CN115654886B - 一种晶片加工用快速烘干装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种晶片加工用快速烘干装置，涉及晶片加工技术领域，包括烘干箱体，烘干箱体上设置有控制装置，烘干箱体内设置有烘干框，烘干框侧壁内侧开设有滑动槽；烘干框上设置有支固机构、调节机构和烘干机构。通过设有调节组件使得本装置可根据待烘干晶片的尺寸大小，对横杆两端调节套间的间距进行调节，从而调节热风机的烘干范围，相比于传统的烘干装置不能够根据实际待烘干晶片的尺寸来灵活的调整烘干的范围，导致当烘干范围远大于待烘干的晶片尺寸时，不经使得晶片的烘干效果不佳，而且一定程度上造成了能源的浪费增加了加工成本。

Description

一种晶片加工用快速烘干装置

技术领域

本发明涉及晶片加工技术领域，更具体地说，它涉及一种晶片加工用快速烘干装置。

背景技术

晶片是LED最主要的原物料之一，是LED的发光部件，LED最核心的部分，晶片的好坏将直接决定LED的性能，晶片是由是由Ⅲ和Ⅴ族复合半导体物质构成。

传统的晶片烘干装置在对晶片进行烘干时，烘干装置的烘干范围都是固定不变的，传统的烘干装置不能够根据实际待烘干晶片的尺寸来灵活的调整烘干的范围，导致当烘干范围远大于待烘干的晶片尺寸时，不经使得晶片的烘干效果不佳，而且一定程度上造成了能源的浪费增加了加工成本。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种晶片加工用快速烘干装置。

为实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：一种晶片加工用快速烘干装置，包括：

烘干箱体，烘干箱体上设置有控制装置，控制装置与烘干箱体固定连接，烘干箱体上壁开设有进料口，烘干箱体内设置有烘干框，烘干框与烘干箱体固定连接，烘干框侧壁内侧开设有滑动槽；

支固机构，支固机构设置于烘干框上，支固机构与控制装置电连接，支固机构用于支撑固定待烘干的晶片；

调节机构，调节机构设置于烘干框内，调节机构与烘干框固定连接，调节机构与控制装置电连接，调节机构用于根据晶片尺寸大小调节烘干范围；

烘干机构，烘干机构设置于烘干框内，烘干机构与控制装置电连接，烘干机构与调节机构配合，烘干机构用于烘干待烘干的晶片。

作为本发明进一步的方案：支固机构包括支撑组件和固定组件，支撑组件设置于烘干框上，支撑组件与控制装置电连接，固定组件设置于烘干框内，固定组件与控制装置电连接，固定组件用于对待烘干的晶片进行固定。

作为本发明进一步的方案：支撑组件包括第一电机、驱动轴、凸轮辊、支撑板、支撑块、滑动块、纵杆和晃动弹簧，第一电机设置于烘干框上，第一电机与控制装置电连接，第一电机的输出端与驱动轴固定连接，驱动轴烘干框转动连接，凸轮辊设置于驱动轴上，凸轮辊与驱动轴固定连接，支撑板靠近滑动槽的端部设置有滑动块，滑动块与支撑板固定连接，凸轮辊与支撑板配合，滑动块与滑动槽滑动连接，纵杆设置于滑动槽内，纵杆的端部与滑动槽固定连接，滑动块与滑动槽相对的表面设有晃动弹簧，且晃动弹簧套接与纵杆上，晃动弹簧的端部分别与滑动槽和滑动块滑动连接，支撑板表面开设有多个贯通的通风槽，且多个通风槽均匀分布，相邻通风槽间设置有支撑块，支撑块与支撑板固定连接。

作为本发明进一步的方案：固定组件包括电动推杆和夹板，电动推杆设置于支撑板靠近进料口的表面，电动推杆与控制装置电连接，电动推杆与支撑板固定连接，夹板与电动推杆固定连接。

作为本发明进一步的方案：调节机构包括连接组件和调节组件，连接组件设置于烘干框内，连接组件与烘干框固定连接，调节组件设置于烘干框内，调节组件与控制装置电连接，调节组件与连接组件配合。

