CN115493221A - 一种半导体厂节能改造用集中式冷热源系统及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种半导体厂节能改造用集中式冷热源系统及方法，通过热泵机组实现制冷和供热工况切换，在制冷工况为厂房提供6℃空调用冷冻水，在制热工况为厂房提供50℃采暖热水。在制冷及制热工况运行过程中当热负荷较小时通过阀门切换将多余热量排至冷却塔，维持制冷系统正常运行。本发明对原有供热系统采用的燃气锅炉进行替代，大幅降低运行费用的同时提升系统能效。同时通过对半导体厂房内余热资源进行利用同时满足供暖需求，提升了系统运行经济性和能效，同时降低系统碳排放，为同时存在用冷用热需求的厂房节能改造提供一种思路。
Description
技术领域
本发明属于余热利用技术领域，尤其是一种半导体厂节能改造用集中式冷热源系统及方法。
背景技术
集中式冷热源系统节能改造对于建筑空调系统的降本增效有重要意义。目前的工业厂房多采用集中式冷热源系统，不同的工业厂房的冷热需求也不尽相同，其中半导体厂房的特征尤为鲜明。一方面工业芯片的制造对于厂房内空气的温湿度具有较高的需求，为了实现精确温湿度调控，厂房内的空气调节常存在同时用冷和用热的需求；另一方面半导体芯片在制造过程中产生大量的工业余热。遗憾的是，绝大多数厂房在建设过程中未能考虑对这部分余热的利用，如果能对这部分余热加以利用服务于厂房的供热需求，将实现大幅度的节能降耗。综合考虑以上问题，采取合适的方法对既有半导体厂房进行改造成为了目前亟待解决的问题。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术的不足，提出一种半导体厂节能改造用集中式冷热源系统及方法，通过对半导体厂房内余热资源进行利用同时满足供暖需求，提升了系统运行经济性和能效，同时降低系统碳排放，为同时存在用冷用热需求的厂房节能改造提供一种思路。
本发明解决其技术问题是采取以下技术方案实现的：
一种半导体厂节能改造用集中式冷热源系统，包括热泵机组1、热泵机组2、冷水机组、冷却水回水干管、冷却水供水干管、采暖热水回水总管、采暖热水供水总管、低温水供水总管、低温水回水总管、余热水供水总管、余热水回水总管，其中，热泵机组1和热泵机组2的低温水出口连接在低温水供水总管，冷水机组出水口连接在低温水供水总管，热泵机组1和热泵机组2的低温水入口连接在低温水回水总管上，冷水机组入口连接在低温水回水总管上，热泵机组1和热泵机组2余热水出口连接在余热水供水总管上，热泵机组1和热泵机组2余热水入口连接在余热水回水总管上，热泵机组1和热泵机组2采暖热水出口连接在采暖热水供水总管上，热泵机组1和热泵机组2采暖热水入口连接在采暖热水回水总管上，热泵机组1和热泵机组2冷却水出口连接在冷却水供水干管上，热泵机组1和热泵机组2冷却水入口连接在冷却水回水干管上，冷水机组冷却水出口连接在冷却水供水干管上，冷水机组冷却水入口连接在冷却水回水干管上。
而且，所述余热水供水电动阀连接在余热水供水总管上，余热水回水电动阀连接在余热水回水总管上，低温水供水电动阀连接在热泵机组1和热泵机组2低温水出口、低温水回水电动阀连接在热泵机组1和热泵机组2低温水入口。
而且，所述采暖热水供水电动阀连接在热泵机组1和热泵机组2采暖热水出口，采暖热水回水电动阀连接在热泵机组1和热泵机组2采暖水入口，冷却水供水电动阀连接在热泵机组1和热泵机组2的冷却水出口，冷却水回水电动阀连接在热泵机组1和热泵机组2的冷却水入口。
而且，所述热泵机组蒸发器侧出水根据余热水供水电动阀和低温水供水电动阀切换工况。
而且，所述热泵机组蒸发器侧回水根据余热水回水电动阀和低温水回水电动阀切换工况。
而且，所述热泵机组冷凝器侧出水根据采暖热水供水电动阀和冷却水供水电动阀切换工况。
而且，所述热泵机组冷凝器侧入水根据采暖热水回水电动阀和冷却水回水电动阀切换工况。
