CN115058701A - 数据通信系统、方法和cvd镀膜设备 - Google Patents

数据通信系统、方法和cvd镀膜设备 Download PDF

Info

Publication number
CN115058701A
CN115058701A CN202210870345.7A CN202210870345A CN115058701A CN 115058701 A CN115058701 A CN 115058701A CN 202210870345 A CN202210870345 A CN 202210870345A CN 115058701 A CN115058701 A CN 115058701A
Authority
CN
China
Prior art keywords
junction box
signal
central processing
processing unit
sensor detection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202210870345.7A
Other languages
English (en)
Other versions
CN115058701B (zh
Inventor
高阔
孙文彬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advanced Materials Technology and Engineering Inc
Original Assignee
Advanced Materials Technology and Engineering Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advanced Materials Technology and Engineering Inc filed Critical Advanced Materials Technology and Engineering Inc
Priority to CN202210870345.7A priority Critical patent/CN115058701B/zh
Publication of CN115058701A publication Critical patent/CN115058701A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN115058701B publication Critical patent/CN115058701B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04B—TRANSMISSION
    • H04B1/00—Details of transmission systems, not covered by a single one of groups H04B3/00 - H04B13/00; Details of transmission systems not characterised by the medium used for transmission
    • H04B1/38—Transceivers, i.e. devices in which transmitter and receiver form a structural unit and in which at least one part is used for functions of transmitting and receiving
    • H04B1/40—Circuits
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)

Abstract

本发明实施例提出一种数据通信系统、方法和CVD镀膜设备，涉及数据通信领域。在该数据通信系统中，中央处理器与多个分线盒通过串联的方式依次通信连接，当需要获取信号时，中央处理器仅需要将数据获取信息发送至当前连接的分线盒，该分线盒再将数据获取信息发送至与之相邻的下一个分线盒，以此使得每个分线盒都能获取到数据获取信息，在每个分线盒获取到数据获取信息时，即向相邻前一个分线盒发送传感器检测信号，以此使得每个分线盒都将传感器检测信号发送至中央处理器；通过上述系统，只需要一条通信线路，即可完成信号的获取，减少了线缆的数量多，不再需要航插，使得线路简单，减少了出错。

