CN115473405A - 导向与驱动复合的单端中心励磁立方形电磁驱动装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及振动计量技术领域，特别是涉及一种导向与驱动复合的单端中心励磁立方形电磁驱动装置，包括电磁驱动部件和运动部件；电磁驱动部件包括呈方桶形的下磁轭、设置于下磁轭上侧的呈回字形的上磁轭、设置于下磁轭上侧的呈立方形的永磁体、设置于永磁体上侧的呈立方形的中心磁轭；下磁轭和上磁轭的内侧与永磁体和中心磁轭围合形成运动腔；上磁轭和中心磁轭之间设置有气隙；运动部件包括位于中心磁轭上侧的工作台面，在工作台面靠近中心磁轭的一侧面设置有线圈骨架，线圈骨架滑动套接于中心磁轭的外侧；线圈骨架的外侧壁缠绕有直流线圈和激励线圈。采用上述方案，降低了运动部件装配难度，减小了运动部件自重，有效提高了电磁驱动装置的装配精度和驱动能力。

Description

导向与驱动复合的单端中心励磁立方形电磁驱动装置

技术领域

本发明属于振动计量技术领域，主要涉及一种导向与驱动复合的单端中心励磁立方形电磁驱动装置。

背景技术

电磁驱动装置是电磁振动台、音圈电机等设备的核心部件，传统上驱动与导向机构分离的电磁驱动装置，装配误差较大，会增大电磁驱动波形的失真度和横向振动比。分离的驱动与导向机构放大了运动部件尺寸，使其质量变大，弱化电磁驱动能力，不利于设备小型化。所以电磁驱动装置的高装配精度与运动部件的轻质量是提高其性能的主要方法。

专利号为CN201510235646.2公开了一种双磁路两端对称励磁的矩形开放磁场式低频振动校准台。提出一种矩形开放磁场式磁路结构，两永磁体磁极相对布置的对称安装在中心磁轭两端，通过磁轭构成两个对称闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的强磁场分布，工作线圈通电后在磁场中受洛伦兹力作用，产生精密可控的电磁驱动力，与气隙相邻的磁轭表面设有深沟槽形式的阵列式微结构，有效抑制涡流损耗，并采用静压气浮导向技术确保运动导向精度。

专利号为CN201811332560.1公开了一种振动台。其通过磁路装置产生磁场，在动圈骨架外围固定空气轴承，减小横向扰动。直流线圈和激励线圈径向缠绕于动圈骨架外周壁，直流线圈位于线性磁场区，通以直流激励使动圈定位于直流电安培力与其重力相等的位置，以抵消重力和确定零位。激励线圈位于匀强磁场区，通以交流激励产生标准振动。

上述技术方案的显著特点是：分离的导向装置与驱动结构，要求装配过程中保证电磁驱动结构与导向装置的轴向平行，装配难度大；导向装置与驱动结构分别在电磁驱动装置的不同位置，加大了运动部件的尺寸和质量，严重制约其电磁驱动能力；并且专利CN201811332560.1将直流线圈置于近似线性磁场区，其非线性会降低振动波形精度。

综上，通过电磁振动校准台的结构及原理创新，提供一种导向与驱动复合的单端中心励磁立方形电磁驱动装置。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的短板，本发明提供一种导向与驱动复合的单端中心励磁立方形电磁驱动装置，有效减小了运动部件装配难度和自重，提高了该类装置的装配精度和驱动能力。

(二)技术方案

为实现上述目的，本申请实施例提供了一种导向与驱动复合的单端中心励磁立方形电磁驱动装置，包括电磁驱动部件和运动部件；所述电磁驱动部件包括呈方桶形的下磁轭、设置于所述下磁轭上侧的呈回字形的上磁轭、设置于所述下磁轭上侧的呈立方形的永磁体、设置于所述永磁体上侧的呈立方形的中心磁轭；所述下磁轭和上磁轭的内侧与所述永磁体和中心磁轭围合形成运动腔；所述上磁轭和所述中心磁轭之间设置有气隙；所述运动部件包括位于所述中心磁轭上侧的工作台面，在所述工作台面靠近所述中心磁轭的一侧面设置有线圈骨架，所述线圈骨架呈回字形，且滑动套接于所述中心磁轭的外侧；所述线圈骨架的外侧壁缠绕有直流线圈和激励线圈，所述直流线圈通入固定大小的直流电，以产生与所述运动部件重力方向相反的安培力；所述激励线圈通入可控的驱动电流，以产生电磁驱动力。

