CN115307702A - 液体参数测量装置和方法、半导体清洗设备 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及半导体制造领域，提供一种液体参数测量装置和方法、半导体清洗设备，该装置用于检测清洗槽中的液体参数，且包括第一液位传感器、第二液位传感器和处理模块，其中，第一液位传感器的第一探头端位于清洗槽的底部，用于检测第一探头端与液体的液面之间的第一距离，并向处理模块发送；第二液位传感器的第二探头端位于液面上方，用于检测第二探头端所在位置与液面之间的第二距离，并向处理模块发送；处理模块用于根据第二距离以及预先测定的第二探头端与第一探头端之间的第三距离，获得液体的液位真实值；根据液位真实值与第一距离，获得液体的密度真实值。本发明的方案可以提高测量清洗槽中的液体参数的准确度。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种液体参数测量装置和方法、半导体清洗设备、电子设备以及计算机可读存储介质。
背景技术
集成电路制造过程中的晶圆清洗是指在氧化、光刻、外延、扩散等工序前，采用物理或化学方法去除晶圆表面的污染物和自身氧化物，以得到符合清洁度要求的晶圆表面的过程。清洗工艺占整个集成电路制造工艺步骤的比例约为30％以上，晶圆清洗质量的好坏对器件性能有重要的影响。
晶圆清洗设备主要分为单片半导体清洗设备和用于批量清洗的槽式半导体清洗设备。槽式半导体清洗设备由于通过率高，产能大而得到广泛应用。槽式半导体清洗设备在清洗晶圆的过程中，根据所需去除的表面残留物质的不同需要在清洗槽中配制不同的化学药液。
清洗槽中化学药液的浓度测量一般采用光谱分析的方法进行，即，通过探头对流经测量管中的药液进行检测，但是对于浓硫酸及磷酸等的化学要求，由于长期使用时会在测量管壁内形成结晶物质，这会导致测量不准确等问题；同时，清洗槽中的液体液位一般采用鼓泡型液位传感器，但是由于温度的变化会引起药液密度的改变，这也会导致利用鼓泡型液位传感器测量的液位存在较大的偏差。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种液体参数测量装置和方法、半导体清洗设备、电子设备以及计算机可读存储介质，其可以提高测量清洗槽中的液体的液位和密度的准确度。
为实现本发明的目的而提供一种液体参数测量装置，用于检测半导体清洗设备的清洗槽中的液体参数，包括第一液位传感器、第二液位传感器和处理模块，其中，
所述第一液位传感器的第一探头端位于所述清洗槽的底部，用于检测所述第一探头端与液体的液面之间的第一距离，并向所述处理模块发送；
所述第二液位传感器的第二探头端位于所述液面上方，用于检测所述第二探头端所在位置与所述液面之间的第二距离，并向所述处理模块发送；
所述处理模块用于根据所述第二距离以及预先测定的所述第二探头端与所述第一探头端之间的第三距离，获得所述液体的液位真实值；根据所述液位真实值与所述第一距离，获得所述液体的密度真实值。
可选的，所述液体参数测量装置还包括温度传感器，用于检测所述液体的温度，并向所述处理模块发送；
所述处理模块还用于根据所述液体的温度和所述密度真实值，以及预先获得的不同的所述液体的种类和温度下，所述液体的密度与浓度的对应关系，获得与所述密度真实值对应的所述液体的浓度。
可选的，所述第二液位传感器为导向脉冲式液位传感器，所述导向脉冲式液位传感器的所述第二探头端用于向所述液面发送脉冲信号，并接收所述脉冲信号被所述液面反射回来的反射信号，以获得所述第二距离；
所述导向脉冲式液位传感器具有导向探针，所述导向探针的远离所述第二探头端的一端位于所述清洗槽的底部，所述导向探针用于引导所述脉冲信号的传播方向。
可选的，所述导向探针的远离所述第二探头端的一端低于所述第一液位传感器的所述第一探头端。
可选的，所述第一液位传感器为鼓泡型液位传感器，所述鼓泡型液位传感器用于通过检测所述液体在所述探头端处的压力值，来获得所述第一距离。
