CN115723426A - 喷射驱动器、基板处理装置及方法 - Google Patents

喷射驱动器、基板处理装置及方法 Download PDF

Info

Publication number
CN115723426A
CN115723426A CN202210554429.XA CN202210554429A CN115723426A CN 115723426 A CN115723426 A CN 115723426A CN 202210554429 A CN202210554429 A CN 202210554429A CN 115723426 A CN115723426 A CN 115723426A
Authority
CN
China
Prior art keywords
board
image data
type
heads
image
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202210554429.XA
Other languages
English (en)
Inventor
河相民
孙相睍
徐永周
赵亨濬
金宰弘
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Semes Co Ltd
Original Assignee
Semes Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Semes Co Ltd filed Critical Semes Co Ltd
Publication of CN115723426A publication Critical patent/CN115723426A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/07—Ink jet characterised by jet control
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J29/00—Details of, or accessories for, typewriters or selective printing mechanisms not otherwise provided for
    • B41J29/38—Drives, motors, controls or automatic cut-off devices for the entire printing mechanism
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
    • B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
    • B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
    • B41J2/04518—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits reducing costs
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
    • B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
    • B41J2/04541—Specific driving circuit
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
    • B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
    • B41J2/04581—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits controlling heads based on piezoelectric elements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/07—Ink jet characterised by jet control
    • B41J2/072—Ink jet characterised by jet control by thermal compensation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/07—Ink jet characterised by jet control
    • B41J2/125—Sensors, e.g. deflection sensors

Landscapes

  • Ink Jet (AREA)

Abstract

本发明提供了能够以最小限度的改变用于各种类型的头的喷射驱动器。所述喷射驱动器包括：图像板，接收原始图像数据，并将所述原始图像数据转换为适合所使用的头的类型的形态从而生成图像数据；接口板，与所述图像板物理分离，并且接收所述图像数据并通过多个信道向多个头传送所述图像数据。

