CN115061437A - 工艺监控方法、装置、存储介质和电子设备 - Google Patents

Abstract

本公开提供了一种工艺监控方法、装置、存储介质和电子设备，涉及半导体技术领域。该工艺监控方法包括：获取待更新的第一脚本的脚本更新信息；根据所述脚本更新信息与当前生产工艺中第二脚本的执行信息确定所述当前生产工艺的脚本执行状态；若所述脚本执行状态为执行报错，则生成针对所述脚本更新信息的报错信息，并将所述报错信息发送至管理终端。本公开提供的一种工艺监控方法，解决了目前半导体生产工艺的稳定性较弱的技术问题，达到了提高生产工艺稳定性的技术效果。

Description

工艺监控方法、装置、存储介质和电子设备

技术领域

本公开涉及半导体技术领域，尤其涉及一种工艺监控方法、装置、存储介质和电子设备。

背景技术

半导体生产工艺流程复杂且产量庞大，为了提高工艺生产的效率，生产工艺中的大多数流程都会通过开发一些脚本来辅助完成。

随着生产工艺的调整在后续可能会对各脚本进行更新，例如新增一些脚本或者对现有的脚本内容进行修改等。各脚本之间可能会存在共存关系，例如不同脚本作用于同一工艺节点，一旦作用于同一工艺节点的若干个脚本之间互相影响，便很容易导致该工艺节点的执行出错，从而影响整个工艺的正常进行。

因此，目前半导体生产工艺的稳定性较弱。

发明内容

本公开提供了一种工艺监控方法、装置、存储介质和电子设备，进而提高半导体生产工艺的稳定性。

第一方面，本公开一个实施例提供了一种工艺监控方法，包括：

获取待更新的第一脚本的脚本更新信息；

根据脚本更新信息与当前生产工艺中第二脚本的执行信息确定当前生产工艺的脚本执行状态；

若脚本执行状态为执行报错，则生成针对脚本更新信息的报错信息，并将报错信息发送至管理终端。

在本公开一个可选实施例中，根据脚本更新信息确定第一脚本在当前生产工艺中执行时对应的若干个第一工艺节点；

根据执行信息确定第二脚本在当前生产工艺中执行时对应的若干个第二工艺节点；

根据若干个第一工艺节点与若干个第二工艺节点在当前生产工艺上是否存在重合节点，确定当前生产工艺的脚本执行状态。

在本公开一个可选实施例中，根据若干个第一工艺节点与若干个第二工艺节点在当前生产工艺上是否存在重合节点，确定当前生产工艺的脚本执行状态，包括：

若若干个第一工艺节点与若干个第二工艺节点在当前生产工艺上存在至少一个重合节点，则将当前生产工艺的脚本执行状态确定为执行报错。

在本公开一个可选实施例中，若若干个第一工艺节点与若干个第二工艺节点在当前生产工艺上存在至少一个重合节点，则将当前生产工艺的脚本执行状态确定为执行报错，包括：

若若干个第一工艺节点与若干个第二工艺节点在当前生产工艺上存在至少一个重合节点，则基于第一脚本的脚本更新信息、第二脚本的执行信息与预先配置的脚本执行模型进行脚本执行的模拟，得到模拟结果；

