CN115727879A

CN115727879A - 光学接收单元

Info

Publication number: CN115727879A
Application number: CN202211032895.8A
Authority: CN
Inventors: M·迈斯纳; J·米特雷特; R·梅茨克; M·斯特普塔特; S·伯恩巴赫; R·克劳斯; M·舍雷尔; M·埃伯尔; R·斯特姆; W·霍尔扎菲尔; W·普彻; B·普莱查赫
Original assignee: Dr Johannes Heidenhain GmbH
Current assignee: Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date: 2021-08-26
Filing date: 2022-08-26
Publication date: 2023-03-03
Also published as: JP2023033106A; DE102021209393A1; EP4145083B1; EP4145083A1

Abstract

本发明涉及一种光学接收单元，具体地，用于位置测量系统的光学接收单元，所述位置测量系统用于确定空间位置信息。接收单元具有测量单元，所述测量单元包括底板、带有扫描格栅的透明的盖板、在底板和盖板之间的一个或多个间隔保持件以及光电的探测器，所述探测器的光敏面朝着盖板的方向定向。所述探测器通过自定心的补偿元件布置在测量单元的底板上。

Description

光学接收单元

技术领域

本发明涉及一种光学接收单元，该光学接收单元可在用于确定空间位置信息的位置测量系统中使用。

背景技术

由WO01/38828A1已知一种光学的位置测量系统，该位置测量系统构造为空间2D角度测量系统并且可以用于确定空间位置信息。一方面，该位置测量系统包括发射单元，该发射单元布置在可在空间中运动的测量对象处，该测量对象的空间位置和定向、即其姿态可确定；例如，合适的光源可以用作发射单元。另一方面，相对于可运动的发射单元静止地设置有一个或多个光学接收单元，所述光学接收单元基本上分别具有扫描格栅(Abtastgitter)以及光电的探测器；从提及的文献中不能得知关于接收单元的合适结构的其它细节。借助这种系统，发射单元在空间中的姿态可以通过所谓的多角度测量来确定。为此，从相应的接收单元看，关于发射单元的视线方向通过两个角度测量来确定。在两个接收单元的相对位置已知的情况下可以由确定的视线的交点确定发射单元的姿态。关于这种测量原理的进一步细节，明确地参考所提及的文献。

此外，由EP3557182A1已知类似的测量系统；该文献的图2在此还示出所使用的光学接收单元的可能的结构。该光学接收单元由带有底板的测量单元(Messzelle,有时也称为测量传感器)组成，探测器布置在该底板上；带有扫描格栅的盖板通过间隔保持件与探测器隔开一定间距地设置。如果将这种测量单元例如通过拧紧固定在物体处，则这可能会导致测量单元受到机械应力，该机械应力又对位置确定的准确性产生负面影响。因此例如，由于测量单元的变形可导致探测器和扫描格栅之间的间距变化。此外可能的是，在探测器和扫描格栅之间的横向位置在此发生变化和/或扫描格栅发生变形。此外，由于温度变化也可能引起类似的影响。

发明内容

本发明的任务在于，给出一种用于位置测量系统的光学接收单元，所述位置测量系统用于确定空间位置信息，其中，即使在机械应力和/或热应力的情况下也确保不产生错误测量。

根据本发明，该任务通过具有权利要求1的特征的光学接收单元来解决。

根据本发明的光学接收单元的有利的实施方案由在从属权利要求中列出的措施得出。

根据本发明的光学接收单元可以在用于确定空间位置信息的位置测量系统中使用。光学接收单元具有测量单元，其包括底板、带有扫描格栅的透明的盖板、在底板和盖板之间的一个或多个间隔保持件以及光电的探测器，所述探测器的光敏面朝着盖板的方向定向。所述探测器通过自定心的补偿元件布置在测量单元的底板上。

