CN115385065B - 一种同轴可切换样品托的传样装置和超高真空传样系统 - Google Patents

一种同轴可切换样品托的传样装置和超高真空传样系统 Download PDF

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Abstract

本发明实施例公开了一种同轴可切换样品托的传样装置和超高真空传样系统,传样装置包括旋转抵触抓取部和端盖部,且旋转抵触抓取部与端盖部之间通过弹性复位元件组连接,其中,旋转抵触抓取部至少包括自内而外顺次套接且同轴设置的中轴组件、至少一组内套筒组件和外套筒组件;且,至少内套筒组件和外套筒组件中远离端盖部的一端各自形成有与样品托配合的配接口;至少内套筒组件和外套筒组件沿周向方向可自转地设置。实现了在不更换传样装置的前提下,能够针对性适配不同的样品托且能够在操作过程中进行自适应/自动切换,大大降低换件时间和真空环境的构建时间,提高整体的操作效率,降低在更换样品托的前提下的操作成本的效果。

Description

一种同轴可切换样品托的传样装置和超高真空传样系统
技术领域
本发明实施例涉及真空仪器设备领域,具体涉及一种同轴可切换样品托的传样装置和超高真空传样系统。
背景技术
在利用真空环境进行的科学研究和工业生产中,人们经常采用真空腔体并通过其内安装的机械装置传输与存放真空腔中的样品。为进行一些实验和生产,人们需要在不破坏真空腔体真空度的前提下利用机械装置对真空内的物品进行抓取、传递和释放。在一些真空内进行通常采用两种具有国际上通用的特定形状的样品托来固定样品。一种是圆台型样品托,头部呈子弹形头部形状,并有横杆。另一种是平板型,具有柄头和较窄的柄颈。对样品托进行抓取、释放和传递是在有关实验和生产中经常使用的一种基本操作。
现有的真空机械装置中用于抓取、释放和传递样品托的装置仅能实现上述圆台型和平板型两种样品架之一,这是由于两者的形状与尺寸都不一致。然而,随着真空互联装置的普及,经常需要在一个腔体中同时使用两种样品托,再分别传输至不同的实验设备进行后续测量。尽管样品储存台可以简单地通过添加不同形状尺寸的槽,来实现存放两种样品托,至今还没有能同时实现两种样品托的夹持传样装置。现行的解决方案是每次需要抓取另一种形状尺寸的样品托时,将超高真空腔填充至一个大气压后打开腔体,使之暴露大气后再更换另一种样品托对应的夹持传样装置。该操作经常性地将超高真空腔暴露于大气,污染腔体,后续需要通过重新抽真空,烘烤,除气等持续数天的操作恢复来真空,极大地拖延了实验操作的进度。同时,由于真空操作系统在安装和使用中对设备紧凑性的要求,往往每个法兰接口对应的夹持传样装置需要穿过口径狭小的阀延伸到另一腔体的储样台,不可能为了不同的样品托而设置多个并排接口。并且,接口的增加也会导致腔体,隔断阀的口径成倍增加,进而导致设备的成本大幅增加和稳定性降低。
发明内容
为此,本发明实施例提供一种同轴可切换样品托的传样装置和超高真空传样系统,通过中轴组件、内套筒组件和外套筒组件的配合,实现在不更换传样装置的前提下,能够针对性适配不同的样品托且能够在操作过程中进行自适应切换,大大降低换件时间和真空环境的构建时间,提高整体的操作效率,降低在更换样品托的前提下的操作成本的一种同轴可切换样品托的传样装置和超高真空传样系统。
为了实现上述目的,本发明的实施方式提供如下技术方案:
在本发明实施例的一个方面,提供了一种同轴可切换样品托的传样装置,包括沿轴向方向顺次设置的旋转抵触抓取部和端盖部,且所述旋转抵触抓取部与所述端盖部之间通过弹性复位元件组连接,其中,所述旋转抵触抓取部至少包括自内而外顺次套接且同轴设置的中轴组件、至少一组内套筒组件和外套筒组件;且,
至少所述内套筒组件和所述外套筒组件中远离所述端盖部的一端各自形成有与样品托配合的配接口;
所述中轴组件和/或所述内套筒组件中远离所述端盖部的一端形成有对样品托进行抵触的抵触部,所述弹性复位元件组向所述中轴组件和/或所述内套筒组件提供背离所述端盖部的力,以使得所述中轴组件和/或所述内套筒组件与相邻的套接于外侧的所述内套筒组件和/或所述外套筒组件之间形成的抵触间隙能够向位于所述抵触间隙中的所述样品托施加抵触力;
