CN115714905A - 用于成像系统中图像采集的控制方法及晶圆缺陷检测设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于成像系统中图像采集的控制方法及晶圆缺陷检测设备，该用于成像系统中图像采集的控制方法包括：通过标准测试硅片标定运动台在运动过程中的位置偏差，标准测试硅片包括若干对称分布的标记且其中一个标记位于标准测试硅片的中心位置；通过光栅尺获取运动台的名义位置信号；基于名义位置信号和位置偏差，计算运动台的实际位置；基于实际位置，生成触发信号以触发TDI相机进行图像采集；解决运动台的速度和TDI相机的行频同步精度低的问题。

Description

用于成像系统中图像采集的控制方法及晶圆缺陷检测设备

技术领域

本发明涉及控制领域，尤其涉及一种用于成像系统中图像采集的控制方法、晶圆缺陷检测设备及其相机触发方法。

背景技术

芯片制程涉及成百上千道诸如氧化、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积和抛光等工艺环节，每一道工艺环节都可能引入相对于芯片设计版图的偏差，这些偏差在芯片制造过程中通过传递与累积将造成IC芯片的缺陷，如突出缺陷(其极限状况是桥接缺陷)、凹陷缺陷(其极限状况是断线缺陷)和孤立颗粒物缺陷等。

有图案晶圆缺陷检测设备用于IC芯片的制造过程中各类缺陷的检测，如图1所示现有技术的一种有图案晶圆缺陷检测设备的结构示意图。TDI(Time Delay Integration，时间延迟积分)传感器是一种新颖的光电传感器，实现对高速移动的有图案晶圆快速成像，是有图案晶圆缺陷检测设备获取图像的关键器件。TDI传感器对同一目标多次曝光，采用延迟积分技术，极大增强对反射光的收集，从而具有响应度高、动态范围宽等优点。

结合图1，现有技术方案一般将光栅尺编码器信号作为外触发源直接接入TDI相机，在扫描开始的起点和终点安装光电传感器，在接到起点光电传感器开关信号后开始采集图像，接到终点光电传感器开关信号后结束图像采集。在扫描过程中，TDI相机的行扫速率也即行频需与目标的运动速率严格同步，否则就会导致成像模糊而不能正确的提取目标的图像信息。晶圆缺陷检测设备通过运动台带动晶圆移动，由于运动台扫描速度存在随机的波动，从而造成TDI相机行频与晶圆的运动速率不匹配，影响成像质量，降低缺陷检测精度。运动台扫描速度＝物方像素尺寸＊TDI行频，物方像素尺寸＝TDI相机像元尺寸/光学放大倍率。在扫描过程中由于运动台扫描速度存在随机的波动，因此需要实时对TDI的行频进行相应调整，使其符合上述公式，否则会导致成像模糊。

发明内容

本发明针对现有技术中存在的技术问题，提供一种同步控制卡、晶圆缺陷检测设备及其TDI相机触发方法，解决运动台的速度和TDI相机的行频同步精度低的问题。

根据本发明的第一方面，提供了一种用于成像系统中图像采集的控制方法，包括：通过标准测试硅片标定所述运动台在运动过程中的位置偏差，所述标准测试硅片包括若干对称分布的标记且其中一个标记位于所述标准测试硅片的中心位置；