作为本发明进一步的方案：连接组件包括横杆和固定筒，固定筒设置于烘干框设有滑动槽的内壁表面，固定筒与烘干框固定连接，烘干框相对侧表面上的固定筒间设有横杆，横杆与固定筒与固定连接。

作为本发明进一步的方案：调节组件包括调节电机、调节螺杆、固定板、螺纹块、连接板和调节套，调节电机设置于烘干框内，调节电机与控制装置电连接，调节电机的输出端与调节螺杆固定连接，调节螺杆与固定板转动连接，固定板与烘干箱体固定连接，螺纹块与调节螺杆螺纹连接，靠近滑动槽一侧的螺纹块间设置有连接板，且连接板的端部与螺纹块固定连接，调节套设置于螺纹块靠近横杆的表面，调节套与螺纹块固定连接，调节套与横杆滑动连接。

作为本发明进一步的方案：烘干机构包括转动组件和烘干组件，转动组件设置于烘干框内，转动组件与控制装置电连接，转动组件与烘干箱体固定连接，烘干组件设置于横杆上，烘干组件与转动组件转动连接，烘干组件与横杆滑动连接。

作为本发明进一步的方案：转动组件包括电机框、第二电机、转动块、摆杆、复位弹簧和L形板，电机框设置于烘干箱体设置有固定板的表面，电机框与烘干箱体固定连接，第二电机设置于电机框内，第二电机与控制装置电连接，第二电机的输出端与转动块固定连接，摆杆与转动块滑动连接，摆杆的一端与L形板固定连接，复位弹簧套接与摆杆上，且复位弹簧位于L形板和转动块之间。

作为本发明进一步的方案：烘干组件包括滑动套、连接杆、基座和热风机，滑动套设置于横杆上，滑动套与横杆滑动连接，滑动套间设置有连接杆，且连接杆的端部与滑动套固定连接，基座设置于连接杆上，基座与连接杆滑动连接，基座与L形板转动连接，热风机设置于基座靠近支撑板的表面，热风机与基座可拆卸式固定连接，热风机与控制装置电连接。

与现有技术相比，本发明具备以下有益效果：

1、通过设置有固定组件使得本装置在烘干前可将晶片进行夹紧固定，避免了在烘干的过程中晶片发生偏移从而影响本装置的烘干效果；

2、通过设有调节组件使得本装置可根据待烘干晶片的尺寸大小，对横杆两端调节套间的间距进行调节，从而调节热风机的烘干范围，相比于传统的烘干装置不能够根据实际待烘干晶片的尺寸来灵活的调整烘干的范围，导致当烘干范围远大于待烘干的晶片尺寸时，不经使得晶片的烘干效果不佳，而且一定程度上造成了能源的浪费增加了加工成本；

3、通过设置有通风槽，使得热风机吹出的热风被分成多股热风吹在晶片的表面，多股热风吹在晶片的表面时，与晶片接触后的热风向四周分散，进而增加热风与晶片接触的时间，从而一定程度上提高了本装置的烘干效率；

4、通过凸轮辊与支撑板的配合，使得支撑板在烘干框内往复的上下晃动，当支撑板向远离进料口的方向运动时，烘干框内的气体通过通风槽和滑动槽被挤出烘干框内，被挤出的气体在吹出烘干框时经过晶片表面，从而进一步的增加了热风与晶片的接触的频率，进而进一步的提高的本装置对晶片的烘干效率。

附图说明

为了更清楚的说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。

图1为一种晶片加工用快速烘干装置的结构示意图；

图2为烘干机构的部分结构示意图；

图3为支撑组件的部分结构示意图；

图4为调节组件的部分结构示意图；

图5为图1中A处的局部结构放大示意图；

图6为图1中B处的局部结构放大示意图；

1、烘干箱体；2、控制装置；3、进料口；4、烘干框；5、滑动槽；6、第一电机；7、驱动轴；8、凸轮辊；9、支撑板；10、支撑块；11、滑动块；12、纵杆；13、晃动弹簧；14、通风槽；15、电动推杆；16、夹板；17、横杆；18、固定筒；19、调节电机；20、调节螺杆；21、固定板；22、螺纹块；23、连接板；24、调节套；25、电机框；26、第二电机；27、转动块；28、摆杆；29、复位弹簧；30、L形板；31、滑动套；32、连接杆；33、基座；34、热风机。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