至少所述内套筒组件和所述外套筒组件沿周向方向可自转地设置。
作为本发明的一种优选方案,所述外套筒组件上的第一配接口设置于外周面上,所述内套筒组件上的第二配接口设置于远离所述端盖部的端面上。
作为本发明的一种优选方案,所述第一配接口包括自所述外套筒组件中远离所述端盖部的一端的部分外周面沿轴向方向向内延伸的延伸通道,以及自所述延伸通道中靠近所述端盖部的一侧沿周向方向环绕形成的卡接通道;
所述第二配接口包括自所述内套筒组件中远离所述端盖部的端面上向内凹陷形成的型槽口,且所述型槽口的面积小于内部的所述内套筒组件或所述中轴组件的端面的面积;
所述中轴组件中远离所述端盖部的端面上形成有与所述型槽口至少部分相对应的嵌槽。
作为本发明的一种优选方案,所述第一配接口为一组相对设置于所述外套筒组件外周面上的形成为L型的弧形槽,所述第二配接口为自所述内套筒组件的端面向内延伸的矩形槽。
作为本发明的一种优选方案,所述外套筒组件包括沿轴向方向自远离所述端盖部的一端至靠近所述端盖部的一端顺次形成的筒身和筒尾,且所述筒尾的外径大于所述筒身的外径,所述筒尾的内径大于所述筒身的内径;
所述筒尾中远离所述筒身的一端的内壁上形成有内螺纹,所述端盖部包括底座,以及自所述底座朝向所述旋转抵触抓取部延伸的旋装件,所述旋装件的外表面形成有外螺纹。
作为本发明的一种优选方案,套接于所述外套筒组件内的所述内套筒组件包括沿轴向方向顺次形成的套合筒和卡接筒,且所述套合筒的外径不大于所述筒身的内径,所述卡接筒的外径大于所述筒身的内径,且不大于所述筒尾的内径;
所述卡接筒的外壁与所述筒尾的内壁上沿轴向方向还配合形成有凹槽和凸条,以使得所述外套筒组件与所述内套筒组件仅能沿轴向方向发生位移。
作为本发明的一种优选方案,所述弹性复位元件组包括位于所述内套筒组件与所述端盖部之间的粗弹簧,以及位于所述中轴组件与所述端盖部之间的细弹簧。
作为本发明的一种优选方案,所述端盖部中朝向所述旋转抵触抓取部的一端向上凸起形成有多个同轴设置的凸环,所述凸环的外侧和内部各自抵触有其中一个所述粗弹簧或所述细弹簧的其中一端,所述粗弹簧的另一端抵触所述内套筒组件中的卡接筒的端面上,所述细弹簧的另一端抵触所述中轴组件的端面。
作为本发明的一种优选方案,所述外套筒组件和所述内套筒组件上沿径向方向设置有轴线在同一条直径上的观察通孔;
所述中轴组件的外表面中与所述观察通孔在径向方向相对应的位置上形成有标识;
所述标识沿周向方向延伸设置。
作为本发明的一种优选方案,与位于最外层的所述内套筒组件相邻的所述内套筒组件或所述中轴组件的外表面上沿径向方向向内凹陷形成有容纳槽,所述容纳槽中通过弹性件收纳有限位块,位于最外层的所述内套筒组件和所述外套筒组件的卡接通道上各自形成有贯通的定位孔,向内挤压所述内套筒组件能够使得两个所述定位孔在径向方向上相对应,所述限位块能够贯穿所述定位孔并延伸至所述卡接通道中;
所述限位块沿轴向方向的前端和后端形成为自靠近所述中轴组件的一端至远离所述中轴组件的一端向内收缩的斜面。
在本发明实施例的另一个方面,还提供了一种超高真空传样系统,包括根据上述所述的同轴可切换样品托的传样装置,以及多种接口不同的样品托。
作为本发明的一种优选方案,样品托至少包括圆台型样品托和方板型样品托
本发明的实施方式具有如下优点:
本发明实施例在内套筒组件和外套筒组件的端部各自配合设置配接口,通过二者的相对自转的设置,使得能够转动至与样品托的端部嵌合,进一步基于弹性复位元件组,从而能够基于弹性作用力,进步实现抵触卡接,从而完成对不同的样品托的对应性的固定连接并进一步完成传样。通过本发明的设置,能够在不更换整体传样装置的前提下,仅通过沿轴向方向的相对移动或是沿周向方向的转动,即可实现对样品托的切换传样。
附图说明
为了更清楚地说明本发明的实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地,下面描述中的附图仅仅是示例性的,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据提供的附图引伸获得其它的实施附图。
