CN115266650A - 一种分光光度计系统 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种分光光度计系统，属于激光技术领域，本发明的分光光度计系统包括：测试光源、激光调节器、指示光源、合束器和样品参数测试系统。其中，测试光源用于生成测试激光；激光调节器用于调节测试激光的输出功率和偏振方向；指示光源用于生成指示激光；合束器用于引导测试激光和指示激光合束出射；样品参数测试系统位于合束器的出光侧，样品参数测试系统包括样品调节机构和激光功率探测器，样品调节机构用于调节待测样品透射测试激光的位置，激光功率探测器用于检测测试激光经过样品调节机构后的输出功率。本发明的分光光度计系统，能够生成具有不同偏振态和功率密度的测试激光，从而获得不同待测样品在实际工况下的光学参数。
Description
技术领域
本发明涉及激光技术领域，具体涉及一种分光光度计系统。
背景技术
目前，光刻机等高精密光机设备中所使用的光学元件，需要极高质量以保证激光经过光学元件后能量的均匀性，这都对光学器件的面型和表面镀膜提出了极高的指标要求。其中，光学元件表面镀膜的质量会直接影响曝光成像能量的一致性，进而影响后续的工序刻蚀环节，因此测定每片光学元件的镀膜参数，是必不可少的一个生产环节。
光学元件镀膜指标主要涉及反射率和透射率。在光刻机上使用的光学元件，多数在高功率激光环境下使用，这种能量密度高，脉冲频次高的激光，对光学元件镀膜本身会产生一些微观的变化，比如膜层表面局部的不均匀，导致在高能量密度下的吸收不均匀，引起局部区域的升温，进一步导致反射率的下降等。当前常规的检测光学元件反射率的测试仪器的光源主要为低功率或固定功率以及固定偏振方向，无法模拟光学元件的使用工况，准确标定光学元件实际工作时的反射率指标。故而需要设计一种分光光度计系统，以解决上述问题。
发明内容
鉴于以上现有技术的缺点，本发明提供了一种分光光度计系统，用以解决现有技术中测试仪器仅能以低功率和固定偏振方向激光测试光学元件的镀膜参数，无法模拟获得光学元件在实际使用工况下光学参数的技术问题。
为实现上述目的及其它相关目的，本发明提供一种分光光度计系统，该分光光度计系统包括：测试光源、激光调节器、指示光源、合束器和样品参数测试系统。
其中，测试光源用于生成测试激光；所述激光调节器设置在所述测试光源的激光发射端一侧，所述激光调节器用于调节所述测试激光的输出功率和偏振方向；指示光源用于生成指示激光；合束器用于引导所述测试激光和指示激光合束出射；样品参数测试系统位于所述合束器的出光侧，所述样品参数测试系统包括样品调节机构和激光功率探测器，所述样品调节机构用于调节待测样品透射所述测试激光的位置，所述激光功率探测器用于检测所述测试激光经过所述样品调节机构后的输出功率。
在本发明一示例中，所述测试激光为不可见激光，所述指示激光为可见激光。
在本发明一示例中，所述分光光度计系统还包括控制器，所述控制器分别与所述激光调节器和样品参数测试系统相电连，所述控制器调节所述激光调节器和样品调节机构，并通过所述激光功率探测器获取所述待测样品不同位置处的光学参数。
在本发明一示例中，所述分光光度计系统还包括控制器，所述控制器分别与所述激光调节器和样品参数测试系统相电连，所述控制器按设定参数调节所述激光调节器和样品调节机构以自动对所述待测样品进行测试，并通过所述激光功率探测器获取所述待测样品不同位置处的光学参数。
在本发明一示例中，所述分光光度计系统还包括激光状态监测装置，所述激光状态监测装置设置在所述合束器和样品参数测试系统之间，所述激光状态监测装置用于监测所述测试激光和指示激光在同一传输光路上的指向偏差。
在本发明一示例中，所述控制器分别与所述激光状态监测装置和合束器相电连，所述控制器根据所述测试激光和指示激光的指向偏差，通过所述合束器调节所述测试激光和指示激光的指向，使所述测试激光和指示激光合束传输。
