CN115332143B - 适用于晶圆传送用机械臂的数据处理方法及系统 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种适用于晶圆传送用机械臂的数据处理方法及系统，获取晶圆和晶圆贴片的总重量信息，根据总重量信息计算综合吸力值，根据初始膜区域分配系数、初始贴片区域分配系数对综合吸力值进行分解，得到位于保护膜区域每个第一吸盘的第一吸力值，以及位于贴片区域每个第二吸盘的第二吸力值；若第一吸盘的第一吸力值大于等于晶圆保护膜处的第一超限值，根据相应第一吸盘的位置确定第一待检测区域；获取所述第一待检测区域的第一平整度信息，根据所述第一平整度信息确定第一待检测区域的差值信息，根据所述差值信息或用户输入信息对所述第一吸力值的权重值进行训练，可以针对不同重量的晶圆自动生成相应的吸力进行晶圆的转运，提升良品率。

Description

适用于晶圆传送用机械臂的数据处理方法及系统
技术领域
本发明涉及数据处理技术，尤其涉及一种适用于晶圆传送用机械臂的数据处理方法及系统。
背景技术
在实际生产中，晶圆往往需要在多道制程工艺之间进行转运，其中，在晶圆贴片与切割工艺过程中，晶圆的背面会贴上一层保护膜，并通过保护膜将晶圆与晶圆贴片环粘贴在一起，其中，晶圆贴片环一般为固定铁环，也可以为钢环等，贴片工艺完成后，再将贴片好晶圆的固定铁环转运至切割工艺中进行切割或研磨，在晶圆转运时，现有技术中一般通过真空吸附机械臂进行转运，通过真空吸附机械臂从晶圆背面的方向吸附在固定铁环或者晶圆背面的保护膜上进行转运。
目前现有技术的真空吸附机械臂对各种晶圆均采用同样的吸力进行吸附转运，当吸附在晶圆背面的保护膜上时，会在保护膜上留下真空孔印记，甚至由于吸附力过大导致晶圆背面的保护膜出现鼓包、破损问题，影响后续的切割工艺，导致晶圆返工或报废。
发明内容
本发明实施例提供一种适用于晶圆传送用机械臂的数据处理方法，可以针对不同重量（尺寸）的晶圆自动生成相应的吸力进行晶圆的转运，针对性进行传送晶圆，提升了良品率。
本发明实施例的第一方面，提供一种适用于晶圆传送用机械臂的数据处理方法，包括：
获取晶圆和晶圆贴片的总重量信息，根据所述总重量信息计算综合吸力值，根据初始膜区域分配系数、初始贴片区域分配系数对所述综合吸力值进行分解，得到位于保护膜区域每个第一吸盘的第一吸力值，以及位于贴片区域每个第二吸盘的第二吸力值；
控制真空吸附机械臂的所有第一吸盘以所述第一吸力值对晶圆保护膜区域进行吸附，控制真空吸附机械臂的所有第二吸盘以所述第二吸力值对晶圆贴片区域进行吸附；
若所述第一吸盘的第一吸力值大于等于晶圆保护膜处的第一超限值，根据相应第一吸盘的位置确定第一待检测区域；
获取所述第一待检测区域的第一平整度信息，根据所述第一平整度信息确定第一待检测区域的差值信息，根据所述差值信息或用户输入信息对所述第一吸力值的权重值进行训练。
可选地，在第一方面的一种可能实现方式中，所述获取晶圆和晶圆贴片的总重量信息，根据所述总重量信息计算综合吸力值，根据初始膜区域分配系数、初始贴片区域分配系数对所述综合吸力值进行分解，得到位于保护膜区域每个第一吸盘的第一吸力值，以及位于贴片区域每个第二吸盘的第二吸力值，包括：
获取晶圆和晶圆贴片的总重量信息，根据所述总重量信息、基准重量信息以及基准吸力值进行计算，得到综合吸力值；
获取保护膜区域处的第一吸盘数量，以及贴片区域处第二吸盘数量，根据所述初始膜区域分配系数、第一吸盘数量、第二吸盘数量以及初始贴片区域分配系数对所述综合吸力值进行分解，得到位于保护膜区域每个第一吸盘的第一吸力值，以及位于贴片区域每个第二吸盘的第二吸力值；
通过以下公式得到综合吸力值、第一吸力值以及第二吸力值，
Figure DEST_PATH_IMAGE002
其中，
Figure DEST_PATH_IMAGE004
为综合吸力值，
Figure DEST_PATH_IMAGE006
为总重量信息，
Figure DEST_PATH_IMAGE008
为基准重量信息，
Figure DEST_PATH_IMAGE010
为基准吸力值，
Figure DEST_PATH_IMAGE012
为综合吸力值的权重值，
Figure DEST_PATH_IMAGE014
为第一吸力值，
Figure DEST_PATH_IMAGE016
为初始膜区域分配系数，
Figure DEST_PATH_IMAGE018
为初始贴片区域分配系数，
Figure DEST_PATH_IMAGE020
为第一吸盘数量，
Figure DEST_PATH_IMAGE022
为第一吸力值的权重值，
Figure DEST_PATH_IMAGE024
为第二吸力值，
Figure DEST_PATH_IMAGE026
为第二吸盘数量，
Figure DEST_PATH_IMAGE028
为第二吸力值的权重值。
可选地，在第一方面的一种可能实现方式中，所述获取所述第一待检测区域的第一平整度信息，包括：
基于红外传感器检测所述第一待检测区域的第一距离信息，得到第一距离集合，统计所述第一距离集合中元素的数量得到第一数量，根据所述第一数量与第一距离信息进行计算，得到第一平整度信息；
通过以下公式得到第一平整度信息，
Figure DEST_PATH_IMAGE030
其中，
Figure DEST_PATH_IMAGE032
为第一平整度信息，
Figure DEST_PATH_IMAGE034
为第一距离集合中元素数量的上限值，
Figure DEST_PATH_IMAGE036
为第一距离集合中第
Figure DEST_PATH_IMAGE038
个元素对应的第一距离信息，
Figure DEST_PATH_IMAGE040
为第一数量。
可选地，在第一方面的一种可能实现方式中，所述根据所述第一平整度信息确定第一待检测区域的差值信息，根据所述差值信息或用户输入信息对所述第一吸力值的权重值进行训练，包括：
根据基准平整度信息与所述第一平整度信息的差值，得到第一待检测区域的差值信息，并统计预设时间段内第一吸盘的第一调整次数；
根据所述差值信息、第一调整次数和预设调整幅度对第一吸力值的权重值进行训练，得到训练后的第一吸力值的权重值。
可选地，在第一方面的一种可能实现方式中，所述根据所述第一平整度差值信息、第一调整次数和预设调整幅度对第一吸力值的权重值进行训练，得到训练后的第一吸力值的权重值，包括：
根据所述第一平整度差值信息、第一调整次数和预设调整幅度对第一吸力值的权重值进行训练，得到自动训练后的第一吸力值的权重值；
根据所述自动训练后的第一吸力值的权重值确定自动训练后的第二吸力值的权重值；
通过以下公式得到自动训练后的第一吸力值的权重值、自动训练后的第二吸力值的权重值，
Figure DEST_PATH_IMAGE042
其中，
Figure DEST_PATH_IMAGE044
为自动训练后的第一吸力值的权重值，
Figure DEST_PATH_IMAGE046
为预设调整幅度，
Figure DEST_PATH_IMAGE048
为基准平整度信息，
Figure DEST_PATH_IMAGE032A
