CN115420862B - 一种用于剥离液生产的原料多点取样抽检设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于剥离液生产的原料多点取样抽检设备，包括混料装置、双检装置、导流装置和注料管，混料装置和双检装置连接，双检装置和导流装置电连接，导流装置和混料装置连接，注料管设置有多个，注料管一端和混料装置紧固连接，混料装置包括混料仓，混料仓上设有若干进料道，注料管一端和进料道管道连通，进料道一侧设有分流道，若干分流道下端收束成混料道，混料仓上设有抽检腔，混料道和抽检腔间歇连通，通过双检装置对原料进行检测，并对剥离液的剥离性能进行检测，通过导流装置进行液体导流，将待检测的原料送入抽检腔内进行间歇式抽检，注料管和注料泵连接，通过注料泵对原料液进行增压，提高原料液输送效率。

Description

一种用于剥离液生产的原料多点取样抽检设备

技术领域

本发明涉及剥离液取样抽检技术领域，具体为一种用于剥离液生产的原料多点取样抽检设备。

背景技术

近年来，随着自动化行业和电子电工行业的不断发展，在集成电路制造和半导体封装过程中，工艺要求逐渐提高，在相应设备的生产环节，需要使用光刻胶，又称光致抗蚀剂，经过特定的光线照射后，在曝光区可以快速地进行光固化，改善物理性能，最后需要将多余的光刻胶通过剥离液去除。

剥离液一般由有机胺化物、极性有机溶剂和水组成，在注液过程中，虽然可以将多种组分通过单一的增压装置进行泵液，但是容易造成管道内的原料液残留，影响配液精度，从而降低最终剥离液的剥离效果。现有的水性剥离液大多存在腐蚀金属配线、光刻胶残留等剥离效果差等问题，因此，当含水率过高时，容易造成金属腐蚀，产生不良品，含水率过低时，容易增大企业成本，影响配液效率。

此外，现有的配液抽检设备只能进行最终的剥离性能测试，在测试过程中需要停机检测，无法进行实时检测，当配液不均匀时，容易影响检测精度，增大了抽检的难度，且无法对原料进料进行监测。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于剥离液生产的原料多点取样抽检设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：

一种用于剥离液生产的原料多点取样抽检设备，包括混料装置、双检装置、导流装置和注料管，混料装置和双检装置连接，双检装置和导流装置电连接，导流装置和混料装置连接，注料管设置有多个，注料管一端和混料装置紧固连接，混料装置包括混料仓，混料仓上设有若干进料道，注料管一端和进料道管道连通，进料道一侧设有分流道，若干分流道下端收束成混料道，混料仓上设有抽检腔，混料道和抽检腔间歇连通。

通过混料装置对剥离液的原料进行混料，剥离液的原料一般为有机胺化物、极性有机溶剂和水，通过注料管进行分类注料，避免同管注料时造成管内残料影响注料精度，通过双检装置对原料进行检测，并对剥离液的剥离性能进行检测，通过导流装置进行液体导流，将待检测的原料送入抽检腔内进行间歇式抽检，注料管和注料泵连接，通过注料泵对原料液进行增压，提高原料液输送效率。

进一步的，混料仓上设有搅拌腔，若干进料道远离注料管一端和搅拌腔连通，混料装置还包括搅拌轴，搅拌轴和混料仓转动连接，搅拌轴外圈设有若干扰流板，扰流板上设有扰流面，扰流板包括两个横板和一个竖板，横板和竖板为半管型，横板上侧为扰流面，横板下侧为平面，竖板外侧为平面，竖板内侧为扰流面，扰流面弧形设置；

