CN115679269A - 真空镀膜不稳定期的蒸汽捕集装置、真空镀膜装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种真空镀膜不稳定期的锌蒸汽捕集装置、真空镀膜装置及方法，包括锌蒸汽捕集器和伸缩装置；所述锌蒸汽捕集器通过所述伸缩装置设于真空镀膜装置内部；所述锌蒸汽捕集器上设有收集槽，所述收集槽位于所述真空镀膜装置内部喷嘴的前方。本发明通过在喷嘴出口设置锌蒸汽捕集器，用于捕集锌蒸汽喷射过程中不稳定阶段产生的锌蒸汽。

Description

真空镀膜不稳定期的蒸汽捕集装置、真空镀膜装置及方法

技术领域

本发明涉及真空镀膜领域，更具体地说，涉及一种真空镀膜不稳定期的蒸汽捕集装置、真空镀膜装置及方法。

背景技术

物理蒸发镀(PVD)是指在真空条件下加热被镀金属，使之以气态的方式沉积到基材上形成镀膜的工艺技术。根据加热方式的不同又分为电加热(电阻或感应式)和电子束枪加热(EBPVD)等。真空镀膜作为表面改性和镀膜工艺，已经在电子、玻璃、塑料等行业得到了广泛的应用。真空镀膜技术主要优点在于其环保、良好的镀膜性能和可镀物质的多样性。连续带钢运用真空镀膜技术的关键在于镀膜生产连续化、大面积、高速率、大规模生产等几个方面。从上个世纪八十年代开始，世界各大钢铁公司都对此技术进行了大量的研究。随着热镀锌和电镀锌技术的成熟，该技术正在受到空前的重视，并被认为是创新型的表面镀膜工艺。

在真空镀膜的过程中，包含锌蒸汽蒸发、输送及喷射镀膜过程。而在喷射的起始阶段往往由于阀门打开瞬间，锌蒸汽的输送过程尚未建立比较稳定的状态，所以镀膜层往往在厚度和结合力等方面都未达到稳定状态，则镀膜层的质量不能完全满足要求。

此外在喷射的过程中，如果遇到中途需要更换钢板基材等操作时，往往需要关掉阀门等待第二次喷射操作，而在关闭的阶段和重新开始二次喷射的阶段往往又需要建立稳定的喷射状态，此时喷射到基板的镀层也是处于非稳定的状态，其质量往往也不能满足要求。

如何在锌蒸汽不稳定喷射的过程中将锌蒸汽进行捕集回收，等待锌蒸汽稳定后进行镀膜喷射，在一定程度上能搞提高锌蒸汽收得率和减少基板损失，并为真空镀膜连续化高质量生产提出工艺保证。

在现有专利申请中，如中国专利CN102597279B提出了使用喷嘴和熔融收集器冷凝金属蒸汽的方法和设备，该方法包括：提供含有所述蒸汽的气流；通过喷嘴使所述气流进入冷凝室，所述喷嘴具有上游收缩的结构和下游分散的结构，从而使所述金属蒸汽加速进入所述喷嘴，并在离开所述喷嘴时膨胀和冷却，由此导致所述蒸汽冷凝，在冷凝室形成液滴束或固体颗粒束，其中，所述液滴束或颗粒束直接撞击到液体收集介质表面上。可见，该专利所要解决的问题主要是如何进行金属蒸汽的收集，并将收集的金属蒸汽控制形成液体或者固体小颗粒。

如中国专利200620034017.X提出了金属板带真空镀膜设备，包括金属板带放卷机，加热蒸发金属材料的至少一把电子枪、在金属板带与被蒸发金属材料之间的金属蒸汽周围设置的将金属蒸汽电离成金属离子的等离子体机构，真空镀膜室，金属板带收卷机，在放卷机与真空镀膜间有对金属板带进行预加热的加热机构、至少一组对金属板带表面进行活化处理的离子束预处理机构。用线形电子枪蒸发金属材料，形成的金属蒸汽通过高密度的等离子体区时被电离成金属离子，金属离子在电场力的作用下快速的沉积在金属板带上，达到对金属板带镀膜的目的。该设备生产表面镀膜金属板带产量高、低成本，且获得的镀膜表面微观结构非常致密，表面平滑。