一种半导体厂节能改造用集中式冷热源系统的方法，包括制冷工况和采暖工况。
而且，所述制冷工况包括以下步骤：
步骤1.1、余热水供水电动阀和余热水回水电动阀关闭，低温水供水电动阀、低温水回水电动阀开启，机组蒸发侧出水温度6℃；
步骤1.2、经低温水供水总管为厂房提供空调冷冻水，通过工厂循环后升温至12℃，经低温水回水总管返回热泵机组完成低温水循环；
步骤1.3、采暖热水供水电动阀关闭，采暖热水回水电动阀关闭，冷却水出水电动阀开启，冷却水回水电动阀开启，机组冷凝侧出水温度37℃；
步骤1.4、经冷却水供水干管循环至冷却塔，通过冷却降温至32℃，经冷却水回水干管返回热泵机组。
而且，所述采暖工况包括以下步骤：
步骤2.1、此时热泵机组1和热泵机组2冷却水回水电动阀关闭，冷却水供水电动阀关闭；余热水供水电动阀开启，余热水回水电动阀开启，机组蒸发侧出水温度12℃；
步骤2.2、经余热水供水总管为厂房设备提供冷却水，升温至18℃后经余热水回水总管返回热泵机组；
步骤2.3、热泵机组1和热泵机组2采暖热水供水电动阀开启，采暖热水回水电动阀开启，此时冷凝器出水温度50℃；
步骤2.4、经采暖热水供水总管为工厂提供采暖热水，降温至45℃后经采暖热水回水总管返回热泵机组。
本发明的优点和积极效果是：
通过热泵机组实现制冷和供热工况切换，在制冷工况为厂房提供6℃空调用冷冻水，在制热工况为厂房提供50℃采暖热水。在制冷及制热工况运行过程中当热负荷较小时通过阀门切换将多余热量排至冷却塔，维持制冷系统正常运行。本发明对原有供热系统采用的燃气锅炉进行替代，大幅降低运行费用的同时提升系统能效。同时通过对半导体厂房内余热资源进行利用同时满足供暖需求，提升了系统运行经济性和能效，同时降低系统碳排放，为同时存在用冷用热需求的厂房节能改造提供一种思路。
附图说明
图1为本发明的结构图。
标号说明：
1、热泵机组1；2、热泵机组2；3、冷水机组；4、冷却水供水干管；5、冷却水回水干管；6、采暖热水回水总管；7、采暖热水供水总管；8、低温水供水总管；9、低温水回水总管；10、余热水供水总管；11、余热水回水总管；12、冷却水回水干管；13、冷却水供水干管；14、采暖热水回水电动阀；15、采暖热水供水电动阀；16、冷却水回水电动阀；17、冷却水供水电动阀；18、采暖热水回水电动阀；19、采暖热水供水电动阀；20、冷却水回水电动阀；21、冷却水供水电动阀；22、低温水供水电动阀；23、余热水供水电动阀；24、余热水回水电动阀；25、低温水回水电动阀；26、低温水回水电动阀。
具体实施方式
以下结合附图对本发明做进一步详述。
一种半导体厂节能改造用集中式冷热源系统，如图1所示，包括热泵机组1、热泵机组2、冷水机组3、冷却水回水干管5和冷却水回水干管12、冷却水供水干管4和冷却水供水干管13、采暖热水回水总管6、采暖热水供水总管7、低温水供水总管8、低温水回水总管9、余热水供水总管10、余热水回水总管11、采暖热水供水电动阀15和采暖热水供水电动阀19、采暖热水回水电动阀14和采暖热水回水电动阀18、冷却水供水电动阀17和冷却水供水电动阀21、冷却水回水电动阀16和冷却水回水电动阀20、低温水供水电动阀22、余热水供水电动阀23、余热水回水电动阀24、低温水回水电动阀25和低温水回水电动阀26。
其中，热泵机组1和热泵机组2的低温水出口连接在低温水供水总管8，冷水机组3出水口连接在低温水供水总管8，热泵机组1和热泵机组2的低温水入口连接在低温水回水总管9上，冷水机组3入口连接在低温水回水总管9上，热泵机组1和热泵机组2余热水出口连接在余热水供水总管10上，热泵机组1和热泵机组2余热水入口连接在余热水回水总管11上。
余热水供水电动阀23连接在余热水供水总管10上，余热水回水电动阀24连接在余热水回水总管11上，低温水供水电动阀22连接在热泵机组1和热泵机组2低温水出口、低温水回水电动阀25和低温水回水电动阀26连接在热泵机组1和热泵机组2低温水入口。