根据模拟结果确定当前生产工艺的脚本执行状态是否为执行报错。

在本公开一个可选实施例中，基于第一脚本的脚本更新信息、第二脚本的执行信息与预先配置的脚本执行模型进行脚本执行的模拟，得到模拟结果，包括：

对脚本更新信息进行解析，得到第一脚本的第一执行目标；

对执行信息进行解析，得到第二脚本的第二执行目标；

将第一执行目标与第二执行目标输入至预先配置的脚本执行模型，得到模拟结果。

在本公开一个可选实施例中，根据模拟结果确定当前生产工艺的脚本执行状态是否为执行报错，包括：

将模拟结果与预先配置的报错结果进行比对，以确定当前生产工艺的脚本执行状态是否为执行报错。

在本公开一个可选实施例中，根据脚本更新信息确定第一脚本在当前生产工艺中执行时对应的若干个第一工艺节点，包括：

根据脚本更新信息从预先配置的第一脚本数据库中查询，得到与脚本更新信息对应的若干个第一工艺节点。

在本公开一个可选实施例中，根据若干个第一工艺节点与若干个第二工艺节点在当前生产工艺上是否存在重合节点，确定当前生产工艺的脚本执行状态，包括：

从预先配置的第二脚本数据库中查询与各第二工艺节点对应的节点状态标识；

根据节点状态标识为执行状态的第二工艺节点与若干个第一工艺节点在当前生产工艺上是否存在重合节点，确定当前生产工艺的脚本执行状态。

在本公开一个可选实施例中，根据若干个第一工艺节点与若干个第二工艺节点在当前生产工艺上是否存在重合节点，确定当前生产工艺的脚本执行状态，包括：

若若干个第一工艺节点与若干个第二工艺节点在当前生产工艺上无重合节点，则将当前生产工艺的脚本执行状态确定为执行成功。

在本公开一个可选实施例中，该工艺监控方法还包括：

若脚本执行状态为执行报错，则生成一示警弹窗，并显示于对应的用户界面。

在本公开一个可选实施例中，第二脚本的执行优先级高于第一脚本。

在本公开一个可选实施例中，获取待更新的第一脚本的脚本更新信息，包括：

获取待新增的第一脚本的新增脚本信息；和/或，

获取针对当前生产工艺中第一脚本的脚本更新信息。

第二方面，本公开一个实施例提供了一种工艺监控装置，该装置包括：

获取模块，用于获取待更新的第一脚本的脚本更新信息；

确定模块，用于根据脚本更新信息与当前生产工艺中第二脚本的执行信息确定当前生产工艺的脚本执行状态；

生成模块，用于若脚本执行状态为执行报错，则生成针对脚本更新信息的报错信息，并将报错信息发送至管理终端。

第三方面，本公开一个实施例提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现如上的方法。

第四方面，本公开一个实施例提供了一种电子设备，包括：处理器；以及存储器，用于存储处理器的可执行指令；其中，处理器配置为经由执行可执行指令来执行如上的方法。

本公开的技术方案具有以下有益效果：

上述工艺监控方法先获取待更新的第一脚本的脚本更新信息，然后根据脚本更新信息与当前生产工艺中第二脚本的执行信息进行模拟等以确定当前生产工艺的脚本执行状态，最后在脚本执行状态为执行报错的情况下生成一针对脚本更新信息的报错信息，并将报错信息发送至管理终端，以提醒对应的工作人员可以针对该第一脚本进行及时处理，以保障整个工艺可以稳定的运行，从而解决了目前半导体生产工艺的稳定性较弱的技术问题，达到了提高生产工艺运行稳定性的技术效果。同时，还可以避免直接线下试运行引起的生产工艺出错，进而降低实际生产成本。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施方式，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1示出本示例性实施方式中一种工艺监控方法的应用场景示意图；

图2示出本示例性实施方式中一种工艺监控方法中脚本执行路线图；

图3示出本示例性实施方式中一种工艺监控方法中脚本执行路线图；

图4示出本示例性实施方式中一种工艺监控方法的流程图；

图5示出本示例性实施方式中一种工艺监控方法的流程图；

图6示出本示例性实施方式中一种工艺监控方法的流程图；

图7示出本示例性实施方式中一种工艺监控方法的流程图；

图8示出本示例性实施方式中一种工艺监控方法的流程图；

图9示出本示例性实施方式中一种工艺监控装置结构示意图；

图10示出本示例性实施方式中一种电子设备的结构示意图。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例性实施方式。然而，示例性实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施方式使得本公开将更加全面和完整，并将示例性实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施方式的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而省略特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、装置、步骤等。在其它情况下，不详细示出或描述公知技术方案以避免喧宾夺主而使得本公开的各方面变得模糊。

此外，附图仅为本公开的示意性图解，并非一定是按比例绘制。图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。附图中所示的一些方框图是功能实体，不一定必须与物理或逻辑上独立的实体相对应。可以采用软件形式来实现这些功能实体，或在一个或多个硬件模块或集成电路中实现这些功能实体，或在不同网络和/或处理器装置和/或微控制器装置中实现这些功能实体。

附图中所示的流程图仅是示例性说明，不是必须包括所有的步骤。例如，有的步骤还可以分解，而有的步骤可以合并或部分合并，因此实际执行的顺序有可能根据实际情况改变。

相关技术中，半导体生产工艺流程复杂且产量庞大，为了提高工艺生产的效率，生产工艺中的大多数流程都会通过开发一些脚本来辅助完成。随着生产工艺的调整在后续可能会对各脚本进行更新，例如新增一些脚本或者对现有的脚本内容进行修改等。各脚本之间可能会存在共存关系，例如不同脚本作用于同一工艺节点，一旦作用于同一工艺节点的若干个脚本之间互相影响，便很容易导致该工艺节点的执行出错，从而影响整个工艺的正常进行。因此，目前半导体生产工艺的稳定性较弱。

鉴于上述问题，本公开实施例提供了一种工艺监控方法，以提高半导体生产工艺的稳定性。以下对本公开实施例提供的工艺监控方法的应用环境作简单介绍：

请参见图1，本公开实施例提供的工艺监控方法应用于生产工艺控制系统10，该生产工艺控制系统10的硬件设备至少包括：若干个终端设备110与服务终端120，该生产工艺控制系统10中配置的软件系统至少包括MM(Material Management，物料管理)系统与SM(Specification Management，标准管理)系统，若干个终端设备110作为MM系统与SM系统的负载节点，工作人员通过对应的终端设备110输入脚本文件，将脚本上线至MM系统或SM系统等对应系统以执行对应的职能。当然，各终端设备110还可以执行其他例如对生产工艺过程进行监控调节等其他功能，本公开实施例不作具体限定。需要解释的是，MM系统与SM系统的使用人群不同，对应的脚本新增与脚本变更等操作均是在各自对应的终端设备110进行操作。MM系统主要用于生产部门在实际管理中进行物料等的管理，一般采用If then else脚本(一种逻辑判断语句类型脚本，图1中的第二脚本)进行控制执行，无需复杂的审核流程，灵活性强，逻辑修改时效性高。SM系统主要用于工艺部门对各工艺节点的管理控制，一般采用Script脚本(另一种逻辑判断语句类型脚本，图1中的第一脚本)进行控制执行，可以对较为复杂的流程进行逻辑判断处理。