可选的，所述第三距离、所述第二距离和所述液位真实值满足下述关系式：
h2＝L-L1
其中，h2为所述液体的液位真实值；L为所述第三距离；L1为所述第二距离。
可选的，所述液位真实值、所述第一距离和所述密度真实值满足以下关系式：
其中，ρ1为所述液体的密度真实值；ρ2为预设的标定液体的密度值；h1为所述第一距离；h2为所述液体的液位真实值。
可选的，所述第三距离满足以下关系式：
L＝h10+L10
其中，L为所述第三距离；h10为预设的标定液体为水时的所述第一距离；L10为预设的标定液体为水时的所述第二距离。
可选的，所述处理模块包括信号链路单元、模数转换单元和计算单元，其中，
所述信号链路单元用于实现将所述第一液位传感器和第二液位传感器发送的模拟信号传输至所述模数转换单元；
所述模数转换单元用于将所述模拟信号转换为数字信号，并向所述计算单元发送；
所述计算单元用于对所述数字信号进行相应的处理和计算，以获得所述液体的所述液位真实值和所述密度真实值。
可选的，所述导向探针的远离所述第二探头端的一端低于所述第一液位传感器的所述第一探头端。
作为另一个技术方案，本发明还提供一种液体参数测量方法，用于检测半导体清洗设备的清洗槽中的液体参数；所述方法包括；
获取第一液位传感器的第一探头端与液体的液面之间的第一距离，所述第一液位传感器的第一探头端位于所述清洗槽的底部；
获取第二液位传感器的第二探头端所在位置与所述液面之间的第二距离，所述第二液位传感器的第二探头端位于所述液面上方；
根据所述第二距离以及预先测定的所述第二探头端与所述第一探头端之间的第三距离，获得所述液体的液位真实值；
根据所述液位真实值与所述第一距离，获得所述液体的密度真实值。
可选的，所述方法还包括：
检测所述液体的温度；
根据所述液体的温度和所述密度真实值，以及预先获得的不同的所述液体的种类和温度下，所述液体的密度与浓度的对应关系，获得与所述密度真实值对应的所述液体的浓度。
作为另一个技术方案，本发明还提供一种半导体清洗设备，包括清洗槽，还包括本发明提供的上述液体参数测量装置。
作为另一个技术方案，本发明还提供一种电子设备，至少一个处理器；以及
与所述至少一个处理器通信连接的存储器；其中，
所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的一个或多个计算机程序，一个或多个所述计算机程序被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器能够执行本发明提供的上述液体参数测量方法。
可选的，所述存储器还存储有关系数据，所述关系数据包括预先获得的不同的所述液体的种类和温度下，所述液体的密度与浓度的对应关系。
作为另一个技术方案，本发明还提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序在被处理器执行时实现本发明提供的上述液体参数测量方法。
本发明具有以下有益效果：
本发明提供的液体参数测量装置和方法的技术方案，通过利用第二液位传感器检测其第二探头端所在位置与液面之间的第二距离以及预先测定的第二液位传感器的第二探头端与第一探头端之间的第三距离，可以获得液体的液位真实值，这与现有技术中利用鼓泡型液位传感器测量液位相比，可以避免因温度变化引起药液密度的改变，而导致测量液位存在偏差的问题；而且，可以根据液位真实值与第一距离，获得液体的密度真实值，这与现有技术中采用光谱分析方法检测液体的密度相比，可以避免因诸如浓硫酸及磷酸等的化学药液在测量管壁内形成结晶物质，而导致测量不准确等问题。因此，本发明的方案相比于现有技术可以提高测量清洗槽中的液体参数(例如液位和密度)的准确度，此外还可以降低设备成本。
本发明提供的半导体清洗设备，其通过采用本发明提供的上述液体参数测量装置，既可以避免因温度变化引起药液密度的改变，而导致测量液位存在偏差的问题，又可以避免因诸如浓硫酸及磷酸等的化学药液在测量管壁内形成结晶物质，而导致测量不准确等问题，从而可以提高测量清洗槽中的液体参数(例如液位和密度)的准确度，此外还可以降低设备成本。