参照图1至图6对本发明一种晶片加工用快速烘干装置实施例做进一步说明。

一种晶片加工用快速烘干装置，包括烘干箱体1，烘干箱体1上设置有控制装置2，控制装置2与烘干箱体1固定连接，烘干箱体1上壁开设有进料口3，烘干箱体1内设置有烘干框4，烘干框4与烘干箱体1固定连接，烘干框4侧壁内侧开设有滑动槽5；支固机构，支固机构设置于烘干框4上，支固机构与控制装置2电连接，支固机构用于支撑固定待烘干的晶片；调节机构，调节机构设置于烘干框4内，调节机构与烘干框4固定连接，调节机构与控制装置2电连接，调节机构用于根据晶片尺寸大小调节烘干范围；烘干机构，烘干机构设置于烘干框4内，烘干机构与控制装置2电连接，烘干机构与调节机构配合，烘干机构用于烘干待烘干的晶片。

优选的，支固机构包括支撑组件和固定组件，支撑组件设置于烘干框4上，支撑组件与控制装置2电连接，固定组件设置于烘干框4内，固定组件与控制装置2电连接，固定组件用于对待烘干的晶片进行固定。

优选的，支撑组件包括第一电机6、驱动轴7、凸轮辊8、支撑板9、支撑块10、滑动块11、纵杆12和晃动弹簧13，第一电机6设置于烘干框4上，第一电机6与控制装置2电连接，第一电机6的输出端与驱动轴7固定连接，驱动轴7烘干框4转动连接，凸轮辊8设置于驱动轴7上，凸轮辊8与驱动轴7固定连接，支撑板9靠近滑动槽5的端部设置有滑动块11，滑动块11与支撑板9固定连接，凸轮辊8与支撑板9配合，滑动块11与滑动槽5滑动连接，纵杆12设置于滑动槽5内，纵杆12的端部与滑动槽5固定连接，滑动块11与滑动槽5相对的表面设有晃动弹簧13，且晃动弹簧13套接与纵杆12上，晃动弹簧13的端部分别与滑动槽5和滑动块11滑动连接，支撑板9表面开设有多个贯通的通风槽14，且多个通风槽14均匀分布，相邻通风槽14间设置有支撑块10，支撑块10与支撑板9固定连接。

通风槽14端部设置为扩口形，通过将通风槽14的端部设置为扩口形，使得热风机34吹出的热风更易于通过通风槽14吹向晶片的表面，同时通风槽14靠近晶片一端为扩口形扩大了热风吹向晶片时的烘干面积，从而一定程度上提高了本装置的烘干效率。

控制装置2控制第一电机6启动，使得与第一电机6输出端固定连接的驱动轴7转动，带动了设置在驱动轴7表面的凸轮辊8转动，通过凸轮辊8与支撑板9的配合，使得支撑板9在烘干框4内往复的上下晃动，当支撑板9向远离进料口3的方向运动时，烘干框4内的气体通过通风槽14和滑动槽5被挤出烘干框4内，被挤出的气体在吹出烘干框4时经过晶片表面，从而进一步的增加了热风与晶片的接触的频率，进而进一步的提高的本装置对晶片的烘干效率。

优选的，固定组件包括电动推杆15和夹板16，电动推杆15设置于支撑板9靠近进料口3的表面，电动推杆15与控制装置2电连接，电动推杆15与支撑板9固定连接，夹板16与电动推杆15固定连接。

烘干前将待烘干晶片通过进料口3放置于支撑板9表面的支撑块10上，控制装置2控制电动推杆15启动，电动推杆15推动与其固定连接的夹板16相对移动，进而将支撑块10上晶片夹紧固定，通过设置有固定组件使得本装置在烘干前可将晶片进行夹紧固定，避免了在烘干的过程中晶片发生偏移从而影响本装置的烘干效果。