一套生产工艺一般具有一条固定的生产路径，该生产路径中包含设定的不同生产节点，也就是在不同的站点进行对应的工艺处理。例如请参见图2，一条生产工艺包括工艺节点1-8，其中第一脚本依次作用的工艺节点为节点1，节点2，节点5，节点6，节点7；第二脚本依次作用的工艺节点为节点1，节点2，节点6，节点7，节点8，那么可能会存在第一脚本与第二脚本在同一时间共同作用于节点1，节点2，节点6，节点7，这便容易增加这四个工艺节点在实际生产执行中的风险。进一步的，若第一脚本为Script脚本，第二脚本为If thenelse脚本，If then else脚本的执行优先级高于Script脚本，也就是说，会优先执行完Ifthen else脚本对应的节点1，节点2，节点6，节点7，节点8，再执行Script脚本。但是在执行完If then else脚本后系统已经跳转至节点8，无法再重新返回节点1-节点7，导致Script脚本无法正常执行。

请继续参见图3，若一个节点中同一个晶圆被累计作用的次数上限为10次，第一脚本需要在节点2中持续作用5次，第二脚本需要在节点2中持续作用10次：第一种情况，若第一脚本与第二脚本同时作用于第二阶段，一共作用15次，超过了节点2的作用次数上限，很容易导致节点2中的晶圆被摧毁；第二种情况，受作用次数上限约束，若第一脚本先在节点2作用完5次，那么第二脚本在节点2上只能再作用5次，这便会导致第二脚本停留在节点2，无法正常向前推进。

此外，若第二脚本为非跳站操作脚本，也就是持续性作用于某一固定工艺节点，那么新增的第一脚本在第二脚本完全结束之前便无法开始执行，即导致第一脚本无法正常执行。下面以上述服务终端为执行主体，将该工艺监控方法应用于上述的服务终端对当前生产工艺进行监控为例进行举例说明。请参见图4，本公开实施例提供的工艺监控方法包括如下步骤401-步骤403：

步骤401、服务终端获取待更新的第一脚本的脚本更新信息。

该第一脚本可为当前生产工艺中已经存在，且正在执行的脚本，对应的脚本更新信息为针对该第一脚本的一些例如版本升级、增加或删减部分功能等信息；该第一脚本也可以为当前生产工艺中没有需要新增的一个脚本，对应的该脚本更新信息是指该第一脚本的源文件，以及源文件运行环境的配置参数等。本公开实施例对该第一脚本，以及第一脚本对应的脚本更新信息的具体内容与形式等均不作任何限定，可根据实际情况具体配置。开发人员在自己的用户终端通过填写数据表、发送数据包或者其他形式将该脚本更新信息上传至服务终端，服务终端即可得到该脚本更新信息，同时也就完成了该脚本更新信息在MM系统或者SM系统的上传。

步骤402、服务终端根据脚本更新信息与当前生产工艺中第二脚本的执行信息确定当前生产工艺的脚本执行状态。

第二脚本是指在当前生产工艺中已有的或者正在运行的脚本，该第二脚本可以与第一脚本的类型相同，例如可以均为Script脚本，本公开实施例基于上述步骤401中的脚本更新信息对该正在运行的Script脚本进行更新；该第二脚本与第一脚本的类型也可以不同，例如第二脚本为If then else脚本，第一脚本为Script脚本，在当前生产工艺中新增Script脚本。执行信息是指第二脚本在当前生产工艺中的执行参数，例如运行工艺节点，在各工艺节点中的作用次数、作用时间等，本实施例不作具体限定。脚本执行状态是指在当前生产工艺中，第一脚本、第二脚本与其他脚本共同作用的综合状态结果，用于表征当前生产工艺的执行状态，一般可以包括执行成功与执行出错两种情况，当然还可以针对每种情况具体划分不同的等级，以更精确的确定当前生产工艺的脚本执行状态，在此不作具体限定。需要解释的是，确定当前生产工艺的脚本执行状态是在服务终端内部进行的，而非在实际生产线中进行实际运行结果，即本公开实施例是通过在服务终端中进行预先模拟得到的脚本执行状态。

步骤403、若脚本执行状态为执行报错，服务终端则生成针对脚本更新信息的报错信息，并将报错信息发送至管理终端。

一旦脚本执行状态为执行报错，那就意味着由于第一脚本的更新可能会严重影响当前生产工艺的正常运行，因此服务终端生成针对该脚本更新信息的报错信息，并发送至管理终端，以提醒对应的工作人员可以及时知晓并采取对应措施。例如撤销对第一脚本的更新，或者对该第一脚本进行修改等，以保障当前生产工艺的正常运行。

本公开实施例提供的工艺监控方法先获取待更新的第一脚本的脚本更新信息，然后根据脚本更新信息与当前生产工艺中第二脚本的执行信息进行模拟等以确定当前生产工艺的脚本执行状态，最后在脚本执行状态为执行报错的情况下生成一针对脚本更新信息的报错信息，并将报错信息发送至管理终端，以提醒对应的工作人员可以针对该第一脚本进行及时处理，以保障整个工艺可以稳定的运行，从而解决了目前半导体生产工艺的稳定性较弱的技术问题，达到了提高生产工艺运行稳定性的技术效果。同时，还可以避免直接线下试运行引起的生产工艺出错，进而降低实际生产成本。

请参见图5，在本公开一个可选实施例中，上述步骤402、服务终端根据脚本更新信息与当前生产工艺中第二脚本的执行信息确定当前生产工艺的脚本执行状态，包括如下步骤501-步骤503：