导流装置包括抽检泵，抽检泵进口设置三通阀，三通阀的第一进口和混料道末端连通，搅拌腔通过导流道和抽检腔连通，三通阀的第二进口通过导流道和搅拌腔连通，双检装置包括试验组件、光检组件、载板和电源，试验组件和光检组件置于抽检腔内，试验组件包括试验板，试验板上设有若干分检腔，抽检泵出口朝向分检腔，分检腔底侧设有金属涂层，金属涂层向上延伸设有光刻胶，分检腔壁面设有拦板，拦板表面设有吸光层，光检组件包括光源和基板，基板和光源置于载板上，载板和抽检腔滑动连接，基板向下延伸设有光敏层，光敏层中插接两个导电板，两个导电板和电源通过电线构成回路；

检测时：光源朝向分检腔底端，光源的折射光路落在光敏层上。

搅拌腔内置搅拌轴，通过驱动电机对搅拌轴进行驱动，搅拌轴转动过程中带动扰流板转动，扰流板转动过程中对各种原料液进行混合，提高混合效率，通过混合形成剥离液，通过扰流板上的扰流面进行液体导流，当扰流板随着搅拌轴转动时，横板上侧为扰流面，为半管的弧形面，下侧为平面，当原料液沿着扰流面和下侧的平面流动时，扰流面上侧的流动行程比下侧平面的流动行程长，转动过程中，使扰流面上的液体流动速度比下层的流速快，使扰流板上侧相对于下层呈低压状态，在压差作用下，使下层的原料液向上层流动，竖板的内层为扰流面，使内层的流速比外层的流速快，在压差作用下，使外层的原料液向内层流动，进行内外置换循环，便于进行抽检；通过抽检泵提供负压，从而进行抽检，抽检泵的进口设置三通阀，三通阀包括两个进口和一个出口，两个进口分别为第一进口和第二进口，出口和抽检泵的进口连通，通过三通阀进行流路切换，在进行原料液进行的时候，抽检泵通过第一进口和混料道末端检测，将定量配比的各组分原料液送入混料道混合形成剥离液，再送入抽检腔内进行检测，通过管道导流，注入分检腔内，通过剥离液对分检腔内的光刻胶进行剥离，剥离完成后，通过管道将分检腔内的废液抽出，光源朝向分检腔底部出射平行光线，分检腔底部的金属涂层为光面，反光效果良好，当剥离液的剥离性能良好时，光刻胶从金属涂层表面完全剥离，平行光线照射在金属涂层上后被反射，沿光路传播并照射在光敏层上，此时光损最小，照射在光敏层的光强最大，激发的电子-空穴对增多，光检电路上的电流最大；当剥离液的剥离性能不足以满足将光刻胶完全剥离时，通过光刻胶对光线进行折射和反射，部分光线照射在侧边的拦板上，拦板上设置吸光层，对照射在拦板上的光线进行吸收，增大了沿程光损，光检电路上电流降低，从而对原料多点取样混合得到的剥离液进行检测；当含水率过高时，使剥离液中氢氧化铵等碱的离子化程度增大，进入分检腔后，对光刻胶完成剥离后，会对金属涂层造成腐蚀，使金属涂层不再保持光面，使反射到光敏层的光线大大降低，光检电路呈现超低电流状态，此时剥离液性能不达标，载板一端设置气泵或者电泵，通过驱动带动载板沿抽检腔滑动，便于将待检测液体导入不同的分检腔内，进行连续性抽检。

进一步的，双检装置还包括水检组件，水检组件沿导流道壁面设置，水检组件包括正极板和负极板，正极板和负极板分别置于导流道两侧壁面，正极板和负极板相向布置，正极板和负极板分别和电源的电极端电连接。

当通过搅拌轴和扰流板对原料液混合完成后，三通阀的第二进口通过导流道和搅拌腔连通，通过管道插入搅拌腔内，将剥离液送入抽检腔内进行抽检，当剥离液流经导流道时，从正极板和负极板之间流过，剥离液中游离的粒子将水检电路导通，含水率越高则电路中导通的电流值越大，将电流值和额定电流值对比，从而对含水率进行实时监测，防止含水率不达标影响剥离效果。