在本发明一示例中，所述激光状态监测装置包括至少一个光斑位置监测装置，所述光斑位置监测装置沿所述传输光路依次设置，所述光斑位置监测装置包括分束镜和摄像机，所述分束镜设置在所述传输光路上，所述摄像机正对于所述分束镜，所述摄像机用于拍摄记录所述测试激光和指示激光在所述分束镜上形成的光斑位置。
在本发明一示例中，所述光斑位置监测装置还在所述分束镜的反光面一侧依次设置聚焦镜和功率计，所述聚焦镜将所述分束镜部分反射的测试激光或指示激光聚焦至所述功率计处。
在本发明一示例中，所述激光调节器包括偏振转化器和布儒斯特窗组件，所述偏振转化器用于调节所述测试激光的偏振方向，所述布儒斯特窗组件通过驱使布儒斯特窗片转动来调节所述测试激光的输出功率。
在本发明一示例中，所述样品调节机构包括样品调节架和激光焦距调节器；所述样品调节架用于装载待测样品，并调节所述测试激光在所述待测样品上的透射位置；所述激光聚焦调节器用于将所述测试激光和指示激光聚焦至所述激光功率探测器处，并调节所述测试激光和指示激光在所述待测样品上的光斑大小。
在本发明一示例中，所述测试光源和指示光源的激光出射端各设置有扩束镜。
本发明中分光光度计系统，通过激光调节器获得具有不同偏振态和功率密度的测试激光，同时生成与测试激光合束出射的指示激光以配合样品调节机构调节样品透射测试激光的位置和光斑大小，实现对待测样品任意指定区域在不同参数激光下的光学性能测试，从而获得不同待测样品在实际工况下的光学参数。所以，本发明有效克服了现有技术中的一些实际问题从而有很高的利用价值和使用意义。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明一实施例中分光光度计系统的结构示意图；
图2为本发明一实施例中激光调节器的结构示意图；
图3为本发明一实施例中激光调节器中偏振转化器的结构示意图；
图4为本发明一实施例中激光调节器中布儒斯特窗组件的结构示意图；
图5为本发明一实施例中光斑位置监测装置的结构示意图；
图6为本发明一实施例中样品参数测试系统的结构示意图。
元件标号说明
100、测试光源；110、第一扩束镜；200、激光调节器；210、偏振转化器；211、半波片；212、第一旋转台；220、布儒斯特窗组件；221、布儒斯特窗片；222、第二旋转台；230、光陷阱；300、指示光源；310、第二扩束镜；400、合束器；410、第一合束镜组件；420、第二合束镜组件；500、样品参数测试系统；510、样品调节机构；511、激光焦距调节器；512、样品调节架；520、激光功率探测器；600、激光状态监测装置；610、光斑位置监测装置；611、分束镜；612、摄像机；613、聚焦镜；614、功率计；700、控制器；800、激光同轴检测器；900、激光指向调节器。
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其它优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。还应当理解，本发明实施例中使用的术语是为了描述特定的具体实施方案，而不是为了限制本发明的保护范围。下列实施例中未注明具体条件的试验方法，通常按照常规条件，或者按照各制造商所建议的条件。
须知，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本发明可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本发明可实施的范畴。
请参见图1至图6，本发明提供了一种分光光度计系统，用以解决现有技术中测试仪器仅能以低功率和固定偏振方向激光测试光学元件的镀膜参数，无法模拟获得光学元件在实际使用工况下光学参数的技术问题。
请参见图1，上述分光光度计系统包括测试光源100、激光调节器200、指示光源300、合束器400和样品参数测试系统500。