步骤501、服务终端根据脚本更新信息确定第一脚本在当前生产工艺中执行时对应的若干个第一工艺节点。

不同脚本的作用节点不同，例如该脚本更新信息为控制抛光的脚本信息，那么其对应的第一工艺节点可能包括：一级清洗、抛光液浸泡、刷片、二级清洗等第一工艺节点。工作人员可以预先构建脚本与工艺节点的对应关系表，并将该对应关系表存储于服务终端或者对应的终端设备，以供服务终端可以基于脚本更新信息或脚本标识等及时查询得到对应的工艺节点。

步骤502、服务终端根据执行信息确定第二脚本在当前生产工艺中执行时对应的若干个第二工艺节点。

例如第二脚本为控制离子注入的脚本，那么其对应的工艺节点包括：离子注入、去胶、一级清洗等第二工艺节点。

步骤503、服务终端根据若干个第一工艺节点与若干个第二工艺节点在当前生产工艺上是否存在重合节点，确定当前生产工艺的脚本执行状态。

例如，第一工艺节点与第二工艺节点中无任何一个重合节点，则将当前生产工艺的脚本执行状态确定为安全状态；第一工艺节点与第二工艺节点中有一个重合节点，则将当前生产工艺的脚本执行状态确定为一级风险；第一工艺节点与第二工艺节点中有两个或三个重合节点，则将当前生产工艺的脚本执行状态确定为二级风险；以此类推，根据重合节点数量确定当前生产工艺的脚本执行状态具体等级。

本公开实施例先分别确定第一脚本与第二脚本在当前生产工艺中执行时对应的若干个第一工艺节点与若干个第二工艺节点，然后通过比对第一工艺节点与第二工艺节点是否存在重合节点来确定当前生产工艺的脚本执行状态，无需复杂的算法，只需要简单的比对即可确定当前生产工艺的脚本执行状态，简单快捷，可以大大提高当前生产工艺的脚本执行状态的确定效率，进一步提高本公开实施例工艺监控的效率。

在本公开一个可选实施例中，上述步骤503、服务终端根据若干个第一工艺节点与若干个第二工艺节点在当前生产工艺上是否存在重合节点，确定当前生产工艺的脚本执行状态，包括如下两种情况：

第一种情况，若若干个第一工艺节点与若干个第二工艺节点在当前生产工艺上存在至少一个重合节点，服务终端则将当前生产工艺的脚本执行状态确定为执行报错。

如上示例中，第一脚本的第一工艺节点与第二脚本的第二工艺节点均包含有一级清洗的工艺节点，那也就意味着一旦对第一脚本进行更新后容易发生第一脚本与第二脚本在同一时间共同作用于一级清洗节点的情况，很容易导致工艺出错，服务终端则就将当前生产工艺的脚本执行状态确定为执行报错。

第二种情况，若若干个第一工艺节点与若干个第二工艺节点在当前生产工艺上无重合节点，服务终端则将当前生产工艺的脚本执行状态确定为执行成功。

相反的，若第一工艺节点与第二工艺节点在当前生产工艺无任何重合节点，也就是说第一脚本与第二脚本不存在冲突风险，服务终端则将当前生产工艺脚本的脚本执行状态确定为执行成功。

本公开根据第一工艺节点与若干个第二工艺节点在当前生产工艺上存在重合节点的数量将当前生产工艺的脚本执行状态划分为执行报错与执行成功两种情况，在保证监控目的的前提下节省计算资源从而提高当前生产工艺的脚本执行状态的确定效率，进一步提高本公开实施例工艺监控的效率。

请参见图6，在本公开一个可选实施例中，针对上述第一种情况，若若干个第一工艺节点与若干个第二工艺节点在当前生产工艺上存在至少一个重合节点，服务终端则将当前生产工艺的脚本执行状态确定为执行报错，包括如下步骤601-步骤602：

步骤601、若若干个第一工艺节点与若干个第二工艺节点在当前生产工艺上存在至少一个重合节点，服务终端则基于第一脚本的脚本更新信息、第二脚本的执行信息与预先配置的脚本执行模型进行脚本执行的模拟，得到模拟结果。

该脚本执行模型是工作人员根据实际生产工艺流程与工艺参数等拟合的虚拟生产工艺线，用于表征当前生产工艺的实际生产状态。服务终端在得到上述第一脚本的脚本更新信息与通过实际生产系统中得到的第二脚本的执行信息后，将该两种信息输入至脚本执行模型进行实际生产的线上模拟，便可得到若对第一脚本更新后当前生产工艺的实际生产状态，也就得到的实际生产过程的模拟结果。

步骤602、服务终端根据模拟结果确定当前生产工艺的脚本执行状态是否为执行报错。

该模拟结果可能为一组参数，服务终端可以根据得到的结果参数与预设参数进行比对，若得到的结果参数超出预设参数范围，则将当前生产工艺的脚本执行状态确定为执行报错；若得到的结果参数处于预设参数范围内，则将当前生产工艺的脚本执行状态确定为执行成功。

本公开实施例在得到第一脚本与第二脚本在当前生产工艺中执行时分别对应的第一工艺节点与第二工艺节点后，通过预先训练的脚本执行模型对针对第一脚本进行更新后的生产工艺状态进行线上模拟，以得到更新后的模拟结果，然后通过该模拟结果确定当前生产工艺的脚本执行状态是否为执行报错，无需大量复杂算法，效率更高，同时还可以避免实际试运行，大大节省生产成本。

请参见图7，在本公开一个可选实施例中，上述步骤601、服务终端基于第一脚本的脚本更新信息、第二脚本的执行信息与预先配置的脚本执行模型进行脚本执行的模拟，得到模拟结果，包括如下步骤701-步骤703：