本说明书所绘示的结构、比例、大小等,均仅用以配合说明书所揭示的内容,以供熟悉此技术的人士了解与阅读,并非用以限定本发明可实施的限定条件,故不具技术上的实质意义,任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整,在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下,均应仍落在本发明所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。
图1为本发明实施例提供的超高真空传样系统的爆炸图;
图2为本发明实施例提供的传样装置和圆台型样品托的结构示意图;
图3为本发明实施例提供的传样装置和圆台型样品托的剖视图;
图4为本发明实施例提供的传样装置和圆台型样品托配合抓取过程中的结构示意图;
图5为本发明实施例提供的传样装置和圆台型样品托配合抓取过程中的剖视图;
图6为本发明实施例提供的传样装置和圆台型样品托配合抓取后的结构示意图;
图7为本发明实施例提供的传样装置和圆台型样品托配合抓取后的剖视图;
图8为本发明实施例提供的传样装置和方板型样品托的结构示意图;
图9为本发明实施例提供的传样装置和方板型样品托的剖视图;
图10为本发明实施例提供的传样装置和方板型样品托配合抓取过程中的结构示意图;
图11为本发明实施例提供的传样装置和方板型样品托配合抓取过程中剖视图;
图12为本发明实施例提供的传样装置和方板型样品托配合抓取后的结构示意图;
图13为本发明实施例提供的传样装置和方板型样品托配合抓取后的剖视图;
图14为图13中沿A-A方向上的局部剖视图;
图15为本发明实施例提供的旋转抵触抓取部的端部的局部结构示意图;
图16为本发明实施例提供的另一状态下的旋转抵触抓取部的端部的局部结构示意图;
图17为本发明另一实施例提供的旋转抵触抓取部的端部的局部结构示意图。
图中:
100-圆台型样品托;200-方板型样品托;300-外套筒组件;400-内套筒组件;500-粗弹簧;600-中轴组件;700-细弹簧;800-端盖部;
110-子弹形端头;120-横杆;
210-柄头;220-柄颈;
310-第一配接口;320-筒尾;330-第一观察通孔;340-凸条;
410-第二配接口;420-卡接筒;430-第二观察通孔;440-凹槽;
610-嵌槽;620-标识;630-收细段;640-容纳槽;650-弹性件;660-限位块;
810-外螺纹;820-凸环。
具体实施方式
以下由特定的具体实施例说明本发明的实施方式,熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点及功效,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
以下结合附图对具体实施例进行进一步的说明。
如图1所示,本发明提供一种超高真空传样系统,包括圆台型样品托100、方板型样品托200,外套筒组件300、内套筒组件400、粗弹簧500,中轴600组件、细弹簧700和端盖部800。所述圆台型样品托100具有向外延伸的子弹形端头110和横杆120。所述方板型样品托200具有向外延伸的柄颈220和柄头210。所述外套筒组件300为中空结构,其前端每180°具有第一配接口310,且第一配接口310形成为L形,所述第一配接口310允许所述横杆120以特定的角度进入后并通过相对旋转运动(例如,旋转90°)后进行进一步的限位固定。所述内套筒组件400前端具有第二配接口410(这里第二配接口410的形状可以具体设置,例如,在本发明的一种具体的实施例中,可以为矩形的限位开口),所述第二配接口410允许所述柄头210以特定的角度通过。所述内套筒组件400后端与粗弹簧500连接,当所述子弹形端头110进入外套筒组件300前端时,粗弹簧500压缩并由回弹力将子弹形端头110及横杆120顶紧于第一配接口310,由此将圆台型样品托100稳固夹持。所述内套筒组件400同轴套设于所述外套筒组件300之中,由内套筒组件400的后部外壁上的凹槽440和外套筒组件300的后部内壁中的凸条340(如图14所示)咬合,实现二者的同步旋转运动。