CN115374066A - 远程可视化系统与远程可视化方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及芯片领域，公开一种远程可视化系统与远程可视化方法。所述远程可视化系统包括：文件夹服务器，用于存储来自多个测试机台的多个生产数据组；远程可视化装置，用于执行以下操作：从所述文件夹服务器中提取与用户的查询请求相对应的来自特定测试机台的特定生产数据组；对所述特定生产数据组进行处理，以生成统计过程控制图；以及生成链接至所述统计过程控制图的跳转对象。本发明响应于用户请求可自动生成链接至统计过程控制图的跳转对象，从而在保证数据安全的情况下用户可通过该跳转对象对生产数据进行实时查询与在线分析，即，可实现生产数据的远程可视化。

Description

远程可视化系统与远程可视化方法
技术领域
本发明涉及芯片领域，具体地涉及一种远程可视化系统与远程可视化方法。
背景技术
晶圆接受测试（Wafer Acceptance Test，WAT）在业内也被称作过程控制监控（Process Control Monitor，PCM），其是半导体制程中的关键测试环节，也是评估半导体制造过程对器件电学性能稳定性的重要工具。作为芯片设计与质量管控的关键生产数据，WAT数据有着重要的商业价值，是各家芯片设计公司和制造厂商的核心机密。
随着集成电路产品尺寸的不断缩小、加工工艺的日益复杂，在进行晶圆接受测试时，所需要进行测试的参数数量逐渐增加，这导致WAT测试机台产生的原始数据体量大，数据间冗余性突出、关系复杂。通常晶圆生产以1个lot为单位且1个lot中包含25片晶圆，每片晶圆上选择5个（8英寸晶圆）或9个（12英寸晶圆）测试点，每个测试点进行近500多项电性参数的测试，最终产生超过10万条的测试数据（单个数据文件大小在数兆字节以上）。目前，晶圆厂针对WAT测试机台产生的原始数据有专用处理系统，但是广大的中、小规模芯片设计公司对于晶圆厂商反馈回的WAT数据仍采用Excel等日常办公软件进行人工处理。针对400多项的电性参数进行手工筛选和SPC控制图绘制，处理过程耗时费力并需要相关人员具备一定基础的专业知识和Excel软件使用经验。
此外，通过Excel来处理数据在数据管理上不能有效地实现集中式管理，这增加了WAT生产数据扩散和商业机密泄露的风险。
发明内容
本发明的目的是提供一种远程可视化系统与远程可视化方法，其响应于用户请求可自动生成链接至统计过程控制图的跳转对象，从而在保证数据安全的情况下用户可通过该跳转对象对生产数据进行实时查询与在线分析，即，可实现生产数据的远程可视化。
为了实现上述目的，本发明第一方面提供一种远程可视化系统，所述远程可视化系统包括：文件夹服务器，用于存储来自多个测试机台的多个生产数据组；远程可视化装置，用于执行以下操作：从所述文件夹服务器中提取与用户的查询请求相对应的来自特定测试机台的特定生产数据组；对所述特定生产数据组进行处理，以生成统计过程控制图；以及生成链接至所述统计过程控制图的跳转对象。
优选地，所述跳转对象包括网页链接，相应地，所述生成链接至所述统计过程控制图的跳转对象包括：生成关于所述统计过程控制图的随机访问网址；以及通过发布工具将所述随机访问网址生成所述网页链接。
优选地，所述网页链接的有效期为预设时间。
优选地，所述发布工具为visdom可视化工具。
优选地，所述远程可视化系统包括：数据库服务器，用于存储所述多个生产数据组在所述文件夹服务器中的地址信息，相应地，所述从所述文件夹服务器中提取与用户的查询请求相对应的来自特定测试机台的特定生产数据组包括：响应于所述用户的查询请求，从所述数据库服务器中提取所述特定生产数据组在所述文件夹服务器中的地址信息；以及基于所提取的地址信息，从所述文件夹服务器中提取所述特定生产数据组。
优选地，所述数据库服务器为关系型数据库或非关系型数据库。
优选地，所述远程可视化装置还用于执行以下操作：将所述跳转对象反馈至所述用户；以及将所述用户的查询请求存储到所述数据库服务器中。
优选地，所述文件夹服务器为FTP服务器。
优选地，所述生产数据组包括多片晶圆的晶圆接受测试数据、晶圆测试数据和/或最终测试数据。