步骤701、服务终端对脚本更新信息进行解析，得到第一脚本的第一执行目标。

该脚本更新信息中包含有第一脚本的脚本标识，服务终端可以通过该脚本标识快速的确定该第一脚本的执行功能，例如抛光、去离子、封装等，也就得到该第一脚本的第一执行目标。

步骤702、服务终端对执行信息进行解析，得到第二脚本的第二执行目标。

该执行信息是指第二脚本在当前生产工艺中执行的状态参数信息，该执行信息中至少包括第二脚本的脚本标识、执行工艺节点标识等中的至少一种，服务终端通过对该执行信息进行解析便可确定得到第二脚本的第二执行目标，例如抛光、去离子、封装等。

步骤703、服务终端将第一执行目标与第二执行目标输入至预先配置的脚本执行模型，得到模拟结果。

与上述示例不同的是，本公开实施例是需要将第一脚本的第一执行目的与第二执行目标的第二执行目标输入至预先配置的脚本执行模型即可，无需预先进行工艺节点的确定，该脚本执行模型通过各脚本的执行目的即可快速的确定各执行目的所对应的执行工艺节点，以及各工艺节点之间是否存在重合节点等的模拟结果。

本公开实施例先分别对脚本更新信息与执行信息进行解析，得到第一脚本的第一执行目标与第二脚本的第二执行目标，然后将第一执行目标与第二执行目标输入至预先配置的脚本执行模型，便可得到模拟结果，无需进行工艺节点的预先确定，节省了计算流程，进而提高本公开实施例提供的工艺监控效率。

在本公开一个可选实施例中，上述步骤602、服务终端根据模拟结果确定当前生产工艺的脚本执行状态是否为执行报错，包括如下步骤A：

步骤A、服务终端将模拟结果与预先配置的报错结果进行比对，以确定当前生产工艺的脚本执行状态是否为执行报错。

例如预先配置的报错结果为：节点1被第一脚本与第二脚本同时作用会出错；节点2的作用次数上限为10次；若脚本执行模型输出的模拟结果为：第一脚本与第二脚本均在5点20分作用于节点1，第一脚本作用于节点2共10次，第二脚本作用于节点2共5次，那么其累计作用次数15次超过节点2的作用次数上限为10次，故此，通过模拟结果与预先配置的报错结果进行比对，便可确定当前生产工艺的脚本执行状态是否为执行报错，确定方法简单快捷，可以大大提高本公开实施例提供的工艺监控效率。

在本公开一个可选实施例中，上述步骤501、服务终端根据脚本更新信息确定第一脚本在当前生产工艺中执行时对应的若干个第一工艺节点，包括如下步骤B：

步骤B、服务终端根据脚本更新信息从预先配置的第一脚本数据库中查询，得到与脚本更新信息对应的若干个第一工艺节点。

不同脚本对应有一个数据库，该数据库中存储有该脚本在实际生产工艺中所作用的工艺节点，该数据库由工作人员定期进行更新，服务终端在得到脚本更新信息后，可以基于该脚本更新信息从预先配置的第一脚本数据库中快速的查询得到与脚本更新信息对应的若干个第一工艺节点，简单快捷，可以大大提高本公开实施例提供的工艺监控效率。

请参见图8，在本公开一个可选实施例中，上述步骤503、服务终端根据若干个第一工艺节点与若干个第二工艺节点在当前生产工艺上是否存在重合节点，确定当前生产工艺的脚本执行状态，包括如下步骤801-步骤802：

步骤801、服务终端从预先配置的第二脚本数据库中查询与各第二工艺节点对应的节点状态标识。

第二脚本数据库中存储有第二脚本在实际生产中对应所要执行的各第二工艺节点，例如节点1，节点5，节点6，节点7，节点8。

该节点状态标识用于表征在当前工艺中或者当前时刻该第二脚本是否会作用于该工艺节点，例如可以用“flag”表征当前会作用于该节点，无“flag”则表征安全不会作用于该节点。例如上述各第二工艺节点以及对应的节点状态标识为：节点1(flag)，节点5，节点6(flag)，节点7(flag)，节点8(flag)。

步骤802、服务终端根据节点状态标识为执行状态的第二工艺节点与若干个第一工艺节点在当前生产工艺上是否存在重合节点，确定当前生产工艺的脚本执行状态。

例如上述示例中各第二工艺节点中的节点5无flag标识，也就是节点5的状态标识为不执行状态，其余的节点1，节点6，节点7，节点8的状态标识为执行状态，那么服务终端则基于如上步骤503同样的方式，对节点1，节点6，节点7，节点8与脚本更新信息对应的若干个第一工艺节点进行比对是否存在重合节点，从而确定当前生产工艺的脚本执行状态。

本公开实施例先从预先配置的第二脚本数据库中查询与各第二工艺节点对应的节点状态标识，然后根据节点状态标识为执行状态的第二工艺节点与若干个第一工艺节点在当前生产工艺上是否存在重合节点，确定当前生产工艺的脚本执行状态，更加贴近实际生产场景，可靠性更强。