进一步的，导流装置还包括调节电缸，水流所在的进料道上侧设有截流槽，调节电缸置于截流槽内，调节电缸输出端设有截流板，截流板插接在进料道内，截流板倾斜布置，截流板靠近搅拌腔一端为高位端，截流槽靠近截流板低位端一侧设有循环流道，循环流道进口设置阻流块。

通过阻流块使循环流道进口呈阶梯型设置，当剥离液中含水率过大时，通过调节电缸驱动截流板下行，使水流所在进料道局部的过流面积降低，并通过截流板引流，通过倾斜布置，使多余的水流通过截流板引流，在惯性作用下，沿截流板流经截流槽，进入循环流道内，便于进行水体循环。

进一步的，两个导电板和电源构成光检电路，正极板、负极板和电源构成水检电路，调节电缸分别与光检电路和水检电路电连。

通过光检电路和水检电路对剥离液的含水率和剥离性能同时进行检测，提高检测精度，确保生产的剥离液为合格品。

进一步的，导流装置还包括若干转板，转板和分流道进口转动连接，转板轴端设置扭簧，转板转动轴线靠近进料道进口，若干转板和进料道摩擦面的粗糙度根据进料道内相应配额的介质设置。

通过计算得知在相同负压条件下，转板的转动停止角度，从进料道内进入分流道内的介质以配成剥离液进行比例进入，使瞬时间进入分流道的各介质可以按比例配成剥离液，便于进行多点抽样检测。

作为优化，进料道出口位于搅拌腔下层。进料道出口置于搅拌腔下层，便于扰流板将各原料液向上翻动，提供混料效率。

作为优化，导流道进口端通过导管插入搅拌腔上层。扰流板在对原料液进行搅拌混合的同时，将混合液向上翻动，使上层的混合液混合度更高，提高检测精度。

作为优化，导流装置还包括负压吸管，负压吸管和分检腔间歇连通。当完成检测后，通过负压吸管将剥离液废液从分检腔内吸走，便于对剥离效果进行检测。

与现有技术相比，本发明所达到的有益效果是：本发明横板上侧为扰流面，使下层的原料液向上层流动，竖板的内层为扰流面，使外层的原料液向内层流动，进行内外置换循环，便于进行抽检；通过剥离液对分检腔内的光刻胶进行剥离，光源朝向分检腔底部出射平行光线，分检腔底部的金属涂层为光面，反光效果良好，当剥离液的剥离性能良好时，光刻胶从金属涂层表面完全剥离，平行光线照射在金属涂层上后被反射，沿光路传播并照射在光敏层上，此时光损最小，照射在光敏层的光强最大，激发的电子-空穴对增多，光检电路上的电流最大；当剥离液的剥离性能不足以满足将光刻胶完全剥离时，部分光线照射在侧边的拦板上增大了沿程光损，光检电路上电流降低，从而对原料多点取样混合得到的剥离液进行检测；当含水率过高时，对光刻胶完成剥离后，会对金属涂层造成腐蚀，使金属涂层不再保持光面，使反射到光敏层的光线大大降低，光检电路呈现超低电流状态，此时剥离液性能不达标；当剥离液流经导流道时，从正极板和负极板之间流过，剥离液中游离的粒子将水检电路导通，含水率越高则电路中导通的电流值越大，将电流值和额定电流值对比，从而对含水率进行实时监测，防止含水率不达标影响剥离效果；当剥离液中含水率过大时，通过调节电缸驱动截流板下行，使水流所在进料道局部的过流面积降低。