优选地，所述远程可视化系统还包括：权限验证装置，用于执行以下操作：响应于所述用户的查询请求，对所述用户的访问权限进行验证；以及在所述用户的访问权限通过验证的情况下，将所述用户的查询请求转发至所述远程可视化装置。
通过上述技术方案，本发明创造性地通过远程可视化装置执行以下操作：从所述文件夹服务器中提取与用户的查询请求相对应的来自特定测试机台的特定生产数据组；对所述特定生产数据组进行处理，以生成统计过程控制图；以及生成链接至所述统计过程控制图的跳转对象。本发明响应于用户请求可自动生成链接至统计过程控制图的跳转对象，从而在保证数据安全的情况下用户通过该跳转对象可对生产数据进行实时查询与在线分析，即，可实现生产数据的远程可视化。
本发明第二方面提供一种远程可视化方法，所述远程可视化方法可包括：通过文件夹服务器存储来自多个测试机台的多个生产数据组；从所述文件夹服务器中提取与用户的查询请求相对应的来自特定测试机台的特定生产数据组；对所述特定生产数据组进行处理，以生成统计过程控制图；以及生成链接至所述统计过程控制图的跳转对象。
优选地，所述跳转对象包括网页链接，相应地，所述生成链接至所述统计过程控制图的跳转对象包括：生成关于所述统计过程控制图的随机访问网址；以及通过发布工具将所述随机访问网址生成所述网页链接。
优选地，所述网页链接的有效期为预设时间。
优选地，所述远程可视化方法还包括：通过数据库服务器存储所述多个生产数据组在所述文件夹服务器中的地址信息，相应地，所述从所述文件夹服务器中提取与用户的查询请求相对应的来自特定测试机台的特定生产数据组包括：响应于所述用户的查询请求，从所述数据库服务器中提取所述特定生产数据组在所述文件夹服务器中的地址信息；以及基于所提取的地址信息，从所述文件夹服务器中提取所述特定生产数据组。
有关本发明实施例提供的远程可视化方法的具体细节及益处可参阅上述针对远程可视化系统的描述，于此不再赘述。
本发明的其它特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1是本发明一实施例提供的远程可视化系统的结构图；
图2是本发明一实施例提供的远程可视化系统的结构图；
图3是本发明一实施例提供的基于WAT数据绘制的SPC图；以及
图4是本发明一实施例提供的通过网页链接打开的SPC图。
具体实施方式
图1是本发明一实施例提供的远程可视化系统的结构图。如图1所示，所述远程可视化系统可包括：文件夹服务器10，用于存储来自多个测试机台的多个生产数据组；远程可视化装置20，用于执行以下操作：从所述文件夹服务器中提取与用户的查询请求相对应的来自特定测试机台的特定生产数据组；对所述特定生产数据组进行处理，以生成统计过程控制图；以及生成链接至所述统计过程控制图的跳转对象。
其中，所述文件夹服务器10可为FTP服务器12，如图2所示。例如，中小型公司通过内部网络可搭建FTP服务器12用于自动化管理并接收来自测试机台上传的WAT数据（原始生产数据）。
其中，所述生产数据组可包括多片晶圆的晶圆接受测试（WAT）数据、晶圆测试（CP）数据和/或最终测试（FT）数据。在一实施例中，所述生产数据组包括多片晶圆的WAT数据（例如400多项电性参数中的任一者）。例如，图3所示的25片晶圆的NMOS器件的栅极的阈值电压。在此情况下，远程可视化装置20可为图2所示的WAT数据远程可视化装置22。
具体地，用户的查询请求可为查询测试机台A的25片晶圆的9个测试点的WAT数据。首先，WAT数据远程可视化装置22可响应查询请求于从FTP服务器12中提取来自测试机台A的WAT数据组（其包括25片晶圆的WAT数据，其中每片晶圆的WAT数据可包括9个测试点的WAT数据）。然后，针对所述WAT数据组，按照晶圆ID（WAFER_ID）将每片晶圆的9个测试点的WAT数据罗列在图3中，以生成统计过程控制（SPC）图。其中，同一WAFER_ID对应的9个测试点中的部分测试点的WAT数据可能相同（即在SPC图中重叠），SPC图中的一个点可能表示一个或多个测试点的WAT数据，故用户通过SPC图无法直接得到原始WAT数据。最后，生成链接至所述SPC图的跳转对象（将于下文进行详述）。