如中国专利201920598548.9提出了一种PVD镀膜装置，它包括镀膜仓，该实用新型通过调节排气硬管的位置，可调节样板和喷头间的距离，以适应不同材质的膜料和样板，从而降低膜料和耗材的消耗，降低生产成本；通过抽真空后对样板进行预热，能够使样板的表面吸附的气体脱附，再二次抽真空，从而提高镀膜室真空度、膜层纯度和膜基结合力；通过设置有电磁阀，能够在镀膜完成后快速切断蒸汽，防止镀膜增厚；通过在镀膜仓的内壁及内部元件的外壁上涂覆有一层耐高温防粘涂层，能够防止油污和残余镀料等粘附，难以清洁；通过设置有真空计能够对镀膜仓内的真空度进行监测。

又如中国专利200880115896.0提出了用于在金属带上沉积合金镀膜的工业蒸汽发生器，该发明涉及用于在基材(7)、优选钢带上沉积金属镀膜的蒸汽发生器，其包括真空室(6)，所述真空室呈围腔的形式并包含被称为喷射器(3)的蒸汽沉积头，所述喷射器借助于供应管道(4)与至少一个坩埚(1)密封地相连通，所述坩埚容纳液体形式的镀覆金属并位于所述真空室(6)外面，其特征在于，所述喷射器(3)包括蒸汽出口用的纵向缝隙，所述纵向缝隙起音颈作用并在整个基材(7)宽度上延伸，烧结材料制的压力降构件(3A)或过滤介质在蒸汽通道上、紧接缝隙之前布置于所述喷射器中，以使从所述喷射器(3)通过所述音颈流出的蒸汽流速均匀化。

总体分析上述的金属蒸汽收集或者金属蒸汽镀膜发明，并未解决本技术方案背景中将锌蒸汽进行捕集回收的技术问题，无论上述金属蒸汽收集或者金属蒸汽的镀膜设备、方法，均提供了一种理想的稳定状态下的使用方案，对于如何在金属蒸汽喷射的不稳定阶段进行控制，从而使得通过喷嘴后形成稳定的金属蒸汽流量，并没有提出这方面的解决思路。

结合图1所示，针对蒸汽喷射阶段的温度变化进行了模拟计算，说明在蒸汽喷射的起始阶段喷射过程是不稳定的，必须通过一定的措施进行改善和解决。

发明内容

针对现有技术中存在的上述缺陷，本发明的目的是提供一种真空镀膜不稳定期的蒸汽捕集装置、真空镀膜装置及方法，通过在喷嘴出口设置锌蒸汽捕集器，用于捕集锌蒸汽喷射过程中不稳定阶段产生的锌蒸汽。