附图说明

附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1是本发明的总体结构示意图；

图2是本发明的混料仓内部结构示意图；

图3是本发明的扰流板结构示意图；

图4是本发明的双检装置、导流装置结构示意图；

图5是图4视图的局部A放大视图；

图6是图5视图的局部B放大视图；

图7是图4视图的局部C放大视图；

图中：1-混料装置、11-混料仓、111-进料道、112-搅拌腔、113-导流道、114-抽检腔、115-截流槽、116-循环流道、117-分流道、12-搅拌轴、13-扰流板、131-扰流面、2-双检装置、21-试验组件、211-试验板、2111-分检腔、212-光刻胶、213-拦板、22-光检组件、221-光源、222-基板、223-光敏层、224-导电板、23-水检组件、231-正极板、232-负极板、24-载板、25-电源、3-导流装置、31-抽检泵、32-截流板、33-调节电缸、34-阻流块、35-负压吸管、36-转板、4-注料管。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明提供技术方案：

如图1~图2所示，一种用于剥离液生产的原料多点取样抽检设备，包括混料装置1、双检装置2、导流装置3和注料管4，混料装置1和双检装置2连接，双检装置2和导流装置3电连接，导流装置3和混料装置1连接，注料管4设置有多个，注料管4一端和混料装置1紧固连接，混料装置1包括混料仓11，混料仓11上设有若干进料道111，注料管4一端和进料道111管道连通，进料道111一侧设有分流道117，若干分流道117下端收束成混料道，混料仓11上设有抽检腔114，混料道和抽检腔114间歇连通。

通过混料装置对剥离液的原料进行混料，剥离液的原料一般为有机胺化物、极性有机溶剂和水，通过注料管4进行分类注料，避免同管注料时造成管内残料影响注料精度，通过双检装置2对原料进行检测，并对剥离液的剥离性能进行检测，通过导流装置3进行液体导流，将待检测的原料送入抽检腔114内进行间歇式抽检，注料管4和注料泵连接，通过注料泵对原料液进行增压，提高原料液输送效率。

如图2~图6所示，混料仓11上设有搅拌腔112，若干进料道111远离注料管4一端和搅拌腔112连通，混料装置1还包括搅拌轴12，搅拌轴12和混料仓11转动连接，搅拌轴12外圈设有若干扰流板13，扰流板13上设有扰流面131，扰流板13包括两个横板和一个竖板，横板和竖板为半管型，横板上侧为扰流面131，横板下侧为平面，竖板外侧为平面，竖板内侧为扰流面131，扰流面131弧形设置；

导流装置3包括抽检泵31，抽检泵31进口设置三通阀，三通阀的第一进口和混料道末端连通，搅拌腔112通过导流道113和抽检腔114连通，三通阀的第二进口通过导流道113和搅拌腔112连通，双检装置2包括试验组件21、光检组件22、载板24和电源25，试验组件21和光检组件22置于抽检腔114内，试验组件21包括试验板211，试验板211上设有若干分检腔2111，抽检泵31出口朝向分检腔2111，分检腔2111底侧设有金属涂层，金属涂层向上延伸设有光刻胶212，分检腔2111壁面设有拦板213，拦板213表面设有吸光层，光检组件22包括光源221和基板222，基板222和光源221置于载板24上，载板24和抽检腔114滑动连接，基板222向下延伸设有光敏层223，光敏层223中插接两个导电板224，两个导电板224和电源25通过电线构成回路；