为第一平整度信息，
Figure DEST_PATH_IMAGE050
为差值信息，
Figure DEST_PATH_IMAGE052
为平整度归一化值，
Figure DEST_PATH_IMAGE054
为第一调整次数，
Figure DEST_PATH_IMAGE056
为基准调整次数，
Figure DEST_PATH_IMAGE058
为次数归一化值，
Figure DEST_PATH_IMAGE060
为第一自动训练的减少训练值，
Figure DEST_PATH_IMAGE062
为自动训练后的第二吸力值的权重值，
Figure DEST_PATH_IMAGE064
为常数值。
可选地，在第一方面的一种可能实现方式中，所述根据所述第一平整度信息确定第一待检测区域的差值信息，根据所述差值信息或用户输入信息对所述第一吸力值的权重值进行训练，包括：
若工程师主动输入第一吸盘的第三吸力值，则将保护膜区域的每个第一吸盘的第一吸力值调整为第三吸力值；
若所述第三吸力值大于所述第一吸力值，则根据所述第三吸力值与第一吸力值的差值，得到第一调整差值，根据所述第一调整差值对第一吸力值的权重值进行交互训练，得到交互训练后的第一吸力值的权重值；
若所述第三吸力值小于所述第一吸力值，则根据所述第一吸力值与第三吸力值的差值，得到第二调整差值，根据所述第二调整差值对第一吸力值的权重值进行交互训练，得到交互训练后的第一吸力值的权重值；
根据所述交互训练后的第一吸力值的权重值确定交互训练后的第二吸力值的权重值；
通过以下公式得到交互训练后的第一吸力值的权重值、交互训练后的第二吸力值的权重值，
Figure DEST_PATH_IMAGE066
其中，
Figure DEST_PATH_IMAGE068
为交互训练后的第一吸力值的权重值，
Figure DEST_PATH_IMAGE070
为第三吸力值，
Figure DEST_PATH_IMAGE072
为第一调整差值，
Figure DEST_PATH_IMAGE074
为第一互动训练的增加训练值，
Figure DEST_PATH_IMAGE076
为第二调整差值，
Figure DEST_PATH_IMAGE078
为第一互动训练的减少训练值，
Figure DEST_PATH_IMAGE080
为互动训练后的第二吸力值的权重值，
Figure DEST_PATH_IMAGE082
为常数值。
可选地，在第一方面的一种可能实现方式中，还包括：
基于监测插件对第一吸盘和/或第二吸盘的吸力值进行监测，确定异常吸盘；
根据所述异常吸盘对应的第一吸力值和/或第二吸力值得到第四吸力值，基于第四吸力值与预设参考值、预设分配数量进行计算，得到均摊吸盘数量；
确定与均摊吸盘数量相应的第三吸盘对所述第四吸力值进行平均分配。
可选地，在第一方面的一种可能实现方式中，所述根据所述异常吸盘对应的第一吸力值和/或第二吸力值得到第四吸力值，基于第四吸力值与预设参考值、预设分配数量进行计算，得到均摊吸盘数量，包括：
通过以下公式得到均摊吸盘数量，
Figure DEST_PATH_IMAGE084
其中，
Figure DEST_PATH_IMAGE086
为均摊吸盘数量，
Figure DEST_PATH_IMAGE088
为第一吸盘的异常数量，
Figure DEST_PATH_IMAGE090
为第二吸盘的异常数量，
Figure DEST_PATH_IMAGE092
为预设分配值，
Figure DEST_PATH_IMAGE094
为预设分配数量。
可选地，在第一方面的一种可能实现方式中，所述确定与均摊吸盘数量相应的第三吸盘对所述第四吸力值进行平均分配，包括：
以所述异常吸盘为中心，获取各吸盘与所述异常吸盘的多个距离信息，对多个所述距离信息进行升序排序，生成第一序列；
依次从所述第一序列中提取与所述均摊吸盘数量相应的吸盘，将其作为第三吸盘；
根据所述第三吸盘对所述第四吸力值进行平均分配。
本发明实施例的第二方面，提供一种适用于晶圆传送用机械臂的数据处理系统，包括：
分解模块，用于获取晶圆和晶圆贴片的总重量信息，根据所述总重量信息计算综合吸力值，根据初始膜区域分配系数、初始贴片区域分配系数对所述综合吸力值进行分解，得到位于保护膜区域每个第一吸盘的第一吸力值，以及位于贴片区域每个第二吸盘的第二吸力值；
吸附模块，用于控制真空吸附机械臂的所有第一吸盘以所述第一吸力值对晶圆保护膜区域进行吸附，控制真空吸附机械臂的所有第二吸盘以所述第二吸力值对晶圆贴片区域进行吸附；
确定模块，用于若所述第一吸盘的第一吸力值大于等于晶圆保护膜处的第一超限值，根据相应第一吸盘的位置确定第一待检测区域；
训练模块，用于获取所述第一待检测区域的第一平整度信息，根据所述第一平整度信息确定第一待检测区域的差值信息，根据所述差值信息或用户输入信息对所述第一吸力值的权重值进行训练。
本发明实施例的第三方面，提供一种电子设备，包括：存储器、处理器以及计算机程序，所述计算机程序存储在所述存储器中，所述处理器运行所述计算机程序执行本发明第一方面及第一方面各种可能涉及的所述方法。
本发明实施例的第四方面，提供一种可读存储介质，所述可读存储介质中存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时用于实现本发明第一方面及第一方面各种可能涉及的所述方法。
本发明提供的一种适用于晶圆传送用机械臂的数据处理方法及系统，会依据晶圆重量（尺寸）不同进行计算，对真空吸附机械臂分配与晶圆重量适应的吸力，使得真空吸附机械臂可以依据晶圆不同进行不同力的吸附，确保晶圆可以被吸附传送的同时，不会出现吸附力过大导致的晶圆损坏，并且会针对保护膜区域和贴片区域进行吸力的初始分配，使得保护膜区域吸力小于贴片区域，确保晶圆的良品率。
本发明提供的技术方案，当第一吸力值大于等于第一超限值时，通过平整度的监测对第一吸力值的权重值进行训练，使得第一吸力值适合晶圆的同时，不会对保护膜造成损伤，避免了由于电流不稳定导致的吸附力增大导致的保护膜的破损或者鼓包，对易损坏区域进行监测的同时，进行自主学习调整相应的吸力值，并且会对第二吸力值进行同步训练，拥有自主学习调整的功能，提升良品率。
本发明提供的技术方案，会对第一吸力值通过平整度进行自动调整的同时，会主动记录用户自主调节的行为，并对该行为加以学习，若用户发现晶圆保护膜处出现破损等，则将吸力值调小，若用户发现晶圆在吸附过程中，出现不稳定情况，则会将吸力调大，系统会自动记录用户的调整值并学习对第一吸力值的权重值进行交互训练，使得训练后的吸力更贴合当下的搬运场景，提升良品率。
本发明提供的技术方案，当吸盘发生损坏时，例如吸盘的破损导致吸盘漏气，无法产生吸力，则会自动统计此时缺少的吸力值（第四吸力值），并将相应的吸力值分配给周边的吸盘，会依据吸力值的大小生成分配的数量，对第四吸力值进行分配，使得吸盘在发生损坏后依旧可以正常使用，避免由于吸盘损坏导致的晶圆脱落，减少了损失。
附图说明
图1为本发明所提供的一种适用于晶圆传送用机械臂的数据处理方法的流程图；
图2为本发明所提供的一种计算吸盘吸力值的流程图；
