CN115729367A - 触控振动面板及其驱动方法、显示装置 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供了一种触控振动面板及其驱动方法、显示装置，通过将压电元件同时作为触摸传感器和触觉致动器复用，触摸传感器利用正压电效应，可用于判断触摸位置，触觉致动器利用逆压电效应，可用于实现触觉再现，从而形成触摸位置判断和触觉再现的闭环电路，因此本发明实施例可以动态调整并监测触摸压力信号，并透过侦测触摸位置形成图形化驱动，同时可以将压电元件分组，不同组压电元件分时驱动，降低器件的温度，提高触控振动面板的振动性能。

Description

触控振动面板及其驱动方法、显示装置

技术领域

本发明涉及传感器技术领域，特别涉及一种触控振动面板及其驱动方法、显示装置。

背景技术

触觉反馈(Haptics)为现今科技开发的重点，具体地，触觉反馈能够透过触觉，使终端跟人体产生交互。触觉反馈又可以分为两类，一类为振动反馈，一类为触觉再现技术。

表面触觉再现技术可以通过裸指触控屏幕来感知物体特性，在多媒体终端实现高效自然的交互，具有巨大的研究价值，因而得到国内外研究学者的广泛关注。表面触觉物理意义上，为物体表面粗糙度与皮肤(指尖)的表面产生作用，因表面结构不同而形成不同的摩擦力。因此透过控制表面摩擦力，即可实现不同触觉/触感之模拟。

发明内容

本发明实施例提供了一种触控振动面板及其驱动方法、显示装置，提出一种触摸传感器和触觉致动器集成的器件结构以及可以降低器件的温度。

本发明实施例提供的一种触控振动面板，包括：衬底基板，以及位于所述衬底基板上的多个压电元件；所述多个压电元件中的至少一个压电元件同时与一个信号输入端和一个信号输出端电连接；其中，

所述至少一个压电元件作为触摸传感器时，所述信号输入端被配置为截止工作状态，所述信号输出端被配置为获取所述作为触摸传感器的压电元件由目标物体触摸发生变形产生的电信号；或，

所述至少一个压电元件作为触觉致动器时，所述信号输出端被配置为截止工作状态，所述信号输入端被配置为向所述作为触觉致动器的压电元件输入用于使所述触觉致动器产生振动的信号。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述触控振动面板中，每一个所述压电元件分别同时与一个信号输入端和一个信号输出端电连接。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述触控振动面板中，所述多个压电元件呈阵列排布，所述信号输入端包括第一信号输入端和第二信号输入端，所述信号输出端包括第一信号输出端和第二信号输出端；其中，

同一列的所述压电元件与所述第一信号输入端和所述第一信号输出端电连接，或同一列的所述压电元件与所述第二信号输入端和所述第二信号输出端电连接；

不同列的所述压电元件中，其中部分列的所述压电元件与所述第一信号输入端和所述第一信号输出端电连接，剩余列的所述压电元件与所述第二信号输入端和所述第二信号输出端电连接。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述触控振动面板中，所述压电元件包括位于所述衬底基板上依次层叠设置的第一电极层、压电层和第二电极层，所述第一电极层接地，所述第二电极层的一端与对应的所述信号输入端电连接，所述第二电极层的另一端与对应的所述信号输出端电连接。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述触控振动面板中，还包括：位于所述第二电极层背离所述衬底基板一侧的绝缘层，位于所述绝缘层背离所述衬底基板一侧同层设置且相互绝缘的第一走线和第二走线；

所述第一走线的一端通过贯穿所述绝缘层的第一过孔与所述第二电极层的一端电连接，所述第一走线的另一端与对应的所述信号输入端电连接；

所述第二走线的一端通过贯穿所述绝缘层的第二过孔与所述第二电极层的另一端电连接，所述第二走线的另一端与对应的所述信号输出端电连接。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述触控振动面板中，所述压电层的厚度小于2μm。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述触控振动面板中，所述第一电极层和所述第二电极层的材料为透明导电材料或金属材料，所述第一电极层和所述第二电极层的厚度均为200nm～500nm。