优选的，调节机构包括连接组件和调节组件，连接组件设置于烘干框4内，连接组件与烘干框4固定连接，调节组件设置于烘干框4内，调节组件与控制装置2电连接，调节组件与连接组件配合。

优选的，连接组件包括横杆17和固定筒18，固定筒18设置于烘干框4设有滑动槽5的内壁表面，固定筒18与烘干框4固定连接，烘干框4相对侧表面上的固定筒18间设有横杆17，横杆17与固定筒18与固定连接。

优选的，调节组件包括调节电机19、调节螺杆20、固定板21、螺纹块22、连接板23和调节套24，调节电机19设置于烘干框4内，调节电机19与控制装置2电连接，调节电机19的输出端与调节螺杆20固定连接，调节螺杆20与固定板21转动连接，固定板21与烘干箱体1固定连接，螺纹块22与调节螺杆20螺纹连接，靠近滑动槽5一侧的螺纹块22间设置有连接板23，且连接板23的端部与螺纹块22固定连接，调节套24设置于螺纹块22靠近横杆17的表面，调节套24与螺纹块22固定连接，调节套24与横杆17滑动连接。

控制装置2调节电机19启动，使得调节电机19输出端固定连接的调节螺杆20转动，通过调节螺杆20与螺纹块22间的螺纹传动配合，进而带动了螺纹块22移动，使得与螺纹块22固定连接的调节套24在横杆17上滑动，进而可对横杆17两端的调节套24间的间距进行调整，通过设有调节组件使得本装置可根据待烘干晶片的尺寸大小，对横杆17两端调节套24间的间距进行调节，从而调节热风机34的烘干范围，相比于传统的烘干装置不能够根据实际待烘干晶片的尺寸来灵活的调整烘干的范围，导致当烘干范围远大于待烘干的晶片尺寸时，不经使得晶片的烘干效果不佳，而且一定程度上造成了能源的浪费增加了加工成本。

优选的，烘干机构包括转动组件和烘干组件，转动组件设置于烘干框4内，转动组件与控制装置2电连接，转动组件与烘干箱体1固定连接，烘干组件设置于横杆17上，烘干组件与转动组件转动连接，烘干组件与横杆17滑动连接。

优选的，转动组件包括电机框25、第二电机26、转动块27、摆杆28、复位弹簧29和L形板30，电机框25设置于烘干箱体1设置有固定板21的表面，电机框25与烘干箱体1固定连接，第二电机26设置于电机框25内，第二电机26与控制装置2电连接，第二电机26的输出端与转动块27固定连接，摆杆28与转动块27滑动连接，摆杆28的一端与L形板30固定连接，复位弹簧29套接与摆杆28上，且复位弹簧29位于L形板30和转动块27之间。

控制装置2控制第二电机26启动，使得与第二电机26输出端固定连接转动块27转动，通过摆杆28与转动块27的配合使得与摆杆28固定连接的L形板30的带动基座33在支撑板9的下方做平面运动，进而带动了设置在基座33上的热风机34在支撑板9的下方做平面运动，热风机34吹出热风通过通风槽14吹在晶片的表面，从而实现对晶片的烘干，通过设置有通风槽14，使得热风机34吹出的热风被分成多股热风吹在晶片的表面，多股热风吹在晶片的表面时，与晶片接触后的热风向四周分散，进而增加热风与晶片接触的时间，从而一定程度上提高了本装置的烘干效率。

优选的，烘干组件包括滑动套31、连接杆32、基座33和热风机34，滑动套31设置于横杆17上，滑动套31与横杆17滑动连接，滑动套31间设置有连接杆32，且连接杆32的端部与滑动套31固定连接，基座33设置于连接杆32上，基座33与连接杆32滑动连接，基座33与L形板30转动连接，热风机34设置于基座33靠近支撑板9的表面，热风机34与基座33可拆卸式固定连接，热风机34与控制装置2电连接。