Description

数据通信系统、方法和CVD镀膜设备
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种数据通信系统、方法和CVD镀膜设备。
背景技术
化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术。目前国内企业生产的CVD设备是由于需要在基质表面上镀膜，因此，需要设备各种接收和发送信号的传感器。但是，目前的CVD镀膜设备中传感器的数量较多，传感器采集后的信号利用分线盒进行接收，分线盒自带有线缆，利用端子转接的方式，将传感器的信号传输给处理器，其中，每个传感器信号都需要设置对应的线缆，并且线缆的连接还需要经过航插，不仅线缆的数量多，而且航插引脚密集，线路连接不方便，容易出错。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的在于提供一种数据通信系统、方法和CVD镀膜设备，以解决CVD设备线缆的数量多，航插引脚密集，线路连接不方便，容易出错的问题。
为了实现上述目的，本发明实施例采用的技术方案如下：
第一方面，本发明提供一种数据通信系统，应用于CVD镀膜设备，所述数据通信系统包括中央处理器和多个分线盒，所述多个分线盒以串联的方式依次通信连接，所述中央处理器与所述多个分线盒中的第一个分线盒或者最后一个分线盒通信连接；每个所述分线盒连接有一个或多个传感器；
所述中央处理器用于向当前连接的分线盒发送数据获取信息；
每个所述分线盒用于将接收到的所述数据获取信息发送给相邻的后一个分线盒，以使所有分线盒都接收到所述数据获取信息，并在接收到所述数据获取信息后，向所述中央处理器反馈收集到的传感器检测信号；
其中，未与所述中央处理器相连的分线盒用于将自身收集到的传感器检测信号、收到的由相邻的后一个分线盒发送的传感器检测信号，发送给相邻的前一个分线盒；与所述中央处理器相连的分线盒用于将自身收集到的传感器检测信号、收到的由相邻的后一个分线盒发送的传感器检测信号，发送给所述中央处理器，以使所述中央处理器获得所有分线盒收集到的传感器检测信号。
在可选的实施方式中，所述数据通信系统还包括耦合器，所述中央处理器通过所述耦合器与所述多个分线盒中的第一个分线盒或者最后一个分线盒通信连接；
所述耦合器用于将所述中央处理器发送的数据获取信息转发至所述多个分线盒中的第一个分线盒或者最后一个分线盒；
所述耦合器还用于将所述多个分线盒中的第一个分线盒或者最后一个分线盒发送的传感器检测信号转发至所述中央处理器。
在可选的实施方式中，所述分线盒包括信号获取单元和信号转发单元，所述信号获取单元和所述信号转发单元电连接，所述信号获取单元与一个或多个传感器电连接，所述信号转发单元与所述中央处理器或者相邻的前一个分线盒的信号获取单元通信连接；
所述信号获取单元用于获取所述传感器检测到的传感器检测信号或者接收相邻的后一个分线盒发送的传感器检测信号，并将所述传感器检测信号发送至所述信号转发单元；
所述信号转发单元用于将接收的所述传感器检测信号发送至相邻的前一个分线盒的信号获取单元，或者发送至所述中央处理器。
在可选的实施方式中，所述信号转发单元还用于获取所述中央处理器发送的数据获取信息，或者获取相邻的前一个分线盒的信号获取单元发送的数据获取信息；
所述信号获取单元还用于接收所述信号转发单元发送的数据获取信息，或者将所述数据获取信息发送至相邻的后一个分线盒的信号转发单元。
在可选的实施方式中，所述分线盒还包括第一以太网接口和第二以太网接口，所述第一以太网接口与所述信号转发单元通信连接，所述第二以太网接口与所述信号获取单元通信连接；
所述分线盒通过所述第一以太网接口与相邻的前一个分线盒的第二以太网接口通信连接，或者通过所述第一以太网接口与所述中央处理器通信连接。
在可选的实施方式中，所述数据通信系统还包括信号输出模块和执行模块；所述中央处理器还与所述信号输出模块通信连接；所述信号输出模块与所述执行模块通信连接；
所述中央处理器还用于对所述传感器检测信号进行分析处理，以获得指令信号，并将所述指令信号发送至所述信号输出模块；
所述信号输出模块用于接收所述指令信号，并将所述指令信号发送至所述执行模块；
所述执行模块用于根据所述指令信号，执行动作。
第二方面，本发明提供一种数据通信方法，应用于数据通信系统，所述数据通信系统应用于CVD镀膜设备，所述数据通信系统包括中央处理器和多个分线盒，所述多个分线盒以串联的方式依次通信连接，所述中央处理器与所述多个分线盒中的第一个分线盒或者最后一个分线盒通信连接；每个所述分线盒连接有一个或多个传感器；所述方法包括：
所述中央处理器向当前连接的分线盒发送数据获取信息；
每个所述分线盒将接收到的所述数据获取信息发送给相邻的后一个分线盒，以使所有分线盒都接收到所述数据获取信息，并在接收到所述数据获取信息后，向所述中央处理器反馈收集到的传感器检测信号；
其中，未与所述中央处理器相连的分线盒用于将自身收集到的传感器检测信号、收到的由相邻的后一个分线盒发送的传感器检测信号，发送给相邻的前一个分线盒；与所述中央处理器相连的分线盒用于将自身收集到的传感器检测信号、收到的由相邻的后一个分线盒发送的传感器检测信号，发送给所述中央处理器，以使所述中央处理器获得所有分线盒收集到的传感器检测信号。