Description

喷射驱动器、基板处理装置及方法
技术领域
本发明涉及喷射驱动器、基板处理装置及方法。
背景技术
当制造显示装置时，可以使用喷墨装置。喷墨装置的喷射驱动器用于驱动头，以向玻璃基板上喷出药液或进行图案化。
另一方面，根据由喷墨装置使用的药液(Chemical)或所需的精度，可以使用各种类型的头。然而，每当替换头时，也需要改变用于驱动头的喷射驱动器。为了进行这种改变，需要大量的时间和资源。
发明内容
本发明的要解决的技术问题是提供能够以最小限度的改变用于各种类型的头的喷射驱动器。
本发明的要解决的另一技术问题是提供使用上述喷射驱动器的基板处理装置。
本发明的要解决的又一技术问题是提供使用上述喷射驱动器的基板处理方法。
本发明的技术问题不限于上述技术问题，本领域的技术人员可以通过下面的记载清楚地理解未提及的其它技术问题。
用于解决上述技术问题的本发明的喷射驱动器的一方面(aspect)包括：图像板，接收原始图像数据，并将所述原始图像数据转换为适合所使用的头的类型的形态从而生成图像数据；接口板，与所述图像板物理分离，并且接收所述图像数据并通过多个信道向多个头传送所述图像数据。
用于解决上述另一技术问题的本发明的基板处理装置的一方面包括：图案计算机，提供原始图像数据和设定数据；以及喷射驱动器，基于所述原始图像数据和所述设定数据来控制多个头，其中，所述喷射驱动器包括彼此物理分离的图像板和接口板，所述图像板包括FPGA(现场可编程门阵列)，所述FPGA基于所述原始图像数据将所述原始图像数据转换为适合所使用的头的类型的形态从而生成图像数据，以及所述接口板包括：多个差分线路发射器(differential line transmitter)，用于与所述多个头通信；图像控制器，接收所述图像数据，并向所述多个差分线路发射器提供所述图像数据；加热器控制器，向所述多个差分线路发射器提供用于控制设置在所述头内的加热器的加热器控制信号；以及电压控制器，向所述多个差分线路发射器提供用于指定将由所述多个头使用的电压电平的电压控制信号。
用于解决上述又一技术问题的本发明的基板处理方法的一方面包括以下步骤：提供喷射驱动器，所述喷射驱动器包括彼此物理分离的图像板和接口板，所述图像板包括FPGA；所述图像板接收第一原始图像数据，并将所述第一原始图像数据转换为适合第一类型的第一头的形态从而生成第一图像数据，且所述接口板接收所述第一图像数据并通过多个信道向多个所述第一头传送所述第一图像数据；将所述多个第一头替换为多个第二头，且所述第二头是与所述第一类型不同的第二类型；将所述图像板的FPGA重新编程为适合所述第二类型；以及所述图像板接收第二原始图像数据，并将所述第二原始图像数据转换为适合所述第二类型的所述第二头的形态从而生成第二图像数据，且所述接口板接收所述第二图像数据并通过多个所述信道向多个所述第二头传送所述第二图像数据。
其它实施例的具体事项包括在详细的说明及附图中。
附图说明
图1是用于说明根据本发明的一些实施例的喷射驱动器的框图。
图2是用于说明图1的图像板的框图。
图3是用于说明图1的接口板的框图。
图4是用于说明图1所示的头的示例性结构的框图。
图5和图6是用于说明根据本发明的一些实施例的基板处理装置的图。
图7是用于说明根据本发明的另一实施例的喷射驱动器的框图。
图8是用于说明根据本发明的一些实施例的基板处理方法的流程图。
附图标记的说明
10：喷射驱动器 100：图像板
110：处理器 120：FPGA
200：接口板 210：图像控制器
220：电压控制器 230：加热器控制器
具体实施方式
下面，将参照附图详细描述本发明的优选的实施例。本发明的优点和特征以及实现这些优点和特征的方法将通过参照下面与附图一起详细描述的实施例而变得清楚。然而，本发明并不限于以下所公开的实施例，而是能够以彼此不同的多种形态实现，本实施例只是为了使本发明的公开完整，并向本发明所属技术领域的普通技术人员完整地告知发明的范围而提供的，本发明仅由权利要求书的范围限定。在整个说明书中，相同的附图标记指代相同的构成要素。
为了容易地描述如图所示的一个元件或构成要素与另一个元件或构成要素的相关关系，可以使用空间相对术语“下方(below)”、“下面(beneath)”、“下部(lower)”、“上方(above)”、“上部(upper)”等。应该理解的是，除了图中所示的方向之外，空间相对术语是还包括元件在使用或操作时的彼此不同的方向的术语。例如，当图中所示的元件被翻转时，被描述为在另一个元件的“下方(below)”或“下面(beneath)”的元件可以位于另一个元件的“上方(above)”。因此，示例性的术语“下方”可以包括下方和上方两种方向。元件也可以以另一个方向定向，由此空间相对术语可以根据定向进行解释。