工作原理：烘干前将待烘干晶片通过进料口3放置于支撑板9表面的支撑块10上，控制装置2控制电动推杆15启动，电动推杆15推动与其固定连接的夹板16相对移动，进而将支撑块10上晶片夹紧固定，通过设置有固定组件使得本装置在烘干前可将晶片进行夹紧固定，避免了在烘干的过程中晶片发生偏移从而影响本装置的烘干效果；控制装置2调节电机19启动，使得调节电机19输出端固定连接的调节螺杆20转动，通过调节螺杆20与螺纹块22间的螺纹传动配合，进而带动了螺纹块22移动，使得与螺纹块22固定连接的调节套24在横杆17上滑动，进而可对横杆17两端的调节套24间的间距进行调整，通过设有调节组件使得本装置可根据待烘干晶片的尺寸大小，对横杆17两端调节套24间的间距进行调节，从而调节热风机34的烘干范围，相比于传统的烘干装置不能够根据实际待烘干晶片的尺寸来灵活的调整烘干的范围，导致当烘干范围远大于待烘干的晶片尺寸时，不经使得晶片的烘干效果不佳，而且一定程度上造成了能源的浪费增加了加工成本；控制装置2控制第二电机26启动，使得与第二电机26输出端固定连接转动块27转动，通过摆杆28与转动块27的配合使得与摆杆28固定连接的L形板30的带动基座33在支撑板9的下方做平面运动，进而带动了设置在基座33上的热风机34在支撑板9的下方做平面运动，热风机34吹出热风通过通风槽14吹在晶片的表面，从而实现对晶片的烘干，通过设置有通风槽14，使得热风机34吹出的热风被分成多股热风吹在晶片的表面，多股热风吹在晶片的表面时，与晶片接触后的热风向四周分散，进而增加热风与晶片接触的时间，从而一定程度上提高了本装置的烘干效率；同时控制装置2控制第一电机6启动，使得与第一电机6输出端固定连接的驱动轴7转动，带动了设置在驱动轴7表面的凸轮辊8转动，通过凸轮辊8与支撑板9的配合，使得支撑板9在烘干框4内往复的上下晃动，当支撑板9向远离进料口3的方向运动时，烘干框4内的气体通过通风槽14和滑动槽5被挤出烘干框4内，被挤出的气体在吹出烘干框4时经过晶片表面，从而进一步的增加了热风与晶片的接触的频率，进而进一步的提高的本装置对晶片的烘干效率。

以上仅是本发明的优选实施方式，本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本发明思路下的技术方案均属于本发明的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (4)

1.一种晶片加工用快速烘干装置，其特征在于，包括：

烘干箱体（1），烘干箱体（1）上设置有控制装置（2），控制装置（2）与烘干箱体（1）固定连接，烘干箱体（1）上壁开设有进料口（3），烘干箱体（1）内设置有烘干框（4），烘干框（4）与烘干箱体（1）固定连接，烘干框（4）侧壁内侧开设有滑动槽（5）;

支固机构，支固机构设置于烘干框（4）上，支固机构与控制装置（2）电连接，支固机构用于支撑固定待烘干的晶片；

调节机构，调节机构设置于烘干框（4）内，调节机构与烘干框（4）固定连接，调节机构与控制装置（2）电连接，调节机构用于根据晶片尺寸大小调节烘干范围；调节机构包括连接组件和调节组件，连接组件设置于烘干框（4）内，连接组件与烘干框（4）固定连接，调节组件设置于烘干框（4）内，调节组件与控制装置（2）电连接，调节组件与连接组件配合；

连接组件包括横杆（17）和固定筒（18），固定筒（18）设置于烘干框（4）设有滑动槽（5）的内壁表面，固定筒（18）与烘干框（4）固定连接，烘干框（4）相对侧表面上的固定筒（18）间设有横杆（17），横杆（17）与固定筒（18）与固定连接；

调节组件包括调节电机（19）、调节螺杆（20）、固定板（21）、螺纹块（22）、连接板（23）和调节套（24），调节电机（19）设置于烘干框（4）内，调节电机（19）与控制装置（2）电连接，调节电机（19）的输出端与调节螺杆（20）固定连接，调节螺杆（20）与固定板（21）转动连接，固定板（21）与烘干箱体（1）固定连接，螺纹块（22）与调节螺杆（20）螺纹连接，靠近滑动槽（5）一侧的螺纹块（22）间设置有连接板（23），且连接板（23）的端部与螺纹块（22）固定连接，调节套（24）设置于螺纹块（22）靠近横杆（17）的表面，调节套（24）与螺纹块（22）固定连接，调节套（24）与横杆（17）滑动连接；