在可选的实施方式中，所述数据通信系统还包括耦合器，所述中央处理器通过所述耦合器与所述多个分线盒中的第一个分线盒或者最后一个分线盒通信连接；
所述中央处理器向当前连接的分线盒发送数据获取信息，包括：
所述中央处理器将数据获取信息发送至所述耦合器；
所述耦合器将所述数据获取信息转发至所述多个分线盒中的第一个分线盒或者最后一个分线盒。
在可选的实施方式中，所述数据通信系统还包括信号输出模块和执行模块；所述中央处理器还与所述信号输出模块通信连接；所述信号输出模块与所述执行模块通信连接；所述方法还包括：
所述中央处理器对所述传感器检测信号进行分析处理，以获得指令信号，并将所述指令信号发送至所述信号输出模块；
所述信号输出模块接收所述指令信号，并将所述指令信号发送至所述执行模块；
所述执行模块根据所述指令信号，执行动作。
第三方面，本发明提供一种CVD镀膜设备，所述CVD镀膜设备包括如前述实施方式中任一项所述的数据通信系统。
本发明实施例提供的数据通信系统、方法和CVD镀膜设备，通过多个分线盒以串联的方式依次通信连接，中央处理器与多个分线盒中的第一个分线盒或者最后一个分线盒通信连接，则中央处理器用于向当前连接的分线盒发送数据获取信息；每个分线盒用于将接收到的数据获取信息发送给相邻的后一个分线盒，以使所有分线盒都接收到数据获取信息，并在接收到数据获取信息后，向中央处理器反馈收集到的传感器检测信号；其中，未与中央处理器相连的分线盒用于将自身收集到的传感器检测信号、收到的由相邻的后一个分线盒发送的传感器检测信号，发送给相邻的前一个分线盒；与中央处理器相连的分线盒用于将自身收集到的传感器检测信号、收到的由相邻的后一个分线盒发送的传感器检测信号，发送给中央处理器，以使中央处理器获得所有分线盒收集到的传感器检测信号。在该数据通信系统中，中央处理器与多个分线盒通过串联的方式依次通信连接，当需要获取信号时，中央处理器仅需要将数据获取信息发送至当前连接的分线盒，该分线盒再将数据获取信息发送至与之相邻的下一个分线盒，以此使得每个分线盒都能获取到数据获取信息，在每个分线盒获取到数据获取信息时，即向相邻前一个分线盒发送传感器检测信号，以此使得每个分线盒都将传感器检测信号发送至中央处理器；通过上述系统，只需要一条通信线路，即可完成信号的获取，减少了线缆的数量多，不再需要航插，使得线路简单，减少了出错。
为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1示出了本发明实施例提供的CVD镀膜设备的一种组成示意图；
图2示出了本发明实施例提供的数据通信系统的一种组成示意图；
图3示出了本发明实施例提供的数据通信系统的另一种组成示意图；
图4示出了分线盒的一种组成示意图；
图5示出了分线盒的另一种组成示意图；
图6示出了本发明实施例提供的数据通信系统的又一种组成示意图；
图7示出了本发明实施例提供的数据通信方法的一种流程示意图；
图8示出了图7中步骤S310的子步骤的一种流程示意图；
图9示出了本发明实施例提供的数据通信方法的另一种流程示意图。
图标：10-数据通信系统；20-传感器；11-中央处理器；12-分线盒；121-信号获取单元；122-信号转发单元；123-第一以太网接口；124-第二以太网接口；13-耦合器；14-信号输出模块；15-执行模块。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
需要说明的是，术语“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
目前的CVD镀膜设备，设备中传感器的数量多，为了控制生成设备的正常运行，需要采集设备中传感器产生的信号。
在现有技术中，传感器的信号采集采用分线盒接收，分线盒自带有多芯线缆，通过利用端子转接的方式，将传感器的信号传输给处理器，其中，每个传感器信号都需要设置对应的线缆，并且线缆的连接还需要经过航插，不仅线缆的数量多，而且航插引脚密集，线路连接不方便，容易出错。
请参阅图1，图1为本发明实施例提供的CVD镀膜设备的一种组成示意图。如图1所示，该CVD镀膜设备包括数据通信系统10和传感器20；数据通信系统10与传感器20相连接。
在本实施例中，通过数据通信系统10获取传感器20检测到的信号，获得CVD镀膜设备的工作状态，并对传感器20检测到的信号进行分析，以控制生产系统，进而保证CVD镀膜设备可以正常工作。
其中，该CVD镀膜设备为化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，CVD)镀膜设备；该传感器20可以为一个或多个，其数量在本实施例中不予以限定。
应当理解的是，该CVD镀膜设备包括本发明各实施例揭示的数据通信系统，并可实现本发明各实施例揭示的数据通信方法。
请参阅图2，图2为本发明实施例提供的数据通信系统的一种组成示意图。如图2所示，该数据通信系统10包括中央处理器11和多个分线盒12，该数据通信系统可以应用与上述CVD镀膜设备中。
在本实施例中，多个分线盒12以串联的方式依次通信连接，中央处理器11与多个分线盒12中的第一个分线盒12或者最后一个分线盒12通信连接；每个分线盒12连接有一个或多个传感器20。
在本实施例中，中央处理器11可以通过双绞线、同轴电缆和光纤电缆等网线，与多个分线盒12中的第一个分线盒12或者最后一个分线盒12通信连接；多个分线盒12也可以通过双绞线、同轴电缆和光纤电缆等网线，以串联的方式依次通信连接。