检测时：光源221朝向分检腔2111底端，光源221的折射光路落在光敏层223上。

搅拌腔112内置搅拌轴12，通过驱动电机对搅拌轴12进行驱动，搅拌轴12转动过程中带动扰流板13转动，扰流板13转动过程中对各种原料液进行混合，提高混合效率，通过混合形成剥离液，通过扰流板13上的扰流面131进行液体导流，当扰流板13随着搅拌轴12转动时，横板上侧为扰流面131，为半管的弧形面，下侧为平面，当原料液沿着扰流面131和下侧的平面流动时，扰流面131上侧的流动行程比下侧平面的流动行程长，转动过程中，使扰流面131上的液体流动速度比下层的流速快，使扰流板13上侧相对于下层呈低压状态，在压差作用下，使下层的原料液向上层流动，竖板的内层为扰流面131，使内层的流速比外层的流速快，在压差作用下，使外层的原料液向内层流动，进行内外置换循环，便于进行抽检；通过抽检泵31提供负压，从而进行抽检，抽检泵31的进口设置三通阀，三通阀包括两个进口和一个出口，两个进口分别为第一进口和第二进口，出口和抽检泵31的进口连通，通过三通阀进行流路切换，在进行原料液进行的时候，抽检泵31通过第一进口和混料道末端检测，将定量配比的各组分原料液送入混料道混合形成剥离液，再送入抽检腔114内进行检测，通过管道导流，注入分检腔2111内，通过剥离液对分检腔2111内的光刻胶212进行剥离，剥离完成后，通过管道将分检腔2111内的废液抽出，光源221朝向分检腔2111底部出射平行光线，分检腔2111底部的金属涂层为光面，反光效果良好，当剥离液的剥离性能良好时，光刻胶212从金属涂层表面完全剥离，平行光线照射在金属涂层上后被反射，沿光路传播并照射在光敏层223上，此时光损最小，照射在光敏层223的光强最大，激发的电子-空穴对增多，光检电路上的电流最大；当剥离液的剥离性能不足以满足将光刻胶212完全剥离时，通过光刻胶212对光线进行折射和反射，部分光线照射在侧边的拦板213上，拦板213上设置吸光层，对照射在拦板213上的光线进行吸收，增大了沿程光损，光检电路上电流降低，从而对原料多点取样混合得到的剥离液进行检测；当含水率过高时，使剥离液中氢氧化铵等碱的离子化程度增大，进入分检腔2111后，对光刻胶212完成剥离后，会对金属涂层造成腐蚀，使金属涂层不再保持光面，使反射到光敏层223的光线大大降低，光检电路呈现超低电流状态，此时剥离液性能不达标，载板24一端设置气泵或者电泵，通过驱动带动载板24沿抽检腔114滑动，便于将待检测液体导入不同的分检腔2111内，进行连续性抽检。

如图5所示，双检装置2还包括水检组件23，水检组件23沿导流道113壁面设置，水检组件23包括正极板231和负极板232，正极板231和负极板232分别置于导流道113两侧壁面，正极板231和负极板232相向布置，正极板231和负极板232分别和电源25的电极端电连接。

当通过搅拌轴12和扰流板13对原料液混合完成后，三通阀的第二进口通过导流道113和搅拌腔112连通，通过管道插入搅拌腔112内，将剥离液送入抽检腔114内进行抽检，当剥离液流经导流道113时，从正极板231和负极板232之间流过，剥离液中游离的粒子将水检电路导通，含水率越高则电路中导通的电流值越大，将电流值和额定电流值对比，从而对含水率进行实时监测，防止含水率不达标影响剥离效果。

如图4、图7所示，导流装置3还包括调节电缸33，水流所在的进料道111上侧设有截流槽115，调节电缸33置于截流槽115内，调节电缸33输出端设有截流板32，截流板32插接在进料道111内，截流板32倾斜布置，截流板32靠近搅拌腔112一端为高位端，截流槽115靠近截流板32低位端一侧设有循环流道116，循环流道116进口设置阻流块34。

通过阻流块34使循环流道116进口呈阶梯型设置，当剥离液中含水率过大时，通过调节电缸33驱动截流板32下行，使水流所在进料道111局部的过流面积降低，并通过截流板32引流，通过倾斜布置，使多余的水流通过截流板32引流，在惯性作用下，沿截流板32流经截流槽115，进入循环流道116内，便于进行水体循环。

如图4~图5所示，两个导电板224和电源25构成光检电路，正极板231、负极板232和电源25构成水检电路，调节电缸33分别与光检电路和水检电路电连。

通过光检电路和水检电路对剥离液的含水率和剥离性能同时进行检测，提高检测精度，确保生产的剥离液为合格品，通过水检电路检测含水率小于标定值，通过光检电路检测含水率大于标定值，再通过调节电缸33调节过流截面。