优选的，所述线圈骨架上设置有静压气浮结构，所述静压气浮结构控制所述线圈骨架和所述中心磁轭之间形成静压气膜。

优选的，所述静压气浮结构包括开设于所述线圈骨架内的气路，所述气路包括开设于线圈骨架壁两两交界处的四条垂向气路和沿四个线圈骨架壁开设的横向气路，它们互相连通；所述出气孔连通所述气路，且所述出气孔均匀分布于所述线圈骨架内表面；所述线圈骨架远离所述中心磁轭的外表面开设有进气孔，所述进气孔连接所述气路，所述进气孔连接供气源。

优选的，所述下磁轭、上磁轭、永磁体和中心磁轭的中轴线在一条直线上；所述永磁体位于所述下磁轭的中心位置。

优选的，所述上磁轭上开设有磁轭固定孔；所述上磁轭的下侧面可拆卸连接所述下磁轭；所述运动腔内设置有对所述永磁体和中心磁轭进行固定的安装架；所述安装架呈回字形，且于所述安装架上开设有呈回字形的安装台和第一安装孔，所述安装架上且位于所述安装台的侧面开设有第二安装孔；所述安装台的内侧壁下端抵接所述永磁体，所述安装台的内侧壁上端抵接所述中心磁轭，所述安装架的下侧面可拆卸连接所述下磁轭，所述安装架的内侧面上端可拆卸连接所述中心磁轭；所述安装架覆盖所述永磁体。

优选的，所述线圈骨架和所述中心磁轭之间设置有滑动导轨或滚动导轨。

优选的，所述永磁体包括一块永磁体或相互粘接的多块永磁体。

优选的，所述直流线圈和激励线圈位于气隙内，且位于磁场分布均匀区域内；所述直流线圈与所述激励线圈可相互连接。

优选的，所述固定大小的直流电由以下公式计算：I_DC＝mg/(BL)；公式中，I_DC为直流线圈所通入直流电的大小，m为运动部件及工作台面上固定的相关组件的总质量，g为重力加速度，B为气隙内分布的平均磁感应强度，L为直流线圈的长度。

(三)有益效果

本发明提供了一种导向与驱动复合的单端中心励磁立方形电磁驱动装置，通过设置的下磁轭、上磁轭、永磁体、中心磁轭和安装架，可以实现下磁轭、上磁轭、永磁体、中心磁轭的快速同轴线安装，同时静压气浮结构与中心磁轭的一体化设计，最大程度地降低了运动部件装配难度，减小了运动部件自重，可有效提高电磁驱动装置的装配精度和驱动能力；此外，直流线圈位于磁场分布均匀区域，避免了引入干扰。

具体有益效果如下：

(1)本发明采用的永磁体单端中心励磁的磁路结构可在气隙中产生分布更加均匀的磁感应强度，且气隙边缘效应影响小，适合对运动精度要求高的场合。由于永磁体在磁路结构内部，在工作台面产生的漏磁通小，对台面安装的传感器影响较小。使用轴向充磁的立方形永磁体，便于制造，生产成本低。立方形磁轭加工制造难度低，有利于提高加工精度，并降低生产成本。

(2)本发明提出的线圈骨架呈回字形，构成导向轴的中心磁轭呈立方形，通气后线圈骨架四个内表面和相应的中心磁轭侧面间均会产生静压气膜，即在四个方向都具有约束力，能够在极大程度上减小横向振动。