通过补偿元件的构造可以确保：当热影响或机械影响作用到底板上时防止探测器的横向的位置变化以及围绕垂直于探测器表面定向的轴线的旋转。

有利地，设置成，

-所述补偿元件由包围封闭的面区域的多个彼此邻接的支撑部组成，并且

-其中，所述支撑部分别具有至少一个探测器固定区域以及多个窄缩区域，并且

-其中，所述补偿元件还具有多个测量单元固定区域，所述测量单元固定区域分别构造在相邻的支撑部的边界区域中。

在此可行的是，

-所述补偿元件通过测量单元固定区域布置在底板的凹部上方，并且

-所述补偿元件包括四个支撑部，所述支撑部分别具有四个窄缩区域，并且

-在所述补偿元件的拐角处分别构造有测量单元固定区域，补偿元件通过所述测量单元固定区域相邻于凹部固定在底板上，并且

-每个支撑部在两个中间的窄缩区域之间具有探测器固定区域，并且

-每个支撑部还具有两个与测量单元固定区域相邻的外部的窄缩区域。

此外，可以设置成，

-所述补偿元件通过测量单元固定区域与底板以平面的方式粘接，并且

-所述探测器通过探测器固定区域与补偿元件以平面的方式粘接。

优选地，所述探测器的光敏面与底板的朝着扫描格栅的方向定向的那一侧布置在一个平面中。

在一种有利的实施方式中，所述测量单元可以通过多个固体关节双足装置(Festkörpergelenk-Bipod)布置成支承在装配壳体中，其中，所述固体关节双足装置确保测量单元在装配壳体中的运动学上确定的支承。

在此，可行的是，

-所述固体关节双足装置分别包括两个腿部，所述腿部具有多个腿部区段和多个固体关节，并且

-所述固体关节双足装置在所述两个腿部的连接区域中连结在测量单元处并且以所述两个腿部的自由端部连结在装配壳体处，并且

-所述固体关节双足装置与测量单元的圆周相切地布置。

有利地，所述固体关节双足装置分别如此构造，使得两个平移的运动自由度被阻止，并且仅能实现关于第三平移运动自由度以及三个旋转运动自由度的可运动性。

三个固体关节双足装置可以围绕测量单元的中心以120°的角度间隔布置，从而通过所述三个固体关节双足装置的相互作用，测量单元不能在任何空间方向上自由运动。

在此证明为有利的是，所述固体关节双足装置相对于测量单元沿其切线布置方向分别具有相比于在与切线布置方向正交的方向上的刚度更高的刚度。

所述固体关节双足装置可以由因钢(Invar)构成。

优选地，所述底板、所述至少一个间隔保持件以及所述盖板由相同的材料组成。

此外有利的是，所述扫描格栅布置在盖板的朝着探测器的方向定向的那一侧上。

因此可以构建一种用于确定在空间中可运动的测量对象的位置和定向的光学的位置测量系统，所述测量对象带有多个可识别的光源，该位置测量系统包括一个或多个静止布置的根据本发明的光学接收单元。

通过根据本发明的措施，从现在起确保在空间位置确定时的测量误差被最小化，所述测量误差可由对光学接收单元的机械影响和/或热影响引起。这通过以下实现，即，独立于机械影响和/或热影响，总是产生探测器相对于扫描格栅的稳定的相对位置。此外，避免了扫描格栅、探测器和测量单元的弯曲，所述弯曲也可导致测量误差。

本发明的其它细节和优点根据以下结合附图对根据本发明的装置的实施例的描述来解释。

附图说明

图1示出用于确定空间位置信息的位置测量系统的示意图，在该位置测量系统中使用多个根据本发明的光学接收单元；

图2示出根据本发明的光学接收单元的实施例的剖面图；

图3示出图2中的光学接收单元的测量单元的透视的部分视图；

图4示出图2中的光学接收单元的测量单元中的补偿元件的透视图；

图5示出图2中的光学接收单元的整个测量单元结合两个固体关节双足装置的透视图；

图6a、6b示出根据本发明的光学接收单元中的固体关节双足装置的侧视图以及透视图；

图7a、7b示出用于阐述根据本发明的光学接收单元中的固体关节双足装置的作用方式的图示。

具体实施方式

在图1中以强烈示意性的形式示出光学的位置测量系统，该位置测量系统适用于确定空间位置信息或确定在空间中可运动的测量对象的位置和定向；在下面，也将关于这方面讨论测量对象的姿态。在当前的示例中，设置测量头10作为测量对象，该测量头可以通过仅示意性地示出的运动学机构20在空间中进行定位，并且该测量头的姿态借助光学的位置测量系统确定。作为测量头10例如可以使用已知的切换的度规(Taster)，该度规通过运动学机构20定位在机床的加工空间中，以便通过触觉触碰来测量完成的工件。