在本公开一个可选实施例中，上述工艺监控方法还包括如下步骤C：

步骤C、若脚本执行状态为执行报错，服务终端则生成一示警弹窗，并显示于对应的用户界面。

该用户界面可以为服务终端的用户界面，也可以为提交脚本更新信息的工作人员的终端设备的用户界面。当脚本执行状态为执行报错的情况下，服务终端则生成一示警弹窗，并将该示警弹窗显示于对应的用户界面，以及时提醒工作人员该脚本更新信息对应的第一脚本一旦上线可能会为当前生产工艺带来风险，且提醒方式更为直观。该示警弹窗中可以包含有部分示警信息，例如文字，图像等，也可以为一个控件，工作人员通过点击该示警弹窗，以获取具体的示警信息，本实施例不作具体限定，可根据实际情况具体设置。

在本公开一个可选实施例中，上述第二脚本的执行优先级高于第一脚本。

优先级越高的脚本在实际生产中越先执行，在先执行脚本的执行结果可能会对在后执行脚本的执行影响，也就是当前生产工艺中的第二脚本的执行结果可能会对在后执行的第一脚本的正常执行有一定的影响。本公开实施例将当前生产工艺中的第二脚本的执行优先级配置为高于脚本更新信息对应的第一脚本，然后采用上述工艺监控方法对第一脚本上线后的风险进行评估，以确保第一脚本上线后的稳定运行，从而提高生产工艺运行的可靠性，进一步提高本公开实施例提供的工艺监控方法的可靠性。

在本公开一个可选实施例中，上述步骤401、服务终端获取待更新的第一脚本的脚本更新信息，包括如下步骤：

服务终端获取待新增的第一脚本的新增脚本信息；和/或，服务终端获取针对当前生产工艺中第一脚本的脚本更新信息。

第一种情况，该第一脚本也可以为当前生产工艺中没有需要新增的一个脚本，对应的该脚本更新信息是指该第一脚本的源文件，以及源文件运行环境的配置参数等。第二种情况，该第一脚本可为当前生产工艺中已经存在，且正在执行的脚本，对应的脚本更新信息为针对该第一脚本的一些例如版本升级、增加或删减部分功能等信息。第三种情况，第一脚本的数量为多个，同时执行第一脚本的新增与修改。

本公开实施例中的第一脚本可以为多种情况，例如新增的或者对现有脚本进行更新，可以大大提高本公开实施例工艺监控方法的监控维度。

为了实现上述工艺监控方法，本公开的一个实施例中提供一种工艺监控装置900。图9示出了工艺监控装置900的示意性架构图，包括：获取模块910、确定模块920与生成模块930，其中：

该获取模块910，用于获取待更新的第一脚本的脚本更新信息；

该确定模块920，用于根据脚本更新信息与当前生产工艺中第二脚本的执行信息确定当前生产工艺的脚本执行状态；

该生成模块930，用于若脚本执行状态为执行报错，则生成针对脚本更新信息的报错信息，并将报错信息发送至管理终端。

在一个可选的实施例中，该确定模块920具体用于，根据脚本更新信息确定第一脚本在当前生产工艺中执行时对应的若干个第一工艺节点；根据执行信息确定第二脚本在当前生产工艺中执行时对应的若干个第二工艺节点；根据若干个第一工艺节点与若干个第二工艺节点在当前生产工艺上是否存在重合节点，确定当前生产工艺的脚本执行状态。

在一个可选的实施例中，该确定模块920具体用于，若若干个第一工艺节点与若干个第二工艺节点在当前生产工艺上存在至少一个重合节点，则将当前生产工艺的脚本执行状态确定为执行报错。

在一个可选的实施例中，该确定模块920具体用于，若若干个第一工艺节点与若干个第二工艺节点在当前生产工艺上存在至少一个重合节点，则基于第一脚本的脚本更新信息、第二脚本的执行信息与预先配置的脚本执行模型进行脚本执行的模拟，得到模拟结果；根据模拟结果确定当前生产工艺的脚本执行状态是否为执行报错。

在一个可选的实施例中，该确定模块920具体用于，对脚本更新信息进行解析，得到第一脚本的第一执行目标；对执行信息进行解析，得到第二脚本的第二执行目标；将第一执行目标与第二执行目标输入至预先配置的脚本执行模型，得到模拟结果。

在一个可选的实施例中，该确定模块920具体用于，将模拟结果与预先配置的报错结果进行比对，以确定当前生产工艺的脚本执行状态是否为执行报错。

在一个可选的实施例中，该确定模块920具体用于，根据脚本更新信息从预先配置的第一脚本数据库中查询，得到与脚本更新信息对应的若干个第一工艺节点。

在一个可选的实施例中，该确定模块920具体用于，从预先配置的第二脚本数据库中查询与各第二工艺节点对应的节点状态标识；根据节点状态标识为执行状态的第二工艺节点与若干个第一工艺节点在当前生产工艺上是否存在重合节点，确定当前生产工艺的脚本执行状态。

在一个可选的实施例中，该确定模块920具体用于，若若干个第一工艺节点与若干个第二工艺节点在当前生产工艺上无重合节点，则将当前生产工艺的脚本执行状态确定为执行成功。

在一个可选的实施例中，该生成模块930还用于，若脚本执行状态为执行报错，则生成一示警弹窗，并显示于对应的用户界面。

在一个可选的实施例中，第二脚本的执行优先级高于第一脚本。

在一个可选的实施例中，该获取模块910具体用于，获取待新增的第一脚本的新增脚本信息；和/或，获取针对当前生产工艺中第一脚本的脚本更新信息。

本公开的示例性实施方式还提供了一种计算机可读存储介质，可以实现为一种程序产品的形式，其包括程序代码，当程序产品在电子设备上运行时，程序代码用于使电子设备执行本说明书上述“示例性方法”部分中描述的根据本公开各种示例性实施方式的步骤。在一种实施方式中，该程序产品可以实现为便携式紧凑盘只读存储器(CD-ROM)并包括程序代码，并可以在电子设备，例如个人电脑上运行。然而，本公开的程序产品不限于此，在本文件中，可读存储介质可以是任何包含或存储程序的有形介质，该程序可以被指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用。