图3为本发明所提供的一种适用于晶圆传送用机械臂的数据处理系统的结构示意图；
图4为本发明提供的一种电子设备的硬件结构示意图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”“第四”等（如果存在）是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本发明的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。
应当理解，在本发明的各种实施例中，各过程的序号的大小并不意味着执行顺序的先后，各过程的执行顺序应以其功能和内在逻辑确定，而不应对本发明实施例的实施过程构成任何限定。
应当理解，在本发明中，“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
应当理解，在本发明中，“多个”是指两个或两个以上。“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。字符“/”一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。“包含A、B和C”、“包含A、B、C”是指A、B、C三者都包含，“包含A、B或C”是指包含A、B、C三者之一，“包含A、B和/或C”是指包含A、B、C三者中任1个或任2个或3个。
应当理解，在本发明中，“与A对应的B”、“与A相对应的B”、“A与B相对应”或者“B与A相对应”，表示B与A相关联，根据A可以确定B。根据A确定B并不意味着仅仅根据A确定B，还可以根据A和/或其他信息确定B。A与B的匹配，是A与B的相似度大于或等于预设的阈值。
取决于语境，如在此所使用的“若”可以被解释成为“在……时”或“当……时”或“响应于确定”或“响应于检测”。
下面以具体地实施例对本发明的技术方案进行详细说明。下面这几个具体的实施例可以相互结合，对于相同或相似的概念或过程可能在某些实施例不再赘述。
本发明提供一种适用于晶圆传送用机械臂的数据处理方法，如图1所示，包括：
步骤S110、获取晶圆和晶圆贴片的总重量信息，根据所述总重量信息计算综合吸力值，根据初始膜区域分配系数、初始贴片区域分配系数对所述综合吸力值进行分解，得到位于保护膜区域每个第一吸盘的第一吸力值，以及位于贴片区域每个第二吸盘的第二吸力值。
本发明提供的技术方案，系统会获取晶圆和晶圆贴片的总重量信息，可以是通过重力传感器进行整体重量的检测得到相应的总重量信息，也可以通过压力传感器，在此不做限定，根据总重量信息的不同，相应分配的吸力值不同，可以理解的是，整体的重量越大，相应的综合吸力值越大，整体的重量越小，相应的综合吸力值越小，根据初始膜区域分配系数、初始贴片区域分配系数对所述综合吸力值进行分解，其中，初始膜区域分配系数和初始贴片区域分配系数可以是人为设定的初始系数值，初始膜区域分配系数小于初始贴片区域分配系数，例如：初始膜区域分配系数可以为1/5，初始贴片区域分配系数可以为4/5，在此不做限定，根据初始膜区域分配系数和综合吸力值的乘积得到膜区域对应分配的总吸力值，根据膜区域对应分配的总吸力值和膜区域吸盘的数量的比值，得到位于保护膜区域每个第一吸盘的第一吸力值，同理，根据初始贴片区域分配系数和综合吸力值的乘积得到贴片区域对应分配的总吸力值，根据贴片区域对应分配的总吸力值和贴片区域吸盘的数量的比值，得到位于贴片区域每个第二吸盘的第二吸力值，例如：综合吸力值为100N，则相应的膜区域对应分配的总吸力值为
Figure DEST_PATH_IMAGE096
，相应的贴片区域对应分配的总吸力值为
Figure DEST_PATH_IMAGE098
， 膜区域吸盘的数量可以是2个，则第一吸力值为10N，贴片区域吸盘的数量可以是4个，则第二吸力值为20N，系统可以根据晶圆重量（尺寸）不同生成与总质量相适应的不同的吸力值，使得晶圆传送过程中不易产生印记以及鼓包等，方便后续进行进一步对晶圆的处理，提升良品率。
本发明提供的技术方案，在一个可能的实施方式中，如图2所示，步骤S110具体包括：
步骤S1101、获取晶圆和晶圆贴片的总重量信息，根据所述总重量信息、基准重量信息以及基准吸力值进行计算，得到综合吸力值。
本发明提供的技术方案，系统可以基于重力传感器检测得到晶圆和晶圆贴片整体的总重量信息，根据总重量信息、基准重量信息以及基准吸力值进行计算，得到综合吸力值，可以理解的是，基准重量信息与基准吸力值相对应，例如：晶圆和晶圆贴片相应的基准重量信息为5kg，相应的基准吸力值为50N，此处用于举例方便理解，基准吸力应大于重力，可以理解的是，基准重量信息与基准吸力值一一对应，可以是人为预先设置的，系统可以根据总重量信息、基准重量信息以及基准吸力值进行计算，得到相应的综合吸力值，可以理解的是，总重量信息越大相应的综合吸力值越大，总重量信息越小相应的综合吸力值越小，本发明可以根据晶圆重量的不同生成不同的吸力值，更好的对晶圆进行传送。
步骤S1102、获取保护膜区域处的第一吸盘数量，以及贴片区域处第二吸盘数量，根据所述初始膜区域分配系数、第一吸盘数量、第二吸盘数量以及初始贴片区域分配系数对所述综合吸力值进行分解，得到位于保护膜区域每个第一吸盘的第一吸力值，以及位于贴片区域每个第二吸盘的第二吸力值。
本发明提供的技术方案，系统会获取保护膜区域处的第一吸盘数量，以及贴片区域处第二吸盘数量，根据初始膜区域分配系数和初始贴片区域分配系数对所述综合吸力值进行分解，得到相应的膜区域对应分配的总吸力值和贴片区域对应分配的总吸力值，再根据第一吸盘数量和第二吸盘数量分别与膜区域对应分配的总吸力值和贴片区域对应分配的总吸力值的比值，得到位于保护膜区域每个第一吸盘的第一吸力值，以及位于贴片区域每个第二吸盘的第二吸力值。
通过以下公式得到综合吸力值、第一吸力值以及第二吸力值，
Figure DEST_PATH_IMAGE002A
其中，
Figure DEST_PATH_IMAGE004A
为综合吸力值，
Figure DEST_PATH_IMAGE006A
为总重量信息，
Figure DEST_PATH_IMAGE008A
为基准重量信息，
Figure DEST_PATH_IMAGE100
为基准吸力值，
Figure DEST_PATH_IMAGE012A
为综合吸力值的权重值，
Figure DEST_PATH_IMAGE014A
为第一吸力值，
Figure DEST_PATH_IMAGE016A
为初始膜区域分配系数，
Figure DEST_PATH_IMAGE018A
为初始贴片区域分配系数，
Figure DEST_PATH_IMAGE020A
为第一吸盘数量，
Figure DEST_PATH_IMAGE022A
为第一吸力值的权重值，
Figure DEST_PATH_IMAGE024A
为第二吸力值，
Figure DEST_PATH_IMAGE102
为第二吸盘数量，
Figure DEST_PATH_IMAGE028A
为第二吸力值的权重值，可以理解的是，总重量信息
Figure DEST_PATH_IMAGE006AA
与综合吸力值