相应地，本发明实施例还提供了一种显示装置，包括本发明实施例提供的上述任一项所述的触控振动面板。

相应地，本发明实施例还提供了一种用于驱动本发明实施例提供的上述任一项所述的触控振动面板的驱动方法，包括：

向与作为触摸传感器的压电元件电连接的信号输入端加载截止工作信号，向与所述作为触摸传感器的压电元件电连接的信号输出端加载工作信号，目标物体触摸所述作为触摸传感器的压电元件，所述信号输出端获取所述作为触摸传感器的压电元件由所述目标物体触摸发生变形后产生的电信号；

向与作为触觉致动器的压电元件电连接的信号输出端加载截止工作信号，向与所述作为触觉致动器的压电元件电连接的信号输入端加载用于使所述触觉致动器产生振动的信号，实现触觉再现。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述驱动方法中，在第一时刻，向与部分列的压电元件电连接的信号输入端加载截止工作信号，向与所述部分列的压电元件电连接的信号输出端加载工作信号；向与剩余列的压电元件电连接的信号输入端加载工作信号，向与所述剩余列的压电元件电连接的信号输出端加载截止工作信号；

在第二时刻，向与所述部分列的压电元件电连接的信号输入端加载工作信号，向与所述部分列的压电元件电连接的信号输出端加载截止工作信号；向与所述剩余列的压电元件电连接的信号输入端加载截止工作信号，向与所述剩余列的压电元件电连接的信号输出端加载工作信号。

本发明实施例的有益效果如下：

本发明实施例提供了一种触控振动面板及其驱动方法、显示装置，通过将压电元件同时作为触摸传感器和触觉致动器复用，触摸传感器利用正压电效应，可用于判断触摸位置，触觉致动器利用逆压电效应，可用于实现触觉再现，从而形成触摸位置判断和触觉再现的闭环电路，因此本发明实施例可以动态调整并监测触摸压力信号，并透过侦测触摸位置形成图形化驱动，同时可以将压电元件分组，不同组压电元件分时驱动，降低器件的温度，提高触控振动面板的振动性能。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种触控振动面板的结构示意图；

图2为图1中沿AA’方向的截面示意同；

图3为本发明实施例提供的又一种触控振动面板的结构示意图；

图4为压电元件振动产生的谐振峰示意图；

图5为衬底基板振动的效果示意图；

图6为本发明实施例提供的部分列压电元件振动产生的谐振峰示意图；

图7为本发明实施例提供的部分列压电元件振动产生的谐振峰示意图；

图8为本发明实施例提供的驱动信号的分时驱动示意图；

图9A为采用图8中虚线框的驱动信号驱动的示意图；

图9B为采用图8中实线框的驱动信号驱动的示意图；

图10为本发明实施例提供的压电元件发热示意图；

图11为本发明实施例提供的触控振动面板的工作逻辑图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。并且在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

除非另外定义，本发明使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本发明中使用的“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“内”、“外”、“上”、“下”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

需要注意的是，附图中各图形的尺寸和形状不反映真实比例，目的只是示意说明本发明内容。并且自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。

本发明实施例提供了一种触控振动面板，如图1和图2所示，图1为触控振动面板的俯视示意图，图2为图1中沿AA’方向的截面示意图，该触控振动面板包括：衬底基板1，以及位于衬底基板1上的多个压电元件2；多个压电元件2中的至少一个压电元件2同时与一个信号输入端3和一个信号输出端4电连接(图1未示出信号输入端3和信号输出端4，图2示意出一个压电元件2同时与一个信号输入端3和一个信号输出端4电连接)；其中，

至少一个压电元件2作为触摸传感器时，信号输入端3被配置为截止工作状态，信号输出端4被配置为获取作为触摸传感器的压电元件2由目标物体触摸发生变形产生的电信号；或，

至少一个压电元件2作为触觉致动器时，信号输出端4被配置为截止工作状态，信号输入端3被配置为向作为触觉致动器的压电元件2输入用于使触觉致动器产生振动的信号。

本发明实施例提供的上述触控振动面板，通过将压电元件同时作为触摸传感器和触觉致动器复用，触摸传感器利用正压电效应，可用于判断触摸位置，触觉致动器利用逆压电效应，可用于实现触觉再现，从而形成触摸位置判断和触觉再现的闭环电路，因此本发明实施例可以动态调整并监测触摸压力信号，并透过侦测触摸位置形成图形化驱动，同时可以将压电元件分组，不同组压电元件分时驱动，降低器件的温度，提高触控振动面板的振动性能。