所述中轴组件600同轴套设于所述内套筒组件400之中,中轴组件600前端的嵌槽610对从所述第二配接口410中伸入的所述柄头210进行限位。所述中轴组件600后端的收细段630套有细弹簧700。所述内套筒组件400与外套筒组件300能够一同相对于所述中轴组件600旋转。所述内套筒组件400相对于所述中轴组件600旋转至90°时,所述细弹簧700通过顶压所述中轴组件600,将所述柄头210抵紧在所述第二配接口410的内壁上,由此将方板型样品托200稳固夹持。取放夹持圆台型样品托100时,内套筒组件400与中轴组件600一起前后运动。取放夹持方板型样品托200时,外套筒组件300和内套筒组件一起旋转。通过样品托最前端子弹形端头110和柄头210的形状和尺寸的不一样,与传样装置接触时,自然选择性地顶入外套筒组件300前端的第一配接口310,或插入内套筒组件400中的第二配接口410。端盖部800,所述端盖部800置于所述外套筒组件300尾端,所述端盖部800通过外螺纹810旋入外套筒组件300尾端的内螺纹。端盖部800内有凸环820,用于隔开粗弹簧500和细弹簧700。通过拧紧端盖部800使细弹簧700抵紧中轴组件600与内套筒组件400。并使粗弹簧500抵紧内套筒组件400与外套筒组件300内壁。需要说明的是,本发明所提供的传样装置是用于套接于磁力传样杆标准件之中进行使用的。
进一步地,在此基础上,与位于最外层的所述内套筒组件400相邻的所述内套筒组件400或所述中轴组件600的外表面上沿径向方向向内凹陷形成有容纳槽640。需要进一步说明的是,这里的设置方式包括两种:即第一种情况下,当内套筒组件400只有一组时,容纳槽640则是从中轴组件600的外表面向内凹陷形成,具体如图15和图16所示;第二种情况下,当内套筒组件400为多组时,则这里的结构自外向内顺次为外套筒组件300、最外层的内套筒组件400、次外层的内套筒组件400、……(省略N层内套筒组件400,N为非负整数)、中轴组件600,此时,容纳槽640则位于次外层的内套筒组件400上,即前述说明的“与位于最外层的所述内套筒组件400相邻的所述内套筒组件400”的这一说法,具体如图17所示(图17中给出的是只有两层内套筒组件400的方式)。需要说明的是,这里可以根据实际情况设置内套筒组件400的数量,本发明并不局限于只有一组内套筒组件400或是两组内套筒组件400,内套筒组件400的数量设定可以根据实际情况选择任意大于或等于一的整数。
所述容纳槽640中通过弹性件650收纳有限位块660,位于最外层的所述内套筒组件400和所述外套筒组件300的卡接通道上各自形成有贯通的定位孔,向内挤压所述内套筒组件400能够使得两个所述定位孔在径向方向上相对应,所述限位块660能够贯穿所述定位孔并延伸至所述卡接通道中;
所述限位块660沿轴向方向的前端和后端形成为自靠近所述中轴组件600的一端至远离所述中轴组件600的一端向内收缩的斜面。这样的设置方式只要通过旋动内螺纹和外螺纹810,则在转动方向上相对固定的外套筒组件300和内套筒组件400形成的结构即可转动至定位孔与容纳槽640对应,从而实现限位块660的顶出,并且,基于螺纹的扭动,也会出现一个轴向上的可移动空间,因此,在不需要使用时,基于细弹簧700的收缩,即可实现带动限位块660在轴向上的移动,从而完成限位块660的收纳,此时,进一步旋转,即可将限位块660稳定固定,实现其复位,并将圆台型样品托100通过转动移出。
如图2和图3所示,为本发明提供的传样装置未接触圆台型样品托100时的装配体及剖视图;可见装配成一体时,由外到内分别主要有外套筒组件300,内套筒组件400,中轴组件600。外套筒组件300前端有第一配接口310,后端有端盖部800。内套筒组件400前端有第二配接口410,后端有粗弹簧500。中轴组件600前端有嵌槽610,后端有细弹簧700。没有样品托接触时,粗弹簧500与细弹簧700均处于最长长度状态,外套筒组件300前端面与内套筒组件400前端面平齐。通过旋转外套筒组件300,使第一配接口310的开口方向与圆台型样品托100的横杆120方向对齐。
