CN115594395B - 一种用于pcvd沉积车床的保温炉 - Google Patents

一种用于pcvd沉积车床的保温炉 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种用于PCVD沉积车床的保温炉,包括有可开闭的上炉体和下炉体,上、下炉腔内分别安设有石墨棒,所述的下炉体的底部开设有轴向通槽,轴向通槽中穿装谐振腔立架,谐振腔立架上端与安设在上、下炉腔内的谐振腔相联,谐振腔立架下端与轴向往复移动机构相联,其特征在于谐振腔立架的两侧分别配置有与轴向通槽密闭配置的随动保温层。本发明使轴向通槽始终保持封闭状态,使得炉体下方轴向通槽开口的密闭保温性能大大加强,有效提高了保温炉的保温性能和炉内温度分布均匀性,有助于提高光纤预制棒的PCVD加工沉积质量,并降低能耗;采用上下升降的上下炉体闭合结构,不仅便于实际操作使用和设备的维护,而且也进一步增强了保温炉的密闭保温性能。

Description

一种用于PCVD沉积车床的保温炉
技术领域
本发明涉及一种用于PCVD沉积车床的保温炉,属于光纤预制棒加工设备技术领域。
背景技术
PCVD工艺是光纤预制棒管内沉积法加工的主要工艺之一,PCVD工艺的加工是通过PCVD沉积车床来完成的,PCVD车床包括有夹持石英玻璃衬管两端的旋转夹头,在两旋转夹头之间设置有套在石英玻璃衬管外沿轴向往复移动的套状谐振腔,在PCVD工艺加工过程中,谐振腔向石英玻璃衬管发射高功率微波,并在高温保温炉内以一定速度沿着石英衬管轴向往复移动,使管内的气体氧化、沉积在玻璃衬管内壁,最后形成具有一定厚度沉积层的光纤预制棒。高温保温炉包括上下各半可开合的炉体,炉体内设置石墨棒进行加热保温,保温炉的保温性能和炉内温度分布均匀性将会对PCVD加工质量、设备能耗产生一定影响。由于保温炉下炉体下方开设有一条可使谐振腔往复运行的轴向开口,现有的保温炉对该开口的遮挡不严,往往造成温度分布不匀和设备能耗增大,另一方面现有的保温炉大都采用上下炉体一侧绞合开合的结构,这不仅在、给使用维护带来不便,而且也会影响炉体闭合的紧密性,从而影响路途的保温性能。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术存在的不足提供一种用于PCVD沉积车床的保温炉,该保温炉不仅温度分布均匀,而且保温性能高能耗小。
本发明为解决上述提出的问题所采用的技术方案为:包括有可开闭的上炉体和下炉体,上、下炉腔内分别安设有石墨棒,所述的下炉体的底部开设有轴向通槽,轴向通槽中穿装谐振腔立架,谐振腔立架上端与安设在上、下炉腔内的谐振腔相联,谐振腔立架下端与轴向往复移动机构相联,其特征在于谐振腔立架的两侧分别配置有与轴向通槽密闭配置的随动保温层。
按上述方案,所述的随动保温层包括左柔性保温条和右柔性保温条,所述的左柔性保温条沿轴向通槽安设,一端与谐振腔立架左侧连接,另一端与安设在轴向通槽左端外的左卷盘相连,所述的右柔性保温条沿轴向通槽安设,一端与谐振腔立架右侧连接,另一端与安设在轴向通槽右端外的左卷盘相连。
按上述方案,所述的左卷盘连接左卷盘电机,所述的右卷盘连接右卷盘电机。
按上述方案,所述的柔性保温条由玻璃纤维制成。
按上述方案,在下炉体外的底部安设有开档宽度小于轴向通槽宽度的挡板,构成柔性保温条的底档。
按上述方案,所述的下炉体与固定架相连,所述的上炉体与一上下升降装置相连,构成上下升降的上下炉体开闭结构。
按上述方案,所述的上、下炉体横向截面为矩形,炉腔也为矩形,炉腔两侧安设有石墨棒,上下炉体外壳包覆吸波材料,所述的吸波材料由碳化硅类材料构成。
按上述方案,所述的下炉体与上炉体相开闭的配置端面设置台阶形的配合凸台或凹槽,所述的上炉体与下炉体相开闭的配置端面相应设置台阶形的配合凹槽或凸台。
按上述方案,所述的上下炉体外壳包覆加强保温层,所述的加强保温层由含铝的纤维材料构成,所述的吸波材料包覆在加强保温层外。
本发明的有益效果在于:1、在谐振腔立架的两侧分别配置有与轴向通槽密闭配置的随动保温层,随动保温层随谐振腔的移动而左右移动,使轴向通槽始终保持封闭状态,使得炉体下方轴向通槽开口的密闭保温性能大大加强,有效提高了保温炉的保温性能和炉内温度分布均匀性,有助于提高光纤预制棒的PCVD加工沉积质量,并降低能耗;2、采用上下升降的上下炉体闭合结构,不仅便于实际操作使用和设备的维护,而且也进一步增强了保温炉的密闭保温性能;3、外部壳体具有吸波功能,能有效减小炉体内部热量向外辐射,减小能耗,也可有效减少高频微波泄露。
附图说明
图1为本发明一个实施例的总体结构正视立体图。
图2为本发明一个实施例的总体结构正剖视立体图。
图3为本发明一个实施例的侧剖视图。
图4为本发明一个实施例中上下炉体配置端面的放大剖视图。
图5为本发明一个实施例中上下炉体开合的立体示意图。
图6本发明一个实施例中下炉体底部柔性保温条的底档的局部立体视图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明。
本发明的一个实施例入附图所示,包括有可开闭的上炉体2和下炉体3,所述的上、下炉体横向截面为矩形,炉腔也为矩形,上、下炉腔内两侧上下角分别安设有石墨棒14,用于炉体内的加温保温,上下炉体外壳包覆加强保温层和吸波材料10,所述的加强保温层由含铝的纤维材料构成,所述的吸波材料由碳化硅类材料构成。所述的下炉体与固定架7相连,所述的上炉体与一上下升降装置1相连,所述的升降装置为为丝杠导轨机构,构成上下升降的上下炉体开闭结构,所述的下炉体与上炉体相开闭的配置端面设置台阶形的配合凸台16,所述的上炉体与下炉体相开闭的配置端面相应设置台阶形的配合凹槽17,凸台和凹槽在上下炉体闭合时构成曲折接缝,可有效减小热量通过炉体配合间隙流动到外部环境。所述的下炉体的底部开设有轴向通槽,轴向通槽中穿装谐振腔立架13,谐振腔立架上端与安设在上、下炉腔内的谐振腔15相联,谐振腔立架下端与轴向往复移动机构6相联,在谐振腔立架的两侧分别配置有与轴向通槽密闭配置的随动保温层,所述的随动保温层包括左柔性保温条和右柔性保温条,所述的左柔性保温条沿轴向通槽安设,一端与谐振腔立架左侧连接,另一端与安设在轴向通槽左端外的左卷盘5相连,所述的右柔性保温条沿轴向通槽安设,一端与谐振腔立架右侧连接,另一端与安设在轴向通槽右端外的左卷盘8相连,所述的左卷盘连接左卷盘电机,所述的右卷盘连接右卷盘电机。所述的柔性保温条由玻璃纤维压制而成。在下炉体外的底部安设有开档宽度小于轴向通槽11宽度的挡板12,构成柔性保温条的底档,可使柔性保温条在轴向通槽中平稳移动。
本发明使用时,先通过上下升降装置将上炉体提升约300mm,然后将石英玻璃衬管装入炉体内,待升降装置将保温炉体闭合后,炉内石墨棒加热,炉内谐振腔在轴向往复移动机构带动下往复运动,同时下炉体两端右柔性保温条卷盘在卷盘电机驱动下同步运动。