热泵机组1和热泵机组2采暖热水出口连接在采暖热水供水总管7上，热泵机组1和热泵机组2采暖热水入口连接在采暖热水回水总管6上，热泵机组1和热泵机组2冷却水出口连接在冷却水供水干管4上，热泵机组1和热泵机组2冷却水入口连接在冷却水回水干管5上，冷水机组3冷却水出口连接在冷却水供水干管13上，冷水机组3冷却水入口连接在冷却水回水干管12上。
采暖热水供水电动阀15和19连接在热泵机组1和热泵机组2采暖热水出口，采暖热水回水电动阀14和采暖热水回水电动阀18连接在热泵机组1和热泵机组2采暖水入口，冷却水供水电动阀17和冷却水供水电动阀21连接在热泵机组1和热泵机组2的冷却水出口，冷却水回水电动阀16和冷却水回水电动阀20连接在热泵机组1和热泵机组2的冷却水入口。
其中，热泵机组蒸发器侧出水根据余热水供水电动阀23和低温水供水电动阀22切换工况。热泵机组蒸发器侧回水根据余热水回水电动阀24和低温水回水电动阀26切换工况。热泵机组冷凝器侧出水根据采暖热水供水电动阀15和冷却水供水电动阀21切换工况。热泵机组冷凝器侧入水根据采暖热水回水电动阀18和冷却水回水电动阀20切换工况。
热泵机组1和热泵机组2低温水出口6℃低温水经低温水供水电动阀22与冷水机组3低温水出口接洽，从低温水供水总管8为半导体厂房空调系统提供冷水，经厂房循环升温至12℃，从低温水回水总管9返回，经低温水回水电动阀26和低温水回水电动阀25返回热泵机组1和热泵机组2；热泵机组1和热泵机组2余热水供水出口经余热水供水电动阀23从余热水供水总管10向半导体厂房工艺冷却提供12℃冷水，经工艺设备循环升温至18℃，从余热水回水总管11经余热水回水电动阀24返回热泵机组1和热泵机组2；热泵机组1和热泵机组2冷却供水经冷却水供水电动阀17和冷却水供水电动阀21经冷却水供水干管4接冷却塔由37℃冷却至32℃，从冷却水回水干管5经冷却水回水电动阀16和20返回热泵机组1和热泵机组2。冷水机组3冷却水供水出口经冷却水供水干管13接冷却塔由37℃冷却至32℃，从冷却水回水干管12返回冷水机组3；热泵机组1和热泵机组2采暖热水出口经采暖热水供水电动阀15和采暖热水供水电动阀19经采暖热水供水总管7为半导体厂房提供50℃采暖热水，经厂房循环降温至45℃，从采暖热水回水总管6经采暖热水回水电动阀14和采暖热水回水电动阀18返回热泵机组1和热泵机组2。
一种半导体厂节能改造用集中式冷热源系统的方法，包括制冷工况和采暖工况。由于半导体厂房特殊工艺需求，冷需求包括厂房内供冷和工艺设备冷却水，热需求为供热需求。为了维持系统常年稳定在工艺设备所需温湿度范围，存在同时供冷和供热需求。考虑到厂房内工艺冷却水余热量较大，可完全满足全年供热需求，因此采用热泵机组对工艺冷却水余热进行回收，以满足厂房供热需求。在热需求较小或无热需求时间段，将热泵机组转为制冷工况为半导体厂房提供6℃冷冻水。
制冷工况包括以下步骤：
步骤1.1、余热水供水电动阀24和余热水回水电动阀23关闭，低温水供水电动阀22、低温水回水电动阀25和低温水回水电动阀26开启，机组蒸发侧出水温度6℃；
步骤1.2、经低温水供水总管8为厂房提供空调冷冻水，通过工厂循环后升温至12℃，经低温水回水总管9返回热泵机组完成低温水循环；
步骤1.3、采暖热水供水电动阀15和采暖热水供水电动阀19关闭，采暖热水回水电动阀14和采暖热水回水电动阀18关闭，冷却水出水电动阀17和冷却水出水电动阀21开启，冷却水回水电动阀16和冷却水回水电动阀20开启，机组冷凝侧出水温度37℃；
步骤1.4、经冷却水供水干管4循环至冷却塔，通过冷却降温至32℃，经冷却水回水干管5返回热泵机组。
采暖工况包括以下步骤：
步骤2.1、此时热泵机组1和热泵机组2冷却水回水电动阀25和冷却水回水电动阀26关闭，冷却水供水电动阀22关闭；余热水供水电动阀23开启，余热水回水电动阀24开启，机组蒸发侧出水温度12℃；
步骤2.2、经余热水供水总管10为厂房设备提供冷却水，升温至18℃后经余热水回水总管11返回热泵机组；