中央处理器11用于向当前连接的分线盒12发送数据获取信息。
在本实施例中，为了保证CVD镀膜设备的正常工作，需要获取传感器20的检测信号，中央处理器11主动采集数据，向当前连接的分线盒12发送数据获取信息。
每个分线盒12用于将接收到的数据获取信息发送给相邻的后一个分线盒，以使所有分线盒12都接收到数据获取信息，并在接收到数据获取信息后，向中央处理器11反馈收集到的传感器检测信号。
在本实施例中，以中央处理器11当前连接的分线盒12为多个分线盒12中的第一个分线盒12为例。在第一个分线盒12接收到该数据获取信息后，向中央处理器11反馈收集到的传感器检测信号，并向第二个分线盒12发送该数据获取信息；第二个分线盒12接收到该数据获取信息后，也向中央处理器11反馈收集到的传感器检测信号，然后向第三个分线盒12发送该数据获取信息，以此类推，使得所有分线盒都接收到数据获取信息。
需要说明的是，第一个分线盒12接收到该数据获取信息后，即向中央处理器11反馈收集到的传感器检测信号，同时将该数据获取信息发送至第二个分线盒12，可以理解，每个分线盒12都以此传输信号。
其中，未与中央处理器11相连的分线盒12用于将自身收集到的传感器检测信号、收到的由相邻的后一个分线盒12发送的传感器检测信号，发送给相邻的前一个分线盒12；与中央处理器11相连的分线盒12用于将自身收集到的传感器检测信号、收到的由相邻的后一个分线盒12发送的传感器检测信号，发送给中央处理器11，以使中央处理器11获得所有分线盒12收集到的传感器检测信号。
在本实施例中，继续以中央处理器11当前连接的分线盒12为多个分线盒12中的第一个分线盒12为例。在第一个分线盒12向中央处理器11发送传感器检测信号后，还需要分别接收并向中央处理器11发送第二个分线盒12收集到的传感器检测信号、第三个分线盒12收集到的传感器检测信号、…、最后一个分线盒12收集到的传感器检测信号；第二个分线盒12向第一个分线盒12发送收集到的传感器检测信号后，分别接收并向中央处理器11发送第三个分线盒12收集到的传感器检测信号、第四个分线盒12收集到的传感器检测信号、…、最后一个分线盒12收集到的传感器检测信号，以此类推，使得仅需要一条连接线路，中央处理器11即可获得所有分线盒12收集到的传感器检测信号。
本发明实施例提供的数据通信系统，通过多个分线盒以串联的方式依次通信连接，中央处理器与多个分线盒中的第一个分线盒或者最后一个分线盒通信连接，则中央处理器用于向当前连接的分线盒发送数据获取信息；每个分线盒用于将接收到的数据获取信息发送给相邻的后一个分线盒，以使所有分线盒都接收到数据获取信息，并在接收到数据获取信息后，向中央处理器反馈收集到的传感器检测信号；其中，未与中央处理器相连的分线盒用于将自身收集到的传感器检测信号、收到的由相邻的后一个分线盒发送的传感器检测信号，发送给相邻的前一个分线盒；与中央处理器相连的分线盒用于将自身收集到的传感器检测信号、收到的由相邻的后一个分线盒发送的传感器检测信号，发送给中央处理器，以使中央处理器获得所有分线盒收集到的传感器检测信号。在该数据通信系统中，中央处理器与多个分线盒通过串联的方式依次通信连接，当需要获取信号时，中央处理器仅需要将数据获取信息发送至当前连接的分线盒，该分线盒再将数据获取信息发送至与之相邻的下一个分线盒，以此使得每个分线盒都能获取到数据获取信息，在每个分线盒获取到数据获取信息时，即向相邻前一个分线盒发送传感器检测信号，以此使得每个分线盒都将传感器检测信号发送至中央处理器；通过上述系统，只需要一条通信线路，即可完成信号的获取，减少了线缆的数量多，不再需要航插，使得线路简单，减少了出错。
由于一般中央处理器11处理的数据为电信号，而本实施例中，多个分线盒12通过双绞线、同轴电缆和光纤电缆等网线，以串联的方式依次通信连接，也即分线盒12传输的信号形式为光信号，为了使中央处理器11可以更好地处理数据，需要将光信号转换为电信号。请参阅图3，图3为本发明实施例提供的数据通信系统的另一种组成示意图。如图3所示，数据通信系统10还包括耦合器13。
在本实施例中，中央处理器通过耦合器与多个分线盒12中的第一个分线盒12或者最后一个分线盒12通信连接。
耦合器13用于将中央处理器11发送的数据获取信息转发至多个分线盒12中的第一个分线盒12或者最后一个分线盒12。
在本实施例中，中央处理器11发送的数据获取信息为电信号，耦合器13将该电信号转换为光信号，并发送至多个分线盒12中的第一个分线盒12或者最后一个分线盒12。
耦合器13还用于将多个分线盒12中的第一个分线盒12或者最后一个分线盒12发送的传感器检测信号转发至中央处理器11。
在本实施例中，多个分线盒12中的第一个分线盒12或者最后一个分线盒12发送的传感器检测信号为光信号，耦合器13将该光信号转换为电信号，并发送至中央处理器11。
需要说明的是，上述与中央处理器11相连的分线盒12指的是，中央处理器11通过耦合器13直接相连的多个分线盒12中的第一个分线盒12或者最后一个分线盒12，未与中央处理器11相连的分线盒12指的是，多个分线盒12中的除了第一个分线盒12或者最后一个分线盒12之外的其他分线盒。