Figure DEST_PATH_IMAGE004AA
成正比，总重量信息
Figure DEST_PATH_IMAGE104
越大相应的综合吸力值
Figure DEST_PATH_IMAGE004AAA
越大，总重量信息
Figure DEST_PATH_IMAGE006AAA
越小相应的综合吸力值
Figure DEST_PATH_IMAGE004AAAA
越小，第一吸力值
Figure DEST_PATH_IMAGE014AA
与第一吸盘数量
Figure DEST_PATH_IMAGE020AA
成反比，第二吸力值
Figure DEST_PATH_IMAGE024AA
与第二吸盘数量
Figure DEST_PATH_IMAGE102A
成反比，可以理解的是，吸盘数量越多相应的每个吸盘分的力越少，其中，初始膜区域分配系数
Figure DEST_PATH_IMAGE016AA
和初始贴片区域分配系数
Figure DEST_PATH_IMAGE018AA
可以是人为预设的，初始膜区域分配系数
Figure DEST_PATH_IMAGE016AAA
小于初始贴片区域分配系数
Figure DEST_PATH_IMAGE018AAA
，可以理解的是，晶圆背面的保护膜不能承受较大的吸力，吸力过大容易对晶圆造成损伤，但贴片为铁片等可以承受较大的吸力。
本发明提供的技术方案，系统会根据晶圆的重量不同对应为每个吸盘分配不同的吸力，使得后续可以更好进行晶圆的传送，减少统一吸力对晶圆的损伤，提升整体的良品率。
步骤S120、控制真空吸附机械臂的所有第一吸盘以所述第一吸力值对晶圆保护膜区域进行吸附，控制真空吸附机械臂的所有第二吸盘以所述第二吸力值对晶圆贴片区域进行吸附。
本发明提供的技术方案，系统会控制真空吸附机械臂的所有第一吸盘以所述第一吸力值对晶圆保护膜区域进行吸附，控制真空吸附机械臂的所有第二吸盘以所述第二吸力值对晶圆贴片区域进行吸附，可以理解的是，系统会根据晶圆的重量不同对应为晶圆保护膜区域处的吸盘分配第一吸力值，为晶圆贴片区域处的吸盘分配第二吸力值，也就是控制所有第一吸盘以所述第一吸力值对晶圆保护膜区域进行吸附，控制真空吸附机械臂的所有第二吸盘以所述第二吸力值对晶圆贴片区域进行吸附，保证不同重量的晶圆可以被吸附转运的同时，确保保护膜区域处的第一吸力值始终小于晶圆贴片区域的第二吸盘。
步骤S130、若所述第一吸盘的第一吸力值大于等于晶圆保护膜处的第一超限值，根据相应第一吸盘的位置确定第一待检测区域。
本发明提供的技术方案，如果第一吸盘的第一吸力值大于等于晶圆保护膜处的第一超限值，其中，第一超限值可以是接近保护膜区域处最大吸力值的临界值，在此不做限定，例如：保护膜区域处最大吸力值可以是21N，可以理解的是，21N为保护膜能承受的最大吸力，等于或超出21N均会导致保护膜出现损伤，相应的第一超限值可以为20N，可以理解的是，在真空泵对吸盘抽真空的过程中由于电流的不稳定，会导致相应的第一吸力值瞬间过大，相应的第一吸力值会存在大于等于最大吸力21N的情况，因此对大于等于第一超限值20N的第一吸盘的位置进行检测，第一超限值可以是人为预先设置的，将相应第一吸盘的位置确定第一待检测区域，方便后续根据检测区域的平整度信息对第一吸力值以及第二吸力值进行自动训练调整，使得减少晶圆传送过程中出现的鼓泡、破损等。
步骤S140、获取所述第一待检测区域的第一平整度信息，根据所述第一平整度信息确定第一待检测区域的差值信息，根据所述差值信息或用户输入信息对所述第一吸力值的权重值进行训练。
本发明提供的技术方案，系统会获取第一待检测区域对应的第一平整度信息，可以理解的是，第一待检测区域为第一吸盘的第一吸力值大于第一超限值时，将相应的第一吸盘吸附的位置作为第一待检测区域，后续对第一待检测区域的平整度进行检测，得到第一平整度信息，可以理解的是，若第一检测区域未出现破损以及鼓泡等，则相应的第一平整度信息等于标准平整度信息，两者差值为0，第一检测区域出现破损以及鼓泡等，则第一平整度信息小于标准平整度信息，则相应的两者差值不为0，根据第一平整度信息确定第一待检测区域的差值信息，根据差值信息对第一吸力值的权重值进行自动训练，可以理解的是，自上而下通过红外传感器进行测距，从而得到相应的平整度信息，差值越大相应的平整度越差，则相应的将第一吸力值的权重值进行减少调整，相应的第一吸力值会相应减少，避免下次再进行保护膜吸附时出现鼓包、破损的情况。
本发明提供的技术方案，在一个可能的实施方式中，所述获取所述第一待检测区域的第一平整度信息，包括：
基于红外传感器检测所述第一待检测区域的第一距离信息，得到第一距离集合，统计所述第一距离集合中元素的数量得到第一数量，根据所述第一数量与第一距离信息进行计算，得到第一平整度信息。
本发明提供的技术方案，系统基于红外传感器检测所述第一待检测区域的第一距离信息，可以理解的是，利用红外传感器检测第一待检测区域内每处的第一距离信息得到第一距离集合，若第一待检测区域平整，那么区域内所有的第一距离信息值接近相等，统计第一距离集合中元素的数量得到第一数量，将第一距离集合中所有第一距离信息求和再与第一数量，得到第一平整度信息，可以理解的是，第一平整度信息是第一距离集合中所有第一距离对应的平均值，可以反应区域的平整度。
通过以下公式得到第一平整度信息，
Figure DEST_PATH_IMAGE030A
其中，
Figure DEST_PATH_IMAGE032AA
为第一平整度信息，
Figure DEST_PATH_IMAGE034A
为第一距离集合中元素数量的上限值，
Figure DEST_PATH_IMAGE036A
为第一距离集合中第
Figure DEST_PATH_IMAGE038A
个元素对应的第一距离信息，
Figure DEST_PATH_IMAGE040A
为第一数量，
Figure DEST_PATH_IMAGE040AA
与
Figure DEST_PATH_IMAGE106
成正比。
本发明提供的技术方案，系统会对第一待检测区域的第一平整度信息进行检测，可以理解的是，第一平整度信息为第一距离集合中所有第一距离信息的平均值，越不平整保护膜表面就越凹凸不平，相应的第一平整度信息就越小，方便后续根据第一平整度信息对第一吸力值的权重值进行自动训练，使得训练调整后的第一吸力值的权重值更贴合实际情况，减少晶圆传送过程中的损伤。
本发明提供的技术方案，在一个可能的实施方式中，所述根据所述第一平整度信息确定第一待检测区域的差值信息，根据所述差值信息对所述第一吸力值的权重值进行训练，包括：
根据基准平整度信息与所述第一平整度信息的差值，得到第一待检测区域的差值信息，并统计预设时间段内第一吸盘的第一调整次数。
本发明提供的技术方案，系统会根据基准平整度信息与所述第一平整度信息的差值，得到第一待检测区域的差值信息，并统计预设时间段内第一吸盘的第一调整次数，其中，预设时间段可以人为预先设置的时间段，例如：1天、30天等，在此不做限定，可以理解的是，系统会自动获取过去预设时间段内对第一吸盘的第一调整次数，可以理解的是，用户调整次数越多，说明相应的第一吸力值误差越大，方便后续根据差值信息以及第一调整次数对权重值进行自动训练，使得后续自动生成的第一吸力值更贴合晶圆的实际传送场景，减少保护膜的损伤。