图4和图5为本发明的传样装置轴向运动,将圆台型样品托100的横杆120沿轴向完全顶入第一配接口310时的装配体及剖视图;通过用手向前推进外套筒组件300,圆台型样品托100的横杆120进入第一配接口310的拐角处。内套筒组件400与中轴组件600一起被圆台型样品托100的子弹形端头110沿外套筒组件300内壁顶入,并压缩粗弹簧500与细弹簧700。弹簧的回复力与手施加的力平衡。
图6和图7为本发明传样装置在图4和图5基础上旋转90°时的装配体及剖视图;保持手给外套筒组件300施加的向前的力不变,同时对外套筒组件300旋转90°,使横杆120进入第一配接口310的封闭顶端。由于同时有粗弹簧500施加于内套筒组件400的弹力,将稳定的夹持圆台型样品托100。
图8和图9为本发明的传样装置未接触方板型样品托200时的装配体及剖视图;通过旋转外套筒组件300,使内套筒组件400及前端的第二配接口410同步转动至与柄头210平行。
图10和图11为本发明的传样装置轴向运动,将方板型样品托200的柄头210沿轴向完全顶入第二配接口410时的装配体及剖视图;通过用手向前推进外套筒组件300,方板型样品托200的柄头210与柄颈220完全进入第二配接口410。此时中轴组件600被顶入传样装置的内部,并压缩细弹簧700。细弹簧700的回复力与手施加的力平衡。此时从外套筒组件300的第一观察通孔330可以看到红绿双色段提标识移动,显示为绿色,表示可以自由转动外套筒组件300。这里的标识620可以设置在中轴组件600上,例如,可以采用红绿双色段标识线的方式,以便于从观察的角度读取信息,有效避免视线盲区。
图12和图13为本发明的传样装置在图10和图11的基础上旋转90°时的装配体及剖视图;通过第一观察通孔330和第二观察通孔430进行观察,观察的结果为绿色,转动外套筒组件300,同步带动内套筒组件400,顺时针或逆时针旋转90°后,下一个观察窗口(第一观察通孔330和第二观察通孔430)正对传样操作者。由中轴组件600及其后端的细弹簧700顶紧柄头210与内套筒组件400以实现稳定固定。此时为稳定夹持方板型样品托200的位置。
图14为本图13中沿A-A向的剖视图,显示内套筒组件400外壁的凹槽440与外套筒组件300内壁的凸条340的咬合关系。
虽然,上文中已经用一般性说明及具体实施例对本发明作了详尽的描述,但在本发明基础上,可以对之作一些修改或改进,这对本领域技术人员而言是显而易见的。因此,在不偏离本发明精神的基础上所做的这些修改或改进,均属于本发明要求保护的范围。

Claims (9)

1.一种同轴可切换样品托的传样装置,其特征在于,包括沿轴向方向顺次设置的旋转抵触抓取部和端盖部(800),且所述旋转抵触抓取部与所述端盖部(800)之间通过弹性复位元件组连接,其中,所述旋转抵触抓取部至少包括自内而外顺次套接且同轴设置的中轴组件(600)、至少一组内套筒组件(400)和外套筒组件(300);且,
至少所述内套筒组件(400)和所述外套筒组件(300)中远离所述端盖部(800)的一端各自形成有与样品托配合的配接口;
所述中轴组件(600)和/或所述内套筒组件(400)中远离所述端盖部(800)的一端形成有对样品托进行抵触的抵触部,所述弹性复位元件组向所述中轴组件(600)和/或所述内套筒组件(400)提供背离所述端盖部(800)的力,以使得所述中轴组件(600)和/或所述内套筒组件(400)与相邻的套接于外侧的所述内套筒组件(400)和/或所述外套筒组件(300)之间形成的抵触间隙能够向位于所述抵触间隙中的所述样品托施加抵触力;
至少所述内套筒组件(400)和所述外套筒组件(300)沿周向方向可自转地设置;
所述外套筒组件(300)上的第一配接口(310)设置于外周面上,所述内套筒组件(400)上的第二配接口(410)设置于远离所述端盖部(800)的端面上;
所述第一配接口(310)包括自所述外套筒组件(300)中远离所述端盖部(800)的一端的部分外周面沿轴向方向向内延伸的延伸通道,以及自所述延伸通道中靠近所述端盖部(800)的一侧沿周向方向环绕形成的卡接通道;