附图说明
图1为现有的鼓泡型液位传感器的结构图；
图2为硫酸密度与温度的曲线图；
图3为本发明实施例提供的液体参数测量装置的原理图；
图4为硫酸在不同的温度下的密度与浓度的对应关系表；
图5为本发明实施例提供的液体参数测量方法的流程框图；
图6为本发明实施例提供的一种电子设备的框图。
具体实施方式
为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图来对本发明提供的液体参数测量装置和方法、半导体清洗设备、电子设备以及计算机可读存储介质进行详细描述。
相关技术中，对于清洗槽中的液体的液位的测量一般采用鼓泡型液位传感器进行，具体地，如图1所示，由气源11提供的氮气经过两级调压阀12调压后形成的恒压氮气进入鼓泡型液位传感器13的本体中，本体中设置有用于检测管道压力的压力传感器，恒压氮气在流经该压力传感器后从氮气鼓泡管的出口13a流出，在测量清洗槽14中的液体15的液位时，压力传感器测得的压力为管道压力与清洗槽14中位于出口13a处的压力之和，根据液体压力公式：P2＝ρ1gh，可以计算得到液位高度，其中，P2为清洗槽14中位于出口13a处的压力；h为液位高度；ρ1为被测液体的密度；g为比例系数，大小约为9.8N/kg。以被测液体为水为例，ρ1＝1，则液位高度h＝P2/g。
当液体的密度随温度发生变化时，液位高度也随之发生变化，但是，在压力P2不变的情况下，上述鼓泡型液位传感器13所测量的液位测量值保持不变，这就导致了液位测量不准确。这种不准确反应在高温浓硫酸及磷酸液体中尤为明显，例如，图2为硫酸密度与温度的曲线图。如图2所示，由硫酸密度与温度的曲线C可知，89.8％的浓硫酸在20℃时密度为1.1815g/ml，在100℃时密度为1.723g/ml，密度变化达到了5.07％。这种由于温度的变化引起的药液密度的改变，会导致利用氮气鼓泡法测量的液位存在较大的偏差。此外，对于浓硫酸及磷酸等，由于长期使用时会在管壁内形成结晶物质，此时采用在线光谱分析的方法就会存在测量不准确等问题。
为了解决上述问题，请参阅图3，本发明实施例提供了一种液体参数测量装置，用于检测半导体清洗设备的清洗槽21中液体22的参数，该参数可以包括液位和密度，该液体参数测量装置包括第一液位传感器23、第二液位传感器24和处理模块26，其中，第一液位传感器23的第一探头端23a位于清洗槽21的底部，用于检测第一探头端23a与液体22的液面A之间的第一距离h1，并向处理模块26发送。可选的，第一液位传感器23为鼓泡型液位传感器，该鼓泡型液位传感器用于通过检测液体在第一探头端23a(即，鼓泡型液位传感器的鼓泡管231的远离传感器本体的一端)处的压力值，来获得第一距离h1。该鼓泡型液位传感器的结构例如采用图1所示的结构，根据液体压力公式：Ph1＝ρ1gh1可以计算得到上述第一距离h1。
第二液位传感器24的第二探头端241位于液面A上方，用于检测第二探头端241与液面A之间的第二距离L1，并向处理模块26发送；可选的，第二液位传感器24为导向脉冲式液位传感器，该导向脉冲式液位传感器的第二探头端241用于向液面A发送脉冲信号，并接收该脉冲信号被液面A反射回来的反射信号，以获得第二距离L1。具体地，根据脉冲信号的发送时间和返回时间的间隔，可以计算获得上述第二距离L1，由于该导向脉冲式液位传感器不会受到因温度变化引起的药液密度改变的影响，其可以精确地测量液体22的液位。导向脉冲式液位传感器具有导向探针242，该导向探针242的远离第二探头端241的一端位于清洗槽21的底部，导向探针242用于引导上述脉冲信号的传播方向，即，脉冲信号沿导向探针242传播。