虽然术语“第一”、“第二”等用于描述各种元件、构成要素和/或部分，但是这些元件、构成要素和/或部分显然不被这些术语所限制。这些术语仅用于区分一个元件、构成要素和/或部分与另一个元件、构成要素和/或部分。因此，以下提及的第一元件、第一构成要素或第一部分在本发明的技术思想之内显然也可以是第二元件、第二构成要素或第二部分。
以下，将参照附图详细说明本发明的实施例，在参照附图说明时，与附图标记无关地，相同或对应的构成要素被赋予相同的参照标号，并省略对其的重复说明。
图1是用于说明根据本发明的一些实施例的喷射驱动器的框图。图2是用于说明图1的图像板的框图。图3是用于说明图1的接口板的框图。图4是用于说明图1所示的头的示例性结构的框图。
首先，参考图1，根据本发明的一些实施例的喷射驱动器10包括图像板100和接口板200。
图像板100接收设定数据SD和原始(raw)图像数据RID。
设定数据SD可以是与头H1至H8的操作所需的基本设定相关的信息。例如，设定数据SD可以包括关于用于控制设置在头H1至H8的内部的压电(piezo)元件的电压的波形的信息(例如，上升时间(rising time)、下降时间(falling time)、高电平(high level)的维持时间、低电平(low level)的维持时间等)、关于所使用的电压电平的信息(例如，3V、5V、10V、15V等)、头H1至H8需要维持的目标温度等。
图像板100利用设定数据SD来生成第一设定信号SD1和第二设定信号SD2，第一设定信号SD1用于控制头H1至H8的温度，第二设定信号SD2用于控制将由头H1至H8使用的电压。
原始图像数据RID可以是与头H1至H8需要向基板上喷出的图像相关的信息。即，可以是关于头H1至H8需要以何种形态(例如，四边形、三角形、圆形、锯齿形等)向基板上喷出药液的信息。
图像板100接收原始图像数据RID，并将原始图像数据RID转换为适合所使用的头的类型的形态从而生成图像数据ID。至于转换为“适合头的类型的形态”，在制造商(maker)不同的情况下，或者即使在同一制造商的情况下，根据头的类型，接口也可能不同。即，由于接口未标准化，所以根据头的制造商/类型，传送序列(sequence)可能不同。因此，图像板100以适合头的制造商/类型的形态(例如，根据头的制造商所确定的传送序列)生成图像数据ID。
这里，参考图2，图像板100包括输入端和输出端，输入端接收设定数据SD和原始图像数据RID，输出端输出第一设定信号SD1、第二设定信号SD2、图像数据ID。此外，图像板100包括处理器110和FPGA(现场可编程门阵列)120。
如上所述，处理器110可以利用设定数据SD来生成并提供第一设定信号SD1和第二设定信号SD2。此外，处理器110可以与提供原始图像数据RID、设定数据SD的图案计算机60(参考图5)、操作计算机50(参考图5)和编码器管理器52(参考图5)等交换数据。
FPGA120是包括可设计的逻辑元件和/或可编程的内部电路的半导体元件。即使在制造之后，FPGA120也可以由用户(或消费者、设计者)在现场重新编程。通过这种现场编程，FPGA120可以执行各种逻辑功能。因此，当替换/改变头时，用户可以根据替换后的头的类型(即，以能够执行适合替换后的头的操作的方式)重新编程FPGA120。FPGA120将原始图像数据RID转换为适合替换后的头的类型的形态从而生成图像数据ID。因此，即使在替换/改变头的情况下，由于可以重新编程使用FPGA120，所以也不需要改变图像板100。
再次参考图1，接口板200在图像板100与多个头H1至H8之间执行接口操作。
例如，接口板200从图像板100接收第一设定信号SD1、第二设定信号SD2、图像数据ID等，并向多个头H1至H8提供第一设定信号SD1、第二设定信号SD2、图像数据ID等。此外，接口板200可以从多个头H1至H8接收头H1至H8的状态信息(例如，头H1至H8的温度信息)，并且可以响应于状态信息来控制头H1至H8或者向图像板100提供状态信息。这种头H1至H8的状态信息可以通过图像板100传送到操作计算机50(参考图5)。
此外，图像板100和接口板200彼此物理分离。图像板100和接口板200可以通过板对板连接器(board to board connector)连接，并通过板对板连接器彼此通信。
这里，参考图3，接口板200可以包括图像控制器210、电压控制器220、加热器控制器230、多个差分线路发射器(differential line transmitter)DLT1至DLT8。
图像控制器210通过多个信道向多个头H1至H8传送由FPGA120提供的图像数据ID。在附图中，仅示例性地示出了8个信道，但不限于此。信道的数量可以是2个、4个、16个、64个等。