通过光栅尺获取所述运动台的名义位置信号；

基于所述名义位置信号和所述位置偏差，计算所述运动台的实际位置；

基于所述实际位置，生成触发信号以触发所述TDI相机进行图像采集。

在上述技术方案的基础上，本发明还可以作出如下改进。

可选的，通过标准测试硅片标定所述运动台在运动过程中的位置偏差，包括：

载入所述标准测试硅片，分别获取每个标记于所述TDI相机视场中心时的图像，并记录所述运动台的相应位置信号值；

以位于所述标准测试硅片中心的标记的图像为模板，基于图像模板匹配算法获取所述每个标记与所述TDI相机视场中心的位置偏移量；

获取所述标准测试硅片相对于所述运动台的旋转残差；

基于所述位置偏移量和所述旋转残差，计算任意标记点的实际位置相对于理论位置的第一偏差；

通过线性插值计算各个相邻的两个标记点之间任意位置的第二偏差；

基于所述第一偏差和第二偏差，获取所述运动台在运动过程中不同位置处的位置偏差。

可选的，所述任意标记点的实际位置相对于理论位置的第一偏差满足以下关系：

ΔXsij＝(Xsij-Xs00+ΔXij)+(d*i*cosRz+d*j*sinRz)，

ΔYsij＝(Ysij-Ys00+ΔYij)+(d*j*cosRz-d*i*sinRz)，

其中，所述标记点在以所述标准测试硅片中心为原点的平面直角坐标系内沿X，Y方向以间隔d排布，i、j分别为所述标记点沿X，Y方向的编号，所述标准测试硅片中心处标记点的编号为(0,0),标记点(0,0)右侧的第一个标记点编号为(1,0)，标记点(0,0)上方的第一个标记点编号为(0,1)，以此类推；

Rz为所述标准测试硅片相对于所述运动台的旋转残差；

Xs00与Ys00为移动所述标记点(0,0)到所述TDI相机视场中心时所述运动台位置(Xs00，Ys00)；

Xsij、Ysij为所述运动台移动到标记点(i,j)理论位置时的位置(Xsij，Ysij)，ΔXij、ΔYij为此时所述标记点(i,j)与所述TDI相机视场中心的偏差。

可选的，所述运动台按照预设路径进行往复多次运动，且每沿同一方向的运动行程均设置相应的起点和终点位置。

可选的，所述基于所述实际位置，生成触发信号以触发所述TDI相机进行图像采集，包括：

基于所述运动台的实际位置以及所述运动台的运行时间计算相应一段时间间隔内所述运动台的平均运动速度；

生成与所述运动台的平均运动速度以及所述成像系统的光学放大倍率相匹配的所述触发信号触发TDI相机进行图像采集。

可选的，所述基于所述实际位置，生成触发信号以触发所述TDI相机进行图像采集，包括：

基于所述TDI相机的像元尺寸，设置若干触发位置，每相邻两个触发位置的间隔距离＝TDI相机的像元尺寸/成像系统的光学放大倍率；

所述运动台的实际位置位于所述触发位置时，生成所述触发信号以触发TDI相机进行图像采集。

可选的，所述运动台的平均速度与所述TDI相机采集图像的行频满足以下关系：运动台的平均移动速度＝(TDI相机像元尺寸/光学放大倍率)*TDI相机采集图像行频。

根据本发明的第二方面，提供一种晶圆缺陷检测设备，所述设备包括成像系统和控制模块，所述成像系统包括运动台和TDI相机，所述控制模块采用本发明实施例提供的一种用于成像系统中图像采集的控制方法控制所述成像系统对晶圆进行图像采集，并基于采集到的图像进行缺陷分析。

可选的，所述晶圆缺陷检测设备还包括：上位机；

所述运动台完成任意一行的运动路程后，将发出的所述触发信号的数量上报给所述上位机。

可选的，所将触发开始时刻对应运动台的实际位置发送给所述上位机，所述上位机基于所述触发开始时刻对应运动台的实际位置计算缺陷在晶圆上的位置。

本发明提供的一种用于成像系统中图像采集的控制方法及晶圆缺陷检测设备，通过预设位置偏差校准由运动轴平面度、直线度以及光栅尺安装面面型的影响造成的扫描方向位置误差，该预设位置偏差经过试验获得，准确度高；本发明不使用开关信号作为触发采集信号，开关信号的采样频率一般在1kHz左右，在运动台常规扫描速度300mm/s情况下，缺陷位置计算的起点误差最大为300μm，而通常此类设备要求报告的缺陷位置精度为3μm，因此收集开关信号作为触发采集信号无法达到要求精度；可以获取发出触发信号的数量，与相机实际触发行数进行对比，便于分析是否存在信号丢失，可以判断是否出现丢行情况；现有技术中的光电开关位置固定，用于圆形的晶圆扫描场景时存在严重的工时浪费，本发明在多行扫描时，可独立设置每行的起点、终点和扫描方向，可满足效率最高的蛇形扫描路径需求，每行扫描独立设置可以减少无效轨迹，提高设备产率。

附图说明

图1为现有技术的一种有图案晶圆缺陷检测设备的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的一种多个标记点的标准测试硅片的结构示意图；