为了保证数据获取信息以及传感器检测信号的接收和发送，以提高数据传输的安全性和可靠性，请参阅图4，图4为分线盒的一种组成示意图。如图4所示，分线盒12包括信号获取单元121和信号转发单元122。
在本实施例中，信号获取单元121和信号转发单元122电连接，信号获取单元121与一个或多个传感器20电连接，信号转发单元122与中央处理器11或者相邻的前一个分线盒12的信号获取单元通信连接。
信号获取单元121用于获取传感器20检测到的传感器检测信号或者接收相邻的后一个分线盒12发送的传感器检测信号，并将传感器检测信号发送至信号转发单元122。
在本实施例中，信号获取单元121具有串行数字通讯协议(Input Output link，IOlink)主站功能，IO link为一种数据传输协议，其作用为获取传感器20检测到的传感器检测信号或者接收相邻的后一个分线盒12发送的传感器检测信号，并将传感器检测信号发送至信号转发单元122。并且，IO link协议具有断线检查功能，在某一个分线盒12出现故障时，即可根据该IO link协议查找故障分线盒，提高了安全性和可靠性。
信号转发单元122用于将接收的传感器检测信号发送至相邻的前一个分线盒12的信号获取单元121，或者发送至中央处理器11。
在本实施例中，信号转发单元122具有以太网控制自动化技术(Ether ControlAutomation Technology，EtherCAT)主站功能，EtherCAT也为一种数据传输协议，其作用为将接收的传感器检测信号发送至相邻的前一个分线盒的信号获取单元121，或者发送至中央处理器11。并且，EtherCAT协议减少了信息传输时间，提高了传输效率。
信号转发单元122还用于获取中央处理器11发送的数据获取信息，或者获取相邻的前一个分线盒12的信号获取单元121发送的数据获取信息。
在本实施例中，EtherCAT协议在信号转发单元122中，还具有获取中央处理器11发送的数据获取信息，或者获取相邻的前一个分线盒12的信号获取单元121发送的数据获取信息的功能。
信号获取单元121还用于接收信号转发单元122发送的数据获取信息，或者将数据获取信息发送至相邻的后一个分线盒12的信号转发单元122。
在本实施例中，IO link协议在信号获取单元121中，还具有接收信号转发单元122发送的数据获取信息，或者将数据获取信息发送至相邻的后一个分线盒12的信号转发单元122的功能。
为了将多个分线盒12串联起来，以保证多个分线盒12之间的数据传输。请参阅图5，图5为分线盒的另一种组成示意图。如图5所示，分线盒12还包括第一以太网接口123和第二以太网接口124。
在本实施例中，第一以太网接口123与信号转发单元122通信连接，第二以太网接口124与信号获取单元121通信连接。
分线盒12通过第一以太网接口123与相邻的前一个分线盒12的第二以太网接口124通信连接，或者通过第一以太网接口123与中央处理器11通信连接。
可选的，在采集到传感器检测信号后，中央处理器11需要对传感器检测信号进行相关处理，以控制CVD镀膜设备工作。请参阅图6，图6为本发明实施例提供的数据通信系统的又一种组成示意图。该数据通信系统10还包括信号输出模块14和执行模块15；中央处理器11还与信号输出模块14通信连接；信号输出模块14与执行模块15通信连接。
中央处理器11还用于对传感器检测信号进行分析处理，以获得指令信号，并将指令信号发送至信号输出模块14。
可选的，传感器20的类型可以但不限于：位置传感器、限位传感器、动作信号传感器、光信号传感器及水信号传感器等；则传感器检测信号包括但不限于：位置信号、限位信号、动作信号、光信号及水信号等。
中央处理器11对上述传感器检测信号分别进行分析处理，以获得上述传感器检测信号各自对应的指令信号。
信号输出模块14用于接收指令信号，并将指令信号发送至执行模块15。
执行模块15用于根据指令信号，执行动作。
可选的，该执行模块15包括但不限于：集电器、电磁阀、电机等；该执行模块15可以根据指令信号执行：抽真空、电机旋转角度、电缸升降等动作。
请参阅图7，图7为本发明实施例提供的数据通信方法的一种流程示意图。该数据通信方法可由本发明各实施例揭示的数据通信系统实现。
如图7所示，该数据通信方法应用于数据通信系统，数据通信系统应用于CVD镀膜设备，数据通信系统包括中央处理器和多个分线盒，多个分线盒以串联的方式依次通信连接，中央处理器与多个分线盒中的第一个分线盒或者最后一个分线盒通信连接；每个分线盒连接有一个或多个传感器；该方法包括：
步骤S310，中央处理器向当前连接的分线盒发送数据获取信息。
步骤S320，每个分线盒将接收到的数据获取信息发送给相邻的后一个分线盒，以使所有分线盒都接收到数据获取信息，并在接收到数据获取信息后，向中央处理器反馈收集到的传感器检测信号；其中，未与中央处理器相连的分线盒用于将自身收集到的传感器检测信号、收到的由相邻的后一个分线盒发送的传感器检测信号，发送给相邻的前一个分线盒；与中央处理器相连的分线盒用于将自身收集到的传感器检测信号、收到的由相邻的后一个分线盒发送的传感器检测信号，发送给中央处理器，以使中央处理器获得所有分线盒收集到的传感器检测信号。