在当前的实施例中，位置测量系统包括多个空间2D角度测量系统，如其例如从开头引用的文献WO01/38828A1中基本上已知。补充地，在这一点上还应参考EP3739287A1以及EP3175949A1，它们分别示出这种2D角度测量系统在特殊的光学的位置测量系统中的应用。在此明确引用这些文献的公开内容以及其中包含的关于合适的2D角度测量系统的细节的信息。

相应的位置测量系统一方面为了确定姿态包括布置在测量头10处的多个可识别的光源31.1-31.6。在所示的示例中，总共八个光源31.1-31.6设置在测量头10处，所述光源成对地围绕测量头10错开90°地布置，并且所述测量头中，在图中只能看到六个光源31.1-31.6。另一方面，位置测量系统包括多个根据本发明的光学接收单元40.1,40.2，所述光学接收单元相对于可运动的光源31.1-31.6静止地布置在测量头10处。在所示的实施例中，仅设置有两个这种光学接收单元40.1,40.2，当然在这样的位置测量系统中也可以使用更多这种单元；所使用的光源的数量当然也可以变化。光学接收单元40.1,40.2布置在合适的静止物体处，例如布置在图中未示出的机器框架处。

借助下面还将详细阐释的光学接收单元40.1,40.2可以分别针对对应的接收单元40.1,40.2检测来自光源31.1-31.6的光束的入射方向或所测量的光源31.1-31.6的角度位置。此外，如果已知两个静止的接收单元40.1,40.2彼此的相对位置，则可以由针对光源31.1-31.6的特定的入射方向或视线的交点来确定测量头10的姿态。为此，在光学接收单元40.1,40.2中产生的信号通过信号处理单元50进行处理并传送给姿态计算单元60，姿态计算单元由此确定测量头10的空间位置和定向或姿态。这些信息然后可以由机器控制器70使用，以便通过运动学机构20在空间中适当地定位测量头10。

下面借助其它附图详细阐释根据本发明的光学接收单元140的实施例。在此，图2示出具有测量单元141和装配壳体160的接收单元140的剖面图，图3和图5分别示出接收单元140的测量单元141的透视图，以及图4、6a和6b示出接收单元140的其它部件。

作为决定性的功能元件，接收单元140具有布置在装配壳体160中的测量单元141，所述测量单元的单个部件在图2中以阴影线突显。测量单元141和装配壳体160分别柱形地构造，其中，测量单元141被适当地以运动学方式支承地布置在装配壳体160的内部。在测量单元141上方，装配壳体160具有透明的覆盖件162，该覆盖件主要用于保护敏感的测量单元141。接收单元140可以通过装配壳体160可脱开地固定在物体处；为此，在装配壳体160的外圆周处设置有一个或多个柱状的孔161，所述装配壳体可以通过所述孔借助螺纹连接固定在静止物体处。

测量单元141基本上包括底板142、具有扫描格栅144的透明的盖板143、在底板142和盖板143之间的一个或多个间隔保持件145以及光电的探测器146；所述探测器的光敏感面朝着盖板143或扫描格栅144的方向定向。图2中仅示意性示出的扫描格栅144布置在透明的盖板143的这样的侧上，即该侧朝着探测器146的方向定向。

测量单元141的底板142、间隔保持件145和盖板143分别由相同的材料构成，所述材料优选地具有尽可能小的热膨胀系数。在当前的示例中，选择石英玻璃作为用于这些测量单元部件的材料；备选地，其它材料也适用，例如BK7玻璃。一方面，对此引起测量单元141的非常刚度的结构；另一方面，通过不同部件的相同材料确保要通过测量单元141检测的测量参量的高的热不变性，也就是说，对此确保了相对于热影响的一定的稳定性。这意味着，例如在由于所有测量单元部件的相同的热膨胀系数而引起均匀的温度升高的情况下，在探测器146和扫描格栅144之间的间距以与布置在盖板143处的扫描格栅144膨胀且在此其格栅常数增大相同的方式增大。以这种方式，通过接收单元140确定的、光源相对于接收单元140的角度位置即使在温度变化的情况下也保持不变。