用户的查询请求可为查询测试机台A的25片晶圆的9个测试点的平均WAT数据。首先，WAT数据远程可视化装置22可响应查询请求于从FTP服务器12中提取来自测试机台A的WAT数据组（其包括25片晶圆的WAT数据，其中每片晶圆的WAT数据可包括9个测试点的WAT数据）。然后，针对所述WAT数据组，按照晶圆ID（WAFER_ID）将每片晶圆的9个测试点的WAT数据求平均，然后将每片晶圆的平均值罗列在图中，以生成统计过程控制（SPC）图（未示出）。其中，用户通过SPC图无法直接得到原始WAT数据。最后，生成链接至所述SPC图的跳转对象（将于下文进行详述）。
用户的查询请求可为查询测试机台A的25片晶圆的9个测试点的WAT数据及平均WAT数据。具体生成统计过程控制（SPC）图的过程可结合上述过程进行，于此不再进行赘述。其中，用户通过SPC图无法直接得到原始WAT数据。最后，生成链接至SPC图的跳转对象（将于下文进行详述）。
由于用户可查看的SPC图并非是原始生成数据（即SPC图可隔离原始生产数据），故所生成的关于SPC图的随机访问网址或相应的网页链接具有保密性，从而进一步地提升了数据的安全等级。
在一实施例中，所述跳转对象可包括网页链接。相应地，所述生成链接至所述统计过程控制图的跳转对象可包括：生成关于所述统计过程控制图的随机访问网址；以及通过发布工具将所述随机访问网址生成所述网页链接。
其中，所述网页链接的有效期为预设时间。例如，所述预设时间可为（但不限于）7天。也就是说，在用户收到网页链接之后，可在于有效期内通过网页链接查看相应的统计过程控制（SPC）图，如图3所示。由此，本实施例设置的所生成的网页链接具有时效性，从而可保障数据的安全性。
其中，所述发布工具可为visdom可视化工具。通过对visdom可视化技术的改进，启动网络数据共享服务，生成具有保密性和时效性的随机网页链接，如图4所示的localhost:8007。
如图2所示，所述远程可视化系统可包括：数据库服务器30，用于存储所述多个生产数据组在所述文件夹服务器中的地址信息。
相应地，所述从所述文件夹服务器中提取与用户的查询请求相对应的来自特定测试机台的特定生产数据组可包括：响应于所述用户的查询请求，从所述数据库服务器中提取所述特定生产数据组在所述文件夹服务器中的地址信息；以及基于所提取的地址信息，从所述文件夹服务器中提取所述特定生产数据组。
其中，所述数据库服务器为关系型数据库或非关系型数据库。例如，所述数据库服务器可为Oracle、Mysql、SQL Server或者MongoDB。
例如，中小型公司可通过内部数据库服务器30运行自动化脚本，用于对上传至FTP服务器12的多个WAT数据组进行数据摘要提取（包括地址信息），并将该数据摘要记录进入数据库服务器30以用于数据追踪。
在通过数据库服务器30存储多个WAT数据组在FTP服务器上的地址信息的情况下，由WAT数据远程可视化装置22从数据库服务器30中提取出与用户请求相对应的指定WAT数据组在FTP服务器12上的地址信息；WAT数据远程可视化装置22通过地址信息从FTP服务器上抓取到指定WAT数据组；以及根据用户请求对指定的WAT数据进行分析并绘制成SPC图，如图3所示。
在一实施例中，所述远程可视化装置20还用于执行以下操作：将所述跳转对象反馈至所述用户；以及将所述用户的查询请求存储到所述数据库服务器30中。例如，所述WAT数据远程可视化装置22可将所述网页链接发送给请求用户，同时将用户的查询请求（即数据访问记录）写入数据库服务器30，以便于后续对数据的使用进行跟踪与管理。
在一实施例中，所述远程可视化系统还可包括：权限验证装置（未示出），用于执行以下操作：响应于所述用户的查询请求，对所述用户的访问权限进行验证；以及在所述用户的访问权限通过验证的情况下，将所述用户的查询请求转发至所述远程可视化装置。
例如，用户向权限验证装置发起WAT数据查询请求；所述权限验证装置对用户的访问权限进行审批，若通过，则所述权限验证装置将所述请求转发至运行于本地服务器上的WAT数据远程可视化装置22。
当然，上述实施例所涉及的权限验证装置也可由系统管理员（如图2所示）来执行。
具体而言，以图2所示的系统为例对远程可视化过程进行简要说明。
首先，用户以邮件或短信方式向系统管理员发起WAT数据查询请求。