在实际应用中，为了能够使上述脉冲信号沿导向探针242传播至液面A，该导向探针242的远离第二探头端241的一端必须位于液面A以下，但是在无法获知液面A的实际高度的情况下，可以通过将导向探针242的远离第二探头端241的一端位于清洗槽21的底部，来保证即使液面高度发生改变，导向探针242远离第二探头端241的一端也能够始终位于液面A以下。另外，优选的，导向探针242的远离第二探头端241的一端低于第一液位传感器23的第一探头端23a。容易理解，只要导向探针242远离第二探头端241的一端也能够始终位于液面A以下，就可以保证导向脉冲式液位传感器的正常测量，即，在导向脉冲式液位传感器的测量范围内，通过使导向探针242的远离第二探头端241的一端低于第一液位传感器23的第一探头端23a，即，h2’＞h1，可以保证第一液位传感器23的测量范围位于导向脉冲式液位传感器的测量范围内，换言之，导向脉冲式液位传感器的测量范围包含第一液位传感器23的测量范围。当然，本发明实施例并不局限于此，导向探针242的远离第二探头端241的一端也可以与第一液位传感器23的第一探头端23a相平齐，即，h2’＝h1。
可选的，在导向探针242的周围包覆有防腐套管，用于保护导向探针242不被具有腐蚀性的液体腐蚀，该防腐套管可以根据清洗槽21中的液体的化学特性选择适当的材料制成，例如诸如PFA等的塑料或者其他耐化学药液腐蚀材料。
可选的，鼓泡型液位传感器的鼓泡管231的材质包括诸如PFA、PTFE等的塑料或者其他耐化学药液腐蚀材料。鼓泡管231为管径均匀的硬质管。
需要说明的是，本发明实施例中的第二液位传感器24并不局限于采用导向脉冲式液位传感器，在实际应用中，还可以采用其他能够精确地测量第二距离L1，而不会受到因温度变化引起的药液密度改变的影响的检测装置。
还需要说明的是，本发明实施例中的第一液位传感器23并不局限于采用鼓泡型液位传感器，在实际应用中，还可以采用其他能够测量得到上述第一距离h1的检测装置。
在一些可选的实施例中，液体参数还可以包括浓度。在这种情况下，液体参数测量装置还包括温度传感器25，该温度传感器25用于检测液体22的温度，并向处理模块26发送。该温度传感器25例如包括测温元件25a和温度变送器，该温度变送器位于液面A上方，测温元件25a的一端与该温度变送器连接，另一端延伸至清洗槽21中，且位于液面A以下，优选位于靠近清洗槽21的底部位置处，用于检测液体22的温度；温度变送器用于将测温元件25a检测到的温度信号转换为电信号，并向处理模块26发送。
处理模块26用于根据上述第二距离L1以及预先测定的第二探头端241与第一探头端23a之间的第三距离L，获得液体22的液位真实值；根据该液位真实值与第一距离h1获得液体22的密度真实值。
在一些可选的实施例中，处理模块26还用于根据液体22的温度和密度真实值，以及预先获得的不同的液体的种类和温度下，液体的密度与浓度的对应关系，获得与密度真实值对应的液体22的浓度。
通过利用第二液位传感器24检测其所在位置与液面A之间的第二距离L1以及预先测定的第二探头端241与第一探头端23a之间的第三距离L，可以获得液体22的液位真实值，这与现有技术中利用鼓泡型液位传感器测量液位相比，可以避免因温度变化引起药液密度的改变，而导致测量液位存在偏差的问题；而且，可以根据液位真实值与第一距离，获得液体的密度真实值。可选的，还可以通过利用温度传感器25检测液体22的温度，并根据液体的温度和密度真实值，以及预先获得的不同的液体的种类和温度下，液体的密度与浓度的对应关系，获得与密度真实值对应的液体的浓度，这与现有技术中采用光谱分析方法检测液体的密度和浓度相比，可以避免因诸如浓硫酸及磷酸等的化学药液在测量管壁内形成结晶物质，而导致测量不准确等问题。因此，本发明实施例的方案相比于现有技术可以提高测量清洗槽21中的液体22的液位、浓度和密度的准确度，此外还可以降低设备成本。