借助光电的探测器146来检测在探测平面中产生的周期性条纹图案。该条纹图案由从光源发射的射束与扫描格栅144的相互作用而产生。探测器146上的条纹图案的位置与所测量的光源的辐射相对于接收单元140的入射方向有关，从而由条纹图案在探测平面中的位置可以确定光源的角度位置。接收单元140的扫描格栅144优选实施为二维的交叉格栅，而光电的探测器146实施为二维探测器，该二维探测器具有成行和成列布置的光电的探测器元件。

因此，由所产生的二维条纹图案在探测器146上的位置可以确定两个入射角，所述两个入射角与二维扫描格栅144的主方向对准。也就是说，通过评估探测器146上的条纹图案位置，可以在测量技术上为相应的接收单元140检测来自相应光源的光束的入射方向或所测量的光源的角度位置。出于该原因，还结合相应的位置检测装置讨论空间2D角度测量系统。

为了进一步处理通过探测器146产生的信号，在测量单元140的底板142下方的电路板150上，多个信号处理模块151.1-151.5布置在光学接收单元140中。所述信号处理模块在此例如可以是放大器模块、A/D转换器模块或线路驱动器模块。

为了避免在对光学接收单元140产生热影响的情况下出现开头提到的问题，并且尤其是为了防止在探测器146和扫描格栅144之间的间距和/或相对位置由于温度而发生变化，设置成，将探测器146通过自定心的补偿元件147布置在测量单元141的底板142上。通过该措施可避免在探测器146和扫描格栅144之间的相对位置的由温度引起的、不期望的变化，所述变化由于探测器材料(硅)和测量单元材料(石英玻璃)以及如有可能探测器电路板材料的不同热膨胀系数产生。这种移位将否则作为测量误差被带入到光源角度位置的确定中。

所使用的自定心的补偿元件147通过其设计来确保不仅防止在底板142和探测器146之间的相对位置的横向变化，而且防止探测器146围绕垂直于探测器表面定向的轴线的旋转。当热影响或机械影响作用到测量单元141的底板142上时，那么可能导致这种运动。例如，如果探测器146由温度引起地相对于测量单元141的底板142膨胀，则在根据本发明的解决方案中，自定心的补偿元件147吸收相应的机械变形，而探测器146以及测量单元141不变形。

由于补偿元件147的构造，探测器146围绕处于探测平面中的转动轴线的旋转仍基本上是可能的；然而，探测器146的这种运动没有显著影响测量精度。

在当前的实施例中，在图4中以透视图示出的补偿元件147由包围封闭的面区域的四个彼此邻接的支撑部147.1-147.4组成。作为用于补偿元件147的材料在此设置因钢；备选地，其它材料、例如铝或钢也是合适的。在所示的示例中，四个支撑部147.1-147.4分别一样长，从而由所述四个支撑部包围正方形的面区域；当然，关于这种几何结构，备选的变型也还是可行的。各个支撑部147.1-147.4分别具有探测器固定区域147.1a-147.4a以及多个窄缩部147.1_i,147.1_ii,147.1_iii,147.1_iv；为了清楚起见，在图4中仅支撑部147.1的在该示例中设置的四个窄缩部147.1_1,147.1_2,147.1_3,147.1_4设有附图标记，其中，在其余三个支撑部147.2-147.4中省却了针对支撑部的附图标记说明。

此外，在相邻的支撑部147.1-147.4的边界区域中分别设置有测量单元固定区域147.1b-147.4b。通过探测器固定区域147.1a-147.4a补偿元件147分别经由以平面的方式的粘接与探测器146连接；补偿元件147与测量单元141的底板142的连接分别经由测量单元固定区域147.1b-147.4b中的另外的以平面的方式的粘接进行。

在所示的示例中，补偿元件147的每个支撑部147.1-147.4具有两个中间的窄缩部147.1_2,147.1_3，相应的探测器固定区域147.1a-147.4a处于所述两个中间的窄缩部之间。此外，在每个支撑部147.1-147.4中，与测量单元固定区域147.1b-147.4b相邻地还设置有各两个外部的窄缩部147.1_1,147.1_4。