步骤2.3、热泵机组1和热泵机组2采暖热水供水电动阀15和采暖热水供水电动阀19开启，采暖热水回水电动阀14和采暖热水回水电动阀18开启，此时冷凝器出水温度50℃；
步骤2.4、经采暖热水供水总管7为工厂提供采暖热水，降温至45℃后经采暖热水回水总管6返回热泵机组。
考虑到半导体工厂余热量较大，在一些时间段采暖负荷较小，为了保证冷凝器侧循环效果，冷却水出水电动阀17和冷却水出水电动阀21、冷却水回水电动阀16和冷却水回水电动阀20根据现场负荷需求进行开闭调整。
需要强调的是，本发明所述的实施例是说明性的，而不是限定性的，因此本发明包括并不限于具体实施方式中所述的实施例，凡是由本领域技术人员根据本发明的技术方案得出的其他实施方式，同样属于本发明保护的范围。
Claims (10)
1.一种半导体厂节能改造用集中式冷热源系统，其特征在于：包括热泵机组1、热泵机组2、冷水机组、冷却水回水干管、冷却水供水干管、采暖热水回水总管、采暖热水供水总管、低温水供水总管、低温水回水总管、余热水供水总管、余热水回水总管，其中，热泵机组1和热泵机组2的低温水出口连接在低温水供水总管，冷水机组出水口连接在低温水供水总管，热泵机组1和热泵机组2的低温水入口连接在低温水回水总管上，冷水机组入口连接在低温水回水总管上，热泵机组1和热泵机组2余热水出口连接在余热水供水总管上，热泵机组1和热泵机组2余热水入口连接在余热水回水总管上，热泵机组1和热泵机组2采暖热水出口连接在采暖热水供水总管上，热泵机组1和热泵机组2采暖热水入口连接在采暖热水回水总管上，热泵机组1和热泵机组2冷却水出口连接在冷却水供水干管上，热泵机组1和热泵机组2冷却水入口连接在冷却水回水干管上，冷水机组冷却水出口连接在冷却水供水干管上，冷水机组冷却水入口连接在冷却水回水干管上。
2.根据权利要求1所述的一种半导体厂节能改造用集中式冷热源系统，其特征在于：所述余热水供水电动阀连接在余热水供水总管上，余热水回水电动阀连接在余热水回水总管上，低温水供水电动阀连接在热泵机组1和热泵机组2低温水出口、低温水回水电动阀连接在热泵机组1和热泵机组2低温水入口。
3.根据权利要求1所述的一种半导体厂节能改造用集中式冷热源系统，其特征在于：所述采暖热水供水电动阀连接在热泵机组1和热泵机组2采暖热水出口，采暖热水回水电动阀连接在热泵机组1和热泵机组2采暖水入口，冷却水供水电动阀连接在热泵机组1和热泵机组2的冷却水出口，冷却水回水电动阀连接在热泵机组1和热泵机组2的冷却水入口。
4.根据权利要求1所述的一种半导体厂节能改造用集中式冷热源系统，其特征在于：所述热泵机组蒸发器侧出水根据余热水供水电动阀和低温水供水电动阀切换工况。
5.根据权利要求1所述的一种半导体厂节能改造用集中式冷热源系统，其特征在于：所述热泵机组蒸发器侧回水根据余热水回水电动阀和低温水回水电动阀切换工况。
6.根据权利要求1所述的一种半导体厂节能改造用集中式冷热源系统，其特征在于：所述热泵机组冷凝器侧出水根据采暖热水供水电动阀和冷却水供水电动阀切换工况。
7.根据权利要求1所述的一种半导体厂节能改造用集中式冷热源系统，其特征在于：所述热泵机组冷凝器侧入水根据采暖热水回水电动阀和冷却水回水电动阀切换工况。
8.一种如权利要求1所述的半导体厂节能改造用集中式冷热源系统的方法，其特征在于：包括制冷工况和采暖工况。
9.根据权利要求8所述的一种半导体厂节能改造用集中式冷热源系统的方法，其特征在于：所述制冷工况包括以下步骤：
步骤1.1、余热水供水电动阀和余热水回水电动阀关闭，低温水供水电动阀、低温水回水电动阀开启，机组蒸发侧出水温度6℃；
步骤1.2、经低温水供水总管为厂房提供空调冷冻水，通过工厂循环后升温至12℃，经低温水回水总管返回热泵机组完成低温水循环；
步骤1.3、采暖热水供水电动阀关闭，采暖热水回水电动阀关闭，冷却水出水电动阀开启，冷却水回水电动阀开启，机组冷凝侧出水温度37℃；