(3)本发明在线圈骨架内开设的通道式气路，相比腔式气室加工更加简便，通常线圈骨架壁厚度较小，通过打孔的方式开设通道式气路较容易实现。

(4)本发明通过把中心磁轭加工成导向轴、把线圈骨架制作为滑动机构，实现了导向与驱动一体化的高装配精度设计，提高了电磁驱动装置的运动精度。运动部件作为滑动机构套装在中心磁轭上，通过静压气浮结构、滑动导轨结构或滚动导轨结构，使导向与驱动一体，保证了运动部件与电磁驱动结构的轴向完全平行，获得了高装配精度，可有效减小电磁驱动装置的横向振动比和波形失真度。

(5)本发明实现了电磁驱动装置运动部件的轻质量，可增强其负载能力。导向与驱动一体化的电磁驱动装置，结构更加紧凑，装置更加小型，有利于设备的安装运输。小运动部件尺寸，可在结构上实现运动部件的轻质量，有效提高电磁驱动装置的负载能力。

(6)本发明可避免直流线圈在气隙的近似线性区受非线性电磁力，从而加大振动谐波失真的问题。直流线圈置于气隙磁场分布均匀区域，通以固定大小的直流电使直流线圈受与运动部件重力相等的安培力，避免直流线圈因非线性电磁力给振动带来谐波干扰。

附图说明

图1为导向与驱动复合的单端中心励磁立方形电磁驱动装置的结构示意图；

图2为导向与驱动复合的单端中心励磁立方形电磁驱动装置的剖视图；

图3为导向与驱动复合的单端中心励磁立方形电磁驱动装置中突出安装架的剖视图；

图4为导向与驱动复合的单端中心励磁立方形电磁驱动装置中突出安装架的示意图；

图5为导向与驱动复合的单端中心励磁立方形电磁驱动装置中磁极分布方式和磁路示意图；

图6为导向与驱动复合的单端中心励磁立方形电磁驱动装置中突出运动部件的剖视图；

图7为导向与驱动复合的单端中心励磁立方形电磁驱动装置中突出静压气浮结构的示意图；

图8为导向与驱动复合的单端中心励磁立方形电磁驱动装置中突出进气孔位置的示意图。

附图中标记：

100、电磁驱动部件；110、下磁轭；120、永磁体；130、上磁轭；130a、磁轭固定孔；140、运动腔；150、中心磁轭；160、气隙；170、安装架；170a、安装台；170b、第一安装孔；170c、第二安装孔；

200、运动部件；210、工作台面；220、线圈骨架；230、直流线圈；240、激励线圈；250、静压气浮结构；251、气路；252、出气孔；253、进气孔。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例

本发明提供了一种导向与驱动复合的单端中心励磁立方形电磁驱动装置，参见图1-图8，包括电磁驱动部件100和运动部件200。

电磁驱动部件100包括呈方桶形的下磁轭110、设置于下磁轭110上侧的呈回字形的上磁轭130、设置于下磁轭110上侧的呈立方形的永磁体120、设置于永磁体120上侧的呈立方形的中心磁轭150；下磁轭110和上磁轭130的内侧与永磁体120和中心磁轭150围合形成运动腔140；上磁轭130和中心磁轭150之间设置有气隙160。本实施例中，气隙160的宽度为10mm，其中形成了高均匀度的磁感应强度分布。

进一步的，下磁轭110、上磁轭130、永磁体120和中心磁轭150同轴心设置。下磁轭110、上磁轭130、永磁体120和中心磁轭150同中轴线设置，永磁体120设置于下磁轭110的中心位置。

上磁轭130上开设有磁轭固定孔130a；上磁轭130的下侧面可拆卸连接下磁轭110；在安装时，可以通过螺栓穿过磁轭安装孔130a与下磁轭110连接固定。

运动腔140内设置有对永磁体120和中心磁轭150进行固定的安装架170；安装架170呈回字形，且于安装架170上开设有呈回字形的安装台170a和第一安装孔170b，安装架170上且位于安装台170a的侧面开设有第二安装孔170c；在安装时，安装架170可以通过螺栓穿过第一安装孔170b与下磁轭110连接固定，同时可以通过螺栓穿过第二安装孔170c与中心磁轭150连接固定。安装台170a的内侧壁下端抵接永磁体120，安装台170a的内侧壁上端抵接中心磁轭150，安装架170的下侧面可拆卸连接下磁轭110，安装架170的内侧面上端可拆卸连接中心磁轭150；安装架170覆盖永磁体120。通过设置的安装架170，可以对永磁体120和中心磁轭150的位置进行固定。