程序产品可以采用一个或多个可读介质的任意组合。可读介质可以是可读信号介质或者可读存储介质。可读存储介质例如可以为但不限于电、磁、光、电磁、红外线、或半导体的系统、装置或器件，或者任意以上的组合。可读存储介质的更具体的例子(非穷举的列表)包括：具有一个或多个导线的电连接、便携式盘、硬盘、随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、可擦式可编程只读存储器(EPROM或闪存)、光纤、便携式紧凑盘只读存储器(CD-ROM)、光存储器件、磁存储器件、或者上述的任意合适的组合。

计算机可读信号介质可以包括在基带中或者作为载波一部分传播的数据信号，其中承载了可读程序代码。这种传播的数据信号可以采用多种形式，包括但不限于电磁信号、光信号或上述的任意合适的组合。可读信号介质还可以是可读存储介质以外的任何可读介质，该可读介质可以发送、传播或者传输用于由指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用的程序。

可读介质上包含的程序代码可以用任何适当的介质传输，包括但不限于无线、有线、光缆、RF等等，或者上述的任意合适的组合。

可以以一种或多种程序设计语言的任意组合来编写用于执行本公开操作的程序代码，程序设计语言包括面向对象的程序设计语言—诸如Java、C++等，还包括常规的过程式程序设计语言—诸如“C”语言或类似的程序设计语言。程序代码可以完全地在用户计算设备上执行、部分地在用户设备上执行、作为一个独立的软件包执行、部分在用户计算设备上部分在远程计算设备上执行、或者完全在远程计算设备或服务器上执行。在涉及远程计算设备的情形中，远程计算设备可以通过任意种类的网络，包括局域网(LAN)或广域网(WAN)，连接到用户计算设备，或者，可以连接到外部计算设备(例如利用因特网服务提供商来通过因特网连接)。在本公开实施例中，计算机可读存储介质中存储的程序代码被执行时可以实现如上工艺监控方法中的任一步骤。

请参见图10，本公开的示例性实施方式还提供了一种电子设备1000，可以是信息平台的后台服务器。下面参考图10对该电子设备1000进行说明。应当理解，图10显示的电子设备1000仅仅是一个示例，不应对本公开实施方式的功能和使用范围带来任何限制。

如图10所示，电子设备1000以通用计算设备的形式表现。电子设备1000的组件可以包括但不限于：至少一个处理单元1010、至少一个存储单元1020、连接不同系统组件(包括存储单元1020和处理单元1010)的总线1030。

其中，存储单元存储有程序代码，程序代码可以被处理单元1010执行，使得处理单元1010执行本说明书上述“示例性方法”部分中描述的根据本发明各种示例性实施方式的步骤。例如，处理单元1010可以执行如图2所示的方法步骤等。

存储单元1020可以包括易失性存储单元，例如随机存取存储单元(RAM)1021和/或高速缓存存储单元1022，还可以进一步包括只读存储单元(ROM)1023。

存储单元1020还可以包括具有一组(至少一个)程序模块1025的程序/实用工具1024，这样的程序模块1025包括但不限于：操作系统、一个或者多个应用程序、其它程序模块以及程序数据，这些示例中的每一个或某种组合中可能包括网络环境的实现。

总线1030可以包括数据总线、地址总线和控制总线。

电子设备1000也可以与一个或多个外部设备2000(例如键盘、指向设备、蓝牙设备等)通信，这种通信可以通过输入/输出(I/O)接口1040进行。电子设备1000还可以通过网络适配器1050与一个或者多个网络(例如局域网(LAN)，广域网(WAN)和/或公共网络，例如因特网)通信。如图所示，网络适配器1050通过总线1030与电子设备1000的其它模块通信。应当明白，尽管图中未示出，可以结合电子设备1000使用其它硬件和/或软件模块，包括但不限于：微代码、设备驱动器、冗余处理单元、外部磁盘驱动阵列、RAID系统、磁带驱动器以及数据备份存储系统等。

在本公开实施例中，电子设备中存储的程序代码被执行时可以实现如上工艺监控方法中的任一步骤。

应当注意，尽管在上文详细描述中提及了用于动作执行的设备的若干模块或者单元，但是这种划分并非强制性的。实际上，根据本公开的示例性实施方式，上文描述的两个或更多模块或者单元的特征和功能可以在一个模块或者单元中具体化。反之，上文描述的一个模块或者单元的特征和功能可以进一步划分为由多个模块或者单元来具体化。

所属技术领域的技术人员能够理解，本公开的各个方面可以实现为系统、方法或程序产品。因此，本公开的各个方面可以具体实现为以下形式，即：完全的硬件实施方式、完全的软件实施方式(包括固件、微代码等)，或硬件和软件方面结合的实施方式，这里可以统称为“电路”、“模块”或“系统”。本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本公开的其他实施方式。本公开旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施方式仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由权利要求指出。

应当理解的是，本公开并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本公开的范围仅由所附的权利要求来限定。

Claims (15)