为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

本发明第一方面提供了一种真空镀膜不稳定期的锌蒸汽捕集装置，包括锌蒸汽捕集器和伸缩装置；

所述锌蒸汽捕集器通过所述伸缩装置设于真空镀膜装置内部；

所述锌蒸汽捕集器上设有收集槽，所述收集槽位于所述真空镀膜装置内部喷嘴的前方。

较佳的，所述收集槽设于所述锌蒸汽捕集器的正面；

所述锌蒸汽捕集器上开有一个连通所述收集槽的矩形开口，所述矩形开口与所述喷嘴的出口对应。

较佳的，所述矩形开口与所述喷嘴的出口距离为5～40mm；

所述矩形开口的高度为所述喷嘴的出口高度的5～10倍；

所述矩形开口的宽度为所述喷嘴的出口宽度的1.1～2倍。

较佳的，所述收集槽的内腔高度为所述喷嘴的出口高度的5～50倍；

所述收集槽的内腔宽度为所述喷嘴的出口宽度的1.1～5倍。

较佳的，所述收集槽内设有缓冲装置和冷却体。

本发明第二方面提供了一种真空镀膜装置，包括真空腔体、坩埚、喷嘴以及所述的锌蒸汽捕集装置；

所述真空腔体上设有钢板入口，以及与其对应的钢板出口，供钢板通过所述真空腔体；

所述坩埚设于所述真空腔体内，并与所述喷嘴连通，所述喷嘴向所述钢板的表面喷射锌蒸汽；

所述锌蒸汽捕集装置设于所述真空腔体内，并位于所述喷嘴与所述钢板之间。

较佳的，所述坩埚的顶部依次设有管道、布流腔体；

所述喷嘴设于所述布流腔体上。

较佳的，所述坩埚的外侧设有感应加热器，所述管道的外侧、所述布流腔体的外侧均设有加热器。

较佳的，所述管道上设有调压阀。

较佳的，所述真空腔体内部所述钢板的运行方向上设有板式加热器。

较佳的，所述钢板入口上设有上真空锁，所述钢板出口上设有下真空锁。

较佳的，所述锌蒸汽捕集装置包括锌蒸汽捕集器和伸缩装置；

所述伸缩装置设于所述真空腔体的内侧面上；

所述锌蒸汽捕集器通过所述伸缩装置设于所述喷嘴与所述钢板之间。

本发明第三方面提供了一种基于所述的真空镀膜装置的真空镀膜方法：

所述调压阀处于关闭状态，所述锌蒸汽捕集器上的所述矩形开口与所述喷嘴对应；将金属块放入所述坩埚内，所述感应加热器对所述坩埚开始加热并不断升温，所述金属块在所述坩埚内熔化成金属并蒸发形成锌蒸汽；所述锌蒸汽捕集器上的所述冷却体开始对所述收集槽进行冷却处理；所述调压阀打开，所述锌蒸汽进入所述管道、所述布流腔体，此时所述感应加热器的功率上升；所述钢板由所述钢板入口进入真空腔体内，所述锌蒸汽通过所述喷嘴喷射至所述钢板的表面，形成镀膜层，所述钢板再由所述钢板出口离开真空腔体，完成镀膜作业，所述锌蒸汽捕集器上升；

在喷射过程中进行所述钢板的更换时，将所述锌蒸汽捕集器下降，使其所述矩形开口与所述喷嘴对应，关闭所述调压阀，所述喷嘴停止喷射；待所述钢板更换完成后，再开启所述调压阀，再待所述喷嘴的喷射速度、以及所述钢板的移动速度均达到设定值后，将锌蒸汽捕集器上升，所述锌蒸汽通过所述喷嘴喷射至所述钢板的表面，形成镀膜层。

较佳的，所述坩埚内部的温度到达500～1200℃；

所述喷嘴喷射过程中，所述感应加热器的功率提升10～50％。

较佳的，所述冷却体的冷却温度为0～50℃。

较佳的，所述钢板的移动速度为10～400m/min。

较佳的，所述板式加热器对所述钢板的加热温度为50～300℃。

本发明所提供的一种真空镀膜不稳定期的锌蒸汽捕集装置、真空镀膜装置及方法，在钢板表面镀膜的过程中，通过在喷嘴出口设置锌蒸汽捕集器，用于捕集锌蒸汽喷射过程中不稳定阶段产生的锌蒸汽。锌蒸汽的捕集一方面能够减少起始阶段锌蒸汽对真空室腔体的过度污染；另外通过对不稳定阶段蒸汽的回收，使得基板镀膜时已经处于喷射的稳定段，从而大大提高了基板镀膜的收得率，在降低成本的同时提高了基板的成材率，另一方面也提高了镀膜的表面质量。用于收集真空镀膜不稳定阶段的锌蒸汽，提高真空镀膜的带钢质量，本发明投入少，操作简单，未来可以和真空镀膜技术成套输出。