请参见图1，所述测试光源100生成用于测试待测样品光学性能的测试激光，测试光源100的激光发射端还设置有激光调节器200，所述激光调节器200可根据待测样品的测试需求调节测试激光的输出功率和偏振方向，使得测试激光按照设定的偏振方向和输出功率出射。所述指示光源300则用于生成指示激光，以为测试激光的传输过程提供指示。需要说明的是，所述测试光源100生成测试激光的类型可不受限定，所述测试光源100生成的测试激光可以为连续激光或脉冲激光，例如，在本发明一实施例中，所述测试光源100为CO2激光器，所述CO2激光器具备脉冲和连续两种出光模式。
请参见图1，所述合束器400设置在测试激光和指示激光的传输方向，合束器400用于引导测试激光和指示激光沿同一传输方向出射，从而将测试激光和指示激光沿传输光路同轴传输至待测样品上，使得指示激光在测试中为测试激光在待测样品上的测试位置提供指示。
请参见图1，所述样品参数测试系统500设置在合束器400的出光侧，样品参数测试系统500用于调节测试激光在待测样品表面的透射位置，并采集待测样品不同位置透射测试激光的输出功率，从而计算待测样品不同区域的光学参数，所述光学参数包括透射率和反射率。具体地，所述样品参数测试系统500包括样品调节机构510和激光功率探测器520，所述样品调节机构510和激光功率探测器520依次设置在合束器400的出光侧，所述样品调节机构510装载待测样品，样品调节机构510能够调节测试激光和指示激光透射待测样品的区域位置，并且还可通过改变测试激光和指示激光的聚焦位置，以调节测试激光在待测样品上透射的光斑大小，进而改变测试激光在待测样品表面的能量密度。而所述激光功率探测器520采集测试激光经过待测样品不同区域后的输出功率，并通过将测试激光透射待测样品不同区域的输出功率与未透射待测样品的输出功率进行对比，即可获得待测样品上各个区域在不同激光功率密度和偏振状态下的透射率和反射率，进而确定该待测样品是否符合指标要求。
其中，在本发明一实施例中，所述测试激光为不可见激光，所述测试激光的输出波长在不可见光波段范围内，例如，所述测试激光可以为红外激光、紫外激光或太赫兹激光；所述指示激光为可见激光，所述指示激光的输出波长在可见光波段范围内，以便于为人眼不能观察的测试激光提供指示作用，例如，所述指示激光可以为红光激光或绿光激光。
请参见图1，所述分光光度计系统还包括控制器700，所述控制器700分别与激光调节器200和样品参数测试系统500相电连，所述控制器700能够根据测试需求自动调节激光调节器200和样品调节机构510，以使用满足测试需求的测试激光对待测样品的不同区域进行光学性能测试，并且控制器700在测试过程中通过激光功率探测器520采集待测样品不同区域透射测试激光前后的输出功率，从而计算获得待测样品不同区域的光学参数。
在测试过程中，所述控制器700根据测试需求自动计算测试参数，并基于测试参数通过激光调节器200自动调节测试激光的偏振方向和输出功率，使得测试激光符合测试需求；而后控制器700基于指示激光的指示通过样品调节机构510调节测试激光透射待测样品的区域位置和光斑大小，从而以设定能量密度的测试激光对待测样品的指定区域进行测试；最后，控制器700在测试过程中通过激光功率探测器520实时记录测试激光透射待测样品不同指定区域前后的输出功率，并在测试完成后基于采集的输出功率自动输出测试报告，所述测试报告包括被测样品不同区域在测试激光不同偏振角度和功率密度下的透射率和反射率。
请参见图2至图4，在本发明一实施例中，所述激光调节器200包括偏振转化器210、布儒斯特窗组件220和光陷阱230。在激光调节器200中，所述偏振转化器210和布儒斯特窗组件220沿测试激光的出射方向依次设置，所述光陷阱230设置在布儒斯特窗组件220的反光面一侧。其中，所述偏振转化器210首先改变入射测试激光的偏振方向，而后所述布儒斯特窗组件220通过驱使第二旋转台222上的布儒斯特窗片221转动来改变测试激光经过布儒斯特窗片221的透射率和反射率，从而调节测试激光的输出功率。而设在布儒斯特窗片221反光面一侧的光陷阱230则用于吸收经布儒斯特窗片221反射的测试激光。