在具体实施时，本发明实施例中的目标物体可以为手指、手掌等。

在具体实施过程中，上述衬底基板可以为显示屏的衬底基板或盖板，该衬底基板可以为由玻璃制成的基板，还可以为由硅或二氧化硅(SiO₂)制成的基板，还可以为由蓝宝石制成的基板，还可以为由金属晶圆制成的基板，在此不做限定，本领域技术人员可以根据实际应用需要来设置上述衬底基板。

在具体实施时，信号输入端向作为触觉致动器的压电元件输入使触觉致动器产生振动的信号一般为交流信号。

在具体实施时，在本发明实施例提供的上述触控振动面板中，如图1所示，每一个压电元件2分别同时与一个信号输入端(未示出)和一个信号输出端(未示出)电连接。这样每一个压电元件2既可以作为触摸传感器，又可以作为触觉致动器，不仅可以实现动态调整并监测触摸压力信号，并透过侦测触摸位置形成图形化驱动，实现触觉再现，同时可以将所有压电元件分组，不同组压电元件分时驱动，降低器件的温度，提高触控振动面板的振动性能。

在具体实施时，在本发明实施例提供的上述触控振动面板中，如图3所示，多个压电元件2呈阵列排布，信号输入端3包括第一信号输入端31和第二信号输入端32，信号输出端4包括第一信号输出端41和第二信号输出端42；其中，

同一列的压电元件(例如左起第一列、第三列、第五列)与第一信号输入端31和第一信号输出端41电连接，或同一列的压电元件(例如左起第二列、第四列、第六列)与第二信号输入端32和第二信号输出端42电连接；

不同列的压电元件中，其中部分列(例如左起第一列、第三列、第五列)的压电元件2与第一信号输入端31和第一信号输出端41电连接，剩余列(例如左起第二列、第四列、第六列)的压电元件2与第二信号输入端32和第二信号输出端42电连接。这样当左起第一列、第三列、第五列的压电元件2作为触摸传感器时，则左起第二列、第四列、第六列的压电元件2作为触觉致动器；当左起第二列、第四列、第六列的压电元件2作为触摸传感器时，则左起第一列、第三列、第五列的压电元件2作为触觉致动器。

具体地，当手指触摸在振动面板表面时，作为触摸传感器的压电元件2列(例如左起第一列、第三列、第五列)电连接的第一信号输入端31截止工作(即不施加交流电压)，与作为触摸传感器的压电元件2列(左起第一列、第三列、第五列)电连接的第一信号输出端41侦测压电元件2的形变量，根据正压电效应得到手指正向力输入的大小，根据该正向力的大小可以判断出手指触摸位置。

本发明实施例提供的触控振动面板主要用于与显示器件结合，根据判断出来的触摸位置以及该触摸位置显示的图像信息，向作为触觉致动器的压电元件2列(例如左起第二列、第四列、第六列)电连接的第二信号输入端32施加相应的交流电压，则作为触觉致动器的压电元件2根据逆压电效应发生振动，带动衬底基板1形成驻波振动，从而实现触觉再现。

相关技术中，通过使用逆压电效应，压电元件振动，具有特定谐振峰，如图4所示，并可使衬底基板形成特定驻波型振动，如图5所示，实现触觉再现。

本发明实施例的目的在于提供一种同一个压电元件同时复用为触摸传感器和触觉致动器，在某些压电元件作为触摸传感器时，剩余的压电元件作为触觉致动器；在某些压电元件作为触觉致动器时，剩余的压电元件作为触摸传感器；这就需要当仅某些压电元件振动时还能够具有特定谐振峰，本发明的发明人进行了验证，如图6和图7所示，图6为图1中偶数列振动时的谐振峰，图7为图1中左起第一列和最后一列振动时的谐振峰，可以看出阵列中特定列振动，不影响其阵形与谐振频率，只产生振幅改变，因此本发明实施例提供的触控振动面板可以采用分列驱动方法。