1.一种工艺监控方法，其特征在于，包括：

获取待更新的第一脚本的脚本更新信息；

根据所述脚本更新信息与当前生产工艺中第二脚本的执行信息确定所述当前生产工艺的脚本执行状态；

若所述脚本执行状态为执行报错，则生成针对所述脚本更新信息的报错信息，并将所述报错信息发送至管理终端。

2.根据权利要求1所述的工艺监控方法，其特征在于，所述根据所述脚本更新信息与当前生产工艺中第二脚本的执行信息确定所述当前生产工艺的脚本执行状态，包括：

根据所述脚本更新信息确定所述第一脚本在所述当前生产工艺中执行时对应的若干个第一工艺节点；

根据所述执行信息确定所述第二脚本在所述当前生产工艺中执行时对应的若干个第二工艺节点；

根据所述若干个第一工艺节点与所述若干个第二工艺节点在所述当前生产工艺上是否存在重合节点，确定所述当前生产工艺的脚本执行状态。

3.根据权利要求2所述的工艺监控方法，其特征在于，所述根据所述若干个第一工艺节点与所述若干个第二工艺节点在所述当前生产工艺上是否存在重合节点，确定所述当前生产工艺的脚本执行状态，包括：

若所述若干个第一工艺节点与所述若干个第二工艺节点在所述当前生产工艺上存在至少一个重合节点，则将所述当前生产工艺的所述脚本执行状态确定为所述执行报错。

4.根据权利要求3所述的工艺监控方法，其特征在于，所述若所述若干个第一工艺节点与所述若干个第二工艺节点在所述当前生产工艺上存在至少一个重合节点，则将所述当前生产工艺的所述脚本执行状态确定为所述执行报错，包括：

若所述若干个第一工艺节点与所述若干个第二工艺节点在所述当前生产工艺上存在至少一个重合节点，则基于所述第一脚本的所述脚本更新信息、所述第二脚本的所述执行信息与预先配置的脚本执行模型进行脚本执行的模拟，得到模拟结果；

根据所述模拟结果确定所述当前生产工艺的所述脚本执行状态是否为所述执行报错。

5.根据权利要求4所述的工艺监控方法，其特征在于，所述基于所述第一脚本的所述脚本更新信息、所述第二脚本的所述执行信息与预先配置的脚本执行模型进行脚本执行的模拟，得到模拟结果，包括：

对所述脚本更新信息进行解析，得到所述第一脚本的第一执行目标；

对所述执行信息进行解析，得到所述第二脚本的第二执行目标；

将所述第一执行目标与所述第二执行目标输入至所述预先配置的脚本执行模型，得到所述模拟结果。

6.根据权利要求4所述的工艺监控方法，其特征在于，所述根据所述模拟结果确定所述当前生产工艺的所述脚本执行状态是否为所述执行报错，包括：

将所述模拟结果与预先配置的报错结果进行比对，以确定所述当前生产工艺的所述脚本执行状态是否为所述执行报错。

7.根据权利要求2所述的工艺监控方法，其特征在于，所述根据所述脚本更新信息确定所述第一脚本在所述当前生产工艺中执行时对应的若干个第一工艺节点，包括：

根据所述脚本更新信息从预先配置的第一脚本数据库中查询，得到与所述脚本更新信息对应的所述若干个第一工艺节点。

8.根据权利要求2所述的工艺监控方法，其特征在于，所述根据所述若干个第一工艺节点与所述若干个第二工艺节点在所述当前生产工艺上是否存在重合节点，确定所述当前生产工艺的脚本执行状态，包括：

从预先配置的第二脚本数据库中查询与各所述第二工艺节点对应的节点状态标识；

根据所述节点状态标识为执行状态的第二工艺节点与所述若干个第一工艺节点在所述当前生产工艺上是否存在重合节点，确定所述当前生产工艺的脚本执行状态。

9.根据权利要求2所述的工艺监控方法，其特征在于，所述根据所述若干个第一工艺节点与所述若干个第二工艺节点在所述当前生产工艺上是否存在重合节点，确定所述当前生产工艺的脚本执行状态，包括：

若所述若干个第一工艺节点与所述若干个第二工艺节点在所述当前生产工艺上无重合节点，则将所述当前生产工艺的所述脚本执行状态确定为执行成功。

10.根据权利要求1所述的工艺监控方法，其特征在于，所述方法还包括：

若所述脚本执行状态为执行报错，则生成一示警弹窗，并显示于对应的用户界面。

11.根据权利要求1所述的工艺监控方法，其特征在于，所述第二脚本的执行优先级高于所述第一脚本。

12.根据权利要求1所述的工艺监控方法，其特征在于，所述获取待更新的第一脚本的脚本更新信息，包括：

获取待新增的所述第一脚本的新增脚本信息；和/或，

获取针对所述当前生产工艺中所述第一脚本的脚本更新信息。

13.一种工艺监控装置，其特征在于，所述装置包括：

获取模块，用于获取待更新的第一脚本的脚本更新信息；

确定模块，用于根据所述脚本更新信息与当前生产工艺中第二脚本的执行信息确定所述当前生产工艺的脚本执行状态；

生成模块，用于若所述脚本执行状态为执行报错，则生成针对所述脚本更新信息的报错信息，并将所述报错信息发送至管理终端。

14.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至12任一项所述的方法。

15.一种电子设备，其特征在于，包括：

处理器；以及

存储器，用于存储所述处理器的可执行指令；

其中，所述处理器配置为经由执行所述可执行指令来执行权利要求1至12任一项所述的方法。

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