并且，所述偏振转化器210和布儒斯特窗组件220还与控制器700电连。在测试过程中，所述控制器700根据测试需求，通过控制偏振转化器210和布儒斯特窗组件220来调节测试激光的偏振方向和输出功率，以使测试激光的激光参数符合测试需求。
如图3所示，在本实施例中，所述偏振转化器210为半波片211组件；所述半波片211组件包括装载在第一旋转台212上的半波片211，所述第一旋转台212与控制器700相电连，所述控制器700通过第一旋转台212控制半波片211围绕自身光轴转动，改变半波片211的快轴和慢轴相对测试激光偏振方向的夹角，从而调制测试激光输出的偏振方向。如图3示例所示，由于测试激光在经过半波片211会受调制而发生相位翻转，从而改变测试激光透射后的偏振方向。例如，当测试激光以偏振方向P1入射至半波片211处时，测试激光受到半波片211的相位调制而使自身偏振方向P1在透过半波片211后逆时针转动角度2a变为偏振方向P2，其中，角度a为偏振方向P1和偏振方向P2相对半波片211快轴的夹角角度，偏振方向P1和偏振方向P2相对半波片211快轴对称。因此，由于当半波片211将测试激光的偏振方向调制为相对半波片211快轴的对称方向，故而当偏振转化器210调制测试激光偏振方向时可通过第一转动台转动半波片211，来改变测试激光偏振方向相对半波片211快轴和慢轴的夹角，从而改变测试激光偏振方向经半波片211调制后的转动角度，起到连续改变测试激光输出偏振方向的作用。
如图4所示，在本实施例中，所述布儒斯特窗组件220包括装载在第二旋转台222上的布儒斯特窗片221，所述第二旋转台222与控制器700相电连，所述控制器700控制第二旋转台222驱使布儒斯特窗片221围绕测试激光的出射方向转动，使得测试激光偏振方向与布儒斯特窗片221相对测试激光P偏方向之间的夹角发生变化，进而促使测试激光透过布儒斯特窗片221的透过率同时发生变化，以改变测试激光输出的总功率和峰值功率。
需要说明的是，布儒斯特窗片221的P偏方向为测试激光在布儒斯特窗片221入射面的平行方向，S偏方向为测试激光在在布儒斯特窗片221入射面的垂直方向，所述入射面为测试激光入射至布儒斯特窗片221上时激光入射方向和入射平面法线方向所在的平面。
请参见图1和图5，在本发明一实施例中，所述分光光度计系统还包括激光状态监测装置600，所述激光状态监测装置600设置在合束器400和样品参数测试系统500之间，所述激光状态监测装置600用于检测测试激光和指示激光经过合束器400合束后在同一传输光路上的指向偏差。
并且，所述控制器700还分别与激光状态监测装置600和合束器400相电连，所述控制器700在测试过程中通过激光状态监测装置600实时监控测试激光和指示激光在传输光路上的指向偏差，并通过合束器400自动调节测试激光和指示激光的指向，以驱使测试激光和指示激光在测试过程中合束传输。其中，控制器700根据激光状态监测装置600检测到的测试激光和指示激光在传输光路上的指向偏差，来改变合束器400反射测试激光和/或指示激光的反射镜面面向，从而调节测试激光和/或指示激光经过合束器400后反射至传输光路的指向，使得测试激光和指示激光在传输光路上合束传输。
请参见图1和图5，在本实施例中，所述激光状态监测装置600包括至少一个光斑位置监测装置610，至少一个光斑位置监测装置610沿传输光路依次设置，所述至少一个光斑位置检测装置610用于在传输光路上的不同位置上检测测试激光和被指示激光的光斑位置，从而确定测试激光和指示激光在传输光路上的指向偏差。并且，所述光斑位置监测装置610与控制器700相电连，所述光斑位置监测装置610将检测到的测试激光和指示激光的光斑位置信息上传至控制器700，以便于控制器700判断测试激光和被指示激光的同轴状态。