图3为本发明提供的一种晶圆扫描的实施例的示意图；

图4为本发明实施例提供的一种晶圆缺陷检测设备的实施例的结构示意图；

图5为本发明实施例提供的一种晶圆缺陷检测设备中的同步控制卡的实施例的工作原理示意图；

1、TDI相机，2、成像系统，3、大理石框架，4、晶圆载台，5、起终点传感器，6、X轴，7、Y轴，8、光栅尺系统，9、同步控制卡。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。

实施例1

本发明提供的实施例1为本发明提供的一种用于成像系统中图像采集的控制方法的实施例，该用于成像系统中图像采集的控制方法的实施例包括：

通过标准测试硅片标定运动台在运动过程中的位置偏差，标准测试硅片包括若干对称分布的标记且其中一个标记位于标准测试硅片的中心位置。

通过光栅尺获取运动台的名义位置信号。

基于名义位置信号和位置偏差，计算运动台的实际位置。

基于实际位置，生成触发信号以触发TDI相机进行图像采集。

具体实施中，通过标准测试硅片标定得到该位置偏差，同步控制卡可使用事先标定的误差表将采集到的编码器位置修正为实际位置。该位置偏差来源于运动轴平面度、直线度以及光栅尺安装面面型变化，在小范围内通常可以近似为线性误差，可通过标准测试硅片上间隔1－5mm的对准标记进行标定，标定点之间采用线性插值补偿。

具体的，在一种可能的实施例方式中，通过标准测试硅片标定运动台在运动过程中的位置偏差的过程包括：

载入标准测试硅片，分别获取每个标记于TDI相机视场中心时的图像，并记录运动台的相应位置信号值。

以位于标准测试硅片中心的标记的图像为模板，基于图像模板匹配算法获取每个标记与TDI相机视场中心的位置偏移量。

获取标准测试硅片相对于运动台的旋转残差。

基于位置偏移量和旋转残差，计算任意标记点的实际位置相对于理论位置的第一偏差。

通过线性插值计算各个相邻的两个标记点之间任意位置的第二偏差。

基于第一偏差和第二偏差，获取运动台在运动过程中不同位置处的位置偏差。

具体的，标记点的理论位置为标准测试硅片中各个标记点的位置设计值。在一种可能的实施例中，任意标记点的实际位置相对于理论位置的第一偏差满足以下关系：

ΔXsij＝(Xsij-Xs00+ΔXij)+(d*i*cosRz+d*j*sinRz)，

ΔYsij＝(Ysij-Ys00+ΔYij)+(d*j*cosRz-d*i*sinRz)，

其中，标记点在以标准测试硅片中心为原点的平面直角坐标系内沿X，Y方向以间隔d排布，i、j分别为标记点沿X，Y方向的编号，标准测试硅片中心处标记点的编号为(0,0),标记点(0,0)右侧的第一个标记点编号为(1,0)，标记点(0,0)上方的第一个标记点编号为(0,1)，以此类推。

Rz为标准测试硅片相对于运动台的旋转残差。

Xs00与Ys00为移动标记点(0,0)到TDI相机视场中心时运动台位置(Xs00，Ys00)。

Xsij、Ysij为运动台移动到标记点(i,j)理论位置时的位置(Xsij，Ysij)，ΔXij、ΔYij为此时标记点(i,j)与TDI相机视场中心的偏差。

如图2所示为本发明实施例提供的一种包括多个标记点的标准测试硅片的结构示意图，结合图2可知，标记点以硅片中心为原点，沿X、Y方向等间距间隔密布。具体的，该间距可以为2mm。

具体实施中，计算预设位置偏差的方法可以为：

步骤1，运动台初始化，开启自动对焦系统，成像系统调节到最大放大倍率，对应物方像素尺寸应小于200nm，对位算法精度0.1像素。

步骤2，将包含多个标记点的标准测试硅片载入并做对准。要求硅片相对于运动台的旋转残差Rz(顺时针为正)绝对值小于10urad。

步骤3，移动标准测试硅片中心的标记点到相机视场中心，拍摄图片作为模板，并记录下此时运动台位置(Xs00,Ys00)(单位均为um)。

步骤4，遍历标准测试硅片上全部标记点，记录标记点ij对应的运动台位置(Xsij,Ysij)(单位均为um)，基于模板匹配算法计算标记点ij与相机视场中心的偏差(ΔXij,ΔYij)(单位均为um)。