本发明实施例提供的数据通信方法，通过多个分线盒以串联的方式依次通信连接，中央处理器与多个分线盒中的第一个分线盒或者最后一个分线盒通信连接，则中央处理器用于向当前连接的分线盒发送数据获取信息；每个分线盒用于将接收到的数据获取信息发送给相邻的后一个分线盒，以使所有分线盒都接收到数据获取信息，并在接收到数据获取信息后，向中央处理器反馈收集到的传感器检测信号；其中，未与中央处理器相连的分线盒用于将自身收集到的传感器检测信号、收到的由相邻的后一个分线盒发送的传感器检测信号，发送给相邻的前一个分线盒；与中央处理器相连的分线盒用于将自身收集到的传感器检测信号、收到的由相邻的后一个分线盒发送的传感器检测信号，发送给中央处理器，以使中央处理器获得所有分线盒收集到的传感器检测信号。在该数据通信系统中，中央处理器与多个分线盒通过串联的方式依次通信连接，当需要获取信号时，中央处理器仅需要将数据获取信息发送至当前连接的分线盒，该分线盒再将数据获取信息发送至与之相邻的下一个分线盒，以此使得每个分线盒都能获取到数据获取信息，在每个分线盒获取到数据获取信息时，即向相邻前一个分线盒发送传感器检测信号，以此使得每个分线盒都将传感器检测信号发送至中央处理器；通过上述系统，只需要一条通信线路，即可完成信号的获取，减少了线缆的数量多，不再需要航插，使得线路简单，减少了出错。
可选的，数据通信系统还包括耦合器，中央处理器通过耦合器与多个分线盒中的第一个分线盒或者最后一个分线盒通信连接。请参阅图8，图8为图7中步骤S310的子步骤的一种流程示意图。步骤S310包括：
步骤S311，中央处理器将数据获取信息发送至耦合器。
步骤S312，耦合器将数据获取信息转发至多个分线盒中的第一个分线盒或者最后一个分线盒。
需要说明的是，耦合器还将多个分线盒中的第一个分线盒或者最后一个分线盒发送的传感器检测信号转发至中央处理器。
可选的，数据通信系统还包括信号输出模块和执行模块；中央处理器还与信号输出模块通信连接；信号输出模块与执行模块通信连接。请参阅图9，图9本发明实施例提供的数据通信方法的另一种流程示意图。上述方法还包括：
步骤S330，中央处理器对传感器检测信号进行分析处理，以获得指令信号，并将指令信号发送至信号输出模块。
步骤S340，信号输出模块接收指令信号，并将指令信号发送至执行模块。
步骤S350，执行模块根据指令信号，执行动作。
在本发明所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的装置和方法，也可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，附图中的流程图和框图显示了根据本发明的多个实施例的装置、方法和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上，流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段或代码的一部分，所述模块、程序段或代码的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。也应当注意，在有些作为替换的实现方式中，方框中所标注的功能也可以以不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个连续的方框实际上可以基本并行地执行，它们有时也可以按相反的顺序执行，这依所涉及的功能而定。也要注意的是，框图和/或流程图中的每个方框、以及框图和/或流程图中的方框的组合，可以用执行规定的功能或动作的专用的基于硬件的系统来实现，或者可以用专用硬件与计算机指令的组合来实现。
另外，在本发明各个实施例中的各功能模块可以集成在一起形成一个独立的部分，也可以是各个模块单独存在，也可以两个或两个以上模块集成形成一个独立的部分。
所述功能如果以软件功能模块的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器(ROM，Read-Only Memory)、随机存取存储器(RAM，Random Access Memory)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种数据通信系统，应用于CVD镀膜设备，其特征在于，所述数据通信系统包括中央处理器和多个分线盒，所述多个分线盒以串联的方式依次通信连接，所述中央处理器与所述多个分线盒中的第一个分线盒或者最后一个分线盒通信连接；每个所述分线盒连接有一个或多个传感器；
所述中央处理器用于向当前连接的分线盒发送数据获取信息；
每个所述分线盒用于将接收到的所述数据获取信息发送给相邻的后一个分线盒，以使所有分线盒都接收到所述数据获取信息，并在接收到所述数据获取信息后，向所述中央处理器反馈收集到的传感器检测信号；
其中，未与所述中央处理器相连的分线盒用于将自身收集到的传感器检测信号、收到的由相邻的后一个分线盒发送的传感器检测信号，发送给相邻的前一个分线盒；与所述中央处理器相连的分线盒用于将自身收集到的传感器检测信号、收到的由相邻的后一个分线盒发送的传感器检测信号，发送给所述中央处理器，以使所述中央处理器获得所有分线盒收集到的传感器检测信号。
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述数据通信系统还包括耦合器，所述中央处理器通过所述耦合器与所述多个分线盒中的第一个分线盒或者最后一个分线盒通信连接；
