CN115394700A - 修正fov图像对准误差的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种修正FOV图像对准误差的方法，获取FOV图像以及与其对应的版图设计文件，FOV图像包括多个不规则图形；根据FOV图像中间部分的不规则图形与版图设计文件对准；根据每个不规则图形将FOV图像分割成多个局部图像；根据每个局部图像与版图设计文件对准。本发明针对局部扫描电子显微镜图像做对准，降低由于图像拍摄带来的对准误差。
Description
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，特别是涉及一种修正FOV图像对准误差的方法。
背景技术
视角FOV是指镜头所能覆盖的范围，(物体超过这个角就不会被收在镜头里),一个摄像机镜头能涵盖多大范围的景物，通常以角度来表示，这个角度就叫镜头的视角FOV。被摄对象透过镜头在焦点平面上结成可见影像所包括的面积，是镜头的视场。
对于大FOV的SEM(扫描电子显微镜)图像，例如图1所示的图像，其典型SEM图像尺寸可以达到4096×4096像素。对这种大FOV图像轮廓提取或者CD(关键尺寸)量测，将图像中心与版图设计文件(GDS)对准后，边沿的图像则会由于图像拍摄等因素造成图像与版图设计文件的对准误差。
为解决上述问题，需要一种新型的修正FOV图像对准误差的方法。
发明内容
鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种修正FOV图像对准误差的方法，用于解决现有技术中对于大FOV的扫描电子显微镜图像，将图像中心与版图设计文件对准后，边沿的图像则会由于图像拍摄等因素造成图像与版图设计文件的对准误差的问题。
为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种修正FOV图像对准误差的方法包括：
步骤一、获取FOV图像以及与其对应的版图设计文件，所述FOV图像包括多个不规则图形；
步骤二、根据所述FOV图像中间部分的所述不规则图形与所述版图设计文件对准；
步骤三、根据每个所述不规则图形将所述FOV图像分割成多个局部图像；
步骤四、根据每个所述局部图像与所述版图设计文件对准。
优选地，步骤一中利用扫描电子显微镜获取所述FOV图像。
优选地，步骤二中通过提取所述FOV图像中间部分的所述不规则图形的轮廓线与所述版图设计文件对准。
优选地，步骤二中所述轮廓线为封闭图形。
优选地，步骤二中通过量测所述FOV图像中间部分的所述不规则图形的关键尺寸与所述版图设计文件对准。
优选地，步骤三中根据每个所述不规则图形的轮廓线增加设定值将所述FOV图像分割成多个局部图像。
优选地，步骤三中所述设定值为25纳米。
优选地，步骤二中所述FOV图像中间部分的所述不规则图形与所述版图设计文件对准共用同一参考系。
优选地，步骤四每个所述局部图像与所述版图设计文件对准共用同一所述参考系。
如上所述，本发明的修正FOV图像对准误差的方法，具有以下有益效果：
本发明针对局部扫描电子显微镜图像做对准，降低由于图像拍摄带来的对准误差。
附图说明
图1显示为现有技术的FOV图像对准示意图；
图2显示为现有技术的FOV图像对准A处的放大示意图；
图3显示为现有技术的FOV图像对准B处的放大示意图；
图4显示为本发明的切割图像设计标准示意图；
图5显示为本发明的第一切割图像示意图；
图6显示为本发明的第二切割图像示意图；
图7显示为本发明的第三切割图像示意图；
图8显示为本发明的方法示意图。
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。
请参阅图8，本发明提供一种修正FOV图像对准误差的方法包括：
步骤一，获取FOV图像以及与其对应的版图设计文件，FOV图像包括多个不规则图形，大FOV的扫描电子显微镜图像，将图像与版图设计文件(GDS)对准后，边沿的图像则会由于图像拍摄等因素造成图像与版图设计文件的对准误差；
在本发明的实施例中，步骤一中利用扫描电子显微镜获取FOV图像，扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm；放大倍数可以达到30万倍及以上连续可调；并且景深大,视野大,成像立体效果好。需要说明的是，FOV图像优选为扫描电子显微镜得到，也可采用其它类型的显微镜得到。
示例性地，请参阅图1，本发明提供了ASML公司EP5型号的扫描电子显微镜图像，请参阅图2，图2处为扫描电子显微镜图像中间部分的图像，该处的图像与版图设计文件无对准误差；请参阅图3，图3处为扫描电子显微镜图像边缘部分的图像，该处的图像与版图设计文件由于拍摄原因与版图设计文件存在对准误差。
步骤二，根据FOV图像中间部分的不规则图形与版图设计文件对准，图像对准是计算机视觉领域的基本问题之一，即通过图形识别能够将FOV图像中间部分的不规则图形与版图设计文件对准；