所述第二配接口(410)包括自所述内套筒组件(400)中远离所述端盖部(800)的端面上向内凹陷形成的型槽口,且所述型槽口的面积小于内部的所述内套筒组件(400)或所述中轴组件(600)的端面的面积;
所述中轴组件(600)中远离所述端盖部(800)的端面上形成有与所述型槽口至少部分相对应的嵌槽(610);
所述第一配接口(310)为一组相对设置于所述外套筒组件(300)外周面上的形成为L型的弧形槽,所述第二配接口(410)为自所述内套筒组件(400)的端面向内延伸的矩形槽。
2.根据权利要求1所述的一种同轴可切换样品托的传样装置,其特征在于,所述外套筒组件(300)包括沿轴向方向自远离所述端盖部(800)的一端至靠近所述端盖部(800)的一端顺次形成的筒身和筒尾(320),且所述筒尾(320)的外径大于所述筒身的外径,所述筒尾(320)的内径大于所述筒身的内径;
所述筒尾(320)中远离所述筒身的一端的内壁上形成有内螺纹,所述端盖部(800)包括底座,以及自所述底座朝向所述旋转抵触抓取部延伸的旋装件,所述旋装件的外表面形成有外螺纹(810)。
3.根据权利要求2所述的一种同轴可切换样品托的传样装置,其特征在于,套接于所述外套筒组件(300)内的所述内套筒组件(400)包括沿轴向方向顺次形成的套合筒和卡接筒(420),且所述套合筒的外径不大于所述筒身的内径,所述卡接筒(420)的外径大于所述筒身的内径,且不大于所述筒尾(320)的内径;
所述卡接筒(420)的外壁与所述筒尾(320)的内壁上沿轴向方向还配合形成有凹槽(440)和凸条(340),以使得所述外套筒组件(300)与所述内套筒组件(400)仅能沿轴向方向发生位移。
4.根据权利要求1-3中任意一项所述的一种同轴可切换样品托的传样装置,其特征在于,所述弹性复位元件组包括位于所述内套筒组件(400)与所述端盖部(800)之间的粗弹簧(500),以及位于所述中轴组件(600)与所述端盖部(800)之间的细弹簧(700)。
5.根据权利要求4所述的一种同轴可切换样品托的传样装置,其特征在于,所述端盖部(800)中朝向所述旋转抵触抓取部的一端向上凸起形成有多个同轴设置的凸环(820),所述凸环(820)的外侧和内部各自抵触有其中一个所述粗弹簧(500)或所述细弹簧(700)的其中一端,所述粗弹簧(500)的另一端抵触所述内套筒组件(400)中的卡接筒(420)的端面上,所述细弹簧(700)的另一端抵触所述中轴组件(600)的端面。
6.根据权利要求5所述的一种同轴可切换样品托的传样装置,其特征在于,所述外套筒组件(300)和所述内套筒组件(400)上沿径向方向各自设置有轴线在同一条直径上的观察通孔;
所述中轴组件(600)的外表面中与所述观察通孔在径向方向相对应的位置上形成有标识(620);
所述标识(620)沿周向方向延伸设置。
7.根据权利要求1所述的一种同轴可切换样品托的传样装置,其特征在于,与位于最外层的所述内套筒组件(400)相邻的所述内套筒组件(400)或所述中轴组件(600)的外表面上沿径向方向向内凹陷形成有容纳槽(640),所述容纳槽(640)中通过弹性件(650)收纳有限位块(660),位于最外层的所述内套筒组件(400)和所述外套筒组件(300)的卡接通道上各自形成有贯通的定位孔,向内挤压所述内套筒组件(400)能够使得两个所述定位孔在径向方向上相对应,所述限位块(660)能够贯穿所述定位孔并延伸至所述卡接通道中;
所述限位块(660)沿轴向方向的前端和后端形成为自靠近所述中轴组件(600)的一端至远离所述中轴组件(600)的一端向内收缩的斜面。
8.一种超高真空传样系统,其特征在于,包括根据权利要求1-7中任意一项所述的同轴可切换样品托的传样装置,以及多种接口不同的样品托。
9.根据权利要求8所述的一种超高真空传样系统,其特征在于,样品托至少包括圆台型样品托(100)和方板型样品托(200)。
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