在当前的实施例中，补偿元件147布置在底板142的正方形的凹部142.1或凹陷部上方。凹部142.1的面积在此被选择为比固定在补偿元件147处的探测器146的面积稍大。通过补偿元件147的四个支撑部147.1-147.4包围的正方形的面区域在此相对于底板142中的正方形的凹部142.1转动45°。为此，四个测量单元固定区域147.1b-147.4b分别在凹部侧面的中间的高度上与在凹部142.1之外的底板142粘接。因此，在该示例中，正方形的探测器146的侧棱边平行于底板142中的凹部侧面取向。

上文提到的粘接分别设置在测量单元固定区域147.1b-147.4b和探测器固定区域147.1a-147.4a的朝着测量单元141的底板142方向定向的那些侧上。因此，探测器146的光敏面与底板142的朝着扫描格栅144的方向定向的那一侧布置在一个平面中；也就是说，探测器146的探测平面因此处于与在凹部142.1之外的底板142的上侧相同的高度上。在温度变化的情况下，由于探测器146的这种布置结构确保了：探测器的位置保持不变，并且因此在探测器146和扫描格栅144之间的间距也不改变，并且不如此如有可能引起测量误差。

为了避免根据本发明的光学接收单元140和尤其是测量单元141由于在静止物体处的固定而机械变形，设置有另外的措施。因此，测量单元141通过六足组件(Hexapod-Anordnung)与装配壳体160中的多个固体关节双足装置150.1,150.2,150.3连结。在当前的示例中，在此通过围绕柱形的测量单元141的圆周切向地布置的三个固体关节双足装置150.1,150.2,150.3确保测量单元141在装配壳体160中的运动学上确定的支承。测量单元141以这种方式与装配壳体160解耦地布置在接收单元140中；对装配壳体160的可能的机械影响因此不作用到测量单元141上。例如，如果接收单元140通过装配壳体160经由多个螺纹连接结构以不同的转矩旋拧固定在不平坦的固定面处，则通过固体关节双足装置150.1,150.2,150.3的布置和构造确保不发生测量单元141的变形。

除了减少对测量单元141的机械影响之外，测量单元141和装配壳体160的这种解耦还确保了热影响的进一步最小化，例如当装配壳体通过与机器框架的接触而变热时。

在图6a和6b中，详细示出所设置的三个固体关节双足装置150.1之一。在当前的示例中，作为用于固体关节双足装置150.1的材料分别设置因钢。如从图中可以看出的，固体关节双足装置分别包括两个腿部150.1a,150.1b，所述腿部具有多个腿部区段150.1a_1,150.1a_2,150.1a_3,150.1b_1,150.1b_2,150.1b_3以及多个呈板簧形式的固体关节151.a_1-151.a_4,151.b_1-151.b_4。对于每个腿部150.1a,150.1b分别设置有三个腿部区段150.1a_1,150.1a_2,150.1a_3,150.1b_1,150.1b_2,150.1b_3和两对固体关节151.a_1-151.a_4,151.b_1-151.b_4，它们成对地相互垂直地定向。

在两个腿部150.1a,150.1b的连接区域152中，固体关节双足装置150.1连结在测量单元处；在两个腿部150.1a,150.1b的自由端部153.a,153.b处，固体关节双足装置150.1连结或固定在装配壳体处的合适的装配点处。在此，分别通过布置在固体关节双足装置150.1的如下这些区域中的销进行固定，所述区域包括在测量单元中或在装配壳体中的配合的凹部。在相应外部的脚部区段150.1a_1,150.1a_3,150.1b_1,150.1b_3和固体关节双足装置的连结区域152,153a,153.b之间也分别设置有固体关节151.a_1,151.a_4,151.b_1,151.b_4。

因此，通过如此构造的固体关节双足装置可以分别阻止了与该固体关节双足装置连接的测量单元和装配壳体的两个平移运动自由度，即沿图6b中用z和y标记的方向的平移。然而，在剩余的四个运动自由度中，在测量单元和装配壳体之间的可相对运动性是可能的；所述可相对运动性在此是沿x方向的平移以及围绕三个方向x、y和z的旋转运动。