附图说明

图1是喷嘴出口蒸汽平均温度随时间变化的曲线示意图；

图2是本发明锌蒸汽捕集装置的结构示意图；

图3是本发明锌蒸汽捕集装置中矩形开口的示意图；

图4是本发明锌蒸汽捕集装置中收集槽的示意图；

图5是本发明真空镀膜装置的结构示意图。

具体实施方式

为了能更好地理解本发明的上述技术方案，下面结合附图和实施例进一步说明本发明的技术方案。

结合图2所示，本发明所提供的一种真空镀膜不稳定期的锌蒸汽捕集装置，包括锌蒸汽捕集器1和伸缩装置2。

锌蒸汽捕集器1通过伸缩装置2设于真空镀膜装置内部。

锌蒸汽捕集器1的正面下部设有收集槽3，背面下部开有一个连通收集槽3的矩形开口4，矩形开口4与真空镀膜装置内的喷嘴8的出口相对应。

收集槽3内还设有缓冲装置5和冷却体，缓冲装置5用以减缓高速蒸汽对收集槽3的集中喷射。

结合图3和图4所示，矩形开口4与喷嘴8的出口距离为5～40mm。

矩形开口4的高度h为喷嘴8的出口高度的5～10倍。

矩形开口4的宽度方向上的开口度w为喷嘴8的出口宽度的1.1～2倍。

收集槽3的内腔高度H为喷嘴8的出口高度的5～50倍；

收集槽3的内腔宽度W为喷嘴8的出口宽度的1.1～5倍。

结合图5所示，本发明还提供了一种真空镀膜装置，包括真空腔体6、坩埚7、喷嘴8以及锌蒸汽捕集装置。

真空腔体6上设有钢板入口，以及与其对应的钢板出口，供钢板9通过真空腔体6内部，对钢板9的表面进行镀膜作业。

坩埚7设于真空腔体6内，并与喷嘴8连通，喷嘴8向钢板9的表面喷射锌蒸汽10。

锌蒸汽捕集装置也设于真空腔体6内，并位于喷嘴8与钢板9之间。

锌蒸汽捕集装置包括锌蒸汽捕集器1和伸缩装置2。

伸缩装置2固定于真空腔体6的内侧面上。

锌蒸汽捕集器1通过伸缩装置2位于喷嘴8与钢板9之间，且锌蒸汽捕集器1上的收集槽3与喷嘴8相对应。

坩埚7的顶部依次连通有管道11、布流腔体12，喷嘴8设于布流腔体12上。

坩埚7的外侧设有感应加热器13，管道11的外侧、布流腔体12的外侧均设有加热器14。

管道11上设有调压阀15。

真空腔体6内部钢板9的运行方向上设有板式加热器16。

钢板入口上设有上真空锁17，钢板出口上设有下真空锁18，防止钢板9移动过程中出现窜动。

再结合图5所示，本发明还提供了一种基于真空镀膜装置的真空镀膜方法：

真空腔体8中布置坩埚7，金属锌块在坩埚7中受到感应加热器13的作用熔化成金属液19，坩埚7连接有管道11和布流腔体12，管道11上设置调压阀15，管道11外侧布置加热器14用于管道11的加热。布流腔体12连接喷嘴8，在喷嘴8的出口位置设置锌蒸汽捕集器1，其通过上部的伸缩装置2实现锌蒸汽捕集器1的上升及下降，锌蒸汽捕集器1的正面下方设置收集槽3用于锌蒸汽10的收集。钢板9通过上真空锁17进入到真空腔体6中，真空腔体6内相对于喷嘴8的另一侧布置有板式加热器16，镀膜完成后的钢板9通过下真空锁18移动出真空腔体6。

在真空镀膜过程中，调压阀15处于关闭状态，锌蒸汽捕集器1处于低位，喷嘴8的出口位置对应收集槽3的中部位置。感应加热器13对坩埚7开始加热并不断升温，坩埚7内部的金属锌块熔化并不断蒸发形成锌蒸汽10。当锌蒸汽10累积到一定程度时，此时恒定坩埚7的加热温度，随着坩埚7设定的温度和初始段的喷射时间，收集槽3后方的冷却体开始冷却处理，用以使得收集槽3的内板保持较低的温度，从而捕集不断喷射的金属蒸汽。随着坩埚7温度的设定，当调压阀15打开后，感应加热器13的功率上升，用以补充由于锌蒸汽10流动后而缺少的锌蒸汽10。此时钢板9开始移动并达到规定的速度，当设定喷射初始段结束时，锌蒸汽捕集器1达到高位，锌蒸汽10通过喷嘴8喷射至钢板9表面，形成均匀的镀膜层，喷嘴8的喷射速度和钢板9的移动速度达到稳定状态，形成连续稳定的喷射过程。

在喷射过程中，欲进行镀膜钢卷的更换时，此时可通过锌蒸汽捕集器1进行二次蒸汽捕集。在调压阀15关闭前，锌蒸汽捕集器1降至低位，此时关闭调压阀15，喷嘴8的喷射过程暂停，开始钢卷的更换，降低感应加热器13对坩埚7的加热功率，等待钢卷更换完成。待钢卷更换完成后，锌蒸汽捕集器1处于低位，此时开启调压阀15，升高感应加热器13对坩埚7的加热功率，用以补充锌蒸汽10流动而缺少的锌蒸汽10。待喷嘴8的喷射速度稳定后，钢板9移动速度达到设定目标后，移动锌蒸汽捕集器1至高位，此时钢板9镀膜过程迅速进入稳定状态，再次形成连续稳定的喷射过程。

坩埚7加热后其内部的温度到达500～1200℃，在喷嘴8喷射开启后，感应加热器13的功率提升10～50％，用以补充调压阀15打开后的压力损失。

调压阀15打开后的不稳定时间段大概在20～300s左右，在调压阀15打开后，锌蒸汽捕集器1下落至低位，按照设定的不稳定时间段捕集锌蒸汽10。

根据喷嘴8喷射的不稳定时间段，收集槽3上冷却体的冷却温度为0～50℃。

钢板9的移动速度为10～400m/min，在调压阀15打开后，按照设定的不稳定时间段，钢板9移动速度达到设定速度。

根据工艺需要，板式加热器16对钢板9的加热温度为50～300℃。

实施例1

采用钢板表面蒸镀锌，坩埚7内温度控制为550℃，喷嘴8的出口为长方形出口，其高度为10mm，其宽度为450mm，锌蒸汽捕集器1上矩形开口4在高度方向上为50mm，在宽度方向上为500mm；收集槽3的内腔高度为200mm，收集槽3的内腔宽度为700mm，收集槽3内的缓冲装置5为圆锥形缓冲结构。

锌蒸汽10的喷射不稳定段为100s，收集槽3上冷却体的温度保持在40℃，钢板9的移动速度为45m/min，钢板9处于上、下真空锁17、18与腔体围成的真空腔体6中，板式加热器16位于钢板9不进行镀膜的一侧，钢板9的加热温度为120℃。

在调压阀15打开后，感应加热器13的功率提高10％，用以补充调压阀15打开而缺少的锌蒸汽10，锌蒸汽捕集器1处于低位，用于不稳定段锌蒸汽10的捕集。当喷嘴10的喷射不稳定段即将完成时，调节钢板9的移动速度至45m/min，板式加热器16控制钢板9的温度达到120℃。在不稳定段完成后，迅速提升锌蒸汽捕集器1至高位，钢板9进入稳定的真空镀膜阶段，坩埚7也处于稳定的蒸汽输送阶段。

实施例2

采用钢板表面蒸镀锌，坩埚7内温度控制为650℃，喷嘴8的出口为长方形出口，其高度为15mm，其宽度为800mm，锌蒸汽捕集器1上矩形开口4在高度方向上为70mm，在宽度方向上为1000mm；收集槽3的内腔高度为300mm，收集槽3的内腔宽度为1200mm，收集槽3内的缓冲装置5为圆台型缓冲结构。

锌蒸汽10的喷射不稳定段为120s，收集槽3上冷却体的温度保持在35℃，钢板9的移动速度为80m/min，钢板9处于上、下真空锁17、18与腔体围成的真空腔体6中，板式加热器16位于钢板9不进行镀膜的一侧，钢板9的加热温度为110℃。

在调压阀15打开后，感应加热器13的功率提高15％，用以补充调压阀15打开而缺少的锌蒸汽10，锌蒸汽捕集器1处于低位，用于不稳定段锌蒸汽10的捕集。当喷嘴8的喷射不稳定段即将完成时，调节钢板9的移动速度至80m/min，板式加热器16控制钢板9的温度达到110℃。在不稳定段完成后，迅速提升锌蒸汽捕集器1至高位，钢板9进入稳定的真空镀膜阶段，坩埚7也处于稳定的蒸汽输送阶段。

实施例3

采用钢板表面蒸镀锌，坩埚7内温度控制为750℃，喷嘴8的出口为长方形出口，其高度为20mm，其宽度为1000mm，锌蒸汽捕集器1上矩形开口4在高度方向上为100mm，在宽度方向上为1200mm；收集槽3内腔高度为400mm，收集槽3内腔宽度为1500mm，收集槽3内的缓冲装置5为圆台型缓冲结构。

锌蒸汽10的喷射不稳定段为200s，收集槽3上冷却体的温度保持在30℃，钢板9的移动速度为150m/min，钢板9处于上、下真空锁17、18与腔体围成的真空腔体6中，板式加热器16位于钢板9不进行镀膜的一侧，钢板9的加热温度为100℃。

在调压阀15打开后，感应加热器13的功率提高20％，用以补充调压阀15打开而缺少的锌蒸汽10，锌蒸汽捕集器1处于低位，用于不稳定段锌蒸汽10的捕集。当喷嘴8的喷射不稳定段即将完成时，调节钢板9的移动速度至150m/min，板式加热器16控制钢板9的温度达到100℃。在不稳定段完成后，迅速提升锌蒸汽捕集器1至高位，钢板9进入稳定的真空镀膜阶段，坩埚7也处于稳定的蒸汽输送阶段。

本技术领域中的普通技术人员应当认识到，以上的实施例仅是用来说明本发明，而并非用作为对本发明的限定，只要在本发明的实质精神范围内，对以上所述实施例的变化、变型都将落在本发明的权利要求书范围内。

实施例4

采用钢板表面蒸镀锌，坩埚7内温度控制为1200℃，喷嘴8的出口为长方形出口，其高度为20mm，其宽度为1000mm，锌蒸汽捕集器1上矩形开口4在高度方向上为100mm，在宽度方向上为1200mm；收集槽3内腔高度为400mm，收集槽3内腔宽度为1500mm，收集槽3内的缓冲装置5为圆台型缓冲结构。

锌蒸汽10的喷射不稳定段为150s，收集槽3上冷却体的温度保持在50℃，钢板9的移动速度为100m/min，钢板9处于上、下真空锁17、18与腔体围成的真空腔体6中，板式加热器16位于钢板9不进行镀膜的一侧，钢板9的加热温度为200℃。

在调压阀15打开后，感应加热器13的功率提高50％，用以补充调压阀15打开而缺少的锌蒸汽10，锌蒸汽捕集器1处于低位，用于不稳定段锌蒸汽10的捕集。当喷嘴8的喷射不稳定段即将完成时，调节钢板9的移动速度至400m/min，板式加热器16控制钢板9的温度达到300℃。在不稳定段完成后，迅速提升锌蒸汽捕集器1至高位，钢板9进入稳定的真空镀膜阶段，坩埚7也处于稳定的蒸汽输送阶段。

本技术领域中的普通技术人员应当认识到，以上的实施例仅是用来说明本发明，而并非用作为对本发明的限定，只要在本发明的实质精神范围内，对以上所述实施例的变化、变型都将落在本发明的权利要求书范围内。

Claims (17)

1.一种真空镀膜不稳定期的锌蒸汽捕集装置，其特征在于：包括锌蒸汽捕集器和伸缩装置；

所述锌蒸汽捕集器通过所述伸缩装置设于真空镀膜装置内部；

所述锌蒸汽捕集器上设有收集槽，所述收集槽位于所述真空镀膜装置内部喷嘴的前方。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜不稳定期的锌蒸汽捕集装置，其特征在于：所述收集槽设于所述锌蒸汽捕集器的正面；

所述锌蒸汽捕集器上开有一个连通所述收集槽的矩形开口，所述矩形开口与所述喷嘴的出口对应。

3.根据权利要求2所述的真空镀膜不稳定期的锌蒸汽捕集装置，其特征在于：所述矩形开口与所述喷嘴的出口距离为5～40mm；

所述矩形开口的高度为所述喷嘴的出口高度的5～10倍；

所述矩形开口的宽度为所述喷嘴的出口宽度的1.1～2倍。

4.根据权利要求2所述的真空镀膜不稳定期的锌蒸汽捕集装置，其特征在于：所述收集槽的内腔高度为所述喷嘴的出口高度的5～50倍；

所述收集槽的内腔宽度为所述喷嘴的出口宽度的1.1～5倍。

5.根据权利要求2所述的真空镀膜不稳定期的锌蒸汽捕集装置，其特征在于：所述收集槽内设有缓冲装置和冷却体。

6.一种真空镀膜装置，其特征在于：包括真空腔体、坩埚、喷嘴以及如权利要求1-5任一项所述的锌蒸汽捕集装置；

所述真空腔体上设有钢板入口，以及与其对应的钢板出口，供钢板通过所述真空腔体；

所述坩埚设于所述真空腔体内，并与所述喷嘴连通，所述喷嘴向所述钢板的表面喷射锌蒸汽；

所述锌蒸汽捕集装置设于所述真空腔体内，并位于所述喷嘴与所述钢板之间。

7.根据权利要求6所述的真空镀膜装置，其特征在于：所述坩埚的顶部依次设有管道、布流腔体；

所述喷嘴设于所述布流腔体上。

8.根据权利要求7所述的真空镀膜装置，其特征在于：所述坩埚的外侧设有感应加热器，所述管道的外侧、所述布流腔体的外侧均设有加热器。

9.根据权利要求7所述的真空镀膜装置，其特征在于：所述管道上设有调压阀。

10.根据权利要求6所述的真空镀膜装置，其特征在于：所述真空腔体内部所述钢板的运行方向上设有板式加热器。

11.根据权利要求6所述的真空镀膜装置，其特征在于：所述钢板入口上设有上真空锁，所述钢板出口上设有下真空锁。

12.根据权利要求6所述的真空镀膜装置，其特征在于：所述锌蒸汽捕集装置包括锌蒸汽捕集器和伸缩装置；

所述伸缩装置设于所述真空腔体的内侧面上；

所述锌蒸汽捕集器通过所述伸缩装置设于所述喷嘴与所述钢板之间。

13.一种基于权利要求6-12任一项所述的真空镀膜装置的真空镀膜方法，其特征在于：

所述调压阀处于关闭状态，所述锌蒸汽捕集器上的所述矩形开口与所述喷嘴对应；将金属块放入所述坩埚内，所述感应加热器对所述坩埚开始加热并不断升温，所述金属块在所述坩埚内熔化成金属并蒸发形成锌蒸汽；所述锌蒸汽捕集器上的所述冷却体开始对所述收集槽进行冷却处理；所述调压阀打开，所述锌蒸汽进入所述管道、所述布流腔体，此时所述感应加热器的功率上升；所述钢板由所述钢板入口进入真空腔体内，所述锌蒸汽通过所述喷嘴喷射至所述钢板的表面，形成镀膜层，所述钢板再由所述钢板出口离开真空腔体，完成镀膜作业，所述锌蒸汽捕集器上升；

在喷射过程中进行所述钢板的更换时，将所述锌蒸汽捕集器下降，使其所述矩形开口与所述喷嘴对应，关闭所述调压阀，所述喷嘴停止喷射；待所述钢板更换完成后，再开启所述调压阀，再待所述喷嘴的喷射速度、以及所述钢板的移动速度均达到设定值后，将锌蒸汽捕集器上升，所述锌蒸汽通过所述喷嘴喷射至所述钢板的表面，形成镀膜层。

14.根据权利要求13所述的真空镀膜方法，其特征在于：所述坩埚内部的温度到达500～1200℃；

所述喷嘴喷射过程中，所述感应加热器的功率提升10～50％。

15.根据权利要求13所述的真空镀膜方法，其特征在于：所述冷却体的冷却温度为0～50℃。

16.根据权利要求13所述的真空镀膜方法，其特征在于：所述钢板的移动速度为10～400m/min。

17.根据权利要求13所述的真空镀膜方法，其特征在于：所述板式加热器对所述钢板的加热温度为50～300℃。

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