所传送的图像数据ID通过多个差分线路发射器DLT1至DLT8转换为差分信号的形态并被传送到多个头H1至H8。转换为差分信号进行传送的原因是为了使在从喷射驱动器10传送到多个头H1至H8的过程中可能发生的干扰的影响最小化。
此外，加热器控制器230接收第一设定信号SD1，并提供用于控制设置在头H1至H8内的加热器320(参考图4)的加热器控制信号HCS，以使头H1至H8能够达到目标温度。如图所示，加热器控制信号HCS通过多个信道传送到多个头H1至H8。
电压控制器220可以接收第二设定信号SD2，并且可以提供用于指定将由头H1至H8使用的多个电压电平的电压控制信号VCS。如图所示，电压控制信号VCS通过多个信道传送到多个头H1至H8。
另一方面，多个差分线路发射器DLT1至DLT8以差分信号的形态提供图像数据ID、加热器控制信号HCS和电压控制信号VCS。因此，多个线路接收器(line receiver)从相应的差分线路发射器DLT1至DLT8接收差分信号，并将差分信号转换为单端(single end)信号的形态并提供给相应的头H1至H8。
加热器控制器230、电压控制器220和图像控制器210可以实现为一个或多个MCU(微控制单元)。
这里，参考图4，头H1可以包括逻辑芯片310、加热器320、控制电压生成器330、放大器340、多个压电元件P1至Pn(n是自然数)、多个喷嘴N1至Nn(n是自然数)。
逻辑芯片310可以接收图像数据ID、加热器控制信号HCS和电压控制信号VCS并控制头H1内的多个功能块(例如，320、330、P1至Pn等)。
逻辑芯片310可以使加热器320的温度根据加热器控制信号HCS的指示达到目标温度。根据加热器320的温度，药液的粘度发生变化。如果药液的粘度变化，则即使向压电元件P1至Pn施加预设的电压，也不会喷出预设量的药液。因此，需要持续地管理加热器320的温度。
逻辑芯片310根据由电压控制信号VCS指定的多个电压电平和电压波形来控制控制电压生成器330根据时序操作。
在控制电压生成器330的内部设置有放大器340。即使不通过电源线接收高电平的电压，放大器340也可以将低电平的电压提高到预设的电压电平。
多个压电元件P1至Pn从控制电压发生器330接收控制电压，并使喷嘴N1至Nn喷射药液。尽管没有另外示出，但喷嘴N1至Nn连接到存储药液的贮液器(reservoir)以从贮液器接收药液，并根据控制电压喷出药液。
综上，根据本发明的一些实施例的喷射驱动器10包括物理分离的图像板100和接口板200。即使改变/替换要使用的头H1至H8，也可以重新编程使用图像板100的FPGA120(参考图2)。因此，不需要替换整个喷射驱动器10。必要时，可以仅替换接口板200，或者可以以最小限度修改接口板200并重新使用。
图5和图6是用于说明根据本发明的一些实施例的基板处理装置的图。主要对与参考图1至图4说明的特征不同的特征进行说明。
首先，参考图5和图6，基板处理装置可以包括喷射驱动器10、操作计算机50、图案计算机60和编码器管理器52。
图案计算机60向喷射驱动器10提供设定数据SD和原始图像数据RID。如上所述，设定数据SD可以是与头H1至H8的操作所需的基本设定相关的信息，并且可以是关于电压波形、电压电平、头H1至H8需要维持的目标温度等的信息。原始图像数据RID是与头H1至H8需要向基板上喷出的图像相关的信息。
操作计算机50可以与图6的运动控制器55通信，并且可以通过运动控制器55控制图6所示的装备。
装备包括工艺区域PT和维护区域MT。在工艺区域PT和维护区域MT上布置有横跨工艺区域PT和维护区域MT的门架410。门架410上设置有多个头420，且头420可以沿着门架410的延伸方向(图中的左右方向)移动。即，头420可以在工艺区域PT和维护区域MT两者中都喷出药液。
工艺区域PT上定位有台430，且台430可以沿着工艺区域PT的长度方向(图中的上下方向)移动。在台430上放置玻璃基板，且在台430在门架410下方在上下方向上多次移动期间，多个头420向玻璃基板上喷出药液。
维护区域MT是维护头H1至H8或检查头H1至H8的状态的区域。尽管没有另外示出，但在维护区域MT中布置有以辊对辊方式旋转的测试用膜，且多个头420向测试用膜上喷出药液。由此，可以检查从头420的各个喷嘴喷出的药液的量、密度等，或者可以检查喷嘴是否堵塞、是否喷出比预设的量多很多的量等。
这里，参考图5，编码器管理器52利用表示台430的位置的编码器(encoder)信号来向多个喷射驱动器10提供触发(trigger)信号。如上所述，在台430上下移动期间，头H1至H8喷出药液。因此，只有知道台430的准确的位置，头H1至H8才可以将药液喷出到准确的位置。喷射驱动器10基于这种触发信号来控制头H1至H8的药液喷出开始点。