其中，所述光斑位置监测装置610包括分束镜611和摄像机612，所述分束镜611设置在传输光路上，所述摄像机612正对于分束镜611，所述摄像机612与控制器700相电连，所述摄像机612用于拍摄记录测试激光和指示激光在所述分束镜611上形成的光斑，并将记录的光斑信息上传至控制器700处，所述控制器700根据采集的测试激光和指示激光的光斑信息计算获得测试激光和指示激光的在传输光路上的指向偏差。并且，所述光斑位置监测装置610还在分束镜611的反光面一侧依次设置聚焦镜613和功率计614，所述分束镜611按设定比例将测试激光反射至聚焦镜613处，再由聚焦镜613聚焦至功率计614处，所述功率计614与控制器700相电连，并采集到测试激光的输出功率上传至控制器700，而控制器700则基于被分束镜611反射测试激光的输出功率和分束镜611的反射比例，计算获得测试激光在透射待测样品前的输出功率。
请参见图1，在本实施例中，所述合束器400包括第一合束镜组件410和第二合束镜组件420，所述第一合束镜组件410包括设置在第一镜架上的第一合束镜，所述第二合束镜组件420包括设置在第二镜架上的第二合束镜。所述第一合束镜组件410和第二合束镜组件420分别设置在测试激光和指示激光的出射光路上，所述第一合束镜组件410和第二合束镜组件420相互配合分别将测试激光和指示激光反射至同一传输光路上。
此外，所述合束器400与控制器700相电连，所述控制器700分别与第一镜架和第二镜架相电连，所述控制器700通过控制第一合束镜镜面相对测试激光的入射角度和第二合束镜镜面相对指示激光入射角度，以分别调节经过第一合束镜和第二合束镜反射的测试激光和指示激光的指向，使得测试激光和指示激光经合束器400合束后沿同一传输光路出射。
请参见图1，在本实施例中，所述测试光源100和指示光源300的激光出射端各设置有一个扩束镜。其中，所述测试光源100的激光出射端设置有第一扩束镜110，所述第一扩束镜110位于激光调节器200出光侧并与控制器700相电连，所述第一扩束镜110受控制器700控制对激光调节器200调制的测试激光光斑直径进行调节；所述指示光源300的激光出射端设置有第二扩束镜310，所述第二扩束镜310与控制器700相电连，所述第二扩束镜310受控制器700控制对指示激光进行扩束整形，以提高指示激光的指向稳定性。并且，所述控制器700可根据激光状态监测装置600在监测到的测试激光和指示激光的光斑，来通过第一扩束镜110和第二扩束镜310调节测试激光和指示激光的光斑直径，以使得测试激光的光斑尺寸达到测试需求，同时保证指示激光与测试激光的光斑尺寸保持一致。
请参见图1和图6，在本发明一实施例中，所述样品调节机构510包括样品调节架512和激光焦距调节器511，所述激光焦距调节器511和样品调节架512沿传输光路依次设置合束器400和激光功率探测器520之间。所述样品调节架512用于装载待测样品，并通过改变待测样品相对传输光路的位置来调节测试激光在待测样品上的透射位置；所述激光焦距调节器511位于样品调节架512朝向合束器400的一侧，所述激光焦距调节器511用于将测试激光和指示激光聚焦至激光功率探测器520处，并通过改变焦距调节测试激光和指示激光在待测样品上形成的光斑大小，来调整测试激光在待测样品表面的能量密度。
其中，所述控制器700与样品调节架512和激光焦距调节器511相电连，所述控制器700可根据测试需求，通过调节激光焦距调节器511和样品调节架512，以在待测样品的指定区域透射设定能量密度的测试激光，从而实现对待测样品的自动测试。
请参见图1，在本发明一实施例中，所述分光光度计系统还包括激光同轴检测器800，所述激光同轴检测器800设置在合束器400出光侧的传输光路上，所述激光同轴检测器800与控制器700相电连。所述激光同轴检测器800用于监控测试激光和指示激光在传输光路上的同轴性是否满足测试要求，并将检测结果反馈给控制器700。
请参见图1，在本发明一实施例中，所述分光光度计系统还包括激光指向调节器900，所述激光指向调节器900设置在合束器400出光侧的传输光路上，所述激光指向调节器900与控制器700相电连。所述激光指向调节器900受控制器700控制，通过内部的一组电动镜架，实时调节传输光路的指向，保证传输光路在设定的光路范围内。