所述耦合器用于将所述中央处理器发送的数据获取信息转发至所述多个分线盒中的第一个分线盒或者最后一个分线盒；
所述耦合器还用于将所述多个分线盒中的第一个分线盒或者最后一个分线盒发送的传感器检测信号转发至所述中央处理器。
3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述分线盒包括信号获取单元和信号转发单元，所述信号获取单元和所述信号转发单元电连接，所述信号获取单元与一个或多个传感器电连接，所述信号转发单元与所述中央处理器或者相邻的前一个分线盒的信号获取单元通信连接；
所述信号获取单元用于获取所述传感器检测到的传感器检测信号或者接收相邻的后一个分线盒发送的传感器检测信号，并将所述传感器检测信号发送至所述信号转发单元；
所述信号转发单元用于将接收的所述传感器检测信号发送至相邻的前一个分线盒的信号获取单元，或者发送至所述中央处理器。
4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述信号转发单元还用于获取所述中央处理器发送的数据获取信息，或者获取相邻的前一个分线盒的信号获取单元发送的数据获取信息；
所述信号获取单元还用于接收所述信号转发单元发送的数据获取信息，或者将所述数据获取信息发送至相邻的后一个分线盒的信号转发单元。
5.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述分线盒还包括第一以太网接口和第二以太网接口，所述第一以太网接口与所述信号转发单元通信连接，所述第二以太网接口与所述信号获取单元通信连接；
所述分线盒通过所述第一以太网接口与相邻的前一个分线盒的第二以太网接口通信连接，或者通过所述第一以太网接口与所述中央处理器通信连接。
6.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述数据通信系统还包括信号输出模块和执行模块；所述中央处理器还与所述信号输出模块通信连接；所述信号输出模块与所述执行模块通信连接；
所述中央处理器还用于对所述传感器检测信号进行分析处理，以获得指令信号，并将所述指令信号发送至所述信号输出模块；
所述信号输出模块用于接收所述指令信号，并将所述指令信号发送至所述执行模块；
所述执行模块用于根据所述指令信号，执行动作。
7.一种数据通信方法，其特征在于，应用于数据通信系统，所述数据通信系统应用于CVD镀膜设备，所述数据通信系统包括中央处理器和多个分线盒，所述多个分线盒以串联的方式依次通信连接，所述中央处理器与所述多个分线盒中的第一个分线盒或者最后一个分线盒通信连接；每个所述分线盒连接有一个或多个传感器；所述方法包括：
所述中央处理器向当前连接的分线盒发送数据获取信息；
每个所述分线盒将接收到的所述数据获取信息发送给相邻的后一个分线盒，以使所有分线盒都接收到所述数据获取信息，并在接收到所述数据获取信息后，向所述中央处理器反馈收集到的传感器检测信号；
其中，未与所述中央处理器相连的分线盒用于将自身收集到的传感器检测信号、收到的由相邻的后一个分线盒发送的传感器检测信号，发送给相邻的前一个分线盒；与所述中央处理器相连的分线盒用于将自身收集到的传感器检测信号、收到的由相邻的后一个分线盒发送的传感器检测信号，发送给所述中央处理器，以使所述中央处理器获得所有分线盒收集到的传感器检测信号。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述数据通信系统还包括耦合器，所述中央处理器通过所述耦合器与所述多个分线盒中的第一个分线盒或者最后一个分线盒通信连接；
所述中央处理器向当前连接的分线盒发送数据获取信息，包括：
所述中央处理器将数据获取信息发送至所述耦合器；
所述耦合器将所述数据获取信息转发至所述多个分线盒中的第一个分线盒或者最后一个分线盒。
9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述数据通信系统还包括信号输出模块和执行模块；所述中央处理器还与所述信号输出模块通信连接；所述信号输出模块与所述执行模块通信连接；所述方法还包括：
所述中央处理器对所述传感器检测信号进行分析处理，以获得指令信号，并将所述指令信号发送至所述信号输出模块；
所述信号输出模块接收所述指令信号，并将所述指令信号发送至所述执行模块；
所述执行模块根据所述指令信号，执行动作。
10.一种CVD镀膜设备，其特征在于，所述CVD镀膜设备包括如权利要求1-6中任一项所述的数据通信系统。
CN202210870345.7A 2022-07-22 2022-07-22 数据通信系统、方法和cvd镀膜设备 Active CN115058701B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210870345.7A CN115058701B (zh) 2022-07-22 2022-07-22 数据通信系统、方法和cvd镀膜设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210870345.7A CN115058701B (zh) 2022-07-22 2022-07-22 数据通信系统、方法和cvd镀膜设备