需要说明的是，本实施例中，安装架170采用不导磁材料，如铝合金制成。

永磁体120包括一块永磁体120或相互粘接的多块永磁体120。

具体的，永磁体120可以选择材料为NdFeB的强磁永磁体，所使用的NdFeB材料的剩磁强度为1.17T，矫顽力为890kA/m。下磁轭110、中心磁轭150、上磁轭130均采用高磁导率电工纯铁材料DT4C制成，最大相对磁导率可达到12000，饱和磁通量为2.5T。

永磁体120励磁形成主磁路的磁力线所经过的路径如图5所示，其从永磁体120的N极出发，依次经过下磁轭110、上磁轭130、气隙160、中心磁轭150，然后回到永磁体120的S极形成闭合磁路。

运动部件200的材料为陶瓷或铝合金或铍。运动部件200具体包括位于中心磁轭150上侧的工作台面210，在工作台面210靠近中心磁轭150的一侧面设置有线圈骨架220，线圈骨架220呈回字形，且滑动套接于中心磁轭150的外侧；线圈骨架220的外侧壁缠绕有直流线圈230和激励线圈240，直流线圈230通入固定大小的直流电，以产生与运动部件200重力方向相反的安培力；激励线圈240通入可控的驱动电流，以产生电磁驱动力。

运动部件200采用铝合金制成，整体呈方桶形。

直流线圈230和激励线圈240采用绝缘铜漆包线在线圈骨架220外表面缠绕形成，截面是口字形，厚度为3mm，所通最大电流密度为5A/mm²。电磁振动台磁路结构装配完成后，直流线圈230、激励线圈240和线圈骨架220位于气隙160中。

固定大小的直流电由以下公式计算：I_DC＝mg/(BL)。公式中，I_DC为直流线圈230所通入直流电的大小，m为运动部件200及工作台面210上固定的相关组件的总质量，g为重力加速度，B为气隙160内分布的平均磁感应强度，L为直流线圈230的长度。

直流线圈230和激励线圈240位于气隙160内，且位于磁场分布均匀区域内；当直流线圈230不需要抵消运动部件200的重力时，可将直流线圈230与激励线圈240相互连接，通入驱动电流实现大电磁驱动力。

激励线圈240通入控制信号经功率放大器放大后，有效值最高达几十安培的功率电流，根据电磁场理论，磁场中通电的激励线圈240受到垂直方向安培力作用，从而输出精密可控的电磁驱动力。通过控制所通电流的大小和方向可以精密控制电磁驱动力的大小和方向。控制信号如果采用标准正弦电信号，运动部件200将在电磁驱动力的作用下沿轴向产生标准正弦振动。

在一种实施例中，线圈骨架220上设置有静压气浮结构250，静压气浮结构250控制线圈骨架220和中心磁轭150之间形成静压气膜。该静压气浮结构250用于产生垂向标准振动，在本实施例中，最大行程为10mm。

静压气浮结构250包括开设于线圈骨架220内的气路251，所述气路251包括开设于线圈骨架220壁两两交界处的四条垂向气路251和沿四个线圈骨架220壁开设的横向气路251，它们互相连通。线圈骨架220靠近中心磁轭150的一侧面开设有出气孔252，出气孔252连通气路251，且出气孔252均匀分布于线圈骨架220内表面。线圈骨架220远离中心磁轭150的外表面开设有进气孔253，进气孔253连接气路251，进气孔253连接供气源。具体的，气孔的直径可以为2mm。