操作计算机50可以从编码器管理器52接收触发信号，并将台430的位置与触发信号进行比较，以检查触发信号是否有异常。
另一方面，喷射驱动器10(即，图像板100)通过作为工业网络的实时以太网(EtherCAT)与操作计算机50连接。图像板100向操作计算机50提供喷射驱动器10的状态，以使操作计算机50能够监控喷射驱动器10。由于喷射驱动器10通过实时以太网与操作计算机50连接，所以操作计算机50可以实时快速地获知喷射驱动器10的状态。
此外，操作计算机50可以通过接口板200和图像板100接收头H1至H8的状态信息，从而掌握头H1至H8的状态。根据掌握的头H1至H8的状态，操作计算机50可以请求图案计算机60改变设定数据SD。例如，如果操作计算机50认为头H1至H8的实际温度较高，则可以请求图案计算机60进一步降低目标温度。图案计算机60可以根据操作计算机50的请求修改包括在设定数据SD中的目标温度。
此外，喷射驱动器10和编码器管理器52也可以通过实时以太网连接。编码器管理器52和操作计算机50也可以通过实时以太网连接。操作计算机50可以实时快速地检查由编码器管理器52提供的触发信号。因此，操作计算机50可以起到预先感测在量产过程中可能发生的未喷出、图案堆积等状态的监控功能。
图7是用于说明根据本发明的另一实施例的喷射驱动器的框图。以下为了便于说明，将省略与利用图3所说明的内容实质相同的内容。
参考图7，喷射驱动器10的接口板200包括图像控制器210、电压控制器220、加热器控制器230、多个差分线路发射器等。
特别地，电压控制器220还可以包括用于生成用于驱动设置于头H1至H8的喷嘴的电压的放大器222，且电压控制器220可以根据头H1至H8的类型确定是否使用放大器222。
例如，头H1至H8可以是包括放大器340的DPH(Drive Per Head，每头驱动)类型(参考图4)。DPH类型的头H1至H8由喷射驱动器10以头为单位进行控制，而不是以喷嘴为单位进行控制。在这种情况下，不使用电压控制器220的放大器222。即使电压控制器220仅提供电压控制信号VCS和图像数据ID，头H1至H8的控制电压生成器330也可以根据预设的电压电平向压电元件P1至Pn提供控制电压。
另一方面，头H1至H8可以是不包括放大器的DPN(Drive Per Nozzle，每喷嘴驱动)类型。DPN类型的头H1至H8由喷射驱动器10以喷嘴为单位进行控制。在这种情况下，使用电压控制器220的放大器222。电压控制器220不仅需要向头H1至H8提供电压控制信号VCS、图像数据ID，还需要向头H1至H8一起提供将控制具有预设电压电平的压电元件P1至Pn的电压。
根据本发明的一些实施例的喷射驱动器10包括物理分离的图像板100和接口板200。即使改变/替换要使用的头H1至H8，也可以重新编程使用图像板100的FPGA120(参考图2)。
不仅如此，例如，即使从DPH类型的头H1至H8改变为DPN类型的头H1至H8，也可以仅改变接口板200的设定并进行使用，而不改变接口板200。即，一个接口板200可以适用于DPH类型的头H1至H8和DPN类型的头H1至H8两者。
图8是用于说明根据本发明的一些实施例的基板处理方法的流程图。
参考图8，提供利用图1至图6说明的喷射驱动器10(S505)。即，喷射驱动器10可以包括彼此物理分离的图像板100和接口板200，并且图像板100可以包括FPGA(现场可编程门阵列)。
接着，利用预先设置的喷射驱动器10来控制第一类型的第一头(S510)。具体地，图像板100接收第一原始图像数据，并将第一原始图像数据转换为适合第一类型的第一头的形态从而生成第一图像数据。接口板200接收第一图像数据，并通过多个信道向多个第一头传送第一图像数据。
接着，由于药液的种类、精度等原因，将第一类型的第一头替换为第二类型的第二头(S520)。第一类型和第二类型是彼此不同的类型。例如，第一类型可以是DPH类型，且第二类型可以是DPN类型。
接着，将图像板100的FPGA120重新编程为适合第二类型(S530)。附加地，可以改变接口板200的设定。例如，可以改变是否使用接口板200的电压控制器220内的放大器222。或者，可以替换为适合第二类型的接口板200。
接着，利用重新编程后的喷射驱动器10来控制第二类型的第二头(S540)。具体地，图像板100接收第二原始图像数据，并将第二原始图像数据转换为适合第二类型的第二头的形态从而生成第二图像数据。此外，接口板200接收第二图像数据，并通过多个信道向多个第二头传送第二图像数据。
以上参照附图对本发明的实施例进行了说明，但是本发明所属技术领域的普通技术人员应该可以理解，本发明在不改变其技术思想或必要特征的情况下，能够以其他具体形态实施。因此，应该理解，以上描述的实施例在所有方面都是示例性的，而不是限制性的。