Claims (7)

1.一种用于PCVD沉积车床的保温炉,包括有可开闭的上炉体和下炉体,上、下炉腔内分别安设有石墨棒,所述的下炉体的底部开设有轴向通槽,轴向通槽中穿装谐振腔立架,谐振腔立架上端与安设在上、下炉腔内的谐振腔相联,谐振腔立架下端与轴向往复移动机构相联,其特征在于谐振腔立架的两侧分别配置有与轴向通槽密闭配置的随动保温层;所述的随动保温层包括左柔性保温条和右柔性保温条,所述的左柔性保温条沿轴向通槽安设,一端与谐振腔立架左侧连接,另一端与安设在轴向通槽左端外的左卷盘相连,所述的右柔性保温条沿轴向通槽安设,一端与谐振腔立架右侧连接,另一端与安设在轴向通槽右端外的右卷盘相连;所述的左卷盘连接左卷盘电机,所述的右卷盘连接右卷盘电机。
2.按权利要求1所述的用于PCVD沉积车床的保温炉,其特征在于所述的柔性保温条由玻璃纤维制成。
3.按权利要求1或2所述的用于PCVD沉积车床的保温炉,其特征在于在下炉体外的底部安设有开档宽度小于轴向通槽宽度的挡板,构成柔性保温条的底档。
4.按权利要求1或2所述的用于PCVD沉积车床的保温炉,其特征在于所述的下炉体与固定架相连,所述的上炉体与一上下升降装置相连,构成上下升降的上下炉体开闭结构。
5.按权利要求4所述的用于PCVD沉积车床的保温炉,其特征在于所述的上、下炉体横向截面为矩形,炉腔也为矩形,炉腔两侧安设有石墨棒,上下炉体外壳包覆吸波材料,所述的吸波材料由碳化硅类材料构成。
6.按权利要求4所述的用于PCVD沉积车床的保温炉,其特征在于所述的下炉体与上炉体相开闭的配置端面设置台阶形的配合凸台或凹槽,所述的上炉体与下炉体相开闭的配置端面相应设置台阶形的配合凹槽或凸台。
7.按权利要求5所述的用于PCVD沉积车床的保温炉,其特征在于所述的上下炉体外壳包覆加强保温层,所述的加强保温层由含铝的纤维材料构成,所述的吸波材料包覆在加强保温层外。
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