此外，在本发明一实施例中，所述分光光度计系统还包括系统测试基台，所述系统测试基台用于安装分光光度计系统所需的各个设备组件，为整个系统提供一个低震动的测试操作基台。
本发明中分光光度计系统，通过激光调节器获得具有不同偏振态和功率密度的测试激光，同时生成与测试激光合束出射的指示激光以配合样品调节机构调节样品透射测试激光的位置和光斑大小，实现对待测样品任意指定区域在不同参数激光下的光学性能测试，从而获得不同待测样品在实际工况下的光学参数。所以，本发明有效克服了现有技术中的一些实际问题从而有很高的利用价值和使用意义。
上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。
Claims (10)
1.一种分光光度计系统，其特征在于，包括：
测试光源，其用于生成测试激光；
激光调节器，其设置在所述测试光源的激光发射端一侧，所述激光调节器用于调节所述测试激光的输出功率和偏振方向；
指示光源，其用于生成指示激光；
合束器，其用于引导所述测试激光和指示激光合束出射；
样品参数测试系统，其位于所述合束器的出光侧，所述样品参数测试系统包括样品调节机构和激光功率探测器，所述样品调节机构用于调节待测样品透射所述测试激光的位置，所述激光功率探测器用于检测所述测试激光经过所述样品调节机构后的输出功率。
2.根据权利要求1所述分光光度计系统，其特征在于，所述测试激光为不可见激光，所述指示激光为可见激光。
3.根据权利要求1所述分光光度计系统，其特征在于，所述分光光度计系统还包括控制器，所述控制器分别与所述激光调节器和样品参数测试系统相电连，所述控制器按设定参数调节所述激光调节器和样品调节机构以自动对所述待测样品进行测试，并通过所述激光功率探测器获取所述待测样品不同位置处的光学参数。
4.根据权利要求3所述分光光度计系统，其特征在于，所述分光光度计系统还包括激光状态监测装置，所述激光状态监测装置设置在所述合束器和样品参数测试系统之间，所述激光状态监测装置用于监测所述测试激光和指示激光在同一传输光路上的指向偏差。
5.根据权利要求4所述分光光度计系统，其特征在于，所述控制器分别与所述激光状态监测装置和合束器相电连，所述控制器根据所述测试激光和指示激光的指向偏差，通过所述合束器调节所述测试激光和指示激光的指向，使所述测试激光和指示激光合束传输。
6.根据权利要求4所述分光光度计系统，其特征在于，所述激光状态监测装置包括至少一个光斑位置监测装置，所述光斑位置监测装置沿所述传输光路依次设置，所述光斑位置监测装置包括分束镜和摄像机，所述分束镜设置在所述传输光路上，所述摄像机正对于所述分束镜，所述摄像机用于拍摄记录所述测试激光和指示激光在所述分束镜上形成的光斑位置。
7.根据权利要求6所述分光光度计系统，其特征在于，所述光斑位置监测装置还在所述分束镜的反光面一侧依次设置聚焦镜和功率计，所述聚焦镜将所述分束镜部分反射的测试激光或指示激光聚焦至所述功率计处。
8.根据权利要求1所述分光光度计系统，其特征在于，所述激光调节器包括偏振转化器和布儒斯特窗组件，所述偏振转化器用于调节所述测试激光的偏振方向，所述布儒斯特窗组件通过驱使布儒斯特窗片转动来调节所述测试激光的输出功率。
9.根据权利要求1所述分光光度计系统，其特征在于，所述样品调节机构包括样品调节架和激光焦距调节器；所述样品调节架用于装载待测样品，并调节所述测试激光在所述待测样品上的透射位置；所述激光聚焦调节器用于将所述测试激光和指示激光聚焦至所述激光功率探测器处，并调节所述测试激光和指示激光在所述待测样品上的光斑大小。
10.根据权利要求1所述分光光度计系统，其特征在于，所述测试光源和指示光源的激光出射端各设置有扩束镜。
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