烘干机构，烘干机构设置于烘干框（4）内，烘干机构与控制装置（2）电连接，烘干机构与调节机构配合，烘干机构用于烘干待烘干的晶片；烘干机构包括转动组件和烘干组件，转动组件设置于烘干框（4）内，转动组件与控制装置（2）电连接，转动组件与烘干箱体（1）固定连接，烘干组件设置于横杆（17）上，烘干组件与转动组件转动连接，烘干组件与横杆（17）滑动连接；

转动组件包括电机框（25）、第二电机（26）、转动块（27）、摆杆（28）、复位弹簧（29）和L形板（30），电机框（25）设置于烘干箱体（1）设置有固定板（21）的表面，电机框（25）与烘干箱体（1）固定连接，第二电机（26）设置于电机框（25）内，第二电机（26）与控制装置（2）电连接，第二电机（26）的输出端与转动块（27）固定连接，摆杆（28）与转动块（27）滑动连接，摆杆（28）的一端与L形板（30）固定连接，复位弹簧（29）套接与摆杆（28）上，且复位弹簧（29）位于L形板（30）和转动块（27）之间；

烘干组件包括滑动套（31）、连接杆（32）、基座（33）和热风机（34），滑动套（31）设置于横杆（17）上，滑动套（31）与横杆（17）滑动连接，滑动套（31）间设置有连接杆（32），且连接杆（32）的端部与滑动套（31）固定连接，基座（33）设置于连接杆（32）上，基座（33）与连接杆（32）滑动连接，基座（33）与L形板（30）转动连接，热风机（34）设置于基座（33）靠近支撑板（9）的表面，热风机（34）与基座（33）可拆卸式固定连接，热风机（34）与控制装置（2）电连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶片加工用快速烘干装置，其特征在于，支固机构包括支撑组件和固定组件，支撑组件设置于烘干框（4）上，支撑组件与控制装置（2）电连接，固定组件设置于烘干框（4）内，固定组件与控制装置（2）电连接，固定组件用于对待烘干的晶片进行固定。

3.根据权利要求2所述的一种晶片加工用快速烘干装置，其特征在于，支撑组件包括第一电机（6）、驱动轴（7）、凸轮辊（8）、支撑板（9）、支撑块（10）、滑动块（11）、纵杆（12）和晃动弹簧（13），第一电机（6）设置于烘干框（4）上，第一电机（6）与控制装置（2）电连接，第一电机（6）的输出端与驱动轴（7）固定连接，驱动轴（7）烘干框（4）转动连接，凸轮辊（8）设置于驱动轴（7）上，凸轮辊（8）与驱动轴（7）固定连接，支撑板（9）靠近滑动槽（5）的端部设置有滑动块（11），滑动块（11）与支撑板（9）固定连接，凸轮辊（8）与支撑板（9）配合，滑动块（11）与滑动槽（5）滑动连接，纵杆（12）设置于滑动槽（5）内，纵杆（12）的端部与滑动槽（5）固定连接，滑动块（11）与滑动槽（5）相对的表面设有晃动弹簧（13），且晃动弹簧（13）套接与纵杆（12）上，晃动弹簧（13）的端部分别与滑动槽（5）和滑动块（11）滑动连接，支撑板（9）表面开设有多个贯通的通风槽（14），且多个通风槽（14）均匀分布，相邻通风槽（14）间设置有支撑块（10），支撑块（10）与支撑板（9）固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种晶片加工用快速烘干装置，其特征在于，固定组件包括电动推杆（15）和夹板（16），电动推杆（15）设置于支撑板（9）靠近进料口（3）的表面，电动推杆（15）与控制装置（2）电连接，电动推杆（15）与支撑板（9）固定连接，夹板（16）与电动推杆（15）固定连接。