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN115058701A true CN115058701A (zh) 2022-09-16
CN115058701B CN115058701B (zh) 2024-02-06

Family

ID=83206856

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202210870345.7A Active CN115058701B (zh) 2022-07-22 2022-07-22 数据通信系统、方法和cvd镀膜设备

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN115058701B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115786889A (zh) * 2023-02-13 2023-03-14 广州志橙半导体有限公司 Cvd设备的数据采集方法和装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113253389A (zh) * 2020-02-07 2021-08-13 华为技术有限公司 一种衰减调节方法和可变光衰减器
CN113774364A (zh) * 2021-01-11 2021-12-10 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业(有限合伙) 镀膜装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113253389A (zh) * 2020-02-07 2021-08-13 华为技术有限公司 一种衰减调节方法和可变光衰减器
CN113774364A (zh) * 2021-01-11 2021-12-10 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业(有限合伙) 镀膜装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115786889A (zh) * 2023-02-13 2023-03-14 广州志橙半导体有限公司 Cvd设备的数据采集方法和装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN115058701B (zh) 2024-02-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11734213B2 (en) Integration of multiple communication physical layers and protocols in a process control input/output device
CN109768970B (zh) 一种基于可配置的通用协议生成方法
US7412548B2 (en) Intelligent self-determining I/O device
CN115058701B (zh) 数据通信系统、方法和cvd镀膜设备
EP2638443B1 (en) Local control network processor (lcnp) emulator for multi-generation control systems
US5938754A (en) Fieldbus connector including dual connectors
CN111523782B (zh) 工控资产管理方法、装置、设备及存储介质
CN113867249A (zh) 云边协同设备数据采集的多plc协议解析方法、系统和介质
CN101964923A (zh) 交互式命令的配置系统及方法
CN108696375B (zh) 工业网络信息获取装置、方法、监控系统及存储介质
CN101409655A (zh) 一种报文驱动的自动化测试系统以及实现方法
CN110177030B (zh) 工业网关控制测试方法
CN108063803B (zh) 基于分布式订阅发布消息系统的消息管理方法及系统
WO2018193277A1 (en) One-way data system (ods)
US11632266B2 (en) Device setting control device, network system, device setting method, and program
CN108693813B (zh) 安全导向的自动化系统
CN101316202B (zh) 嵌入式软件的在线诊断方法和系统、嵌入式软件装置
LU100282B1 (en) One-Way Data System (ODS)
KR20190106069A (ko) Can/lin 통합 모듈을 이용한 자동차 내부 기기 간의 기능 시험 장치 및 방법과 그 시스템
CN105306135A (zh) 链路轮询检测方法及装置
CN110309090A (zh) 一种连接器
CN117917652B (zh) 晶圆跨厂流片方法及装置
CN109901520B (zh) 基于定点扫码的工位识别系统及其方法
CN118317004A (zh) 应用于监测装置的通信规约数据处理方法、系统及介质
Popovic I. COMMUNICATION CONCEPTS

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
CB02 Change of applicant information
CB02 Change of applicant information

Address after: 214028 No.1 Guanshan Road, Xinwu District, Wuxi City, Jiangsu Province

Applicant after: Wuxi Yiwen Microelectronics Technology Co.,Ltd.

Address before: 214028 No.1 Guanshan Road, Xinwu District, Wuxi City, Jiangsu Province

Applicant before: WUXI YIWEN ELECTRONIC TECHNOLOGY Co.,Ltd.

GR01 Patent grant
GR01 Patent grant