根据所述差值信息、第一调整次数和预设调整幅度对第一吸力值的权重值进行训练，得到训练后的第一吸力值的权重值。
本发明提供的技术方案，系统会根据差值信息、第一调整次数和预设调整幅度对第一吸力值的权重值进行训练，得到训练后的第一吸力值的权重值，可以理解的是，差值信息越大相应的平整度越不平整，相应的第一吸力值过大，则对预设调整幅度正向调整，增大后续对第一吸力值的权重值的调整幅度，第一调整次数越大，则相应的说明用户调整次数较多，相应的说明权重值误差过大，则利用第一调整次数对预设调整幅度进行正向调整，增大调整的幅度，通过差值信息、第一调整次数以及预设调整幅度对第一吸力值的权重值进行训练调整，得到训练后的第一吸力值的权重值，使得后续自动生成的第一吸力值可以减少对晶圆保护膜的损伤，提升良品率。
本发明提供的技术方案，在一个可能的实施方式中，所述根据所述第一平整度信息确定第一待检测区域的差值信息，根据所述差值信息或用户输入信息对所述第一吸力值的权重值进行训练，包括：
根据所述第一平整度差值信息、第一调整次数和预设调整幅度对第一吸力值的权重值进行训练，得到自动训练后的第一吸力值的权重值。
本发明提供的技术方案，系统会根据第一平整度差值信息、第一调整次数和预设调整幅度对第一吸力值的权重值进行调整训练，得到相应的训练后的第一吸力值的权重值，使得后续生成的第一吸力值满足用户需求，拥有自主学习训练过程。
根据所述自动训练后的第一吸力值的权重值确定自动训练后的第二吸力值的权重值。
本发明提供的技术方案，系统会自动根据自动训练后的第一吸力值的权重值确定自动训练后的第二吸力值的权重值，可以理解的是，当对第一吸力值进行自动训练调整后，调整前的第一吸力值与调整后的第一吸力值的差值为缺少的吸力值，因此真空吸附机械臂缺少相应的吸力，则将相应的吸力值自动分配至第二吸盘，系统会根据自动训练后的第一吸力值确定自动训练后的第二吸力值的权重值，可以理解的是，自动训练后的第一吸力值的权重值与自动训练后的第二吸力值的权重值的和值为1，当自动训练得到第一吸力值的权重值后，则会自动确认自动训练后的第二吸力值的权重值，方便后续自动生成与晶圆相匹配的第一吸力值和第二吸力值。
通过以下公式得到自动训练后的第一吸力值的权重值、自动训练后的第二吸力值的权重值，
Figure DEST_PATH_IMAGE042A
其中，
Figure DEST_PATH_IMAGE044A
为自动训练后的第一吸力值的权重值，
Figure DEST_PATH_IMAGE046A
为预设调整幅度，
Figure DEST_PATH_IMAGE048A
为基准平整度信息，
Figure DEST_PATH_IMAGE032AAA
为第一平整度信息，
Figure DEST_PATH_IMAGE050A
为差值信息，
Figure DEST_PATH_IMAGE052A
为平整度归一化值，
Figure DEST_PATH_IMAGE054A
为第一调整次数，
Figure DEST_PATH_IMAGE056A
为基准调整次数，
Figure DEST_PATH_IMAGE058A
为次数归一化值，
Figure DEST_PATH_IMAGE060A
为第一自动训练的减少训练值，
Figure DEST_PATH_IMAGE062A
为自动训练后的第二吸力值的权重值，
Figure DEST_PATH_IMAGE064A
为常数值，可以理解的是，自动训练后的第一吸力值的权重值
Figure DEST_PATH_IMAGE108
与差值信息
Figure DEST_PATH_IMAGE110
成反比，自动训练后的第一吸力值的权重值
Figure DEST_PATH_IMAGE108A
与第一调整次数
Figure DEST_PATH_IMAGE054AA
成反比。
本发明提供的技术方案，系统会依据平整度的差值信息以及过去预设时间段内调整的次数对第一吸力值的权重值进行调整训练，并且会同步对二吸力值的权重值进行调整训练，使得可以实现不同重量晶圆吸附的同时，对吸力值进行自动训练，避免对晶圆保护膜的损伤，提升产品的品质，提升良品率。
本发明提供的技术方案，在一个可能的实施方式中，所述根据所述第一平整度信息确定第一待检测区域的差值信息，根据所述差值信息或用户输入信息对所述第一吸力值的权重值进行训练，包括：
若工程师主动输入第一吸盘的第三吸力值，则将保护膜区域的每个第一吸盘的第一吸力值调整为第三吸力值。
本发明提供的技术方案，系统会持续对工程师的行为进行监测，如果工程师主动输入第一吸盘的第三吸力值，则说明此时工程师发现吸盘的力过大或者过小，主动对吸力值进行调整，将保护膜区域的每个第一吸盘的第一吸力值调整为第三吸力值，对工程师的行为进行监测并记录，方便后续根据工程师的操作行为进行互动学习更新相应的第一吸力值的权重值。
若所述第三吸力值大于所述第一吸力值，则根据所述第三吸力值与第一吸力值的差值，得到第一调整差值，根据所述第一调整差值对第一吸力值的权重值进行交互训练，得到交互训练后的第一吸力值的权重值。
本发明提供的技术方案，如果第三吸力值大于所述第一吸力值，说明此时工程师发现吸力值过小，在晶圆传送过程中出现晶圆不稳定甚至脱落的情况，则加大吸力值，得到第三吸力值，此时根据第三吸力值与第一吸力值的差值，得到第一调整差值，根据第一调整差值对第一吸力值的权重值进行交互训练，得到交互训练后的第一吸力值的权重值，可以理解的是，对工程师的行为进行监测后发现进行调大处理，则根据调大的幅度相应的对第一吸力值的权重值进行调大训练，使得交互训练后的第一吸力值的权重值满足晶圆的传送要求，方便后续根据交互训练后的第一吸力值的权重值自动生成第一吸力值，满足晶圆转运，防止晶圆的脱落。
若所述第三吸力值小于所述第一吸力值，则根据所述第一吸力值与第三吸力值的差值，得到第二调整差值，根据所述第二调整差值对第一吸力值的权重值进行交互训练，得到交互训练后的第一吸力值的权重值。
本发明提供的技术方案，如果第三吸力值小于所述第一吸力值，说明此时工程师发现吸力值过大，在晶圆传送过程中出现保护膜的凸起甚至损伤情况，则减小吸力值，得到第三吸力值，则第一吸力值与第三吸力值的差值，得到第二调整差值，根据第二调整差值对第一吸力值的权重值进行交互训练，得到交互训练后的第一吸力值的权重值，可以理解的是，对工程师的行为进行监测后发现工程师进行调小处理，则根据调小的幅度相应的对第一吸力值的权重值进行调小训练，使得交互训练后的第一吸力值的权重值满足晶圆的传送要求，方便后续根据交互训练后的第一吸力值的权重值自动生成第一吸力值，满足晶圆转运的同时，避免晶圆的损伤。
根据所述交互训练后的第一吸力值的权重值确定交互训练后的第二吸力值的权重值。
本发明提供的技术方案，系统会根据交互训练后的第一吸力值的权重值确定交互训练后的第二吸力值的权重值，可以理解的是，第一吸力值的权重值与第一吸力值的权重值两者的和值为1，当对第一吸力值的权重值进行交互训练后，系统则会自动对第二吸力值的权重值进行交互训练，得到交互训练后的第二吸力值的权重值，方便后根据交互训练后的第一吸力值的权重值得到满足晶圆传送的第一吸力值，根据交互训练后的第二吸力值的权重值得到满足晶圆传送的第二吸力值。