在根据本发明的光学接收单元中，三个这种固体关节双足装置150.1,150.2,150.3围绕测量单元141的中心以120°的角度间隔布置；在此，所述布置分别如此进行，即使得固体关节双足装置150.1,150.2,150.3以其长的膨胀方向与测量单元141相切地布置。通过三个固体关节双足装置150.1,150.2,150.3的相互作用确保测量单元141在任何空间方向上都不再能自由运动。在图7b中，箭头201、202、203分别表示测量单元141在绘图平面中的受阻的运动自由度，深色的圆圈301、302、303表示测量单元141垂直于绘图平面的受阻的运动自由度。

由于每个固体关节双足装置沿z方向具有特别高的刚度，因此测量单元关于沿z方向的平移和关于围绕x方向和y方向的旋转明确地在空间中固定。每个固体关节双足装置在相对于测量单元的切向方向上附加地也还具有高的刚度，因此测量单元由此也不能围绕z方向进行旋转。附加地，通过将固体关节双足装置相对于测量单元中心布置在120°下以及通过其切向布置，也阻止了沿x方向和y方向的平移运动自由度。

总体上，测量单元由此在空间中在所有六个运动自由度中都被明确确定，即测量单元不能在任何空间方向上自由运动。因此，如此支承的测量元件的固有频率非常高，并且实际上达到了大约2kHz。测量单元的这种运动学支承的特别的优点在于，从测量单元看，所有固体关节双足装置在径向方向上非常柔性，并且因此仅将非常小的力施加到测量单元上；为此，参考图7a，在该图中，箭头401,402,403表示三个固体关节双足装置的柔性方向。如由此从图7a和7b的比较可以看出的，固体关节双足装置沿其切向的布置方向201、202、203的刚度高于在与此正交的方向401,402,403上的刚度。即使固体关节双足装置的腿部的装配点由于到装配壳体上的外部力作用或由于热膨胀而如有可能移位，则该优点也得到维持。

装配点的可能的、热或机械引起的移位运动在此可以在所有六个运动自由度上发生，因为该移位运动由相应的固体关节双足装置通过软的板簧缓冲并且没有出现到测量单元上的反作用力。

尽管安装点由于在固体关节中在这些方向上的刚度非常低而发生移位，由固体关节双足装置作用到测量单元上的复位力仍保持较低。仅沿腿部区段的纵向延伸方向存在高的刚度。因此，测量单元不发生变形。由此，在扫描格栅和测量单元中的探测器之间的间距始终保持恒定，并且扫描格栅不因膨胀或压缩而不期望地扭曲。

除了根据本发明的设备的所阐释的实施例之外，在本发明的范围内当然还存在其它设计可行方案。

Claims

1.一种用于位置测量系统的光学接收单元，所述位置测量系统用于确定空间位置信息，其中，所述接收单元具有测量单元，所述测量单元包括底板、带有扫描格栅的透明的盖板、在底板和盖板之间的一个或多个间隔保持件以及光电的探测器，所述探测器的光敏面朝着所述盖板的方向定向，

其特征在于，

所述探测器(146)通过自定心的补偿元件(147)布置在所述测量单元(141)的底板(142)上。

2.根据权利要求1所述的光学接收单元，其特征在于，通过所述补偿元件(147)的构造确保，当热影响或机械影响作用到所述底板(142)上时防止所述探测器(146)的横向的位置变化以及围绕垂直于探测器表面定向的轴线的旋转。

3. 根据权利要求1或2所述的光学接收单元，其特征在于，

-所述补偿元件(147)由包围封闭的面区域的多个彼此邻接的支撑部(147.1-147.4)组成，并且

-其中，所述支撑部(147.1-147.4)分别具有至少一个探测器固定区域(147.1a-147.4a)以及多个窄缩区域(147.1_1-147.1_4)，并且

-其中，所述补偿元件(147)还具有多个测量单元固定区域(147.1b-147.4b)，所述测量单元固定区域分别构造在相邻的支撑部(147.1-147.4)的边界区域中。