在一种可能的实施方式中，如图8所示，将原本交流信号切分成两个周期(实线框与虚线框)，两个周期的交流信号相位相差为180°，在第一时刻，对图1中的奇数列采用虚线框的交流信号驱动，如图9A所示，图9A中奇数列(左起第一列、第三列、第五列)可作为触觉致动器，偶数列(左起第二列、第四列、第六列)作为触摸传感器；在第二时刻，对图1中的偶数列采用实线框的交流信号驱动，如图9B所示，图9B中偶数列(左起第二列、第四列、第六列)可作为触觉致动器，奇数列作为触摸传感器(左起第一列、第三列、第五列)。图9A和图9B分别对应不同的列驱动信号，相关技术中采用所有压电元件同时驱动，会发生如图10中曲线C所示的器件发热问题，图10为压电元件的温度随驱动时间变化的曲线示意图。而本发明实施例的压电元件采用分列驱动，占空比降低，因此器件发热问题可由图10中曲线C降低为曲线D，在驱动机电转换效率不变下，降低能量输入/输出时间，进而同时改善发热问题。

需要说明的是，本发明实施例的驱动方法时序选择不限于采用分列驱动方式，只要采用压电元件分时驱动即可。

在具体实施时，在本发明实施例提供的上述触控振动面板中，如图2所示，压电元件2包括位于衬底基板1上依次层叠设置的第一电极层21、压电层22和第二电极层23，第一电极层21接地，第二电极层23的一端与对应的信号输入端3电连接，第二电极层23的另一端与对应的信号输出端4电连接。这样在该压电元件2作为触摸传感器时，信号输入端3截止工作，信号输出端4获取该压电元件2由目标物体触摸发生变形产生的电信号，实现触摸位置的判断；在该压电元件2作为触觉致动器时，信号输出端4截止工作，信号输入端3向该压电元件2输入交流电压，实现触觉再现。

在具体实施时，在本发明实施例提供的上述触控振动面板中，如图2所示，还包括：位于第二电极层23背离衬底基板1一侧的绝缘层5，位于绝缘层5背离衬底基板1一侧同层设置且相互绝缘的第一走线6和第二走线7；

第一走线6的一端通过贯穿绝缘层5的第一过孔与第二电极层23的一端电连接，第一走线6的另一端与对应的信号输入端3电连接；

第二走线7的一端通过贯穿绝缘层5的第二过孔与第二电极层23的另一端电连接，第二走线7的另一端与对应的信号输出端4电连接。

具体地，图2所示的信号输入端3和信号输出端4与驱动芯片(IC)电连接，IC内部具有选通模块(例如开关晶体管)，IC根据需要控制选通模块导通与截止来实现控制信号输入端3工作或控制信号输出端4工作。

在具体实施时，在本发明实施例提供的上述触控振动面板中，由于多个压电元件呈阵列分布，由于该触控振动面板后续需要与显示器件结合，则需要保证触控振动面板是透明的，因此压电层的厚度小于2μm。

在具体实施时，本发明实施例中的压电层的材料可以为但不限于锆钛酸铅(Pb(Zr,Ti)O₃，PZT)、氮化铝(AlN)、ZnO(氧化锌)、钛酸钡(BaTiO₃)、钛酸铅(PbTiO₃)、铌酸钾(KNbO₃)、铌酸锂(LiNbO₃)、钽酸锂(LiTaO₃)、硅酸镓镧(La₃Ga₅SiO₁₄)中的至少一种，具体可以根据本领域技术人员的实际使用需要来选择制作压电层的材料，在此不做限定。

在具体实施时，在本发明实施例提供的上述触控振动面板中，第一电极层和第二电极层的材料可以为透明导电材料，例如氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)等；或者，第一电极层和第二电极层的材料也可以为金属材料，例如钛金(Ti-Au)合金、钛铝钛(Ti-Al-Ti)合金、钛钼(Ti-Mo)合金中的一种，此外，还可以是铂金(Pt)、钛(Ti)、金(Au)、银(Ag)、钼(Mo)、铜(Cu)、钨(W)、铬(Cr)中的一种，本领域技术人员可以根据实际应用需要来设置上述各电极层，在此不做限定。

在具体实施时，本发明实施例中的第一电极层和第二电极层的厚度可以均为200nm～500nm，例如200nm、250nm、300nm、350nm、400nm、450nm、500nm等。

在具体实施时，本发明实施例提供的触控振动面板除了上述提及的各种膜层之外，还可以根据实际应用设置其它膜层。

本发明实施例提供的触控振动面板可应用于医疗，汽车电子，运动追踪系统等领域。尤其适用于可穿戴设备领域，医疗体外或植入人体内部的监测及治疗使用，或者应用于人工智能的电子皮肤等领域。具体地，可以将触控振动面板应用于刹车片、键盘、移动终端、游戏手柄、车载等可产生振动和力学特性的装置中。