通过以下公式得到交互训练后的第一吸力值的权重值、交互训练后的第二吸力值的权重值，
Figure DEST_PATH_IMAGE066A
其中，
Figure DEST_PATH_IMAGE068A
为交互训练后的第一吸力值的权重值，
Figure DEST_PATH_IMAGE070A
为第三吸力值，
Figure DEST_PATH_IMAGE072A
为第一调整差值，
Figure DEST_PATH_IMAGE074A
为第一互动训练的增加训练值，
Figure DEST_PATH_IMAGE076A
为第二调整差值，
Figure DEST_PATH_IMAGE078A
为第一互动训练的减少训练值，
Figure DEST_PATH_IMAGE080A
为互动训练后的第二吸力值的权重值，
Figure DEST_PATH_IMAGE112
为常数值，可以理解的是，交互训练后的第一吸力值的权重值
Figure DEST_PATH_IMAGE114
与第一调整差值
Figure DEST_PATH_IMAGE116
成正比，交互训练后的第一吸力值的权重值
Figure DEST_PATH_IMAGE118
与第二调整差值
Figure DEST_PATH_IMAGE076AA
成反比。
本发明提供的技术方案，系统会对工程师的行为进行监测，主动对工程师的调整行为进行记录并更新学习，若工程师对吸力值进行调大处理则根据第一调整差值同步对第一吸力值的权重值进行交互增大训练，使得训练后的第一吸力值满足晶圆转运需求，若工程师对吸力值进行调小处理则根据第二调整差值同步对第一吸力值的权重值进行交互减小训练，使得训练后的第一吸力值满足晶圆转运需求，避免晶圆的损伤，提升良品率，同时会对第二吸力值的权重值进行自动更新，拥有自主学习更新功能，主动对晶圆的吸力值进行调整。
本发明提供的技术方案，在一个可能的实施方式中，还包括：
基于监测插件对第一吸盘和/或第二吸盘的吸力值进行监测，确定异常吸盘。
本发明提供的技术方案，系统基于监测插件对第一吸盘和/或第二吸盘的吸力值进行监测，其中，监测插件可以是通过压强传感器监测吸盘内的压强值对应的监测插件，若真空泵进行抽气时，第一吸盘和/或第二吸盘的压强未发生改变，则说明吸盘发生损坏导致漏气，使得吸盘失去相应的吸力。
根据所述异常吸盘对应的第一吸力值和/或第二吸力值得到第四吸力值，基于第四吸力值与预设参考值、预设分配数量进行计算，得到均摊吸盘数量。
本发明提供的技术方案，系统会对异常吸盘进行统计，例如：坏了1个第一吸盘和1个第二吸盘，则根据第一吸力值和第二吸力值得到相应的第四吸力值，也可能是只坏了1个第一吸盘或1个第二吸盘，则根据第一吸力值或第二吸力值得到相应的第四吸力值，在此不做限定，可以理解的是，系统会统计损坏的吸盘以及相应的数量得到相应缺少的吸力值，根据第四吸力值与预设参考值、预设分配数量进行计算，得到均摊吸盘数量，可以理解的是，系统会根据第四吸力值的大小计算出均摊第四吸力值对应的均摊吸盘数量，两者成正比，同时预设参考值与预设分配数量相互对应，方便后续根据均摊吸盘数量对第四吸力值进行平均分配，使得真空吸附机械臂在发生部分损坏后依旧可以正常使用，并会对用户进行报警，提醒用户更换破损吸盘，防止出现吸盘损坏时，晶圆连续转运产生的掉落损坏的损失。
确定与均摊吸盘数量相应的第三吸盘对所述第四吸力值进行平均分配。
本发明提供的技术方案，系统确定相应的均摊吸盘数量后，通过确定与均摊吸盘数量相应的第三吸盘对所述第四吸力值进行平均分配，使得晶圆可以在吸盘发生损坏的情况下正常进行传送。
本发明提供的技术方案，在一个可能的实施方式中，所述根据所述异常吸盘对应的第一吸力值和/或第二吸力值得到第四吸力值，基于第四吸力值与预设参考值、预设分配数量进行计算，得到均摊吸盘数量，包括：
通过以下公式得到均摊吸盘数量，
Figure DEST_PATH_IMAGE120
其中，
Figure DEST_PATH_IMAGE086A
为均摊吸盘数量，
Figure DEST_PATH_IMAGE088A
为第一吸盘的异常数量，
Figure DEST_PATH_IMAGE090A
为第二吸盘的异常数量，
Figure DEST_PATH_IMAGE122
为预设分配值，
Figure DEST_PATH_IMAGE094A
为预设分配数量，可以理解的是，均摊吸盘数量
Figure DEST_PATH_IMAGE086AA
与第一吸盘的异常数量
Figure DEST_PATH_IMAGE124
成正比，均摊吸盘数量
Figure DEST_PATH_IMAGE086AAA
与第二吸盘的异常数量
Figure DEST_PATH_IMAGE126
成正比。
本发明提供的技术方案，当吸盘发生损坏时，系统会根据损坏的第一吸盘和/或第二吸盘对应的吸力值和数量，得到相应的第四吸力值，根据第四吸力值的大小得到相应的均分第四吸力值的均摊吸盘数量，方便后续对吸力值进行均摊，可以理解的是，吸力值越大需要的数量相应较多，吸力值越小需要的数量相应较少，使得在吸盘发生损坏时依旧可以对晶圆进行传送，并且会对用户进行预警进行及时更换，避免了发生损坏时，导致的晶圆损坏。
本发明提供的技术方案，在一个可能的实施方式中，所述确定与均摊吸盘数量相应的第三吸盘对所述第四吸力值进行平均分配，包括：
以所述异常吸盘为中心，获取各吸盘与所述异常吸盘的多个距离信息，对多个所述距离信息进行升序排序，生成第一序列。
本发明提供的技术方案，系统会以异常吸盘为中心的同时，获取各吸盘与所述异常吸盘的多个直线距离信息，并对多个距离信息进行升序排序，也就是从小到大的顺序进行排序，生成第一序列，方便后续选中异常吸盘附近的吸盘进行力的均摊，避免了分配距离过大导致吸盘受力不均。
依次从所述第一序列中提取与所述均摊吸盘数量相应的吸盘，将其作为第三吸盘。
本发明提供的技术方案，根据均摊吸盘数量依次从第一序列中提取相应数量的吸盘，将相应的吸盘作为第三吸盘。
根据所述第三吸盘对所述第四吸力值进行平均分配。
本发明提供的技术方案，将标记为第三吸盘的吸盘对第四吸力值进行平均分配，使得在吸盘发生损坏的情况下依旧可以实现对晶圆的传送，并会对用户发出预警，提醒用户更换损坏的吸盘。
为了更好的实现本发明所提供的一种适用于晶圆传送用机械臂的数据处理方法，本发明还提供一种适用于晶圆传送用机械臂的数据处理系统，如图3所示，包括：
分解模块，用于获取晶圆和晶圆贴片的总重量信息，根据所述总重量信息计算综合吸力值，根据初始膜区域分配系数、初始贴片区域分配系数对所述综合吸力值进行分解，得到位于保护膜区域每个第一吸盘的第一吸力值，以及位于贴片区域每个第二吸盘的第二吸力值；
吸附模块，用于控制真空吸附机械臂的所有第一吸盘以所述第一吸力值对晶圆保护膜区域进行吸附，控制真空吸附机械臂的所有第二吸盘以所述第二吸力值对晶圆贴片区域进行吸附；
确定模块，用于若所述第一吸盘的第一吸力值大于等于晶圆保护膜处的第一超限值，根据相应第一吸盘的位置确定第一待检测区域；
