CN115527910A - 一种调压板、安装方法和晶圆传输设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种调压板、安装方法和晶圆传输设备，其中调压板包括包括平行且间隔设置的两条固定侧板，两条固定侧板的上方共同设置有若干可拼接的板体，板体能沿固定侧板滑动且和固定侧板可拆卸连接。板体通过固定组件限定在固定侧板上，固定组件能在前后、左右和上下方向对板体进行限位。固定组件通过多个限位零件，能快速限定板件的位置，并能快速将板件从固定侧板上拆卸。同时多个限位零件相互配合，能在各个方向对板件进行限位，防止板件各个方向上的晃动，提高稳定性。

Description

一种调压板、安装方法和晶圆传输设备

技术领域

本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种调压板、安装方法和晶圆传输设备。

背景技术

半导体加工设备中通常包括一种晶圆传输设备(Equipment Front End Module,EFEM)，晶圆传输设备主要应用于晶圆的自动输送和上下料。EFEM通常包括机器手、预对准机构、装载口组件、风扇/过滤器单元等多个分离且独立的组件或子设备。同时，EFEM作为半导体加工设备的组成部分，工作过程中亦将对半导体加工设备的各现场级设备进行信号采集并参与控制。

EFEM由于环境要求，通常包括壳体，靠近壳体的顶部位置设置有FFU(高效过滤器)部，FFU部内设置有多个用于空气过滤的FFU。FFU部的底部与壳体形成分选腔室，分选腔室内设置有调压板，FFU部吹出的风经过调压板再吹入下方晶圆操作的操作区。调压板固定在分选腔室的中间位置，由多块板体拼接而成，板体上开设有供气体穿过的通孔。

EFEM风压由板体上的通孔的孔径决定，孔径越小，则EFEM的风压越大。为了调节EFEM内的风压，经常需要根据实际需要更换或清洁调压板。现有的调压板通常直接用螺钉连接，为拆卸和更换带来了极大的不便。

同时有些EFEM会搭载晶圆对准装置，晶圆对准装置往往固定在调压板上。分选腔室内设置有机械手，机械手可将晶圆搬运到晶圆对准装置上。由于晶圆对准装置的精度要求高，因此需要机械手在搬运晶圆过程中不会对晶圆对准装置造成干扰，这就对调压板的稳定性提出了较高的要求，要保证调压板始终稳定，不会发生晃动。

发明内容

为克服上述缺点，本发明的目的在于提供一种调压板，通过多个限位零件的设置，能快速限定板件的位置，并能快速将板件从固定侧板上拆卸。同时多个限位零件相互配合，能在各个方向对板件进行限位，防止板件各个方向上的晃动，提高稳定性。

为了达到以上目的，本发明采用的技术方案是：一种调压板，包括两个平行设置的固定侧板，两个所述固定侧板的上方共同设置有若干板体，所述板体通过固定组件进行限位，其特征在于：所述固定组件包括

限位零件C，所述限位零件C沿固定侧板长度方向间隔分布，所述限位零件C包括第一限位面和第二限位面，所述第一限位面、第二限位面和固定侧板上端面限定形成供板体侧边插入并滑动的插槽C，所述板体位于两个固定侧板上的插槽C之间，所述第一限位面与固定侧板的上端面平行，所述第二限位面和第一限位面垂直；

限位零件B，所述限位零件B位于相邻的板体之间，所述限位零件B包括一个斜面B，所述限位零件B固定在一个板体上，相邻所述板体具有一个能抵接在斜面B上的第一折边，所述斜面B为与其抵接的板体提供垂直方向和沿板体滑动的水平方向的压力。

本发明的有益效果在于：限位零件C限定了板体的上端面的位置，即在Z向上对板体进行限位,减少板体在Z向上的晃动。同时由于板体两侧的固定侧板上均固定了限位零件C，对板体在Y方向上进行了限位,减少板体在Y向上的晃动。同时为了提高板体间连接的稳定性，相邻的板体间可通过位于两者之间的限位零件B进行顶紧,斜面B为板体提供X方向的压紧力，同时为板体提供一个向上的支撑力，而板体又在限位零件C的约束下，限定了板体向上的距离。即板体在X、Y和Z三个方向上均被限位，实现固定，能有效防止调压板在各个方向上晃动，增强了调压板的稳定性。同时多个板体可在插槽内滑动，便于拆卸。板体形成模块化，模块化的安装，便于快速拆卸、安装和更换。