步骤1.4、经冷却水供水干管循环至冷却塔，通过冷却降温至32℃，经冷却水回水干管返回热泵机组。
10.根据权利要求8所述的一种半导体厂节能改造用集中式冷热源系统的方法，其特征在于：所述采暖工况包括以下步骤：
步骤2.1、此时热泵机组1和热泵机组2冷却水回水电动阀关闭，冷却水供水电动阀关闭；余热水供水电动阀开启，余热水回水电动阀开启，机组蒸发侧出水温度12℃；
步骤2.2、经余热水供水总管为厂房设备提供冷却水，升温至18℃后经余热水回水总管返回热泵机组；
步骤2.3、热泵机组1和热泵机组2采暖热水供水电动阀开启，采暖热水回水电动阀开启，此时冷凝器出水温度50℃；
步骤2.4、经采暖热水供水总管为工厂提供采暖热水，降温至45℃后经采暖热水回水总管返回热泵机组。
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Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007064546A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Hitachi Eng Co Ltd | 廃熱回収設備 |
| CN109340957A (zh) * | 2018-09-19 | 2019-02-15 | 中信建筑设计研究总院有限公司 | 多冷源、多热源联合供冷、供热的多能互补系统 |
| CN208804908U (zh) * | 2018-07-19 | 2019-04-30 | 中国电力工程顾问集团中南电力设计院有限公司 | 一种利用电厂循环水废热制冷供热系统 |
| CN210399092U (zh) * | 2019-05-28 | 2020-04-24 | 北京瑞特爱机电设备工程有限公司 | 数据中心多级热泵热回收系统 |
| CN111351100A (zh) * | 2020-04-13 | 2020-06-30 | 中国建筑西北设计研究院有限公司 | 一种暖通系统的供冷供暖切换方法 |
| CN214949476U (zh) * | 2021-01-26 | 2021-11-30 | 上海阿尔西空调系统服务有限公司 | 一种数据中心能源综合利用空调系统 |
-
2022
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Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007064546A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Hitachi Eng Co Ltd | 廃熱回収設備 |
| CN208804908U (zh) * | 2018-07-19 | 2019-04-30 | 中国电力工程顾问集团中南电力设计院有限公司 | 一种利用电厂循环水废热制冷供热系统 |
| CN109340957A (zh) * | 2018-09-19 | 2019-02-15 | 中信建筑设计研究总院有限公司 | 多冷源、多热源联合供冷、供热的多能互补系统 |
| CN210399092U (zh) * | 2019-05-28 | 2020-04-24 | 北京瑞特爱机电设备工程有限公司 | 数据中心多级热泵热回收系统 |
| CN111351100A (zh) * | 2020-04-13 | 2020-06-30 | 中国建筑西北设计研究院有限公司 | 一种暖通系统的供冷供暖切换方法 |
| CN214949476U (zh) * | 2021-01-26 | 2021-11-30 | 上海阿尔西空调系统服务有限公司 | 一种数据中心能源综合利用空调系统 |
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