训练模块，用于获取所述第一待检测区域的第一平整度信息，根据所述第一平整度信息确定第一待检测区域的差值信息，根据所述差值信息或用户输入信息对所述第一吸力值的权重值进行训练。
如图4所示，是本发明实施例提供的一种电子设备的硬件结构示意图，该电子设备50包括：处理器51、存储器52和计算机程序；其中，存储器52，用于存储所述计算机程序，该存储器还可以是闪存（flash）。所述计算机程序例如是实现上述方法的应用程序、功能模块等。
处理器51，用于执行所述存储器存储的计算机程序，以实现上述方法中设备执行的各个步骤。具体可以参见前面方法实施例中的相关描述。
可选地，存储器52既可以是独立的，也可以跟处理器51集成在一起。
当所述存储器52是独立于处理器51之外的器件时，所述设备还可以包括：
总线53，用于连接所述存储器52和处理器51。
本发明还提供一种可读存储介质，所述可读存储介质中存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时用于实现上述的各种实施方式提供的方法。
其中，可读存储介质可以是计算机存储介质，也可以是通信介质。通信介质包括便于从一个地方向另一个地方传送计算机程序的任何介质。计算机存储介质可以是通用或专用计算机能够存取的任何可用介质。例如，可读存储介质耦合至处理器，从而使处理器能够从该可读存储介质读取信息，且可向该可读存储介质写入信息。当然，可读存储介质也可以是处理器的组成部分。处理器和可读存储介质可以位于专用集成电路(ApplicationSpecific Integrated Circuits，简称：ASIC)中。另外，该ASIC可以位于用户设备中。当然，处理器和可读存储介质也可以作为分立组件存在于通信设备中。可读存储介质可以是只读存储器（ROM）、随机存取存储器（RAM）、CD-ROM、磁带、软盘和光数据存储设备等。
本发明还提供一种程序产品，该程序产品包括执行指令，该执行指令存储在可读存储介质中。设备的至少一个处理器可以从可读存储介质读取该执行指令，至少一个处理器执行该执行指令使得设备实施上述的各种实施方式提供的方法。
在上述设备的实施例中，应理解，处理器可以是中央处理单元（英文：CentralProcessing Unit，简称：CPU），还可以是其他通用处理器、数字信号处理器（英文：DigitalSignal Processor，简称：DSP）、专用集成电路（英文：Application Specific IntegratedCircuit，简称：ASIC）等。通用处理器可以是微处理器或者该处理器也可以是任何常规的处理器等。结合本发明所公开的方法的步骤可以直接体现为硬件处理器执行完成，或者用处理器中的硬件及软件模块组合执行完成。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (9)

1.一种适用于晶圆传送用机械臂的数据处理方法，其特征在于，包括：
获取晶圆和晶圆贴片的总重量信息，根据所述总重量信息计算综合吸力值，根据初始膜区域分配系数、初始贴片区域分配系数对所述综合吸力值进行分解，得到位于保护膜区域每个第一吸盘的第一吸力值，以及位于贴片区域每个第二吸盘的第二吸力值；
控制真空吸附机械臂的所有第一吸盘以所述第一吸力值对晶圆保护膜区域进行吸附，控制真空吸附机械臂的所有第二吸盘以所述第二吸力值对晶圆贴片区域进行吸附；
若所述第一吸盘的第一吸力值大于等于晶圆保护膜处的第一超限值，根据相应第一吸盘的位置确定第一待检测区域，所述第一超限值为保护膜区域处最大吸力值的临界值；
获取所述第一待检测区域的第一平整度信息，根据所述第一平整度信息确定第一待检测区域的差值信息，根据所述差值信息或用户输入信息对所述第一吸力值的权重值进行训练；
所述根据所述第一平整度信息确定第一待检测区域的差值信息，根据所述差值信息或用户输入信息对所述第一吸力值的权重值进行训练，包括：
根据基准平整度信息与所述第一平整度信息的差值，得到第一待检测区域的差值信息，并统计预设时间段内第一吸盘的第一调整次数；
根据所述差值信息、第一调整次数和预设调整幅度对第一吸力值的权重值进行训练，得到训练后的第一吸力值的权重值。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，
所述获取晶圆和晶圆贴片的总重量信息，根据所述总重量信息计算综合吸力值，根据初始膜区域分配系数、初始贴片区域分配系数对所述综合吸力值进行分解，得到位于保护膜区域每个第一吸盘的第一吸力值，以及位于贴片区域每个第二吸盘的第二吸力值，包括：
获取晶圆和晶圆贴片的总重量信息，根据所述总重量信息、基准重量信息以及基准吸力值进行计算，得到综合吸力值；
获取保护膜区域处的第一吸盘数量，以及贴片区域处第二吸盘数量，根据所述初始膜区域分配系数、第一吸盘数量、第二吸盘数量以及初始贴片区域分配系数对所述综合吸力值进行分解，得到位于保护膜区域每个第一吸盘的第一吸力值，以及位于贴片区域每个第二吸盘的第二吸力值；
通过以下公式得到综合吸力值、第一吸力值以及第二吸力值，
Figure DEST_PATH_IMAGE001
其中，
Figure 206860DEST_PATH_IMAGE002
为综合吸力值，
Figure DEST_PATH_IMAGE003
为总重量信息，
Figure 796104DEST_PATH_IMAGE004
为基准重量信息，
Figure DEST_PATH_IMAGE005
为基准吸力值，
Figure 10396DEST_PATH_IMAGE006
为综合吸力值的权重值，
Figure DEST_PATH_IMAGE007
为第一吸力值，
Figure 343289DEST_PATH_IMAGE008
为初始膜区域分配系数，
Figure DEST_PATH_IMAGE009
为初始贴片 区域分配系数，
Figure 79032DEST_PATH_IMAGE010
为第一吸盘数量，
Figure DEST_PATH_IMAGE011
为第一吸力值的权重值，
Figure 324331DEST_PATH_IMAGE012
为第二吸力值，
Figure DEST_PATH_IMAGE013
为 第二吸盘数量，
Figure 263468DEST_PATH_IMAGE014
为第二吸力值的权重值。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，
所述获取所述第一待检测区域的第一平整度信息，包括：
基于红外传感器检测所述第一待检测区域的第一距离信息，得到第一距离集合，统计所述第一距离集合中元素的数量得到第一数量，根据所述第一数量与第一距离信息进行计算，得到第一平整度信息；
通过以下公式得到第一平整度信息，
Figure DEST_PATH_IMAGE015
其中，
Figure 649319DEST_PATH_IMAGE016
为第一平整度信息，
Figure DEST_PATH_IMAGE017
为第一距离集合中元素数量的上限值，
Figure 475455DEST_PATH_IMAGE018