进一步来说，所述第一限位面到固定侧板上端面之间的垂直距离不小于板体的厚度；位于一个所述固定侧板上的第二限位面到另一个所述固定侧板上的第二限位面的垂直距离不小于板体的宽度。

当第一限位面到固定侧板之间的垂直距离等于板体的厚度时，对板体的限位达到最佳效果。这样就是插槽C的高度与板体匹配，减少板体在Z向上的晃动。固定侧板上的第二限位面到另一个固定侧板上的第二限位面的垂直距离等于板体在Y向的宽度时，对板体的限位达到最佳效果，板体的两个侧边直接与两个第二限位面抵接，减少板体在Y向上的晃动。

进一步来说，所述第一限位面和第二限位面设置在一个限位零件C上，所述限位零件C包括垂直设置的固定部C和限位部C，所述固定部C放置在固定侧板上端面，所述限位部C与固定侧板平行设置，所述限位部C朝向固定侧板的一面为第一限位面，所述固定部C与第一限位部垂直的竖直侧面为第二限位面。限位零件C为一个整体件，便于安装和形成模块化。

进一步来说，所述第一限位面沿板体滑动的水平方向的两侧均连接有斜面C，所述斜面C沿第一限位面在竖直方向朝向远离固定侧板的一侧倾斜。斜面C的设置形成扩口结构，便于板体插入

进一步来说，所述板体垂直其滑动方向的两侧均向下折弯有第一折边，所述第一折边位于两个固定侧板之间，所述第一折边包括竖直部和水平部，所述斜面B与第一折边的竖直部和水平部的交界处抵接。

进一步来说，所述限位零件B包括垂直设置的固定部B和顶紧部B,固定部B固定在第一折边的竖直部上，所述斜面B设置在顶紧部B的上端面，所述斜面B自远离固定部B向靠近固定部B向上倾斜设置。限位零件B为一个整体件，便于安装和形成模块化。

进一步来说，位于最外侧的所述板体通过螺栓和一个固定侧板固定，所述板体上开设有与螺栓匹配的限位孔；所述限位孔为腰型孔，且所述腰型孔沿板体滑动方向设置。位于限位孔内的螺栓将拼接后的板体实现在X向的最终定位，当需要拆卸板件时，直接拆除限位孔内的螺栓孔，然后拉出板件即可。

进一步来说，所述固定组件还包括限位零件A，所述板体包括宽度不同的宽板和窄板，且所述窄板的两侧均为宽板，一个所述固定侧板上开设有与窄板对应的缺口，所述限位零件A设置在缺口处且和窄板两侧的宽板固定连接，所述限位零件A用于卡接所述窄板；

所述限位零件A包括包括第三限位面、第四限位面和第五限位面，所述第三限位面和第五限位面均与窄板的上端面平行，且所述第三限位面和第五限位面分别位于窄板的上下两侧；所述第四限位面与第三限位面垂直且与第二限位面平行。

针对不同宽度的板件，需要限位零件A在固定侧板的缺口处对窄板进行限位，提高窄板的稳定性，进而提高整个调压板的稳定性。

进一步来说，所述窄板位于缺口的一侧设置有向下折弯的第二折边，限位零件A还包括能与第二折边的下端面抵接的第六限位面。第二折边的水平部(即第二折边下端面)直接放置在第六限位面上，第六限位面对第二折边的水平部进行托举，增大对窄板的支撑力。

进一步来说，所述限位零件A包括固定部A,所述固定部A沿其上端面向上延伸有两个间隔设置的挡板a和挡板b，所述挡板b远离固定部A的端部延伸有一个挂耳，所述挂耳与固定部A平行；所述固定部A、挡板b和挂耳之间限定形成供第二折边插入的插槽A,所述第二折边插入插槽A内并限定在插槽A内；所述固定部A与挂耳的相对面分别为第六限位面和第五限位面，所述挡板b朝向挡板a的一侧为第四限位面，所述挡板a远离固定部A的端面为第三限位面。限位零件A为一个整体件，便于安装和形成模块化。