Claims (19)

1.一种喷射驱动器，包括：
图像板，接收原始图像数据，并将所述原始图像数据转换为适合所使用的头的类型的形态从而生成图像数据；
接口板，与所述图像板物理分离，并且接收所述图像数据并通过多个信道向多个头传送所述图像数据。
2.根据权利要求1所述的喷射驱动器，其中，
所述图像板包括FPGA，以及
根据所使用的所述头的类型，重新编程所述FPGA。
3.根据权利要求1所述的喷射驱动器，其中，所述接口板还包括：
多个差分线路发射器，用于与多个所述头通信。
4.根据权利要求3所述的喷射驱动器，其中，
所述图像数据通过所述差分线路发射器以差分信号的形态传送。
5.根据权利要求1所述的喷射驱动器，其中，
所述接口板还包括加热器控制器，以及
所述加热器控制器控制设置在所述头内的加热器，以使所述头能够达到目标温度。
6.根据权利要求1所述的喷射驱动器，其中，
所述接口板还包括电压控制器，以及
所述电压控制器指定将由所述头使用的多个电压电平。
7.根据权利要求1所述的喷射驱动器，其中，
所述接口板还包括电压控制器，以及
所述电压控制器还包括放大器，所述放大器用于生成用于驱动设置于所述头的喷嘴的电压，且所述电压控制器根据所述头的类型来确定是否使用所述放大器。
8.根据权利要求7所述的喷射驱动器，其中，
在所述头是DPN类型的情况下，使用所述放大器，以及
在所述头是DPH类型的情况下，不使用所述放大器。
9.根据权利要求1所述的喷射驱动器，其中，
所述图像板通过实时以太网与操作计算机连接，以及
所述图像板向所述操作计算机提供所述喷射驱动器的状态，以使所述操作计算机能够监控所述喷射驱动器。
10.根据权利要求1所述的喷射驱动器，其中，
所述图像板和所述接口板通过板对板连接器连接。
11.一种基板处理装置：包括
图案计算机，提供原始图像数据和设定数据；以及
喷射驱动器，基于所述原始图像数据和所述设定数据来控制多个头，
其中，所述喷射驱动器包括彼此物理分离的图像板和接口板，
所述图像板包括FPGA，所述FPGA基于所述原始图像数据将所述原始图像数据转换为适合所使用的头的类型的形态从而生成图像数据，以及
所述接口板包括：
多个差分线路发射器，用于与所述多个头通信；
图像控制器，接收所述图像数据，并向所述多个差分线路发射器提供所述图像数据；
加热器控制器，向所述多个差分线路发射器提供用于控制设置在所述头内的加热器的加热器控制信号；以及
电压控制器，向所述多个差分线路发射器提供用于指定将由所述多个头使用的电压电平的电压控制信号。
12.根据权利要求11所述的基板处理装置，其中，
所述图像板通过实时以太网与操作计算机连接，以及
所述图像板向所述操作计算机提供所述喷射驱动器的状态，以使所述操作计算机能够监控所述喷射驱动器。
13.根据权利要求11所述的基板处理装置，其中，
所述图像板和所述接口板通过板对板连接器连接。
14.根据权利要求11所述的基板处理装置，其中，
所述电压控制器还包括放大器，所述放大器用于生成用于驱动设置于所述头的喷嘴的电压，且所述电压控制器根据所述头的类型来确定是否使用所述放大器。
15.根据权利要求14所述的基板处理装置，其中，
在所述头是DPN类型的情况下，使用所述放大器，以及
在所述头是DPH类型的情况下，不使用所述放大器。
16.一种基板处理方法，包括以下步骤：
提供喷射驱动器，所述喷射驱动器包括彼此物理分离的图像板和接口板，所述图像板包括FPGA；
所述图像板接收第一原始图像数据，并将所述第一原始图像数据转换为适合第一类型的第一头的形态从而生成第一图像数据，且所述接口板接收所述第一图像数据并通过多个信道向多个所述第一头传送所述第一图像数据；
将多个所述第一头替换为多个第二头，且所述第二头是与所述第一类型不同的第二类型；
将所述图像板的FPGA重新编程为适合所述第二类型；以及
所述图像板接收第二原始图像数据，并将所述第二原始图像数据转换为适合所述第二类型的所述第二头的形态从而生成第二图像数据，且所述接口板接收所述第二图像数据并通过多个所述信道向多个所述第二头传送所述第二图像数据。
17.根据权利要求16所述的基板处理方法，其中，
所述图像板和所述接口板通过板对板连接器连接。
18.根据权利要求16所述的基板处理方法，其中，
所述接口板还包括电压控制器，以及
所述电压控制器还包括放大器，所述放大器用于生成用于驱动设置于包括所述第一头和所述第二头的头的喷嘴的电压，且所述电压控制器根据所述头的类型来确定是否使用所述放大器。
19.根据权利要求18所述的基板处理方法，其中，
在所述头是DPN类型的情况下，使用所述放大器，以及
在所述头是DPH类型的情况下，不使用所述放大器。
CN202210554429.XA 2021-09-01 2022-05-20 喷射驱动器、基板处理装置及方法 Pending CN115723426A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2021-0116605 2021-09-01
KR1020210116605A KR20230033533A (ko) 2021-09-01 2021-09-01 제팅 드라이버, 기판 처리 장치 및 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN115723426A true CN115723426A (zh) 2023-03-03