在一些可选的实施例中，处理模块26包括信号链路单元261、模数转换单元262和计算单元263，其中，信号链路单元261用于实现将第一液位传感器23、第二液位传感器24、温度传感器25发送的模拟信号传输至模数转换单元262；信号链路单元261例如采用RS485、RSS422等通讯、现场总线等的通讯方式实现模拟信号的传输。模数转换单元262用于将模拟信号转换为数字信号，并向计算单元263发送；计算单元263用于对数字信号进行相应的处理和计算，以获得液体的液位真实值、密度真实值和液体的浓度。计算单元263例如为计算机或者PLC等等。
在一些可选的实施例中，上述第三距离L、第二距离L1和液位真实值h2满足下述关系式：
h2＝L-L1
其中，h2为液体22的液位真实值；L为预先测定的第二探头端241与第一探头端23a之间的第三距离L；L1为第二距离。
在一些可选的实施例中，上述第三距离L可以用水作为标定液体，并根据第一液位传感器23和第二液位传感器24的测量获得。当然，在实际应用中，也可以采用其他标定液体。以水为标定液体为例，标定液体的密度值ρ2为1。向清洗槽21中注入一定量的标定液体，并分别通过第一液位传感器23和第二液位传感器24的测量获得标定液体为水时的第一距离h10、标定液体为水时的第二距离L10，则上述第三距离L＝h10+L10，由于上述标定液体为水，水的密度随温度变化的改变程度非常小，该第三距离L为准确的定值。
在一些可选的实施例中，上述液位真实值h2、第一距离h1和密度真实值满足以下关系式：
其中，ρ1为液体22的密度真实值；ρ2为预设的标定液体的密度值；h1为第一距离；h2为液体的液位真实值。
进一步可选的，上述标定液体为水，标定液体的密度值ρ2为1，在这种情况下，将ρ2＝1代入上述关系式得到：
由此，可以将上述液位真实值h2和第一距离h1代入上述关系式，计算得到液体22的密度真实值ρ1。之后，根据液体22的温度和上述液位真实值h2，预先获得的不同的液体的种类和温度下，液体22的密度与浓度的对应关系，获得与上述液位真实值h2对应的液体的浓度。
在一些可选的实施例中，不同的液体的种类和温度下，液体22的密度与浓度的对应关系可以以对照表的形式预先建立并存储在处理模块26中。该对应关系可以通过实验或现有实验数据获得。例如，图4为硫酸在不同的温度下的密度与浓度的对应关系表。如图4所示，以液体22为浓硫酸为例，在温度为50℃时，通过上述关系式
计算得到浓硫酸的密度真实值ρ1为1.21，则通过查询上述对应关系表可以得到与密度真实值ρ1对应的浓硫酸的浓度为32％。
在一些可选的实施例中，基于液体密度与温度的关系通常为线性关系，不同的液体的种类和温度下，液体22的密度与浓度的对应关系，还可以根据实验测得的数据，通过插值法获得不同的液体的种类和温度下，液体22的密度与浓度的函数关系。
在一些可选的实施例中，在对清洗槽21中的液体22的液位、浓度和密度进行测量的过程中，可以通过第一液位传感器23、第二液位传感器24和温度传感器25分别进行相应参数的实时检测，并将实时获取的数据向处理模块26发送。
作为另一个技术方案，请参阅图5，本发明实施例还提供一种液体参数测量方法，其采用本发明实施例提供的上述液体参数测量装置，检测半导体清洗设备的清洗槽中液体的液位和密度；以图3示出的液体参数测量装置为例，该液体参数测量方法包括；
S1、获取第一液位传感器23的第一探头端23a与液体22的液面A之间的第一距离h1，该第一液位传感器23的第一探头端23a位于清洗槽14的底部；
S2、获取第二探头端241所在位置与液面A之间的第二距离L1；第二液位传感器24的第二探头端241位于液面A上方；
S3、根据上述第二距离L1以及预先测定的第二探头端241与第一探头端23a之间的第三距离L，获得液体22的液位真实值；
S4、根据该液位真实值与第一距离h1，获得液体22的密度真实值。
在实际应用中，上述步骤S1、步骤S2和步骤S3可以同时执行，也可以按任意顺序执行，本发明实施例对此没有特别的限制。
在一些可选的实施例中，本发明实施例提供的液体参数测量方法还可以包括：
检测液体22的温度；