进一步来说，所述第三限位面到第五限位面之间的垂直距离不小于窄板的厚度，即窄板在Z向限定在第三限位面和第五限位面之间。当第三限位面到第五限位面之间的垂直距离等于窄板厚度时，对窄板的限定效果最佳。

所述第六限位面到第五限位面之间的垂直距离不小于第二折边的高度。

进一步来说，所述第五限位面的一侧连接有斜面A，所述斜面A沿第五限位面在竖直方向朝向远离窄板的一侧倾斜。斜面A的设置，形成扩口结构，便于窄板的插入

本发明还公开了一种调压板的安装方法，用于安装上述的调压板，其特征在于：包括如下步骤:

在两个固定侧板的长度方向设置若干限位零件C，限位零件C与固定侧板之间限定形成插槽C；

所述宽板从插槽C插入，最先插入的宽板端部与壳体抵接，实现限位；

从所述插槽C处继续插入宽板，后插入的宽板固定有限位零件B，所述限位零件B具有一个斜面B，所述斜面B与先插入的宽板的第一折边抵接，推动后插入的宽板时，斜面B为先插入的宽板提供预紧力；

当需要插入窄板时，在与窄板相邻的宽板上固定限位零件A，限位零件A上限位形成插槽A，窄板的一个侧板沿插槽C滑动，窄板的第二折边插入插槽A内；

当最后一个宽板从插槽C插入后，通过螺栓将最后插入的宽板与一个固定侧板固定。

本发明还公开了一种，晶圆传输装置，包括壳体，壳体内设置有上述的调压板。

附图说明

图1为现有技术中的调压板的结构示意图及其局部放大图；

图2为现有技术中的调压板的另一角度结构示意图及其局部放大图；

图3为本发明实施例的立体结构示意图及其局部放大图；

图4为本发明实施例的另一角度立体结构示意图；

图5为图4中的A处放大图；

图6为本发明实施例的侧视图；

图7为本发明实施例中限位零件C的立体结构示意图；

图8为本发明实施例中限位零件B的立体结构示意图；

图9为本发明实施例中限位零件B的侧视图；

图10为本发明实施例中限位零件B与板体的连接结构示意图；

图11为本发明实施例中限位零件A的立体结构示意图；

图12为本发明实施例中限位零件A的另一角度立体结构示意图；

图13为本发明实施例中限位零件A与窄板的连接结构示意图。

图中：

1、固定侧板；2、限位零件C；21、固定部C；211、螺栓孔C；212、第二限位面；22、限位部C；221、斜面C；222、第一限位面；23、插槽C；3、限位零件B；31、固定部B；311、螺栓孔B；32、顶紧部B；321、斜面B；4、限位零件A；41、固定部A；411、螺栓孔A；412、第六限位面；42、挡板a；421、第三限位面；43、挡板b；431、第四限位面；44、挂耳；441、第五限位面；442、斜面A；45、插槽A；51、宽板；511、第一折边；512、限位孔；52、窄板；521、第二折边。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的较佳实施例进行详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。

参见附图1-2所示，为现有技术中的调压板，包括平行设置的两条固定侧板1，固定侧板1上固定有固定架，固定架固定在EFEM的壳体上。

两个固定侧板1之间固定有若干板体，板体通过螺栓固定在固定侧板1上，板体抵靠在固定侧板1的上端面，且直接通过贯穿两者的螺栓固定。相邻的板体之间也通过螺栓固定。

对于宽度不同的板体，还设置有连接两者的L型角铁，L型角铁包括垂直设置的第一连接板和第二连接板，第一连接板与一个板体抵接，并通过螺栓与此板体固定。第二连接板与相邻的另一个板体抵接，并通过螺栓固定。此种调压板直接用螺栓连接，不方便拆卸，需要将所有螺栓拆卸后，才能从固定侧板1上取下板体。且螺栓在长期使用过程中会产生松动，影响调压板的稳定性。

参见附图3和4所示，为本申请一实施例中的一种调压板，包括平行且间隔设置的两条固定侧板1，固定侧板1沿X方向延伸，两个固定侧板1沿Y方向间隔设置，且两个固定侧板1在Y轴上是上下平行设置，保证两个固定侧板1的上端面在Z轴方向上位于同一高度。两条固定侧板1的上方共同设置有若干板体，板体能沿固定侧板1在X方向滑动，且和固定侧板1可拆卸连接。板体可进行拼接，板体上阵列分布有通孔。

固定侧板1可为一个整体，也可由多个依次抵接的短侧板拼接而成。固定侧板1固定在EFEM的壳体上。

调压板还包括固定组件，固定组件能在前后、左右和上下方向对板体进行限位。其中前后、左右和上下方向分别对应图中的Y向、X向和Z向，上下为垂直方向，前后和左右分别为水平面的两个相互垂直的方向。

参见附图1和附图6所示，固定组件包括限位零件C2，限位零件C2沿两个固定侧板1长度方向间隔分布，固定侧板1的长度方向就是X方向。限位零件C2和固定侧板1的上端面之间限定形成一个U形的插槽C23，固定侧板1的上端面即用于板体放置的一面，板体的侧边可在插槽C23内滑动。插槽C23内限定形成插槽C顶壁、插槽C底壁和插槽C侧壁，其中插槽C底壁即为固定侧板1的上端面，板体的下端面抵靠在插槽C底壁上，而插槽C顶壁限定了板体上端面的位置，即在Z向对板体进行限位。

由于两个固定侧板1上均设置限位零件C2，则板体沿Y向的两侧均有插槽C23，板体位于两个固定侧板1的插槽C23之间，侧板限定在两个插槽C23的插槽C侧壁之间，板体与位于两侧的插槽C23的插槽C侧壁抵接，限位零件C2能对板体在Y向进行限位。

参见附图7所示，限位零件C2具有一个第一限位面222和第二限位面212，第一限位面222与固定侧板1的上端面平行，且第一限位面222到固定侧板1上端面之间的垂直距离不小于板体的厚度，第一限位面222即插槽C顶壁。当第一限位面222到固定侧板1之间的垂直距离等于板体的厚度时，对板体的限位达到最佳效果。这样就是插槽C23的高度与板体匹配，减少板体在Z向上的晃动。第二限位面212与第一限位面222垂直，第二限位面212即插槽C侧壁。位于一个固定侧板1上的第二限位面212到另一个固定侧板1上的第二限位面212的垂直距离不小于板体在Y向的宽度。固定侧板1上的第二限位面212到另一个固定侧板1上的第二限位面212的垂直距离等于板体在Y向的宽度时，对板体的限位达到最佳效果，板体的两个侧边直接与两个第二限位面212抵接，减少板体在Y向上的晃动。

参见附图7所示，限位零件C2包括垂直设置的固定部C21和限位部C22，固定部C21放置在固定侧板1上端面，限位部C22沿Y向延伸且限位部C22与板体平行设置。第一限位面222设置在限位部C22上，为限位部C22的下端面，板体在Z向位于限位部C22和固定侧板1之间。第二限位面212设置在固定部C21上，为固定部C21的竖直侧面，板体在Y向位于两个固定部C21之间。

在一个实施例中，固定部C21和限位部C22为一体结构，即限位零件C2为一个整体固定在固定侧板1上。当然在一个实施例中，固定部C21和限位部C22也可为分体式结构，分别固定在固定侧板1上。

参见附图7所示，本实施例中的限位零件C2为一个整体结构，与固定侧板1可拆卸连接。固定部C21放置在固定侧板1上端面，并与固定侧板1通过螺栓固定连接。固定部C21上开设有供螺栓穿过的螺栓孔C211，螺栓孔C211开设有一个或多个，一个螺栓孔C211就能将固定部C21固定在固定侧板1上，但为了提高固定部C21与固定侧板1连接的稳定性，可根据固定部C21的长度实际灵活开设螺栓孔C211。

当然，限位零件C2也可与固定侧板1不可拆卸连接，如直接采用焊接或一体成型的方式。

在一个实施例中，为了便于板体插入插槽C23，第一限位面222沿X向的两侧分别连接有斜面C221，斜面C221沿第一限位面222在Z向朝向远离板体的一侧倾斜。斜面C221的设置形成扩口结构，便于板体插入。即在本实施例中，斜面C221为限位部C22的下端面的两侧切削形成，两个斜面C221从彼此靠近一端向彼此远离一端向上倾斜。

多个板体自限位零件C2和固定侧板1之间插入后，可在插槽C23内滑动，最外侧的板体通过螺栓和固定侧板1固定。最外侧的板体即最后插入的板体。第一个板体插入插槽C23，且滑动到固定侧板1的端部并与壳体抵接，形成第一个板体的固定。然后依次插入其他板体，板体之间相互抵接，直至最后一个板体插入后，即最外侧的板体插入插槽C23后，此时通过螺栓将最外侧的板体与固定侧板1固定，对拼接后的板体在X向进行限位，减少板体在X向上的晃动。

在一个实施例中，参见附图3所示，板体上开设有与螺栓匹配的限位孔512，为了方便调节，限位孔512为腰型孔，腰型孔沿板体插入方向(即X向)延伸。如果需要拆卸，只需要拆掉限位孔512中的螺栓，即可顺利的将板体依次抽出，比较便捷EFEM内设备的维护。

参见附图2所示，固定组件还包括限位零件B3,限位零件B3位于两个板体之间，相邻的两个板体间可通过限位零件B3进行顶紧。

参见附图10所示，限位零件B3具有一个斜面B321，限位零件B3固定在一个板体上，相邻板体具有一个能抵接在斜面B321上的第一折边511，斜面B321为与其抵接的板体提供X向和Z向压力。

斜面B321施加给与其抵接的板体的力分解成X向压力和Z向压力，其中X向压力将板体朝向远离限位零件B3一侧的板体推动，增加板体之间的在X向的紧密度。Z向压力为板体提供一个向上的支撑力，而板体又在限位零件C2的约束下，限定了板体向上的距离。

限位零件B3沿板体Y方向的侧边间隔设置，可根据板体的前后方向的宽度灵活设置个数，可为一个也可为多个。

参见附图10所示，板体沿Y向延伸的两侧均设置有向下折弯的第一折边511，第一折边511位于两个固定侧板1之间。第一折边511包括竖直部和水平部，竖直部沿Z向延伸，水平部与板体的上端面平行，竖直部和水平部的交界处与斜面B321抵接。

参见附图8和附图9所示，限位零件B3包括垂直设置的固定部B31和顶紧部B32,固定部B31固定在第一折边511的竖直部上。斜面B321设置在顶紧部B32的上端面，自远离固定部B31向靠近固定部B31向上倾斜设置，且斜面B321延伸到固定部B31上。

由于板体的工艺限制，无法保证每个板体的厚度均保持一致，也无法保相邻板体的侧边能完全抵接匹配，因此设置限位零件B3，通过一个斜面B321让两个相邻的侧板顶紧。能通过斜面B321施加的Z向压力将板体的上端面抵接到第一限位面222上，对板体进行Z向的约束。X向压力将板体在X方向上压紧，对板体进行X向的约束。同时与斜面B321抵接的第一折边511的竖直部与限位零件B3的固定部B31之间呈一较小缝隙，降低了对板体的加工精度要求，提高了生产安装效率，只通过斜面B321将两个板体进行顶紧。

在一个实施例中，限位零件B3与板体可拆卸连接，固定部B31通过螺栓与竖直部固定。固定部B31上开设有供螺栓穿过的螺栓孔B311，螺栓孔B311开设有一个或多个，一个螺栓孔B311就能将固定部B31固定在竖直部上，但为了提高固定部B31与固定侧板1连接的稳定性，可根据固定部B31的长度实际灵活开设螺栓孔B311。