本实施例中，线圈骨架220的下截面为回字形，边长为80mm。本静压气浮结构250通过线圈骨架220套装在中心磁轭150上，实现了静压气浮导轨与电磁驱动结构的轴向完全平行，保证装配精度；装配过程中线圈骨架220的内侧表面与中心磁轭150的尺寸配合，能够很方便地完成线圈骨架220与中心磁轭150的套装，且装配具有高可靠性。

在另一种实施例中，线圈骨架220和中心磁轭150之间还可以设置滑动导轨或滚动导轨。

本发明提供了一种导向与驱动复合的单端中心励磁立方形电磁驱动装置，通过设置的下磁轭110、上磁轭130、永磁体120、中心磁轭150和安装架170，可以实现下磁轭110、上磁轭130、永磁体120、中心磁轭150的快速同轴安装，同时通过设置的静压气浮结构250与中心磁轭150一体化设计的方案，最大程度地降低了运动部件200装配难度，减小了运动部件200自重，可有效提高电磁驱动装置的装配精度和驱动能力；此外，直流线圈230位于磁场分布均匀区域，避免了引入干扰。

具体有益效果如下：

(1)本发明采用的永磁体单端中心励磁的磁路结构可在气隙160中产生分布更加均匀的磁感应强度，且气隙160边缘效应影响小，适合对运动精度要求高的场合。由于永磁体120在磁路结构内部，在工作台面210产生的漏磁通小，对台面安装的传感器影响较小。使用轴向充磁的立方形永磁体120，便于制造，生产成本低。立方形磁轭加工制造难度低，有利于提高加工精度，并降低生产成本。

(2)本发明提出的线圈骨架220呈回字形，构成导向轴的中心磁轭150呈立方形，通气后线圈骨架220四个内表面和相应的中心磁轭150侧面间均会产生静压气膜，即在四个方向都具有约束力，能够在极大程度上减小横向振动。

(3)本发明在线圈骨架220内开设的通道式气路251，相比腔式气室加工更加简便，通常线圈骨架220壁厚度较小，通过打孔的方式开设通道式气路251较容易实现。

(4)本发明通过把中心磁轭150加工成导向轴、把线圈骨架220制作为滑动机构，实现了导向与驱动一体化的高装配精度设计，提高了电磁驱动装置的运动精度。运动部件200作为滑动机构套装在中心磁轭150上，通过静压气浮结构、滑动导轨结构或滚动导轨结构，使导向与驱动一体，保证了运动部件200与电磁驱动结构的轴向完全平行，获得了高装配精度，可有效减小电磁驱动装置的横向振动比和波形失真度。

(5)本发明实现了电磁驱动装置运动部件的轻质量，可增强其负载能力。导向与驱动一体化的电磁驱动装置，结构更加紧凑，装置更加小型，有利于设备的安装运输。小运动部件200尺寸，可在结构上实现运动部件200的轻质量，有效提高电磁驱动装置的负载能力。

(6)本发明可避免直流线圈230在气隙160的近似线性区受非线性电磁力，从而加大振动谐波失真的问题。直流线圈230置于气隙160磁场分布均匀区域，通以固定大小的直流电使直流线圈230受与运动部件200重力相等的安培力，避免直流线圈230因非线性电磁力给振动带来谐波干扰。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接、可以是机械连接，也可以是电连接、可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

以上所述实施例仅表达了本发明的实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (9)

1.一种导向与驱动复合的单端中心励磁立方形电磁驱动装置，其特征在于：包括电磁驱动部件(100)和运动部件(200)；

所述电磁驱动部件(100)包括呈方桶形的下磁轭(110)、设置于所述下磁轭(110)上侧的呈回字形的上磁轭(130)、设置于所述下磁轭(110)上侧的呈立方形的永磁体(120)、设置于所述永磁体(120)上侧的呈立方形的中心磁轭(150)；所述下磁轭(110)和上磁轭(130)的内侧与所述永磁体(120)和中心磁轭(150)围合形成运动腔(140)；所述上磁轭(130)和所述中心磁轭(150)之间设置有气隙(160)；