如图7所示，导流装置3还包括若干转板36，转板36和分流道117进口转动连接，转板36轴端设置扭簧，转板36转动轴线靠近进料道111进口，若干转板36和进料道111摩擦面的粗糙度根据进料道111内相应配额的介质设置。

通过计算得知在相同负压条件下，转板36的转动停止角度，从进料道111内进入分流道117内的介质以配成剥离液进行比例进入，使瞬时间进入分流道117的各介质可以按比例配成剥离液，便于进行多点抽样检测。

作为优化，进料道111出口位于搅拌腔112下层。进料道111出口置于搅拌腔112下层，便于扰流板13将各原料液向上翻动，提供混料效率。

作为优化，导流道113进口端通过导管插入搅拌腔112上层。扰流板13在对原料液进行搅拌混合的同时，将混合液向上翻动，使上层的混合液混合度更高，提高检测精度。

作为优化，导流装置3还包括负压吸管35，负压吸管35和分检腔2111间歇连通。当完成检测后，通过负压吸管将剥离液废液从分检腔2111内吸走，便于对剥离效果进行检测。

本发明的工作原理：横板上侧为扰流面131，为半管的弧形面，下侧为平面，当原料液沿着扰流面131和下侧的平面流动时，扰流面131上侧的流动行程比下侧平面的流动行程长，转动过程中，使扰流面131上的液体流动速度比下层的流速快，使扰流板13上侧相对于下层呈低压状态，在压差作用下，使下层的原料液向上层流动，竖板的内层为扰流面131，使内层的流速比外层的流速快，在压差作用下，使外层的原料液向内层流动，进行内外置换循环；通过剥离液对分检腔2111内的光刻胶212进行剥离，剥离完成后，光源221朝向分检腔2111底部出射平行光线，分检腔2111底部的金属涂层为光面，反光效果良好，当剥离液的剥离性能良好时，光刻胶212从金属涂层表面完全剥离，平行光线照射在金属涂层上后被反射，沿光路传播并照射在光敏层223上，此时光损最小，照射在光敏层223的光强最大，激发的电子-空穴对增多，光检电路上的电流最大；当剥离液的剥离性能不足以满足将光刻胶212完全剥离时，通过光刻胶212对光线进行折射和反射，部分光线照射在侧边的拦板213上，拦板213上设置吸光层，对照射在拦板213上的光线进行吸收，增大了沿程光损，光检电路上电流降低，从而对原料多点取样混合得到的剥离液进行检测；当含水率过高时，使剥离液中氢氧化铵等碱的离子化程度增大，进入分检腔2111后，对光刻胶212完成剥离后，会对金属涂层造成腐蚀，使金属涂层不再保持光面，使反射到光敏层223的光线大大降低，光检电路呈现超低电流状态，此时剥离液性能不达标；当剥离液流经导流道113时，从正极板231和负极板232之间流过，剥离液中游离的粒子将水检电路导通，含水率越高则电路中导通的电流值越大，将电流值和额定电流值对比，从而对含水率进行实时监测。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种用于剥离液生产的原料多点取样抽检设备，其特征在于：所述多点取样抽检设备包括混料装置（1）、双检装置（2）、导流装置（3）和注料管（4），所述混料装置（1）和双检装置（2）连接，所述双检装置（2）和导流装置（3）电连接，所述导流装置（3）和混料装置（1）连接，所述注料管（4）设置有多个，注料管（4）一端和混料装置（1）紧固连接，所述混料装置（1）包括混料仓（11），所述混料仓（11）上设有若干进料道（111），所述注料管（4）一端和进料道（111）管道连通，所述进料道（111）一侧设有分流道（117），若干所述分流道（117）下端收束成混料道，所述混料仓（11）上设有抽检腔（114），所述混料道和抽检腔（114）间歇连通；