当然，限位零件B3也可与板体不可拆卸连接，如直接采用焊接或一体成型的方式。

安装时，板体一先从限位零件C2和固定侧板1之间插入，端部与壳体抵接，实现限位。此时插入固定有限位零件B3的板体二，限位零件B3的斜面B321与板体一的第一折边511抵接，推动板体二时，斜面B321为板体一提供X方向的压紧力，同时为板体一提供一个向上的支撑力，而板体一又在限位零件C2的约束下，限定了板体一向上的距离。同时两个固定侧板1上的限位零件C2的第二限位面212限定了板体一和板体二在Y方向上的距离,即板体的两侧分别与两个第二限位面212抵接。即板体在X、Y和Z三个方向上均被限位，实现固定，能有效防止调压板在各个方向上晃动，增强了调压板的稳定性。

为了便于分选腔室内机械手工作，调压板上设置有一个与机械手对应的让位缺口。因此，参见附图1所示，一个固定侧板1上开设有一个缺口，位于缺口处的板体为窄板52，其他板体为宽板51。宽板51在Y向的长度相同，宽板51的两侧均有固定侧板1，通过限位零件C2和限位零件B3即可对宽板51在X、Y和Z三个方向上固定。但针对窄板52，由于窄板52的一侧没有固定侧板1，因此窄板52仅靠位于一个侧板上的限位零件C2和相邻宽板51上的限位零件B3固定，稳定性差，无法满足使用需求。

因此固定组件还包括限位零件A4，参见附图4和附图5所示，限位零件A4固定在于窄板52相邻的两个宽板51上，位于缺口处，限位零件A4用于卡接窄板52，限位零件A4能在Z向限定窄板52，并能与固定侧板1上的限位零件C2配合，在X向对窄板52限位。

参见附图11-附图13所示，限位零件A4包括第三限位面421、第四限位面431和第五限位面441，第三限位面421和第五限位面441均与窄板52的上端面平行，且第三限位面421和第五限位面441分别位于窄板52的上下两侧，第三限位面421到第五限位面441之间的垂直距离不小于窄板52的厚度，即窄板52在Z向限定在第三限位面421和第五限位面441之间。当第三限位面421到第五限位面441之间的垂直距离等于窄板52厚度时，对窄板52的限定效果最佳。第三限位面421起到托举窄板52的作用，和第五限位面441配合，在Z向上对窄板52进行限位。

第四限位面431与第三限位面421垂直且与第二限位面212平行，窄板52限定在第二限位面212和第四限位面431之间，在Y向对窄板52进行限位。

参见附图13和附图5所示，限位零件A4固定在宽板51第一折边511的水平部上，窄板52沿X向延伸的一个侧边设置有向下折弯的第二折边521。第二折边521与第一折边511的结构相同，也包括水平部和竖直部。限位零件A4包括能与第二折边521的水平部抵接的第六限位面412，第二折边521的水平部(即第二折边521下端面)直接放置在第六限位面412上，第六限位面412对第二折边521的水平部进行托举。所述第六限位面412到第五限位面441之间的垂直距离不小于第二折边521的高度。即第二折边521在Z向限定在第六限位面412和第五限位面441之间。

参见附图11、附图12所示，限位零件A4包括固定部A41,固定部A41沿其上端面向上延伸有两个间隔设置的挡板a42和挡板b43，挡板b43远离固定部A41的端部延伸有一个挂耳44，挂耳44与固定部A41平行。其中固定部A41与挂耳44的相对面分别为第六限位面412和第五限位面441，第二折边521的水平部抵靠在固定部A41上，且挂耳44朝向固定部的一侧与窄板52的上端面抵接，在Z向对窄板52进行限位。挡板b43朝向挡板a42的一侧为第四限位面431，挡板b43与限位零件C2配合，在Y方向对窄板52进行限位。同时挡板a42远离固定部A41的端面为第三限位面421，挡块a与窄板52的下端面抵靠。

在一个实施例中，固定部A41与宽板51可拆卸连接，通过螺栓固定在宽板51的第二折边521的水平部上，固定部A41上开设有供螺栓穿过的螺栓孔A411，螺栓孔A411可为一个或多个，可根据固定部A41的形状决定，只要能将固定部A41固定在宽板51上即可。

当然固定部A41与宽板51也可不可拆卸连接，支架焊接固定或一体成型。

参见附图13所示，固定部A41、挡板b43和挂耳44之间限定形成供第二折边521插入的插槽A45,窄板52的第二折边521插入插槽A45内并限定在插槽A45内。限位零件A4替代了一个固定侧边和限位零件C2，在固定侧板1的缺口出对窄板52进行限定。