Family

ID=85287885

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202210554429.XA Pending CN115723426A (zh) 2021-09-01 2022-05-20 喷射驱动器、基板处理装置及方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US11919303B2 (zh)
KR (1) KR20230033533A (zh)
CN (1) CN115723426A (zh)

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4574282B2 (ja) * 2004-08-20 2010-11-04 キヤノン株式会社 画像供給デバイス及び該デバイスの制御方法及び印刷システムと印刷制御方法
KR100923322B1 (ko) 2005-01-18 2009-10-22 젠카이 조우 혼합 연마제 슬러리 제트분사용 블라스트 장치
KR101310759B1 (ko) 2011-07-22 2013-09-25 엘지전자 주식회사 잉크젯 프린터의 제어 장치 및 그 방법
US10796209B2 (en) * 2018-06-26 2020-10-06 Xerox Corporation Ink jet print head with standard computer interface

Also Published As

Publication number Publication date
KR20230033533A (ko) 2023-03-08
US20230063938A1 (en) 2023-03-02
US11919303B2 (en) 2024-03-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103935134B (zh) 一种单喷头多通道三维打印机及其使用方法
JP5417682B2 (ja) インクジェットヘッドの駆動装置
US10836159B2 (en) Apparatus with microelectromechanical die and application specific integrated circuit
CN101837681B (zh) 流体喷射装置的控制方法以及流体喷射装置
CN100380343C (zh) 半导体、图像输出设备、以及功能设备的驱动方法
Li et al. Development of a multi-nozzle drop-on-demand system for multi-material dispensing
CN115723426A (zh) 喷射驱动器、基板处理装置及方法
JP2010188264A (ja) 吐出装置
EP3722895A1 (en) Method using a neural network for generation of jetting control parameters
JP2020526425A (ja) 音響トランスジューサを伴う噴射装置およびその制御方法
JP2020526387A (ja) エネルギ出力装置を伴う噴射装置およびその制御方法
JP2021133584A (ja) 波形信号の制御方法、及び、制御装置
KR20180128607A (ko) 잉크젯 프린팅 멀티 노즐 모니터링 방법
JP2008221793A (ja) 液体吐出装置、及び、液体の増粘抑制方法
JP2017177333A (ja) 液体吐出装置、液体吐出装置における液体吐出方法及びプログラム
JP2019048468A (ja) プリントヘッドダイ
CN103358699A (zh) 驱动装置、液体喷射头、液体喷射记录装置以及驱动方法
KR100984569B1 (ko) 패턴 데이터를 이용하여 컬러 필터를 제조하는 시스템 및 방법, 상기 시스템의 제어 장치 및 제조 방법
JP2021133572A (ja) 情報処理方法、学習モデルの生成方法、及び、制御装置
KR101980801B1 (ko) 잉크젯 프린팅 멀티 노즐 모니터링 시스템
US20240294008A1 (en) Liquid Discharge Apparatus And Liquid Discharge Method
JP2021160314A (ja) インクジェットヘッドにより液材料を吐出する装置を有するシステム
JP4013869B2 (ja) 液体分注装置
US20230294397A1 (en) System, and non-transitory storage medium storing server program or client program
CN109130500A (zh) 液体喷出头、液体喷出装置及其驱动控制电路和驱动方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination