CN115662866A - 一种二次电子探测装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种二次电子探测装置，包括：栅网电极，用于吸引带电粒子；电子探测单元，用于吸收二次电子并将探测信号放大输出，电子探测单元包括：光导管组件，包括固定轴套和设置在固定轴套内的光导管；光电倍增组件，包括接口法兰和光电倍增管，光电倍增管一端固连在接口法兰上，另一端伸入到固定轴套内，并抵靠在光导管的端部上，固定轴套与接口法兰可拆卸地连接固定；接口法兰与光导管组件之间设置有定位件，定位件一端轴向限位在接口法兰上，另一端插塞到固定轴套与光电倍增管之间形成的配合间隙内，并抵靠在光导管的端部上。本发明中光电倍增管采用浸入式结构设计，可将光导管进行缩短设计，减少光信号的损耗，提高探测效率。

Description

一种二次电子探测装置

技术领域

本发明涉及电子光学类仪器的二次电子探测装置技术领域，具体涉及一种二次电子探测装置。

背景技术

二次电子探测装置，作为扫描电镜及电子束曝光机等电子光学类仪器重要的电子探测装置，在新材料、新能源、国防、科学研究等领域有着非常广泛的应用。扫描电子显微镜与电子束曝光机的基本工作原理是：利用电子源向样品表面发射高能电子束，电子束轰击样品表面并对样品进行扫描，电子束轰击样品表面可产生二次电子等信号。

利用二次电子探测装置，可将样品表面产生的二次电子信号收集起来，对二次电子进行光电转换，并输出至成像设备形成二次电子图像，可进行物质围观形貌分析。然而，二次电子探测装置的最终成像效果直接受到探测效率影响，而探测效率又受到各零部件的结构、位置以及配合关系等影响。现有的二次电子探测装置，光电倍增管的大多都是采用后置式的设计，距离装置前端的光源较远，使得探测距离较大，从而影响信号的探测效率，并且现有的二次电子探测装置各零部件之间的配合稳定性差，也会影响到探测效率。

发明内容

因此，本发明旨在提供一种二次电子探测装置，通过优化各部件的结构、位置及装配关系等，以提升探测效率，从而提高二次电子图片成像效果。

为此，本发明实施例提供了一种二次电子探测装置，该二次电子探测装置包括：

栅网电极，用于吸引带电粒子；

电子探测单元，用于吸收二次电子并将探测信号放大输出，所述电子探测单元包括：

光导管组件，包括固定轴套和设置在所述固定轴套内的光导管；

光电倍增组件，包括接口法兰和光电倍增管，所述光电倍增管一端固连在接口法兰上，另一端伸入到所述固定轴套内，并抵靠在所述光导管的端部上，所述固定轴套与所述接口法兰可拆卸地连接固定；

所述接口法兰与所述光导管组件之间设置有定位件，所述定位件一端轴向限位在所述接口法兰上，另一端插塞到所述固定轴套与光电倍增管之间形成的配合间隙内，并抵靠在所述光导管的端部上。

可选地，所述接口法兰包括：

套接部，套设在所述光电倍增管上；

安装部，固定设置在所述套接部远离所述光导管组件的一端，所述安装部的外径大于所述套接部的外径；

所述光电倍增管一端限位在所述安装部上，另一端穿过所述套接部伸入到所述固定轴套内。

可选地，所述光导管靠近所述光电倍增管的一端周壁上设置有一圈限位凸台；

所述固定轴套内形成有适于与所述限位凸台轴向限位配合的限位台阶，在所述固定轴套安装到所述接口法兰上后，所述限位凸台被夹持固定在所述固定轴套和所述光电倍增管之间。

可选地，所述固定轴套包括第一套体段和内径大于第一套体段的第二套体段，第一套体段与第二套体段的连接处形成所述限位台阶；

所述第二套体段一端与所述第一套体段呈阶梯状连接，另一端与所述套接部安装连接。

可选地，所述限位台阶与所述限位凸台之间设置有第一密封圈；

和/或，所述第二套体段与所述套接部之间设置有第二密封圈，且所述第二套体段与所述套接部通过第一连接件可拆卸地连接。

可选地，所述定位件为套设在所述光电倍增管上的压环，所述压环一端轴向限位在所述套接部内的第一台阶上，另一端伸入到所述第二套体段内并抵压在所述限位凸台的端壁上。

可选地，所述压环与所述第二套体段的内径过盈配合，并通过第二连接件可拆卸地连接固定在所述套接部上。

可选地，所述压环包括环本体和设置在环本体外周壁上的连接凸台，所述套接部内还形成有第二台阶，所述连接凸台抵靠限位在所述第二台阶上并通过第二连接件可拆卸地连接在所述第二台阶上。

可选地，所述环本体一端与套接部的第一台阶之间设置有第三密封圈，所述第三密封圈套设在所述光电倍增管上。

可选地，所述安装部为固定设置在套接部端部外周的接口板，所述光电倍增管的输入端穿过套接部伸入到固定轴套内与所述光导管连接，输出端伸出所述接口板与外接装置连接；

所述二次电子探测装置还包括：

防护壳，所述防护壳具有容纳腔，所述防护壳安装固定在所述接口板上，适于罩设在光电倍增管的输出端外周；

座板，设置在所述容纳腔内，所述光电倍增管的输出端与所述座板连接，并通过所述座板限位在所述接口法兰上。

可选地，所述防护壳与所述安装部之间设置有第四密封圈；

和/或，所述防护壳的内周壁上设置有吸光材料。

可选地，二次电子探测装置还包括：

屏蔽罩，所述屏蔽罩为两端开口设置的套筒结构，适于套设在所述光电倍增管的输出端外周，所述屏蔽罩限位设置在所述安装部上。

可选地，二次电子探测装置还包括：

电信号接头，安装在所述防护壳上，一端与所述光电倍增管的输出端电连接，另一端穿过所述防护壳与外接装置连接。

可选地，所述电子探测单元还包括：

闪烁体，设置在所述光导管的端部上，适于吸收二次电子并将其转换为光子输送至所述光导管；

高压端帽，所述光导管远离所述光电倍增管的一侧端部伸出于所述固定轴套，所述高压端帽套设在所述光导管的伸出部分；

所述高压端帽包括一筒状主体，所述筒状主体一端向外翻折并抵靠固定在所述固定轴套上，另一端向内弯折延伸形成适于抵靠限位在闪烁体外侧壁上的环形止挡部，所述闪烁体被夹持限位在所述环形止挡部和光导管之间。

可选地，所述栅网电极包括呈环形的金属支架和固定设置在所述金属支架上的栅网；

所述栅网电极与所述光导管组件之间通过绝缘套管连接，所述绝缘套管的一端插入至所述金属支架内并通过第三连接件可拆卸地连接固定，另一端向外翻折并抵靠在所述固定轴套的第二套体段的端壁上并通过第三连接件可拆卸地连接固定。

本发明技术方案，具有如下优点：

1.本发明中，光导管是传输光线的关键部件，光电倍增管是一种具有极高敏感度的光电探测器件，光电倍增管采用浸入式结构及安装设计，光电倍增管位于接口法兰靠近光导管一侧的部分伸入到待测的真空腔体内，在不干涉其它探测器的情况下，可将光导管进行缩短设计，能够有效缩短光电倍增管与光源的距离，减少光信号的损耗，提高二次电子探测装置的探测效率，从而优化二次电子的成像质量；同时，通过设置的定位件，使得光导管组件与光电倍增组件之间的装配更加稳定可靠。

光电倍增管为端面窗口探测型，即采用端窗型光电倍增管，端窗型光电倍增管呈柱状，其探测单元位于柱状的光电倍增管的一端端面上，在保证扫描电镜及电子束曝光机等电子光学类仪器正常使用的条件下，使得端窗型光电倍增管的探测单元的位置更靠近信号产生的源头，缩短光电倍增管与光源的距离，可缩短光信号的径向行程，减少光信号的损耗。

2.本发明中，固定轴套通过成形于其上的限位台阶与光导管的限位凸台之间进行轴向限位配合，无需增设其他限位部件，且定位稳定可靠。

3.在二次电子探测装置工作时，光导管、以及光电倍增管需要处于真空环境中，因此，第一密封圈用于密封固定轴套与光导管之间的间隙，从而使外界空气无法通过固定轴套与光导管之间的间隙进入真空环境中。

4.本发明中，第二密封圈用于密封固定轴套的第二套体段与接口法兰的套接部之间的间隙，从而使外界空气无法通过该间隙进入真空环境中。

5.本发明中，压环和套接部之间通过连接凸台和第二台阶可进行有效地轴向限位，连接紧密、定位可靠；同时，通过第二连接件实现安装连接，且便于压环和套接部之间的安装和拆卸。

6.本发明中，通过在光电倍增管上套设第三密封圈，且第三密封圈位于环本体一端与套接部的第一台阶之间，使得套接部、压环均与光电倍增管以软连接方式安装连接，可避免二次电子探测装置因运输或使用过程中的振动而导致光电倍增管发生破碎，从而可延长二次电子探测装置的使用寿命。

7.本发明中，防护壳可对光电倍增管的输出端进行保护；同时，第四密封圈用于密封防护壳与安装部之间的间隙，从而使外界空气无法通过该间隙进入防护壳的容纳腔内，隔绝外部光线对光电倍增管的干扰。

8.本发明中，防护壳的容纳腔内部采用黑化处理，内壁上设置有防止光反射或散射的黑色吸光材料，降低容纳腔内的光线并形成暗室，减少光线对光电倍增管的影响，确保光电倍增管的高灵敏度检测。

9.本发明中，通过设置屏蔽罩可对降低内外部磁场干扰对光电倍增管产生影响。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的二次电子探测装置的装配图；

图2为本发明的二次电子探测装置的爆炸图；

图3为本发明的二次电子探测装置的剖视图。

附图标记说明：

1、栅网电极；11、金属支架；12、栅网；

21、固定轴套；2111、限位台阶；211、第一套体段；212、第二套体段；

22、光导管；221、限位凸台；

31、接口法兰；311、套接部；3111、第一台阶；3112、第二台阶；312、安装部；32、光电倍增管；

4、压环；41、环本体；42、连接凸台；

51、第一密封圈；52、第二密封圈；53、第三密封圈；54、第四密封圈；55、第五密封圈；

61、防护壳；611、壳本体；612、后盖板；62、座板；63、屏蔽罩；64、电信号接头；

71、闪烁体；72、高压端帽；73、绝缘套管；

81、第一接电插头；82、第二接电插头。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例

如图1至图3所示，本发明实施例提供了一种二次电子探测装置，该二次电子探测装置包括用于吸引带电粒子的栅网电极1、以及用于吸收二次电子并将探测信号放大输出的电子探测单元，所述电子探测单元包括光导管组件和光电倍增组件，具体地，光导管组件包括固定轴套21和设置在所述固定轴套21内的光导管22；光电倍增组件包括接口法兰31和光电倍增管32，所述光电倍增管32一端固连在接口法兰31上，另一端伸入到所述固定轴套21内，并抵靠在所述光导管22的端部上，所述固定轴套21与所述接口法兰31可拆卸地连接固定；所述接口法兰31与所述光导管组件之间设置有定位件，所述定位件一端轴向限位在所述接口法兰31上，另一端插塞到所述固定轴套21与光电倍增管32之间形成的配合间隙内，并抵靠在所述光导管22的端部上。

本实施例中，光导管22是传输光线的关键部件，光电倍增管32是一种具有极高敏感度的光电探测器件，光电倍增管32采用浸入式结构及安装设计，光电倍增管32位于接口法兰31靠近光导管22一侧的部分伸入到待测的真空腔体内，在不干涉其它探测器的情况下，可将光导管22进行缩短设计，能够有效缩短光电倍增管32与光源的距离，减少光信号的损耗，提高二次电子探测装置的探测效率，从而优化二次电子的成像质量；同时，通过设置的定位件，使得光导管组件与光电倍增组件之间的装配更加稳定可靠。

光电倍增管32为端面窗口探测型，即采用端窗型光电倍增管32，端窗型光电倍增管32呈柱状，其探测单元位于柱状的光电倍增管32的一端端面上，在保证扫描电镜及电子束曝光机等电子光学类仪器正常使用的条件下，使得端窗型光电倍增管32的探测单元的位置更靠近信号产生的源头，缩短光电倍增管32与光源的距离，可缩短光信号的径向行程，减少光信号的损耗。

可选地，所述接口法兰31包括套接部311和安装部312，具体地，套接部311套设在所述光电倍增管32上；安装部312固定设置在所述套接部311远离所述光导管组件的一端，所述安装部312的外径大于所述套接部311的外径；所述光电倍增管32一端限位在所述安装部312上，另一端穿过所述套接部311伸入到所述固定轴套21内。

可选地，所述光导管22靠近所述光电倍增管32的一端周壁上设置有一圈限位凸台221；所述固定轴套21内形成有适于与所述限位凸台221轴向限位配合的限位台阶2111，在所述固定轴套21安装到所述接口法兰31上后，所述限位凸台221被夹持固定在所述固定轴套21和所述光电倍增管32之间。如此设置，固定轴套21通过成形于其上的限位台阶2111与光导管22的限位凸台221之间进行轴向限位配合，无需增设其他限位部件，且定位稳定可靠。

可选地，所述固定轴套21包括第一套体段211和内径大于第一套体段211的第二套体段212，第一套体段211与第二套体段212的连接处形成所述限位台阶2111；所述第二套体段212一端与所述第一套体段211呈阶梯状连接，另一端与所述套接部311安装连接。可选地，所述限位台阶2111与所述限位凸台221之间设置有第一密封圈51。

在二次电子探测装置工作时，光导管22、以及光电倍增管32需要处于真空环境中，因此，第一密封圈51用于密封固定轴套21与光导管22之间的间隙，从而使外界空气无法通过固定轴套21与光导管22之间的间隙进入真空环境中。

可选地，所述第二套体段212与所述套接部311之间设置有第二密封圈52，且所述第二套体段212与所述套接部311通过第一连接件可拆卸地连接。

第二密封圈52用于密封固定轴套21的第二套体段212与接口法兰31的套接部311之间的间隙，从而使外界空气无法通过该间隙进入真空环境中。可选地，第一连接件为螺纹连接件；优选地，第一连接件为螺钉或螺栓。

可选地，所述定位件为套设在所述光电倍增管32上的压环4，所述压环4一端轴向限位在所述套接部311内的第一台阶3111上，另一端伸入到所述第二套体段212内并抵压在所述限位凸台221的端壁上。

可选地，所述压环4与所述第二套体段212的内径过盈配合，并通过第二连接件可拆卸地连接固定在所述套接部311上。可选地，第二连接件为螺纹连接件；优选地，第二连接件为螺钉或螺栓。

可选地，所述压环4包括环本体41和设置在环本体41外周壁上的连接凸台42，所述套接部311内还形成有第二台阶3112，所述连接凸台42抵靠限位在所述第二台阶3112上并通过第二连接件可拆卸地连接在所述第二台阶3112上。

如此设置，压环4和套接部311之间通过连接凸台42和第二台阶3112可进行有效地轴向限位，连接紧密、定位可靠；同时，通过第二连接件实现安装连接，且便于压环4和套接部311之间的安装和拆卸。

可选地，所述环本体41一端与套接部311的第一台阶3111之间设置有第三密封圈53，所述第三密封圈53套设在所述光电倍增管32上。本实施例中，通过在光电倍增管32上套设第三密封圈53，且第三密封圈53位于环本体41一端与套接部311的第一台阶3111之间，使得套接部311、压环4均与光电倍增管32以软连接方式安装连接，可避免二次电子探测装置因运输或使用过程中的振动而导致光电倍增管32发生破碎，从而可延长二次电子探测装置的使用寿命。

可选地，本实施例中，光导管组件、光电倍增组件和定位件的安装装配过程如下：

在固定轴套21的限位台阶2111上设置第一密封圈51，将光导管22插入固定轴套21内，使光导管22的限位凸台221止抵限位在固定轴套21的限位台阶2111上，并使第一密封圈51位于限位台阶2111与限位凸台221之间；

将光电倍增管32的输入端插入接口法兰31的安装通孔内，向光电倍增管32上套设第三密封圈53，将压环4与套接部311进行连接，使第三密封圈53位于压环4的环本体41一端与套接部311的第一台阶3111之间，同时使得压环4的连接凸台42抵靠限位在套接部311的第二台阶3112上，通过第二连接件将连接凸台42与第二台阶3112进行安装；

将压环4一端与光电倍增管32的输入端一同插入固定轴套21内并共同止抵在光导管22上，同时将第二密封圈52设置在第二套体段212与所述套接部311之间，利用第一连接件将第二套体段212和套接部311进行连接。

可选地，所述安装部312为固定设置在套接部311端部外周的接口板，所述光电倍增管32的输入端穿过套接部311伸入到固定轴套21内与所述光导管22连接，输出端伸出所述接口板与外接装置连接；所述二次电子探测装置还包括防护壳61和座板62，所述防护壳61具有容纳腔，所述防护壳61安装固定在所述接口板上，适于罩设在光电倍增管32的输出端外周；座板62设置在所述容纳腔内，所述光电倍增管32的输出端与所述座板62连接，并通过所述座板62限位在所述接口法兰31上。可选地，座板62通过螺纹连接件可拆卸地限位安装在接口法兰31上。可选地，所述防护壳61与所述安装部312之间设置有第四密封圈54。

如此设置，防护壳61可对光电倍增管32的输出端进行保护；同时，第四密封圈54用于密封防护壳61与安装部312之间的间隙，从而使外界空气无法通过该间隙进入防护壳61的容纳腔内，隔绝外部光线对光电倍增管32的干扰。

可选地，所述防护壳61的内周壁上设置有吸光材料。防护壳61的容纳腔内部采用黑化处理，内壁上设置有防止光反射或散射的黑色吸光材料，降低容纳腔内的光线并形成暗室，减少光线对光电倍增管32的影响，确保光电倍增管32的高灵敏度检测。

可选地，二次电子探测装置还包括屏蔽罩63，所述屏蔽罩63为两端开口设置的套筒结构，适于套设在所述光电倍增管32的输出端外周，所述屏蔽罩63限位设置在所述安装部312上。通过设置屏蔽罩63可对降低内外部磁场干扰对光电倍增管32产生影响。可选地，屏蔽罩63为高磁导率材料制成。

本实施例中，通过结构设计，保证腔室与光电倍增管32之间存在的一定距离，腔室与大地保持等电位状态，确保屏蔽外部电场干扰，减小接地电位的物体靠近而产生的干扰。

可选地，安装部312上靠近光电倍增管32输出端的一侧形成有一环形安装凸台，屏蔽罩63适于套设在该环形安装凸台上，并通过该环形安装凸台限位在安装部312上。

可选地，二次电子探测装置还包括电信号接头64，电信号接头64安装在所述防护壳61上，一端与所述光电倍增管32的输出端电连接，另一端穿过所述防护壳61与外接装置连接。

可选地，防护壳61包括两端开口设置且呈套筒结构的壳本体611和设置在壳本体611远离所述接口法兰31一端的后盖板612，电信号接头64穿设在后盖板612上。

壳本体611靠近后盖板612的一侧向内弯折形成抵挡部，后盖板612抵挡安装在该抵挡部上，抵挡部与后盖板612之间设置有第五密封圈55。第五密封圈55用于密封壳本体611与后盖板612之间的间隙，防止空气从该间隙进入到容纳腔内。

可选地，所述电子探测单元还包括闪烁体71和高压端帽72，具体地，闪烁体71设置在所述光导管22的端部上，适于吸收二次电子并将其转换为光子输送至所述光导管22；所述光导管22远离所述光电倍增管32的一侧端部伸出于所述固定轴套21，所述高压端帽72套设在所述光导管22的伸出部分；所述高压端帽72包括一筒状主体，所述筒状主体一端向外翻折并抵靠固定在所述固定轴套21上，另一端向内弯折延伸形成适于抵靠限位在闪烁体71外侧壁上的环形止挡部，所述闪烁体71被夹持限位在所述环形止挡部和光导管22之间。可选地，闪烁体71表面涂敷光电转换材料。可选地，接口板上设置有第一接电插头81，可用于与高压端帽72电连接时对闪烁体71进行供电。可选地，第一接电插头81加载通入10kV电压。

可选地，所述栅网电极1包括呈环形的金属支架11和固定设置在所述金属支架11上的栅网12；所述栅网电极1与所述光导管组件之间通过绝缘套管73连接，所述绝缘套管73的一端插入至所述金属支架11内并通过第三连接件可拆卸地连接固定，另一端向外翻折并抵靠在所述固定轴套21的第二套体段212的端壁上并通过第三连接件可拆卸地连接固定。可选地，接口板上设置有第二接电插头82，用于与栅网电极1电连接时对栅网电极1进行供电，可选地，第二接电插头82加载通入300V电压。

可选地，本实施例中的二次电子探测装置的工作原理如下：

将二次电子探测装置安装装配至试验品检测空间预留的装配孔，接口法兰31靠近栅网电极1一侧的部分位于探测空间内部；

对设置在光导管22和闪烁体71前端的栅网电极1加载正300V电压，从而形成电场，二次电子在电场的吸引作用下向该二次电子探测装置汇聚，经栅网电场的牵引及加速，到达闪烁体71；

对高压端帽72加载正10KV电压并电传导到闪烁体71上；到达闪烁体71的电子被再次加速，并由闪烁体71上的光电转换材料转化为光信号，经过光导管22到达光电倍增管32，由光电倍增管32进行放大并完成光电转换，最终输出到成像设备形成二次电子图像。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之中。

Claims (15)

1.一种二次电子探测装置，其特征在于，包括：

栅网电极（1），用于吸引带电粒子；

电子探测单元，用于吸收二次电子并将探测信号放大输出，所述电子探测单元包括：

光导管组件，包括固定轴套（21）和设置在所述固定轴套（21）内的光导管（22）；

光电倍增组件，包括接口法兰（31）和光电倍增管（32），所述光电倍增管（32）一端固连在接口法兰（31）上，另一端伸入到所述固定轴套（21）内，并抵靠在所述光导管（22）的端部上，所述固定轴套（21）与所述接口法兰（31）可拆卸地连接固定；

所述接口法兰（31）与所述光导管组件之间设置有定位件，所述定位件一端轴向限位在所述接口法兰（31）上，另一端插塞到所述固定轴套（21）与光电倍增管（32）之间形成的配合间隙内，并抵靠在所述光导管（22）的端部上。

2.根据权利要求1所述的二次电子探测装置，其特征在于，所述接口法兰（31）包括：

套接部（311），套设在所述光电倍增管（32）上；

安装部（312），固定设置在所述套接部（311）远离所述光导管组件的一端，所述安装部（312）的外径大于所述套接部（311）的外径；

所述光电倍增管（32）一端限位在所述安装部（312）上，另一端穿过所述套接部（311）伸入到所述固定轴套（21）内。

3.根据权利要求2所述的二次电子探测装置，其特征在于，所述光导管（22）靠近所述光电倍增管（32）的一端周壁上设置有一圈限位凸台（221）；

所述固定轴套（21）内形成有适于与所述限位凸台（221）轴向限位配合的限位台阶（2111），在所述固定轴套（21）安装到所述接口法兰（31）上后，所述限位凸台（221）被夹持固定在所述固定轴套（21）和所述光电倍增管（32）之间。

4.根据权利要求3所述的二次电子探测装置，其特征在于，所述固定轴套（21）包括第一套体段（211）和内径大于第一套体段（211）的第二套体段（212），第一套体段（211）与第二套体段（212）的连接处形成所述限位台阶（2111）；

所述第二套体段（212）一端与所述第一套体段（211）呈阶梯状连接，另一端与所述套接部（311）安装连接。

5.根据权利要求4所述的二次电子探测装置，其特征在于，所述限位台阶（2111）与所述限位凸台（221）之间设置有第一密封圈（51）；

和/或，所述第二套体段（212）与所述套接部（311）之间设置有第二密封圈（52），且所述第二套体段（212）与所述套接部（311）通过第一连接件可拆卸地连接。

6.根据权利要求5所述的二次电子探测装置，其特征在于，所述定位件为套设在所述光电倍增管（32）上的压环（4），所述压环（4）一端轴向限位在所述套接部（311）内的第一台阶（3111）上，另一端伸入到所述第二套体段（212）内并抵压在所述限位凸台（221）的端壁上。

7.根据权利要求6所述的二次电子探测装置，其特征在于，所述压环（4）与所述第二套体段（212）的内径过盈配合，并通过第二连接件可拆卸地连接固定在所述套接部（311）上。

8.根据权利要求6所述的二次电子探测装置，其特征在于，所述压环（4）包括环本体（41）和设置在环本体（41）外周壁上的连接凸台（42），所述套接部（311）内还形成有第二台阶（3112），所述连接凸台（42）抵靠限位在所述第二台阶（3112）上并通过第二连接件可拆卸地连接在所述第二台阶（3112）上。

9.根据权利要求8所述的二次电子探测装置，其特征在于，所述环本体（41）一端与套接部（311）的第一台阶（3111）之间设置有第三密封圈（53），所述第三密封圈（53）套设在所述光电倍增管（32）上。

10.根据权利要求2-9中任一项所述的二次电子探测装置，其特征在于，所述安装部（312）为固定设置在套接部（311）端部外周的接口板，所述光电倍增管（32）的输入端穿过套接部（311）伸入到固定轴套（21）内与所述光导管（22）连接，输出端伸出所述接口板与外接装置连接；

所述二次电子探测装置还包括：

防护壳（61），所述防护壳（61）具有容纳腔，所述防护壳（61）安装固定在所述接口板上，适于罩设在光电倍增管（32）的输出端外周；

座板（62），设置在所述容纳腔内，所述光电倍增管（32）的输出端与所述座板（62）连接，并通过所述座板（62）限位在所述接口法兰（31）上。

11.根据权利要求10所述的二次电子探测装置，其特征在于，所述防护壳（61）与所述安装部（312）之间设置有第四密封圈（54）；

和/或，所述防护壳（61）的内周壁上设置有吸光材料。

12.根据权利要求10所述的二次电子探测装置，其特征在于，还包括：

屏蔽罩（63），所述屏蔽罩（63）为两端开口设置的套筒结构，适于套设在所述光电倍增管（32）的输出端外周，所述屏蔽罩（63）限位设置在所述安装部（312）上。

13.根据权利要求10所述的二次电子探测装置，其特征在于，还包括：

电信号接头（64），安装在所述防护壳（61）上，一端与所述光电倍增管（32）的输出端电连接，另一端穿过所述防护壳（61）与外接装置连接。

14.根据权利要求4-9中任一项所述的二次电子探测装置，其特征在于，所述电子探测单元还包括：

闪烁体（71），设置在所述光导管（22）的端部上，适于吸收二次电子并将其转换为光子输送至所述光导管（22）；

高压端帽（72），所述光导管（22）远离所述光电倍增管（32）的一侧端部伸出于所述固定轴套（21），所述高压端帽（72）套设在所述光导管（22）的伸出部分；

所述高压端帽（72）包括一筒状主体，所述筒状主体一端向外翻折并抵靠固定在所述固定轴套（21）上，另一端向内弯折延伸形成适于抵靠限位在闪烁体（71）外侧壁上的环形止挡部，所述闪烁体（71）被夹持限位在所述环形止挡部和光导管（22）之间。

15.根据权利要求4-9中任一项所述的二次电子探测装置，其特征在于，所述栅网电极（1）包括呈环形的金属支架（11）和固定设置在所述金属支架（11）上的栅网（12）；

所述栅网电极（1）与所述光导管组件之间通过绝缘套管（73）连接，所述绝缘套管（73）的一端插入至所述金属支架（11）内并通过第三连接件可拆卸地连接固定，另一端向外翻折并抵靠在所述固定轴套（21）的第二套体段（212）的端壁上并通过第三连接件可拆卸地连接固定。

Images