在本发明的实施例中，步骤二中通过提取FOV图像中间部分的不规则图形的轮廓线与版图设计文件对准，即利用图形处理技术得到不规则图形的轮廓线，再根据轮廓线与版图设计文件对准。
在本发明的实施例中，步骤二中轮廓线为封闭图形。
在本发明的实施例中，步骤二中通过量测FOV图像中间部分的不规则图形的关键尺寸与版图设计文件对准，即通过量测不规则图形的线宽与版图设计文件对准。
在本发明的实施例中，步骤二中FOV图像中间部分的不规则图形与版图设计文件对准共用同一参考系，由于FOV图像是由版图设计文件所制得的器件通过拍摄得到，需要将FOV图像与版图设计文件中的设计图形对准后识别两者的误差，但是边沿的图像则会由于图像拍摄等因素造成图像与版图设计文件的对准误差，因此该步骤中的对准为粗对准，目的是为了建立FOV图像与版图设计文件相适配的参考系，即FOV图像中每个不规则图形的坐标均与版图设计文件一一对应。
步骤三，根据每个不规则图形将FOV图像分割成多个局部图像，通过将FOV图像分割后与版图设计文件对准，能够改善边沿的图像由于图像拍摄等因素造成图像与版图设计文件的对准误差；
在本发明的实施例中，请参阅图4，步骤三中根据每个不规则图形的轮廓线增加设定值将FOV图像分割成多个局部图像，也就是说，局部图像的边缘距离轮廓线的最近距离为设定值。
在本发明的实施例中，步骤三中设定值为25纳米，得到例如图5至图7的局部图像，应当理解的是，此处设定值根据图形的密度决定，也可采用其它大小的设定值。
在本发明的实施例中，步骤四每个局部图像与版图设计文件对准共用同一参考系。
步骤四，根据每个局部图像与版图设计文件对准。
在本发明的实施例中，步骤四每个局部图像与版图设计文件对准共用同一参考系，根据每个局部图像与版图设计文件做对准，降低由于图像拍摄带来的对准误差。
需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，遂图式中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
综上所述，本发明针对局部扫描电子显微镜图像做对准，降低由于图像拍摄带来的对准误差。所以，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。
Claims (9)
1.一种修正FOV图像对准误差的方法，其特征在于，至少包括：
步骤一、获取FOV图像以及与其对应的版图设计文件，所述FOV图像包括多个不规则图形；
步骤二、根据所述FOV图像中间部分的所述不规则图形与所述版图设计文件对准；
步骤三、根据每个所述不规则图形将所述FOV图像分割成多个局部图像；
步骤四、根据每个所述局部图像与所述版图设计文件对准。
2.根据权利要求1所述的修正FOV图像对准误差的方法，其特征在于：步骤一中利用扫描电子显微镜获取所述FOV图像。
3.根据权利要求1所述的修正FOV图像对准误差的方法，其特征在于：步骤二中通过提取所述FOV图像中间部分的所述不规则图形的轮廓线与所述版图设计文件对准。
4.根据权利要求1所述的修正FOV图像对准误差的方法，其特征在于：步骤二中通过量测所述FOV图像中间部分的所述不规则图形的关键尺寸与所述版图设计文件对准。
5.根据权利要求1所述的修正FOV图像对准误差的方法，其特征在于：步骤三中根据每个所述不规则图形的轮廓线增加设定值将所述FOV图像分割成多个局部图像。
6.根据权利要求5所述的修正FOV图像对准误差的方法，其特征在于：步骤三中所述设定值为25纳米。
7.根据权利要求1所述的修正FOV图像对准误差的方法，其特征在于：步骤二中所述FOV图像中间部分的所述不规则图形与所述版图设计文件对准共用同一参考系。
8.根据权利要求7所述的修正FOV图像对准误差的方法，其特征在于：步骤四每个所述局部图像与所述版图设计文件对准共用同一所述参考系。
9.根据权利要求3所述的修正FOV图像对准误差的方法，其特征在于：步骤二中所述轮廓线为封闭图形。
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| CN202210936421.XA CN115394700A (zh) | 2022-08-05 | 2022-08-05 | 修正fov图像对准误差的方法 |
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Publications (1)
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Country Status (1)
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2022
- 2022-08-05 CN CN202210936421.XA patent/CN115394700A/zh active Pending
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