所述运动部件(200)包括位于所述中心磁轭(150)上侧的工作台面(210)，在所述工作台面(210)靠近所述中心磁轭(150)的一侧面设置有线圈骨架(220)，所述线圈骨架(220)呈回字形，且滑动套接于所述中心磁轭(150)的外侧；所述线圈骨架(220)的外侧壁缠绕有直流线圈(230)和激励线圈(240)，所述直流线圈(230)通入固定大小的直流电，以产生与所述运动部件(200)重力方向相反的安培力；所述激励线圈(240)通入可控的驱动电流，以产生电磁驱动力。

2.根据权利要求1所述的导向与驱动复合的单端中心励磁立方形电磁驱动装置，其特征在于：所述线圈骨架(220)上设置有静压气浮结构(250)，所述静压气浮结构(250)控制所述线圈骨架(220)和所述中心磁轭(150)之间形成静压气膜。

3.根据权利要求2所述的导向与驱动复合的单端中心励磁立方形电磁驱动装置，其特征在于：所述静压气浮结构(250)包括开设于所述线圈骨架(220)内的气路(251)，所述气路(251)包括开设于线圈骨架(220)壁两两交界处的四条垂向气路(251)和沿四个线圈骨架(220)壁开设的横向气路(251)，它们互相连通；所述线圈骨架(220)靠近所述中心磁轭(150)的一侧面开设有出气孔(252)，所述出气孔(252)连通所述气路(251)，且所述出气孔(252)均匀分布于所述线圈骨架(220)内表面；

所述线圈骨架(220)远离所述中心磁轭(150)的外表面开设有进气孔(253)，所述进气孔(253)连接所述气路(251)，所述进气孔(253)连接供气源。

4.根据权利要求1所述的导向与驱动复合的单端中心励磁立方形电磁驱动装置，其特征在于：所述下磁轭(110)、上磁轭(130)、永磁体(120)和中心磁轭(150)的中轴线在一条直线上；所述永磁体(120)位于所述下磁轭(110)的中心位置。

5.根据权利要求4所述的导向与驱动复合的单端中心励磁立方形电磁驱动装置，其特征在于：所述上磁轭(130)上开设有磁轭固定孔(130a)；所述上磁轭(130)的下侧面可拆卸连接所述下磁轭(110)；

所述运动腔(140)内设置有对所述永磁体(120)和中心磁轭(150)进行固定的安装架(170)；所述安装架(170)呈回字形，且于所述安装架(170)上开设有呈回字形的安装台(170a)和第一安装孔(170b)，所述安装架(170)上且位于所述安装台(170a)的侧面开设有第二安装孔(170c)；所述安装台(170a)的内侧壁下端抵接所述永磁体(120)，所述安装台(170a)的内侧壁上端抵接所述中心磁轭(150)，所述安装架(170)的下侧面可拆卸连接所述下磁轭(110)，所述安装架(170)的内侧面上端可拆卸连接所述中心磁轭(150)；所述安装架(170)覆盖所述永磁体(120)。

6.根据权利要求1所述的导向与驱动复合的单端中心励磁立方形电磁驱动装置，其特征在于：所述线圈骨架(220)和所述中心磁轭(150)之间设置有滑动导轨或滚动导轨。

7.根据权利要求1所述的导向与驱动复合的单端中心励磁立方形电磁驱动装置，其特征在于：所述永磁体(120)包括一块永磁体(120)或相互粘接的多块永磁体(120)。

8.根据权利要求1所述的导向与驱动复合的单端中心励磁立方形电磁驱动装置，其特征在于：所述直流线圈(230)和激励线圈(240)位于气隙(160)内，且位于磁场分布均匀区域内；

所述直流线圈(230)与所述激励线圈(240)可相互连接。

9.根据权利要求1所述的导向与驱动复合的单端中心励磁立方形电磁驱动装置，其特征在于：所述固定大小的直流电由以下公式计算：I_DC＝mg/(BL)；公式中，I_DC为直流线圈(230)所通入直流电的大小，m为运动部件(200)及工作台面(210)上固定的相关组件的总质量，g为重力加速度，B为气隙(160)内分布的平均磁感应强度，L为直流线圈(230)的长度。

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