步骤5，计算出任意标记点ij的实际位置相对于理论位置的第一偏差并记录。

该具体实施例中，标准测试硅片中排布的各个标记点的间隔d为2000um,此时该第一偏差的计算公式为：

ΔXsij＝(Xsij-Xs00+ΔXij)+(2000*i*cosRz+2000*j*sinRz)

ΔYsij＝(Ysij-Ys00+ΔYij)+(2000*j*cosRz-2000*i*sinRz)

步骤6，通过线性插值计算各个相邻的两个标记点之间任意位置的第二偏差。

如图3所示为一种晶圆扫描的实施例的示意图，结合图3可知，在一种可能的实施例方式中，运动台按照预设路径进行往复多次运动，且每沿同一方向的运动行程均设置相应的起点和终点位置。

具体实施中，运动台可以进行多行或单行的运动。在进行多行运动扫描时，可独立设置每行的起点、终点和扫描方向，可满足效率最高的蛇形扫描路径需求。每行扫描独立设置可以减少无效轨迹，提高设备产率。

本发明提供的一种实施例中，基于运动台的实际位置，实时调整TDI相机的行频，使得物方像素尺寸与TDI相机的行频的乘积与运动台的移动速度一致，从而获得清晰的动态目标图像，也即满足以下关系：运动台的移动速度＝物方像素尺寸＊TDI行频，其中，物方像素尺寸＝TDI相机像元尺寸/光学放大倍率。基于上述关系实时获取TDI相机成像的触发频率，发送触发信号的预设规则可以为速度同步模式和位置触发模式。速度同步模式时，通过计算运动台当前速度并生成匹配频率的触发信号给相机。位置触发模式时，同步控制卡按照设定的物方像素尺寸自动生成触发位置序列，每当运动台达到该序列中的位置时发送触发信号给相机。

具体实施中，如图5所示，光栅尺编码器包括：X轴编码器和Y轴编码器，分别获取X轴和Y轴的位置信号。

在速度同步模式和位置触发模式时，该光栅尺编码器的类型及频率是不同的，具体的，在速度同步模式时，编码器的获取位置信号的频率可以为4kHz，光栅尺通过BISS－C协议与同步控制卡通讯，通讯频率为4kHz。在位置触发模式时，编码器获取位置信号的的频率可以为10MHz，运动台光栅尺直接将电压模拟信号传给同步控制卡，通讯频率为10MHz。

具体的，在一种可能的实施例方式中，速度同步模式时，基于实际位置，生成触发信号以触发TDI相机进行图像采集的过程包括：

基于运动台的实际位置以及运动台的运行时间计算相应一段时间间隔内运动台的平均运动速度。

生成与运动台的平均运动速度以及成像系统的光学放大倍率相匹配的触发信号触发TDI相机进行图像采集。

具体实施中，该速度同步模式的控制过程可以为：

扫描开始前设置好初始扫描方向、外触发频率、物方像素尺寸、每一行的起点和终点坐标。

扫描检测时运动台首先沿初始扫描方向加速到设定速度并保持匀速运动，以固定频率接收光栅尺编码器位置信号(例如4kHz)，当收到的位置信号介于起点和终点之间时，计算出运动台每走50～200个信号的平均速度，并生成与此速度匹配频率的外触发脉冲。

同时利用事先标定好的位置偏差，将补偿后的运动台起点位置坐标发送给上位机，以便计算缺陷在晶圆上的位置。

在另一种可能的实施例方式中，位置触发模式时，基于实际位置，生成触发信号以触发TDI相机进行图像采集的过程包括：

基于TDI相机的像元尺寸，设置若干触发位置，每相邻两个触发位置的间隔距离＝TDI相机的像元尺寸/成像系统的光学放大倍率；

运动台的实际位置位于触发位置时，生成触发信号以触发TDI相机进行图像采集。

具体实施中，该位置触发模式的控制过程可以为：

扫描开始前设置好初始扫描方向、外触发频率、物方像素尺寸、每一行的起点和终点坐标。根据事先标定好的预设位置偏差，计算出每个脉冲触发位置(间隔为物方像素尺寸)的坐标。