根据液体22的温度和密度真实值，以及预先获得的不同的液体的种类和温度下，液体的密度与浓度的对应关系，获得与密度真实值对应的液体22的浓度。
上述液体22的温度检测步骤与上述步骤S1、步骤S2和步骤S3可以同时执行，也可以按任意顺序执行，本发明实施例对此没有特别的限制。
综上所述，本发明实施例提供的液体参数测量装置和方法的技术方案，通过利用第二液位传感器24检测其所在位置与液面A之间的第二距离L1以及预先测定的第二探头端241与第一探头端23a之间的第三距离L，可以获得液体22的液位真实值，这与现有技术中利用鼓泡型液位传感器测量液位相比，可以避免因温度变化引起药液密度的改变，而导致测量液位存在偏差的问题；而且，可以根据液位真实值与第一距离，获得液体的密度真实值，这与现有技术中采用光谱分析方法检测液体的密度相比，可以避免因诸如浓硫酸及磷酸等的化学药液在测量管壁内形成结晶物质，而导致测量不准确等问题。因此，本发明的方案相比于现有技术可以提高测量清洗槽中的液体参数(例如液位和密度)的准确度，此外还可以降低设备成本。
作为另一个技术方案，本发明实施例还提供一种半导体清洗设备，包括清洗槽，以及本发明实施例提供的上述液体参数测量装置。
本发明实施例提供的半导体清洗设备，其通过采用本发明实施例提供的上述液体参数测量装置，既可以避免因温度变化引起药液密度的改变，而导致测量液位存在偏差的问题，又可以避免因诸如浓硫酸及磷酸等的化学药液在测量管壁内形成结晶物质，而导致测量不准确等问题，从而可以提高测量清洗槽中的液体的液位、浓度和密度的准确度，此外还可以降低设备成本。
作为另一个技术方案，请参阅图6，本发明实施例提供了一种电子设备500，该电子设备500包括：至少一个处理器501；至少一个存储器502；其中，存储器502存储有可被至少一个处理器501执行的一个或多个计算机程序，一个或多个计算机程序被至少一个处理器501执行，以使至少一个处理器501能够执行上述的液体参数测量方法。可选的，电子设备500还包括一个或多个I/O接口503，连接在处理器501与存储器502之间。
在一些可选的实施例中，存储器502还存储有关系数据，该关系数据包括预先获得的不同的所述液体的种类和温度下，所述液体的密度与浓度的对应关系。
本发明实施例还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其中，所述计算机程序在被处理器执行时实现上述的液体参数测量方法。计算机可读存储介质可以是易失性或非易失性计算机可读存储介质。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
Claims (15)
1.一种液体参数测量装置，用于检测半导体清洗设备的清洗槽中的液体参数，其特征在于，包括第一液位传感器、第二液位传感器和处理模块，其中，
所述第一液位传感器的第一探头端位于所述清洗槽的底部，用于检测所述第一探头端与液体的液面之间的第一距离，并向所述处理模块发送；
所述第二液位传感器的第二探头端位于所述液面上方，用于检测所述第二探头端所在位置与所述液面之间的第二距离，并向所述处理模块发送；
所述处理模块用于根据所述第二距离以及预先测定的所述第二探头端与所述第一探头端之间的第三距离，获得所述液体的液位真实值；根据所述液位真实值与所述第一距离，获得所述液体的密度真实值。
2.根据权利要求1所述的液体参数测量装置，其特征在于，所述液体参数测量装置还包括温度传感器，用于检测所述液体的温度，并向所述处理模块发送；
所述处理模块还用于根据所述液体的温度和所述密度真实值，以及预先获得的不同的所述液体的种类和温度下，所述液体的密度与浓度的对应关系，获得与所述密度真实值对应的所述液体的浓度。
3.根据权利要求1所述的液体参数测量装置，其特征在于，所述第二液位传感器为导向脉冲式液位传感器，所述导向脉冲式液位传感器的所述第二探头端用于向所述液面发送脉冲信号，并接收所述脉冲信号被所述液面反射回来的反射信号，以获得所述第二距离；