为了便于窄板52的插入插槽A45，第五限位面441的一侧连接有斜面A442，斜面A442设置在第五限位面441的入口处，且斜面A442沿第五限位面441在Z向朝向远离窄板52的一侧倾斜。斜面A442形成扩口结构，便于窄板52的插入。即在本实施例中，斜面A442为挂耳44朝向固定部A41的内侧面切削形成。

为了提高宽板51和窄板52间的连接紧密度，窄板52上也设置有限位零件B3,能通过限位零件B3挤压相邻的宽板51，提高两者之间的紧密程度，提高宽板51和窄板52组合形成的网孔板的稳定度。即不管何种板体，相邻的两个板体之间都设置有限位零件B3。

调压板在安装时，首先在固定侧板1的长度方向设置若干限位零件C2，限位零件C2与固定侧板1之间限定形成插槽C23。然后宽板51从插槽C23插入，端部与壳体抵接，实现限位。

接着从插槽C23处继续插入宽板51，后插入的宽板51固定有限位零件B3，限位零件B3具有一个斜面B321，斜面B321与先插入的宽板51的第一折边511抵接，推动后插入的宽板51时，斜面B321为先插入的宽板51提供X方向的压紧力，同时为先插入的宽板51提供一个向上的支撑力，而先插入的宽板51又在限位零件C2的约束下，限定了先插入的宽板51向上的距离。同时两个固定侧板1上的限位零件C2的第二限位面212限定了宽板51在Y方向上的距离,宽板51在X、Y和Z三个方向上均被限位。

当需要插入窄板52，此时在与窄板52相邻的宽板51上固定有限位零件A4，限位零件A4上限位形成插槽A45，窄板52的一个侧板沿插槽C23滑动，窄板52的第二折边521插入插槽A45内。限位零件A4能在Z向对窄板52进行限位，并能和限位零件C2配合在X向对窄板52进行限位。窄板52上同样固定有限位零件B3。

当最后一个宽板51从插槽C23插入后，此时通过螺栓将最后插入的宽板51与一个固定侧板1固定，将拼接后的调压板最后再X向进行固定。

当需要拆卸调压板时，只要取下最后一个宽板51与固定侧板1连接的螺栓，然后从插槽C23中依次抽出宽板51或窄板52即可。

在一个实施例中，本发明还公开了一种晶圆传输设置，包括壳体，上述调压板的固定侧板1固定在壳体内。

以上实施方式只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本发明的内容并加以实施，并不能以此限制本发明的保护范围，凡根据本发明精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围内。

Claims (14)

1.一种调压板，包括两个平行设置的固定侧板，两个所述固定侧板的上方共同设置有若干板体，所述板体通过固定组件进行限位，其特征在于：所述固定组件包括

限位零件C，所述限位零件C沿固定侧板长度方向间隔分布，所述限位零件C包括第一限位面和第二限位面，所述第一限位面、第二限位面和固定侧板上端面限定形成供板体侧边插入并滑动的插槽C，所述板体位于两个固定侧板上的插槽C之间，所述第一限位面与固定侧板的上端面平行，所述第二限位面和第一限位面垂直；

限位零件B，所述限位零件B位于相邻的板体之间，所述限位零件B包括一个斜面B，所述限位零件B固定在一个板体上，相邻所述板体具有一个能抵接在斜面B上的第一折边，所述斜面B为与其抵接的板体提供垂直方向和沿板体滑动的水平方向的压力。

2.根据权利要求1所述的一种调压板，其特征在于：所述第一限位面到固定侧板上端面之间的垂直距离不小于板体的厚度；位于一个所述固定侧板上的第二限位面到另一个所述固定侧板上的第二限位面的垂直距离不小于板体的宽度。

3.根据权利要求1所述的一种调压板，其特征在于：所述第一限位面和第二限位面设置在一个限位零件C上，所述限位零件C包括垂直设置的固定部C和限位部C，所述固定部C放置在固定侧板上端面，所述限位部C与固定侧板平行设置，所述限位部C朝向固定侧板的一面为第一限位面，所述固定部C与第一限位部垂直的竖直侧面为第二限位面。