扫描检测时运动台首先沿初始扫描方向加速到设定速度并保持匀速运动，以固定频率接收编码器位置信号(例如10MHz)，当每经过一个触发位置时产生一个外触发脉冲。

同时利用事先标定好的位置偏差，将补偿后的运动台起点位置坐标发送出去，以便计算缺陷在晶圆上的位置。

实施例2

本发明提供的实施例2为本发明提供的一种晶圆缺陷检测设备的实施例，该晶圆缺陷检测设备的实施例包括：成像系统和控制模块，该成像系统包括运动台和TDI相机，控制模块采用本发明实施例提供的一种用于成像系统中图像采集的控制方法控制所述成像系统对晶圆进行图像采集，并基于采集到的图像进行缺陷分析。

可以理解的是，本发明提供的一种晶圆缺陷检测设备的成像系统中图像采集的控制方法与前述各实施例提供的一种成像系统中图像采集的控制方法相对应，一种晶圆缺陷检测设备的相关技术特征可参考一种成像系统中图像采集的控制方法的相关技术特征，在此不再赘述。

在一种可能的实施例中，控制模块包括：上位机。运动台完成任意一行的运动路程后，将发出的触发信号的数量上报给所述上位机。

图4为本发明实施例提供的一种晶圆缺陷检测设备的实施例的结构示意图，图5为本发明实施例提供的一种晶圆缺陷检测设备中的同步控制卡的实施例的工作原理示意图，结合图4和图5可知，本发明提供的一种晶圆缺陷检测设备的实施例中，控制模块的硬件可以是上位机和同步控制卡，图5中，X轴和Y轴驱动器分别通过读取X轴和Y轴编码器获得：转子速度，转子位置和机械位置，从而对X轴和Y轴电机进行控制。同步控制卡的光栅尺编码器通过读取X轴编码器和Y轴编码器的编码器信号分别获取X轴和Y轴的位置信号，上位机与同步控制卡互相通信，基于运动台的名义位置信号和位置偏差计算运动台的实际位置，计算运动台的实际位置后生成触发脉冲控制TDI相机进行图像采集。

具体的，结合图2－图5可知，在一种可能的实施例中，上位机控制同步控制卡进行缺陷计算得过程可以为：

运动台完成任意一行的运动路程后，同步控制卡9将发出的触发信号的数量上报给上位机。

在每一行扫描结束后，该同步控制卡9可将应该触发的总数和实际触发的总数上报给上位机，便于上位机与TDI相机实际触发行数进行对比，便于分析是否存在信号丢失。

同时利用事先标定好的位置偏差，将补偿后的运动台起点位置坐标发送给上位机，以便上位机计算缺陷在晶圆上的位置。

同步控制卡9基于预设位置偏差将运动台的起点的实际位置发送给上位机，上位机基于运动台的起点的实际位置计算缺陷在晶圆上的位置。

本发明实施例提供的一种用于成像系统中图像采集的控制方法及晶圆缺陷检测设备，通过预设位置偏差校准光栅尺受安装面面型的影响与实际位置存在的误差，该预设位置偏差经过试验获得，准确度高；本发明不需要使用开关信号作为触发采集信号，开关信号的采样频率一般在1kHz左右，在运动台扫描速度100mm/s情况下，缺陷位置计算的起点误差最大为0.1mm，而缺陷位置精度3μm，因此不需要收集开关信号作为触发采集信号可以进一步提高同步精度；可以获取发出触发信号的数量，与相机实际触发行数进行对比，便于分析是否存在信号丢失，可以判断是否出现丢行情况；现有技术中的光电开关位置固定，用于圆形的晶圆扫描场景时存在严重的工时浪费，本发明在多行扫描时，可独立设置每行的起点、终点和扫描方向，可满足效率最高的蛇形扫描路径需求，每行扫描独立设置可以减少无效轨迹，提高设备产率。

需要说明的是，在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详细描述的部分，可以参见其它实施例的相关描述。

本领域内的技术人员应明白，本发明的实施例可提供为方法、系统、或计算机程序产品。因此，本发明可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本发明可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、CD-ROM、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。

本发明是参照根据本发明实施例的方法、设备(系统)、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式计算机或者其他可编程数据处理设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。

这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。

这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理设备上，使得在计算机或其他可编程设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。

尽管已描述了本发明的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包括这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种用于成像系统中图像采集的控制方法，所述成像系统包括运动台和TDI相机，其特征在于，包括：