所述混料仓（11）上设有搅拌腔（112），若干所述进料道（111）远离注料管（4）一端和搅拌腔（112）连通，所述混料装置（1）还包括搅拌轴（12），所述搅拌轴（12）和混料仓（11）转动连接，所述搅拌轴（12）外圈设有若干扰流板（13），所述扰流板（13）上设有扰流面（131），扰流板（13）包括两个横板和一个竖板，所述横板和竖板为半管型，所述横板上侧为扰流面（131），横板下侧为平面，所述竖板外侧为平面，竖板内侧为扰流面（131），所述扰流面（131）弧形设置；

所述导流装置（3）包括抽检泵（31），所述抽检泵（31）进口设置三通阀，所述三通阀的第一进口和混料道末端连通，所述搅拌腔（112）通过导流道（113）和抽检腔（114）连通，所述三通阀的第二进口通过导流道（113）和搅拌腔（112）连通，所述双检装置（2）包括试验组件（21）、光检组件（22）、载板（24）和电源（25），所述试验组件（21）和光检组件（22）置于抽检腔（114）内，所述试验组件（21）包括试验板（211），所述试验板（211）上设有若干分检腔（2111），所述抽检泵（31）出口朝向分检腔（2111），所述分检腔（2111）底侧设有金属涂层，所述金属涂层向上延伸设有光刻胶（212），所述分检腔（2111）壁面设有拦板（213），所述拦板（213）表面设有吸光层，所述光检组件（22）包括光源（221）和基板（222），所述基板（222）和光源（221）置于载板（24）上，所述载板（24）和抽检腔（114）滑动连接，所述基板（222）向下延伸设有光敏层（223），所述光敏层（223）中插接两个导电板（224），两个所述导电板（224）和电源（25）通过电线构成回路；

检测时：所述光源（221）朝向分检腔（2111）底端，所述光源（221）的折射光路落在光敏层（223）上；

所述双检装置（2）还包括水检组件（23），所述水检组件（23）沿导流道（113）壁面设置，水检组件（23）包括正极板（231）和负极板（232），所述正极板（231）和负极板（232）分别置于导流道（113）两侧壁面，正极板（231）和负极板（232）相向布置，正极板（231）和负极板（232）分别和电源（25）的电极端电连接；

所述导流装置（3）还包括调节电缸（33），水流所在的所述进料道（111）上侧设有截流槽（115），所述调节电缸（33）置于截流槽（115）内，调节电缸（33）输出端设有截流板（32），所述截流板（32）插接在进料道（111）内，截流板（32）倾斜布置，截流板（32）靠近搅拌腔（112）一端为高位端，所述截流槽（115）靠近截流板（32）低位端一侧设有循环流道（116），所述循环流道（116）进口设置阻流块（34）；

两个所述导电板（224）和电源（25）构成光检电路，所述正极板（231）、负极板（232）和电源（25）构成水检电路，所述调节电缸（33）分别与光检电路和水检电路电连；

所述导流装置（3）还包括若干转板（36），所述转板（36）和分流道（117）进口转动连接，转板（36）轴端设置扭簧，转板（36）转动轴线靠近进料道（111）进口，若干所述转板（36）和进料道（111）摩擦面的粗糙度根据进料道（111）内相应配额的介质设置。

2.根据权利要求1所述的一种用于剥离液生产的原料多点取样抽检设备，其特征在于：所述进料道（111）出口位于搅拌腔（112）下层。

3.根据权利要求2所述的一种用于剥离液生产的原料多点取样抽检设备，其特征在于：所述导流道（113）进口端通过导管插入搅拌腔（112）上层。

4.根据权利要求3所述的一种用于剥离液生产的原料多点取样抽检设备，其特征在于：所述导流装置（3）还包括负压吸管（35），所述负压吸管（35）和分检腔（2111）间歇连通。

Images