基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种用于驱动上述任一项的触控振动面板的驱动方法，包括：

向与作为触摸传感器的压电元件电连接的信号输入端加载截止工作信号，向与作为触摸传感器的压电元件电连接的信号输出端加载工作信号，目标物体触摸作为触摸传感器的压电元件，信号输出端获取作为触摸传感器的压电元件由目标物体触摸发生变形后产生的电信号；

向与作为触觉致动器的压电元件电连接的信号输出端加载截止工作信号，向与作为触觉致动器的压电元件电连接的信号输入端加载用于使所述触觉致动器产生振动的信号，实现触觉再现。

本发明实施例提供的上述触控振动面板的驱动方法，通过将压电元件同时作为触摸传感器和触觉致动器复用，触摸传感器利用正压电效应，可用于判断触摸位置，触觉致动器利用逆压电效应，可用于实现触觉再现，从而形成触摸位置判断和触觉再现的闭环电路，因此本发明实施例可以动态调整并监测触摸压力信号，并透过侦测触摸位置形成图形化驱动，同时可以将压电元件分组，不同组压电元件分时驱动，降低器件的温度，提高触控振动面板的振动性能。

在具体实施时，在本发明实施例提供的上述驱动方法中，在第一时刻，向与部分列的压电元件电连接的信号输入端加载截止工作信号，向与部分列的压电元件电连接的信号输出端加载工作信号；向与剩余列的压电元件电连接的信号输入端加载工作信号，向与剩余列的压电元件电连接的信号输出端加载截止工作信号；

在第二时刻，向与部分列的压电元件电连接的信号输入端加载工作信号，向与部分列的压电元件电连接的信号输出端加载截止工作信号；向与剩余列的压电元件电连接的信号输入端加载截止工作信号，向与剩余列的压电元件电连接的信号输出端加载工作信号。

本发明实施例的压电元件采用分列驱动，占空比降低，因此可以降低器件发热问题，在驱动机电转换效率不变下，降低能量输入/输出时间，进而同时改善发热问题。

下面对本发明实施例提供的振动面板的驱动方法进行详细描述，如图11所示，图11中的虚线框E为作为触摸传感器的压电元件在受到手指触摸时，压电元件受力变形产生电荷(即电信号)，该电信号经过前置放大器、归一化放大级、滤波、输出级、模数转换等模块转换为对应的输出电信号，根据该输出电信号的大小判断手指触摸位置(虚线框G所示)，即触摸传感器用于判定人手指触摸位置；然后将该输出电信号输出至触觉制动器的驱动电路作为闭环驱动参考输出，该输出电信号经过补偿电路补偿以及一系列的信号处理过程输出至各触觉致动器，使衬底基板产生如图5所示的表面振动，形成压模效应，改变手指摩擦力，并实时侦测手指触摸位置进行输出调整，形成图案化触觉再现驱动。

基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种显示装置，包括本发明实施例提供的上述触控振动面板。由于该显示装置解决问题的原理与前述一种触控振动面板相似，因此该显示装置的实施可以参见前述触控振动面板的实施，重复之处不再赘述。

在具体实施时，本公开实施例提供的上述显示装置还可以包括本领域技术人员熟知的其他膜层(例如驱动电路、显示结构等)，在此不做详述。

在具体实施时，通过显示装置的触控振动面板可以确定人体的触控位置，从而根据触控位置对应显示的图像输入相应的交流信号产生对应的振动波形和振幅，可以实现人机交互。当然，还可以根据实际需要将显示装置应用在医疗，汽车电子，运动追踪系统等领域，在此不再详述。

本发明实施例提供的一种触控振动面板及其驱动方法、显示装置，通过将压电元件同时作为触摸传感器和触觉致动器复用，触摸传感器利用正压电效应，可用于判断触摸位置，触觉致动器利用逆压电效应，可用于实现触觉再现，从而形成触摸位置判断和触觉再现的闭环电路，因此本发明实施例可以动态调整并监测触摸压力信号，并透过侦测触摸位置形成图形化驱动，同时可以将压电元件分组，不同组压电元件分时驱动，降低器件的温度，提高触控振动面板的振动性能。