通过标准测试硅片标定所述运动台在运动过程中的位置偏差，所述标准测试硅片包括若干对称分布的标记且其中一个标记位于所述标准测试硅片的中心位置；

通过光栅尺获取所述运动台的名义位置信号；

基于所述名义位置信号和所述位置偏差，计算所述运动台的实际位置；

基于所述实际位置，生成触发信号以触发所述TDI相机进行图像采集。

2.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述通过标准测试硅片标定所述运动台在运动过程中的位置偏差，包括：

载入所述标准测试硅片，分别获取每个标记于所述TDI相机视场中心时的图像，并记录所述运动台的相应位置信号值；

以位于所述标准测试硅片中心的标记的图像为模板，基于图像模板匹配算法获取所述每个标记与所述TDI相机视场中心的位置偏移量；

获取所述标准测试硅片相对于所述运动台的旋转残差；

基于所述位置偏移量和所述旋转残差，计算任意标记点的实际位置相对于理论位置的第一偏差；

通过线性插值计算各个相邻的两个标记点之间任意位置的第二偏差；

基于所述第一偏差和第二偏差，获取所述运动台在运动过程中不同位置处的位置偏差。

3.根据权利要求2所述的控制方法，其特征在于，所述任意标记点的实际位置相对于理论位置的第一偏差满足以下关系：

ΔXsij＝(Xsij-Xs00+ΔXij)+(d*i*cosRz+d*j*sinRz)，

ΔYsij＝(Ysij-Ys00+ΔYij)+(d*j*cosRz-d*i*sinRz)，

其中，所述标记点在以所述标准测试硅片中心为原点的平面直角坐标系内沿X，Y方向以间隔d排布，i、j分别为所述标记点沿X，Y方向的编号，所述标准测试硅片中心处标记点的编号为(0,0),标记点(0,0)右侧的第一个标记点编号为(1,0)，标记点(0,0)上方的第一个标记点编号为(0,1)，以此类推；

Rz为所述标准测试硅片相对于所述运动台的旋转残差；

Xs00与Ys00为移动所述标记点(0,0)到所述TDI相机视场中心时所述运动台位置(Xs00，Ys00)；

Xsij、Ysij为所述运动台移动到标记点(i,j)理论位置时的位置(Xsij，Ysij)，ΔXij、ΔYij为此时所述标记点(i,j)与所述TDI相机视场中心的偏差。

4.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述运动台按照预设路径进行往复多次运动，且每沿同一方向的运动行程均设置相应的起点和终点位置。

5.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述基于所述实际位置，生成触发信号以触发所述TDI相机进行图像采集，包括：

基于所述运动台的实际位置以及所述运动台的运行时间计算相应一段时间间隔内所述运动台的平均运动速度；

生成与所述运动台的平均运动速度以及所述成像系统的光学放大倍率相匹配的所述触发信号触发TDI相机进行图像采集。

6.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述基于所述实际位置，生成触发信号以触发所述TDI相机进行图像采集，包括：

基于所述TDI相机的像元尺寸，设置若干触发位置，每相邻两个触发位置的间隔距离＝TDI相机的像元尺寸/成像系统的光学放大倍率；

所述运动台的实际位置位于所述触发位置时，生成所述触发信号以触发TDI相机进行图像采集。

7.根据权利要求5或6所述的控制方法，其特征在于，所述运动台的平均速度与所述TDI相机采集图像的行频满足以下关系：运动台的平均移动速度＝(TDI相机像元尺寸/光学放大倍率)*TDI相机采集图像行频。

8.一种晶圆缺陷检测设备，所述设备包括成像系统和控制模块，所述成像系统包括运动台和TDI相机，其特征在于，所述控制模块采用如权利要求1-7任一项所述的用于成像系统中图像采集的控制方法控制所述成像系统对晶圆进行图像采集，并基于采集到的图像进行缺陷分析。

9.根据权利要求1所述的晶圆缺陷检测设备，其特征在于，所述控制模块包括：上位机；

所述运动台完成任意一行的运动路程后，将发出的所述触发信号的数量上报给所述上位机。

10.根据权利要求9所述的晶圆缺陷检测设备，其特征在于，

将触发开始时刻对应运动台的实际位置发送给所述上位机，所述上位机基于所述触发开始时刻对应运动台的实际位置计算缺陷在晶圆上的位置。

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