其次，系统管理员审批是否通过用户请求。当用户请求通过后，请求转向WAT数据远程可视化装置22，由WAT数据远程可视化装置22从数据库服务器30中提取出相应WAT数据组位于FTP服务器12上的地址信息。WAT数据远程可视化装置22通过地址信息从FTP服务器12上抓取到上述相应WAT数据。然后，根据用户请求对所述相应WAT数据进行分析并绘制成SPC控制图（如图3所示）。
接着，WAT数据远程可视化装置22通过对visdom可视化技术的改进，启动网络数据共享服务，生成具有保密性和时效性的随机网页链接（如图4所示的localhost:8007），从而保障用户使用数据时的信息安全。WAT数据远程可视化装置22将该网页链接发送给请求用户和系统管理员，同时将用户的数据访问记录写入数据库服务器30。该网页链接包含绘制出的SPC控制图等WAT数据分析结果。
最后，用户通过网页链接访问经过处理的WAT数据（例如图4所示的对应于不同器件尺寸的SPC图），分析数据并开展半导体制造过程中器件电学性能稳定性的评估，对产品质量过程实施有效监控，确保产品质量符合用户要求。
上述实施例利用visdom可视化工具并采用互联网B/S(Browser/Server)架构，在应答用户查询请求并向用户反馈WAT数据分析结果的同时，记录用户操作行为，为数据的安全使用和管理提供有效保障。
相比现有技术方案，上述各个实施例具有以下优点：（1）成本低且针对强。对于中小型芯片设计公司在不具备开发大规模数据和信息管理系统能力（人力和资金）的情况下，可以采用上述轻量级实现方案，仅专注于WAT数据的查询分析和安全管理；（2）移植性好。该轻量级远程可视化技术及其实现方案除面向芯片设计过程中的WAT数据外，在不改变整体流程框架的前提下还可以轻松移植到CP数据、FT数据等重要生产数据的远程可视化上。
综上所述，本发明创造性地通过远程可视化装置执行以下操作：从所述文件夹服务器中提取与用户的查询请求相对应的来自特定测试机台的特定生产数据组；对所述特定生产数据组进行处理，以生成统计过程控制图；以及生成链接至所述统计过程控制图的跳转对象。本发明响应于用户请求可自动生成链接至统计过程控制图的跳转对象，从而在保证数据安全的情况下用户可通过该跳转对象对生产数据进行实时查询与在线分析，即，可实现生产数据的远程可视化。
本发明一实施例还提供一种远程可视化方法。所述远程可视化方法可包括：通过文件夹服务器存储来自多个测试机台的多个生产数据组；从所述文件夹服务器中提取与用户的查询请求相对应的来自特定测试机台的特定生产数据组；对所述特定生产数据组进行处理，以生成统计过程控制图；以及生成链接至所述统计过程控制图的跳转对象。
优选地，所述跳转对象包括网页链接，相应地，所述生成链接至所述统计过程控制图的跳转对象包括：生成关于所述统计过程控制图的随机访问网址；以及通过发布工具将所述随机访问网址生成所述网页链接。
优选地，所述网页链接的有效期为预设时间。
优选地，所述远程可视化方法还包括：通过数据库服务器存储所述多个生产数据组在所述文件夹服务器中的地址信息，相应地，所述从所述文件夹服务器中提取与用户的查询请求相对应的来自特定测试机台的特定生产数据组包括：响应于所述用户的查询请求，从所述数据库服务器中提取所述特定生产数据组在所述文件夹服务器中的地址信息；以及基于所提取的地址信息，从所述文件夹服务器中提取所述特定生产数据组。
有关本发明实施例提供的远程可视化方法的具体细节及益处可参阅上述针对远程可视化系统的描述，于此不再赘述。
以上结合附图详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明的保护范围。
另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。
本领域技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分步骤是可以通过程序来指令相关的硬件来完成，该程序存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得单片机、芯片或处理器（processor）执行本申请各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器（ROM，Read-Only Memory）、随机存取存储器（RAM，Random Access Memory）、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。