4.根据权利要求1所述的一种调压板，其特征在于：所述第一限位面沿板体滑动的水平方向的两侧均连接有斜面C，所述斜面C沿第一限位面在竖直方向朝向远离固定侧板的一侧倾斜。

5.根据权利要求1所述的一种调压板，其特征在于：所述板体垂直其滑动方向的两侧均向下折弯有第一折边，所述第一折边位于两个固定侧板之间，所述第一折边包括竖直部和水平部，所述斜面B与第一折边的竖直部和水平部的交界处抵接。

6.根据权利要求5所述的一种调压板，其特征在于：所述限位零件B包括垂直设置的固定部B和顶紧部B,固定部B固定在第一折边的竖直部上，所述斜面B设置在顶紧部B的上端面，所述斜面B自远离固定部B向靠近固定部B向上倾斜设置。

7.根据权利要求1-6任一所述的一种调压板，其特征在于：位于最外侧的所述板体通过螺栓和一个固定侧板固定，所述板体上开设有与螺栓匹配的限位孔；所述限位孔为腰型孔，且所述腰型孔沿板体滑动方向设置。

8.根据权利要求1-7任一所述的一种调压板，其特征在于：所述固定组件还包括限位零件A，所述板体包括宽度不同的宽板和窄板，且所述窄板的两侧均为宽板，一个所述固定侧板上开设有与窄板对应的缺口，所述限位零件A设置在缺口处且和窄板两侧的宽板固定连接，所述限位零件A用于卡接所述窄板；

所述限位零件A包括包括第三限位面、第四限位面和第五限位面，所述第三限位面和第五限位面均与窄板的上端面平行，且所述第三限位面和第五限位面分别位于窄板的上下两侧；所述第四限位面与第三限位面垂直且与第二限位面平行。

9.根据权利要求8所述的一种调压板，其特征在于：所述窄板位于缺口的一侧设置有向下折弯的第二折边，限位零件A还包括能与第二折边的下端面抵接的第六限位面。

10.根据权利要求9所述的一种调压板，其特征在于：所述限位零件A包括固定部A,所述固定部A沿其上端面向上延伸有两个间隔设置的挡板a和挡板b，所述挡板b远离固定部A的端部延伸有一个挂耳，所述挂耳与固定部A平行；所述固定部A、挡板b和挂耳之间限定形成供第二折边插入的插槽A,所述第二折边插入插槽A内并限定在插槽A内；所述固定部A与挂耳的相对面分别为第六限位面和第五限位面，所述挡板b朝向挡板a的一侧为第四限位面，所述挡板a远离固定部A的端面为第三限位面。

11.根据权利要求9所述的一种调压板，其特征在于：所述第三限位面到第五限位面之间的垂直距离不小于窄板的厚度；所述第六限位面到第五限位面之间的垂直距离不小于第二折边的高度。

12.根据权利要求9所述的一种调压板，其特征在于：所述第五限位面的一侧连接有斜面A，所述斜面A沿第五限位面在竖直方向朝向远离窄板的一侧倾斜。

13.一种调压板的安装方法，用于安装权利要求8-12任一所述的调压板，其特征在于：包括如下步骤:

在两个固定侧板的长度方向设置若干限位零件C，限位零件C与固定侧板之间限定形成插槽C；

所述宽板从插槽C插入，最先插入的宽板端部与壳体抵接，实现限位；

从所述插槽C处继续插入宽板，后插入的宽板固定有限位零件B，所述限位零件B具有一个斜面B，所述斜面B与先插入的宽板的第一折边抵接，推动后插入的宽板时，斜面B为先插入的宽板提供预紧力；

当需要插入窄板时，在与窄板相邻的宽板上固定限位零件A，限位零件A上限位形成插槽A，窄板的一个侧板沿插槽C滑动，窄板的第二折边插入插槽A内；

当最后一个宽板从插槽C插入后，通过螺栓将最后插入的宽板与一个固定侧板固定。

14.晶圆传输装置，其特征在于：包括壳体，壳体内设置有权利要求1-12任一所述的调压板。

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