4. 根据权利要求3所述的光学接收单元，其特征在于，

-所述补偿元件(147)通过所述测量单元固定区域(147.1b-147.4b)布置在所述底板(142)的凹部(142.1)上方，并且

-所述补偿元件(147)包括四个支撑部(147.1b-147.4b)，所述支撑部分别具有四个窄缩区域(147.1_1-147.1_4)，并且

-在所述补偿元件(147)的拐角处分别构造有测量单元固定区域(147.1b-147.4b)，所述补偿元件(147)通过所述测量单元固定区域相邻于所述凹部(142.1)固定在所述底板(142)上，并且

-每个支撑部(147.1-147.4)在两个中间的窄缩区域(147.1_2,147.1_3)之间具有探测器固定区域(147.1a-147.4a)，并且

-每个支撑部(147.1-147.4)还具有两个与所述测量单元固定区域(147.1b-147.4b)相邻的外部的窄缩区域(147.1_1,147.1_4)。

5. 根据权利要求3或4所述的光学接收单元，其特征在于，

-所述补偿元件(147)通过所述测量单元固定区域(147.1b-147.4b)与所述底板(142)以平面的方式粘接，并且

-所述探测器(146)通过所述探测器固定区域(147.1a-147.4a)与所述补偿元件(147)以平面的方式粘接。

6.根据前述权利要求中至少一项所述的光学接收单元，其特征在于，所述探测器(146)的光敏面与所述底板(142)的朝着所述扫描格栅(144)的方向定向的那一侧布置在一个平面中。

7.根据前述权利要求中至少一项所述的光学接收单元，其特征在于，所述测量单元(141)通过多个固体关节双足装置(150.1-150.3)支承地布置在装配壳体(160)中，其中，所述固体关节双足装置(150.1-150.3)确保所述测量单元(141)在所述装配壳体(160)中的运动学上确定的支承。

8. 根据权利要求7所述的光学接收单元，其特征在于，

-所述固体关节双足装置(150.1-150.3)分别包括两个腿部(150.1a,150.1b)，所述腿部具有多个腿部区段(150.1a_1,150.1a_4,150.1b_1,150.1b_4)以及多个固体关节(151.a_1-151.a_4,151.b_1-151.b_4)，并且

-所述固体关节双足装置(150.1-150.3)在所述两个腿部(150.1a,150.1b)的连接区域中连结在所述测量单元(141)处并且以所述两个腿部(150.1a,150.1b)的自由端部连结在所述装配壳体(160)处，并且

-所述固体关节双足装置(150.1-150.3)与所述测量单元(141)的圆周相切地布置。

9.根据权利要求7或8所述的光学接收单元，其特征在于，所述固体关节双足装置(150.1-150.3)分别如此构造，使得两个平移的运动自由度被阻止，并且仅能实现关于第三平移运动自由度以及三个旋转运动自由度的可运动性。

10.根据权利要求7至9中至少一项所述的光学接收单元，其特征在于，三个固体关节双足装置(150.1-150.3)围绕所述测量单元(141)的中心以120°的角度间隔布置，从而通过所述三个固体关节双足装置(150.1-150.3)的相互作用，所述测量单元(141)不能在任何空间方向上自由运动。

11.根据权利要求10所述的光学接收单元，其特征在于，所述固体关节双足装置(150.1-150.3)相对于所述测量单元(141)沿其切线布置方向分别具有相比在与所述切线布置方向正交的方向上的刚度更高的刚度。

12.根据权利要求7至11中至少一项所述的光学接收单元，其特征在于，所述固体关节双足装置(150.1-150.3)由因钢构成。

13.根据前述权利要求中至少一项所述的光学接收单元，其特征在于，所述底板(142)、所述至少一个间隔保持件(145)以及所述盖板(143)由相同的材料组成。

14.根据前述权利要求中至少一项所述的光学接收单元，其特征在于，所述扫描格栅(144)布置在所述盖板(143)的朝着所述探测器(146)的方向定向的那一侧上。

15.一种用于确定在空间中可运动的测量对象的位置和定向的光学的位置测量系统，在所述测量对象处布置有多个可识别的光源，其特征在于一个或多个静止布置的根据前述权利要求中至少一项所述的光学接收单元(140)。