所述导向脉冲式液位传感器具有导向探针，所述导向探针的远离所述第二探头端的一端位于所述清洗槽的底部，所述导向探针用于引导所述脉冲信号的传播方向。
4.根据权利要求3所述的液体参数测量装置，其特征在于，所述导向探针的远离所述第二探头端的一端低于所述第一液位传感器的所述第一探头端。
5.根据权利要求1所述的液体参数测量装置，其特征在于，所述第一液位传感器为鼓泡型液位传感器，所述鼓泡型液位传感器用于通过检测所述液体在所述第一探头端处的压力值，来获得所述第一距离。
6.根据权利要求1-5中任意一项所述的液体参数测量装置，其特征在于，所述第三距离、所述第二距离和所述液位真实值满足下述关系式：
h2＝L-L1
其中，h2为所述液体的液位真实值；L为所述第三距离；L1为所述第二距离。
7.根据权利要求1-5中任意一项所述的液体参数测量装置，其特征在于，所述液位真实值、所述第一距离和所述密度真实值满足以下关系式：
其中，ρ1为所述液体的密度真实值；ρ2为预设的标定液体的密度值；h1为所述第一距离；h2为所述液体的液位真实值。
8.根据权利要求1-5中任意一项所述的液体参数测量装置，其特征在于，所述第三距离满足以下关系式：
L＝h10+L10
其中，L为所述第三距离；h10为预设的标定液体为水时的所述第一距离；L10为预设的标定液体为水时的所述第二距离。
9.根据权利要求1-5中任意一项所述的液体参数测量装置，其特征在于，所述处理模块包括信号链路单元、模数转换单元和计算单元，其中，
所述信号链路单元用于实现将所述第一液位传感器和第二液位传感器发送的模拟信号传输至所述模数转换单元；
所述模数转换单元用于将所述模拟信号转换为数字信号，并向所述计算单元发送；
所述计算单元用于对所述数字信号进行相应的处理和计算，以获得所述液体的所述液位真实值和所述密度真实值。
10.一种液体参数测量方法，用于检测半导体清洗设备的清洗槽中的液体参数；其特征在于，所述方法包括；
获取第一液位传感器的第一探头端与液体的液面之间的第一距离，所述第一液位传感器的第一探头端位于所述清洗槽的底部；
获取第二液位传感器的第二探头端所在位置与所述液面之间的第二距离，所述第二液位传感器的第二探头端位于所述液面上方；
根据所述第二距离以及预先测定的所述第二探头端与所述第一探头端之间的第三距离，获得所述液体的液位真实值；
根据所述液位真实值与所述第一距离，获得所述液体的密度真实值。
11.根据权利要求10所述的液体参数测量方法，其特征在于，所述方法还包括：
检测所述液体的温度；
根据所述液体的温度和所述密度真实值，以及预先获得的不同的所述液体的种类和温度下，所述液体的密度与浓度的对应关系，获得与所述密度真实值对应的所述液体的浓度。
12.一种半导体清洗设备，包括清洗槽，其特征在于，还包括权利要求1-9中任意一项所述的液体参数测量装置。
13.一种电子设备，其特征在于，至少一个处理器；以及
与所述至少一个处理器通信连接的存储器；其中，
所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的一个或多个计算机程序，一个或多个所述计算机程序被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器能够执行如权利要求10-11中任意一项所述的液体参数测量方法。
14.根据权利要求13所述的电子设备，其特征在于，所述存储器还存储有关系数据，所述关系数据包括预先获得的不同的所述液体的种类和温度下，所述液体的密度与浓度的对应关系。
15.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序在被处理器执行时实现如权利要求10-11中任意一项所述的液体参数测量方法。
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