所述数据分析策略包括：

获取传送室的内部空间的长度、宽度、高度以及传送平台的长度、宽度、高度以及位置参数；

根据传送室的内部空间的长度、宽度、高度以及传送平台的长度、宽度、高度以及位置参数搭建三维立体模型；

获取若干次机械臂从抓取位置到放置位置的移动路径，将若干次放置位置设定位置点，依次标记每一个位置点；

标记位置点1至位置点n，n为正整数。

5.根据权利要求4所述的一种用于半导体晶圆传送的环境检测预警系统，其特征在于，所述影像数据分析单元配置有影像分析策略，所述影像分析策略包括：

获取三维立体模型中的一个位置点，机械臂运作后使用纹影仪获取该位置点的气体流动影像；

对气体流动影像进行逐帧区分，对每一帧图像进行灰度化处理，将机械臂轮廓进行框选，删除机械臂的位置图像后，设定为气体流动图像，获取气体流动图像中灰度值最大的点位，设定为：深度点；

依次将每一帧的深度点标记为深度点1至深度点m，m为正整数；

对深度点1至深度点m进行灰度值对比，选出最深的深度点X；

将深度点X所处的帧数X放入三维立体模型中，标记其所处的位置，记为粉尘点X；

重复影像分析策略若干次数，记录每次粉尘点X的坐标的x轴数值、y轴数值以及z轴数值，对同一坐标轴的数值删去一个最大值和一个最小值后取平均值得到平均x轴数值、平均y轴数值以及平均z轴数值，将平均x轴数值、平均y轴数值以及平均z轴数值构成的坐标设定为：最佳监测点。

6.根据权利要求5所述的一种用于半导体晶圆传送的环境检测预警系统，其特征在于，所述监测数据分析单元还包括监测放置策略，所述监测放置策略包括：

依次对机械臂的位置点1至位置点n使用影像分析策略，得到最佳监测点1至最佳监测点n；

获取三维立体模型，将最佳监测点1至最佳监测点n放置到三维立体模型中进行坐标比对，从传送平台上获取距离最佳监测点最近的坐标，将其标记为：放置点；

依次将每一个最佳监测点对应的放置点标记为放置点1至放置点n；

将粉尘监测模块放置到放置点。

7.根据权利要求6所述的一种用于半导体晶圆传送的环境检测预警系统，其特征在于，所述监测数据分析单元还包括监测数据处理策略，所述监测数据处理策略包括：

通过粉尘浓度算法得出每个放置点的粉尘浓度值，记录为Dc1至Dcn，其中n为正整数；

监测数据分析单元获取Dc1至Dcn中的最大值记为DcMax；

监测数据分析单元发送DcMax到预警分析模块，所述预警分析模块配置有粉尘预警策略，所述粉尘预警策略包括将DcMax与第一粉尘浓度进行比对，当DcMax大于等于第一粉尘浓度时，预警分析模块开始警报。

8.根据权利要求7所述的一种用于半导体晶圆传送的环境检测预警系统，其特征在于，所述监测数据分析单元还包括监测环境策略，所述监测环境策略包括：

将DcMax对应的放置点标记为环境监测点；

在环境监测点放置环境采集模块，通过环境分析算法得出该环境监测点的环境监测值Co；

检测数据分析单元发送Co到预警分析模块，所述预警分析模块配置有环境预警策略，所述环境预警策略包括将Co与第一环境值进行比对，当Co大于等于第一环境值时，预警分析模块开始警报。

9.根据权利要求8所述的一种用于半导体晶圆传送的环境检测预警系统，其特征在于，预警分析单元还包括综合预警策略，所述综合预警策略配置有综合预警算法，综合预警算法配置为：

；其中，Ca为综合分析值，Co为环境监测值，α为综合转换系数；

所述综合预警策略包括将Ca与第一综合区间进行比对，当Ca不在第一综合区间内时，预警分析单元开始警报。

Images