尽管已描述了本发明的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明实施例的精神和范围。这样，倘若本发明实施例的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种触控振动面板，其特征在于，包括：衬底基板，以及位于所述衬底基板上的多个压电元件；所述多个压电元件中的至少一个压电元件同时与一个信号输入端和一个信号输出端电连接；其中，

所述至少一个压电元件作为触摸传感器时，所述信号输入端被配置为截止工作状态，所述信号输出端被配置为获取所述作为触摸传感器的压电元件由目标物体触摸发生变形产生的电信号；或，

所述至少一个压电元件作为触觉致动器时，所述信号输出端被配置为截止工作状态，所述信号输入端被配置为向所述作为触觉致动器的压电元件输入用于使所述触觉致动器产生振动的信号。

2.如权利要求1所述的触控振动面板，其特征在于，各所述压电元件分别同时与一个信号输入端和一个信号输出端电连接。

3.如权利要求2所述的触控振动面板，其特征在于，所述多个压电元件呈阵列排布，所述信号输入端包括第一信号输入端和第二信号输入端，所述信号输出端包括第一信号输出端和第二信号输出端；其中，

同一列的所述压电元件与所述第一信号输入端和所述第一信号输出端电连接，或同一列的所述压电元件与所述第二信号输入端和所述第二信号输出端电连接；

不同列的所述压电元件中，其中部分列的所述压电元件与所述第一信号输入端和所述第一信号输出端电连接，剩余列的所述压电元件与所述第二信号输入端和所述第二信号输出端电连接。

4.如权利要求3所述的触控振动面板，其特征在于，所述压电元件包括位于所述衬底基板上依次层叠设置的第一电极层、压电层和第二电极层，所述第一电极层接地，所述第二电极层的一端与对应的所述信号输入端电连接，所述第二电极层的另一端与对应的所述信号输出端电连接。

5.如权利要求4所述的触控振动面板，其特征在于，还包括：位于所述第二电极层背离所述衬底基板一侧的绝缘层，位于所述绝缘层背离所述衬底基板一侧同层设置且相互绝缘的第一走线和第二走线；

所述第一走线的一端通过贯穿所述绝缘层的第一过孔与所述第二电极层的一端电连接，所述第一走线的另一端与对应的所述信号输入端电连接；

所述第二走线的一端通过贯穿所述绝缘层的第二过孔与所述第二电极层的另一端电连接，所述第二走线的另一端与对应的所述信号输出端电连接。

6.如权利要求4所述的触控振动面板，其特征在于，所述压电层的厚度小于2μm。

7.如权利要求4所述的触控振动面板，其特征在于，所述第一电极层和所述第二电极层的材料为透明导电材料或金属材料，所述第一电极层和所述第二电极层的厚度均为200nm～500nm。

8.一种显示装置，其特征在于，包括如权利要求1-7任一项所述的触控振动面板。

9.一种用于驱动如权利要求1-7任一项所述的触控振动面板的驱动方法，其特征在于，包括：

向与作为触摸传感器的压电元件电连接的信号输入端加载截止工作信号，向与所述作为触摸传感器的压电元件电连接的信号输出端加载工作信号，目标物体触摸所述作为触摸传感器的压电元件，所述信号输出端获取所述作为触摸传感器的压电元件由所述目标物体触摸发生变形后产生的电信号；

向与作为触觉致动器的压电元件电连接的信号输出端加载截止工作信号，向与所述作为触觉致动器的压电元件电连接的信号输入端加载用于使所述触觉致动器产生振动的信号，实现触觉再现。

10.如权利要求9所述的驱动方法，其特征在于，在第一时刻，向与部分列的压电元件电连接的信号输入端加载截止工作信号，向与所述部分列的压电元件电连接的信号输出端加载工作信号；向与剩余列的压电元件电连接的信号输入端加载工作信号，向与所述剩余列的压电元件电连接的信号输出端加载截止工作信号；

在第二时刻，向与所述部分列的压电元件电连接的信号输入端加载工作信号，向与所述部分列的压电元件电连接的信号输出端加载截止工作信号；向与所述剩余列的压电元件电连接的信号输入端加载截止工作信号，向与所述剩余列的压电元件电连接的信号输出端加载工作信号。

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