为第一距离 集合中第
Figure DEST_PATH_IMAGE019
个元素对应的第一距离信息，
Figure 140923DEST_PATH_IMAGE020
为第一数量。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，
所述根据所述第一平整度差值信息、第一调整次数和预设调整幅度对第一吸力值的权重值进行训练，得到训练后的第一吸力值的权重值，包括：
根据所述第一平整度差值信息、第一调整次数和预设调整幅度对第一吸力值的权重值进行训练，得到自动训练后的第一吸力值的权重值；
根据所述自动训练后的第一吸力值的权重值确定自动训练后的第二吸力值的权重值；
通过以下公式得到自动训练后的第一吸力值的权重值、自动训练后的第二吸力值的权重值，
Figure DEST_PATH_IMAGE021
其中，
Figure 82203DEST_PATH_IMAGE022
为自动训练后的第一吸力值的权重值，
Figure DEST_PATH_IMAGE023
为预设调整幅度，
Figure 491318DEST_PATH_IMAGE024
为基准平整度 信息，
Figure DEST_PATH_IMAGE025
为第一平整度信息，
Figure 703119DEST_PATH_IMAGE026
为差值信息，
Figure DEST_PATH_IMAGE027
为平整度归一化值，
Figure 788756DEST_PATH_IMAGE028
为第一调 整次数，
Figure DEST_PATH_IMAGE029
为基准调整次数，
Figure 968064DEST_PATH_IMAGE030
为次数归一化值，
Figure DEST_PATH_IMAGE031
为第一自动训练的减少训练值，
Figure 666024DEST_PATH_IMAGE032
为 自动训练后的第二吸力值的权重值，
Figure DEST_PATH_IMAGE033
为常数值。
5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，
所述根据所述第一平整度信息确定第一待检测区域的差值信息，根据所述差值信息或用户输入信息对所述第一吸力值的权重值进行训练，包括：
若工程师主动输入第一吸盘的第三吸力值，则将保护膜区域的每个第一吸盘的第一吸力值调整为第三吸力值；
若所述第三吸力值大于所述第一吸力值，则根据所述第三吸力值与第一吸力值的差值，得到第一调整差值，根据所述第一调整差值对第一吸力值的权重值进行交互训练，得到交互训练后的第一吸力值的权重值；
若所述第三吸力值小于所述第一吸力值，则根据所述第一吸力值与第三吸力值的差值，得到第二调整差值，根据所述第二调整差值对第一吸力值的权重值进行交互训练，得到交互训练后的第一吸力值的权重值；
根据所述交互训练后的第一吸力值的权重值确定交互训练后的第二吸力值的权重值；
通过以下公式得到交互训练后的第一吸力值的权重值、交互训练后的第二吸力值的权重值，
Figure 981599DEST_PATH_IMAGE034
其中，
Figure DEST_PATH_IMAGE035
为交互训练后的第一吸力值的权重值，
Figure 503716DEST_PATH_IMAGE036
为第三吸力值，
Figure DEST_PATH_IMAGE037
为第一 调整差值，
Figure 904742DEST_PATH_IMAGE038
为第一互动训练的增加训练值，
Figure DEST_PATH_IMAGE039
为第二调整差值，
Figure 140813DEST_PATH_IMAGE040
为第一互动 训练的减少训练值，
Figure DEST_PATH_IMAGE041
为互动训练后的第二吸力值的权重值，
Figure 825741DEST_PATH_IMAGE042
为常数值。
6.根据权利要求4或5任一所述的方法，其特征在于，还包括：
基于监测插件对第一吸盘和/或第二吸盘的吸力值进行监测，确定异常吸盘；
根据所述异常吸盘对应的第一吸力值和/或第二吸力值得到第四吸力值，基于第四吸力值与预设参考值、预设分配数量进行计算，得到均摊吸盘数量；
确定与均摊吸盘数量相应的第三吸盘对所述第四吸力值进行平均分配。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，
所述根据所述异常吸盘对应的第一吸力值和/或第二吸力值得到第四吸力值，基于第四吸力值与预设参考值、预设分配数量进行计算，得到均摊吸盘数量，包括：
通过以下公式得到均摊吸盘数量，
Figure DEST_PATH_IMAGE043
其中，
Figure 269492DEST_PATH_IMAGE044
为均摊吸盘数量，
Figure DEST_PATH_IMAGE045
为第一吸盘的异常数量，
Figure 642967DEST_PATH_IMAGE046
为第二吸盘的异常数量，
Figure DEST_PATH_IMAGE047
为 预设分配值，
Figure 463155DEST_PATH_IMAGE048
为预设分配数量。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述确定与均摊吸盘数量相应的第三吸盘对所述第四吸力值进行平均分配，包括：
以所述异常吸盘为中心，获取各吸盘与所述异常吸盘的多个距离信息，对多个所述距离信息进行升序排序，生成第一序列；
依次从所述第一序列中提取与所述均摊吸盘数量相应的吸盘，将其作为第三吸盘；
根据所述第三吸盘对所述第四吸力值进行平均分配。
9.一种适用于晶圆传送用机械臂的数据处理系统，其特征在于，包括：
分解模块，用于获取晶圆和晶圆贴片的总重量信息，根据所述总重量信息计算综合吸力值，根据初始膜区域分配系数、初始贴片区域分配系数对所述综合吸力值进行分解，得到位于保护膜区域每个第一吸盘的第一吸力值，以及位于贴片区域每个第二吸盘的第二吸力值；
吸附模块，用于控制真空吸附机械臂的所有第一吸盘以所述第一吸力值对晶圆保护膜区域进行吸附，控制真空吸附机械臂的所有第二吸盘以所述第二吸力值对晶圆贴片区域进行吸附；
确定模块，用于若所述第一吸盘的第一吸力值大于等于晶圆保护膜处的第一超限值，根据相应第一吸盘的位置确定第一待检测区域，所述第一超限值为保护膜区域处最大吸力值的临界值；
训练模块，用于获取所述第一待检测区域的第一平整度信息，根据所述第一平整度信息确定第一待检测区域的差值信息，根据所述差值信息或用户输入信息对所述第一吸力值的权重值进行训练；
所述根据所述第一平整度信息确定第一待检测区域的差值信息，根据所述差值信息或用户输入信息对所述第一吸力值的权重值进行训练，包括：
根据基准平整度信息与所述第一平整度信息的差值，得到第一待检测区域的差值信息，并统计预设时间段内第一吸盘的第一调整次数；
根据所述差值信息、第一调整次数和预设调整幅度对第一吸力值的权重值进行训练，得到训练后的第一吸力值的权重值。
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