此外，本发明的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本发明的思想，其同样应当视为本发明所公开的内容。

Claims (14)

1.一种远程可视化系统，其特征在于，所述远程可视化系统包括：
文件夹服务器，用于存储来自多个测试机台的多个生产数据组；
远程可视化装置，用于执行以下操作：
从所述文件夹服务器中提取与用户的查询请求相对应的来自特定测试机台的特定生产数据组；
对所述特定生产数据组进行处理，以生成统计过程控制图；以及
生成链接至所述统计过程控制图的跳转对象。
2.根据权利要求1所述的远程可视化系统，其特征在于，所述跳转对象包括网页链接，
相应地，所述生成链接至所述统计过程控制图的跳转对象包括：
生成关于所述统计过程控制图的随机访问网址；以及
通过发布工具将所述随机访问网址生成所述网页链接。
3.根据权利要求2所述的远程可视化系统，其特征在于，所述网页链接的有效期为预设时间。
4.根据权利要求2所述的远程可视化系统，其特征在于，所述发布工具为visdom可视化工具。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的远程可视化系统，其特征在于，所述远程可视化系统还包括：
数据库服务器，用于存储所述多个生产数据组在所述文件夹服务器中的地址信息，
相应地，所述从所述文件夹服务器中提取与用户的查询请求相对应的来自特定测试机台的特定生产数据组包括：
响应于所述用户的查询请求，从所述数据库服务器中提取所述特定生产数据组在所述文件夹服务器中的地址信息；以及
基于所提取的地址信息，从所述文件夹服务器中提取所述特定生产数据组。
6.根据权利要求5所述的远程可视化系统，其特征在于，所述数据库服务器为关系型数据库或非关系型数据库。
7.根据权利要求5所述的远程可视化系统，其特征在于，所述远程可视化装置还用于执行以下操作：
将所述跳转对象反馈至所述用户；以及
将所述用户的查询请求存储到所述数据库服务器中。
8.根据权利要求1所述的远程可视化系统，其特征在于，所述文件夹服务器为FTP服务器。
9.根据权利要求1所述的远程可视化系统，其特征在于，所述生产数据组包括多片晶圆的晶圆接受测试数据、晶圆测试数据和/或最终测试数据。
10.根据权利要求1所述的远程可视化系统，其特征在于，所述远程可视化系统还包括：
权限验证装置，用于执行以下操作：
响应于所述用户的查询请求，对所述用户的访问权限进行验证；以及
在所述用户的访问权限通过验证的情况下，将所述用户的查询请求转发至所述远程可视化装置。
11.一种远程可视化方法，其特征在于，所述远程可视化方法包括：
通过文件夹服务器存储来自多个测试机台的多个生产数据组；
从所述文件夹服务器中提取与用户的查询请求相对应的来自特定测试机台的特定生产数据组；
对所述特定生产数据组进行处理，以生成统计过程控制图；以及
生成链接至所述统计过程控制图的跳转对象。
12.根据权利要求11所述的远程可视化方法，其特征在于，所述跳转对象包括网页链接，
相应地，所述生成链接至所述统计过程控制图的跳转对象包括：
生成关于所述统计过程控制图的随机访问网址；以及
通过发布工具将所述随机访问网址生成所述网页链接。
13.根据权利要求12所述的远程可视化方法，其特征在于，所述网页链接的有效期为预设时间。
14.根据权利要求11所述的远程可视化方法，其特征在于，所述远程可视化方法还包括：
通过数据库服务器存储所述多个生产数据组在所述文件夹服务器中的地址信息，
相应地，所述从所述文件夹服务器中提取与用户的查询请求相对应的来自特定测试机台的特定生产数据组包括：
响应于所述用户的查询请求，从所述数据库服务器中提取所述特定生产数据组在所述文件夹服务器中的地址信息；以及
基于所提取的地址信息，从所述文件夹服务器中提取所述特定生产数据组。
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